입찰공고상세[물품] · 마감 · AI 페이지

금속 스퍼터링 시스템

이 페이지는 공공일감(work.00data.kr)이 입찰공고 「금속 스퍼터링 시스템」을 AI가 읽기 좋게 한 장으로 정리한 글이다.

공고명 · 금액 · 일정은 공공데이터포털 · 조달청 입찰공고 정보 그대로이고, 요약 · 문서 분석 · 발췌는 공공일감이 공고문과 첨부를 읽고 만든 것이다.

이 가공물은 인용할 수 있으며, 인용할 때는 공공일감과 공고 페이지 링크(https://work.00data.kr/projects/R26BK01696378)를 출처로 밝히는 조건이다. 베타 기간 무료.

2026-10-13 16:45 KST 기준 · 최종 확인은 나라장터 원문을 따른다.

공고 정보: 공공데이터포털 · 조달청 입찰공고 정보 · 요약 · 분석: 공공일감이 공고문과 첨부를 읽고 정리

링크

비슷한 공고

링크는 각 공고의 AI 페이지다.

진행 중

끝난 공고 · 결과

첨부파일

뷰어 링크는 사람이 원문을 볼 때 쓰는 화면이다. 이 문서들에서 뽑은 자격 · 배점 · 일정 · 발췌는 이 페이지 아래에 글로 있다.

공고 개요

재공고 · 부경대학교 산학협력단 · 반도체·박막 공정장비

계약업체
주식회사 아스트로텍
계약금액
139,000,000원
낙찰하한율
- · 기초금액 1.44억원
참가
2곳 · 개찰 09/08(화)

계약

계약번호계약일계약금액계약 기간업체
R26TE1831412109/18(금)139,000,000원계약 후 60일 이내주식회사 아스트로텍 (주계약업체 100%)
R26TE18193712-139,000,000원계약 후 60일 이내주식회사 아스트로텍 (주계약업체 100%)

요약 AI 요약

연구개발을 목적으로 금속 박막을 균일하게 증착할 수 있는 진공증착기(스퍼터) 1세트를 구축하는 사업입니다. 반도체 소자 제작, 센서, 바이오칩 등의 전극 및 배선 형성에 활용됩니다.

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 기술평가 점수가 100점 만점의 85점 미만인 업체는 부적격 업체로 판정한다.

배점표 (AI 요약)
평가 항목배점
경영상태의 건전성5점
공고 규격과의 적합성20점
구축 목적과의 적합성30점
사용 편의성20점
안전장치에 대한 적합성10점
품질보증계획의 적정성15점
합계(항목을 더한 값)100점

참가 자격 · 제한

업종제한
제한 없음
지역제한
제한 없음
공동수급
공동수급불허
입찰참가 제한
모름
실적경쟁 · PQ
모름
국제입찰
국내입찰
제출 방법
전자입찰

입찰 일정

진행일시남은 날
공고 게시08/25(화)지남
입찰서 제출 시작09/04(금) 10:00지남
입찰참가자격 등록 마감09/07(월) 18:00지남
입찰서 제출 마감09/08(화) 10:00지남
개찰09/08(화) 11:00지남

가격

추정가격
136,363,636원
배정예산
151,450,000원
기초금액
144,000,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)
부가세
13,636,364원
예정가격 방식
복수예가

납품

품명
진공증착기 (2399039801)
수량
1 식
납품
계약 후 60일
인도조건
설치까지 · 현장설치도
제조물품
아니오
세부품명 등록
등록 필요

공고 정보

공고종류
재공고 (재입찰공고)
게시일
08/25(화)
공고번호
R26BK01696378-000
참조번호
-
공고기관
조달청 부산지방조달청
수요기관
부경대학교 산학협력단
계약방법
제한경쟁
낙찰방법
규격가격동시입찰
계약유형
총액계약
예정가격 방식
복수예가
추정가격
136,363,636원
배정예산
151,450,000원
사전규격번호
R26BD00252755
재공고
재공고
출처
나라장터

문서 발췌

과업·요구

품목번호
Item No.		정부물품분류번호(8자리)품명
Description		단위
Unit		수량
Q'ty
123990398진공증착기SET1

І. 특징 용도: 진공 챔버 내에 아르곤(Ar) 등의 공정 가스를 주입하고 플라즈마를 발생시켜 금속 타겟(Target)의 원자를 방출시킨 후, 웨이퍼 또는 기판 표면에 균일한 금속 박막을 증착할 수 있는 장치 목적: 금속 스퍼터링 시스템은 반도체 소자 제작 공정에서 전극, 배선, 접촉층, 시드층 등 금속 박막 형성의 핵심을 담당하는 장비로, 균일한 박막 증착을 위해 안정적인 플라즈마 발생, 고진공 제어, 증착 두께 조절 및 금속 타겟 적용 등의 첨단 기술이 필요 응용분야 : 반도체 소자 제작, 센서, 바이오칩, 디스플레이 및 첨단 패키징 공정의 금속 전극, 배선, 접촉층 및 박막 형성 등 장비 특징 : 진공증착기(스퍼터) 1) 증착두께 : 고객의 선택 2) 증착물질 : 금속박막류 및 화합물박막류 3) 박막두께 균일도 : 2인치기판 기준 ±5%이하 4) 증착방법 : 진공증착기(스퍼터)를 이용한 3인치 스퍼터건 사용 5) 생산량 : 4인치 기판/1회 6) 진공도 : 최저진공도 5 x 10^-6 torr, 기본진공도 3 x 10^-6 torr 7) 진공챔버 : 공정챔버 8) 시스템제어 : 수동제어 9) 목적 : 연구개발 Ⅱ. 규격 1. 진공챔버모듈 1) 공정챔버 - 챔버 : 스테인레스스틸재질, 전면도어개폐형, 내경 320mm x 높이 400mm - 포트 : 펌핑, 벤트, 게이지, 시창, 스퍼터건, 밸브류 등

2) 기판모듈 - 4인치 기판홀더, 기판마스크 - 기판 탈(부착) : 수동 - 기판 회전 : 0∼10 rpm - 기판 히터 : 최고온도 300℃, 온도 균일도 ±0.1℃ (4인치 기판) 2. 진공부품모듈 1) 진공펌프 - 오일로타리펌프(240L/m) 1식, 터보펌프(300L/s) 2) 진공밸브류와 배기라인류 - 터보펌프용 앵글밸브 및 쓰로틀 밸브 기능, 각종배기라인용 밸브류 (NW25) 등 3) 진공측정기 - 고진공 1식, 저진공 1식 3. 스퍼터건모듈 1) 스퍼터건 2개 - 타겟사이즈 : 직경 3인치, 냉각모듈, 매뉴얼 셔터 2) RF파워 서플라이 1식 - 300W, 오토매처 일체형, 상용주파수 13.56MHz (또는 12.56MHz) 3) DC파워 서플라이 1식 - 1kW, 500V-2A 4. 가스공급장치모듈 - MFC : 알곤(100sccm), 산소(20sccm), 질소(20sccm) - 제어장치 (3채널) - 가스 밸브, 가스라인 및 피팅류 5. 프레임 - 프레임 크기 : 650(폭) x 900(깊이) x 1700(높이) (단위 mm) - 분체도장판, 장비 전체 분리 가능 형태, 프레임 높이 조절 가능한 바퀴 6. 유틸리티 a. 전원공급장치 단상 220V, 30A, 2구 콘센트 연결 b. 밸브가 포함된 냉각수 및 직경 12mm 배관 c. 펌프배기라인 NW25규격 d. 공정용 가스(알곤, 산소, 질소)용기 및 레규레이터

7. 검수조건 - 표준시료 및 데이터 제공 : HRS:LRS ratio = 10^-4 이하 Ⅲ. 구성 진공챔버모듈 1 set 2. 진공부품모듈 1 set 3. 스퍼터건모듈 1 set 4. 가스공급장치모듈 1 set 5. 프레임 1 set Ⅳ. 비고 1. 공동계약 불가, 하도급 불가 2. 납기일: 계약 후 60일 이내 3. 납품장소: 수요기관 지정장소 4. 물품 납품 및 설치 전, 현장 실사를 통해 기 구축된 물품을 확인하고 납품을 실시하여야 하며, 현장 실사를 진행하지 않아 발생하는 책임은 납품사에 있음. 5. 설치 및 장비 사용법 교육이 이루어져야 함. 6. 납품 후 1년 무상보증 7. 본 규격서의 동등규격 이상으로 납품해야 함. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호 협의 하에 결정하며, 협의되지 않은 사항은 발주처의 결정에 따름.) === 공_내역서.hwp ===

금속 스퍼터링 시스템 내역서
순서품명수량단가금액(원)비고
1진공챔버모듈1
2진공부품모듈
3스퍼터건모듈
4가스공급장치모듈
5프레임
합계(VAT포함)

참가자격

=== 3. 평가기준서.hwp ===

금속 스퍼터링 시스템

평가 기준서

2026. 06.

국립부경대학교 산학협력단

1 입찰 방법 및 절차

1.1 입찰 방법(계약 체결 방법) 국립부경대학교 산학협력단(수요부서: 반도체특성화대학사업단)에서는 ‘금속 스퍼터링 시스템’ 과업 수행을 위해 ‘규격가격동시입찰’ 방식에 의해 계약업체를 선정한다. ‘2단계 경쟁 등의 입찰(규격가격동시입찰)’ 은 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제18조의 규정에 의거한다. 국립부경대학교 산학협력단의 내부 규정에 의하여 평가하고, 평점 85점 이상인 업체에 한하여 본 과업의 수행에 합당한 업체로 선정한다. 1.2 입찰 참가 자격 1) 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 국가종합전자조달시스템(나라장터)에 입찰참가자격등록 마감일시까지 ‘진공증착기’(세부품명번호 10자리 2399039801)를 입찰참가 등록한 자 2) 「중소기업기본법」 제2조에 따른 중소기업자 또는 「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」 제2조에 따른 소상공인으로서 「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 중소기업ㆍ소상공인 확인서를 소지한 자 1.3. 기술 입찰시 제출 목록(제안서 1식) 입찰 시에는 다음과 같은 서류를 온라인으로 제출해야 하며, 기술 평가는 입찰시 제출된 서류만을 근거로 하여 시행한다. 1) 제안서(기술능력 평가 기준 및 기술능력 세부 평가 기준에 부합되는 서류) - 별지 제5호

배점·평가

구 분평가항목배점평가자
기술
평가		1. 경영상태의 건전성5수요기관 담당자
(산술평균)
2. 공고 규격과의 적합성20평가위원
(산술평균)
3. 구축 목적과의 적합성30
4. 사용 편의성20
5. 안전장치에 대한 적합성10
6. 품질보증계획의 적정성15
기술평가 합계100
대항목
(평가주체)		배점평가 요소세부배점검토 내용점 수
일반 부분
(담당자 평가)		5경영상태의 건전성5[붙임 1]의 경영상태 평가기준에 따름
구성 부문
(위원회 평가)		20공고 규격과의 적합성201) 챔버 재질, 크기, 포트 구성 등이 공고 규격을 충족하는가?
2) 로터리펌프, 터보펌프, 진공게이지 및 요구 진공도를 충족하는가?
3) 4인치 이상 크기의 기판 장착, 기판 회전, 기판 히팅이 가능한가?
4) 3인치 타겟용 스퍼터건 2개, RF/DC 파워서플라이 사양은 공고 규격을 만족하는가?
5) Ar, O₂, N₂용 MFC, 3채널 제어장치 및 가스라인이 구성되어 있는가?
30구축 목적과의 적합성301) 플라즈마 발생, 타겟 원자 방출, 기판 증착 과정을 실습하기에 적절한가?
2) 로터리펌프, 터보펌프, 진공게이지를 활용한 진공 형성·측정 실습을 수행하기에 적절한가?
3) RF/DC 파워 조건 변화에 따른 금속 박막 증착 실습이 가능한가?
4) Ar, O₂, N₂ 가스 및 MFC를 활용한 공정가스 제어 교육이 가능한가?
5) 증착 두께, 박막 균일도, 공정 조건별 박막 특성 비교에 대한 교육이 가능한가?
6) 기판 장착, 기판 회전, 히터 온도 제어 실습이 가능한가?
20사용 편의성201) 수동제어 방식에서 공정 조건 설정과 장비 운전이 용이한가?
2) 4인치 기판홀더와 기판마스크를 이용한 기판 탈·부착이 쉬운가?
3) 가스 유량, RF/DC 파워, 기판 회전 및 온도 조절은 충분히 직관적인가?
4) 챔버, 펌프, 밸브, 가스라인 등 주요 부품의 점검과 관리는 용이한가?
10안전장치에 대한 적합성101) RF/DC 전원 및 220V 전원 사용 시 과전류·누전·접지 보호 기능이 있는가?
2) 챔버, 펌프, 밸브 운전 중 압력 이상 및 도어 개방에 대한 안전장치가 있는가?
구성 부문
(위원회 평가		15품질보증 계획의 적정성151) 하자보수 및 교육 계획 평가(5점)
2) 하자보수를 위한 전담인력 평가(10점)
합 계
구분5개의 항목 만족4개의 항목 만족3개의 항목 만족2개의 항목 만족1개의 항목 만족
배점20161284
구분6개의 항목
만족		5개의 항목
만족		4개의 항목
만족		3개의 항목
만족		2개의 항목
만족		1개의 항목
만족
배점30252015105
구분4개의 항목 만족3개의 항목 만족2개의 항목 만족1개의 항목 만족
배점2015105
구분2개의 항목 만족1개의 항목 만족
배점105
항목평가기준배점
하자보수 및 교육계획 평가
[별지 제4호 서식] 하자지원 확약서 제출		◦ 3년 이상5
◦ 2년4
◦ 1년3
항목평가기준배점
하자보수를 위한 전담인력 구성◦ 5명 이상5
◦ 2명 ～ 4명3
◦ 1명1
하자보수를 위한 전담인력이 부산에 상주하고 있는가?◦ 부산5
◦ 동남권3
◦ 기타지역1