입찰공고상세[물품] · 마감 · AI 페이지

원자층 공정 시스템 구매

이 페이지는 공공일감(work.00data.kr)이 입찰공고 「원자층 공정 시스템 구매」을 AI가 읽기 좋게 한 장으로 정리한 글이다.

공고명 · 금액 · 일정은 공공데이터포털 · 조달청 입찰공고 정보 그대로이고, 요약 · 문서 분석 · 발췌는 공공일감이 공고문과 첨부를 읽고 만든 것이다.

이 가공물은 인용할 수 있으며, 인용할 때는 공공일감과 공고 페이지 링크(https://work.00data.kr/projects/R26BK01566032)를 출처로 밝히는 조건이다. 베타 기간 무료.

2026-10-13 16:50 KST 기준 · 최종 확인은 나라장터 원문을 따른다.

공고 정보: 공공데이터포털 · 조달청 입찰공고 정보 · 요약 · 분석: 공공일감이 공고문과 첨부를 읽고 정리

링크

비슷한 공고

링크는 각 공고의 AI 페이지다.

진행 중

끝난 공고 · 결과

첨부파일

뷰어 링크는 사람이 원문을 볼 때 쓰는 화면이다. 이 문서들에서 뽑은 자격 · 배점 · 일정 · 발췌는 이 페이지 아래에 글로 있다.

공고 개요

재공고 · 유찰 · 한양대학교 산학협력단 · 반도체·박막 공정장비

결과
유찰
참가
0곳 · 개찰 06/16(화)

요약 AI 요약

반도체 전문 인력 양성을 위해 고밀도 플라즈마 구현 및 공정 실습이 가능한 원자층공정시스템(ALP system) 1식을 구매하고 설치하기 위함입니다.

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 평가점수는 평가 합계가 85점을 기준으로 합격 및 불합격으로 판정한다. (85점 이상 합격)

배점표 (AI 요약)
평가 항목배점
기업 신용평가도5점
장비 취급의 전문성 및 사업 업종의 적합성2.5점
납품 및 설치 일정 계획의 적합성2.5점
규격대비표 작성의 충실성10점
기술 관련 자료의 적합성10점
용도 및 기능 적합성20점
장비의 구성 적합성20점
규격 및 성능 적합성20점
장비의 A/S 및 기술지원 계획의 적정성10점
합계(항목을 더한 값)100점

참가 자격 · 제한

업종제한
제한 없음
지역제한
제한 없음
공동수급
공동수급불허
입찰참가 제한
모름
실적경쟁 · PQ
모름
국제입찰
국내입찰
제출 방법
전자입찰

입찰 일정

진행일시남은 날
공고 게시06/08(월)지남
입찰서 제출 시작06/08(월) 17:00지남
입찰참가자격 등록 마감06/14(일) 18:00지남
입찰서 제출 마감06/15(월) 17:00지남
개찰06/16(화) 09:00지남

가격

추정가격
174,545,455원
배정예산
192,000,000원
기초금액
192,000,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)
부가세
17,454,545원
예정가격 방식
복수예가

납품

품명
웨이퍼식각기 (2321118001)
수량
1 대
인도조건
모름
제조물품
아니오
세부품명 등록
아니오

공고 정보

공고종류
재공고 (재입찰공고)
게시일
06/08(월)
공고번호
R26BK01566032-000
참조번호
H6129-2026-0512
공고기관
한양대학교 산학협력단
수요기관
한양대학교 산학협력단
계약방법
일반경쟁
낙찰방법
규격가격동시입찰
계약유형
총액계약
예정가격 방식
복수예가
추정가격
174,545,455원
배정예산
192,000,000원
사전규격번호
R26BD00225974
재공고
재공고
출처
나라장터

문서 발췌

과업·요구

=== 붙임1. 제안요청서_원자층공정시스템_반도체부트캠프.pdf === 장 비 구 매 제 안 요 청 서 입 찰 건 명 :원자층공정시스템 수 요 기 관 :한양대학교 산학협력단 (첨단산업인재양성부트캠프사업(반도체/AI융합)) 본 제안요청서는 연구원이 집행하는 입찰에서 입찰자와 낙찰자가 숙지하고 준수하여야 할 사항을 기재한 것으로서 모든 입찰희망자는 이를 열람하여야 합니다. 2026.5. 제안요청서의 구성은 다음과 같으며 입찰에 참가하고자 하는 자는 반드시 열람하여 그 내용을 숙지하여야 하며,숙지하지 못함에 따른 책임은 입찰자에게 있습니다. - 다 음 - 1.일반사항 2.공급범위 3.장비규격 4.입찰자 준수사항 5.계약자 준수사항 6.제안서 평가방법 7.물품구매규격서(별첨) 제 안 요 청 내 용 1.일 반 사 항 1.1적용범위 본 제안요청서는 본 입찰건과 관련된 장비의 구매 설치 등에 따른 한양대학교 와 계약자간 구매,설치조건 등 관련 이행 제반사항에 대하여 규정한다. 1.2지원일반 - 본 제안요청 및 입찰과 관련하여 입찰목적물의 사양은 한양대학교가 제시한 장비의 성능 및 제안사항을 반드시 준수하여야 한다. - 본 제안요청 및 입찰공고에 명기되지 않은 사항에 대해서도 낙찰자는 계약 목적물의 구매 취지에 맞는 최신 기술 및 자재를 사용하여 납품해야 한다. 1.3입찰참가자격 - 입찰공고서에 따름 - 제조 또는 공급물품으로 입찰 참가 등록한 자 2.공 급 범 위 2.1 납품장소 :한양대학교 서울캠퍼스 신소재공학관 지하 01 층 한양스마트 반도체나노펩 실험실3 2.2납품수량 :원자층공정시스템 1식 2.3주요 공급내역 :물품규격서에 따른다. 3.장 비 규 격 장비규격은 본 입찰공고 및 제안요청서에 별첨된 물품규격서를 적용하며,본 목적물을 위하여 필요하나 규격에 기재되어 있지 않거나 부수적인 기술 사양에 대해서는 동등이상의 국제규격에 따른다. 4.입 찰 자 준 수 사 항 4.1.입찰시 제출서류(규격,가격 동시입찰) 입찰에 참여하고자 하는 자는 본 규격에서 정하는 모든 사항을 숙지하여 한양 대학교에서 제안서 기술평가를 할 수 있도록 다음 구비서류를 제출해야 한다. 만약 기술 제안서가 미제출되거나 허위기재 또는 기타 평가할 수 없는 사항에 대하여는 평가에 제외될 수 있다. 4.2.제출 제안서(구비서류) - 연구원 요구 사양과 제안사양의 비교표 - 조립도 및 부품도(부품사양서 포함)또는 이에 준하는 카탈로그 - 납품계획서 :설계,제작,검사,설치,시운전,검교정 방안 등 제시 - 응급복구 등 A/S 운영 계획(지원인력 현황 등) - 기타 장비사양서에 정하는 내용 - 평가용 서류 • [서식 1]제안사의 일반현황(최근년도 재무제표 1부) • [서식 2]신용평가 등급 확인서 • [서식 3]규격서 충족여부 설명자료 4.3.입찰서(제안서)작성 및 평가 가.입찰서 작성 모든 입찰자는 본 제안요청서에서 정한 제출 제안서의 구비서류를 한양대 학교가 제시한 물품구매 사양 및 납품조건에 따라 제안하고자 하는 내용을

배점·평가

일반현황2.5
성
납품 및 설치 일정 계획의 적합성2.5
규격대비표 작성의 충실성10
기술 관련 자료의 적합성
용도 및 기능 적합성20

기술평가 부문 장비의 구성 적합성 20 규격 및 성능 적합성 20 장비의 A/S 및 기술지원 계획의 적정 10 성 합계 100 ※ 평가위원은 4명 이상으로 구성 (합계 점수 최고점,최저점 평가위원을 제외하고 나머지 평 가위원 평가점수의 산술평균값을 평가결과서에 기재) 제 안 서 평 가 결 과 서 단일응찰 기업: 평가 부문 평가분야 배점 점수 -기업 평 가(신용평 가도) 5 평가 - 장비 취급의 전 문성,사업 업 종의 적합 성 2.5 일반 평가 현황 - 납품 및 설 치 일정 계획 의 적합성 2.5 평가

소계10
- 제안 장 비에 대한 정 보 제공 및 제안 내 용의 적합 성- -
1)규 격대비 표 작성의 충 실성10
2)기 술 관련 자료 의 적합성
평가- -
- 제안 장 비에 대한 규 격서 대비 적 합성
1)용 도 및 기능 적합 성20
기술
2)장 비의 구성 적 합성20
평가
3)규 격 및 성능 적합 성20
부문
평가- -
- 장비 의 A/S 및 기술 지원 계획 의 적정성10
평가- -
소계90
합계100
평가결과 85점 이상 적 합 ( )/85점 미만 부적 합 ()

종합의견 <배점기준 참고> 경 영 상 태 배 점 기 준 표 회사채에대한 기업어음에대한 기업신용평가 등급 평점 신용평가등급 신용평가등급 AAA(회사채에 대한 신용평가등급 AAA - AAA에 준하는 등급) AA+,AA0,AA AA+,AA0,AA-(회사채에 대한 신용평 A1 - 가등급 AA+,AA0,AA-에 준하는 등급) A+(회사채에 대한 신용평가등급 A+에 A+ A2+ 5.0 준하는 등급) A0(회사채에 대한 신용평가등급 A0에 A0 A20 준하는 등급) A-(회사채에 대한 신용평가등급 A-에 A- A2- 준하는 등급) 경영상태 BBB+(회사채에 대한 신용평가등급 (신용평가등급 BBB+ A3+ BBB+에 준하는 등급) 확인서에 의함) BBB0(회사채에 대한 신용평가등급 BBB0 A30 4.5 BBB0준하는 등급) BBB-(회사채에 대한 신용평가등급 BBB- A3- BBB-에 준하는 등급) BB+,BB0(회사채에 대한 신용평가등급 BB+,BB0 B+ BB+,BB0에 준하는 등급) BB-(회사채에 대한 신용평가등급 BB- B0 4.0 BB-에 준하는 등급) B+,B0,B-(회사채에 대한 신용평가등급 B+,B0,B- B- B+,B0,B-에 준하는 등급) CCC+이하(회사채에 대한 CCC+이하 C 이하 신용평가등급 CCC+이하에 준하는 3.5 등급) - 신용평가등급은 「신용정보의 이용 및 보호에 관한 법률」 제4조제1항 제1호 또는 제4호의 업무를 영 위하는 신용정보업자가 입찰공고일 이전에 평가한 유효기간 내에 있는 회사채,기업어음,기업 신용평가 등급을 기준으로 평가하되 가장 최근의 신용평가등급으로 평가한다. - 신용평가등급 확인서가 확인되지 않은 경우에는 최저등급으로 평가하며,유효기간 만료일이 입찰공고 일인 경우에도 유효한 것으로 평가한다. - 신용평가등급확인서 미제출,유효기간이 인정되지 않을 경우 최저등급으로 평가한다. 7.기 타 입 찰 관 련 사 항 7.1 가격입찰서는 조달청 나라장터 전자입찰에 의하여 제출되며 입찰금액은 부가세 포함금액을 기입한다. 7.2다음 각 호의 1에 해당하는 입찰은 무효로 한다. - 입찰참가자격이 없는 자가 한 입찰 - 담합하거나 타인의 입찰참가를 방해 또는 관계직원의 업무집행을 방해한 경우 7.3수요부서와 관련된 계약 진행 문의 : 첨단산업인재양성부트캠프사업단 행정직원 윤운지 (ywj0804@hayang.ac.kr) 연락처 :02-2220-4506 7.4수요부서와 관련된 기술평가 및 제안서 내용 문의 : 한양대학교 김영돈 연구원 (don1891@naver.com) 연락처 :010-2603-1891

과업·요구

∎ 입찰건명원자층공정시스템 구매
∎ 계약기간계약일로부터 90일 이내
∎ 입찰방법제안요청서 참조
∎ 납품장소한양대학교 서울캠퍼스
∎ 하자기간검수일로부터 1년

2. 교육 장비 구매 용도 가. 고밀도 플라즈마 구현: Inductively Coupled Plasma(ICP) 소스는 반도체 공정에 전반적으로 이용되고 있음. 고밀도 플라즈마 환경을 조성하고, 소스 전력, 압력, 기판 전력, 기판 온도, 유량비 등을 제어할 수 있는 장비를 통해 플라즈마 장비 등 여러 과목의 실습을 진행. 나. 반도체 전문 인력 양성: 반도체 제조 공정 전반에 필수적인 플라즈마의 발생 원리 및 구동 메커니즘을 습득하고, 공정 변수에 따른 특성 변화를 체험하여 반도체 장비 및 공정에 대한 전문 지식 함양 다. 심화된 플라즈마 실습: ex.) 장비 내 플라즈마 측정 센서 및 진단 장비를 삽입하여 전자 밀도, 전자 온도 등 주요 플라즈마 변수를 직접 계측 및 데이터화. 측정된 플라즈마 물성 데이터와 In-situ로 관찰된 실제 실습 결과물을 연계 분석(Feedback)함으로써 물리적 현상에 대한 해석 능력을 배양하고 공정 최적화 과정을 도출하는 심도 있는 교육 수행. Ⅱ 특수 조건 1. 납품 및 설치 가. 설치 및 검수 (1) 현장방문 후 입찰에 참여하여 불이익이 없도록 한다. (2) 납품 시, 검사 성적서를 첨부하여야 하며 설치 및 검수, 검사 완료는 수요기관의 절차에 의거 필히 완료하여야 한다. (3) 본 사양서에 기술되지 않은 세부 사항은 제작 전 수요기관과 협의를 반드시 하여야 하며 동의 후 성능검사를 필히 시행하여야 한다. (4) 납품 설치 일자와 검수 일정은 사전에 수요자와 협의하여야 한다.

2. 유지 및 하자 보수 가. 유지보수 (1) 무상유지 보수기간 : 검수일로부터 1년(무상 보수 기간 내 제품에 하자가 발생할 시에는 즉시 보수하고, 수리비 전액을 무상으로 한다.) (2) 유상보수 : 무상 정비 기간 이후에는 교체 부품의 비용을 지불한다. (3) 점검 : 무상유지 보수기간에 수요자 요청 시 무상 점검을 실시한다. - 2 - Ⅲ 물품 규격서 원자층 공정 시스템 품명 수량 1점 ALP (atom layer process) system 1. Process Chamber 가. Chamber 재질 : Anodized aluminum 나. 구조 : Top-open 유압식, 챔버 뚜껑 Auto Lift 다. Port (Viewports & Ports for Diagnostic) : 플라즈마 관측, 측정 등을 위한 NW25 또는 NW40 포트 위아래 8개 이상. (* 2개는 ellipsometer 용, 포트 개수 협의 필요) 라. 기타 : Wall 온도 제어, substrate 온도 제어 2. Vacuum System 가. 진공 펌프 : dry pump, Turbo molecular pump (Magnetic Levitation Type) -6 나. 도달 진공도 (Base pressure) : 5*10 Torr 이하 다. 진공 게이지 : Pirani gauge (ATM~), Capacitance manometer (1 Torr~ 0.001 Torr, Ion vacuum gauge (Base pressure 확인용)

라. 압력 제어 : Throttle Valve 를 이용한 자동 압력 제어 (APC) 3. Plasma Source 규격 가. Top plasma source : Inductively coupled plasma (ICP) - 2-turn planar 기능 copper coil, 13.56 MHz, 3000 W, Auto RF Matcher, Antenna water 설명 cooling 나. Bias plasma source : Bottom electrode/capavitively coupled plasma – 400 kHz, 1500 W, Auto Matcher, hard anodizing aluminum substrate 다. Substrate stage: Wafer 4 inch size, Pin Lift mechanism (Ceramic or Quartz Pins), ceramic cover, chucking, He backside cooling, substrate up/down for load lock 4. Load-lock & Transfer System 가. Transfer Arm 포함 로드락 챔버 - 메인 공정 챔버를 대기 중에 노출하지 않고 웨이퍼 로딩/언로딩 나. 펌핑 시스템 : 로드락 전용 Rotary Pump 별도 구성 다. Viewport : 이송 상황을 육안으로 확인할 수 있는 투명 창 라. 진공 게이지 : 로드락 챔버 압력 확인용 capacitance manometer

5. Gas Supply System 가. 가스 라인 구성 : 6 라인 – Ar, O2, N2, Cl2, He, H2 - 3 - 나. 가스 공급 위치 : process chamber 상단 및 하단 두 위치에서 가스 공급 다. 추가 구성 : N2 purge 라인, Cl2 라인은 bypass 라인/Gas Detector/Gas filter, H2 라인은 bypass 라인/Gas Detector 필요함, venting valve 6. Control System 가. Step 설정 및 Cycle 반복 기능 - 각 스텝별 시간, 압력, 가스 유량, RF Power(Source/Bias), 온도 설정, 특정 스텝 구간 혹은 전체 cycle 반복 나. LCD touch panel display : 15.6 inch 7. Remark 가. 해당 장비의 세부 규격 및 기능은 협의 필요 - 4 - === (재공고)공고문_원자층공정시스템구매(서울 공과대학 전기생체공학부)_0608.hwp === 한양대학교 산학협력단 공고 제H6129-2026-0512-1호 원자층 공정 시스템 구매 (서울 공과대학 전기·생체공학부) 1. 입찰에 부치는 사항 가. 입찰건명 : 서울 공과대학 전기·생체공학부 원자층 공정 시스템 구매 나. 구매내역 : 붙임2. 구매규격서 참고 다. 납품기한 : 2026년 9월 30일까지 (납품, 설치, 교육, 테스트 및 검수 완료, 낙찰 이후 납품기한 최종 확정, 계약서 작성 후엔 변경 불가)

참가자격

라. 납품장소 : 한양대학교 서울캠퍼스 신소재공학관 지하 01 층 한양스마트반도체나노펩 실험실3 2. 입찰방법 가. 본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 규격가격 동시입찰임. 나. 본 입찰의 투찰금액은 1. 입찰에 붙이는 사항 나. 구매내역에 명시한 구매물품에 대한 총액을 투찰한다. ※ 투찰금액 = (품목별 단가 × 수량)의 합계액 다. 본 입찰서 제출은 전자입찰방식으로 나라장터 시스템에서만 가능하며, 제출된 일체의 서류는 반환하지 않음. 3. 참가자격 가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체. 나. 입찰공고일 현재 청산, 합병, 매각 등 정리 절차 중이거나 계획 중인 사업자와 법 원에 화의 또는 법정관리 중이거나 신청 중인 사업자는 입찰에 참가할 수 없음. 다. 금융 불량 및 이상이 있는 사업자는 입찰에 참가할 수 없음. 4. 입찰 서류 제출, 입찰 일시 및 장소 가. 서류 제출 마감일시 : 2026. 06. 15. 17:00 까지 (전자 제출에 한함) 나. 입찰/개찰 일시 : 2026. 06. 16. 09:00 (해당 입찰 일시에만 견적 참여 가능) 다. 입찰/개찰 장소 : 나라장터 시스템 (https://www.g2b.go.kr/) 라. 제출서류 목록 1) 입찰참가신청서(서식 1) 2) 사업자등록증 사본(“원본대조필” 날인후 인감) 3) 법인등기부등본(개인사업자의 경우 대표자 주민등록등본) - 3개월 이내 발행분