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유기재료증착기 구매

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공고 개요

재공고 · 경북대학교 산학협력단 · 반도체·박막 공정장비

낙찰업체
주식회사 오방테크놀로지
낙찰금액
66,000,000원 · 낙찰률 85.714%
낙찰하한율
-
참가
1곳 · 개찰 09/16(수)

계약

계약번호계약일계약금액계약 기간업체
R26TE1819432309/17(목)66,000,000원계약 후 90일 이내주식회사 오방테크놀로지 (주계약업체 100%)
R26TE1818355509/17(목)66,000,000원계약 후 90일 이내주식회사 오방테크놀로지 (주계약업체 100%)

요약 AI 요약

분말 원료를 기화 및 열분해하여 제품 표면에 균일한 박막을 형성하는 유기재료증착기(Parylene Coating System)를 구축하는 사업입니다.

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 유기재료증착기(Parylene Coating System) 구매·설치

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

Parylene 증착 장비는 진공 증착·박막 형성 공정장비로 반도체·박막 공정장비에 해당한다.

참가 자격 · 제한

업종제한
제한 없음
지역제한
제한 없음
공동수급
공동수급불허
입찰참가 제한
모름
실적경쟁 · PQ
모름
국제입찰
국내입찰
제출 방법
전자시담

입찰 일정

진행일시남은 날
공고 게시09/15(화)지남
입찰참가자격 등록 마감09/15(화) 18:00지남
입찰서 제출 시작09/16(수) 10:00지남
입찰서 제출 마감09/16(수) 14:00지남
개찰09/16(수) 15:00지남

가격

추정가격
70,000,000원
배정예산
77,000,000원
부가세
7,000,000원
예정가격 방식
단일예가

납품

품명
진공증착기 (2399039801)
수량
1 set
납품
계약 후 90일
인도조건
설치까지 · 현장설치도
제조물품
아니오
세부품명 등록
등록 필요

공고 정보

공고종류
재공고 (재입찰공고)
게시일
09/15(화)
공고번호
R26BK01730181-000
참조번호
연구관리부-8154
공고기관
경북대학교 산학협력단
수요기관
경북대학교 산학협력단
계약방법
수의계약
낙찰방법
수의시담
계약유형
총액계약
예정가격 방식
단일예가
추정가격
70,000,000원
배정예산
77,000,000원
사전규격번호
R26BD00262216
재공고
재공고
출처
나라장터

문서 발췌

품목번호
Item No.		세부품명번호(10자리)
Korean Government Commodity Classification Code(ten-digit)		품 명
Description		단위
Unit		수량
Q'ty
12399039801유기재료증착기SET1

Ⅰ. 용도(End-user's Use) ○ Parylene Coating System은 이량체 구조의 분말 원료를 기화시키고, 기화된 가스는 고열의 열분해기를 통하여 단량체 가스 형태로 화학적으로 분자 구조가 변환되고, 변환된 단량체 가스 입자가 냉각된 상태로 증착챔버 내부로 확산되면서 제품 표면에 성장하게 되고, 성장된 박막은 폴리머 형태로 제품 표면에 증착되는 장치입니다. Parylene 박막은 진공 기상 증착으로 핀홀과 기공이 없고, 인체에 무해하며, 제품 형상에 관계없이 수㎚~수십㎛까지 균일한 박막을 형성할 수 있습니다. 내절연성, 내화학성, 내수성, 윤활성, 내부식성을 요구하는 전자부품, 의료·바이오, 센서류, 방산·우주항공, 로봇, 반도체 공정 등 모든 산업 분야에 응용됩니다. Ⅱ. 장비의 구성(Configurations of Goods) 1. 증착 챔버 2. 진공 제어 장치 3. 증발 장치 4. 열분해 장치 5. 공정 제어 장치 Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specification) 1. 증착 챔버 - 기능: 용기 내부가 진공 상태로 유지되고, 제품 표면에 Parylene 박막을 성장시키는 역할 - 챔버 구조: 원통형 챔버 - 챔버 사이즈: 직경 300mm * 높이 300mm 이상 - 챔버 재질: SUS304 또는 SUS316 - 챔버 뷰 포터: 챔버 내부 확인용 투시창 - 진공 체결부: 원형 오링 Seal 채택 - 코팅용 지그: 원형 5단 (200mm 웨이퍼 안착 가능한 구조) - 지그 회전 장치: 모터 일체형 회전 모듈

5. 공정 제어 장치: Parylene Coating 공정을 제어하는 장치 - 제어 장치 구성: 전원스위치/비상정지스위치/터치패널(각 부위 제어 및 표시) - 코팅 공정 제어 방식: 진공도 제어 방식 & 온도 제어 방식 * 진공도 제어 방식: 설정된 진공도에 맞게 일정하게 진공도가 유지되면서 Parylene Coating 공정이 진행됨 * 온도 제어 방식: 진공도에 관계없이 설정된 온도가 일정하게 유지되면서 Parylene Coating 공정이 진행됨 - 제어 화면 구성: 수동화면/자동화면/레서피화면/공정그래프화면/고장이력화면/공정데이타 출력화면 * 수동화면: 각 동작 부위별 개별 동작 가능한 화면 * 자동화면: 레서피에 저장된 데이터 값에 따라 자동으로 시작부터 종료까지 진행되는 화면 * 레서피화면: 자동공정 가능한 증발기, 열분해기 등의 공정 변수 값을 입력·저장하는 화면 * 공정그래프화면: 코팅 공정이 진행되는 온도, 진공도 등을 실시간으로 그래프로 나타내는 화면 * 고장이력화면: 코팅 장치 고장 발생시 고장 발생 부위를 표시하는 화면 * 공정데이타출력화면: Parylene 코팅 공정이 진행된 온도, 진공도 등의 값을 CSV 파일로 출력 가능한 화면(작업 공정 진행 상황 확인 기능) Ⅳ. 기타 조건(Remarks) Parylene C/ Parylene N 일본 원료 안정적 공급 가능할 것 진공 펌프는 EDWARDS Vacuum Pump 또는 동등이상의 제품을 사용할 것 (진공 펌프 내구성 확보 목적) 장치 입고전 유지보수 및 오브호올 교육 2회이상 실시할 것 (1회차: 장치 제작사내 납품전 교육, 2회차 : 장치 교내 입고후 교육)

4. 장치 셋업 완료 후 1년간 무상 보증 실시 5. 장치 고장시 수리전까지 장치 공급사에서 공정 지원 가능할 것 (무상 보증 기간내는 무료/ 보증기간 종료후에는 유료) 6. 납품기한: 계약 후 90일 이내 7. 하자담보책임기한: 설치 후 1년 8. 규격 동등이상 제품 납품가능