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[RISE-자율R&D] 기능성 박막 공정 개발을 위한 열적 원자층 증착 장비 구매

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공고 개요

유찰 · 영남대학교 · 반도체·박막 공정장비

결과
유찰
참가
0곳 · 개찰 07/13(월)

요약 AI 요약

기능성 산화물 박막 및 차세대 첨단 소재의 공정 개발과 특성 최적화를 위한 핵심 연구 인프라를 구축하고자 열적 원자층 증착 장비를 구매함.

참가 자격 · 제한

업종제한
제한 없음
지역제한
제한 없음
공동수급
공동수급불허
입찰참가 제한
모름
실적경쟁 · PQ
모름
국제입찰
국내입찰
제출 방법
전자입찰

입찰 일정

진행일시남은 날
공고 게시07/02(목)지남
입찰서 제출 시작07/02(목) 17:00지남
입찰참가자격 등록 마감07/10(금) 18:00지남
입찰서 제출 마감07/13(월) 14:00지남
개찰07/13(월) 15:00지남

가격

추정가격
90,000,000원
배정예산
99,000,000원
부가세
9,000,000원
예정가격 방식
단일예가

납품

품명
진공증착기 (2399039801)
수량
1 대
인도조건
설치까지 · 현장설치도
제조물품
아니오
세부품명 등록
아니오

공고 정보

공고종류
등록공고 (일반공고)
게시일
07/02(목)
공고번호
R26BK01611894-000
참조번호
2026-000078-1
공고기관
영남대학교
수요기관
영남대학교
계약방법
일반경쟁
낙찰방법
규격가격동시입찰
계약유형
총액계약
예정가격 방식
단일예가
추정가격
90,000,000원
배정예산
99,000,000원
사전규격번호
R26BD00245785
재공고
아니오
출처
나라장터

문서 발췌

과업·요구

물품번호기 자 재 명단위수량
국 문열적 원자층 증착 장비
-영 문Thermal ALD System대1
1. 특 징
Ÿ 원자층 단위의 정밀한 박막 두께 제어와 우수한 균일도를 기반으로 고품질 기능성 박막 증착이 가능한 열
적 원자층 증착( Thermal ALD )장비임.
Ÿ 최대 450℃ 공정 온도, 다중 전구체 공급 시스템, 자동 압력 제어 기반의 Full Automation 구성을 통해
안정적이고 재현성 높은 공정 수행이 가능함.
Ÿ 평판 기판뿐만 아니라 분말 및 고종횡비, 다공성 구조에도 등각성 코팅이 가능하여 반도체, 기능성 소재,
환경소재 연구에 폭넓게 활용 가능한 장비임
2. 상세내역(구성)
Ÿ Thermal ALD System
1- Process Module
-Traveling wave type ALD Chamber
- Wafer size : 6"
- Process Gauge : Convectron Gauge, ATM S/W
- Max heater Temperature : 450℃
- Source Delivery : 4 Bubblers with 150℃ Carrier
( Bubblers Canister 2set 추가 공간 확보)
- Gas Line Temperature :150℃
- Process Gas : N2외4 Sets
- Reactant : H2O Canister
- Auto Pressure control kit
( Baratron gauge , Throttle valve , Controller
- Hot Trap : 450℃
- Pumping line : NW40
3. 부속물 기구 및 재료
Ÿ L/L Module
- L/L Chamber
- Gate valve (2"by 9")
- Slower & Fast pumping
- Pumping line : NW25
- Vacuum Gauge : Convectron Gauge, ATM S/
Ÿ Electric System
- Power box
- Power on/off , EMO , System maintenance
Ÿ software 구성 (Full Automation)
- PC base S/W

- PLC Control Ÿ L/L & Bypass Pump (Oil Rotary Pump) - Maker : Kodivac 550k - Pumping Capacity: ~550 LPM / m 4. 참고사항 Ÿ 전구체, 반응가스, 진공 펌프 소모품 등 운영에 필요한 부대 소모품의 지속적인 관리가 필요하며, 안정적 인 장비 운영을 위해 정기적인 유지보수가 요구됨.

☞ 작성요령 1.기자재의 상세내역 등은 반드시 국문으로 자세하게 기재하되,특정 모델 지정 불가 (일반규격서로 작성) 2.구매물품 구성내역은 상세내용으로 구분하여 작성(입찰시 제시 상세규격임) 3.예상금액은 구매 가능한 현재의 환율 등 거래실례가격을 기재(OptionalAcc.및 V.A.T포함),인터넷가격은 불가 4.예상금액을 증명할 수 있는 참고자료(카다로그,견적서 등)

실험실습기자재 활용 계획서

품 명 Thermal ALD System (영문) 기 자 재 규 격 - 구입 예정금액 99,000,000 원 수량 1 대 기자재 활용 계획 1. 기자재 개요 및 구입목적 Ÿ 본 기자재는 원자층 증착 공정을 기반으로 기능성 박막을 원자층 수준에서 정밀하게 형 성할 수 있는 열적 원자층 증착 장비임. 기판 표면에 균일하고 재현성 높은 박막 증착 이 가능하며 고종횡비 구조, 분말 및 다공성 소재에 대한 등각성 코팅이 가능하여 다양 한 기능성 소재 개발에 활용할 수 있는 첨단 공정 장비임 Ÿ 본 장비의 구입 목적은 기능성 산화물 박막 및 차세대 첨단 소재의 공정 개발과 특성 최적화를 위한 핵심 연구 인프라를 구축하는 데 있음. 특히 저온 및 정밀 박막 증착 공 정을 통해 반도체, 전자소자, 에너지 소재, 환경소재 등 다양한 분야의 연구개발을 수행 하고, 공정 재현성 향상 및 시제품 제작 기반 확보를 통해 산학협력 연구와 후속 기술 개발을 효과적으로 지원하고자 함

2. 기자재 활용계획 Ÿ 본 기자재는 기능성 산화물 박막 증착 공정 개발, 반도체 및 전자소자용 박막 소재 제 작, 에너지·환경 분야 기능성 소재 표면 개질 연구 등에 핵심적으로 활용할 계획임. 원 자층 수준의 정밀한 두께 제어와 우수한 코팅 특성을 기반으로 고품질 박막 형성 및 공 정 최적화 연구를 수행하며 분말 및 다공성 구조 소재의 표면 기능화에도 활용하여 연 구 범위를 확장할 예정임. 또한 연구과제 수행뿐만 아니라 산학협력 기반 공동 연구, 시 제품 제작, 공정 검증 및 후속 기술개발을 위한 핵심 연구 인프라로 지속 활용하여 연 구 성과 창출과 기술 경쟁력 확보에 기여하고자 함 3. 활용 기대효과 Ÿ 본 기자재 도입을 통해 원자층 수준의 정밀한 박막 증착 공정 구현이 가능해짐에 따라 기능성 산화물 및 첨단 소재의 성능 향상과 공정 재현성 확보가 기대됨. 이를 기반으로 반도체, 전자소자, 에너지 및 환경소재 분야의 고부가가치 연구개발 역량을 강화할 수 있으며 기존 외부 장비 의존에 따른 시간적·비용적 제약을 해소하여 연구 효율성을 크 게 향상시킬 수 있음. 또한 산학협력 기반의 공동 연구, 시제품 제작, 공정 검증 및 기 술이전까지 연계 가능한 핵심 연구 인프라로 활용되어 실질적인 연구 성과 창출과 기술 경쟁력 확보에 기여할 것으로 기대됨. 2026. 05. 13. 소속: 영남대학교 신소재공학부 직위: 조교수 성명: 김 민 재 (인) === 01-(게시용)-입찰공고 및 입찰유의서(원본)_[RISE-자율R&D] 기능성 박막 공정 개발을 위한 열적 원자층 증착 장비 구매(2차년도).hwp === 공고 제 2026-000078-1 호

구 분일 시장 소
입찰공고2026. 7. 2.(목)영남대학교 홈페이지, G2B(나라장터)
전자입찰서 접수 개시2026. 7. 2.(목) 17:00규격서: 방문접수
가격입찰서: G2B(나라장터)
전자입찰서 접수 마감2026. 7. 13.(월) 14:00
규격 심사2026. 7. 13.(월) 14:30영남대학교 경산캠퍼스 대학본부 1층 구매팀 입찰장
개 찰2026. 7. 13.(월) 15:00국가종합전자조달시스템(G2B)

참가자격

마. 입찰서 제출은 반드시『국가종합전자조달시스템(G2B)』(https://www.g2b.go.kr)을 이용하여 전자로 제출하여야 함 바. 전자입찰서 제출 후 조달청 전자입찰시스템의 웹송신함에서 전자입찰서 제출여부를 반드시 확인하여야 함 4. 입찰참가자격 : 아래의 모든 조건을 충족하여야 함 가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 동법 시행규칙 제14조 규정에 의한 자격을 갖춘 사업자 나. 입찰공고일 기준 2년 이내에 우리대학교에서 발주한 계약의 계약대상자로서 계약체결 이후부터 준공(완료)까지 계약불이행 또는 지체 등 각종 문제로 부과금을 납부한 적이 있는 사업자는 입찰에 참가할 수 없음 다. 입찰공고일 현재 청산, 합병, 매각 등 정리절차 중인 사업자와 법원에 화의, 법정관리 등을 신청 중인 사업자는 입찰에 참가할 수 없음 라. 국가를당사자로하는계약에관한법률 제27조에 의한 부정당업자는 입찰참가자격을 제한함 마. 공동이행방식과 분담이행방식은 불허함 바. 중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률에 따라 발급된 중·소기업 또는 소상공인 확인서를 소지한 업체

5. 규격입찰서 제출 안내

가. 제출기한: 2026. 7. 13.(월) 13:30~14:00까지 (접수시간 미엄수 시 규격서 제출 불가) 나. 제출장소: 경상북도 경산시 대학로 280 영남대학교 대학본부 1층 구매팀 이한빈 담당자

구 분일 시장 소
입찰공고2026. 7. 2.( 목)영남대학교 홈페이지, G2B( 나라장터)
전자입찰서 접수 개시2026. 7. 2.( 목) 17: 00규격서: 방문접수
전자입찰서 접수 마감2026. 7. 13.( 월) 14: 00가격입찰서: G2B( 나라장터)
규격 심사2026. 7. 13.( 월) 14: 30영남대학교 경산캠퍼스 대학본부 1층 구매팀 입찰장
개 찰2026. 7. 13.( 월) 15: 00국가종합전자조달시스템( G2B)

마. 입찰서 제출은 반드시『국가종합전자조달시스템( G2B)』( https://www. g2b. go. kr)을 이용하여 전자 로 제출하여야 함 바. 전자입찰서 제출 후 조달청 전자입찰시스템의 웹송신함에서 전자입찰서 제출여부를 반드시 확인 하여야 함 4. 입찰참가자격 : 아래의 모든 조건을 충족하여야 함 가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 동법 시행규칙 제14조 규정에 의한 자격을 갖춘 사업자 나. 입찰공고일 기준 2년 이내에 우리대학교에서 발주한 계약의 계약대상자로서 계약체결 이후부터 준공(완 료)까지 계약불이행 또는 지체 등 각종 문제로 부과금을 납부한 적이 있는 사업자는 입찰에 참가할 수 없음 다. 입찰공고일 현재 청산, 합병, 매각 등 정리절차 중인 사업자와 법원에 화의, 법정관리 등을 신청 중인 사업자는 입찰에 참가할 수 없음 라. 국가를당사자로하는계약에관한법률 제27조에 의한 부정당업자는 입찰참가자격을 제한함 마. 공동이행방식과 분담이행방식은 불허함 바. 중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률에 따라 발급된 중· 소기업 또는 소상공인 확인서 를 소지한 업체 5. 규격입찰서 제출 안내 가. 제출기한: 2026. 7. 13. (월) 13:30~ 14: 00까지 ( 접수시간 미엄수 시 규격서 제출 불가) 나. 제출장소: 경상북도 경산시 대학로 280 영남대학교 대학본부 1층 구매팀 이한빈 담당자 다. 제출방법: 방문 제출