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절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트 구입
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- 1. 입찰공고문.pdf · 공고규격서
- 2. 물품규격서(절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트).hwp · 공고규격서
- 3. 규격검토확인서 및 규격비교표.hwp · 공고규격서
공고 개요
유찰 · 가천대학교 산학협력단 · 반도체·박막 공정장비
- 결과
- 유찰
- 참가
- 0곳 · 개찰 10/06(화)
요약 AI 요약
가천대학교 반도체대학 5-25호의 진공 실험 교육용으로 이미 구축된 PVT사 EASY-DEP002 휴대용 스퍼터링 시스템에 직접 장착·호환되는 절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트를 구입하는 사업이다. 절연체 증착 실험이 가능한 RF 스퍼터링 소스·파워 서플라이·매칭 시스템 등을 갖춘 장비 1대를 확보하는 것이 목적이다.
- RF Power Supply: RF Generator 300W(13.56MHz) 및 Auto Matching Box
- 2인치 스퍼터 타겟 2개를 기존 챔버 내에 장착하여 2개 이상의 절연체 증착이 가능한 RF 스퍼터링 소스
- 300L/sec 환경에서 구동 가능
- RF 스퍼터건 및 DC 스퍼터건 동작 시 스테이지 온도 가변형 기능
- 타겟과 건 사이 거리 10cm 이상 확보
- 기존 구축 시스템(PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM)에 직접 장착 및 호환
사업 내용 · 이 공고에 든 일
중심 · RF 스퍼터링 듀얼 건·스테이지 세트 납품·설치
물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비
반도체·박막 소자를 만드는 스퍼터링(증착) 공정장비로, 대학 반도체 실습팹에 들이는 장비다.
- 기존 PVT EASY-DEP002 스퍼터링 시스템과의 장착·호환
- RF Generator 300W 및 Auto Matching Box 공급
- 2인치 타겟 2개 장착용 듀얼 스퍼터링 건
- 온도 가변형 스테이지
- 현장 설치(설치장소: 반도체대학 5-25호)
- 설치·시운전 후 12개월 무상 하자보증
- 장비 설치 및 작동법 교육
참가 자격 · 제한
- 업종제한
- 제한 없음
- 지역제한
- 제한 없음
- 공동수급
- 공동수급불허
- 입찰참가 제한
- 모름
- 실적경쟁 · PQ
- 모름
- 국제입찰
- 국내입찰
- 제출 방법
- 직찰
입찰 일정
| 진행 | 일시 | 남은 날 |
|---|---|---|
| 공고 게시 | 09/28(월) | 지남 |
| 개찰 | 10/06(화) 11:00 | 지남 |
가격
- 추정가격
- 49,000,000원
- 배정예산
- 53,900,000원
- 부가세
- 4,900,000원
- 예정가격 방식
- 단일예가
납품
- 품명
- 진공증착기 (2399039801)
- 수량
- 1 대
- 납품
- 계약 후 90일
- 인도조건
- 모름
- 제조물품
- 아니오
- 세부품명 등록
- 아니오
공고 정보
- 공고종류
- 등록공고 (일반공고)
- 게시일
- 09/28(월)
- 공고번호
- R26BK01745355-000
- 참조번호
- 산학202610124
- 공고기관
- 가천대학교 산학협력단
- 수요기관
- 가천대학교 산학협력단
- 계약방법
- 일반경쟁
- 낙찰방법
- 최저가낙찰제
- 계약유형
- 총액계약
- 예정가격 방식
- 단일예가
- 추정가격
- 49,000,000원
- 배정예산
- 53,900,000원
- 사전규격번호
- R26BD00275663
- 재공고
- 아니오
- 출처
- 나라장터
문서 발췌
과업·요구
| 품 명 | 수량 | 단위 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 국문명 | 절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트 | 1 | 대 | ||||
| 요청학과명(부서명) | 요청학과(부서) 담당자 | ||||||
| 반도체공학과 | 성명 | 진강태 | 연락처 | 010-5680-6076 | |||
| 설치장소 | 납품기한 | ||||||
| 가천대학교(성남) 반도체대학 5-25호 | 계약일로부터 90일 이내 |
■ 특 징 ○ RF Sputtering Dual Gun System for Dielectric Deposition -현 반도체대학 5-25호 진공 실험 교육용으로 기 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM 시스템에 직접 장착 및 호환 가능하여아 함. ■ 규 격(세부사양) 2개 이상의 절연체 증착 실험이 가능 RF 스퍼터링 소스 및 파워 서플라이 시스템, 매칭 시스템 등. - RF Power Supply : RF Generator 300W(13.56MHz)/Auto Matching Box -2인치 스퍼터 타겟 2개가 기존 챔버 내 장착되어 2개의 절연체 증착이 가능함. - 300L/sec 에 환경에 구동 가능 - RF스퍼터건 및 DC스퍼터건 동작시 스테이지의 온도 가변형 기능이 가능함. - 타겟과 건 사이 거리가 10cm 이상 확보되어야 함 * 기존 구축된 시스템의 사양 1. 스퍼터링 챔버 ∙ 재질 : SUS304 ∙ 사이즈 : 350mm(O.D) X 250mm(H) ∙ 진공도 : 5 X 10E-7 Torr ∙ 스퍼터건 플랜지 : 6inch CF ∙ 스퍼터링 건 장착가능 수량 : 6ea 2. 스퍼터링 건 ∙ 재질 : SUS304 , Al6061 , Copper ∙ 타겟크기 : 2inch type ∙ 파워 : DC , RF ∙ 파워커넥터 : N type Male ∙ 건 셔터 : 공압 ∙ 가스침니
3. 샘플 스테이지 ∙ 재질 : Al6061 ∙ 샘플크기 : 2inch ∙ 스테이지 회전 : Motorized ■ 하자보증 - 장비의 무상 보증 기간은 설치, 시운전 후 12개월 - 장비의 설치와 작동법 교육은 장비 납품 및 설치완료 시 수행 ■ 인도조건 : 현장설치도 수요기관 설치 장소에 설치 가능 여부 확인 및 직접 설치 ■ 기타사항 - 기타 규격문의는 담당자에게 문의 - 동종사양 이상 가능 === 3. 규격검토확인서 및 규격비교표.hwp ===
규격검토확인서
| 구 분 | 입찰 서류등록 | 입 찰 |
|---|---|---|
| 마감일시 | 2026.10.06.(화) 11:00 | 2026.10.08.(목) 11:00 |
| 장 소 | www.ebiz4u.co.kr 제출서류 등록 | www.ebiz4u.co.kr 총금액입력, 견적서 등록 |
| 비 고 | 본 공고문 10번 참조 | 견적서 작성시 물품규격서 내용과 동일 |
참가자격
5. 입찰참가자격(다음의 사항을 모두 충족하여야 함) 가. 본 건을 수행하기 위해서 허가·인가·면허·등록·신고 등을 요하거나 자격요건을 갖추어야 할 경우에는 당해 허가·인가·면허·등록·신고 등을 받았거나 당해 자격요건에 적합하고, 입찰참 가 등록을 정해진 기한 내에 완료한 자 나. 공고일 현재 당해 사업에 대한 사업자등록증을 교부받은 자로서, 부정당업자로 지정되지 아니한 업체이어야 하며 현재 부도, 파산 및 금융 신용부실로 정상적인 영업활동에 지장이 없는 업체 다. 입찰에 필요한 구비서류를 제출하여 정해진 기일 내 입찰등록을 필한 업체 라. 입찰공고일 현재 청산, 합병, 매각 등 정리절차 중이거나 계획 중인 업체, 법원에 화의 또는 법정관리(신청 중)중인 업체, Work-out 대상기업 및 영업정지 업체는 입찰에 참가할 수 없음 마. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제76조에 의한 부정당업자는 입찰참가자격을 제한함 6. 입찰 및 계약 보증금 가. 입찰보증금은 입찰금액의 5/100이상의 이행(입찰)보증보험증권으로 납부하여야 함 나. 입찰보증금을 초과하여 투찰 시 무효로 처리되며, 응찰자격을 박탈함 다. 낙찰자는 낙찰일로부터 7일 이내에 계약을 체결하여야 함. (낙찰자가 소정 기일(7일) 내에 계약을 체결하지 아니할 경우 낙찰을 무효로 하며, 입찰보증금은 우리 대학교에 귀속됨 라. 계약보증금은 계약금액의 10/100으로 하며, 이행(계약)보증보험증권으로 납부하여야 함
과업·요구
[사업자등록번호 129-82-07687 가천대학교산학협력단] 바. 청렴계약 이행서약서 1부([붙임2]양식 제출). 사. 규격검토확인서 및 규격비교표 1부. 11. 기타유의사항 가. 입찰금액은 설치/배송/운반/인건비, 부가가치세 등 제경비를 모두 포함 후 작성하여야함 나. 입찰참가자는 입찰참가등록일, 입찰일의 시간 및 장소를 숙지하여야 하며, 모든 절차의 시 간 및 장소를 지키지 않을 경우 입찰에 참여할 수 없음 다. 입찰참가자는 입찰공고 내용 및 첨부 된 구입항목 사양서 등을 숙지하고 입찰에 참가하여 야 하며, 이를 숙지하지 못한 책임은 입찰자에게 있음(입찰공고문, 물품규격서 등은 계약내 용의 일부이며 계약과 동일한 효력을 가짐) 라. 입찰공고 첨부파일의 물품규격서에 명기한 동일 제품으로 납품하여야 함 마. 입찰공고문에 표시되지 아니한 사항은 우리대학 계약일반조건 및 규정을 준용함 바. 입찰자는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 제5조의2 및 같은 법 시행령 제4조의2 에 따라 청렴계약을 체결하여야 하며, 청렴계약 미이행시 발생하는 손해에 대하여 본교에 손해배상을 하여야 한다. (입찰금액의 100분의5, 계약금액의 100분의10) 사. 본 공고는 조달청 나라장터 사이트 및 전자입찰사이트(www.ebiz4u.co.kr)공고되며, 모든 입 찰진행은 전자입찰사이트(www.ebiz4u.co.kr) 진행함 12. 문의사항 가. 물품 관련 : 반도체공학과 진강태 교수 010-5680-6076