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분광엘립소미터

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공고 개요

한국산업기술시험원 · 기타 연구장비

추정가격
3.05억원
참가자격 등록 마감
10/19(월) 18:00 · D-6
낙찰방법
규격가격동시입찰
참가 자격
제한 없음
무슨 일
분광 엘립소미터 공급·설치·시운전·교육

요약 AI 요약

반도체 소재·박막·웨이퍼의 두께와 굴절률 등 광학특성을 측정·분석하기 위한 분광 엘립소미터 1식을 구축한다. 한국산업기술시험원 구미분소 첨단반도체소재부품센터에 설치하여 사용한다.

핵심요약

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가격

추정가격
304,545,455원
배정예산
337,856,000원
부가세
30,454,545원
예정가격 방식
복수예가

납품

납품
계약 후 300일
품명
일립소미터 (4111533901)
제조물품
아니오
세부품명 등록
등록 필요
수량
1 식
인도조건
설치까지 · 현장설치도

참가 자격 · 제한

업종제한
제한 없음
지역제한
제한 없음
제출 방법
전자입찰
공동수급
공동수급불허
입찰참가 제한
모름
실적경쟁 · PQ
모름
국제입찰
국내입찰

입찰 일정

진행일시남은 날
공고 게시09/29(화)지남
입찰서 제출 시작10/16(금) 10:00D-3
입찰참가자격 등록 마감10/19(월) 18:00D-6
입찰서 제출 마감10/20(화) 10:00D-7
개찰10/20(화) 11:00D-7

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 검토자 평균점수가 85점 이상일 때, 적합판정

배점표 (AI 요약)
평가 항목배점
경영상태10점
사업실적10점
사양30점
제작 구성 / 사양의 만족도30점
고객 지원 및 장비 유지 보수 능력20점
합계(항목을 더한 값)100점

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 분광 엘립소미터 공급·설치·시운전·교육

물품 › 연구·실험·계측장비 › 기타 연구장비

반도체 소재·박막의 두께·굴절률을 측정하는 분광 엘립소미터 1식을 제작·공급하고 현장 설치·시운전·사용자 교육까지 수행하는 연구·실험·계측장비 구매 건으로, 이화학 분석기기·전기전자계측·반도체 공정장비 등 어느 세부에도 딱 맞지 않아 기타 연구장비로 분류한다.

공고 정보

공고종류
등록공고 (일반공고)
게시일
09/29(화)
공고번호
R26BK01747736-000
참조번호
-
공고기관
조달청 경남지방조달청
수요기관
한국산업기술시험원
계약방법
일반경쟁
낙찰방법
규격가격동시입찰
계약유형
총액계약
예정가격 방식
복수예가
추정가격
304,545,455원
배정예산
337,856,000원
사전규격번호
R26BD00270263
재공고
아니오
출처
나라장터

문서 분석 전체

이 분야에서 갈리는 것 · 기성품인가 제작인가, 규격이 우리 모델에 맞나(기존 설비와 호환 포함), 기술·규격 평가를 넘나, 납기(2주~5개월, 고정된 끝 날짜)를 맞추나에서 갈린다.

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문서 발췌

과업·요구

=== 규격서_엘립소미터.zip === === 제안요청서_엘립소미터.hwp ===

분광 엘립소미터

제안요청서

한국산업기술시험원

- 목 차 -

1. 일반 1 1.1 적용범위 1 1.2 적용일반 1 2. 공급범위 1 2.1 공급장소 1 2.2 공급수량 1 2.3 공급내역 1 3. 입찰참가자격 1 4. 입찰자 준수사항 2 4.1 입찰서 제출서류 2 4.2 입찰서 작성 및 평가 2 5. 계약자 준수사항 3 5.1 계약내용 및 이의의 해석 3 5.2 계약자의 책무 3 5.3 포장 및 운반 3 5.4 장비의 가동조건 3 5.5 설치 3 5.6 안전대책 및 책임 3 5.7 산업재산권의 보호 3 5.8 교육훈련(기술지도) 4 5.9 허가 및 수속 4 5.10 시운전 4 5.11 보증 4 5.12 운용지원(AFTER SERVICE) 4 제 1 장 일 반 사 양 서 1. 일 반 1.1 적용 범위 본 시방서는 ‘분광 엘립소미터’ 구축에 따른 한국산업기술시험원과 계약자간 구매, 설치 시 지원 사항에 있어 이행되어야 하는 세부 사항을 규정한다. 1.2 적용 일반 기술 사양은 장비의 성능 및 제안의 기준을 반드시 준수하여야 하며, 명기되지 않은 사항에 대해서도 계약자는 최신기술을 도입하고 양질의 자재를 사용하여 구조적으로 안전하며 운용 및 정비가 용이하고 최고의 성능이 보장되어야 하며, 교육적인 지원이 완벽히 이루어져야 한다. 2. 공급 범위 2.1 공급 장소 한국산업기술시험원 구미분소 첨단반도체소재부품센터 (구미시 산동읍 첨단기업1로 17 디스플레이핵심부품국산화지원센터 107호) 2.2 공급수량: 1 식 2.3 공급 내역

가. 분광 엘립소미터 (1식, 제안요청서, 제안평가기초자료, 물품시방서, 용도설명서, 내역서 등 참고) 나. 시운전 - 한국산업기술시험원 지정장소에 기기를 완벽하게 설치하고 최종적인 시운전을 통해 해당 기기 성능을 검증한다. 다. 사용자 교육 - 장비 시운전 이후 장비 운용, 시료 측정, 측정조건 설정, 결과 분석 및 기본 유지관리에 관한 사용자 교육을 실시한다. 3. 입찰참가자격 - 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 국가종합전자조달시스템에 입찰참가자격등록 마감일시까지 일립소미터(4111533901)를 제조 또는 공급 물품으로 입찰참가 등록한 자 - 공동수급 불허 4. 입찰자 준수사항 4.1 입찰시 제출서류 (규격가격동시입찰) 입찰에 참여하고자 하는 자는 본 규격에서 정하는 모든 사항을 숙지하여 구매자 요구사항을 충분히 수용할 수 있어야 하고, 입찰시 입찰자는 한국산업기술시험원에서 기술평가를 할 수 있도록 다음 서류 및 자료를 온라인으로 제출하여야 한다. 가. 정성제안서 - 기술 제안서 및 기술제안서에 따른 세부 해설 자료 - 규격서에 따른 Catalogue(표준사양 기재) - 시방서에 명시된 부합성 증명자료(교육 및 A/S인력 이력사항 등) 나. 정량제안서 - 기업 신용평가등급평가서류 - 납품실적증명원 4.2 입찰서 작성 및 평가

나. 계약자는 본 기술사양서에 명기되지 않았더라도 기능적, 효율적인 운용에 필요한 기기, 예비품, 공구 등은 계약사항에 포함된 것으로 간주하고 납품하여야 한다. 다. 사양에 언급되지 않았으나 시스템 구성에 필요한 사항은 본 계약에 포함된 것으로 간주한다. 5.2 계약자의 책무 가. 계약자는 장비의 설계, 제작, 검사, 운반, 설치 및 시운전에 대한 전반적인 책임이 있으며, 모든 부품은 정상동작 상태 하에서 파손 또는 변형이 없이 충분한 강도와 성능을 보장하여야 한다. 나. 장비를 제작 완성함에 있어 꼭 필요한 부분의 누락 또는 생략이 되었을 경우 계약자는 이를 무상으로 보완하여야 한다. 다. 본 제품을 납품하여 설치공사 및 시운전시 계약자 측의 기술자는 제품의 설치 및 시운전을 포함한 정상적인 가동에 필요한 모든 기술적인 업무를 지원하여야 한다. 5.3 포장 및 운반 가. 포장은 운반 및 설치현장의 습도, 기후조건 등을 감안하여 장비 및 부품의 운반 또는 보관 중 손상이 발생하지 않도록 견고한 포장을 하여야 하며, 외부에서 보기 쉬운 곳에 색채 및 기호 등으로 각 기기의 번호, 명칭 등을 표시하여야 한다. 나. 장비의 운반중 장비의 기능 및 성능에 영향을 미치는 손상이 발생했을 경우에는 이에 대한 사후처리 및 원형복구는 계약자의 책임 하에 이행하여야 한다. 5.4 장비의 가동조건 동 장비는 특별히 규정하지 않는 한 설치장소 환경내에서 정상상태로 운전되도록 설계, 제작하여야 한다. 5.5 설치 설치작업 이전에 반드시 설치장소에 대한 기초상태 등 제반 여건을 사전 확인한 후에 기계를 설치하여야 하며, 설치와 관련되는 모든 비용(장비, 인원, 동력 등)은 계약자가 부담한다. * 본 건의 현장설치는 공사업 면허가 필요 없는 단순설치를 의미함 5.6 안전대책 및 책임 계약자는 시운전 완료시까지 제반 안전대책을 수립하여 안전에 대비하여야 하며, 안전사고 발생 시 이에 따른 민․형사상의 책임은 계약자에게 있다. 5.7 산업재산권의 보호 본 장비의 설계, 제작, 시험 및 납품, 유지보수와 관련하여 타인 또는 외국의 권리나 특허, 실용신안, 상표, 의장(공업소유권)등의 권리보호에 따른 문제점이 발생되지 않도록 해야 하며 발생 시 이에 대한 처리책임은 계약자에게 있다. 5.8 교육훈련(기술지도) 계약자는 기기별 운전 정비 및 관리에 필요한 사람에 대하여 기간, 인원 등이 명시된 교육훈련 계획서를 제출하여야 하며 계약자 부담으로 교육훈련을 시행하여야 한다. 5.9 허가 및 수속 계약자는 제작, 납품과 관련하여 국내법이 규정하는 사항에 대하여는 대관청 허가 및 수속 등을 처리해야 할 의무가 있으며, 이에 따른 비용은 계약자가 부담한다. 5.10 시운전 계약자는 시운전에 필요한 모든 사항은 준비한 시운전 계획 및 승인된 시험 점검을 위해 감독관 입회하에 시운전을 시행하여야 하며, 시운전 불합격 시는 즉각 결함부분을 시정하여 재시행하여야 한다.

5.11 보증 장비의 보증기간은 운영부서에서 인수(검수)　후 2년 이상으로 하며 동 기간 안에 설계, 제작, 설치공사 및 재결함 등으로 고장 또는 파손되었을 경우, 계약자는 한국산업기술시험원에서 지정하는 기일 내에 무상으로 신속한 복구를 하여야 하며, 이때 수리, 개조, 교환된 부품은 보증기간 동안 재보증 된다. 5.12 운용지원(AFTER SERVICE) 계약자는 제작 공급한 장비에 대한 신속하고 완벽한 운용지원(After Service)을 위하여 지원체제를 갖추어야 한다. <붙임1> < 기술평가 결과 집계표(예시) > ☐ 사 업 명 : □ 평 가 기 관 : (수요기관명) □ 평 가 위 원 : 실명은 비공개 □ 평 가 점 수

배점·평가

구 분회사명 A
구 분평가자 A평가자 B평가자 C평가자 D평가자 E…
경영상태
사업실적
사양
제작 구성 / 사양의 만족도
고객지원 및 장비 유지 보수 능력
개별점수
(위원별)		■■■■■■
종합점수
평가결과적합 ㆍ 부적합

과업·요구

=== 물품시방서_엘립소미터.hwp === [별지 제6호서식] <개정 2018.12.10.>

물 품 시 방 서

장비명(품 명) : 분광 엘립소미터 주 요 기 능 : 반도체 소재·박막·웨이퍼 두께, 굴절률 등 광학특성 측정 및 분석

물 품 시 방

⚫ 일반 사양 - 분광 엘립소미터 측정 기능 - DUV-VIS-NIR 광대역 측정 기능 - 측정 파장 범위 : 200 nm ~ 2,000 nm 포함 또는 그 이상 - 입사각 자동 제어 기능 - 약 100 μm 수준의 미세영역 측정 기능 - 300 mm 시료 측정이 가능한 자동 스테이지 포함 - 매핑 기능 포함 - 측정 데이터 분석 및 결과 산출용 소프트웨어 포함 ⚫ 상세 사양 제품 특기사항 비고(기술적 검토사항) : 2026년 08월 18일

구 성설 명
분광 엘립소미터 측정 기능반도체 소재 및 박막의 분광 엘립소미터 측정 가능
박막 두께, 굴절률 등 광학특성 분석 가능
2. 측정 파장 범위DUV-VIS-NIR 영역 측정 가능
측정 파장 범위 : 200 nm ~ 2,000 nm 포함 또는 그 이상
3. 입사각 제어입사각 자동 설정 및 제어 기능
4. 미세영역 측정약 100 μm 수준의 미세영역 측정 가능
5. 시료 측정 및 매핑크기 300 mm 또는 그 이상의 시료 측정 가능
자동 스테이지를 이용한 시료 위치 제어 가능
매핑 기능 포함
6. 광량 및 광원 제어자동 광원 제어 모듈 포함
7. 측정 및 분석 소프트웨어측정 데이터 분석이 가능한 소프트웨어 포함
박막 모델링 및 데이터 피팅 가능
8. 설치자격 있는 엔지니어가 설치
설치 완료 후 장비 시운전 및 정상 작동 여부 확인

배점·평가

대항목중항목배점세부배점검토 내용등 급점 수
일반사항
(담당자 평가/
정량평가)		경영 상태2010[붙임 1]의 경영상태 평가기준에 따름
사업실적*[붙임 2]의 수행실적 평가기준에 따름
※ 입찰공고일로부터 최근 3년 동안 본 사업금액 대비 합산 금액(부가세포함 335,000,000원의
“일립소미터 (4111533901)” 의 납품 경험 ([붙임3] 실적증명서 제출)
공고규격 또는 기술과의 적합성
(위원회 평가/
정성평가)		사양6030제품의 성능 및 구성은 아래 제시된 사양과 동등 이상이어야 함.
- 분광 엘립소미터 기능을 모두 만족하도록 구성
- DUV-VIS-NIR 광대역 측정 기능
- 측정 파장 범위 : 200 nm ~ 2,000 nm 포함 또는 그 이상
- 입사각 자동 제어 기능
- 약 100 μm 수준의 미세영역 측정 기능
- 최대 시료 측정 크기 : 300 mm 또는 그 이상
- 매핑 기능 포함
- 측정 데이터 분석 및 결과 산출용 소프트웨어 포함
제작 구성 / 사양의 만족도- 기술적 내용에 대한 이해도가 충분한가?
- 사양서 상의 관련 규격을 모두 만족하도록 구성하였는가?
- 공고 규격과 제안규격의 내용과 일치하는가?
- 박막 모델링 및 데이터 피팅 기능이 적절하게 구성되어 있는가?
- 사업수행계획(인력투입, 제작, 시운전 등)은 명시되어 있는가?
- 장비운용 및 유지 보수는 사용자가 편리하도록 구성되어 있는가?
- 납품 및 설치 일정계획은 적정한가?
품질보증
계획 및 적정성
(위원회 평가/
정성평가)		고객 지원 및 장비 유지 보수 능력2020- 검증된 엔지니어에 의한 현장 설치
- Manufacturer & supplier’s certification 제출 필수
- A/S 요청시 대응방법 및 하자보수에 대한 구체적인 방법
- 교육 및 A/S인력 이력사항 또는 해당 내용을 증명할 수 있는 자료 제출(붙임 4 참조)
합 계
구분매우우수
(배점의 100%)		우수
(배점의 90%)		보통
(배점의 80%)		미흡
(배점의 70%)		매우미흡
(배점의 60%)
배점3027242118
구분매우우수
(배점의 100%)		우수
(배점의 90%)		보통
(배점의 80%)		미흡
(배점의 70%)		매우미흡
(배점의 60%)
배점3027242118
구분매우우수
(배점의 100%)		우수
(배점의 90%)		보통
(배점의 80%)		미흡
(배점의 70%)		매우미흡
(배점의 60%)
배점2018161412

과업·요구

* 정부 신사업 분야인 AI 관련 디바이스의 환경 신뢰성 평가에 적합한 장비 도입이 필요하며 가혹 동작 조건 모사 등 이행의 난이도측면에서 관련 도구를 공급한 경험이 필수적 ** 검토자 평균점수가 85점 이상일 때, 적합판정 『붙임 1』

경영상태 평가기준

배점·평가

신용평가등급평점
회사채기업어음기업신용평가등급평점
AAA, AA+, AA0, AA-
A+, A0, A-, BBB+, BBB0		A1, A2+, A20,
A2-, A3+, A30		AAA, AA+, AA0, AA-,
A+, A0, A-, BBB+, BBB0		배점의 100%
BBB-, BB+, BB0, BB-A3-, B+, B0BBB-, BB+, BB0, BB-배점의 95%
B+, B0, B-B-B+, B0, B-배점의 90%
CCC+ 이하C 이하CCC+ 이하배점의 70%
평가등급평점
100% 이상배점의 100%
70% 이상∼100% 미만배점의 90%
40% 이상∼70% 미만배점의 80%
40% 미만배점의 70%

과업·요구

SUBJECT : 분광 엘립소미터
No.품명규격수량(식)단가(원)금액(원)
1분광 엘립소미터주문제작사양1
2설치 및 교육
Total Amount (부가세 포함)