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반도체 소모품 실증센터 엘립소미터 구매 재공고
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끝난 공고 · 결과
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- 입찰공고문.pdf · 공고규격서
- 1. 엘립소미터 규격서.hwp · 공고규격서
- 2. 엘립소미터 제안요청서.hwp · 공고규격서
공고 개요
재공고 · 유찰 · 재단법인강원테크노파크 · 기타 연구장비
- 결과
- 유찰
- 참가
- 0곳 · 개찰 09/01(화)
계약
| 계약번호 | 계약일 | 계약금액 | 계약 기간 | 업체 |
|---|---|---|---|---|
| R26TE18511599 | 09/29(화) | 99,500,000원 | - | (주) 엘립소테크놀러지 (주계약업체 100%) |
| R26TE18508517 | 09/29(화) | 99,500,000원 | - | (주) 엘립소테크놀러지 (주계약업체 100%) |
요약 AI 요약
반도체 소모품 실증센터 구축을 위해 박막의 두께, 굴절률, 조성비 등을 분석하는 초정밀 광 계측 장비인 엘립소미터를 도입하고자 합니다.
- 370nm~950nm 파장 영역 측정 및 0~5μm 범위의 박막 두께, 굴절률, 소광계수 분석
- 12인치(300mm) 웨이퍼 자동 매핑 스테이지 및 제어 소프트웨어
- 광원 시스템, 편광 측정 모듈, 위상 측정 및 광학 보정 기능
- 측정 및 데이터 분석용 소프트웨어와 운영 PC 시스템
- 샘플 정렬 및 기울기 조절 기능이 포함된 샘플 스테이지
- 장비 설치, 시운전, 성능 검사 및 운영자 교육훈련
평가 · 배점
협상 대상 기준 · 평가위원별 점수를 합산하여 최고·최저점을 제외한 평균점수가 85점 이상인 업체를 적격자로 판단한다.
| 평가 항목 | 배점 |
|---|---|
| 경영상태(신용평가) | 10점 |
| 사양 충족도(규격 부합성, 제안서 충실도, 시스템 구성 등) | 25점 |
| 장비의 성능(기능 증빙, 품질 우수성, 검증방안, 확장성 등) | 15점 |
| 장비의 안정성 및 내구성(내구성, 안전 보호 기능, 비상 대비, 소모품 주기 등) | 15점 |
| 사용 편리성(유지관리 및 조작 편의성) | 10점 |
| 품질보증 계획의 적정성(전문성, 사후관리 및 무상 유지보수 계획) | 20점 |
| 교육훈련(연간 교육훈련 계획안) | 5점 |
| 합계(항목을 더한 값) | 100점 |
참가 자격 · 제한
- 업종제한
- 제한 없음
- 지역제한
- 제한 없음
- 공동수급
- 공동수급불허
- 입찰참가 제한
- 모름
- 실적경쟁 · PQ
- 모름
- 국제입찰
- 국내입찰
- 제출 방법
- 전자입찰
입찰 일정
| 진행 | 일시 | 남은 날 |
|---|---|---|
| 공고 게시 | 08/21(금) | 지남 |
| 입찰서 제출 시작 | 08/21(금) 17:00 | 지남 |
| 입찰참가자격 등록 마감 | 08/31(월) 18:00 | 지남 |
| 입찰서 제출 마감 | 09/01(화) 10:00 | 지남 |
| 개찰 | 09/01(화) 11:00 | 지남 |
가격
- 추정가격
- 90,909,091원
- 배정예산
- 100,000,000원
- 기초금액
- 100,000,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)
- 부가세
- 9,090,909원
- 예정가격 방식
- 복수예가
납품
- 품명
- 일립소미터 (4111533901)
- 수량
- 1 식
- 납품
- 계약 후 420일
- 인도조건
- 설치까지 · 현장설치도
- 제조물품
- 아니오
- 세부품명 등록
- 등록 필요
공고 정보
- 공고종류
- 재공고 (재입찰공고)
- 게시일
- 08/21(금)
- 공고번호
- R26BK01692926-000
- 참조번호
- 강원TP-181
- 공고기관
- 재단법인강원테크노파크
- 수요기관
- 재단법인강원테크노파크
- 계약방법
- 제한경쟁
- 낙찰방법
- 규격가격동시입찰
- 계약유형
- 총액계약
- 예정가격 방식
- 복수예가
- 추정가격
- 90,909,091원
- 배정예산
- 100,000,000원
- 사전규격번호
- R26BD00260131
- 재공고
- 재공고
- 출처
- 나라장터
문서 발췌
과업·요구
| 공 고 명 | 엘립소미터(Ellipsometer) 장비 구매 |
|---|---|
| 발주기관 | 강원테크노파크 |
2026. 8. 담 당 반도체육성팀 권순호 선임연구원 tel : 033) 743-8629 e-mail : shkon2001@gwtp.or.kr 1 입찰 개요 1. 입찰배경 가. 강원테크노파크에서 수행하는 반도체 소모품 실증센터 구축사업과 관련하여 필요한 분석 장비 1종(엘립소미터(Ellipsometer))으로, 반도체 공정용 소모품 개발 및 완제품 특성 분석과 관련하여 운영이 가능한 장비 2. 입찰내용 가. 도입장비 세부 기술규격 : 별첨 규격서 참조 나. 납품 및 설치 장소 ⑴ 납품장소 : 강원테크노파크 반도체육성팀 지정장소 ⑵ 납품조건 : 현장설치 및 성능검사 - 엘립소미터 오퍼레이팅 국문 매뉴얼 : 1부 - 엘립소미터 카탈로그 : 1부 ⑶ 납품기한 : 계약일로부터 420일 - 수요기관이 건축, 장비 운영 등 일정에 따라 납품 기한 조정(연기)를 요청할 경우 계약 대상자는 이에 응해야 한다. ⑷ 납품범위 : 장비의 제작, Packing, 운반, Fab in, 설치, 검사, 교육 및 하자보증 ⑸ 사업예산 : 금100,000,000원(금일억원) ⑹ 입찰방법 : 일반(총액) 규격/가격 동시 입찰 다. 하자담보책임기간 : 검수 완료일로부터 1년 라. 하자보증 ⑴ 하자보증 기간 - 검수 완료일로부터 1년으로, 정상적인 작동 상태에서 고장 또는 손상 될 경우 장비 공급자의 책임하에 무상으로 수리하여야 함 ⑵ 유지보수 및 수리 - 모든 유지보수 및 수리 등 A/S는 전문 기술자가 지원하며, A/S 계획을 제출함 (3) 하자보증기간 중 정기점검 - 하자보증 기간 중 운영·유지·보수가 필요하다고 판단되는 경우, 발생하는 모든 비용은 계약·공급자가 부담한다.
배점·평가
| 평가 항목 | 평가 방법 | 배점 | 기준 | |
|---|---|---|---|---|
| 일반현황 (10) | 경영상태 | 경영상태 평가(신용평가) | 10 | 경영상태 배점 기준표 참조 |
| 장비의 규격 부문 (65) | 사양 충족도 | - 규격서의 부합성 (규격대비표) - 제안요청서 작성의 충실성 및 내용의 이해도 - 가동 원리, 설계, 전체 시스템 구성 등 | 25 | 탁월 25점 우수 23점 보통 21점 미흡 18점 미달 15점 |
| 장비의 성능 | - 구성품의 기능과 성능 증빙자료 제시 - 품질 우수성, 편의성, 부품신뢰성 - 성능평가 및 검증방안 제시 여부 - 추가기능, 성능의 확장성 등 | 15 | 탁월 15점 우수 13점 보통 11점 미흡 8점 미달 5점 | |
| 장비의 안정성 및 내구성 | - 내구성능 등의 우월성 평가 - 과열방지, 긴급제동 등 안전 및 보호 기능 여부 - 정전 등 비상시 대비 여부 - 소모품의 교체 주기 | |||
| 사용 편리성 | - 소모품 및 부속품 교체, 장비 청소 등 유지관리의 편리성 - 장비 조작 등 사용자의 편리성 | 10 | 탁월 10점 우수 9점 보통 7점 미흡 5점 미달 3점 | |
| 기술지원 부문 (25) | 품질보증 계획의 적정성 | 장비 사후관리 - 장비 취급의 전문성 및 사업 업종의 적합성 - 고객 A/S 요청시 원격제어 또는 기술인력을 현장에 파견하여 대응 - 장비의 무상 A/S 유지보수(1년) 계획 제출 | 20 | 탁월 20점 우수 18점 보통 16점 미흡 13점 미달 10점 |
| 교육훈련 | 연간 교육훈련 방안 - 연간 교육훈련 계획안 제출 | 5 | 탁월 5점 보통 3점 미달 1점 | |
| 합 계 | 100 |
과업·요구
| 물품분류번호 | 공고번호 | 장비명 : COMMODITY : | ||
|---|---|---|---|---|
| 제품설명 (Description) | 제작자(생산국) | |||
| Model | ||||
| 업체명 | ||||
| 작성자 | 직 급 | |||
| 성 명 | ||||
| 연락처 | ||||
| 강원테크노파크 입찰사양 | 응찰업체 사양 | |||
| Ⅰ. 용도(End- user’s Use and Feature) 1. 2. Ⅱ. 장비의 구성(Configurations of Goods) 1. Mainbody 1 set 2. Accessories 1 set - Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specification) 1. Optics : Double beam 2. Wavelength range : 190～900㎚ or wider 3. Stray light : less than 0.02%T at 220㎚ 4. Spectral bandwidth : 0.5, 1, 2, 4㎚ Variable 5. Wavelength accuracy : ±0.3㎚ or better 6. Detector : PMT or better 7. - - - - : - - - Ⅳ. 기타조건(Remarks) 1. | Ⅰ. 용도(End- user’s Use and Feature) 1. 2. Ⅱ. 장비의 구성(Configurations of Goods) 1. Mainbody 1 set 2. Accessories 1 set - Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specification) 1. Optics : Double beam 2. Wavelength range : 190～900㎚ or wider 3. Stray light : less than 0.02%T at 220㎚ 4. Spectral bandwidth : 0.5, 1, 2, 4㎚ Variable 5. Wavelength accuracy : ±0.3㎚ or better 6. Detector : PMT or better 7. - - - - : - - - Ⅳ. 기타조건(Remarks) 1. |
| 구분 | 물품세부 품명번호 | 장비명 | 용 도 | 수량 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 4111533901 (일립소미터) | 엘립소미터(Ellipsometer) | - 빛의 편광상태를 제어, 측정하는 초정밀 metrology 장비로써 박막의 두께 및 굴절률, 물질의 조성비에 매우 민감하게 반응하여 원자 크기 이하의 두께 차이를 검출할 수 있는 sub Å의 정밀도를 갖는 첨단 광 계측장비 | 1EA |
| 장비명 | 사양 | 수량 |
|---|---|---|
| 엘립소미터 (Ellipsometer) | <기본성능> 1. 측정 파장 영역: 370 nm ~ 950 nm 구간 포함(해당 구간 전체 측정 또는 그 이상의 넓은 범위 지원 가능) 2. 측정 빔 스팟 사이즈: 반도체, 디스플레이 등 미세 박막 측정에 적합한 Beam Spot 포함 3. 측정 항목: 박막 두께, 굴절률(n), 소광계수(k) 포함 4. 측정 범위: 0 ~ 5 μm 포함 5. 측정 가능 적층 수: 단일막 및 다층막 분석 지원 6. 측정 속도: 포인트 당 8초 이하 수준 7. 반복 재현성: 0.3 Å 수준 또는 동등 이상 8. 12 Inch(300 mm) Auto mapping stage 포함 <시스템 구성> 1. 광원 시스템 포함(LED/Deuterium/Xenon 중 1종 이상 또는 동등 이상) 2. 편광 측정 모듈 포함 3. 위상 측정 또는 광학 보정 기능 포함 4. 장비 제어 및 전원 공급 모듈 포함 5. Analyzer 모듈 포함 6. 측정·분석용 소프트웨어 포함 7. 운영 PC 시스템 포함 8. Spectral Measurement System 포함 9. 박막 측정에 적합한 입사각 지원 10. Sample Alignment 및 Tilt 조절 기능 포함 11. 12 inch(300 mm) Auto Mapping Stage 포함 <상세사양> 1. Light Source - 최소 370 nm ~ 950 nm 범위를 포함하는 측정 파장 영역 지원 가능할 것 - LED/Deuterium/Xenon 또는 동등 이상의 광원 시스템 포함 - 반도체 및 디스플레이 박막 측정에 적합한 광학계 포함 2. Polarization Module - 편광 기반 박막 측정 기능 지원 가능할 것 - 자동 또는 전자식 편광 제어 기능 포함 - 박막 두께 및 광학상수 측정에 적합한 편광 광학계 포함 3. Optical Compensation Module - 위상 변화 측정 또는 광학 보정 기능 지원 가능할 것 4. Controls and Electronics Module - 시스템 제어 및 데이터 수집을 위한 전자 제어 모듈 포함 5. Analyzer Module - 반사광 기반 분석 기능 지원 가능할 것 - 박막 특성 분석에 적합한 광학 분석계 포함 6. Software - 측정 및 데이터 분석용 소프트웨어 포함 - 박막 두께, 굴절률(n), 소광계수(k) 분석 기능 포함 - Multi-layer Modeling 기능 지원 가능할 것 - 측정 데이터 저장, 불러오기 및 Export 기능 지원 가능할 것 - 사용자 GUI 기반 운영 지원 가능할 것 7. PC System - 장비 운영 및 데이터 분석용 PC 시스템 포함 - 운영 소프트웨어 구동에 적합한 사양 제공할 것 - Monitor, Mouse, Keyboard 포함 - 측정 데이터 저장 및 분석에 충분한 저장 공간 제공할 것 8. Spectral Measurement System - 최소 370 nm ~ 950 nm 범위를 포함하는 파장 측정 지원 가능할 것 - 박막 측정에 적합한 분광 해상도 제공 가능할 것 9. Angle of Incidence - 박막 측정에 적합한 입사각 지원 가능할 것(Variable Angle 또는 고정각) 10. Sample Stage - Sample Alignment 및 Tilt 조절 기능 포함 - Sample 고정 기능 포함 - Wafer 및 다양한 조각 시료 측정 지원 가능할 것 11. Auto Mapping Stage - 12 inch(300 mm) Wafer 자동 Mapping 기능 지원 가능할 것 - 자동 Stage Control 기능 포함 - Wafer Mapping Software 포함 | 1EA |