금속, 산화막 스퍼터 시스템 2종

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끝난 공고 · 결과

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공고 개요

경상국립대학교 산학협력단 · 반도체·박막 공정장비

추정가격

1.81억원

참가자격 등록 마감

09/22(화) 18:00 · 마감

낙찰방법

규격가격동시입찰

참가 자격

제한 없음

무슨 일

금속 스퍼터 시스템 (Pulse DC) 1세트 – 6인치 스퍼터 건, 기판 히터 최대 400°C, 구리 백킹 플레이트, 수동 도어 개폐 챔버 등

요약 AI 요약

본 사업은 차세대 반도체 및 전자소자 제작에 필요한 금속 박막(Ti, Cr, Al, Cu 등)과 산화물 박막(SiO₂, IGZO, ITO 등)의 증착 시스템을 구축하여 전극, 배선, 접착층, 게이트 절연막, 보호막 및 기능성 박막 연구를 수행하기 위한 것이다. 이를 통해 박막의 두께, 균일도, 전기적 특성 및 물성 제어 연구를 지원하고 학생들의 실습 및 장비 운용 교육을 제공하여 전문인력을 양성하고 산학협력 및 국가연구개발사업 수행을 위한 연구 인프라를 구축한다.

• 금속 스퍼터 시스템 (Pulse DC) 1세트 – 6인치 스퍼터 건, 기판 히터 최대 400°C, 구리 백킹 플레이트, 수동 도어 개폐 챔버 등
• 산화막 스퍼터 시스템 (RF) 1세트 – 13.56MHz RF 전원, 600W 출력, 동일 챔버 구조 등
• 진공 챔버 모듈 – Electro-polished SUS 재질, 평면 하류형 구조, 내부 크리닝 커버, 수동 웨이퍼 로딩/언로딩, 퍼지·벤트 기능
• 기판 히터 – 성형 히터, 최대 400도 온도, 웨이퍼 크기 조각~4인치 1장
• 진공 및 가스 공급 모듈 – 터보 분자 펌프 450/sec 이상, 로터리 펌프 600L/min 이상, 도달 압력 5E-7 Torr 이하, Leak rate ≤1x10-8 Torr·L/sec, Ar MFC 및 N2 metering valve 포함
• 제어 및 프레임 모듈 – 수동 제어 패널, 장비 온/오프·비상 스위치, 디스플레이 패널(진공, 압력, 터보 펌프, 가스 흐름, 기판 온도), Mild steel 프레임에 캐스터 및 레벨링 풋

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 상기심사에 의하여 적격입찰자(총점 85점이상)를 선정한다.

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자입찰

입찰 일정

가격

추정가격

181,000,000원

배정예산

199,100,000원

기초금액

195,000,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)

부가세

18,100,000원

예정가격 방식

복수예가

납품

품명

진공증착기 (2399039801)

수량

1 SYS

납품

계약 후 150일

인도조건

설치까지 · 현장설치도

제조물품

아니오

세부품명 등록

등록 필요

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

08/31(월)

공고번호

R26BK01693513-000

참조번호

-

공고기관

조달청 경남지방조달청

수요기관

경상국립대학교 산학협력단

계약방법

제한경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

181,000,000원

배정예산

199,100,000원

사전규격번호

R26BD00258692

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 발췌

과업·요구

가. 품명: 진공증착기 2 sys 나. 장비의 구성(규격): 물품규격서 참고 다. 납품기한: 계약일로부터 150일 이내 3. 입찰참가자격 - 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 국가종합전자조달시스템(나라장터)에 진공증착기(2399039801)를 제조 또는 공급 물품으로 입찰 참가 등록한 자 - 「중소기업기본법」 제2조에 따른 중소기업자 또는 「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」 제2조에 따른 소상공인으로서 「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 중소기업ㆍ소상공인확인서를 소지한 자 4. 입찰자 준수사항 4.1 입찰시 제출서류(규격, 가격동시입찰) 입찰에 참여하고자 하는 자는 본 규격에서 정하는 모든 사항을 숙지하여 구매자 요구사항을 충분히 수용할 수 있어야 하고, 입찰시 입찰자는 경상국립대학교 산학협력단에서 기술평가를 할 수 있도록 다음 서류 및 자료를 입찰공고서에 따라 온라인으로 제출하여야 한다. 만약 기술 제안서가 임의적이거나 다르게 제출되었다면 평가에서 제외될 수 있다. 가. 정량평가 자료(신용평가등급확인서) 나. 정성평가 자료(기술제안서 및 기술제안서에 따른 세부 해설 자료) 다. 기타 참고자료(규격서에 따른 Catalogue 등) 4.2 입찰서 작성 및 평가 가. 입찰서 작성 (1)입찰자는 입찰시 규격 입찰서와 가격입찰서를 구분하여 입찰서를 작성한다. (2)기술제안서에는 제1장 일반사양에 규정한 입찰시 자료제출 내용과 물품규격서에서 규정한 모든 항목의 규격기준에 따라 제안하고자 하는 내용이 명확하고 상세하게 기술된 기술제안서를 작성 제출하여야 한다.

나. 계약자는 본 기술사양서에 명기되지 않았더라도 기능적, 효율적인 운용에 필요한 기기, 예비품, 공구 등은 계약사항에 포함된 것으로 간주하고 납품하여야 한다. 다. 사양에 언급되지 않았으나 장비 구성에 필요한 사항은 본 계약에 포함된 것으로 간주한다. 5.2 계약자의 책무 가. 계약자는 장비의 설계, 제작, 검사, 운반, 설치 및 시운전에 대한 전반적인 책임이 있으며, 모든 부품은 정상동작 상태 하에서 파손 또는 변형이 없이 충분한 강도와 성능을 보장하여야 한다. 나. 장비를 제작 완성함에 있어 꼭 필요한 부분의 누락 또는 생략이 되었을 경우 계약자는 이를 무상으로 보완하여야 한다. 다. 본 사양에 의해 납품된 장비의 하자 등 문제점 발생 시 이에 대한 책임은 계약자에게 있다. 라. 본 제품을 납품하여 설치공사 및 시운전시 계약자 측의 기술자는 제품의 설치 및 시운전을 포함한 정상적인 가동에 필요한 모든 기술적인 업무를 지원하여야 한다. 5.3 포장 및 운반 가. 포장은 운반 및 설치현장의 습도, 기후조건 등을 감안하여 장비 및 부품의 운반 또는 보관 중 손상이 발생하지 않도록 견고한 포장을 하여야 하며, 외부에서 보기 쉬운 곳에 색채 및 기호 등으로 각 기기의 번호, 명칭 등을 표시하여야 한다. 나. 장비의 운반중 장비의 기능 및 성능에 영향을 미치는 손상이 발생했을 경우에는 이에 대한 사후처리 및 원형복구는 계약자의 책임 하에 이행하여야 한다. 5.4 장비의 가동조건 5.5 설치 설치작업 이전에 반드시 설치장소에 대한 기초상태 등 제반 여건을 사전 확인한 후에 기계를 설치하여야 하며, 설치와 관련되는 모든 비용(장비, 인원, 동력 등)은 계약자가 부담한다. 5.6 안전대책 및 책임 계약자는 시운전 완료시까지 제반 안전대책을 수립하여 안전에 대비하여야 하며, 안전사고 발생 시 이에 따른 민․형사상의 책임은 계약자에게 있다. 5.7 산업재산권의 보호

배점·평가

5. 공동수급체의 경우 구성원별 해당 점수에 지분율을 곱한 후 그 점수들을 합산하여 최종 평가하고, 평가 결과 소수점 이하의 숫자가 있는 경우 소수점 다섯째자리에서 반올림 한다. (예) (A사 점수×A사 지분율)+(B사 점수×B사 지분율)… 6. 중소기업협동조합이 입찰에 참여하는 경우 중소기업협동조합의 신용평가등급으로 평가한다. === 과업지시서_금속, 산화막 스퍼터 시스템 2종.hwpx === [별지서식 2] 과업지시서

과업·요구

가. 과 업 명 : 금속·산화막 박막증착용 스퍼터 시스템(2종) 구매 나. 제작수량 : 2 SYS 다. 과업기간 : 계약일로부터 150 일 이내 라. 과업예산 : 199,100,000원 (부가가치세 포함) 마. 과업목적 - 본 장비는 차세대 반도체 및 전자소자 제작에 필수적인 금속 박막(Ti, Cr, Al, Cu 등)과 산화물 박막(SiO₂, IGZO, ITO 등)의 증착 시스템을 구축하여 전극, 배선, 접착층, 게이트 절연막, 보호막 및 기능성 박막에 대한 연구를 수행하기 위한 것을 목적으로 함. - 금속 및 산화물 박막의 증착 공정을 안정적으로 수행할 수 있는 연구 기반을 확보하고, 박막의 두께, 균일도, 전기적 특성 및 물성 제어에 관한 연구를 수행하고자 함. - 반도체 소자, 센서, MEMS, 디스플레이 및 전력반도체 분야의 박막 형성 공정 연구를 지원하고 관련 기술 개발 역량을 강화하고자 함. - 학생들의 반도체 제조공정 실습 및 장비 운용 교육을 지원하여 현장 실무형 전문인력을 양성하고, 산학협력 및 국가연구개발사업 수행을 위한 연구 인프라를 구축하고자 함.

가. 과업내용(규격 등) ❍ 금속 스퍼터 시스템 1세트 1. 진공 챔버 모듈 • 진공 챔버 - 챔버 재질 : Electro-polished SUS - 챔버의 상단에 스퍼터건, 하단에 샘플 스테이지가 배치되는 평면 하류형 구조 - 챔버 내부 오염방지를 위한 크리닝 커버 - 웨이퍼 로딩/언로딩 방식 : 수동으로 도어 개폐 - 챔버 퍼지 & 벤트 (purge & vent) • 기판 히터 - 히터 종류 : 성형 히터 (Molded heater) - 기판 온도 : 최대 400도 - 웨이퍼 크기 & 용량 : 조각 ~ 최대 4인치 웨이퍼 & 1장 • 스퍼터 건 - 스퍼터 건 크기 & 수량 : 6인치 건 & 1개 - 스퍼터 건 개폐 : 에어 실린더(Air cylinder) - 스퍼터 건의 자석이 냉각수와 접촉되지 않도록 설계되어야 함 - 백킹 플레이트 재질 : 구리 2. 전원 공급 모듈 • Pulse DC 전원 공급기 - 출력 전력 : 2kW - 모드 타입 : Pulse-DC, Watt, C.V, C.C - 디지털 전압/암페어 미터 3. 진공 모듈 • 진공 펌프 - 터보 분자 펌프(TMP) : N2에서 450/sec급 동등 또는 이상 - 로터리 펌프(Rotary pump) : 600L/min급 동등 또는 이상 - 도달 압력 : 5E-7 Torr 이하 • 압력계 - 고진공용 게이지 : Hot cathode ion gauge - 저진공용 게이지 : Convectron gauge - 압력 판독기 & 케이블 • 진공 밸브 및 라인 - 진공 밸브 : 공압식 게이트 밸브(메인용) 공압식 앵글 밸브(포어라인, 러핑라인용) - 진공 라인 : 하드 라인(재질 : 스테인레스 스틸)과 벨로우즈(Bellows) 라인으로 구성

4. 가스 공급 모듈 • 사용 가스 & 유량 제어 - 공정 : Ar MFC 1개 동등 또는 이상 - 퍼지 & 벤트 (purge & vent) : N2 Metering valve 1개 동등 또는 이상 • 가스 밸브 및 라인 - 가스 밸브 : 공압식 다이어프램 밸브 - 가스 라인 : 10-8 Torr·L/sec.의 누출 테스트를 통과한 가스 라인들로 제작 (재질 : 316L stainless steel, micro-polished) 5. 제어 모듈 • 시스템 제어 - 시스템은 수동으로 제어 • 메인 프레임 - 장비 온/오프 버튼, 긴급 비상 스위치 버튼 - 시스템 회로도 - Pulse DC 전원 제어 패널 - 진공 및 압력 디스플레이 패널 - 터보 펌프 디스플레이 패널(제어가능) - 가스 흐름 디스플레이 패널(제어가능) - 기판 온도 조절 패널 6. 프레임 모듈 - 재질 : Mild steel - 장비의 이동이 쉬운 캐스터 및 레벨링 풋 부착 ● 공정 조건 - 진공도 : 5E-7 Torr 이하 - Leak rate : 1x10-8 Torr·L/sec 이하 - Substrate temperature uniformity : ±< 2% (@ wafer 400도, 4인치 TC wafer, 5 point, Ar 30sccm, 5mtorr, edge 5mm 제외, (max-min)/2 average) - Ti 박막 두께 균일성 Thichness uniformity : ±5%이하 @4인치, 1,500Å (E/E : 5mm), (max-min)/2 average×100) - 구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출) - 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설 (타켓물질, 가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함. ❍ 산화막 스퍼터 시스템 1세트

3. 진공 모듈 • 진공 펌프 - 터보 분자 펌프(TMP) : N2에서 450/sec급 동등 또는 이상 - 로터리 펌프(Rotary pump) : 600L/min급 동등 또는 이상 - 도달 압력 : 5E-7 Torr 이하 • 압력계 - 고진공용 게이지 : Hot cathode ion gauge - 저진공용 게이지 : Convectron gauge - 압력 판독기 & 케이블 • 진공 밸브 및 라인 - 진공 밸브 : 공압식 게이트 밸브(메인용) 공압식 앵글 밸브(포어라인, 러핑라인용) - 진공 라인 : 하드 라인(재질 : 스테인레스 스틸)과 벨로우즈(Bellows) 라인으로 구성 4. 가스 공급 모듈 • 사용 가스 & 유량 제어 - 공정 : Ar MFC 1개 동등 또는 이상 - 퍼지 & 벤트 (purge & vent) : N2 Metering valve 1개 동등 또는 이상 • 가스 밸브 및 라인 - 가스 밸브 : 공압식 다이어프램 밸브 - 가스 라인 : 10-8 Torr·L/sec.의 누출 테스트를 통과한 가스 라인들로 제작 (재질 : 316L stainless steel, micro-polished) 5. 제어 모듈 • 시스템 제어 - 시스템은 수동으로 제어 • 메인 프레임 - 장비 온/오프 버튼, 긴급 비상 스위치 버튼 - 시스템 회로도 - RF 전원 제어 패널 - 진공 및 압력 디스플레이 패널 - 터보 펌프 디스플레이 패널(제어가능) - 가스 흐름 디스플레이 패널(제어가능) - 기판 온도 조절 패널

가. 산화막 스퍼터 시스템은 RF Sputter 방식을 이용하여 진공 환경에서 SiO₂ 등의 산화물 타겟에 플라즈마를 형성하여 기판 표면에 박막을 증착할 수 있도록 제작되어야 한다. 나. 금속 스퍼터 시스템은 Pulse DC Sputter 방식을 이용하여 진공 환경에서 Ti, Cr, Al, Cu 등의 금속 박막을 기판 표면에 증착할 수 있도록 제작되어야 한다. 다. 안정적인 플라즈마 형성과 균일한 박막 증착이 가능하도록 제작되어야 한다. 라. 장비의 진공도, RF 및 Pulse DC 파워, 공정 압력 및 가스 유량을 제어할 수 있도록 제작되어야 한다. 마. 과업지시서에 명기되지 않은 사항으로 불가피하게 과업내용을 변경하여야 할 때는 상호 협의하여 결정한다. 바. 과업 수행 중 자료의 보안 관리에 철저를 기해야 하며, 보안사항 불이행으로 발생되는 모든 책임은 과업 수행자가 부담해야 한다. 사. 최종 성과품 납품은 경상국립대학교 산학협력단의 검사가 완료된 후 납품하여야 한다.

- 스퍼터 건 개폐 : 에어 실린더(Air cylinder) - 스퍼터 건의 자석이 냉각수와 접촉되지 않도록 설계되어야 함 - 백킹 플레이트 재질 : 구리 2. 전원 공급 모듈 • Pulse DC 전원 공급기 - 출력 전력 : 2kW - 모드 타입 : Pulse-DC, Watt, C.V, C.C - 디지털 전압/암페어 미터 3. 진공 모듈 • 진공 펌프 - 터보 분자 펌프(TMP) : N2에서 450/sec급 동등 또는 이상 - 로터리 펌프(Rotary pump) : 600L/min급 동등 또는 이상 - 도달 압력 : 5E-7 Torr 이하 • 압력계 - 고진공용 게이지 : Hot cathode ion gauge - 저진공용 게이지 : Convectron gauge - 압력 판독기 & 케이블 • 진공 밸브 및 라인 - 진공 밸브 : 공압식 게이트 밸브(메인용) 공압식 앵글 밸브(포어라인, 러핑라인용) - 진공 라인 : 하드 라인(재질 : 스테인레스 스틸)과 벨로우즈(Bellows) 라인으로 구성 4. 가스 공급 모듈 • 사용 가스 & 유량 제어 - 공정 : Ar MFC 1개 동등 또는 이상 - 퍼지 & 벤트 (purge & vent) : N2 Metering valve 1개 동등 또는 이상 • 가스 밸브 및 라인 - 가스 밸브 : 공압식 다이어프램 밸브 - 가스 라인 : 10-8 Torr·L/sec.의 누출 테스트를 통과한 가스 라인들로 제작 (재질 : 316L stainless steel, micro-polished)

5. 제어 모듈 • 시스템 제어 - 시스템은 수동으로 제어 • 메인 프레임 - 장비 온/오프 버튼, 긴급 비상 스위치 버튼 - 시스템 회로도 - Pulse 전원 제어 패널 - 진공 및 압력 디스플레이 패널 - 터보 펌프 디스플레이 패널(제어가능) - 가스 흐름 디스플레이 패널(제어가능) - 기판 온도 조절 패널 6. 프레임 모듈 - 재질 : Mild steel - 장비의 이동이 쉬운 캐스터 및 레벨링 풋 부착 C. 구성(Composition) - 금속 스퍼터 시스템 1세트 1. 진공 챔버 모듈 (1세트) 2. 전원 공급 모듈 (1세트) 3. 진공 모듈 (1세트) 4. 가스 공급 모듈 (1세트) 5. 제어 모듈 (1세트) 6. 프레임 모듈 (1세트) D. 부대용품(Accessory) - 장비 사용 매뉴얼 (출력물 1부, PDF 파일) - 주요 부품 OEM 매뉴얼 E. 기타(Remarks) l 공정 조건 - 진공도 : 5E-7 Torr 이하 - Leak rate : 1x10-8 Torr·L/sec 이하 - Substrate temperature uniformity : ±< 2% (@ wafer 400도, 4인치 TC wafer, 5 point, Ar 30sccm, 5mtorr, edge 5mm 제외, (max-min)/2 average) - Ti 박막 두께 균일성 Thichness uniformity : ±5%이하 @4인치, 1,500Å (E/E : 5mm), (max-min)/2 average×100) - 구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출) - 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설 (타켓물질, 가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함. l 규격서 상의 동등 성능 이상의 사양으로 납품이 가능함 l 납품 : 사용자가 지정하는 장소에 공급자가 설치, 시운전함 l 납품 기한 : 계약 후 150일 l 하자보증기간 : 장비 납품 후 1년 소속:반도체공학과 직급:조교수 요구자 성명:이정규 (인) 연구책임자 성명:강석근 (인)

- 스퍼터 건 개폐 : 에어 실린더(Air cylinder) - 스퍼터 건의 자석이 냉각수와 접촉되지 않도록 설계되어야 함 - 백킹 플레이트 재질 : 구리 2. 전원 공급 모듈 • RF 전원 공급기 - 주파수 : 13.56MHz - 출력 전력 : 50Ω에서 600W - 냉각 : 공랭식 - 디지털 RF 전력계 • RF 매칭 유닛 - 주파수 : 13.56MHz - 작동 유형 : 자동 - 냉각 : 공랭식 - RF 매칭 선택 스위치 3. 진공 모듈 • 진공 펌프 - 터보 분자 펌프(TMP) : N2에서 450/sec급 동등 또는 이상 - 로터리 펌프(Rotary pump) : 600L/min급 동등 또는 이상 - 도달 압력 : 5E-7 Torr 이하 • 압력계 - 고진공용 게이지 : Hot cathode ion gauge - 저진공용 게이지 : Convectron gauge - 압력 판독기 & 케이블 • 진공 밸브 및 라인 - 진공 밸브 : 공압식 게이트 밸브(메인용) 공압식 앵글 밸브(포어라인, 러핑라인용) - 진공 라인 : 하드 라인(재질 : 스테인레스 스틸)과 벨로우즈(Bellows) 라인으로 구성 4. 가스 공급 모듈 • 사용 가스 & 유량 제어 - 공정 : Ar MFC 1개 동등 또는 이상 - 퍼지 & 벤트 (purge & vent) : N2 Metering valve 1개 동등 또는 이상 • 가스 밸브 및 라인 - 가스 밸브 : 공압식 다이어프램 밸브 - 가스 라인 : 10-8 Torr·L/sec.의 누출 테스트를 통과한 가스 라인들로 제작 (재질 : 316L stainless steel, micro-polished)

5. 제어 모듈 • 시스템 제어 - 시스템은 수동으로 제어 • 메인 프레임 - 장비 온/오프 버튼, 긴급 비상 스위치 버튼 - 시스템 회로도 - RF 전원 제어 패널 - 진공 및 압력 디스플레이 패널 - 터보 펌프 디스플레이 패널(제어가능) - 가스 흐름 디스플레이 패널(제어가능) - 기판 온도 조절 패널 6. 프레임 모듈 - 재질 : Mild steel - 장비의 이동이 쉬운 캐스터 및 레벨링 풋 부착 C. 구성(Composition) - 산화물 스퍼터 시스템 1세트 1. 진공 챔버 모듈 (1세트) 2. 전원 공급 모듈 (1세트) 3. 진공 모듈 (1세트) 4. 가스 공급 모듈 (1세트) 5. 제어 모듈 (1세트) 6. 프레임 모듈 (1세트) D. 부대용품(Accessory) - 장비 사용 매뉴얼 (출력물 1부, PDF 파일) - 주요 부품 OEM 매뉴얼 E. 기타(Remarks) l 공정 조건 - 진공도 : 5E-7 Torr 이하 - Leak rate : 1x10-8 Torr·L/sec 이하 - Substrate temperature uniformity : ±< 2% (@ wafer 400도, 4인치 TC wafer, 5 point, Ar 30sccm, 5mtorr, edge 5mm 제외, (max-min)/2 average) - SiO2 박막 두께 균일성 Thichness uniformity : ±5%이하 @4인치, 1,000Å (E/E : 5mm), (max-min)/2 average×100) - 구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출) - 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설 (타켓물질, 가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함. l 규격서 상의 동등 성능 이상의 사양으로 납품이 가능함 l 납품 : 사용자가 지정하는 장소에 공급자가 설치, 시운전함 l 납품 기한 : 계약 후 150일 l 하자보증기간 : 장비 납품 후 1년 소속:반도체공학과 직급:조교수 요구자 성명:차주홍 (인) 연구책임자 성명:강석근 (인)