대면적 비소/인화물계 유기금속화학기상증착장비 1대 구매(재)

요약 AI 요약

6인치 GaAs/InP 기판 위에 비소/인화물계 화합물반도체 에피택시를 여러 층 적층해 HEMT·LED 등 전자소자·광소자용 에피웨이퍼를 성장시키는 대면적 유기금속화학기상증착(MOCVD) 장비 1대를 구축하는 사업이다.

• 6인치 GaAs/InP 기판 성장 지원, 6인치 기판 7매 이상·4인치 12매 이상 적재(교체 가능)
• 최대 900℃ 승온·유지, 6인치 웨이퍼 기준 두께·조성 균일도 5% 이내(5mm Edge exclusion)
• 실시간 피드백 기반 포켓별(기판별) 독립 성장온도 제어 시스템(AutoSat)
• 공정 챔버와 로드락 챔버로 구성, III/V족 원료공급시스템 1대가 성장챔버 1개만 제어
• MO 소스(TMGa·TMIn·TMAl·TEGa·CBr4·DEZn·DETe 등) 및 수소화물 가스(AsH3·PH3·SiH4) 공급 라인
• 6인치 GaAs 기판 대상 GaAs/AlGaAs/DBR/InGaAs MQW 공정 데모(Materials demonstration)

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사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 대면적 비소/인화물계 MOCVD 장비 1대 공급

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

반도체·박막 소자를 만드는 공정장비인 MOCVD(유기금속화학기상증착) 장비를 구매하는 공고로, 대학·연구기관 팹에서 쓰는 반도체·박막 공정장비에 해당한다.

• 장비 설치 및 시운전(설치·셋업·공정 데모)
• 장비 작동법·유지보수·프로그래밍 교육훈련
• 하자보증 1년 및 A/S(on call service)
• 검수(Performance Test, Process test) 및 결과보고서 제출
• 운송·포장(국제표준수출포장, 위험물 신고)

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 평가위원들의 종합 평점의 평균이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰 적격 업체로 선정한다.

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국제입찰

제출 방법

전자입찰

입찰 일정

가격

외화 예산

USD 2,750,000 (배정예산의 통화)

예정가격 방식

비예가

납품

품명

진공증착기 (2399039801)

수량

1 SET

납품

계약 후 365일

인도조건

모름

제조물품

모름

세부품명 등록

모름

공고 정보

공고종류

재공고 (재입찰공고)

게시일

09/18(금)

공고번호

R26BK01732499-000

참조번호

-

공고기관

재단법인 한국나노기술원

수요기관

재단법인 한국나노기술원

계약방법

일반경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

비예가

추정가격

-

배정예산

-

사전규격번호

R26BD00244651

재공고

재공고

출처

나라장터

첨부파일

• PDF · (재)입찰공고서_AsP_MOCVD.pdf · 공고규격서
• HWP · (재)입찰공고서_AsP_MOCVD.hwp · 공고규격서
• PDF · (재)상세규격서.pdf · 공고규격서
• PDF · (재)용도설명서.pdf · 공고규격서
• HWP · (재)제안요청서.hwp · 공고규격서
• HWP · (재)외자입찰유의서.hwp · 공고규격서
• PDF · (Re)Summary_of_Bidding.pdf · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

문서 발췌

과업·요구

배점·평가

Ⅱ. 세부 채점 기준표

III. 규격가격동시입찰 규격평가 기준표

O 합격기준 : 총점 100점 기준에서 85점 이상 획득

과업·요구

- 장비의 최대성능 발휘에 필요한 다양한 모니터링/부가장치들을 포함하여야 함. 2. 상세사양 1) General Information - Planetary or showerhead modules 2) Wafer Specification - Wafer Size : 6 inch / 4 inch - Wafer Carrier : 6inch×7 이상 / 4inch×12 이상 - Wafer Type : GaAs or InP 3) Chamber type - Reactor : 6인치 등 기판성장을 위한 가스공급, 냉각, MFC, 센서로 구성 - AutoSat system (포켓별 독립적 성장온도 제어 시스템) 4) Standard MO channel, twin standard MO channel for MO sources: TMGa×2 이상, TMIn×2 이상, TMAl×2 이상, TEGa×1, CBr4×1 이상, DEZn×1 이상, DETe×1 이상, 5) Standard gas channel and twin gas channel for Hydride sources: AsH3×2 이상, PH3×2 이 상, SiH4 2%×2 이상 6) Dilution/dopant gas channel with pressure controller and extra pusher : SiH4 2%, CBr4, DEZn , DETe 7) Source delivery system : MFC, PC, multi-valve, high purity welded manifold, injector block or manifold

8) Heating method: RF / Resistive heater type ≤ 900도 9) Gas flow type: horizontal (penta injector) / vertical (uniform flow flange) gas injection 10) Susceptor 재질: Graphite 11) Vacuum system with pump : dry pump, filter assembly 12) Rotation 방식: 공,자전/공전 13) In-situ monitoring system : TOP-TT senseor for Emissivity-corrected temperature (405nm + 633nm + 950 nm) or Raven Smart Head Monitoring System 14) Hygrometer (H2, N2) 15) Computer control system (운영 S/W 포함) 16) Cooling system/Heat exchanger 17) Carrier gas channel (Dummy line/phantom line) 18) MO소스 온도제어 bath 19) Alarm monitoring system : 압력, 유량, 온도, 밸브, H2, Toxic gas 등 20) PM kit 21) Materials demonstration : GaAs / AlGaAs / DBR / InGaAs MQW on 6 inch GaAs

* (Max-Min)/2*Avg ** (Max-Min) 절대값 (%, nm) *** STD/AVG 1) Thickness uniformity : In-situ measurement 2) Carrier concentration, mobility, resistivity : Hall measurement @ 300K 3) X-ray measurement : Double crystal XRD (without analyzer crystal 4 bounce) 4) Non contact sheet resistance : Lehighton 5) Al concentration : PL @300K (mapping) or Double crystal XRD (5point measure) 6) Stress measurement @ 300K ○ 측정위치 : - 3 point 기준 (0,0), (0,45), (0,90) - 5 point 기준 (0,0), (0,22), (0,45), (0,65), (0,90) ○ 일부 측정장비 및 조건은 장비사용여부 및 분해능을 고려해 협의 후 변경 가능 특기사항 가. 장비설치 및 검수 장비 공급자는 한국나노기술원이 지정하는 시간 및 장소에 장비를 설 치하고, 정상 작동을 위해 아래에 요구되는 모든 조건 및 공정 결과 를 충족하여야 한다. 나. 교육훈련 장비와 관련된 교육은 별도로 한국나노기술원과 협의하여 실시한다. 다음과 같은 교육은 별도의 협의가 없어도 필수적으로 수행되어야 한 다. - 장비 작동법 교육 - 유지보수 교육 - 프로그래밍 교육

다. 하자보증 - Warranty : 1년 (consumable part 제외) - 납 기 : 12개월 이내 - 엔지니어 상주 여부 : on call service - 납품(acceptance test)후 KANC 공정규격 및 장비규격 미달 시 ship back 처리함(KANC spec.in 또는 spec.out의 판단에 대한 분쟁 발생시 KANC 해석에 따름) 라. 지급조건 - 지급방식(T/T 또는 L/C)은 한국나노기술원의 예산 집행 일정 및 계 약 이행 상황을 고려하여 계약당사자 간 상호 협의를 통해 결정 또 는 변경할 수 있다. 마. 서비스 - 하자보증기간 이내 장비 공급자는 장비의 결함 발생 시 사용자의 요청을 접수한 이후 30일 이내에 현장에 도착하여야 하며 도착 후 30일 이내에 수리작업을 완료하여야 한다. - 부품의 교체가 필요한 경우에는 그 부품의 정확한 공급 가능 시점을 확인하여 한국나노기술원에 통보하고 승인을 받아야 한다. 바. 기타. - 설치, 시운전, 교육 : 공급사 ○ 본 사양서에 언급되지 않은 사항은 일반 구매 계약 기준에 따르며 계약 기타사항 후의 별도 사항 발생시에는 상호 협의하에 적용한다. ○ 반드시 상기 사양과 동등 또는 동등 이상의 제품으로 납품하여야 한다. === (재)입찰공고서_AsP_MOCVD.hwp === [공고번호 제2026 – 25 – 01호]

외 자 구 매 입 찰 공 고(재)

1. 입찰에 부치는 사항 1) 입찰건명 : Large-area Metal-Organic Chemical Vapor Deposition 1SET (대면적 비소/인화물계 유기금속화학기상증착장비 1대)

2) 규격 및 수량 : 별첨 “상세규격서 및 용도설명서, 제안요청서 등” 참조 3) 사업예산 : USD 2,750,000 / KRW 3,797,200,000 ※ 계약은 원화 배정예산 범위 내에서 체결되며, 외화금액은 지정금액 이상 초과할 수 없습니다 4) 입찰방법 : 일반경쟁, 전자입찰 5) 계약방법 : 규격/가격분리동시입찰 6) 납품기한 : 계약완료 후 12개월 이내 (FCA International Airport) 7) 대금지급 : T/T 또는 L/C (Advance Payment 40%, After Shipment 50%, After Final Acceptance 10%) ※ 각 대금 지급시 지급보증서 또는 BOND Guarantee 발행 필수 8) 장비조건 : 신규 제작품 2. 공고기간 및 제출(가격,규격) 1) 입찰 공고기간 : 2026.09.18.(금) 14:00 ∼ 2026.09.30.(수) 14:00 2) 가격입찰서 제출 가. 입찰서제출 마감일시 : ~ 2026.09.30.(수) 14:00 나. 제출방법 : 온라인 제출 ※ 가격입찰은 국가종합전자조달시스템을 통한 전자입찰만 허용하며, 전자입찰서는 입찰공고 후 제출 마감일시까지 24시간 제출 가능 다. 입찰장소 : 국가종합전자조달시스템(나라장터), 입찰담당관PC

라. 제출서류 ① 세부견적서(구성품과 서비스 원산지별 내역에 대한 각각의 금액을 기재) - 입찰서식 (별지 제1-1호, 제1-2호, 제1-3호 서식) - 견적서의 최종가격은 투찰금액과 일치하여야 하며, 입찰금액과 세부견적서 금액이 상이할 경우는 입찰금액이 우선합니다. - Offer validity 는 입찰일로부터 최소한 60일 이상으로 하여야 합니다. - Offer 상에 해당품목의 정확한 HS 번호를 기재하여 주시기 바랍니다. ② PRICE LIST 1부 ③ 공급자증명서 (Supplier’s Certificate) 1부, (별지 제2호 서식) ④ 운송방식별 화물중량(Weight) 및 용적(Dimension) 기재서 1부 마. 개찰일시 : 제안서 기술평가 후 개찰 3) 기술(규격)제안서 등 제출 : 가. 제출일시 : ~ 2026.09.30.(수) 14:00 나. 제출방법 : 나라장터 e발주시스템 다. 제출장소 : e발주시스템을 통한 전자제출 라. 제출서류 : ① 입찰참가신청서(별지 제9호 서식) 1부 ② 제안서(평가기준서 제안서 작성지침 참조) 1부 (원본 1부, 사본 1부) ③ 규격입찰서, 응찰사양서(별지 제5, 6호 서식) 1부

참가자격

※ 가격입찰서와 기술(규격)제안서 중 어느 하나라도 미제출시 입찰 포기로 간주하고, 제출완료 후 반드시 정상 제출 되었음을 응찰자가 직접 확인하여야 함. 이를 확인하지 않아 생기는 불이익은 전적으로 입찰참가자에게 있음 ※ 사본은 반드시‘사실과 상위없음’기입 및 날인(사용인감 또는 법인인감 날인) ※ 제안서 평가결과 종합평점 85점 이상인 자에 한해 가격입찰 권한 부여 3. 개찰 및 낙찰자 결정방법 1) 개찰(가격)일시 : 2026.09.30.(수) 15:00 이후 ※ 상기 개찰일시에도 불구하고 제안서 평가 완료 후 개찰 2) 개찰장소 : 국가종합전자조달시스템(나라장터) 3) 기술원 제시조건에 적격한 업체로서 기술평가위원회 평가결과 종합평점이 100점 만점에 85점 이상인 입찰자 중 사업예산 이하 최저가격의 입찰서를 제출한 자가 낙찰자로 선정됩니다. 응찰가격이 동일한 경우에는 납품기한, 거래조건 등 기술원에 유리한 입찰자를 낙찰자로 선정합니다. ※ 외화 입찰자와 입찰가격 전부 또는 일부를 원화로 제안한 입찰자의 입찰가격을 비교하는 경우에는 외화 입찰자의 입찰가격은 외자입찰유의서 제20조에 따라 원화로 환산하여 비교ㆍ평가합니다. 4. 입찰 참가자격 1) 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정에 따른 경쟁입찰참가자격 등록자로서 다음 각 호의 어느 하나에 해당하는 자

가. 외자분야 등록자 나. 외자물품 입찰대상과 동종의 물품이 등재되어있는 물품분야 등록자 다. 국외소재업체 등록자 2) 조달청에 입찰참가자격을 등록하지 않은 자는 국가종합전자시스템 입찰참가 자격등록규정에 따라 개찰일 전일까지 조달청 본청 또는 각 지방조달청에 입찰참가자격 등록을 하여야 합니다. 가.「국가계약법 시행규칙」 제15조 제5항의 규정에 따라 조달청 이외의 관서에 입찰참가자격등록을 한 경우에는 개찰일 전일까지 '국가종합전자조달시스템' (https://www.g2b.go.kr)에 등록사항이 게재된 경우에만 조달청에 입찰참가자격등록을 한 것으로 봅니다. 나. 개찰일 전일이 휴일일 경우 직전 근무일까지 등록을 하여야 입찰참가에 차질이 발생하지 않습니다. 다. 국가종합전자조달 시스템 전자입찰 이용자 등록을 한 자이어야 하며, 전자입찰 이용자 등록을 하지 않은 자는 지정 공인인증기관의 인증서를 교부 받은 후 「조달업체이용약관」에 동의한 다음 국가종합전자조달시스템에 등록을 하여야 합니다. 3) 「국가계약법」제27조의5 및 같은 법 시행령 제12조제3항에 따라‘조세포탈 등을 한 자’로서 유죄판결이 확정된 날부터 2년이 지나지 아니한 자는 입찰에 참여할 수 없습니다. (국가계약법령 적용 대상 건에 한함) 가. 입찰자는「국가계약법 시행령」제12조 제3항 각 호에 해당하지 아니한다는 서약서를 입찰 시 제출하여야 합니다. 만일 서약내용이 허위로 판명될 경우 계약의 해제·해지를 당할 수 있고, 부정당업자 입찰참가자격제한 처분을 받을 수 있습니다.

4) 낙찰자가 정당한 사유 없이 낙찰통보 접수일로부터 10일 이내에 계약을 체결하지 아니할 경우에는 「국가계약법 시행령」 제38조에 따라 입찰보증금에 상당하는 금액을 현금으로 납부하여야 하며, 동 시행령 제76조에 따라 부정당업자로 입찰참가자격을 제한 받게 됩니다. 5) 입찰보증금의 귀속조치 등에 관하여는 우리원 계약업무규칙 제38조 규정에 의합니다. 6) 본 입찰에서 낙찰되어 계약을 체결할 경우 해외공급자의 계약서 서명이 있어야 합니다. 가. 해외공급자가 입찰자에게 서명권한을 위임하지 않고, 직접 서명도 하지 아니하여 계약을 체결할 수 없는 경우 동 시행령 제76조, 제38조 등에 따라 부정당업자 입찰참가자격 제한, 기술원으로 입찰보증금 귀속 등의 조치를 받게 됩니다. 나. 서명권한 위임장(별지 제13호 서식)은 입찰서 제출 시, 감가서류 제출 시 등 계약서 초안 송부 전 미리 제출이 가능합니다. 6. 구매조건 1) 입찰서 유효기간 : 개찰 후 90일 이상 2) 입찰통화 가. 주장비(Main body) 및 부속장비 - 외국산은 생산 또는 공급되는 국가의 통화나 미국통화(USD)로 견적하여야 함 - 국내산은 한국통화(원)로 견적하여야 함. 3) 인도조건 : FCA (Incoterms 2020 적용) 4) 분할납품 : 불허 (천재지변, 소요·폭동 등의 경우 기술원 사전 승인 후 분할납품)

과업·요구

5) 하자담보책임기간: 설치 및 검수완료일로부터 12개월 (하자보수보증금액 : 5%) 6) 대금 결제조건: Telegraphic Transfer (T/T) or Letter of Credit (L/C) 7) 화물중량 및 용적 - 중량(용적) 표기 : 국외에서 공급되는 물품인 경우에는 각 품목에 대한 총 중량과 용적(각 CASE 및 DIMENSION)을 각기 계산하여 견적서 또는 별지에 정확하게 표기 후 제출하여야 함 8) 위험물 표시 - 물품이 국제항공운송협회(IATA) 규정에 의한 폭발물, 가스, 인화성 물질, 독극물, 방사능 물질 등 위험물이거나 일부가 포함되어 있으면 견적서에 그 내용과 등급을 표기하여야 하고, 선적 시 운송업자에게 위험물품 하주(荷主) 신고서(Shipper's Declaration for Dangerous Goods)를 제출하여야 함 - 해상운송의 경우에 위험물 또는 산적화물(bulk cargo), 장대품 등으로 컨테이너에 적재할 수 없는 특수화물은 견적서에 이를 상세하게 적어야 합니다. 9) 정부 및 관련기관의 허가 또는 승인을 득할 수 없는 경우 본 입찰에 따르는 계약은 무효이며, 우리 기술원은 이로 인한 어떠한 비용과 책임을 부담하지 않음 10) 포장은 국제표준수출포장에 의하여야 하며, 목재포장일 경우에는 국제식물보호협약(IPPC)의 규정에 따라야 함