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대면적 유/무기 열증착 시스템
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첨부파일
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공고 개요
광주과학기술원 · 반도체·박막 공정장비
- 계약업체
- 대동하이텍
- 계약금액
- 90,600,000원
- 낙찰하한율
- 86.245% · 기초금액 9,540만원
- 참가
- 94곳 · 개찰 10/02(금)
계약
| 계약번호 | 계약일 | 계약금액 | 계약 기간 | 업체 |
|---|---|---|---|---|
| R26TE18808567 | - | 90,600,000원 | 계약일로부터 3.5개월 이내 | 대동하이텍 (주계약업체 100%) |
요약 AI 요약
진공 환경에서 유기물·무기물을 가열·기화해 기판 위에 균일한 박막을 형성하는 대면적 유/무기 열증착 시스템을 구축하는 사업이다. 유기·페로브스카이트 태양전지 소자의 전극·전하수송층·광활성층·보호층 등 기능성 박막 증착과 대면적 탠덤 태양전지 제작에 활용한다.
- 챔버 최고 진공도 ≤ 2 x 10-7 Torr, 메인 밸브 개방 후 40분 이내 5 x 10-6 Torr 도달
- 320mm x 320mm 시료에서 막 두께 균일도 ≤ ±12%
- 증착 속도 제어 분해능 0.1 Å/Sec
- 금속 2개 + 유기 2개, 총 4개 증착 소스
- 다층 증착 제어 장치(다층 자동 속도 제어, 5단계 속도 조절, 99필름/999층/99공정)
- 운영 및 유지보수 매뉴얼 제공
사업 내용 · 이 공고에 든 일
중심 · 대면적 유/무기 열증착 시스템 납품·설치
물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비
진공 챔버에서 유기·무기 소재를 열증착해 박막을 형성하는 반도체·박막 공정장비로, 대학 연구소 팹에서 구매하는 장비다.
- 운전·유지보수 매뉴얼 제공
- 설치조건(전원·냉각수·압축공기·배기)에 맞춘 설치
- 1년 보증 및 하자보수
- 납품 후 규격 충족 확인
참가 자격 · 제한
- 업종제한
- 제한 없음
- 지역제한
- 제한 없음
- 공동수급
- 공동수급불허
- 입찰참가 제한
- 모름
- 실적경쟁 · PQ
- 모름
- 국제입찰
- 국내입찰
- 제출 방법
- 전자입찰
입찰 일정
| 진행 | 일시 | 남은 날 |
|---|---|---|
| 공고 게시 | 09/21(월) | 지남 |
| 입찰서 제출 시작 | 09/30(수) 10:00 | 지남 |
| 입찰참가자격 등록 마감 | 10/01(목) 18:00 | 지남 |
| 입찰서 제출 마감 | 10/02(금) 10:00 | 지남 |
| 개찰 | 10/02(금) 11:00 | 지남 |
가격
- 추정가격
- 88,500,000원
- 배정예산
- 97,350,000원
- 기초금액
- 95,400,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)
- 낙찰하한율
- 86.245%
- 부가세
- 8,850,000원
- 예정가격 방식
- 복수예가
납품
- 품명
- 진공증착기 (2399039801)
- 수량
- 1 식
- 납품
- 계약 후 105일
- 인도조건
- 설치까지 · 현장설치도
- 제조물품
- 아니오
- 세부품명 등록
- 등록 필요
공고 정보
- 공고종류
- 등록공고 (일반공고)
- 게시일
- 09/21(월)
- 공고번호
- R26BK01740352-000
- 참조번호
- 내자 2026-179호
- 공고기관
- 광주과학기술원
- 수요기관
- 광주과학기술원
- 계약방법
- 제한경쟁
- 낙찰방법
- 적격심사제
- 계약유형
- 총액계약
- 예정가격 방식
- 복수예가
- 추정가격
- 88,500,000원
- 배정예산
- 97,350,000원
- 사전규격번호
- R26BD00275031
- 재공고
- 아니오
- 출처
- 나라장터
문서 발췌
과업·요구
| 1. 품 명 | 영 문 | Large area Organic/Inorganic Thermal Evaporator System |
|---|---|---|
| 1. 품 명 | 국 문 | 대면적 유/무기 열증착 시스템 |
2. 규격(성능 및 사양) : ① CHAMBER ULTIMATE PRESSURE : ≤ 2 x 10-7 Torr ② VACUUM PUMPING SPEED : ≤ ≤ 5 x 10-6 Torr (MAIN VALVE OPEN후 40분이내) ③ FILM DEPOSITION UNIFORMITY : ≤ ±12 % (WITHIN 320mm x 320mm SAMPLE) ④ DEPOSITION CONTROL RATE RESOLUTION : 0.1 Å/Sec ⑤ PROVIDES OPERATING & MAINTENANCE MANUAL ⑥ 4 SOURCE (METAL 2 & ORGANIC 2) 3. 용도설명 : - 유/무기 소재 열증착 챔버는 진공 환경에서 유기물 또는 무기물을 가열·기화하여 기판 표면에 균일한 박막을 형성하는 장비임. - 유기·페로브스카이트 태양전지소자 제작에 활용되며, 전극·전하수송층·광활성층·보호층 등 다양한 기능성 박막을 증착할 수 있음. - 증착 속도와 막 두께를 정밀하게 제어함으로써 고품질 박막 및 다층 구조를 재현성 있게 제작하는 데 활용 됨. 4. 기타 참고사항(기대효과 등) : - 다층 유/무기 소재 열증착이 가능함에 따라 고균일의 단일접합 모듈 뿐만 아니라, 대면적 탠덤 태양전지 제작에도 활용될 것으로 기대됨. 2026 년 09 월 11 일 부서장(연구책임자) : 이 광 희 (인) [별지 3-1] 상세규격서 <개정 2020. 04. 06> 상 세 규 격 서 ⃞ 장비명 : 대면적 유/무기 열증착 시스템
| 구 분 | 상 세 명 세 | 수 량 | 비 고 |
|---|---|---|---|
| 1. Feature : 2. Specification : ① Main System ② Option ③ Accessory - Standard Acc. - Optional Acc. - 전원 ④ 설치조건 ⑤ 보증기간 납품기한 등 | 1. Feature ① CHAMBER ULTIMATE PRESSURE : ≤ 2 x 10-7 Torr ② VACUUM PUMPING SPEED : ≤ ≤ 5 x 10-6 Torr (MAIN VALVE OPEN후 40분이내) ③ FILM DEPOSITION UNIFORMITY : ≤ ±12 % (WITHIN 320mm x 320mm SAMPLE) ④ DEPOSITION CONTROL RATE RESOLUTION : 0.1 Å/Sec ⑤ PROVIDES OPERATING & MAINTENANCE MANUAL ⑥ 4 SOURCE (METAL 2 & ORGANIC 2) 2. Specification 1. PROCESS CHAMBER UNIT - MATERIAL : SUS 304 (RECTANGULAR TYPE) - FRONT SIDE FULL OPEN DOOR (PUSH-PULL TYPE) UNIT - I.D 6" VIEW PORT WITH SHUTTER FOR FRONT DOOR - I.D 10" FLANGE FOR HIGH VACUUM PUMPING PORT - I.D 10" FLANGE FOR SUBSTRATE MOUNT PORT (TOP) - 2.75" FLANGE FOR GAUGE & EXTRA - 1" HOLE FOR THERMAL ELECTRODE (BOTTOM) PORT - 2.75" FLANGE FOR SHUTTER PORT FOR MAIN SHUTTER - 1.33" FLANGE FOR SHUTTER (BOTTOM) FOR SOURCE SHUTTER - CHAMBER WALL ELECTRO POLISHING - CHAMBER INTERNAL SHIELD COVER . EASY DETACHABLE TYPE - FOUR EVAPORATION SOURCE PROCESS TYPE 2. VACUUM PUMPING UNIT ① TURBO PUMP UNIT . MODEL : MAG2207 IS - PUMPING SPEED : 2,200 L/Sec (N2) . ON BOARD TYPET . LEYBOLD BRAND ② ROTARY VACUUM PUMP . PUMPING SPEED : 1,500 L/Min . KOREA BRAND ③ I.D 10" GATE VALVE (PNEUMATIC) FOR ISOLATION TURBO PUMP . GATE TYPE (NO ANGLE TYPE) . KOREA BRAND ④ NW40 ANGLE VALVE (PNEUMATIC) ⑤ NW40 FLEXIBLE METAL HOSE (1M) ⑥ SOLENOID VALVE FOR ROTARY VENT WITH "TEES" ⑦ 1/4" ELECTRIC ON/OFF VALVE (PNEUMATIC) FOR CHAMBER VENT ⑧ SYSTEM CONTROL PANEL WITH SAFETY ALARM (SEMI-AUTO) . PLC (PROGRAMMABLE LOGIC CONTROL) HARDWARE & SOFTWARE . OPERATING BY COLOR TOUCH PANEL (SEMI-AUTO) 3. SUBSTRATE ROTATION UNIT ① SUBSTRATE ASSEMBLY . ROTATION UNIT - MATERIAL : SUS - SAMPLE HOLDER MOUNTABLE HOUSING . ROTATION GEAR & BEARING BOX . HIGH TEMPERATURE BEARING & BEARING HOUSING . GEAR BOX COVER HOUSING - SAMPLE MOUNTABLE TRAY HOLDER . SAMPLE SIZE : 350mm x 350mm SAMPLE 1 SHEET - SAMPLE BACK SIDE LOADING TYPE ② HIGH TORQUE MOTOR & MOTOR CONTROLLER . MOTOR SUPPORT GUIDE & PLATE . (INCLUDE R.P.M SENSOR & METER ; 0~30 R.P.M) ③ MAIN SUBSTRATE SHUTTER (PNEUMATIC) UNIT . ROTARY MOTION FEEDTHROUGH . 90° ROTATION AIR CYLINDER & SHUTTER SHAFT & PLATE . CYLINDER SUPPORT GUIDE & LEG . SHAFT JOINT COUPLING 4. VACUUM GAUGE CONTROL UNIT ① FULL RANGE GAUGE SENSOR . MODEL : PKR-251 - PRESSURE READING RANGE : ATM ~ 10-10TORR - PFEIFFER VACUUM BRAND ② PIRANI GAUGE SENSOR . MODEL : PKR-251 . READING RANGE : ATM ~ 1 x 10-3 TORR - PFEIFFER VACUUM BRAND ③ GAUGE INTERFACE CABLE ④ ATM SENSOR . ATM SET-POINT FUNCTION . SMC BRAND 5. EVAPORATION SOURCE & POWER SUPPLY UNIT 5-1. METAL SOURCE PROCESS ① EVAPORATION POWER SUPPLY (10V, 400A) . VOLTAGE & CURRENT METER (DIGITAL DISPLAY) . HIGH RESOLUTION SCR UNIT . TWO METAL SOURCE SELECT PROCESS TYPE ② HIGH CURRENT TRANSFORMER . HIGH CURRENT POWER CABLE & CONNECTOR . INCLUDE AMPERE METER ③ HIGH CURRENT ELECTRICAL FEEDTHROUGH (5kV, 300A) . MATERIAL : OFHC . INTERNAL WATER COOLING LINE . ELECTRODE NO SHARE TYPE ④ ELECTRODE ISOLATION COVER . MATERIAL : SUS & TEFRON ⑤ BOAT MOUNTABLE BLOCK ⑥ BETWEEN BOAT ISOLATION SHIELD COVER ⑦ THERMAL BOAT (STANDARD TYPE) FOR NORMAL METAL PROCESS ⑧ SOURCE SHUTTER (PNEUMATIC) . CF 1.33" ROTARY MOTION FEEDTHROUGH . 90° ROTATION AIR CYLINDER & SHUTTER SHAFT & PLATE . CYLINDER SUPPORT GUIDE & LEG . SHAFT JOINT COUPLING ⑨ METAL & ORGANIC SOURCE TEMPERATURE ISOLATION SHIELD UNIT . FOR METAL & ORGANIC SOURCE PREVENT CONTAMINATION . METAL & ORGANIC SOURCE ISOLATION WALL SHIELD . EACH SOURCE ISOLATION WALL SHIELD COVER 5-2. ORGANIC SOURCE PROCESS ① EVAPORATION POWER SUPPLY (10V, 150A) . VOLTAGE & CURRENT METER (DIGITAL DISPLAY) . HIGH RESOLUTION SCR UNIT . TWO ORGANIC SOURCE SELECT PROCESS TYPE ② MIDDLE CURRENT TRANSFORMER . MIDDLE CURRENT POWER CABLE & CONNECTOR . INCLUDE AMPERE METER ③ HIGH CURRENT ELECTRICAL FEEDTHROUGH (5kV, 300A) . MATERIAL : OFHC . INTERNAL WATER COOLING LINE . ELECTRODE NO SHARE TYPE ④ ELECTRODE ISOLATION COVER . MATERIAL : SUS & TEFRON ⑤ CRUCIBLE MOUNTABLE BLOCK ⑥ BETWEEN BOAT ISOLATION SHIELD COVER ⑦ CRUCIBLE HEATER & CRUCIBLE . CRUCIBLE MATERIAL : Al2O3 ⑧ SOURCE SHUTTER (PNEUMATIC) . CF 1.33" ROTARY MOTION FEEDTHROUGH . ROTATION AIR CYLINDER & SHUTTER SHAFT & PLATE . CYLINDER SUPPORT GUIDE & LEG . SHAFT JOINT COUPLING 6. MULTI-LAYER DEPOSITION CONTROL UNIT ① MULTI-LAYER DEPOSITION RATE CONTROLLER . MULTI-LAYER AUTO RATE CONTROL TYPE . MULTI-STEP (5 RATE) RATE ADJUSTABLE CONTROL FUNCTION . THICKNESS RESOLUTION : 0.0368Å (Al) . 99 FILM, 999 LAYER, 99 PROCESS ② STANDARD TYPE SENSOR INSTALLATION KIT . THREE METAL SOURCE PROCESS . CF 2.75" MOUNT TYPE . ACCESSARIES ③ THICKNESS SENSOR SUPPORTER 7. FRAME & CONTROL PANEL ① MAIN FRAME (Fe FRAME) . 12T BASE CHAMBER SUPPORT PLATE . SIZE : 1300(W) x 970(D) x 830(H) . FRAME FOOT & CASTER . FRAME DOOR & BLANK ② 19" STANDARD CONTROL RACK MOUNTABLE PANEL . FRAME COMBINE TYPE . FRAME FOOT & CASTER . FRAME DOOR & BLANK ③ SYSTEM CONTROL UNIT . PLC (PROGRAMMABLE LOGIC CONTROL) HARDWARE & SOFTWARE . SEMI AUTO PROCESS TYPE . AUTO VACUUM PUMPING, AUTO DEPOSITION, AUTO CHAMBER VENT, AUTO SYSTEM SHUTDOWN . FUNCTION. . VACUUM, PRESSURE, POWER, FLOW & UTILITY (MAIN, PCW, CDA) SAFETY INTERLOCK . OPERATING BY 10“ COLOR TOUCH PANEL - SYSTEM REAL TIME ALL STATUS TOUCH PANEL MONITORING TYPE (PRESSURE, VALVE, PUMP, POWER, ROTATION SPEED, SHUTTER, ETC UTILITY) . ELECTRIC DISTRIBUTION & INTERCONNECTION BOX WITH SAFETY INTERLOCK ④ WATER & AIR CONTROL UNIT . WATER PRESSURE SWITCH & AIR REGULATOR & AIR SOLENOID VALVE . INTERNAL WATER COOLING LINE & AIR LINE & FITTING . WATER DISTRIBUTOR & INTERNAL WATER COOLING LINE . SAFETY INTERLOCK (PRESSURE, THERMAL POWER, VALVE, DOOR, WATER, AIR, ELECTRICAL POWER) ⑤ REQUIRED SERVICES . MAIN POWER : 220V, 50A, 3PHASE or 380V, 50A, 3PHASE . WATER (PCW) - REQUIRED SUPPLY PRESSURE : 0 ~ 3 BAR - REQUIRED RETURN PRESSURE : 0 ~ 1.5 BAR (AS IF IT DIFFERS BY MORE THAN 1.5 BAR SUPPLY PRESSURE) - REQUIRED WATER FLOW RATE : MORE THAN 25 L/Min - WORKING TEMPERATURE RANGE : 17℃ ~20℃ - FITTING : 1/2" TUBE ENDED (EXCLUDE WATER REGULATOR) . COMPRESSED AIR (CDA) - REQUIRED SUPPLY PRESSURE : 5.5 ~ 6 BAR (ADJUSTABLE BY SPUTTER INSIDE REGULATOR) - FITTING : 1/4" SWAGLOK FITTING or 6∅ ONE TOUCH . EXHAUST : VACUUM PUMP EXHAUST PORT SIZE : ∅25 (OUT DIAMETER) 납기 : 발주 후 3.5개월 이내 보증 : 1년 | 1 1 2 1 1 6 6 2 2 1 1 1 1 1 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 4 2 2 2 1 2 1 1 1 1 1 1 2 4 2 2 2 2 2 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 | |
| 구매 요구시 | ① 본인은 상기 물품구입과 관련, 상세규격서를 작성함에 있어 정확한 제품사양 및 설치조건, 필요사항 등을 모두 기재하였음(기존 장비 및 물품과의 호환 등 특수조건이 필요한 경우 별지의 물품구매 특수조건을 작성하여 제출함) ② 낙찰 후 상기 상세규격 이외의 추가사항 및 증빙을 요청할 수 없음을 확인함 2026 년 09 월 11 일 부서장(연구책임자) : 이 광 희 (인) | ||
| 물품 계약시 | ① 낙찰업체의 물품규격과 본인이 요구한 규격의 충족여부 검토 결과, 이상이 없음을 확인함 년 월 일 부서장(연구책임자) : (인) |
=== 내자 2026-179 - 대면적 유무기 열증착 시스템 - 공고문.hwp === <공고번호: 내자 2026-179호>
입 찰 공 고
1. 입찰에 부치는 사항 가. 품 명 : 대면적 유/무기 열증착 시스템 나. 납품기한 : 계약체결일로부터 3.5개월 이내 다. 물품대금 지급방법 : 현 금 라. 배정예산 : 금 97,350,000(구천칠백삼십오만)원(VAT포함) 마. 사양설명 : 게시 용도설명서 및 구매사양서 열람 및 구매요구자에게 문의 ※ 기초금액은 입찰서 제출기간 전에 입력할 예정이오니 확인하시고 투찰하시기 바랍니다. ※ 기초금액 및 입찰금액은 부가가치세를 포함한 금액입니다. 2. 입찰 및 계약방식 가. 조달청 G2B 전자입찰 방식이며, 예정가격 이하로서 낙찰 하한율 이상 최저가격 입찰자 순으로 적격심사 대상 업체로 선정합니다. 나. 제한경쟁/총액입찰입니다. 다. 적격심사대상 물품 구매입니다. - 조달청 물품구매적격심사 세부기준(제4조 제1항 제3호([별표 3])) 라. 청렴계약 대상입니다. 마. 기획재정부 2023년도 공공기관 지정해제 고시(제2023-4호) 관련으로 본 원의 공공기관 지정 해제에 따른 [과학기술원 관리기준]을 적용합니다. 3. 입찰참가자격 가. 본원 계약업무요령 제15조 및 국가를당사자로하는계약에관한법률 시행령 제12조 규정에 의한 유자격자로서 동법 시행령 제76조 규정에 의해 제한받지 않은 업체이어야 합니다.
참가자격
마. 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정에 의하여 국가종합전자조달시스템(나라장터)에 입찰참가자격등록 마감일시까지 진공증착기(세부품명번호 10자리 2399039801)를 공급물품 또는 제조물품으로 입찰참가자격을 등록한 업체이어야 합니다. 바. 입찰공고일 현재 국세 및 지방세의 체납사실이 없어야 합니다. ※ 입찰에 참가하는 업체(기관)는 상기조건을 모두 충족해야 하며 관련 증빙서류는 적격심사이행 서류 제출 시 함께 제출하셔야 합니다. 4. 사양설명회 및 참고자료 제출 가. 사양설명회는 별도로 실시하지 아니하며, 공고문(상세규격서, 시방서 등 포함)을 참조하거나 수요부서 담당자에게 문의하여 확인하는 것으로 갈음합니다. - 문의처: 차세대에너지연구소 김상조 연구원 (전화: 062-715-3458, 이메일: tkdwhrjt0407@gist.ac.kr) 나. 사전 참고자료 제출 마감: 2026. 9. 23.(수) 18:00까지(이메일 송부) (기초금액 산정을 위한 참고자료일 뿐, 필수 제출 사항은 아님을 알려드립니다.) ① 견적서(Price List가 있을 경우 첨부) 1부. - 제출처 : 이메일(junmeng@gist.ac.kr)제출, 서류 일체 1개의 PDF 파일로 제출 5. 입찰서 제출 가. 본 입찰은 조달청 G2B전자입찰로만 집행합니다. 한번 제출한 입찰서는 취소하거나 수정할 수 없습니다. 단, 국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서에 따라 입찰의 취소를 신청할 수 있습니다.