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화학기상반응을 이용한 원자층 증착 설비
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진행 중
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첨부파일
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공고 개요
유찰 · 울산과학기술원 · 반도체·박막 공정장비
- 결과
- 유찰
- 참가
- 0곳 · 개찰 09/30(수)
요약 AI 요약
울산과학기술원이 진공 상태에서 플라즈마를 이용한 원자층 증착 공정으로 6인치 실리콘 웨이퍼에 박막을 형성하는 설비를 도입하려는 사업이다. 1개의 공정 챔버와 1개의 로드락 챔버로 구성된 장비 1대를 구축한다.
- 6인치 웨이퍼 대응 산화물 플라즈마 원자층 증착(Oxide PEALD) 챔버 (Al 6061, 서셉터 히터 웨이퍼 온도 최대 400℃ 이하, 샤워헤드 최대 150℃ 이하)
- 반자동 1장 웨이퍼 이송 방식의 수동 로드락 챔버
- 가스 공급부: 금속 전구체 공급 라인 4세트, 액체 반응물(예: H2O) 공급 라인 1세트, 기체 반응물(H2, N2, NH3, O2, 예비) 공급 라인 5세트, 최대 1000 sccm 질량유량제어기(MFC)
- 전기·소프트웨어: PC 기반 iOV ControlPro 제어 소프트웨어, Device-net 인터페이스 통신, 히터 컨트롤러, 온도·가스·진공 등 시스템 인터록 및 안전 센서
- 박막 증착 균일도 3% 이내(AlO, 6인치 웨이퍼 기준) 구현, 단일막 및 복합막 증착 공정 지원
- 장비 설치·조정 및 작동법·유지보수·프로그래밍 교육 수행
사업 내용 · 이 공고에 든 일
중심 · 화학기상반응 원자층 증착 설비 납품·설치
물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비
진공 플라즈마 PEALD 장비로 6인치 웨이퍼에 박막을 증착하는 반도체·박막 공정장비를 사는 공고다.
- 장비 설치 및 조정
- 시운전
- 장비 작동법·유지보수·프로그래밍 교육훈련
- 1년 하자보증 및 A/S(7일 내 현장 도착·수리)
- 부품 공급
평가 · 배점
협상 대상 기준 · 평가위원들의 종합 평점의 평균이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰 적격 업체로 선정한다.
| 평가 항목 | 배점 |
|---|---|
| 업체 일반현황(제안 개요, 제안사 일반현황, 주요연혁, 주요 사업 분야, 기술인력 현황) | 10점 |
| 기업신용도(신용평가에 따른 경영 상태) | 10점 |
| 공고 규격의 적합성(장비 사양 및 특장점, 기본 규격서 규격 충족도 및 적합성, 용도 및 기능 충족도, 시스템 안정성 및 신뢰도) | 30점 |
| 설비능력(기본규격서 규격 충족도 및 우월성, 공정 결과 재현성 및 신뢰성, 장비구축 및 운영 최적화 여부) | 30점 |
| 사후 관리 및 추진체계(장비 유지보수·인력운영계획, 부품수급 용이성, 납품 및 설치일정표 적합성) | 10점 |
| 교육훈련 및 기타 제안(교육훈련 계획, 기타 제안 사항) | 10점 |
| 합계(항목을 더한 값) | 100점 |
참가 자격 · 제한
- 업종제한
- 제한 없음
- 지역제한
- 제한 없음
- 공동수급
- 공동수급불허
- 입찰참가 제한
- 모름
- 실적경쟁 · PQ
- 모름
- 국제입찰
- 국내입찰
- 제출 방법
- 전자입찰
입찰 일정
| 진행 | 일시 | 남은 날 |
|---|---|---|
| 공고 게시 | 09/18(금) | 지남 |
| 입찰서 제출 시작 | 09/28(월) 09:00 | 지남 |
| 입찰참가자격 등록 마감 | 09/29(화) 18:00 | 지남 |
| 입찰서 제출 마감 | 09/30(수) 10:00 | 지남 |
| 개찰 | 09/30(수) 11:00 | 지남 |
가격
- 추정가격
- 86,363,636원
- 배정예산
- 95,000,000원
- 기초금액
- 95,000,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)
- 부가세
- 8,636,364원
- 예정가격 방식
- 복수예가
납품
- 품명
- 웨이퍼증착적층기 (2321118301)
- 수량
- 1 식
- 납품
- 계약 후 180일
- 인도조건
- 설치까지 · 현장설치도
- 제조물품
- 아니오
- 세부품명 등록
- 등록 필요
공고 정보
- 공고종류
- 등록공고 (일반공고)
- 게시일
- 09/18(금)
- 공고번호
- R26BK01736202-000
- 참조번호
- 1000012169
- 공고기관
- 울산과학기술원
- 수요기관
- 울산과학기술원
- 계약방법
- 제한경쟁
- 낙찰방법
- 규격가격동시입찰
- 계약유형
- 총액계약
- 예정가격 방식
- 복수예가
- 추정가격
- 86,363,636원
- 배정예산
- 95,000,000원
- 사전규격번호
- R26BD00273037
- 재공고
- 아니오
- 출처
- 나라장터
문서 발췌
참가자격
3. 예정가격 및 낙찰자 결정방법 가. 예정가격은 기초금액을 기준으로 ±2% 범위 내에서 작성된 15개의 예비가격 중 입찰참가자가 추첨(2개씩 선택)한 번호 중 가장 많이 선택된 4개를 산술평균한 금 액으로 결정합니다. 나. 낙찰자 선정방법 : 제안서 평가 적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자 ※ 기술(규격)제안서를 평가하여 적격자를 대상으로 가격입찰서를 개찰하고, 예정가격 이하 최저가격으로 입찰한 자를 낙찰자로 선정합니다. 다. 동일가격 입찰자는 국가를당사자로하는계약에관한법률시행령 제47조에 따라 계약 상대자를 결정합니다. 4. 입찰참가자격 가. 우리 원에서 제시하는 규격에 따라 납품이 가능한 업체 나. 국가종합전자조달(http://www.g2b.go.kr)시스템 전자입찰 이용자 등록을 한 업체 다. 본 입찰은「지문인식 신원확인 입찰」이 적용되므로 개인인증서를 보유한 대표자 또 는 입찰대리인은 국가종합전자조달시스템전자입찰특별유의서제10조 제1항 제5호에 따라 미리 지문정보를 등록하여야 전자입찰서 제출이 가능합니다. 다만, 지문인식신 원확인 입찰이 곤란한 자는 국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서 제10조 제 1항 제6호 및 제7호의 절차에 따라 예외적으로 개인인증서에 의한 전자 입찰서 제 출이 가능합니다. 라. 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 국가종합전자조달시스템 (나라장터)에 입찰참가자격등록 마감일시까지 아래의 자격을 입찰참가 등록한 자 - 세부품명번호 10자리 2321118301 웨이퍼증착적층기
과업·요구
| 1. 품명 | 화학기상반응을 이용한 원자층 증착 설비 | ||
|---|---|---|---|
| 2. 수량 | 1 | 3. 작성일 | 2026년 09월 01일 |
| 4. 물품분류번호 | 23211183 | ||
| 5. 세부사양 (Specifications) | |||
| 가. 장비 특성 및 품질 - 진공 상태에서 플라즈마(Plasma)를 이용한 원자층 증착 공정 (atomic layer deposition process)에 의해 박막을 형성 수 있어야 함. - 다양한 기능성 나노소재들을 기판의 형상 유무에 상관없이 conformal하게 형성 물질을 증착 할 수 있어야 함. - 6“ Si wafer에 증착 할 수 있어야 하며, 1개의 Process chamber와 1개의 Loadlock chamber로 구성되어야 함. - 단일공정 진행과 복합막 진행이 가능하여야 함. - 증착 균일도 : 3%이내(AlO) @ 6인치 웨이퍼에서 유기 가능하여야 함. 나. 상세규격 1. Oxide PEALD Chamber 1) Chamber : 6-inch Wafer Al 6061 2) Susceptor heater : Wafer temp ~≤400℃(Max), SUS 316L 3) Showerhead kit : Showerhead kit temp ~≤150℃, Al, Al 6061 Not Chamber wall heater 4) Manual loadlock chamber : Semi-Automated 1-Wafer Transfer 2. Gas Delivery Ass’y - 4 sets of metal precursor supply lines - 1 set of liquid reactant (ex.H2O) supply lines - 5 sets of gas reactant supply lines.(H2, N2, NH3, O2, spare) 1) MFC Set : Max 1000 sccm 2) Pneumatic valves & Manual valves : KITS(JP) 3) Gauge (Baratron & ATM) 4) Throttle valve : Auto control, NW40 5) Gas lines & other auxiliary parts 3. Electrics & SW 1) iOV ControlPro S/W (PC Base) 2) Device-net Interface Communication 3) Heater controller 4) System interlock (Temp, Gas, Vacuume, 기타) 5) System Main Power : AC 208V 3φ4W 75A(60Hz) or AC 380V 3φ4W 20A 6) System safety and interlock sensors 다. 구성품 (악세사리 포함) 1) Oxide PEALD Chamber 2) Gas Delivery Ass’y 3) Electrics & S/W 라. 장비설치 및 검수 1) 장비 설치 및 조정 장비 공급자는 울산과학기술원이 지정하는 시간 및 장소에 장비를 설치하고, 정상 작동을 위해 아래에 요구되는 모든 조건 및 공정 결과를 충족하여야 한다. 마. 교육훈련 - 장비와 관련된 교육은 별도로 울산과학기술원와 협의하여 실시한다. - 다음과 같은 교육은 별도의 협의가 없어도 필수적으로 수행되어야 한다. * 장비 작동법 교육 * 유지보수 교육 * 프로그래밍 교육 바. 하자보증 - 장비의 하자보증 기간은 1년으로 한다. - 하자보증 기간 중 정상적인 작동 상태에서 발생하는 모든 결함은 장비 공급자의 책임 하에 무상으로 수리되어야 한다. 사. 서비스 - 하자보증기간 이내 장비 공급자는 장비의 결함 발생 시 사용자의 요청을 접수한 이후 07일 이내에 현장에 도착하여야 하며 도착 후 07일 이내에 수리작업을 완료하여야 한다. - 부품의 교체가 필요한 경우에는 그 부품의 정확한 공급 가능 시점을 확인하여 울산과학기술원에 통보하고 승인을 받아야 한다. 아. 기타 - 설치 및 시운전 : 공급사 자. 납기 - 계약일로부터 6개월 이내 | |||
| 6. Remarks | |||
| (1) 설치 | 공급업체 | ||
| (2) Warranty | 1년 | ||
| (3) Training | 공급업체 |
7. 기타사항 - 본 사양서에 언급되지 않은 사항은 일반 구매 계약 기준에 따르며 계약 후의 별도 사항 발생시에는 상호 협의 하에 적용한다. - 반드시 상기 사양과 동등 또는 동등 이상의 제품으로 납품하여야 한다.
물품사양서 [COMMODITY DESCRIPTION]
=== 평가기준서.hwp ===
화학기상반응을 이용한 원자층
증착 설비
규격가격동시입찰 평가기준서
울산과학기술원
1. 계약방법 - 규격가격동시입찰 - 관련 근거: 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제18조 2. 제안 자격 - 입찰 공고문에 따름 3. 제안 조건 가. 제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 한다. 나. 제안과 관련되어 제출된 자료 일체는 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요비용은 제안업체가 부담한다. 다. 제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증할 수 있는 서류를 첨부해야 하며, 허위 작성한 사실이 판명되는 경우 평가대상에서 제외되며 계약 후에도 계약해지와 함께 인적․물적․기간적 손실에 대한 손해배상을 청구할 수 있다. 라. 제출된 제안서의 내용은 수정, 삭제 또는 대체할 수 없다. 마. 제안서에 제시된 내용은 계약서에 명시하지 않더라도 계약서와 동일한 효력을 가진다. 다만, 계약서에 명시된 경우에는 계약서의 내용이 우선한다.
배점·평가
| 평가 항목 | 산정 방법 | 평점 | 평가 요소 | |
|---|---|---|---|---|
| 일반 부문 (20점) | 업체 현황 | 10점 | - 제안 개요 및 제안사의 일반현황, 주요연혁, 주요 사업 분야, 기술인력 현황 | |
| 기업신용도 | * 붙임 1의 경영상태에 따른 평점표에 따름 | - 신용평가등급 | ||
| 기술 부문 (60점) | 공고 규격의 적합성 | 30점 | - 6-inch Wafer 대응 PEALD Chamber 구성 적합성 - Process Chamber 1개 및 Loadlock Chamber 1개 구성 여부 - Wafer 최대 공정온도 400℃ 및 Showerhead 최대 150℃ 운용 가능 여부 - Metal Precursor 4개, Liquid Reactant 1개, Gas Reactant 5개 공급 Line 구성 여부 | |
| 설비 능력 | - Plasma를 이용한 ALD 공정 구현 및 제어 능력 - 6-inch Wafer 기준 박막 증착 균일도 3% 이내 구현 가능 여부 - 단일막 및 복합막 증착 공정 수행 가능 여부 - MFC(Max. 1,000 sccm)를 이용한 Gas Flow 제어 능력 - Baratron 및 ATM Gauge를 이용한 공정 압력 측정 능력 - Auto Throttle Valve를 이용한 Chamber Pressure 자동 제어 능력 - PC 기반 제어 S/W 및 Device-net Interface를 이용한 장비 통합 제어 능력 - Temperature, Gas, Vacuum 등 System Interlock 및 Safety Sensor 구성의 적절성 | |||
| 품질보증 계획의 적정성 (20점) | 사후 관리 | 10점 | - 장비 유지보수 및 인력운영계획 - 유지보수를 위한 A/S 및 부품수급의 용이성 - 제시한 보증기간 이상의 하자보증 | |
| 추진 계획 /교육 훈련 | - 납품 및 설치 일정표 등의 적합성 - 장비 교육 훈련 계획 | |||
| 합 계 | 100점 |
| 우수 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|
| 10 | 3 | 1 |
| 우수 | 양호 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|---|
| 30 | 20 | 10 | 5 |
| 우수 | 양호 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|---|
| 30 | 20 | 10 | 5 |
| 우수 | 양호 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|---|
| 10 | 7 | 5 | 1 |
| 우수 | 보통 | 미흡 |
|---|---|---|
| 10 | 7 | 5 |
| 평 가 항 목 | 배점 | 평가 | 기타 | |
| 일반부문 (20점) | o 업체 일반현황 - 제안 개요 및 제안사의 일반현황, 주요연혁, 주요 사업 분야, 기술인력 현황 | 10점 | ||
| o 기업신용도 - 신용평가에 따른 경영 상태 | ||||
| 기술부문 (60점) | o 공고 규격의 적합성 - 장비 사양 및 특장점 명시 - 기본 규격서의 규격 충족도 및 적합성 - 용도 및 기능의 충족도 - 시스템 안정성 및 신뢰도 | 30점 | ||
| o 설비능력 - 기본규격서의 규격충족도 및 우월성 - 공정 결과의 재현성 및 신뢰성 - 장비구축 및 운영의 최적화 여부 | ||||
| 품질보증 계획의 적정성 (20점) | o 사후 관리 및 추진체계 - 장비 유지보수, 인력운영계획 - 유지보수를 위한 부품수급의 용이성 - 납품 및 설치일정표 등의 적합성 | 10점 | ||
| o 교육훈련 및 기타 제안 - 교육훈련 계획 - 기타 제안 사항 | ||||
| 합 계 | 100점 |