산학협력단 유기·금속 겸용 열증착기 시스템 구축

링크

• 공고 상세 페이지 (사람에게 건넬 링크)
• 나라장터 원문 공고

비슷한 공고

링크는 각 공고의 AI 페이지다.

진행 중

• 다중원소 스퍼터 증착기 · 광주과학기술원 · 8,750만원 · D-2
• 급속열처리기 구매 · 한국과학기술연구원 · 4,150만원 · D-8
• 화학기상반응을 이용한 원자층 증착 설비 · 울산과학기술원 · 8,636만원 · D-6
• 스퍼터링 시스템 1SE · 한국원자력연구원 · 1.3억원 · D-3
• 경사각 전자빔 증착기 구입 · 가천대학교 산학협력단 · 1.44억원 · D-1
• 울산과학기술원 플라즈마강화원자층증착설비 · 울산과학기술원 · 2.7억원 · D-2

끝난 공고 · 결과

• 산학협력단 유기·금속 겸용 열증착기 시스템 구축 · 경기대학교 산학협력단 · 유찰
• 글로컬대학30사업 반도체 공동연구소 장비(반도체 열 증착기 시스템)구입 · 충북대학교 · 유찰
• (재공고) 글러브박스 일체형 열 증착 시스템 구매_260533 · 한국과학기술원 · 유찰
• 반도체 패키징 소자 제작용 증착기 시스템 · 경상국립대학교 산학협력단 · 낙찰 대동하이텍 · 9,400만원
• 글러브박스 일체형 열 증착 시스템 구매_260533 · 한국과학기술원 · 유찰
• 다중타겟 열증착기 시스템 · 한국화학연구원 · 낙찰 (주)대기하이텍 · 8,455만원

첨부파일

뷰어 링크는 사람이 원문을 볼 때 쓰는 화면이다. 이 문서들에서 뽑은 자격 · 배점 · 일정 · 발췌는 이 페이지 아래에 글로 있다.

• 구매규격서-유기·금속 겸용 열증착기 시스템.pdf · 공고규격서

공고 개요

경기대학교 산학협력단 · 반도체·박막 공정장비

낙찰업체

(주)대기하이텍

낙찰금액

99,550,000원 · 낙찰률 99.658%

낙찰하한율

-

참가

1곳 · 개찰 05/07(목)

계약

요약 AI 요약

디스플레이 소자 제작을 위해 열증착법으로 수 나노미터 단위의 박막을 형성하는 진공 장비를 구축하는 사업입니다.

• 공정 챔버 및 진공 펌핑 시스템(터보 펌프, 로터리 펌프 등)
• 회전 및 가열 기능이 포함된 기판(Wafer) 장착 장치
• 유기물 및 무기물 증착을 위한 소스 유닛 및 셔터
• 실시간 증착량 관측 및 속도 제어를 위한 두께 조절기
• 산소와 수분을 차단하는 글러브 박스 시스템
• 전체 장치 제어 및 안전 장치가 포함된 시스템 컨트롤러

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자시담

입찰 일정

가격

추정가격

90,810,000원

배정예산

99,891,000원

부가세

9,081,000원

예정가격 방식

단일예가

납품

품명

진공증착기 (2399039801)

수량

1 System

납품

계약 후 30일

인도조건

설치까지 · 현장설치도

제조물품

아니오

세부품명 등록

아니오

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

05/07(목)

공고번호

R26BK01507655-000

참조번호

경기대학교 산학협력단 제2026-01호

공고기관

경기대학교 산학협력단

수요기관

경기대학교 산학협력단

계약방법

수의계약

낙찰방법

수의시담

계약유형

총액계약

예정가격 방식

단일예가

추정가격

90,810,000원

배정예산

99,891,000원

사전규격번호

R26BD00214245

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 발췌

=== 구매규격서-유기·금속 겸용 열증착기 시스템.pdf === 구매 규격서 COMMODITY DESCRIPTION 정부물품분류번호(8자리) 품목번호 관세분류번호 Korean Government 품 명 단위 수량 Item No. HSK No. Commodity Classification Description Unit Q'ty Code(eight-digit) Organic & Metal Evaporation System/ 23990398 System 1 유기 및 무기물증착기 Ⅰ. 용도(End-user's Use) 본 구매 품목은 디스플레이 소자의 프론트플레인 제작을 위해서 필요한 핵심 장비이며, physical vapor deposition 방식의 증착기법 중 열증착법을 활용하여 수 nm 단위의 박막을 형성할 수 있는 진공장비 에 해당한다. 즉, 증착 시키고자 하는 물질을 보트 혹은 크루서블에 올려두고 고진공 하에서 보트를 가열함으 로써 증착물질을 증발시켜 기판에 증착하는 방식인데, 대면적의 디스플레이 제작을 위해서는 고진공 하에서 박막의 균일도 제어가 중요한 요소이다. Ⅱ. 장비의 구성(Configurations of Goods) 1.구성 가. 공정 쳄버 1set - 공정을 진행하기 위해 진공분위기를 만들고 공정을 진행하기 위한 장치를 설치 하도록 꾸며진 원통형의 SUS Metal Box 이다.. 나. Pumping System 1sys - Chamber 내부를 진공의 분위기로 만들어 주기 위한 장치로서 Rotary Pump, Turbo Pump, Valve, 진공 측정 장치로 이루어져 있다.

나. Vacuum Pumping System * 1 set 1) High Vacuum Turbo Pump 1 set - Pumping Speed : >1,100ℓ/sec for N2 - Size: DN200ISO-K 3) Rotary Vane Vacuum Pump 1 ea - Pumping Speed: 800ℓ/min - Inlet Flange: NW40 - Direct drive 4) High Vacuum Gate Valve 1 ea - Pneumatic(DN200ISO-K) 5) Roughing Valve(NW40) 1 ea - Pneumatic 6) Foreline Valve(NW25) 1 ea - Pneumatic 7) Vent Valve 1 ea - Pheumatic, 1/4" 8) Foreline & by-pass line 1 set - Tee, Formed Bellows, Clamp 9) Vacuum Gauge - Pirani and Ion Gauge sensor & Control -9 - Pressure Range: 760∼1.0 x 10 torr - Display: Digital 다. Substrate unit * 1 unit - Size:100mm x 100mm wafer(25mm x 25mm 9ea) and Mask 장착 - rotation Speed: 0∼30rpm with A.C Motor - 2point stop for Wafer and Mask loading

라. Mask Auto Changing unit * 1 unit - Size: 100mm x 100mm, mask 3set 장착 - Mask Auto Change - Rotation Speed: 0∼20rpm by stepping motor 마. Z-motion unit for Mask change - Z-Motion Stroke: ±25mm - Welded Bellows 바. Shutter * 9ea - Type: Pneumatic - Air Cylinder(90° Rotation) 사. Effusion Cell unit 2 set - Source Material: BN Crucible, 5cc - Max. Temp.: 600℃, Program Control - Pneumatic Shutter 아. Metal Source unit * 2 set - Source Material: Tungsten Boat - Power Feedthrough: Copper, Watter cooled - Power Supply: 1kW 자. Film Thickness Controller * 1set - Thickness Controller: 3channel, 9Film Material & Parameter Storage - Sensor Package 3set - Vacuum Feedthrough 3set 차. Glove Box System * 1 set 1) Glove Box * 1 ea - Material: SUS304 & Polycarbonate - Size: 2,000mm x 780mm x 840mm(h), 2인용 - Automatic Pressure Controller -2 - Antechamber(Transfer Chamber): Less than 5x10 Torr - Small Antechamber - Purifier: H2O & O2 1ppm이하 - Vacuum Rotary Pump: 200L/min

카. System Controller * 1 set 1)19" standard control Rack Size 2)Monitor: PC & PLC Control 3)Vacuum, Power, Process Control 4)Auto Vacuum pumping 5)Safety Interlock 타. Frame & Utility Ass'y * 1 set - Iron frame be painted by ivory color - Water, Air line and Flow Switch - Emergency switch - Main power: 220V, 30A, 3Phase - Water:2∼3kgf/㎠, 30ℓ/min - Air:5∼6kgf/㎠ Ⅳ. 기타 조건(Remarks) □ 장비의 특성 및 품질 1.100 mm × 100 mm 기판 내에서의 박막 증착 균일도가 ±3 % 이내의 특성을 나타내야 함. 2. 글러브 박스 내부에서 챔버 내로의 샘플 및 증착 소스의 로딩이 가능해야 함. 3.Chamber Side에 전면 Open Door를 두어 Chamber 수리 및 Cleaning시 사용함 4. 계약상대자는 기기의 운영 및 기초원리와 조작기술교육을 납품완료일로부터 10일 이내 실시하여야 한다. 5. 장비의 운송, 설치 및 시운전에 소요되는 모든 비용은 계약상대자가 부담한다. □ 대금의 지급 - 본 계약에 대한 총 계약대금은 2회 분할하여 지급한다. 계약물품은 1차년도에 전량 납품·설치 및 검수 를 완료하며, 제1차분 대금은 납품 및 검수 완료일로부터 14일 이내 지급한다. 제2차분 대금은 검수 완료된 장비에 대하여 3개월간 시운전을 실시한 결과 정상적인 작동 상태가 유지됨이 확인된 경우에 한하여, 2차년도 과제 연구장비비 교부 이후 14일 이내 지급한다. 제1차분은 금 50,000,000원(부가가 치세 포함)으로 하고, 제2차분은 총 계약금액에서 제1차분을 제외한 잔액으로 한다. □ 하자보증