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마이크로 진공 챔버 프로브 시스템 구매
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- 공고문_마이크로 진공 챔버 프로브 시스템 구매.pdf · 공고규격서
- 규격서(마이크로진공챔버프로브시스템).pdf · 공고규격서
공고 개요
조선대학교 · 자동차 부품·정비·검사장비
- 추정가격
- 2,500만원
- 개찰
- 08/19(수) 10:30 · 마감
- 낙찰방법
- 2단계경쟁입찰
- 참가 자격
- 제한 없음
- 무슨 일
- 최대 10-3 Torr 진공 및 상온~300°C 온도 제어가 가능한 메인 챔버 바디
요약 AI 요약
진공 및 온도 제어 환경에서 박막, 반도체, 전자소자의 전기적 특성을 평가하기 위한 마이크로 진공 챔버 프로브 시스템을 구매하는 사업입니다.
- 최대 10-3 Torr 진공 및 상온~300°C 온도 제어가 가능한 메인 챔버 바디
- 상온~300°C 제어 범위의 PID 온도 조절기가 포함된 핫척(Hot Chuck)
- X, Y, Z축 이동이 가능한 포지셔너 및 프로브 홀더
- 지름 10μm 규격의 금-텅스텐 굽힘형 프로브 팁
- 100 L/sec 성능의 로터리 펌프 시스템
- 장비 설치, 시운전, 사용자 교육 및 매뉴얼 제공
참가 자격 · 제한
- 업종제한
- 제한 없음
- 지역제한
- 제한 없음
- 공동수급
- 공동수급불허
- 입찰참가 제한
- 모름
- 실적경쟁 · PQ
- 모름
- 국제입찰
- 국내입찰
- 제출 방법
- 직찰
입찰 일정
| 진행 | 일시 | 남은 날 |
|---|---|---|
| 공고 게시 | 08/10(월) | 지남 |
| 개찰 | 08/19(수) 10:30 | 지남 |
가격
- 추정가격
- 25,000,000원
- 배정예산
- 27,500,000원
- 부가세
- 2,500,000원
- 예정가격 방식
- 단일예가
납품
- 품명
- 진공브레이크챔버 (2517170204)
- 수량
- 1 식
- 납품
- 계약 후 30일
- 인도조건
- 모름
- 제조물품
- 아니오
- 세부품명 등록
- 아니오
공고 정보
- 공고종류
- 등록공고 (일반공고)
- 게시일
- 08/10(월)
- 공고번호
- R26BK01675267-000
- 참조번호
- 총무 제26-200호
- 공고기관
- 조선대학교
- 수요기관
- 조선대학교
- 계약방법
- 일반경쟁
- 낙찰방법
- 2단계경쟁입찰
- 계약유형
- 총액계약
- 예정가격 방식
- 단일예가
- 추정가격
- 25,000,000원
- 배정예산
- 27,500,000원
- 사전규격번호
- R26BD00259889
- 재공고
- 아니오
- 출처
- 나라장터
문서 발췌
과업·요구
| NO | 1 | 기자재 명 | 마이크로 진공 챔버 프로브 시스템 | 기준모델 | MMVC2S |
|---|---|---|---|---|---|
| 신 청 규 격 | 비고 | ||||
| 1. 장비 개요 장비명 : Micro Vacuum Chamber Probe System_Gas Measure 모델명 : Micro Vacuum chamber_MMVC2S_Rectangular_4P_4 Point 측정 방식 : 4-point probe 접촉 측정 방식 주요 용도 : 진공 및 온도 제어 환경에서 박막, 반도체 및 전자소자의 전기적 특성 평가 주요 측정 항목 : 시트저항, 전도도, 온도 의존 전기전도 특성 및 접촉 특성 분석 -3 진공 환경 : 최대 약 10 Torr 수준 시료 온도 범위 : 상온(RT) ~ 300°C 2. 용도 및 특성 1. 본 장비는 진공 환경에서 시료의 전기적 특성을 측정하기 위한 Micro Vacuum Chamber Probe System이다. 2. Micro 4 Point Contact Probe를 이용하여 시료 표면의 다점 접촉 측정 환경을 제공한다. 3. Main body unit은 Vacuum: 10⁻³ Torr 조건 및 Temp Range: RT ~ 570 K 조건을 지원하며, Ceramic Heater를 포함한다. 4. Hot Chuck & Controller는 RT ~ 300°C의 온도 제어 범위, PID Temp Controller 및 USB Interface를 제공한다. 5. Positioner & Probe Holder는 Sliding Y Stage, Swing X Stage 및 Tension Z Connector 구조로 구성되며, Sliding Travel은 10 mm 이상이어야 한다. 6. Gold-Tungsten Bending Type의 Probe Tip을 적용하며, Tip diameter는 10 μm 규격을 포함한다. 7. 챔버는 Gas Line 1 port, Vent 1 port, Multi Feedthrough 9 Pin D-sub type 및 Window Port를 포함하여야 한다. 8. 모든 규격은 국제단위계(SI unit)를 기준으로 표기한다. 9. 납품 장비는 신품이어야 하며, 장비 설치, 시운전 및 사용자 교육을 포함하여야 한다. |
| 번호 | 구성품 | 수량 | 세부 규격 |
|---|---|---|---|
| 1 | Micro Vacuum Chamber Main Body Unit | 1 SET | -3 Vacuum: 10 Torr, Temp Range: RT ~ 570 K, Ceramic Heater Main Chamber Dimension: 150(W) × 75(D) × 46(H) mm Gas Line 1 port, Vent 1 port Multi Feedthrough 9 Pin D-sub type Window Port 40 mm, Shield O-ring SMA Connector (f) to (f), 4 ea Dual Windows Cooling Port 1/4" |
| 2 | Hot Chuck & Controller | 1 EA | Temp Range: RT ~ 300°C Temp Resolution: 1°C less than PID Temp Controller & USB Interface |
| 3 | Positioner & Probe Holder | 4 SET | Micro 4 Point Connect Probe Swing type Sliding Y Stage, Swing X Stage, Tension Z Connector Sliding Travel: 10 mm SMA(m) to BNC(m) Cable_2 m |
| 4 | Probe Tip – M5BG | 1 BOX | Gold-Tungsten, Bending Type, MST 0.5 × 25 mm, Tip dia 10 μm, 10 pcs |
| 5 | Down Plate | 1 EA | Dimension: 265(W) × 290(D) × 8(T) mm |
| 6 | Vacuum Gauge | -3 Gauge: 10 Torr, | |
| 7 | Rotary Pump System | 100 L/sec, NW Clamp | |
| 8 | Manual Valve & Union Joint | 2 EA | Manual Valve & 1/4" Union Joint |
| 9 | Down Table Rack | 1 EA | Dimension: 750(W) × 750(D) × 1,400(H) mm |
| 부가 장착 장치 | Hot Chuck Controller 및 MFC Stage 장착 가능 |
4. 특이사항 1. 제안 장비는 상기 규격과 동등하거나 그 이상의 성능을 만족하여야 한다. 2. 설치, 검사 및 교육에 필요한 모든 제반비용은 공급자 측에서 부담한다. 3. 계약자는 납품, 설치 되는 물품에 대하여 담당자와 일정, 장소를 협의하여야 한다. 4. 계약자는 해당 물품의 설치 및 관련 업무 수행과정에서 취득한 업무 내용을 외부 에 발설하거나 이용하여서는 안된다. 5. 장비 납품 시 설치, 전원 및 배관 연결, 초기 진공 구동, 온도 제어 동작 확인 및 기본 운용 교육을 포함하여야 한다. 6. 장비 사용에 필요한 사용자 매뉴얼 및 사양서를 제공하여야 한다. 7. 무상 하자보수 기간은 검수 완료일로부터 1년 이상으로 하며, 하자 발생 시 신속한 기술지원을 제공하여야 한다. 본 규격은 상기 모델을 기준으로 하며, 동등 이상 제품으로 입찰 참여 가능함 === 공고문_마이크로 진공 챔버 프로브 시스템 구매.hwp ===
입 찰 공 고
| 공고번호 | 입찰건명 | 물품 설명회 일시 및 장소 | 규격검토서 제출 | 규격합격통보 | 입찰등록 | 입찰일시 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 총무 제26-200호 | 마이크로 진공 챔버 프로브 시스템 구매 | 생략 | 2026. 8. 18.(화) 10:00까지 항공우주인재양성 부트캠프사업단 | 2026. 8. 18.(화) 16:00까지 총무팀 | 2026. 8. 19(수) 10:00까지 총무팀 | 2026. 8. 19(수) 10:30까지 총무팀 |
참가자격
1. 입찰에 부치는 사항 * 문의사항: 물품규격 및 규격검토서 제출(062-608-5848) / 입찰 및 계약(062-230-6313) 2. 예산금액: 금27,500,000원 (부가세 포함) 3. 입찰등록 장소: 조선대학교 총무관리처 총무팀(본관 1층) 4. 입찰방법: 2단계 일반경쟁입찰[규격서 입찰(검토)에 합격한 자에 한하여 가격입찰] 5. 입찰참가자격 가. 「국가를당사자로하는계약에관한법률 시행령」 제12조에 의한 자격을 갖추고, 제76조에 의한 부정당업자가 아니어야 하며 본교 물품구매규정 제12조에 의한 유자격 업체 나. 입찰공고 조건에 부합하고, 소정의 기일 내 등록을 필한 자 다. 본 대학교 규격검토에 합격한 자[입찰에 참여하고자 하는 자는 구매입찰 유의서(2단계경쟁) 제2조에 따름] 6. 규격검토 및 서류제출기한 가. 제출서류 1) 규격 검토 신청서 2) 규격비교표 3) 카탈로그(또는 물품 사진 및 설명) - 규격과 상이할 경우 필수제출 나. 접수처 ※ 문의전화: 062-608-5848 ※ 메일주소: skyline2111@chosun.ac.kr 다. 규격검토 결과통보: 유선(전화 또는 FAX)으로 통보함 라. 공고규격은 기준규격이며 동등이상 제품이면 규격 심 사 합격 후 가격입찰 참여 가능함 마. 접수방법: 메일 접수 7. 입찰보증금의 납부 및 귀속
과업·요구
| No | 1 | 기자재 명 | 마이크로 진공 챔버 프로브 시스템 | 기준모델 | MMVC2S |
|---|---|---|---|---|---|
| 신청 규격 | 비고 |
1. 장비 개요 장비명 : Micro Vacuum Chamber Probe System_Gas Measure 모델명 : Micro Vacuum chamber_MMVC2S_Rectangular_4P_4 Point 측정 방식 : 4-point probe 접촉 측정 방식 주요 용도 : 진공 및 온도 제어 환경에서 박막, 반도체 및 전자소자의 전기적 특성 평가 주요 측정 항목 : 시트저항, 전도도, 온도 의존 전기전도 특성 및 접촉 특성 분석 진공 환경 : 최대 약 10-3 Torr 수준 시료 온도 범위 : 상온(RT) ~ 300°C 2. 용도 및 특성 1. 본 장비는 진공 환경에서 시료의 전기적 특성을 측정하기 위한 Micro Vacuum Chamber Probe System이다. 2. Micro 4 Point Contact Probe를 이용하여 시료 표면의 다점 접촉 측정 환경을 제공한다. 3. Main body unit은 Vacuum: 10⁻³ Torr 조건 및 Temp Range: RT ~ 570 K 조건을 지원하며, Ceramic Heater를 포함한다. 4. Hot Chuck & Controller는 RT ~ 300°C의 온도 제어 범위, PID Temp Controller 및 USB Interface를 제공한다. 5. Positioner & Probe Holder는 Sliding Y Stage, Swing X Stage 및 Tension Z Connector 구조로 구성되며, Sliding Travel은 10 mm 이상이어야 한다.
6. Gold-Tungsten Bending Type의 Probe Tip을 적용하며, Tip diameter는 10 μm 규격을 포함한다. 7. 챔버는 Gas Line 1 port, Vent 1 port, Multi Feedthrough 9 Pin D-sub type 및 Window Port를 포함하여야 한다. 8. 모든 규격은 국제단위계(SI unit)를 기준으로 표기한다. 9. 납품 장비는 신품이어야 하며, 장비 설치, 시운전 및 사용자 교육을 포함하여야 한다. 3. 세부 구성 및 규격 4. 특이사항 1. 제안 장비는 상기 규격과 동등하거나 그 이상의 성능을 만족하여야 한다. 2. 설치, 검사 및 교육에 필요한 모든 제반비용은 공급자 측에서 부담한다. 3. 계약자는 납품, 설치 되는 물품에 대하여 담당자와 일정, 장소를 협의하여야 한다. 4. 계약자는 해당 물품의 설치 및 관련 업무 수행과정에서 취득한 업무 내용을 외부 에 발설하거나 이용하여서는 안된다. 5. 장비 납품 시 설치, 전원 및 배관 연결, 초기 진공 구동, 온도 제어 동작 확인 및 기본 운용 교육을 포함하여야 한다. 6. 장비 사용에 필요한 사용자 매뉴얼 및 사양서를 제공하여야 한다. 7. 무상 하자보수 기간은 검수 완료일로부터 1년 이상으로 하며, 하자 발생 시 신속한 기술지원을 제공하여야 한다. 본 규격은 상기 모델을 기준으로 하며, 동등 이상 제품으로 입찰 참여 가능함
구매입찰 유의서(2단계경쟁)
제1조(목적) 이 유의서는 조선대학교가 행하는 물품의 구매·제조 및 기타 계약에 대한 입찰에서 해당 입찰에 참가하고자 하는 자가 유의해야 할 사항을 정함을 목적으로 한다. 제2조(규격입찰: 규격검토 및 판정) ① 입찰에 참가하고자 하는 자는 반드시 규격검토에 필요한 서류를 규격검토일시까지 제출하여야 한다(입찰공고문 참조).