첨단산업 인재양성 디스플레이 부트캠프 다목적 박막 증착용 스퍼터 시스템 구매입찰

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• 다목적 박막 증착용 스퍼터 시스템_공고문.pdf · 공고규격서
• 다목적 박막 증착용 스퍼터 시스템_구매규격서.pdf · 공고규격서
• 다목적 박막 증착용 스퍼터 시스템_제안요청서.pdf · 공고규격서

공고 개요

한양대학교 에리카산학협력단 · 반도체·박막 공정장비

계약업체

(주)울텍

계약금액

82,830,000원

낙찰하한율

-

참가

1곳 · 개찰 10/08(목)

계약

요약 AI 요약

반도체·디스플레이 소자 제작을 위한 박막 증착 공정 실습과 공정 최적화 교육에 활용할 다목적 박막 증착용 스퍼터 시스템 1대를 구매·설치하는 사업이다. 금속·산화물·세라믹 등 다양한 재료로 수십~수백 나노미터 두께의 박막을 증착할 수 있는 장비를 도입한다.

• 진공 챔버 모듈: 반구형 전해연마 스테인리스(SUS) 챔버, 모터식 상단 플레이트 개폐, 크리닝 커버, 누수 감지 센서, 가스 퍼지·벤트 기능
• 기판 히터: 몰디드 히터, 기판 온도 최대 400도, 최대 6인치 웨이퍼 1장 장착, 모터 회전(1~20 rpm)
• 스퍼터 건: 4인치 건 3개, 에어 실린더 셔터, Peek 전극 절연체, 구리 백 플레이트, 표면자석 가우스 중앙 4,500G·가장자리 3,300G 이상
• 진공 모듈: 로터리 펌프(600L/min 이상), 핫 음극 이온 게이지·컨벡트론 게이지, 자동 압력 컨트롤러(APC)·전기식 스로틀 밸브·바라트론 게이지, 공압식 게이트·앵글 밸브, 진공 하드·벨로우즈 라인
• 가스 공급 모듈: Ar·O2 각 1개 질량유량계(MFC), N2 미터링 밸브 1개, 공압식 다이어프램 밸브, 316L 스테인리스 마이크로폴리시드 튜브(헬륨 누출 테스트 통과)
• 프레임 모듈: 연강 재질, 캐스터·레벨링 풋 부착 / 부속품: 장비 사용 매뉴얼(출력물 1부, PDF)

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 다목적 박막 증착용 스퍼터 시스템 제작·납품·설치

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

반도체·디스플레이 박막 증착 공정 실습에 쓰는 스퍼터 증착 장비를 제작·구매하는 사업으로, 반도체·박막 공정장비에 해당한다.

• 장비 제작 및 검사
• 현장 설치·전원 설비
• 검교정 및 성능시험(Factory Test Sheet)
• 설치 완료 보고서 제출
• 장비 사용 교육(무상, 보증기간 내 1회 이상)
• 사용설명서·정품 공급 및 기술지원 확약서 제출
• 하자보증(인수 후 1년, 부품 교체 시 1년 재보증)
• 포장·운반 및 안전 관리

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 평가점수는 평가 합계가 80점을 기준으로 적합 및 부적합으로 판정한다. (80점 이상 적합)

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자시담

입찰 일정

가격

추정가격

76,000,000원

배정예산

83,600,000원

부가세

7,600,000원

예정가격 방식

단일예가

납품

품명

진공증착기 (2399039801)

수량

1 대

납품

계약 후 120일

인도조건

설치 없음(납품만) · 수요기관희망장소입고도

제조물품

아니오

세부품명 등록

등록 필요

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

09/30(수)

공고번호

R26BK01751406-000

참조번호

한양대디스플레이부트캠프 - 13 호

공고기관

한양대학교 에리카산학협력단

수요기관

한양대학교 에리카산학협력단

계약방법

수의계약

낙찰방법

수의시담

계약유형

총액계약

예정가격 방식

단일예가

추정가격

76,000,000원

배정예산

83,600,000원

사전규격번호

R26BD00259628

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 발췌

과업·요구

=== 다목적 박막 증착용 스퍼터 시스템_제안요청서.pdf ===

다목적 박막 증착용 스퍼터 시스템

규격가격동시입찰 제안요청서

2026. 08. 25.

한양대학교 ERICA 산학협력단

1. 일반사항 1.1 사업자 선정방식 『국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령』 제18조 (규격가격 동시입찰) 1.2 목적 부트캠프사업에서 교육하고자 하는 교과형과 몰입협의 수업에서 디스플레이·반도체 소자 제작을 위한 박막 증착 공정 실습 및 공정 최적화 교육을 수행시 활용될 예정임.

1.3 적용 범위 본 제안요청서는 본 입찰 건과 관련된 장비의 구매 설치 등에 따른 우리 기관과 계약자 간 구매, 설치조건 등 관련 이행 제반사항에 대하여 규정한다. 1.4 지원 일반 가. 본 제안요청 및 입찰과 관련하여 입찰목적물의 사양은 우리 기관이 제시한 장비의 성능 및 제안사항을 반드시 준수하여야 한다. 나. 본 제안요청 및 입찰공고에 명기되지 않은 사항에 대해서도 낙찰자는 계약 목적물의 구 매 취지에 맞는 최신 기술 및 자재를 사용하여 납품해야 한다. 1.5 입찰 참가자격 가. 입찰 공고서에 따름 2. 공급범위 2.1 납품장소: 경기도 안산시 한양대학로 55, 제2과학기술관 2.2 납품기한: 계약 후 120일 이내(설치 및 장비 사용 교육 포함) 2.3 납품수량: 다목적 박막 증착용 스퍼터 시스템 1 Set 3. 장비규격 장비규격은 첨부된 물품구매규격서를 적용하며, 본 목적물을 위하여 필요하나 규격에 기재되 어 있지 않거나 부수적인 기술 사양에 대해서는 동등이상의 국제규격에 따른다. 4. 입찰자 준수사항 4.1. 입찰시 제출서류(규격, 가격 동시입찰) 입찰에 참여하고자 하는 자는 본 규격에서 정하는 모든 사항을 숙지하여 우리 기관에서 제 안서 기술평가를 할 수 있도록 다음과 같은 내용을 포함한 ‘규격제안서(전자문서로 제출-공고 문 참조)’를 제출하여야 한다. (양식 자유). 만약 미제출되거나 허위기재 또는 기타 평가할 수 없는 사항에 대하여는 평가 제외될 수 있다. 4.2. 제출 구비서류

가. 정성제안서 1부 - 제안평가를 위한 세부 기술자료(부품사양서, 카탈로그, 제안 규격의 세부 해설자료 등을 포함) - 규격서상 요구규격과 제안규격의 비교표 - 납기이행계획 (계약 후 장비 납품 이행 계획서) - 납품계획서 (제작, 검사, 설치, 검교정 방안, 납품실적 등을 포함) - 사후관리계획 (무상수리기간, 유지보수 및 기술지원, 장비 교육 등 A/S 운영 계획 포함) 나. 정량제안서 1부 - 납품실적증명원(동등장비 사양 최근 3년간 실적. 금액 포함) - 기업신용평가등급 확인서 ※ 사용 용도가 `공공기관 입찰용` 또는 `조달청 및 공공기관 제출용` 확인서일 것 - 기타 정량적 참고 자료 다. 일반제출서류 - [서식 1] 제안사의 일반현황 라. 기타 입찰 등록 제출서류는 입찰 공고서에 명시되어 있음 4.3. 제안서 작성 및 평가 가. 제안서 작성 모든 입찰자는 본 제안요청서에서 정한 제출 제안서의 구비서류를 우리 기관이 제시한 물품구매 사양 및 납품 조건에 따라 제안하고자 하는 내용을 명확하고 상세하게 기술하 여 작성 제출하며, 기관 규격의 단순 도용이나 불충분한 내용의 제안서의 경우 평가점수 를 받지 못하오니 유의하여야 한다. 나. 제안서 평가 - 제안서가 본 제안요청서 등의 기재된 내용을 준수하지 않거나, 적합하지 않을 경우 심사 에서 제외한다. - 심사 기준은 본 제안요청서에 포함된 제안서 평가 기준에 의한다. - 평가점수는 평가 합계가 80점을 기준으로 적합 및 부적합으로 판정한다. (80점 이상 적합) - 제안서는 공고 규격보다 이상의 기능일 경우에는 입찰공고 규격으로 인정할 수 있다. - 당 공고의 규격서는 해당 규격의 장비 모식도를 기준으로 참고한 것이므로, 세부 Specifications의 차이는 인정되며, 측정 기준 및 사양은 동등 이상을 확보하여야 한다.

가. 납품은 장비의 입고 후 장비의 전원 설비를 하여 사용자가 즉시 장비를 사용할 수 있는 상태까지의 작업 일체를 포함하며, 납품 장소에서 본 장비의 설치를 통해 진동, 소음과 같은 기계적 문제가 발생하지 않도록 해야 한다. 나. 납품은 공급 범위의 시스템 납품을 만족하여야하며, 공급 장비가 규격서에서 요구하는 성능 및 사양을 충족하고, 각 규격별로 정상 동작하는 것을 인수자가 확인 (제품 Calibration 결과, 육안 확인, 3일 이상 교육/사용 등) 하였을 때 완료하는 것으로 한다. 다. 시스템 및 프로그램의 설치는 입고 즉시 공급자의 책임 하에 실시한다. 라. 규격서에 명시하지 않은 사양 및 부품이라도 표준 사양 및 부품을 제공하고, 필요한 사 항이 누락된 경우 인수자에게 즉시 통보하고 해결방안을 강구하여야 하며, 통보하지 않 은 사양이 추후 확인된 경우 계약자가 모든 책임을 진다. 마. 장비 설치 시 발생한 모든 손상에 대해서는 계약자가 새로운 장비와 동일한 장비상태로 교체하여야 하며, 교정 장비의 경우 재교정 진행 후 납품하여야 한다. 5.6 성능 평가 가. 검사 및 성능시험은 설치시스템의 각 기능을 시험하여 평가한다. 나. 납품 및 설치 완료 후 현장 성능 평가 및 설치 내용이 포함된 설치 완료 보고서를 제공 한다. 5.7 하자 보증 가. 계약자는 정상 작동에 필요한 모든 사항은 우리 기관이 정한 감독관 입회하에 본 제안 요청서 및 규격서에 정한 기간 동안 검수를 시행하여야 하며, 검수 불합격 시는 즉각 결 함 부분을 시정하여 재시행한다.

나. 장비의 보증기간은 인수 후 1년으로 하며 동 기간 안에 설계, 제작, 설치공사 및 재결함 등으로 고장 또는 파손되었을 경우, 계약자는 지정하는 기일 내에 무상으로 신속한 복구 를 하여야 하며, 이때 수리, 개조, 교환된 부품은 교체일로부터 1년간 재보증 하여야 한다. 라. 하자 보증기간 내에 시스템의 펌웨어 및 소프트웨어가 개선된 경우에는 이를 무상으로 제공하고 보증기간 이후에는 실비로 제공한다. 5.8 교육 훈련 가. 본 시스템 운영에 필요한 교육은 시스템 설치가 완료된 후, 무상 실시하여야 하며 교육 진행 프로그램 및 교육일정, 지원내용 등을 규격서에 구체적으로 제시하여야 한다. 나. 시스템 운영에 필요한 교육은 무상보증 기간 내 1회 이상 실시하여야 하고, 교육 내용에 는 장비의 데모 시연 교육이 포함되어야 한다. 다. 계약자는 당 연구원 담당자의 시험 입회 시나 작동 시험 시 본 제품의 운전방법 및 하 자보수 등에 대하여 당 연구원 담당자의 요청이 있을 시 무상으로 추가 교육을 실시하 여야 한다. 5.9 최종 장비 인도 시 제출서류 가. 계약자는 납품 장비의 사용설명서(한글이 없을 경우 영문)를 제출 나. 계약자는 제작사 정품 공급 및 기술지원 확약서 제출 5.10 결제조건 본 시스템은 교육부 예산으로 구입하는 것으로 납품 기한을 꼭 확인하시어 입찰 참가하여야 한 다. 6. 기타 입찰관련 사항 6.1 가격입찰서는 조달청 전자입찰에 의하여 제출되며 부가세 포함금액을 기입한다. 6.2 다음 각 호의 1에 해당하는 입찰은 무효로 한다. - 입찰참가자격이 없는 자가 한 입찰 - 담합하거나 타인의 입찰참가를 방해 또는 관계직원의 업무집행을 방해한 경우 6.3 수요부서와 관련된 기술평가 및 제안요청서 내용 문의 : 한양대학교 에리카 산학협력단 신지나(jnpooh@hanyang.ac.kr, 031-436-6100)

배점·평가

과업·요구

※ 아래의 기본제원과 동일하거나 동등이상일 것

(The specifications should be equivalent or better than the following specifications) 1. 특징 1) 본 장비는 반도체 디스플레이 공정의 핵심 기술인 박막 증착(Thin Film Deposition) 공정을 교육‧연구 목적으로 수행하기 위한 다목적 박막 증착용 스퍼터 시스템 장비이다. 2) 본 장비는 증착 능력, 복잡한 합금을 유지하는 능력이 뛰어나고, 고온에서 내열성 금속의 증착 능력 이 뛰어남. 고 융점 금속이나 합금 등 진공 증착법으로 어려운 재료도 성막이 가능하며 광범위한 재료 에 적용이 가능한 장비이다. 3) 본 장비는 반도체 공정에서 사용하는 장비로써 금속, 산화물, 세라믹 등 다양한 물질의 수 십~수 백 nm의 매우 얇은 물질 층 박막을 제조할 수 있고, 추가적인 여러 차례의 연속 공정이 가능하다. 4) 챔버 내부에는 증착 등으로 인한 오염을 방지하기 위한 크리닝 커버를 포함해야 한다. 5) 기판 온도는 최대 400도이상을 충족하여야 한다. 6) 장비구동에 반드시 필요한 공압과 냉각수에 대한 안전 인터락(Safety Interlock)이 구성되어 있어야 한 다. 7) 장비 제작시 중고품을 사용할 수 없으며, 반드시 신품으로 제작하여야 한다. 8) 본 장비와 동등 또는 동등 이상의 장비로 납품하여야 한다. 2. 성능 및 규격 1) 장비 구성 (1) 진공 챔버 모듈 (2) 진공 모듈 (3) 가스 공급 모듈 (4) 프레임 모듈

2. 장비 상세 규격 (1) 진공 챔버 모듈 • 진공 챔버 - 챔버 재질: Electro-polished SUS - 챔버 형태: 반구형 - 챔버 내부 오염방지를 위한 크리닝 커버 포함 - 챔버 상단 플레이트 개폐 방식: 모터 - 시료(웨이퍼) 장착 방식: 엑세스 도어 개폐를 통한 로딩/언로딩 - 챔버 내부 가스 퍼지(Purge) 및 벤트(Vent) 공정 수행 - 챔버 내부 누수 감지 센서 • 기판 히터 - 히터 종류: Molded heater - 기판 온도: 최대 400도 - 웨이퍼 크기 & 용량: 조각 사이즈부터 최대 6인치 웨이퍼 & 1장 - 기판 회전 방식: 모터 - 기판 회전 속도: 1~20 rpm • 스퍼터 건 - 스퍼터 건 크기 & 수량: 4인치 건 & 3개 - 스퍼터 건 셔터 개폐 방식: 에어 실린더 - Peek 재질로 된 전극 절연체 포함 - 건의 자석이 냉각수와 닿지 않도록 설계되어야 함 - 표면자석 가우스(Gauss) 값: 중앙 자석-4,500G 이상 / 가장자리 자석-3,300G 이상 - 건 백 플레이트 재질: 구리(Cu) (2) 진공 모듈 • 진공 펌프 - 저진공 용 로터리 펌프: 600L/min 동등 또는 이상 • 압력계 - 고진공용 게이지: 핫 음극 이온 게이지(Hot cathode ion gauge) - 저진공용 게이지: 컨벡트론 게이지(Contron gauge) - 게이지 압력 판독기 & 케이블 키트 • 압력 제어 - 자동 압력 컨트롤러(APC) - 전기식 스로틀 밸브(Electrical throttle valve) - 바라트론 게이지(Baratron gauge): 최대 측정 범위 1 Torr 동등 또는 이상 • 진공 밸브 및 라인 - 공압식 게이트 밸브(ISO) - 공압식 앵글 밸브 - 진공 하드 라인 및 벨로우즈 라인 (3) 가스 공급 모듈 • 사용된 가스 & 유량 제어 - 공정용: Ar MFC 1개, O2 MFC 1개 동등 또는 이상 - Purge and vent용: N2 Metering valve 1개 • 가스 밸브 및 라인 - 공압식 다이어프램 밸브 - 튜브 재질: 316L stainless steel, micro-polished - 10-8 Torr·L/sec.의 헬륨(He) 누출 테스트를 통과한 가스 라인으로 제작 (4) 프레임 모듈 • 시스템 프레임 - 재질: 연강(Mild steel) 동등 또는 이상 - 장비의 이동이 쉬운 캐스터 및 레벨링 풋 부착

2. 부속품 (Accessory) - 장비 사용 매뉴얼 (출력물 1부, PDF 파일) 3. 공정 조건 (1) Leak rate: 1×10-8 Torr·L/sec 이하 (2) Substrate temperature uniformity : ±< 1.5% (@ wafer 400도, 6인치 TC wafer, 9 point, Ar 30sccm, 5 mtorr, edge 5mm 제외, (max-min)/2 average) (3) Ti 박막 두께 균일성 - 웨이퍼 내(Within wafer) : 1,500ű5% @6인치 (E/E : 5mm) - 재현성(Wafer to wafer) : 1,500ű5% @6인치 (E/E : 5mm) (4) 구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출) (5) 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(타켓물질, 가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함. 3. 표준 및 부속품 1. 다목적 박막 증착용 스퍼터 시스템 1 대 2. 장비 사용 매뉴얼 (출력물 1부, PDF 파일) 4. 용도 및 AS기간 등 - 용도 : 반도체 디스플레이 공정의 핵심 기술인 박막 증착(Thin Film Deposition) 공정 교육‧연구 목적 - 하자보증기간 : 장비 납품 후 1년 - 교육 : 납품 후 장비 운영에 대한 교육이 이루어져야 하며, 일정은 상호 협의하여 결정 - 납기 : 계약 후 180일 - 납품 장소 : 수요자 지정 장소 - 본 장비는 상기 규격 동등 이상의 장비로 납품이 가능하며, 납품 업체는 계약 전 공급하고자 하는 장 비의 규격을 수요자에게 제출하여 공고 규격과 부합여부를 반드시 확인 후 계약 & 납품하여야 함

참가자격

니다. ○ 「전자조달의 이용 및 촉진에 관한 법률」 제11조제4항 및 같은 법 시행령 제5조제6항, 「조달청 협상 에 의한 계약 제안서 평가 세부기준」 제6조의2 및 제7조를 준용하여 처리합니다. ○ 입찰자는 수요기관에서 요구할 경우 제안서 내용이 수록된 CD/USB 또는 인쇄물형태의 제안서를 추가 제출하여야 합니다.

4. 입찰참가자격

아래의 입찰참가자격을 모두 갖춘 자이어야 합니다. - 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정에 따라 반드시 전자입찰서 제출 마감일 전일까지 나라장터(G2B 시스템)에 아래의 사항을 입찰참가자격으로 등록한 자 - 입찰참가자격등록 마감일시까지 다목적 박박 증착용 스퍼터 시스템 (세부품명번호 10자리 2399039801(다목적 박막 증착용 스퍼터 시스템)을 제조물품으로 입찰참가 등록한 자

※ 입찰참가자격등록

○ (등록장소) 조달청 조달등록팀 또는 각 지방조달청 경영지원과(팀) ○ (입찰참가자격 등록) 조달청 경쟁입찰참가자격 등록은 수시로 가능하며, 입찰참가를 위해서는 전자입찰서 제출마감일 전일 18:00까지 등록을 하여야 합니다. 등록절차와 나라장터 이용안내는 정부조달콜센터(☎ 1588-0800로 문의하시기 바랍니다. ○ (안전입찰) 입찰참가자는 전자입찰 시 「국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서」 제7조 제1항 제 1-2호에 따라 나라장터 안전입찰서비스를 사용(이용자 선택사항)하여 입찰에 참가할 수 있으며, 이 경우 미리 해당 소프트웨어를 설치하여야 합니다. (자세한 사항은 안전 입찰서비스 유의사항 안내 참고) ○ (지문인식) 이 입찰은 「지문인식신원확인입찰」이 적용되므로 개인인증서를 보유한 대표자 또는 입 찰대리인은 「국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서」 제7조제1항제5호에 따라 미리 지문정보 를 등록하여야 전자입찰서 제출이 가능합니다. 다만, 지문인식신원확인 입찰이 어려운 자는 「국가 종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서」 제7조제1항제7호 및 제8호의 절차에 따라 예외적으로 개 인인증서에 의한 전자입찰서 제출이 가능합니다. ○ 다음에 해당하는 자는 입찰참가자격이 없음 -「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제27조의5 및 같은 법 시행령 제12조제3항에 따라 ‘조세포탈 등을 한 자’로서 유죄판결이 확정된 날부터 2년이 지나지 아니한 자 *입찰자는 같은 법 시행령 제12조제3항 각 호에 해당하지 아니한다는 서약서를 입찰시 제출하여야 합니다. 만일 서약내용이 허위로 판명될 경우 계약의 해제ㆍ해지를 당할 수 있고, 부정당업자 입찰참가자격제한처분을 받을 수 있습니다. (서약서 제출은 전자입찰 시 정해진 서식에 따라 송신한 입찰서로 서약서 제출을 대신합니다.)