반도체 플라즈마 실습장비

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진행 중

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• [한국공학대학교 산학협력단 입찰공고] 반도체 플라즈마 실습장비_산단내2026-18호.zip · 공고규격서

공고 개요

유찰 · 한국공학대학교 산학협력단 · 교육 실습장비

결과

유찰

참가

0곳 · 개찰 07/16(목)

요약 AI 요약

반도체 플라즈마 공정의 핵심 요소를 직접 실습하여 이론 교육을 보완하기 위해, 교육용 반도체 플라즈마 실습장비 2대를 도입합니다.

• 진공 챔버 및 플라즈마 소스(ICP, CCP 방식)
• 가스 공급 및 압력 제어 시스템
• 8인치 이상 웨이퍼 장착 가능 스테이지
• 실습 전용 소프트웨어 및 교육 커리큘럼(6종 이상)
• 실습 매뉴얼
• 장비 설치, 시운전 및 사용자 교육

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 평가된 종합점수를 합산하여 평균 85점(100점 만점 기준) 미만인 업체는 부적격 처리함

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자입찰

입찰 일정

가격

추정가격

178,000,000원

배정예산

195,800,000원

기초금액

195,800,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)

부가세

17,800,000원

예정가격 방식

복수예가

납품

품명

공정제어실험장치 (6010629901)

수량

2 대

인도조건

설치까지 · 현장설치도

제조물품

아니오

세부품명 등록

등록 필요

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

07/07(화)

공고번호

R26BK01621400-000

참조번호

산단 내 2026-18호

공고기관

한국공학대학교 산학협력단

수요기관

한국공학대학교 산학협력단

계약방법

제한경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

178,000,000원

배정예산

195,800,000원

사전규격번호

R26BD00247118

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 발췌

과업·요구

* 세부품명번호(10자리) 및 세부품명은 입찰공고 대상건만 기재함. Ⅰ. 특징, 용도(Feature) - 플라즈마 발생, 진공 제어, 가스 조성 및 전력 조건 설정 등 플라즈마 공정의 핵심 요소를 직접 실습할 수 있도록 구성되어 있어야하며, 이론 중심 교육을 보완하는 실험 기반 학습을 진행할 예정임 - ICP source의 범위가 13.56MHz, >1kW, pulse이며 사용 가능한 가스는 Ar, N2, O2, SF6으로 플라즈마 핵심 요소 및 특성 이해 실습수업이 가능해야 함 Ⅱ. 장비의 구성(Configurations of Goods) 1. 반도체 플라즈마 실습장비 2. 진공챔버 및 플라즈마 소스 진공 챔버 ICP(Source) RF Plasma Source CCP(Bias) RF Plasma Source Gas 공급 시스템 압력 제어 시스템 진공 펌프 시스템 3. 실습 S/W 및 커리큘럼 -플라즈마 실습교육 6종 (실습메뉴얼, 실습전용 S/W) Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specification) 1. 반도체 플라즈마 실습장비 반도체 공정용 플라즈마 실습이 가능한 교육용 시스템일 것 ICP 및 CCP 플라즈마 공정을 실습할 수 있을 것 실습 전용 소프트웨어 및 교육 커리큘럼을 제공할 것 2. 진공챔버 및 플라즈마 소스 가. 진공 챔버 Chamber Size : 1,000(W) × 680(D) × 1,300(H) mm 이하 Base Pressure : 5 × 10⁻³ Torr 이하 Vacuum Pump : Rotary Pump 방식

나. Gas 공급 시스템 사용 가능 가스 : Ar, N₂, O₂, SF₆ 다. 진공 측정 및 압력 제어 Vacuum Gauge : Convection Gauge, Baratron Gauge(1 Torr) Pressure Control : APC(Auto Pressure Controller) Valve : Manual Valve 라. 플라즈마 소스 (1) Source RF 방식 : ICP (Inductively Coupled Plasma) 주파수 : 13.56 MHz 출력 : 1 kW 이상 Pulse 운전 가능 (2) Bias RF 방식 : CCP (Capacitively Coupled Plasma) 주파수 : 2 MHz 출력 : 1 kW 이상 Pulse 운전 가능 마. Matching Network Auto Matching 기능을 제공할 것 바. Stage 8인치 이상 웨이퍼 장착 가능할 것 사. Process Gap 3 cm ~ 6 cm 조절 가능할 것 아. 전원 AC 220V, 단상, 30A 3. 실습 S/W 및 커리큘럼 플라즈마 실습교육 6종 이상 제공할 것 실습 매뉴얼을 제공할 것 실습 전용 소프트웨어를 제공할 것 Ⅳ. 기타 조건(Remarks) 1. 장비 설치 및 시운전을 포함할 것. 2. 납품 장소는 수요기관 지정 장소로 한다. 3. 무상보증기간은 검수 완료일로부터 1년 이상일 것.

참가자격

2. 입찰참가자격 가. 자격조건 - 기업구분 제한: 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」 제2조의2에 따른 중소 기업확인서를 보유한 업체 * 중소기업확인서는 전자입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 함 - 물품 등록: 입찰참가자격등록 마감일까지 조달청 나라장터에 세부품명번호 6010629901(공 정제어실험장치)를 공급 또는 제조 물품으로 등록한 업체 나. 입찰등록 마감일 기준 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제27조 및 동법 시행령 제76조에 의한 부정당업자에 해당하지 아니한 자 다. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 시행령 제12조에 해당하고, 동법 시행규칙 제 14조 규정에 의한 입찰참가자격을 갖춘 자 라. 본 계약은 수행 신뢰성 확보를 위해 공동수급 및 하도급은 불허함 마. 입찰참가 신청 시 본교의 선정방식에 이의가 없음을 확약한 업체(서약서 제출) 3. 입찰서 제출 가. 본 입찰서 제출은 반드시 조달청 국가종합전자조달(http://www.g2b.go.kr) 홈페이지의 전자입찰시스템을 이용하여 제출(가격투찰)하여야 하며, 입찰참가서류(제안서포함)는 한국공 학대학교 산학협력단 구매담당자에게 입찰마감일시까지 직접 제출하여야 함(두가지 모두 이행하여야 하며 한 가지라도 이행하지 않을 경우 자격미달 처리됨) 나. 전자입찰서 제출 확인은 전자입찰시스템 웹 송신함에서 가능 다. 한번 제출한 전자입찰서는 취소하거나 수정할 수 없음. 단 전자조달의 이용 및 촉진에 관 한 법률 시행령 제5조에 따라 입찰의 취소를 신청한 경우 입찰집행관은 입찰서를 무효처 리할 수 있으며, 이 경우 취소의사를 표시한 입찰자는 당해 입찰에 대하여 재입찰을 할 수 없음

라. 본 전자입찰서 제출은 전자입찰 입찰자 신원확인제도가 적용됨에 따라 개인인증서를 보유 한 대표자 또는 입찰대리인만이 견적서 제출이 가능함 4. 입찰참가 신청(서류안내) 가. 가격입찰서 제출기간 및 장소 - 제출기간 : 2026.07.13.(월) 11:00 ~ 07.15.(수) 11:00 - 제출장소 : 국가종합전자조달시스템(g2b) 전자입찰서 제출 나. 입찰참가서류(제안서포함) 제출기간 및 장소 (현장접수만 가능, 우편/이메일접수 불가) - 제출기간 : 2026.07.13.(월) 11:00 ~ 07.15.(수) 11:00 (업무시간 내 접수) - 제출장소 : 한국공학대학교 제2캠퍼스 산학협력관 3층 연구지원팀 구매담당자 (경기도 시흥 시 엠티브이북로 65) - 제출서류 (입찰 참가 방문시 인감도장 또는 사용인감도장 필히 지참 바람)

배점·평가

나. 제안요청서의 모든 사항에 대하여 적합 여부를 명시하여야 하며, 제안서의 허위기재 시 제안서 평가대상 업체에서 제외한다.

4. 평가방법

가. 평가는 제안서 제출업체에 한하여 항목별로 실시한다. 나. 평가된 종합점수를 합산하여 평균 85점(100점 만점 기준) 미만인 업체는 부적격 업체로 한다. ※ 종합점수 : 최고점수 1개와 최저점수 1개를 제외(최저 또는 최고점수가 2개 이상인 경우에는 이 중 하나만 제외) 한 후, 나머지 점수를 산술평균하여 평균점수를 부여 - 평가항목[별첨 1] 및 배점 기준[별첨 2]~[별첨 3]

5. 평가결과

- 제안서평가 기관(수요기관)의 장은 제안서 평가 종료 후 평가결과를 개별업체통보(평가위원별·항목별 평가점수) 후 전자조달 시스템 등을 통해 3일 이상 공개하며 평가결과 공개 시 평가위원명은 비공개한다. 단, 제안서 평가결과에 개인정보, 영업비밀 및 다른 법령에 따라 공개가 제한되는 정보가 포함되어 있을 경우 평가결과의 일부 또는 전부를 공개하지 아니할 수 있다. 이 경우 전자조달시스템 또는 발주기관의 정보처리장치에 제안서 평가결과를 공개하지 않는다는 취지와 그 사유를 게재하여야 한다.

6. 기타사항

가. 제안서 제출 후 추가자료 제출은 인정하지 않으며 입찰 시 제출한 자료만 검토한다. 나. 제출된 제안서의 내용이 허위로 판명될 경우 해당 입찰자의 제안서는 무효로 한다.

※ 주기 : 기술, 장비납품계획, 사후관리성의 평가는 제안서 제출자료에 의해 평가위원이 절대평가 한다. [별첨 2] 세부 평가기준 및 평정표 【기술평가】 업체명 : 평가위원 : (인)

[별첨 3] 세부 평가기준 및 평정표 【사후관리성】 업체명 : 평가위원 : (인)

【기업신용평가】

[표1] 신용평가등급 (5점) : 신용평가 등급에 의한 경영상태 평가

[별첨 4]

제안서 평가표

(물품명 : 반도체 플라즈마 실습장비) □ 제안업체명 :

※ 기술, 장비납품계획, 사후관리성의 평가는 제안서 제출자료에 의해 평가위원이 절대평가 한다. ※ 구체적인 제안내용 없이 공고 규격만의 제안 및 제안내용의 불성실, 임의 작성시 부적격 처리 2026. . . 소 속 : 직책 : 평가위원 : (인) [별첨 5]

규격제안서 평가 결과 집계표

□ 사업명(장비명) : 반도체 플라즈마 실습장비