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플라즈마 기반 반도체 공정가스 저감장치 제작

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공고 개요

유찰 · 한국생산기술연구원 · 수처리 설비

결과
유찰
참가
0곳 · 개찰 09/14(월)

요약 AI 요약

반도체 및 디스플레이 공정에서 발생하는 유해·온실가스를 안전하게 처리하여 대기오염을 줄이고 작업 환경의 안전성을 확보하기 위해 플라즈마 기반 가스 저감장치(Scrubber)를 제작합니다.

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 플라즈마 POU 스크러버 제작·설치·시운전

물품 › 환경·위생 › 수처리 설비

반도체 공정 배기가스 처리용 POU 스크러버(플라즈마 토치+습식 세정)를 제작해 배기라인에 설치·Turn On하는 사업으로, 유해가스 처리 설비 제작이 몸통이다.

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 기술(규격)제안서를 평가하여 평가위원별 평가점수를 합산하여 최고점수와 최저점수를 제외하고 산출한 평균점수가 85점 이상인 자를 규격적격자로 결정

배점표 (AI 요약)
평가 항목배점
수량 및 구성10점
제시규격의 적정성20점
제품의 품질, 성능시험20점
제품의 호환성, 확장성10점
참여인력의 적정성5점
보유 기술․지식5점
사업수행계획 적정성10점
신용평가등급10점
납품 완료 후 교육내용5점
하자보수방안의 충실성5점
합계(항목을 더한 값)100점

참가 자격 · 제한

업종제한
제한 없음
지역제한
제한 없음
공동수급
공동수급불허
입찰참가 제한
모름
실적경쟁 · PQ
모름
국제입찰
국내입찰
제출 방법
전자입찰

입찰 일정

진행일시남은 날
공고 게시09/04(금)지남
입찰서 제출 시작09/07(월) 09:00지남
입찰참가자격 등록 마감09/11(금) 18:00지남
입찰서 제출 마감09/14(월) 12:00지남
개찰09/14(월) 13:00지남

가격

추정가격
49,500,000원
배정예산
54,450,000원
기초금액
53,152,200원 (예비가격 -2% ~ +2%)
부가세
4,950,000원
예정가격 방식
복수예가

납품

품명
세정집진장치 (4016150302)
수량
1 식
납품
계약 후 120일
인도조건
모름
제조물품
아니오
세부품명 등록
아니오

공고 정보

공고종류
등록공고 (일반공고)
게시일
09/04(금)
공고번호
R26BK01713952-000
참조번호
P81202600866
공고기관
한국생산기술연구원
수요기관
한국생산기술연구원
계약방법
제한경쟁
낙찰방법
규격가격동시입찰
계약유형
총액계약
예정가격 방식
복수예가
추정가격
49,500,000원
배정예산
54,450,000원
사전규격번호
R26BD00268657
재공고
아니오
출처
나라장터

문서 발췌

과업·요구

I 규격 개요

1. 품명 : Plasma & Wet Type P.O.U (Point Of Use) Scrubber 2. 수량 : 1 EA 3. 특성 및 용도 ㅇ 본 과업은 반도체, 디스플레이, 화학 및 첨단소재 제조공정에서 발생하는 유해가스 및 온실가스의 안전한 처리를 위한 SCR(Scrubber) 제작과 관련한 것으로, 최종적으로 생산설비의 배기라인(Exhaust Line)에 설치되어 공정에서 배출되는 독성가스, 부식성가스 및 온실가스를 처리함으로써 작업환경의 안전성을 확보하고 대기오염물질의 배출을 저감하는 기능을 수행함. ㅇ 또한 공정별 배출가스 특성에 따라 열분해, 산화, 중화 및 흡수 등의 처리기술을 적용하여 유해 부산물의 발생을 최소화하고, 관련 환경규제 및 안전기준을 만족할 수 있도록 안정적인 배기가스 처리 성능을 제공함. ㅇ 장비 운전상태 및 이상상황을 실시간으로 모니터링하고 상위 설비와의 통신을 통해 운전 데이터를 제공하여 반도체 제조설비의 안정적인 운영 및 환경안전 관리에 활용됨. ㅇ 한국생산기술연구원이 요구하는 기능 구현되는 1차 P.O.U SCR 4. 규격 ㅇ 일반 규격 - 한국생산기술연구원이 요구하는 전장부의 기능 구현하되 당사 안전과 관련된 설계 및 기능의 경우, 별도 협의가 필요 - 총 4개의 Inlet Port 구성 (미 사용 Port SUS End Cap 예정 - 발주처에서 제공한 Hook Up Size 및 Service (Maintenance) Area 충족 필요 ㅇ 탑재 부품 - 장비 內 포함된 주요 Parts는 하기 표와 같음 - 당사 장비 기준으로 별도 변경 불가

No모델명개수
1Plasma Torch Ass’y1
2Torch Chamber
3Reaction Chamber
4Wet Tank
5Wet Tower
6Cabinet Ass’y
7Electronic Parts

ㅇ 설계 사양 - 모든 전장부는 유지보수성을 고려하여 배선 덕트 및 단자대를 적용하고, 발열이 발생하는 전장품은 방열 구조 및 냉각팬을 적용하여 안정적인 운전이 가능하도록 설계하여야 함. (Plasma Power 등) - 장비 통합 제어부는 아래와 같은 구성으로 설계 반영이 필요함. - 전원은 AC 220 V(3상을 입력받아 DC 24 V 제어전원을 생성하여 PLC, HMI, 센서 및 계장기기에 공급. - 가스 분석기, 압력계, 온도계 및 유량계의 신호를 PLC에서 수집하여 장비 운전상태를 장비 전면 Display에서 실시간 모니터링. - 3-Way Valve, Solenoid Valve, Blower 및 Heater를 PLC에서 자동 제어할 수 있도록 I/O 회로를 구성. - 비상정지(Alarm) 시 Bypass 운전이 가능하도록 Interlock System 적용. - 상위 설비와 Ethernet(Modbus TCP) 통신이 가능하도록 설계하여 원격 모니터링 및 제어 기능을 제공. - 운전 이력, 알람 및 주요 계측 데이터를 저장하고 상위 시스템으로 전송할 수 있도록 구성. 5. 납품조건 ㅇ 납품장소 : 경기도 평택시 서동대로 3825 평택대학교 연구실험도 1층 ㅇ 납품기한 : 계약일로부터 120일 이내 ㅇ 납품방법 : 현장설치 및 Turn On 포함 ㅇ 하자보증기간(임대기간) : 납품 또는 Turn On 완료일로부터 12개월

6. 납품 및 검수 ㅇ 계약상대자는 납품 기일 내에 해당기관 실험실(지정장소)에 본 장비를 현장설치완료 하여야 한다. ㅇ 계약상대자는 납품 후 검수절차에 의해 검수를 필하여야 한다. ㅇ 시운전 및 검수에 필요한 모든 경비는 계약상대자가 부담하여야한다. ㅇ 계약상대자는 한국생산기술연구원 직원의 입회 하에 운영 검사 및 안정성 검사를 완료하여야 한다. 7. 교육 ㅇ Turn On 후 계약상대자가 기본적인 교육 및 유지 보수 교육을 실시한다. ㅇ 요청에 따라 Operation Manual 혹은 S.O.P를 제공한다. ㅇ Spare Parts 및 정기 교체 Parts를 안내한다.

Ⅱ 일반 사항

1. 계약내용 및 이의의 해석 ㅇ 계약상대자는 계약서 내용에 기술되는 물품 등 일체를 공급하여야 하며, 본 규격서에 기술되어 있지 않은 사항 또는 불명확하다고 생각되는 사항은 한국생산기술연구원의 해석 및 의견을 확인하여야 한다. 2. 계약상대자의 책무 ㅇ 계약상대자는 물품(장비)의 제작, 검사, 운반, 설치 및 시운전에 대한 전반적인 책임이 있으며, 모든 부품은 정상동작 상태 하에서 파손 또는 변형이 없이 충분한 강도와 성능을 보장하여야 한다. ㅇ 계약상대자는 시험장비 제작 전 한국생산기술연구원으로부터 제작도면의 승인을 득하여야 한다. (Ass'y 도면의 경우, 내부 규정 및 특허상의 이유로 제공 불가하다.) ㅇ 물품(장비)를 납품함에 있어 계약 내용과 비교하여 필요한 부분의 누락 또는 생략이 되었을 경우 계약상대자는 계약사항에 포함된 것으로 간주하고 납품하여야 한다. ㅇ 계약 후 납품된 물품(장비)의 하자 등 문제점 발생 시 이에 대한 책임은 계약상대자에게 있다. (장비 운영간 발생하는 정기 Parts 교체 및 별도 고객사 운영환경에 따른 문제는 별도 협의가 필요하다.) ㅇ 물품(장비)의 설계, 제작, 시험 및 납품, 유지보수와 관련하여 제3자의 지식재산권 등의 권리 보호에 따른 문제점이 발생되지 않도록 하여야 하며 발생 시 이에 대한 책임은 계약상대자에게 있다.

배점·평가

평가항목세부 평가항목배점비고
계(Ⅰ+Ⅱ+Ⅲ)100
Ⅰ. 제품규격1. 규격내용가. 수량 및 구성1080[별표1]
나. 제시규격의 적정성20
다. 제품의 품질, 성능시험
라. 제품의 호환성, 확장성10
마. 참여인력의 적정성5
바. 보유 기술․지식
사. 사업수행계획 적정성10
Ⅱ. 수행능력1. 경영상태가. 신용평가등급10[별표2]
Ⅲ. 사후관리1. 사후교육가. 납품 완료 후 교육내용5[별표1]
2. 유지보수가. 하자보수방안의 충실성

다. 기초금액 : 53,152,200원(부가가치세 포함) 라. 납품기한 : 계약체결일로부터 120일 마. 납품장소 : 경기도 평택시 서동대로 3825 평택대학교 연구실험도 1층 바. 인도조건 : 현장설치도 사. 입찰방법 : 제한경쟁(총액) / 규격가격동시 / 전자입찰 방식 아. 제안서 제출 : 나라장터 시스템 전자제출 (제안서 제출과 가격 투찰이 모두 완료되어야 유효한 입찰) 자. 하자담보책임기간 : 12개월 차. 기타 : 공동계약 및 재하도급 불가 / 제안사항 설명회 없음 * 기타 세부사항은 수요기관 요청문서에 의하며 전자 입찰 공고서에 첨부된 제안요청서 등을 반드시 확인하시기 바랍니다. 2. 계약방법 및 낙찰자 결정방법 가. 제한경쟁(총액) / 규격·가격 동시입찰 나. 낙찰자 결정방법 ㅇ 기술(규격)제안서를 평가하여 기술능력평가분야 배점한도(100점)의 85% 이상인 규격 적격자에 한하여 가격입찰서를 개찰하여 예정가격이하 최저가격으로 입찰한 자를 낙찰자로 선정합니다. ㅇ 규격 적격자가 2인 이상인 경우로서 가격개찰 결과가 예정가격 이하로 입찰한 자가 없을 때는 당해 규격 적격자를 대상으로 다시 가격입찰을 할 수 있습니다. 다. 입찰공고, 제안서에 대한 평가 및 낙찰자 선정 방법 등은 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」,「기획재정부 계약예규」, 「한국생산기술연구원 원규」등의 관련 규정을 준용합니다.

참가자격

3. 입찰참가자격 다음 각 호의 자격을 모두 갖춘 자이어야 합니다. ① ⌜국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령⌟ 제12조 및 동법 시행규칙 제14조에 의한 입찰참가자격을 갖추고, 전자입찰서 제출마감일시까지 나라장터를 통해 제안서 등 입찰등록에 필요한 서류를 온라인으로 제출하고 가격투찰을 완료한 자 ②「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 국가종합전자조달시스템(나라장터)에 마감일시까지 입찰참가자격 등록한 자 ③「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제39조 제4항 및 동법 시행규칙 제44조 규정에 의해 입찰 참가 자격을 제한받은 업체는 제외 ④ 「중소기업기본법」제2조에 따른 소기업 또는 「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」제2조에 따른 소상공인으로서 「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 소기업·소상공인 확인서를 소지한 자 ※ 중소기업제품 공공구매 종합정보망 (http://www.smpp.go.kr)에서‘중소기업ㆍ소상공인확인서’확인(전자입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 것으로서 전자입찰서 제출 마감일까지 계속 유지되어야 함)이 안 될 경우 입찰참가자격이 없습니다. ※ 위 확인서는 전자입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 함 ※ 상기 자격 해당 여부는 개찰 후 낙찰자 결정 전에 관련 서류를 제출받아 확인하며 해당 자격이 없는 경우 낙찰자 결정 대상에서 제외됩니다.