원자층박막증착시스템 구매

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• 3. 입찰공고문.hwp · 공고규격서
• 3. 입찰공고문.pdf · 공고규격서
• 4. 규격제안요청서.hwp · 공고규격서
• 1. 물품규격서.hwp · 공고규격서

공고 개요

유찰 · 충남대학교 산학협력단 · 반도체·박막 공정장비

결과

유찰

참가

0곳 · 개찰 07/16(목)

요약 AI 요약

차세대 뉴로모픽 컴퓨팅 소자 연구를 위해 초박막 산화물을 정밀하게 쌓을 수 있는 원자층 증착 장비(ALD) 1종을 구매하는 사업입니다. 이를 통해 소자 제작과 특성 평가의 피드백 속도를 높이고 연구 역량을 강화하고자 합니다.

• 8인치 웨이퍼 및 100-200mm 기판 대응 가능 챔버
• 최대 350도 정밀 온도 제어 및 가열 시스템
• 고정밀 가스 제어 블록 및 독립된 소스 라인 4개
• 배기 속도 550L/min 이상의 로터리 펌프 및 핫 트랩
• PC 기반의 전자동 공정 제어 프로그램 및 모니터링 시스템
• 사용자 교육 및 매뉴얼 제공

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 제안서 평가 점수 85점 이상 업체를 대상으로 가격을 개찰하여 예정가격 범위내의 최저 가격으로 투찰한 업체를 최종 낙찰자로 선정한다.

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자입찰

입찰 일정

가격

추정가격

61,818,182원

배정예산

68,000,000원

기초금액

68,000,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)

부가세

6,181,818원

예정가격 방식

복수예가

납품

품명

웨이퍼증착적층기 (2321118301)

수량

1 대

납품

계약 후 84일

인도조건

설치까지 · 현장설치도

제조물품

아니오

세부품명 등록

등록 필요

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

07/08(수)

공고번호

R26BK01621349-000

참조번호

경영관리부-7787

공고기관

충남대학교 산학협력단

수요기관

충남대학교 산학협력단

계약방법

제한경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

61,818,182원

배정예산

68,000,000원

사전규격번호

R26BD00246783

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 발췌

과업·요구

=== 4. 규격제안요청서.hwp === 2026. 06.

I. 사업 개요

1. 개요 ● 본 연구진은 차세대 뉴로모픽 컴퓨팅 크로스바 어레이 구동을 위한 자가 정류 멤리스터(Self-Rectifying Memristor, SRM) 및 RRAM 소자를 설계하고 개발하는 연구를 수행 중임. ● 저전류 구동 조건에서 소자의 전기적 특성 산포를 개선하고 스위칭 신뢰성을 극대화하기 위해서는, 수 nm 수준의 극미세 두께 제어와 고균일 계면 특성을 갖는 고품질 절연막(Al2O3, HfO2, Ta2O5 등)의 적층 공정이 필수적임. ● 본 장비(ALD System) 도입을 통해 교내에서 독립적이고 즉각적인 초박막 산화물 증착 공정을 수행함으로써, 증착 조건 변경-소자 제작-특성 평가로 이어지는 연구 피드백 속도(TAT)를 획기적으로 단축하고자 함. ● 궁극적으로 박막 조성 최적화 및 정교한 계면 제어를 달성하여 우수한 On/Off 저항비와 안정적인 자가 정류 특성을 갖는 고밀도 멤리스터 어레이 소자 연구 역량을 강화하는 데 본 사업의 목적이 있음. 2. 사업명 ○ 자가 정류 멤리스터 연구용 원자층 증착 장비(ALD) 1종 1점 구매 ○ 추정 가격: 68,000,000원 (부가세 포함) 3. 납품 및 설치 장소 가. 납품기한 : 계약일로부터 12주 이내 나. 장 소 : 대전광역시 유성구 대학로 99 충남대학교 자연과학대학 4호관 물리학과 실험실 (W11-2)

다. 문 의 처 : 반도체융합학과 이종원 (010-5577-3449, jwlee80@cnu.ac.kr) 4. 제안서 목적 ○ 본 제안요청서는 자가 정류 멤리스터(SRM) 및 RRAM 소자 연구용 원자층 증착 장비(ALD) 1종 1점의 물품 구매, 설치, 시험, 검사 및 지원 사항(사용자 교육 및 무상 A/S 등 사후관리) 등에 있어 계약 상대자가 이행하여야 하는 제반 사항을 규정함을 목적으로 한다. 5. 적용범위 가. 해당 시험기자재의 납품 및 설치 나. 기기의 시험 운영 및 사용자 교육 다. 사후관리(하자보증 및 향후 A/S) 라. 기술 사양은 장비의 성능 및 설계의 기준을 반드시 준수하여야 하며, 본 규격서에서 규정하지 않은 사항에 대해서도 계약자는 최신 기술을 도입하고 양질의 자재를 사용하여 운용 및 정비가 용이하고 최고의 성능이 보장되어야 한다.

II. 입찰 및 계약에 관한 사항

1. 입찰방법 ○ 규격/가격 동시입찰 - 시험장비 규격 이상의 성능과 규격 등을 갖춘 제품에 한해 가격경쟁을 유도하여 시험목적에 적합한 고품질의 시험기기를 구매하기 위하여 규격ㆍ가격 동시입찰을 실시함. 『국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제18조 3항』 - 공동이행방식 불가 2. 입찰 참가자격 ○ 기기를 자체생산하는 업체만 신청가능 ○ G2B 물품분류번호 10자리 (2321118301, 웨이퍼증착적층기) 등록 업체에 한하여 참여 가능 ○ 기타사항은 본 입찰공고서의 입찰 참가 자격 조항을 참조함. 3. 낙찰자 선정 절차 ○ 본 입찰공고서의 낙찰자 선정 절차 조항을 참조함. 4. 제안서 평가 방법

배점·평가

과업·요구

A. 특징 ● 본 시스템은 Al2O3, HfO2, Ta2O5 등 금속산화물 초박막을 원자층 단위로 정밀하게 증착할 수 있는 연구개발용 원자층 박막 증착 장비임. ● 차세대 뉴로모픽 컴퓨팅 크로스바 어레이 구동을 위한 자가 정류 멤리스터 및 RRAM 소자의 switching layer와 barrier layer 형성에 특화되어 있음. ● 대면적 8인치(Standard 8") 웨이퍼 및 100-200mm 기판 대응이 가능하며, 고정밀 가스 제어 플랫폼을 적용하여 우수한 박막 두께 균일도와 뛰어난 공정 재현성을 보장함. ● 소자 특성의 산포 개선, 신뢰성 향상 및 저전류 동작 최적화를 위해 수 nm 수준의 박막 두께, 조성, 계면 특성을 독립적이고 정밀하게 제어할 수 있는 최적의 연구 환경을 제공함. B. 규격 1) 공정 챔버 모듈 (Process Chamber Module) ● 기판 크기: Standard 8" Wafer (100-200mm) 대응 가능 ● 공정 가능 온도: 최대 350°C 범위의 정밀 기판 온도 제어 지원 ● 기판 가열 방식: 박막의 열적 안정성과 고균일성 확보를 위한 Molded heater (micro-sheath) 시스템 적용 2) 가스 공급 모듈 (Gas Delivery Module) ● 가스 공급 플랫폼: 고정밀 가스 유량 및 경로 제어를 위한 가스 제어 블록(Integrated Gas System) 또는 동등 이상 사양 장착 ● 프리커서(소스) 라인 개수: 총 4ea 라인 독립 구성 • 소스 라인 2ea: 흡입 공급 방식 (Suction or equivalent type, Single port) — 고온용(hi-temp.) 라인 • 소스 라인 1ea: 흡입 공급 방식 (Suction or equivalent type, Single port) — 저온용(low-temp.) 라인 • 반응물 라인 1ea: H2O reactant 전용 공급 라인 ● 프리커서 공급 제어: 소스의 안정적인 증기압 조절을 위한 전용 쿨링 재킷(Cooling jacket for vapor pressure control) 포함 ● 온도 제어 방식: 0°C~20°C 범위의 고정밀 PID 온도 제어(PID Temp control) 기능 내장

3) 진공 배기 라인 모듈 (Pumping Line Module) ● 메인 배기 펌프: 고성능 진공 흡입 및 배기를 위한 로터리 펌프(Rotary pump, 배기 속도 550L/min 이상) 장착 ● 공정 잔류물 관리: 배기 라인 내 파우더 고착 방지 및 잔류 가스 트랩을 위한 Hot trap 시스템 기본 포함 ● 진공 밸브 규격: 안정적인 진공 감압을 위한 NW25 규격의 Roughing Valve 시스템 탑재 4) 시스템 제어 및 운영 모듈 (System Control & Operation Module) ● 공정 제어 방식: 사용자 편의성과 공정 안전성을 극대화한 PC 기반 Full-auto 자동 공정 제어 프로그램 탑재 및 실시간 모니터링 시스템 구축 C. 표준 및 부속품 ● 시스템 운영 및 레시피 스케줄링용 전용 고성능 PC 및 LCD 운영 모니터 셋업 ● 시스템 안전 차단 interlock 회로 및 안정적 구동 전력 배선이 통합된 Electrical power drive panel box 포함 D. 용도 및 A/S기간 등 ● 주요 용도: RRAM/자가 정류 멤리스터 소자의 초박막 산화물 적층 구조 (Al2O3, HfO2, Ta2O5 등)의 두께 및 계면 조건을 체계적으로 조절하여 저전류 동작, 산포 개선, 저항 변화 특성 및 신뢰성을 향상시키는 공정 조건 개발 연구. ● 품질 보증 기간 (Warranty): 장비 설치 및 공정 타이틀 검수 완료일로부터 1년 무상 보증 지원 (단, 화학 전구체 및 소모성 소스 재료는 보증 대상에서 제외). ● 공정 검수 조건 (Acceptance Conditions): • 1) 박막 두께 균일도: 8인치 활성 영역(Active area) 내에 Si 웨이퍼를 기판으로 활용하여 Al2O3 박막을 200Å 두께로 증착한 후 측정 시, Film uniformity ≤ ±2% 이내를 완벽히 충족해야 함. • 2) 측정 및 계산 방법: 엘립소미터 (Ellipsometer) 정밀 측정 장비를 활용하여 1개 웨이퍼당 9포인트를 지정 측정하며, 균일도 산출 공식은 1-Sigma [(표준편차STD/평균AVG)x100%] 표준 기준을 적용함.

1. 입찰개요 -------------------------------------------------------------------------------------------------------- ○ 수요기관: 충남대학교 산학협력단 ○ 계약방법: 제한경쟁 ○ 품 명: 원자층 증착 시스템 ○ 분할납품: 불 가 ○ 입찰방법: 규격가격동시 ○ 납품기한: 계약일로부터 12주 이내 ○ 인도조건: 현장설치도(충남대학교 자연과학대학 4호관 물리학과 실험실 (W11-2)) ○ 기초금액: 68,000,000원(부가세 포함) ○ 입찰건명: 원자층 증착 시스템 구매 ○ 하자담보책임기간: 검수일로부터 1년 ○ 기타사항: 공동이행방식 불가 * 기타 세부사항(상세수량 및 규격 등)은 수요부서 요청에 의하며 전자입찰공고서에 첨부된 내역서, 규격서 등을 반드시 확인하시기 바라며, 규격 부분에 대해서는 수요부서(충남대학교 자연과학대학 반도체융합학과 이종원, jwlee80@cnu.ac.kr)에 정확히 문의 후 투찰하도록 하시기 바랍니다. * 당부사항: 입찰 전 반드시 규격서 검토 및 사전조사(수요부서 사전 연락)를 하신 후 신중하게 참여하시기 바라며, 입찰 후 가격 등의 문제로 인한 적격심사 포기 혹은 계약미체결(불이행)을 하실 경우 관련규정에 따라 “입찰참가자격 제한 및 입찰(계약)보증금 환수 조치”가 불가피함을 알려드립니다. 2. 입찰(개찰) 일시 및 장소 -------------------------------------------------------------------------------------------------------- ○ 입찰(개찰)일시 : 2026. 7. 14. 15:00 ○ 입찰방식 : 전자입찰(국내입찰) ○ 전자입찰서제출 개시일시 : 2026.  7. 8. 14:00 ○ 전자입찰서제출 마감일시 : 2026. 7. 14. 14:00 ○ 개찰장소 : 국가종합전자조달시스템(나라장터) ○ 동 입찰이 유찰될 경우 재입찰이 가능하니 국가종합전자조달시스템(http://www.g2b.go.kr)에서 개찰결과를 확인 후 공고된 일정에 따라 재입찰하시기 바랍니다. ○ 기초금액 및 입찰금액은 부가가치세를 포함한 가격이오니 입찰서 제출 시 유의하시기 바랍니다. 3. 입찰참가자격 -------------------------------------------------------------------------------------------------------- ◐ 다음 각 호의 자격을 모두 갖춘 자이어야 합니다.