플라즈마 기반 반도체 공정가스 저감장치 제작

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끝난 공고 · 결과

• [2차] 플라즈마 기반 반도체 공정가스 저감장치 제작 · 한국생산기술연구원 · 낙찰 -
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공고 개요

재공고 · 한국생산기술연구원 · 수처리 설비

낙찰업체

주식회사 지앤비에스에코

낙찰금액

53,130,000원 · 낙찰률 99.958%

낙찰하한율

-

참가

1곳 · 개찰 09/29(화)

계약

요약 AI 요약

반도체·디스플레이·화학·첨단소재 제조공정의 배기라인에서 발생하는 독성가스, 부식성가스, 온실가스를 안전하게 처리하기 위한 플라즈마·습식 복합 방식의 P.O.U(Point Of Use) 스크러버 1대를 제작하는 사업이다. 열분해·산화·중화·흡수 처리기술을 적용해 유해 부산물을 최소화하고 환경규제 및 안전기준을 만족하는 안정적인 배기가스 처리 성능을 제공하는 것이 목표다.

• 플라즈마 토치, 토치 챔버, 반응 챔버, 습식 탱크, 습식 타워, 캐비닛 등으로 구성된 P.O.U 스크러버 본체 제작
• 총 4개의 Inlet Port 구성(미사용 포트는 SUS End Cap 처리)
• AC 220V 3상 입력을 DC 24V 제어전원으로 변환해 PLC·HMI·센서·계장기기에 공급하는 전장부 설계
• 가스 분석기·압력계·온도계·유량계 신호를 PLC에서 수집해 전면 Display로 실시간 모니터링
• 3-Way Valve, Solenoid Valve, Blower, Heater를 PLC로 자동 제어하는 I/O 회로 구성 및 비상정지 시 Bypass 운전이 가능한 Interlock System 적용
• 상위 설비와 Ethernet(Modbus TCP) 통신을 통한 원격 모니터링·제어 및 운전이력·알람·계측데이터 저장·전송 기능

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 플라즈마·습식 복합 POU 스크러버 제작·설치·시운전

물품 › 환경·위생 › 수처리 설비

반도체 공정 배기가스 처리용 POU 스크러버(플라즈마 토치+습식탑)를 제작해 배기라인에 설치·Turn On하는 사업으로, 유해가스 처리 설비 제작이 몸통이다.

• 제작도면 승인용 설계
• 전장부·PLC·HMI·Ethernet(Modbus TCP) 제어부 구성
• 포장·운반
• 현장 설치 및 배관 연결
• 시운전 및 검수 입회
• 운영·유지보수 교육 및 매뉴얼 제공
• 12개월 하자보증 및 A/S

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 기술(규격)제안서를 평가하여 평가위원별 평가점수를 합산하여 최고점수와 최저점수를 제외하고(최저 또는 최고점수가 2개 이상일 때에는 이중 하나만 제외) 산출한 평균점수가 85점 이상인 자를 규격적격자로 결정

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자시담

입찰 일정

가격

추정가격

49,500,000원

배정예산

54,450,000원

부가세

4,950,000원

예정가격 방식

단일예가

납품

품명

세정집진장치 (4016150302)

수량

1 식

인도조건

모름

제조물품

아니오

세부품명 등록

아니오

공고 정보

공고종류

재공고 (재입찰공고)

게시일

09/29(화)

공고번호

R26BK01747747-000

참조번호

P81202600A00

공고기관

한국생산기술연구원

수요기관

한국생산기술연구원

계약방법

수의계약

낙찰방법

수의시담

계약유형

총액계약

예정가격 방식

단일예가

추정가격

49,500,000원

배정예산

54,450,000원

사전규격번호

R26BD00268657

재공고

재공고

출처

나라장터

문서 발췌

I 규격 개요

1. 품명 : Plasma & Wet Type P.O.U (Point Of Use) Scrubber 2. 수량 : 1 EA 3. 특성 및 용도 ㅇ 본 과업은 반도체, 디스플레이, 화학 및 첨단소재 제조공정에서 발생하는 유해가스 및 온실가스의 안전한 처리를 위한 SCR(Scrubber) 제작과 관련한 것으로, 최종적으로 생산설비의 배기라인(Exhaust Line)에 설치되어 공정에서 배출되는 독성가스, 부식성가스 및 온실가스를 처리함으로써 작업환경의 안전성을 확보하고 대기오염물질의 배출을 저감하는 기능을 수행함. ㅇ 또한 공정별 배출가스 특성에 따라 열분해, 산화, 중화 및 흡수 등의 처리기술을 적용하여 유해 부산물의 발생을 최소화하고, 관련 환경규제 및 안전기준을 만족할 수 있도록 안정적인 배기가스 처리 성능을 제공함. ㅇ 장비 운전상태 및 이상상황을 실시간으로 모니터링하고 상위 설비와의 통신을 통해 운전 데이터를 제공하여 반도체 제조설비의 안정적인 운영 및 환경안전 관리에 활용됨. ㅇ 한국생산기술연구원이 요구하는 기능 구현되는 1차 P.O.U SCR 4. 규격 ㅇ 일반 규격 - 한국생산기술연구원이 요구하는 전장부의 기능 구현하되 당사 안전과 관련된 설계 및 기능의 경우, 별도 협의가 필요 - 총 4개의 Inlet Port 구성 (미 사용 Port SUS End Cap 예정 - 발주처에서 제공한 Hook Up Size 및 Service (Maintenance) Area 충족 필요 ㅇ 탑재 부품 - 장비 內 포함된 주요 Parts는 하기 표와 같음 - 당사 장비 기준으로 별도 변경 불가

ㅇ 설계 사양 - 모든 전장부는 유지보수성을 고려하여 배선 덕트 및 단자대를 적용하고, 발열이 발생하는 전장품은 방열 구조 및 냉각팬을 적용하여 안정적인 운전이 가능하도록 설계하여야 함. (Plasma Power 등) - 장비 통합 제어부는 아래와 같은 구성으로 설계 반영이 필요함. - 전원은 AC 220 V(3상을 입력받아 DC 24 V 제어전원을 생성하여 PLC, HMI, 센서 및 계장기기에 공급. - 가스 분석기, 압력계, 온도계 및 유량계의 신호를 PLC에서 수집하여 장비 운전상태를 장비 전면 Display에서 실시간 모니터링. - 3-Way Valve, Solenoid Valve, Blower 및 Heater를 PLC에서 자동 제어할 수 있도록 I/O 회로를 구성. - 비상정지(Alarm) 시 Bypass 운전이 가능하도록 Interlock System 적용. - 상위 설비와 Ethernet(Modbus TCP) 통신이 가능하도록 설계하여 원격 모니터링 및 제어 기능을 제공. - 운전 이력, 알람 및 주요 계측 데이터를 저장하고 상위 시스템으로 전송할 수 있도록 구성. 5. 납품조건 ㅇ 납품장소 : 경기도 평택시 서동대로 3825 평택대학교 연구실험도 1층 ㅇ 납품기한 : 계약일로부터 120일 이내 ㅇ 납품방법 : 현장설치 및 Turn On 포함 ㅇ 하자보증기간(임대기간) : 납품 또는 Turn On 완료일로부터 12개월

6. 납품 및 검수 ㅇ 계약상대자는 납품 기일 내에 해당기관 실험실(지정장소)에 본 장비를 현장설치완료 하여야 한다. ㅇ 계약상대자는 납품 후 검수절차에 의해 검수를 필하여야 한다. ㅇ 시운전 및 검수에 필요한 모든 경비는 계약상대자가 부담하여야한다. ㅇ 계약상대자는 한국생산기술연구원 직원의 입회 하에 운영 검사 및 안정성 검사를 완료하여야 한다. 7. 교육 ㅇ Turn On 후 계약상대자가 기본적인 교육 및 유지 보수 교육을 실시한다. ㅇ 요청에 따라 Operation Manual 혹은 S.O.P를 제공한다. ㅇ Spare Parts 및 정기 교체 Parts를 안내한다.

Ⅱ 일반 사항

1. 계약내용 및 이의의 해석 ㅇ 계약상대자는 계약서 내용에 기술되는 물품 등 일체를 공급하여야 하며, 본 규격서에 기술되어 있지 않은 사항 또는 불명확하다고 생각되는 사항은 한국생산기술연구원의 해석 및 의견을 확인하여야 한다. 2. 계약상대자의 책무 ㅇ 계약상대자는 물품(장비)의 제작, 검사, 운반, 설치 및 시운전에 대한 전반적인 책임이 있으며, 모든 부품은 정상동작 상태 하에서 파손 또는 변형이 없이 충분한 강도와 성능을 보장하여야 한다. ㅇ 계약상대자는 시험장비 제작 전 한국생산기술연구원으로부터 제작도면의 승인을 득하여야 한다. (Ass'y 도면의 경우, 내부 규정 및 특허상의 이유로 제공 불가하다.) ㅇ 물품(장비)를 납품함에 있어 계약 내용과 비교하여 필요한 부분의 누락 또는 생략이 되었을 경우 계약상대자는 계약사항에 포함된 것으로 간주하고 납품하여야 한다. ㅇ 계약 후 납품된 물품(장비)의 하자 등 문제점 발생 시 이에 대한 책임은 계약상대자에게 있다. (장비 운영간 발생하는 정기 Parts 교체 및 별도 고객사 운영환경에 따른 문제는 별도 협의가 필요하다.) ㅇ 물품(장비)의 설계, 제작, 시험 및 납품, 유지보수와 관련하여 제3자의 지식재산권 등의 권리 보호에 따른 문제점이 발생되지 않도록 하여야 하며 발생 시 이에 대한 책임은 계약상대자에게 있다.