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울산과학기술원 4인치 스퍼터 시스템 구매
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- 1. 입찰공고문.hwp · 공고규격서
- 1. 입찰공고문.pdf · 공고규격서
- 2. 물품사양서.hwp · 공고규격서
- 3. 평가기준서.hwp · 공고규격서
공고 개요
유찰 · 울산과학기술원 · 반도체·박막 공정장비
- 결과
- 유찰
- 참가
- 0곳 · 개찰 06/18(목)
요약 AI 요약
금속, 절연체, 산화물 반도체 등 다양한 무기소재 박막 제작을 위해 4인치 스퍼터 시스템 1세트를 도입하는 사업입니다.
- 메인 챔버 모듈 (최대 진공도 5 * 10 –7torr, STS304 소재)
- 기판 모듈 (4인치 샘플 홀더, 최대 600℃ 램프 히터, 시편 회전 기능)
- 캐소드 모듈 (RF 및 DC 전원 장치, 2인치 마그네트론 스퍼터 건)
- 펌프 모듈 (터보 펌프 및 로터리 펌프, 인터록 구성)
- 가스 주입 장치 모듈 (Ar, N2, O2 질량 유량 제어기)
- 로드락 챔버 모듈 및 PLC 기반 시스템 제어 모듈
평가 · 배점
협상 대상 기준 · 평가위원들의 종합 평점의 평균이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰 적격 업체로 선정한다.
| 평가 항목 | 배점 |
|---|---|
| 업체 일반현황 | 10점 |
| 기업신용도 | 10점 |
| 공고 규격의 적합성 | 30점 |
| 설비 능력 | 30점 |
| 사후 관리 및 추진체계 | 10점 |
| 교육훈련 및 기타 제안 | 10점 |
| 합계(항목을 더한 값) | 100점 |
참가 자격 · 제한
- 업종제한
- 제한 없음
- 지역제한
- 제한 없음
- 공동수급
- 공동수급불허
- 입찰참가 제한
- 모름
- 실적경쟁 · PQ
- 모름
- 국제입찰
- 국내입찰
- 제출 방법
- 전자입찰
입찰 일정
| 진행 | 일시 | 남은 날 |
|---|---|---|
| 공고 게시 | 06/10(수) | 지남 |
| 입찰서 제출 시작 | 06/16(화) 09:00 | 지남 |
| 입찰참가자격 등록 마감 | 06/17(수) 18:00 | 지남 |
| 입찰서 제출 마감 | 06/18(목) 10:00 | 지남 |
| 개찰 | 06/18(목) 11:00 | 지남 |
가격
- 추정가격
- 142,000,000원
- 배정예산
- 156,200,000원
- 기초금액
- 156,200,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)
- 부가세
- 14,200,000원
- 예정가격 방식
- 복수예가
납품
- 품명
- 진공증착기 (2399039801)
- 수량
- 1 식
- 납품
- 계약 후 120일
- 인도조건
- 설치까지 · 현장설치도
- 제조물품
- 아니오
- 세부품명 등록
- 등록 필요
공고 정보
- 공고종류
- 등록공고 (일반공고)
- 게시일
- 06/10(수)
- 공고번호
- R26BK01572578-000
- 참조번호
- 1000011818
- 공고기관
- 울산과학기술원
- 수요기관
- 울산과학기술원
- 계약방법
- 제한경쟁
- 낙찰방법
- 규격가격동시입찰
- 계약유형
- 총액계약
- 예정가격 방식
- 복수예가
- 추정가격
- 142,000,000원
- 배정예산
- 156,200,000원
- 사전규격번호
- R26BD00236206
- 재공고
- 아니오
- 출처
- 나라장터
문서 발췌
과업·요구
=== 1. 입찰공고문.hwp ===
울산과학기술원 4인치 스퍼터 시스템
입찰공고
2026. 6. 행정처 구매팀 1. 입찰에 부치는 사항 가. 건 명 : 울산과학기술원 4인치 스퍼터 시스템 나. 내 용 : 붙임 물품사양서 참조 다. 납품장소 : 울산과학기술원 지정장소 라. 납품기한 : 계약일로부터 120일 이내 마. 추정가격 : 156,200,000원(*부가세 포함) ※ 본 사업예산은 부가가치세가 포함된 금액이므로, 입찰자가 면세사업자인 경우 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함하여 투찰하여야 하며, 입찰결과 낙찰자가 면세사업자인 경우 낙찰금액에서 부가가치세 상당액을 차감한 금액을 계약금액으로 합니다. 바. 입찰방법 : 제한(총액)규격가격동시 사. 제출방식 : 국가종합전자조달시스템(http://www.g2b.go.kr)시스템을 이용한 전자입찰 및 제안서 제출 2. 주요공지사항 가. 입찰참가자격 관련사항 본 입찰의 가격입찰은 전자입찰로만 가능하며, 가격입찰서를 제출한 입찰자만 제안서를 제출할 수 있습니다. 나. 기타 세부사항은 국가종합전자조달시스템(www.g2b.go.kr) 해당 입찰공고에 첨부된 제안요청서를 반드시 확인하시고, 입찰제반 사항을 확인하신 후 입찰에 참여하시기 바라며 첨부물을 확인 및 숙지하지 않아 발생한 모든 책임은 입찰참가자에게 있음을 알려드리니 이점 유의하시기 바랍니다.
참가자격
다. 유의사항 본 입찰은 전자입찰로만 집행하며 한번 제출한 입찰서는 취소하거나 수정할 수 없습니다. 단, 국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서 제8조에 따라 입찰의 취소를 신청할 수 있습니다. 3. 예정가격 및 낙찰자 결정방법 가. 예정가격은 기초금액을 기준으로 ±2% 범위 내에서 작성된 15개의 예비가격 중 입찰참가자가 추첨(2개씩 선택)한 번호 중 가장 많이 선택된 4개를 산술평균한 금액으로 결정합니다. 나. 낙찰자 선정방법 : 제안서 평가 적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자 ※ 기술(규격)제안서를 평가하여 적격자를 대상으로 가격입찰서를 개찰하고, 예정가격이하 최저가격으로 입찰한 자를 낙찰자로 선정합니다. 다. 동일가격 입찰자는 국가를당사자로하는계약에관한법률시행령 제47조에 따라 계약상대자를 결정합니다. 4. 입찰참가자격 가. 우리 원에서 제시하는 규격에 따라 납품이 가능한 업체 나. 국가종합전자조달(http://www.g2b.go.kr)시스템 전자입찰 이용자 등록을 한 업체 다. 본 입찰은「지문인식 신원확인 입찰」이 적용되므로 개인인증서를 보유한 대표자 또는 입찰대리인은 국가종합전자조달시스템전자입찰특별유의서제10조 제1항 제5호에 따라 미리 지문정보를 등록하여야 전자입찰서 제출이 가능합니다. 다만, 지문인식신원확인 입찰이 곤란한 자는 국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서 제10조 제1항 제6호 및 제7호의 절차에 따라 예외적으로 개인인증서에 의한 전자 입찰서 제출이 가능합니다. 라. 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 국가종합전자조달시스템(나라장터)에 입찰참가자격등록 마감일시까지 아래의 자격을 입찰참가 등록한 자 - 세부품명번호 10자리 2399039801 진공증착기
과업·요구
| 1. 품명 | 4인치 스퍼터 시스템 | ||
|---|---|---|---|
| 2. 수량 | 1 set | 3. 작성일 | 2026년 06월 01일 |
| 4. 물품분류번호 | 23990398 | ||
| 5. 세부사양 (Specifications) | |||
| 가. 장비 특성 및 품질 본 장비는 진공 증착법의 일종으로 고 에너지 이온이 타겟에서 입자를 방출시켜 표면에 물질을 증착시키는 장비임. 이 장비를 통해 금속, 절연체, 산화물 반도체 등 다양한 무기소재 박막 제작이 가능해야 함. 추가로 플라즈마를 이용한 증착법을 이용하여 산화물 및 금속 증착이 가능한 시스템이어야 함. 나. 상세규격 1. 메인 챔버 모듈(Main Chamber Module) 1) 최대 진공도(Ultimate Pressure): 5 * 10 –7torr 2) 챔버의 크기 및 소재: Φ450x500H, STS304(스테인레스 304) 3) 윈도우: 2개 이상(셔터 포함) 4) door 소재: Al6061(아노다이징) 2. 기판 모듈(Substrate Module) 1) 샘플 크기 및 재질: 4″ Sample holder, Inconel 2) 기판히터 종류 및 최대온도: Lamp Heater, Max.600℃ 3) 샘플 회전 속도: 0~20 RPM 4) Sample Loding/Un loding 5) Heating Controller(PID control) 3. Cathode Module 1) 산화물 증착이 가능한 RF Power와 메탈 증착이 가능한 DC Power 장착 2) RF, DC Power generator - RF Power & Auto matcher 300W - DC pulse Power 1kw 2 Set , DC Power selector 2 channel 3) UHV 2″Magnetron Sputter Gun & Shutter 4. 펌프 모듈(Pumping Module) 1) 고진공 펌프 종류 및 배기속도: Turbo pump, >400ℓ/s 2) 저진공 펌프 종류 및 배기속도: Rotary pump, >600ℓ/s 3) 진공펌프 및 각 컴포넌트에 interlock이 구성 4) Roughing Valve 5) Foreline Valve 6) Low Vacuum Gauge (Main & Load Lock) 7) High Vacuum Gauge 8) Baratron Gauge 1 Torr 5. 가스주입장치 모듈 (Gas Delivery Module) 1) 가스주입장치: MFC(Mass flow controller) 2) 각 공정가스 및 최대 유량 - Ar, >100 sccm - N2, >100 sccm - O2, >100 sccm 3) 각 MFC의 controller 6. 로드락 챔버 모듈(Load Lock Chamber Module) 1) Wide Range Gauge 2) 고진공 펌프 종류 및 배기속도: Turbo pump, >85ℓ/s 3) 저진공 펌프 종류 및 배기속도: Rotary pump, >200ℓ/s 4) 챔버의 크기 및 소재: Φ203x242H, STS304(스테인레스 304) 5) Magnet Transfer Travel 600mm / Motor control 7. 시스템 제어 모듈(System Control Module) 1) PLC Control 2) Sample loding/ Un loding: Automatic 3) Vacuum control 4) Safety interlock 5) Control Rack 8. System & Setup & Utility - Air/Water sensor, Sol/V, Manifold - System & ETC Component Parts ※ 해당 모듈은 모두 1 SET로 구성된 건입니다. 다. 구성품 (악세사리 포함) 1) Main Chamber Module 2) Substrate Module 3) Cathode Module 4) Pumping Module 5) Load Lock Chamber Module 6) Gas Delivery Module 7) System Control Module 8) System & ETC & Utility 라. 장비설치 및 검수 1) 장비설치 - 울산과학기술원의 지정 장소에 설치한다. 2) 검수 - 장비 공급자는 장비 설치 후 규격 및 성능 검사를 실시하고 그 결과를 장비 사용자에게 확인 받는다. 마. 교육훈련 - 장비와 관련된 교육은 별도로 울산과학기술원과 협의하여 실시한다. - 다음과 같은 교육은 별도의 협의가 없어도 필수적으로 수행되어야 한다. * 장비 작동법 교육 * 유지보수 교육 * 프로그래밍 교육 바. 하자보증 - 장비의 하자보증 기간은 1년으로 한다. - 하자보증 기간 중 정상적인 작동 상태에서 발생하는 모든 결함은 장비 공급자의 책임 하에 무상으로 수리되어야 한다. 사. 서비스 - 하자보증기간 이내 장비 공급자는 장비의 결함 발생 시 사용자의 요청을 접수한 이후 7일 이내에 현장에 도착하여야 하며 도착 후 3일 이내에 수리작업을 완료하여야 한다. - 부품의 교체가 필요한 경우에는 그 부품의 정확한 공급 가능 시점을 확인하여 울산과학기술원에 통보하고 승인을 받아야 한다. 아. 기타 - 설치 및 시운전 : 공급사 자. 납기 - 계약일로부터 120일 이내 | |||
| 6. Remarks | |||
| (1) 설치 | 공급업체 | ||
| (2) Warranty | 1년 | ||
| (3) Training | 공급업체 |
배점·평가
| 평가 항목 | 산정 방법 | 평점 | 평가 요소 | |
|---|---|---|---|---|
| 일반 부문 (20점) | 업체 현황 | 10점 | - 제안 개요 및 제안사의 일반현황, 주요연혁, 주요 사업 분야, 기술인력 현황 | |
| 기업신용도 | * 붙임 1의 경영상태에 따른 평점표에 따름 | - 신용평가등급 | ||
| 기술 부문 (60점) | 공고 규격의 적합성 | 30점 | - Sputter Chathode 2“ 가 장착 - RF Power와 DC Power가 장착되어 다양한 증착이 가능 - 최대 4“의 시편이 장착 가능 - 시편 최대 온도 600℃이고 시편의 회전 가능 - 펌프 및 각 컴퍼넌트에 interlock이 구성 | |
| 설비능력 | - 최대 압력: 5 * 10 –7torr으로 고진공 도달 가능 - chamber size: Φ400x500H - DC pulse Power and selector: 1kW, 2 channel - pumping 능력: Turbo Pump(400 ℓ/s) / Rotary Pump 600 ℓ/min | |||
| 품질보증 계획의 적정성 (20점) | 사후 관리 | 10점 | - 장비 유지보수 및 인력운영계획 - 유지보수를 위한 A/S 및 부품수급의 용이성 - 제시한 보증기간 이상의 하자보증 | |
| 추진 계획 /교육 훈련 | - 납품 및 설치 일정표 등의 적합성 - 장비 교육 훈련 계획 | |||
| 합 계 | 100점 |
| 우수 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|
| 10 | 3 | 1 |
| 우수 | 양호 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|---|
| 30 | 20 | 10 | 5 |
| 우수 | 양호 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|---|
| 30 | 20 | 10 | 5 |
| 우수 | 양호 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|---|
| 10 | 7 | 5 | 1 |
| 우수 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|
| 10 | 7 | 5 |
| 평 가 항 목 | 배점 | 평가 | 기타 | |
| 일반부문 (20점) | o 업체 일반현황 - 제안 개요 및 제안사의 일반현황, 주요연혁, 주요 사업 분야, 기술인력 현황 | 10점 | ||
| o 기업신용도 - 신용평가에 따른 경영 상태 | ||||
| 기술부문 (60점) | o 공고 규격의 적합성 - Sputter Chathode 2“ 가 장착 - RF Power와 DC Power가 장착되어 다양한 증착이 가능 - 최대 4“의 시편이 장착 가능 - 시편 최대 온도 600℃이고 시편의 회전 가능 - 펌프 및 각 컴퍼넌트에 interlock이 구성 | 30점 | ||
| o 설비 능력 - 최대 압력: 5 * 10 –7torr으로 고진공 도달 가능 - chamber size: Φ400x500H - DC pulse Power and selector: 1kW, 2 channel - pumping 능력: Turbo Pump(400 ℓ/s) / Rotary Pump 600 ℓ/min | ||||
| 품질보증 계획의 적정성 (20점) | o 사후 관리 및 추진체계 - 장비 유지보수, 인력운영계획 - 유지보수를 위한 부품수급의 용이성 - 납품 및 설치일정표 등의 적합성 | 10점 | ||
| o 교육훈련 및 기타 제안 - 교육훈련 계획 - 기타 제안 사항 | ||||
| 합 계 | 100점 |