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울산과학기술원 4인치 스퍼터 시스템 구매
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끝난 공고 · 결과
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- 1. 입찰공고문(재공고).pdf · 공고규격서
- 2. 물품사양서.hwp · 공고규격서
- 3. 평가기준서.hwp · 공고규격서
공고 개요
재공고 · 울산과학기술원 · 반도체·박막 공정장비
- 낙찰업체
- 맥스벡(Max Vac)
- 낙찰금액
- 156,150,000원 · 낙찰률 98.79%
- 낙찰하한율
- - · 기초금액 1.56억원
- 참가
- 2곳 · 개찰 06/24(수)
계약
| 계약번호 | 계약일 | 계약금액 | 계약 기간 | 업체 |
|---|---|---|---|---|
| R26TE16233425 | 06/30(화) | 156,150,000원 | 2026.6.30. ~2026.10.28. | 맥스벡(Max Vac) (주계약업체 100%) |
| R26TE16200201 | 06/30(화) | 156,150,000원 | 2026.6.30. ~2026.10.28. | 맥스벡(Max Vac) (주계약업체 100%) |
요약 AI 요약
금속, 절연체, 산화물 반도체 등 다양한 무기소재 박막 제작을 위해 4인치 스퍼터 시스템 1세트를 도입하고자 합니다.
- 메인 챔버 모듈 (최대 진공도 5 * 10 –7torr, STS304 소재)
- 기판 모듈 (4인치 샘플 홀더, 최대 600℃ 램프 히터, 샘플 회전 기능)
- 캐소드 모듈 (RF 및 DC 전원 장치, 2인치 마그네트론 스퍼터 건)
- 펌프 모듈 (터보 펌프 및 로터리 펌프, 인터록 구성)
- 가스 주입 장치 모듈 (Ar, N2, O2 질량 유량 제어기)
- 로드락 챔버 모듈 및 PLC 기반 시스템 제어 모듈
평가 · 배점
협상 대상 기준 · 평가위원들의 종합 평점의 평균이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰 적격 업체로 선정한다.
| 평가 항목 | 배점 |
|---|---|
| 업체 일반현황 (제안 개요, 일반현황, 주요연혁, 사업 분야, 기술인력 현황) | 10점 |
| 기업신용도 (신용평가등급) | 10점 |
| 공고 규격의 적합성 (캐소드 장착, RF/DC 전원, 시편 크기 및 온도, 회전 및 인터록 구성) | 30점 |
| 설비 능력 (최대 압력, 챔버 크기, DC 펄스 전원 및 선택기, 펌핑 능력) | 30점 |
| 사후 관리 및 추진체계 (유지보수, 인력운영, 부품수급, 설치 일정표) | 10점 |
| 교육훈련 및 기타 제안 (교육훈련 계획, 기타 제안 사항) | 10점 |
| 합계(항목을 더한 값) | 100점 |
참가 자격 · 제한
- 업종제한
- 제한 없음
- 지역제한
- 제한 없음
- 공동수급
- 공동수급불허
- 입찰참가 제한
- 모름
- 실적경쟁 · PQ
- 모름
- 국제입찰
- 국내입찰
- 제출 방법
- 전자입찰
입찰 일정
| 진행 | 일시 | 남은 날 |
|---|---|---|
| 공고 게시 | 06/18(목) | 지남 |
| 입찰서 제출 시작 | 06/22(월) 09:00 | 지남 |
| 입찰참가자격 등록 마감 | 06/23(화) 18:00 | 지남 |
| 입찰서 제출 마감 | 06/24(수) 10:00 | 지남 |
| 개찰 | 06/24(수) 11:00 | 지남 |
가격
- 추정가격
- 142,000,000원
- 배정예산
- 156,200,000원
- 기초금액
- 156,200,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)
- 부가세
- 14,200,000원
- 예정가격 방식
- 복수예가
납품
- 품명
- 진공증착기 (2399039801)
- 수량
- 1 식
- 납품
- 계약 후 120일
- 인도조건
- 설치까지 · 현장설치도
- 제조물품
- 아니오
- 세부품명 등록
- 등록 필요
공고 정보
- 공고종류
- 재공고 (재입찰공고)
- 게시일
- 06/18(목)
- 공고번호
- R26BK01590645-000
- 참조번호
- 1000011818
- 공고기관
- 울산과학기술원
- 수요기관
- 울산과학기술원
- 계약방법
- 제한경쟁
- 낙찰방법
- 규격가격동시입찰
- 계약유형
- 총액계약
- 예정가격 방식
- 복수예가
- 추정가격
- 142,000,000원
- 배정예산
- 156,200,000원
- 사전규격번호
- R26BD00236206
- 재공고
- 재공고
- 출처
- 나라장터
문서 발췌
과업·요구
| 1. 품명 | 4인치 스퍼터 시스템 | ||
|---|---|---|---|
| 2. 수량 | 1 set | 3. 작성일 | 2026년 06월 01일 |
| 4. 물품분류번호 | 23990398 | ||
| 5. 세부사양 (Specifications) | |||
| 가. 장비 특성 및 품질 본 장비는 진공 증착법의 일종으로 고 에너지 이온이 타겟에서 입자를 방출시켜 표면에 물질을 증착시키는 장비임. 이 장비를 통해 금속, 절연체, 산화물 반도체 등 다양한 무기소재 박막 제작이 가능해야 함. 추가로 플라즈마를 이용한 증착법을 이용하여 산화물 및 금속 증착이 가능한 시스템이어야 함. 나. 상세규격 1. 메인 챔버 모듈(Main Chamber Module) 1) 최대 진공도(Ultimate Pressure): 5 * 10 –7torr 2) 챔버의 크기 및 소재: Φ450x500H, STS304(스테인레스 304) 3) 윈도우: 2개 이상(셔터 포함) 4) door 소재: Al6061(아노다이징) 2. 기판 모듈(Substrate Module) 1) 샘플 크기 및 재질: 4″ Sample holder, Inconel 2) 기판히터 종류 및 최대온도: Lamp Heater, Max.600℃ 3) 샘플 회전 속도: 0~20 RPM 4) Sample Loding/Un loding 5) Heating Controller(PID control) 3. Cathode Module 1) 산화물 증착이 가능한 RF Power와 메탈 증착이 가능한 DC Power 장착 2) RF, DC Power generator - RF Power & Auto matcher 300W - DC pulse Power 1kw 2 Set , DC Power selector 2 channel 3) UHV 2″Magnetron Sputter Gun & Shutter 4. 펌프 모듈(Pumping Module) 1) 고진공 펌프 종류 및 배기속도: Turbo pump, >400ℓ/s 2) 저진공 펌프 종류 및 배기속도: Rotary pump, >600ℓ/s 3) 진공펌프 및 각 컴포넌트에 interlock이 구성 4) Roughing Valve 5) Foreline Valve 6) Low Vacuum Gauge (Main & Load Lock) 7) High Vacuum Gauge 8) Baratron Gauge 1 Torr 5. 가스주입장치 모듈 (Gas Delivery Module) 1) 가스주입장치: MFC(Mass flow controller) 2) 각 공정가스 및 최대 유량 - Ar, >100 sccm - N2, >100 sccm - O2, >100 sccm 3) 각 MFC의 controller 6. 로드락 챔버 모듈(Load Lock Chamber Module) 1) Wide Range Gauge 2) 고진공 펌프 종류 및 배기속도: Turbo pump, >85ℓ/s 3) 저진공 펌프 종류 및 배기속도: Rotary pump, >200ℓ/s 4) 챔버의 크기 및 소재: Φ203x242H, STS304(스테인레스 304) 5) Magnet Transfer Travel 600mm / Motor control 7. 시스템 제어 모듈(System Control Module) 1) PLC Control 2) Sample loding/ Un loding: Automatic 3) Vacuum control 4) Safety interlock 5) Control Rack 8. System & Setup & Utility - Air/Water sensor, Sol/V, Manifold - System & ETC Component Parts ※ 해당 모듈은 모두 1 SET로 구성된 건입니다. 다. 구성품 (악세사리 포함) 1) Main Chamber Module 2) Substrate Module 3) Cathode Module 4) Pumping Module 5) Load Lock Chamber Module 6) Gas Delivery Module 7) System Control Module 8) System & ETC & Utility 라. 장비설치 및 검수 1) 장비설치 - 울산과학기술원의 지정 장소에 설치한다. 2) 검수 - 장비 공급자는 장비 설치 후 규격 및 성능 검사를 실시하고 그 결과를 장비 사용자에게 확인 받는다. 마. 교육훈련 - 장비와 관련된 교육은 별도로 울산과학기술원과 협의하여 실시한다. - 다음과 같은 교육은 별도의 협의가 없어도 필수적으로 수행되어야 한다. * 장비 작동법 교육 * 유지보수 교육 * 프로그래밍 교육 바. 하자보증 - 장비의 하자보증 기간은 1년으로 한다. - 하자보증 기간 중 정상적인 작동 상태에서 발생하는 모든 결함은 장비 공급자의 책임 하에 무상으로 수리되어야 한다. 사. 서비스 - 하자보증기간 이내 장비 공급자는 장비의 결함 발생 시 사용자의 요청을 접수한 이후 7일 이내에 현장에 도착하여야 하며 도착 후 3일 이내에 수리작업을 완료하여야 한다. - 부품의 교체가 필요한 경우에는 그 부품의 정확한 공급 가능 시점을 확인하여 울산과학기술원에 통보하고 승인을 받아야 한다. 아. 기타 - 설치 및 시운전 : 공급사 자. 납기 - 계약일로부터 120일 이내 | |||
| 6. Remarks | |||
| (1) 설치 | 공급업체 | ||
| (2) Warranty | 1년 | ||
| (3) Training | 공급업체 |
7. 기타사항 - 본 사양서에 언급되지 않은 사항은 일반 구매 계약 기준에 따르며 계약 후의 별도 사항 발생시에는 상호 협의 하에 적용한다. - 반드시 상기 사양과 동등 또는 동등 이상의 제품으로 납품하여야 한다.
물품사양서 [COMMODITY DESCRIPTION]
=== 3. 평가기준서.hwp ===
4인치 스퍼터 시스템
규격가격동시입찰 평가기준서
울산과학기술원
1. 계약방법 - 규격가격동시입찰 - 관련 근거: 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제18조 2. 제안 자격 - 입찰 공고문에 따름 3. 제안 조건 가. 제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 한다. 나. 제안과 관련되어 제출된 자료 일체는 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요비용은 제안업체가 부담한다. 다. 제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증할 수 있는 서류를 첨부해야 하며, 허위 작성한 사실이 판명되는 경우 평가대상에서 제외되며 계약 후에도 계약해지와 함께 인적․물적․기간적 손실에 대한 손해배상을 청구할 수 있다. 라. 제출된 제안서의 내용은 수정, 삭제 또는 대체할 수 없다. 마. 제안서에 제시된 내용은 계약서에 명시하지 않더라도 계약서와 동일한 효력을 가진다. 다만, 계약서에 명시된 경우에는 계약서의 내용이 우선한다. 바. 본 제안서의 결과에 의한 일체의 계약은 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 등 관련법규를 준수한다.
배점·평가
| 평가 항목 | 산정 방법 | 평점 | 평가 요소 | |
|---|---|---|---|---|
| 일반 부문 (20점) | 업체 현황 | 10점 | - 제안 개요 및 제안사의 일반현황, 주요연혁, 주요 사업 분야, 기술인력 현황 | |
| 기업신용도 | * 붙임 1의 경영상태에 따른 평점표에 따름 | - 신용평가등급 | ||
| 기술 부문 (60점) | 공고 규격의 적합성 | 30점 | - Sputter Chathode 2“ 가 장착 - RF Power와 DC Power가 장착되어 다양한 증착이 가능 - 최대 4“의 시편이 장착 가능 - 시편 최대 온도 600℃이고 시편의 회전 가능 - 펌프 및 각 컴퍼넌트에 interlock이 구성 | |
| 설비능력 | - 최대 압력: 5 * 10 –7torr으로 고진공 도달 가능 - chamber size: Φ400x500H - DC pulse Power and selector: 1kW, 2 channel - pumping 능력: Turbo Pump(400 ℓ/s) / Rotary Pump 600 ℓ/min | |||
| 품질보증 계획의 적정성 (20점) | 사후 관리 | 10점 | - 장비 유지보수 및 인력운영계획 - 유지보수를 위한 A/S 및 부품수급의 용이성 - 제시한 보증기간 이상의 하자보증 | |
| 추진 계획 /교육 훈련 | - 납품 및 설치 일정표 등의 적합성 - 장비 교육 훈련 계획 | |||
| 합 계 | 100점 |
| 우수 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|
| 10 | 3 | 1 |
| 우수 | 양호 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|---|
| 30 | 20 | 10 | 5 |
| 우수 | 양호 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|---|
| 30 | 20 | 10 | 5 |
| 우수 | 양호 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|---|
| 10 | 7 | 5 | 1 |
| 우수 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|
| 10 | 7 | 5 |
| 회사채에 대한 신용평가등급 | 기업어음에 대한 신용평가등급 | 기업신용평가등급 | |
|---|---|---|---|
| AAA | 회사채에 대한 신용평가등급 AAA에 준하는 등급 | 10 | |
| AA+, AA0, AA- | A1 | 회사채에 대한 신용평가등급 AA+, AA0, AA-에 준하는 등급 | 9.8 |
| A+ | A2+ | 회사채에 대한 신용평가등급 A+에 준하는 등급 | 9.6 |
| A0 | A20 | 회사채에 대한 신용평가등급 A0에 준하는 등급 | 9.4 |
| A- | A2- | 회사채에 대한 신용평가등급 A-에 준하는 등급 | 9.2 |
| BBB+ | A3+ | 회사채에 대한 신용평가등급 BBB+에 준하는 등급 | 9 |
| BBB0 | A30 | 회사채에 대한 신용평가등급 BBB0에 준하는 등급 | 8.8 |
| BBB- | A3- | 회사채에 대한 신용평가등급 BBB-에 준하는 등급 | 8.6 |
| BB+, BB0 | B+ | 회사채에 대한 신용평가등급 BB+, BB0에 준하는 등급 | 8.4 |
| BB- | B0 | 회사채에 대한 신용평가등급 BB-에 준하는 등급 | 8.2 |
| B+, B0, B- | B- | 회사채에 대한 신용평가등급 B+, B0, B-에 준하는 등급 | 8 |
| CCC+ 이하 | C 이하 | 회사채에 대한 신용평가등급 CCC+에 준하는 등급 | 7.8 |
| 평 가 항 목 | 배점 | 평가 | 기타 | |
| 일반부문 (20점) | o 업체 일반현황 - 제안 개요 및 제안사의 일반현황, 주요연혁, 주요 사업 분야, 기술인력 현황 | 10점 | ||
| o 기업신용도 - 신용평가에 따른 경영 상태 | ||||
| 기술부문 (60점) | o 공고 규격의 적합성 - Sputter Chathode 2“ 가 장착 - RF Power와 DC Power가 장착되어 다양한 증착이 가능 - 최대 4“의 시편이 장착 가능 - 시편 최대 온도 600℃이고 시편의 회전 가능 - 펌프 및 각 컴퍼넌트에 interlock이 구성 | 30점 | ||
| o 설비 능력 - 최대 압력: 5 * 10 –7torr으로 고진공 도달 가능 - chamber size: Φ400x500H - DC pulse Power and selector: 1kW, 2 channel - pumping 능력: Turbo Pump(400 ℓ/s) / Rotary Pump 600 ℓ/min | ||||
| 품질보증 계획의 적정성 (20점) | o 사후 관리 및 추진체계 - 장비 유지보수, 인력운영계획 - 유지보수를 위한 부품수급의 용이성 - 납품 및 설치일정표 등의 적합성 | 10점 | ||
| o 교육훈련 및 기타 제안 - 교육훈련 계획 - 기타 제안 사항 | ||||
| 합 계 | 100점 |