3DP 패키징 전기적 특성 검사 장치 구매_261369

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공고 개요

유찰 · 한국과학기술원 · 기타 연구장비

결과

유찰

참가

0곳 · 개찰 10/06(화)

요약 AI 요약

3D 프린팅 공정으로 제작된 패키지 기판, 다층 배선(RDL), 범프, 관통 비아(through-via) 시편의 전기적 특성(저항, 접촉저항, 절연특성, 누설전류 등)을 프로빙으로 측정·평가하는 장비를 구매하는 사업이다. 온도 가변 측정과 RF 특성 평가를 통해 3D 프린팅 패키징 공정의 전기적 품질을 검증하고 공정 최적화에 활용한다.

• 6인치 스테인리스 금도금 진공척(평탄도 10㎛ 이하)과 6″×6″ 이동 동축 XY 스테이지, 레버식 급속·노브식 미세 상하 구동 플래튼을 갖춘 매뉴얼 프로브스테이션 본체
• 총배율 12.5X~125X 줌 광학계, 6.0M급 CCD 카메라, Full HD 모니터로 구성된 광학 현미경 시스템
• 진공 흡착 베이스·삼축 튜브형 팁 홀더를 갖춘 DC 프로브 포지셔너 4식(분해능 80TPI 이상, X-Y-Z 각 15mm 이상)
• 회전 15°·X축 기울기 15° 조정이 가능한 RF 프로브 포지셔너 2식(기보유 네트워크 분석기와 연계한 S-parameter 측정용)
• 상온~150℃, 온도 정확도 ±0.5℃ 이내의 저노이즈 온도 가변 척(Hot chuck) 및 컨트롤러
• 차폐·암박스(BNC 피드스루 8구 이상, 프로빙 스테이지와 기구적 분리로 도어 개폐 진동 차단), 능동형 제진테이블, 진공펌프, 삼축 어댑터, 프로브 팁 세트

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 3DP 패키징 전기적 특성 검사 장치(프로브 스테이션) 공급·설치·시운전·교육·하자보수

물품 › 연구·실험·계측장비 › 기타 연구장비

3D 프린팅 패키징 시편의 전기적 특성(저항·절연·RF)을 프로빙 측정하는 연구용 프로브 스테이션 장비를 사서 설치·시운전·교육·하자보수까지 맡기는 단일 물품 구매다.

• 현장 설치(미래융합소자동 E3-3 2312호)
• 진공 흡착·XY 스테이지·플래튼 구동, 광학계, 프로브 접촉, 온도 가변 척 시운전 및 성적서 제출
• 입고 전 1차 검수(제작 업체 실시) 및 시정조치
• 납품 후 1년 이내 3회 무상 교육
• 납품일로부터 1년 하자보수(48시간 이내 조치)
• 사용설명서·시운전 성적서 제출
• 설치용 케이블·배관·부속 자재 및 인건비 부담

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 평가위원의 종합평점이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰적격 업체로 선정

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자입찰

입찰 일정

가격

추정가격

28,850,000원

배정예산

31,735,000원

기초금액

31,112,700원 (예비가격 -2% ~ +2%)

부가세

2,885,000원

예정가격 방식

복수예가

납품

품명

반도체칩검사장치 (2321117501)

수량

1 식

납품

계약 후 42일

인도조건

설치까지 · 현장설치도

제조물품

아니오

세부품명 등록

등록 필요

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

09/28(월)

공고번호

R26BK01744851-000

참조번호

261369

공고기관

한국과학기술원

수요기관

한국과학기술원

계약방법

제한경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

28,850,000원

배정예산

31,735,000원

사전규격번호

R26BD00277466

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 발췌

과업·요구

=== 규격가격동시입찰 제안요청서_최종.hwp === 3DP 패키징 전기적 특성 검사 장치 구매 2026. 09. ※ 관련 문의 ○ 입찰참가자격 등록, 나라장터 시스템 : 정부조달 콜센터(1588-0800) ○ 입찰 및 계약 (입찰공고, 개찰, 계약방법 등) : 구매팀 한상민 ☎ 042-350-2332 ○ 물품 규격, 사양 등 : 전기및전자공학부 정학순 ☎ 010-9466-9041 규 격 제 안 요 청 서

■ ■ 목 차 ■ ■

Ⅰ. 사업 개요 1 Ⅱ. 입찰 참가 자격 1 Ⅲ. 낙찰자 선정 방법 및 제안 조건 2 Ⅳ. 제안서 평가 및 적격업체 선정 3 Ⅴ. 기타 사항 4 Ⅵ. 붙임 1. 제안서 작성 지침 5 2. 기술규격평가 배점표 6 3. 기술규격평가 세부 채점기준표 7 4. 신용평가등급에 의한 경영상태 평가 기준 8 Ⅶ. 서식 1. 제안서 표지 9 2. 업체 일반현황 및 주요 연혁 10 3. 기업신용평가 11 4. 제안 물품 내역 및 규격서 12 5. 규격 비교표 14 6. 보유 기술 인력 세부 현황 15

Ⅰ 사업 개요

❍ 사업명 : 3DP 패키징 전기적 특성 검사 장치 구매_261369 ❍ 사업예산 : 31,735,000원 ❍ 규격 및 수량 : 물품 내역 및 세부 규격서, 시방서 등 참조 ❍ 납품기한 : 계약체결일로부터 6주 ❍ 납품장소 : 카이스트 캠퍼스 내 지정 장소 (E3-3 미래융합소자동 2층 2312호) ❍ 인도조건 : 현장설치도 ❍ 하자보증기간 : 납품일로부터 1년

배점·평가

과업·요구

1) 8자리 또는 10자리 숫자로 제시된 식별번호 2) 물품분류번호에 연계된 품명 3) 구매하고자 하는 물품의 품목명 Ⅰ. 용도 및 특징(End-user's Use and Feature) (1) 용도 - 3D 프린팅 공정으로 제작된 패키지 기판, 다층 RDL, 범프 및 through-via 시편의 전기적 특성(저항, 접촉저항, 절연특성, 누설전류 등)을 프로빙하여 측정·평가함. - 진공척, 차폐박스 및 제진테이블을 이용한 안정적인 시편 고정과 저노이즈 측정 환경을 바탕으로, 미세 패드·범프·비아의 접촉저항 및 절연 특성을 정밀하게 정량화하여 3D 프린팅 패키징 공정(적층·경화·비아 형성 등)의 조건별 전기적 품질(DC, AC)을 검증하고 공정 최적화에 활용함. - 온도 가변 척(Hot chuck)을 이용한 온도 가변 측정을 통해, 시편이 실사용 환경에서 노출되는 온도 조건에서의 절연저항 저하·누설전류 증가 등 전기적 신뢰성 열화 거동을 평가하여 3D 프린팅 유전체 및 비아의 신뢰성 확보 여부를 판단함. - 본 장비에 포함된 RF 프로브 포지셔너와 기보유 네트워크 분석기(Network Analyzer)를 연계하여, 3D 프린팅 패키지 기판에 형성된 고속 신호선(RDL, 전송선로 등)의 S-parameter 등 RF 특성을 측정·평가함. (2) 특징 - 6인치 스테인리스 금도금 진공척과 6″×6″ 이동 범위의 동축 XY 스테이지, 레버식 급속 및 노브식 미세 상하 구동이 가능한 플래튼 구조를 적용하여 시편을 안정적으로 고정하고 프로브 접촉 위치를 신속하게 조정할 수 있음. - 총배율 12.5X~125X의 줌 광학계와 6.0M급 CCD 카메라 및 Full HD 모니터를 적용하여 미세 패드·범프에 대한 프로브 접촉 상태를 실시간으로 관찰하고 기록할 수 있음. - 진공 흡착 베이스와 삼축(Triaxial) 튜브형 팁 홀더를 갖춘 DC 프로브 포지셔너 4식을 적용하여, 분해능 80TPI 이상, X-Y-Z 각 축 15mm 이상의 정밀 위치 조정이 가능함. - 진공 흡착 베이스와 RF 프로브 홀더를 갖춘 RF 프로브 포지셔너 2식을 적용하여, 회전(Theta) 15° 및 X축 기울기 15° 조정을 통해 RF 프로브를 시료 패드면에 평행하게 정렬할 수 있음. - BNC 피드스루 8구 이상의 차폐·암(暗)박스를 적용하여 광 및 전자기 노이즈를 차단함으로써 저전류·고저항 측정 환경을 확보할 수 있음. - 수직 1.5Hz급, 수평 1.2Hz급 고유진동수의 능동형 제진테이블을 적용하여 외부 진동에 의한 프로브 접촉 불안정을 억제할 수 있음. - 상온 ~ 150℃ 범위에서 온도 제어가 가능한 저노이즈 온도 가변 척과 전기적 절연 키트를 적용하여, 저전류 측정 모드에서 온도에 따른 전기적 신뢰성 평가가 가능함.

- 차폐·암박스를 프로빙 스테이지와 기구적으로 분리한 구조를 적용하여, 도어 개폐 시 발생하는 진동이 프로브 접촉부에 전달되지 않도록 함으로써 미세 패드 프로빙 중에도 접촉 상태를 유지할 수 있음. - 프로브 암을 일정한 높이로 반복 상·하 이동시킬 수 있는 구조를 적용하여, 시료에서 프로브 팁을 반복 접촉·이탈시키더라도 오버트래블과 접촉 저항을 동일한 수준으로 재현할 수 있음. - 기보유 Network Analyzer와 본 장비의 RF 프로브 포지셔너를 연계하여 3D 프린팅 패키징 기판의 RF 특성 평가를 수행할 경우, 다수의 시편에 대한 반복 측정 및 프로브 정렬 과정이 요구된다. 이에 좌식 작업이 가능한 높이의 제진테이블과 암박스 내부 조명을 적용하여 작업자의 피로도를 저감하고 측정 재현성을 향상시킬 수 있음. Ⅱ. 물품/장비의 구성(Configurations of Goods) 1. 3DP 패키징 전기적 특성 분석 프로브 스테이션 가. 프로브스테이션 본체(진공척 및 XY 스테이지 포함) : 1 세트 나. 광학 현미경 시스템(CCD 카메라 및 모니터 포함) : 1 세트 다. 제진테이블(에어 컴프레서 포함) : 1 세트 라. 차폐·암박스 : 1 세트 마. 진공펌프 : 1 세트 바. DC 프로브 포지셔너 : 4 세트

사. RF 프로브 포지셔너 및 홀더 : 2 세트 아. 온도 가변 척(Hot chuck) 및 컨트롤러 : 1 세트 자. 삼축 어댑터 : 1 세트 차. 프로브 팁(니들 세트) : 1 세트 Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specification) 1. 3DP 패키징 전기적 특성 분석 프로브 스테이션 가. 프로브스테이션 본체 : 1 세트 1) 매뉴얼 방식의 프로브스테이션 본체 2) 진공척 - 6인치 원형, 스테인리스 재질 금도금 척 - 6인치용 진공 스위치 및 진공 라인 포함 - 척 평탄도 : 10㎛ 이하 3) 동축(Coaxial) 척 XY 스테이지 - 척 이동 범위 : 6인치 × 6인치 이상 - 한 손 조작이 가능한 노브(Knob) 방식 4) 척 회전(Chuck Theta) : 15° 이상 5) 플래튼(Platen) 상하 구동 - 레버식 급속 상하 구동 및 노브·휠식 미세 상하 구동 - 자력식·진공식 프로브 포지셔너 장착이 가능한 스테인리스 재질 플래튼 6) 외형 치수 : 650(W) × 580(D) × 600(H) mm 내외, 중량 80kg 내외

7) 확장 구조 - 플래튼에 프로브카드 홀더를 장착할 수 있는 구조로, 별도 공구 없이 또는 최소한의 조작으로 프로브카드를 탈부착할 수 있을 것 나. 광학 현미경 시스템 : 1 세트 1) 고배율 줌렌즈 현미경 세트 - 6.5X 줌렌즈(0.7 ~ 4.5X), 총배율 12.5X ~ 125X - 시야(F.O.V) : 0.86mm ~ 0.13mm - LED 조명장치 및 C-Mount 어댑터 포함 2) 현미경 미세 이동 장치 : 25 × 25 mm 이상, 포스트 및 마운팅 어셈블리 포함 3) CCD 카메라 : 6.0M급 - 출력 센서 : 2.0MP, 1/3inch 이상 - 자동 화이트밸런스, 광량·컬러/흑백 전환 및 디지털 노이즈 저감 기능 4) Full HD 모니터 : 13인치 이상 1대 다. 제진테이블 : 1 세트 1) 에어 컴프레서 포함 고성능 제진테이블 2) 외형 치수 : 1,200(W) × 900(D) mm 내외, 상판 높이 750 ~ 900 mm - 장시간 착좌 상태로 측정이 가능한 높이일 것 3) 수직 고유진동수 : 1.5Hz 이하 - 진동 절연효율 : 5Hz에서 85% 이상, 10Hz에서 97% 이상

4) 수평 고유진동수 : 1.2Hz 이하 - 진동 절연효율 : 5Hz에서 91% 이상, 10Hz에서 97% 이상 5) 흑색 분체도장 프레임 및 스테인리스 상판 6) 허용 하중 : 200kg 이상, 수평 조절용 레벨링 레그 4개 7) 능동형 에어 서스펜션 방식(공급 공기압 80psi 기준) 라. 차폐·암박스 : 1 세트 1) 차폐(Shielding) 및 암(Dark) 박스 일체형 2) 외형 치수 : 880(W) × 710(D) × 1,140(H) mm 내외 3) BNC 피드스루(Feedthru) : 8구 이상 4) 케이블 터널 : 1개 이상(최대 3개까지 확장 가능한 구조) 5) 철재 흑색 분체도장 구조 6) 진동 절연 구조 - 차폐·암박스는 프로빙 스테이지 및 플래튼과 기구적으로 분리된 구조로, 도어 개폐 시 발생하는 진동이 프로브 접촉부에 전달되지 않을 것 7) 내부 작업 조명 - 암박스 내부 청소 및 프로브 정렬 작업을 위한 내부 조명을 구비할 것 - 측정 시에는 소등하여 차광 상태를 유지할 수 있을 것 마. 진공펌프 : 1 세트 1) 배기 유량 : 22 ℓ/min 이상

2) 도달 진공도 : -670mmHg 이하 3) 전원 : AC 220V, 50/60Hz 4) 중량 4kg 내외, 설치 면적 200(W) × 130(D) × 155(H) mm 내외 바. DC 프로브 포지셔너 : 4 세트 1) 진공 스위치(Vacuum s/w) 방식 베이스 2) 분해능 : 80TPI(Thread Per Inch) 이상 3) X-Y-Z 이동거리 : 각 축 15mm 이상 4) 외형 치수 : 52(W) × 96(D) × 80(H) mm 내외, 중량 530g 내외 5) 삼축(Triaxial) 튜브형 팁 홀더(2.5M) 포함 6) 삼축 케이블 1.5m(Triaxial male 커넥터) 및 삼축 케이블 3M 포함 7) 틸팅(Tilting) 어셈블리 포함 8) 프로브 접촉력 재현 구조 - 시료에서 프로브 팁을 반복 접촉·이탈시킬 때 오버트래블 및 접촉저항을 동일한 수준으로 재현할 수 있도록 프로브 암을 일정한 높이로 반복 상·하 이동시킬 수 있는 기구(레버·핸들 등)를 갖출 것 9) 프로브 팁 및 팁 홀더는 별도 공구 없이 교체 가능한 구조일 것 사. RF 프로브 포지셔너 및 홀더 : 2 세트 1) 진공 스위치(Vacuum s/w) 방식 베이스

2) 분해능 : 80TPI(Thread Per Inch) 이상 3) X-Y-Z 이동거리 : 각 축 15mm 이상 4) 회전(Travel theta) : 15° 이상 5) X축 기울기(X-Tilt) : 15° 이상 6) 외형 치수 : 52(W) × 96(D) × 80(H) mm 내외, 중량 630g 내외 7) RF 프로브 홀더 포함 - 기보유 네트워크 분석기(Network Analyzer)와 연결하여 S-parameter 측정이 가능한 RF 프로브를 장착할 수 있는 구조일 것 8) 프로브 접촉력 재현 구조 - 시료에서 RF, DC 프로브를 반복 접촉·이탈시킬 때 오버트래블 및 접촉저항을 동일한 수준으로 재현할 수 있도록 프로브 암을 일정한 높이로 반복 상·하 이동시킬 수 있는 기구(레버·핸들 등)를 갖출 것 아. 온도 가변 척(Hot chuck) 및 컨트롤러 : 1 세트 1) 저노이즈 DC 구동 방식의 온도 가변 척(전기적 절연 키트 포함) 2) 저전류 측정 모드 지원 3) 온도 범위 : 상온 ~ 150℃ 4) 온도 정확도 : ±0.5℃ 이내 5) 척 크기 : 6인치 - 99.99% 쿼츠 기반 금도금 상부 금속판

6) 컨트롤러 외형 치수 : 350(W) × 300(D) × 150(H) mm 내외 자. 삼축 어댑터 : 1 세트 1) Triaxial(female) - Triaxial(female) 피드스루 어댑터 : 4개 - 삼축 가드/그라운드 상호 연결 구조 2) Triaxial(female) - Coaxial(female) 피드스루 어댑터 : 2개 - 삼축 그라운드와 동축 실드 연결 구조 차. 프로브 팁 : 1 세트 1) 니들 세트(1박스 10개입) 2) 벤딩(Bending) 타입, 팁 직경 10㎛ ※ 상기 Ⅲ항의 규격은 3D 프린팅 공정으로 제작되어 패드 피치·배치가 표준화되어 있지 않고 설계·변경 주기가 짧은 수십 ㎛급 시편을, 저전류·저노이즈 조건에서 장시간 반복 측정하기 위한 연구개발 단계의 측정 환경을 고려한 요구사항임. < 장비의 성능 확인사항 > ⓐ 진공척 흡착 및 XY 스테이지·플래튼 구동 시험 ⓑ 광학계 총배율(12.5X ~ 125X) 및 초점·조명 동작 시험 ⓒ 프로브 포지셔너 X-Y-Z 구동 및 프로브 접촉 시험 ⓓ 온도 가변 척 상온 ~ 150℃ 도달 및 온도 유지(±0.5℃) 시험 ⓔ 삼축 케이블·어댑터를 이용한 저전류 측정 환경 확인 ⓕ 차폐·암박스 도어 개폐 시 프로브 접촉 상태 유지 및 내부 작업 조명 동작 확인 ⓖ RF 프로브 포지셔너 회전(Theta)·기울기(X-Tilt) 구동 및 RF 프로브 정렬 상태 확인 ⓗ 장비 입고 전 사용자의 요청이 있을 경우 상기의 항목(ⓐ~ⓖ번 항목)에 대한 1차 검수를 제작 업체에서 실시한다. - 1차 검수 후 부적격 사항 확인시 입고 전에 시정조치를 완료하여야 한다. - 시정조치 완료 후 적격으로 판정되어야만 입고함을 원칙으로 한다. (시정조치 완료일은 2주 이내로 한다) Ⅳ. 납품 및 교육(Install Test & Education)

1. 설치 및 납품 - 납품기한 : 계약체결일로부터 6주 이내 - 설치 조건  장비 공급자는 한국과학기술원에서 지정하는 시간 및 장소에 장비를 설치해야 한다.  설치 후 진공 흡착, XY 스테이지 및 플래튼 구동, 광학계 배율·초점, 프로브 접촉, 온도 가변 동작에 대한 시운전을 실시하고 그 결과를 제출해야 한다.  삼축(Triaxial) 케이블 및 어댑터를 이용한 저전류 측정 환경이 정상적으로 구성됨을 확인해야 한다.  RF 프로브 포지셔너를 플래튼에 장착하고, 수요기관 보유 네트워크 분석기와 연결하여 RF 측정 환경이 정상적으로 구성됨을 확인해야 한다.  장비 공급자는 작업구역 설정, 통행 출입 제한을 철저히 해야 한다.  장비 공급자는 작업장의 안전작업에 대한 관리 감독을 철저히 해야 한다.  사용 상의 문제 발생 시 48시간 이내에 기술 지원을 제공해야 한다. - 설치장소 : 미래융합소자동 E3-3 2312호 2. 교육 - 납품 후 1년 이내 수요기관에서 교육 요청시 3회까지 무상교육을 실시해야 함 Ⅴ. 하자보수(Maintenance) 1. 하자보수 기간 : 1년 2. 하자보수 조건 - 납품일로부터 1년 - 하자보증 기간 중 정상적인 작동 상태에서 발생하는 모든 결함은 장비 공급자의 책임 하에 무상으로 수리되어야 한다. - 무상 보증기간 내 장애 발생 시 48시간 이내에 조치하여야 한다. Ⅵ. 기타 조건(Remarks)

1. 공통사항 - 본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다. - 제안에 포함된 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며, Refurbished, Used, Warranty 서비스용 부품을 제안해서는 안 된다. - 국내 정식 유통 제품을 제안하여야 한다. - 상기에 기술되지 않은 내용 등은 수요기관의 요청 또는 해석에 따른다. 2. 기타사항 - 본 장비에 포함된 RF 프로브 포지셔너 외에 프로브 포지셔너를 추가 장착할 수 있도록 플래튼 및 차폐박스에 여유 공간을 확보하여야 한다. - 납품 시 장비 사용설명서(매뉴얼) 및 시운전 성적서를 각 1부 제출하여야 한다. - 설치에 필요한 케이블, 배관, 부속 자재 및 인건비 일체는 계약업체가 부담하여야 한다. Ⅶ. 규격 관련 문의 : 전기전자공학과 연구교수 정학순 010-9466-9041 hsjung71@kaist.ac.kr