플라즈마 기반 반도체 공정가스 저감장치 제작

계약

요약 AI 요약

반도체·디스플레이·화학·첨단소재 제조공정의 배기라인에서 발생하는 독성가스, 부식성가스, 온실가스를 안전하게 처리하기 위한 플라즈마·습식 복합 방식의 P.O.U(Point Of Use) 스크러버 1대를 제작하는 사업이다. 열분해·산화·중화·흡수 처리기술을 적용해 유해 부산물을 최소화하고 환경규제 및 안전기준을 만족하는 안정적인 배기가스 처리 성능을 제공하는 것이 목표다.

• 플라즈마 토치, 토치 챔버, 반응 챔버, 습식 탱크, 습식 타워, 캐비닛 등으로 구성된 P.O.U 스크러버 본체 제작
• 총 4개의 Inlet Port 구성(미사용 포트는 SUS End Cap 처리)
• AC 220V 3상 입력을 DC 24V 제어전원으로 변환해 PLC·HMI·센서·계장기기에 공급하는 전장부 설계
• 가스 분석기·압력계·온도계·유량계 신호를 PLC에서 수집해 전면 Display로 실시간 모니터링
• 3-Way Valve, Solenoid Valve, Blower, Heater를 PLC로 자동 제어하는 I/O 회로 구성 및 비상정지 시 Bypass 운전이 가능한 Interlock System 적용
• 상위 설비와 Ethernet(Modbus TCP) 통신을 통한 원격 모니터링·제어 및 운전이력·알람·계측데이터 저장·전송 기능

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사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 플라즈마·습식 복합 POU 스크러버 제작·설치·시운전

물품 › 환경·위생 › 수처리 설비

반도체 공정 배기가스 처리용 POU 스크러버(플라즈마 토치+습식탑)를 제작해 배기라인에 설치·Turn On하는 사업으로, 유해가스 처리 설비 제작이 몸통이다.

• 제작도면 승인용 설계
• 전장부·PLC·HMI·Ethernet(Modbus TCP) 제어부 구성
• 포장·운반
• 현장 설치 및 배관 연결
• 시운전 및 검수 입회
• 운영·유지보수 교육 및 매뉴얼 제공
• 12개월 하자보증 및 A/S

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 기술(규격)제안서를 평가하여 평가위원별 평가점수를 합산하여 최고점수와 최저점수를 제외하고(최저 또는 최고점수가 2개 이상일 때에는 이중 하나만 제외) 산출한 평균점수가 85점 이상인 자를 규격적격자로 결정

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자시담

입찰 일정

가격

추정가격

49,500,000원

배정예산

54,450,000원

부가세

4,950,000원

예정가격 방식

단일예가

납품

품명

세정집진장치 (4016150302)

수량

1 식

인도조건

모름

제조물품

아니오

세부품명 등록

아니오

공고 정보

공고종류

재공고 (재입찰공고)

게시일

09/29(화)

공고번호

R26BK01747747-000

참조번호

P81202600A00

공고기관

한국생산기술연구원

수요기관

한국생산기술연구원

계약방법

수의계약

낙찰방법

수의시담

계약유형

총액계약

예정가격 방식

단일예가

추정가격

49,500,000원

배정예산

54,450,000원

사전규격번호

R26BD00268657

재공고

재공고

출처

나라장터

첨부파일

• HWP · 규격서.hwp · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

문서 발췌

I 규격 개요

1. 품명 : Plasma & Wet Type P.O.U (Point Of Use) Scrubber 2. 수량 : 1 EA 3. 특성 및 용도 ㅇ 본 과업은 반도체, 디스플레이, 화학 및 첨단소재 제조공정에서 발생하는 유해가스 및 온실가스의 안전한 처리를 위한 SCR(Scrubber) 제작과 관련한 것으로, 최종적으로 생산설비의 배기라인(Exhaust Line)에 설치되어 공정에서 배출되는 독성가스, 부식성가스 및 온실가스를 처리함으로써 작업환경의 안전성을 확보하고 대기오염물질의 배출을 저감하는 기능을 수행함. ㅇ 또한 공정별 배출가스 특성에 따라 열분해, 산화, 중화 및 흡수 등의 처리기술을 적용하여 유해 부산물의 발생을 최소화하고, 관련 환경규제 및 안전기준을 만족할 수 있도록 안정적인 배기가스 처리 성능을 제공함. ㅇ 장비 운전상태 및 이상상황을 실시간으로 모니터링하고 상위 설비와의 통신을 통해 운전 데이터를 제공하여 반도체 제조설비의 안정적인 운영 및 환경안전 관리에 활용됨. ㅇ 한국생산기술연구원이 요구하는 기능 구현되는 1차 P.O.U SCR 4. 규격 ㅇ 일반 규격 - 한국생산기술연구원이 요구하는 전장부의 기능 구현하되 당사 안전과 관련된 설계 및 기능의 경우, 별도 협의가 필요 - 총 4개의 Inlet Port 구성 (미 사용 Port SUS End Cap 예정 - 발주처에서 제공한 Hook Up Size 및 Service (Maintenance) Area 충족 필요 ㅇ 탑재 부품 - 장비 內 포함된 주요 Parts는 하기 표와 같음 - 당사 장비 기준으로 별도 변경 불가

ㅇ 설계 사양 - 모든 전장부는 유지보수성을 고려하여 배선 덕트 및 단자대를 적용하고, 발열이 발생하는 전장품은 방열 구조 및 냉각팬을 적용하여 안정적인 운전이 가능하도록 설계하여야 함. (Plasma Power 등) - 장비 통합 제어부는 아래와 같은 구성으로 설계 반영이 필요함. - 전원은 AC 220 V(3상을 입력받아 DC 24 V 제어전원을 생성하여 PLC, HMI, 센서 및 계장기기에 공급. - 가스 분석기, 압력계, 온도계 및 유량계의 신호를 PLC에서 수집하여 장비 운전상태를 장비 전면 Display에서 실시간 모니터링. - 3-Way Valve, Solenoid Valve, Blower 및 Heater를 PLC에서 자동 제어할 수 있도록 I/O 회로를 구성. - 비상정지(Alarm) 시 Bypass 운전이 가능하도록 Interlock System 적용. - 상위 설비와 Ethernet(Modbus TCP) 통신이 가능하도록 설계하여 원격 모니터링 및 제어 기능을 제공. - 운전 이력, 알람 및 주요 계측 데이터를 저장하고 상위 시스템으로 전송할 수 있도록 구성. 5. 납품조건 ㅇ 납품장소 : 경기도 평택시 서동대로 3825 평택대학교 연구실험도 1층 ㅇ 납품기한 : 계약일로부터 120일 이내 ㅇ 납품방법 : 현장설치 및 Turn On 포함 ㅇ 하자보증기간(임대기간) : 납품 또는 Turn On 완료일로부터 12개월

6. 납품 및 검수 ㅇ 계약상대자는 납품 기일 내에 해당기관 실험실(지정장소)에 본 장비를 현장설치완료 하여야 한다. ㅇ 계약상대자는 납품 후 검수절차에 의해 검수를 필하여야 한다. ㅇ 시운전 및 검수에 필요한 모든 경비는 계약상대자가 부담하여야한다. ㅇ 계약상대자는 한국생산기술연구원 직원의 입회 하에 운영 검사 및 안정성 검사를 완료하여야 한다. 7. 교육 ㅇ Turn On 후 계약상대자가 기본적인 교육 및 유지 보수 교육을 실시한다. ㅇ 요청에 따라 Operation Manual 혹은 S.O.P를 제공한다. ㅇ Spare Parts 및 정기 교체 Parts를 안내한다.

Ⅱ 일반 사항

1. 계약내용 및 이의의 해석 ㅇ 계약상대자는 계약서 내용에 기술되는 물품 등 일체를 공급하여야 하며, 본 규격서에 기술되어 있지 않은 사항 또는 불명확하다고 생각되는 사항은 한국생산기술연구원의 해석 및 의견을 확인하여야 한다. 2. 계약상대자의 책무 ㅇ 계약상대자는 물품(장비)의 제작, 검사, 운반, 설치 및 시운전에 대한 전반적인 책임이 있으며, 모든 부품은 정상동작 상태 하에서 파손 또는 변형이 없이 충분한 강도와 성능을 보장하여야 한다. ㅇ 계약상대자는 시험장비 제작 전 한국생산기술연구원으로부터 제작도면의 승인을 득하여야 한다. (Ass'y 도면의 경우, 내부 규정 및 특허상의 이유로 제공 불가하다.) ㅇ 물품(장비)를 납품함에 있어 계약 내용과 비교하여 필요한 부분의 누락 또는 생략이 되었을 경우 계약상대자는 계약사항에 포함된 것으로 간주하고 납품하여야 한다. ㅇ 계약 후 납품된 물품(장비)의 하자 등 문제점 발생 시 이에 대한 책임은 계약상대자에게 있다. (장비 운영간 발생하는 정기 Parts 교체 및 별도 고객사 운영환경에 따른 문제는 별도 협의가 필요하다.) ㅇ 물품(장비)의 설계, 제작, 시험 및 납품, 유지보수와 관련하여 제3자의 지식재산권 등의 권리 보호에 따른 문제점이 발생되지 않도록 하여야 하며 발생 시 이에 대한 책임은 계약상대자에게 있다.