2026년 충북반도체고 차세대 반도체 실습관 클린룸 구축 기자재 구입 (공정제어실험장치)

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끝난 공고 · 결과

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첨부파일

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• 1. 변경 공고문(공정제어실험장치).hwp · 공고규격서
• 1. 변경 공고문(공정제어실험장치).pdf · 공고규격서
• 2. 제안요청서 및 규격서(공정제어실험장치_변경).hwp · 공고규격서

공고 개요

정정 · 충청북도교육청 충북반도체고등학교 · 교육 실습장비

낙찰업체

(주)울텍

낙찰금액

1,837,500,000원 · 낙찰률 96.474%

낙찰하한율

- · 기초금액 18.9억원

참가

2곳 · 개찰 09/02(수)

계약

요약 AI 요약

반도체 산업 현장 기술 체험을 통한 전문 인력 양성을 위해, 충북반도체고등학교 실습관 클린룸에 필요한 공정제어 실험 장비들을 구매하고 구축하는 사업입니다.

• 반자동/수동 현상 및 솔벤트 웻 벤치, 초순수 생성기 등 세정 장비 납품
• 마스크 얼라이너, 스핀코터, 핫플레이트 흄후드 등 노광 및 코팅 장비 납품
• 산화 및 확산 퍼니스, 반응성 이온 식각(RIE/ICP) 장비, 플라즈마 애셔 납품
• 스퍼터 장비(자동/수동), 열 증착 장비, 급속 열처리 장비 납품
• 장비 설치, 시운전 및 전기·가스·공압 설비 인터페이스 연결
• 4way 교육과정 맞춤형 교보재(워크북) 제공 및 교원 대상 현장 교육 수행

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 평가위원의 종합평점이 100점 만점에 85점 이상을 획득한 업체를 기술(규격)입찰 적격업체로 선정한다.

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자입찰

입찰 일정

가격

추정가격

1,722,181,818원

배정예산

1,894,400,000원

기초금액

1,894,400,000원 (예비가격 -3% ~ +3%)

부가세

172,218,182원

예정가격 방식

복수예가

납품

품명

공정제어실험장치 (6010629901)

수량

1 식

납품

계약 후 150일

인도조건

설치까지 · 현장설치도

제조물품

예(직접생산)

세부품명 등록

등록 필요

공고 정보

공고종류

변경공고 (정정공고 · 1차)

게시일

08/18(화)

공고번호

R26BK01660206-001

참조번호

충북반도체고-10235

공고기관

충청북도교육청 충북반도체고등학교

수요기관

충청북도교육청 충북반도체고등학교

계약방법

제한경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

1,722,181,818원

배정예산

1,894,400,000원

사전규격번호

R26BD00256777

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 발췌

과업·요구

=== 2. 제안요청서 및 규격서(공정제어실험장치_변경).hwp ===

2026년 충북반도체고

차세대 반도체 실습관

클린룸 구축 기자재 구입

제안 요청서

(공정제어실험장치) 2026. 7.

충북반도체고등학교

제Ⅰ장 일 반 사 항

1. 장비 개요 가. 장비명: 차세대 반도체 실습관 클린룸 구축 기자재 구매 나. 목적: 반도체 산업현장에서 적용되는 반도체 공정 교육 기술을 체험하여 첨단 산업 현장에 필요한 인력 양성 및 진로에 대한 교육훈련 체험이 가능한 기자재를 구매하고자 한다. 다. 추정금액: 금 1,894,400,000원(부가세 포함) 라. 납품장소: 충북반도체고등학교 차세대 반도체 실습관 마. 납품기간: 계약일로부터 150일(공사 준공 지연에 따라 납품기간이 연장될 수 있음) 바. 담당부서 (1) 계약에 관한 문의: 충북반도체고등학교 행정실 담당자(043-871-5191) (2) 제안서에 관한 문의: 충북반도체고등학교 기자재 담당자(043-871-5160) (3) 입찰 관련 시스템 문의: 정부조달콜센터(1588-0800 또는 042-610-1200) 사. 계약방법: 제한경쟁(2단계, 규격·가격 동시) 아. 2단계 입찰 사유 (1) 단순한 기자재 구매·설치가 아닌 교육훈련용 반도체 제조 장비에 대한 전문적인 제작기술과 노하우를 가지고 제작 및 설치하는 특수성을 가짐 (2) 복잡하고 전문성이 요구되는 기자재의 규격을 검토하여 적격업체 한해 가격입찰 후 낙찰자 결정

참가자격

2. 계약 방법 가. 2단계 입찰 : 규격 가격 동시 입찰 나. 공동계약은 허용하지 않는다. (1) 여러 회사가 분할하여 납품할 수 없으며 한 회사의 모든 책임 하에 모든 장비를 일괄로 구성하여 납품되어야 한다. (2) 계약 공급업체는 모든 시스템을 총괄하는 업체로 실제의 장비 관련 교육이 가능한 업체로 한다. 다. 규격평가 방법 및 기준은 충북반도체고등학교에서 평가(심사)위원을 구성하여, 실험·실습장비 구매 평가기준 및 평가표(별지 서식)에 의하며, 각 제안사 중 종합 평점에서 85점 이상의 점수를 획득한 업체를 선정한다. 3. 입찰참가자격 및 조건 가. 「지방자치단체를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제13조 및 같은 법 시행규칙 제14조에 의한 자격을 갖추고 같은 법 시행령 제92조에 해당되지 않으며, 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정에 따라 조달청에 입찰참가자격 등록을 한 자여야 합니다. 나. 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정에 따라 반드시 나라장터(G2B)에 입찰참가자격등록 마감일시까지 공정제어실험장치(세부품명번호 10자리 6010629901)를 제조물품으로 입찰참가자격을 등록한 업체로서 중소기업제품 구매 촉진 및 판로 지원에 관한 법률」제9조 및 같은법 시행령 제10조의 규정에 따라 “직접생산확인증명서”를 소지한 자여야 한다. 다.「중소기업기본법」 제2조에 따른 중소기업자 또는 「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」 제2조에 따른 소상공인으로서 「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 중소 기업ㆍ소상공인 확인서를 소지한 자여야 한다.

라. 본교에서 제시한 당해 물품 규격서대로 사업수행(납품)이 가능하고, 제품의 공급과 기술지원을 위해 제조사 공급증명원 및 기술지원(서비스) 확약서를 제출할 수 있는 업체이어야 합니다. 마. 제안서를 제출하는 업체는 제안요청서 사항 및 규격서를 숙지하고 제안서를 작성하여야 하며, 제안서의 내용이 허위로 판명된 경우 입찰참가 자격을 제한하고, 지방자치단체를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제92조에 의거 부정당업자로 제재할 수 있습니다. 4. 평가 방법 가. 평가(심사)위원을 구성하여, 입찰 참가업체로부터 제출된 제안서를 심사하여, 당 학교의 실험실습 장비 구매 평가기준 및 평점표에 의거 평가한다.(※충청북도교육청 및 소속기관 협상에 의한 계약 제안서평가위원회 설치 및 운영 규칙에 의거함.) 나. 적절한 품질을 보장할 수 있도록 기술평가를 실시한다. 다. 세부 평가 방법은 제6항 적격업체 선정기준에 따른다. 라. 평가 비중 및 항목

배점·평가

과업·요구

※ 「지방자치단체 입찰시 낙찰자 결정기준」에 따른 회사채·기업어음·기업신용평가등급을 상호 환산하여 평가

제Ⅱ장 일 반 사 양 서

1. 일 반 가. 적용 범위 본 사양서는 충북반도체고등학교 차세대 반도체 실습동에 설치할 “반도체 클린룸 구축 기자재 1식”(이하 장비라 한다)의 제작, 시험, 검사, 운반, 설치, 교육 및 시운전에 대하여 규정한다. 나. 적용 일반 기술 사양은 장비의 성능 및 설계의 기준을 반드시 준수하여야 하며 명기되지 않은 사항도 계약자는 최신기술을 도입하고 양질의 자재를 사용하여 구조적으로 안전하며 운용 및 정비가 용이한 최고의 성능이 보장되어야 하며 교육적인 지원이 완벽히 이루어져야 한다. 2. 공급 범위 가. 인도장소 관련 법령에 따라 충북반도체고등학교내 차세대 반도체 실습동에 설치한다. 단, 반도체교육 센터 구축 일정에 호환시켜 진행하며 기자재 간의 호환도 가능하도록 설치한다. 나. 공급 수량 : 반도체 클린룸 구축 기자재 1식(내역 참고) 다. 공급 내역 1) 차세대 반도체 실습관 클린룸 구축 기자재 구매 2) 교육 체험 장비 설치 및 시운전 3) 각 장비 설치와 관련된 전기와 압축공기 및 Gas 공급 설비 인터페이스 4) 각 장비 개요, 각 장비 사용 방법, 안전에 관련된 안내 스티커 부착 5) 교육(사용자 교육 및 중장기 공정·장비 기술지원)

※ 계약상대자는 장비 안정화 및 교육과정 운영을 위해 인도 후 교원을 대상으로 2주(80시간) 이상의 초기 현장 공정 셋업 및 트러블슈팅 교육을 실시하여야 하며, 이후 총 2년간 정기적인 기술 지도 및 교육(학기별 2회 이상, 학교와 협의)을 무상으로 지원하여야 한다. 또한, 학교의 요청 시 해당 장비를 활용한 학생 실습 수업에 산업체 전문 인력을 정기적으로 참여시켜 교원과의 공동 수업(팀티칭 형태)을 지원할 수 있어야 한다. 6)교보재 및 4way 교육과정 지원 ※ 본 장비는 충북반도체고등학교의 '4way 공유·연계형 반도체 교육과정' 운영에 활용되므로, 계약상대자는 장비 반입 후 본교 교육과정에 즉시 적용 가능한 교보재(이론·실습 통합 워크북) 및 연수 운영 시나리오를 지원하여야 한다. - 1Way (진로체험 / 4시간) : 초·중학생 대상 기초 체험형 (OHP 마스크 인쇄 및 패턴 형성 중심) - 2Way (학점제 / 30시간) : 일반계·직업계고 기초 이론+실습 (패터닝, 커패시터 제작, 특성 측정) - 3Way (고교 심화 / 48시간) : 직업계고 심화 과정 (IGZO 소자 제작 전 과정 및 특성 분석) - 4Way (직업훈련 / 30~120시간) : 대학·산업체 협력, 현장 실습 및 취업 연계 프로그램 ※ 제안업체는 제안서 제출 시 위 4way 교육과정(특히 3Way IGZO 소자 제작 심화 및 4Way 연수 과정)에 최적화된 교보재(워크북) 실물 샘플 및 활용 계획을 반드시 제시하여야 한다. 3. 장비 규격 장비 규격은 본 입찰공고 및 제안요청서에 별첨된 규격서를 적용하며, 본 목적물을 위하여 필요하나, 규격에 기재되어 있지 않거나 부수적인 기술 사양에 대하여는 동등 이상의 국제규격에 따른다. 4. 입찰자 준수사항

가. 계약내용 및 이의의 해석 1) 계약자는 계약서 내용에 기술되는 기자재, 소프트웨어, 주변 기기 등 일체를 공급하여야 하며, 본 사양서에 기술 되어 있지 않은 사항 또는 불명확하다고 생각되는 사항은 계약 전에 충북반도체고등학교의 해석 및 의견을 확인하여야 하며, 계약 후에는 충북반도체고등학교의 해석에 따라야 한다. 특히, 안전과 관련하여 모든 점검 리스트, 점검요령, 처리요령 등을 자료제공 및 교육지원을 제공해야한다. 반도체 공정실 사전 안전진단에 협조해야하고, 납품 후에도 2회/1년 이상 안전점검을 지원해야한다. 2) 계약자는 본 기술사양서에 명기되지 않았더라도 기능적, 효율적인 운용에 필요한 기기, 예비품, 공구 등은 계약사항에 포함된 것으로 간주하고 납품 하여야 한다. 3) 도면에 표시되었지만 사양에 언급되지 않았거나 사양에 포함되었지만 도면에 표시되지 않은 사항은 서로 보완 효력을 가지며, 본 계약에 포함된 것으로 간주한다. 나. 계약자의 책무 1) 계약자는 장비의 설계, 제작, 검사, 운반, 설치 및 시운전에 대한 전반적인 책임이 있으며, 모든 부품은 정상동작 상태에서 파손 또는 변형이 없이 충분한 강도와 성능을 보장하여야 한다. 2) 장비를 제작 완성함에 있어 꼭 필요한 부분의 누락 또는 생략이 되었을 경우 계약자는 이를 무상으로 보완하여야 한다.

3) 본 사양에 의해 납품된 장비의 하자 등 문제점 발생 시 이에 대한 책임은 계약자에게 있다. 4) 본 제품을 납품하여 설치공사 및 시운전 시 계약자 측의 기술자는 제품의 설치 및 시운전을 포함한 정상적인 가동에 필요한 모든 기술적인 업무를 지원하여야 한다. 다. 포장 및 운반 1) 포장은 운반 및 설치 현장의 습도, 기후 조건 등을 감안 하여 장비 및 부품의 운반 또는 보 관중 손상이 발생하지 않도록 견고한 포장을 하여야 하며, 외부에서 보기 쉬운 곳에 색채 및 기호 등으로 각 기기의 번호, 명칭 등을 표시하여야 한다. 2) 장비의 운반 중 장비 기능 및 성능에 영향을 미치는 손상이 발생했을 경우 이에 대한 사후 처리 및 원형 복구는 계약자의 책임하에 이행하여야 한다. 라. 장비의 가동조건 본 계약목적물은 제안요청서의 물품사양에 의거 정상적인 상태로 운전되도록 설계 및 납품되어야 하며 특별히 규정되지 않은 경우 반도체 클린룸 환경 내에서 정상 가동되어야 한다. 마. 설치 설치 작업 이전에 반드시 설치장소에 대한 기초상태 등 제반여건을 사전 확인한 후에 학교 측 과 협의를 한 후 장비를 설치하여야 하며, 설치에 따른 기존 장비, 시설 등의 이동 및 설치와 관련되는 모든 비용(장비, 인원, 동력 등)은 계약자가 부담한다. 바. 안전 대책 및 책임 계약자는 시운전 완료시까지 제반 안전 대책을 수립하여 안전에 대비하여야 하며, 안전사고 발생시 이에 따른 민 ․ 형사상의 책임은 계약자에게 있다.

사. 산업재산권의 보호 1) 본 장비의 설계, 제작, 시험 및 납품, 유지보수와 관련하여 타인 또는 외국의 권리나 특허, 실용신안, 상표, 의장(공업소유권) 등의 권리 보호에 따른 문제점이 발생 되지 않도록 해야 하며 발생 시 이에 대한 처리 책임은 계약자에게 있다. 2) 동 장비의 설치 완료 및 보증기간 완료 후 본교는 상기 특허, 실용신안 등의 재산권을 사용할 권리를 가지며 계약자는 이에 대한 이의를 제기할 수 없다. 아. 교육 훈련(기술 지도) 계약자는 기기별 운전 정비및 관리에 필요한 사람에 대하여 기간, 인원 등이 명시된 교육 훈련 계획서를 제출하여야 하며 또한 학교가 원할 경우 3년간 16주 이상(1일 2시간 이상) 교육을 지원해야 한다. 자. 허가 및 수속 계약자는 제작, 납품과 관련하여 국내법이 규정하는 사항에 대하여는 대관청허가 및 수속 등을 처리해야 할 의무가 있으며, 이에 따른 비용은 계약자가 부담한다. 차. 시운전 계약자는 시운전에 필요한 모든 사항은 준비한 시운전 계획 및 승인된 시험 점검표를 제출하고 감독관 입회하에 시운전을 시행하여야 하며, 시운전 불합격 시는 즉각 결함 부분을 시정하여 재시행하여야 한다. 단, 시운전 기간이 기재되지 않을 경우 계약자가 시운전 기간을 제시하여 본교와 협의 후 진행한다. 카. 보증 1) 계약자는 장비의 인수 후 규격서 등에서 정한 기간 내에 하자이행보증을 실시하며 본교에서 요청 시에는 이를 보증하기 위해 검수 완료 후 하자이행보증증권을 제출한다.

2) 보증기간 중 부품교체 등 하자 이행이 있을 경우 규격서 등에서 정한 기간 내에 무상 수리가 보장되어야 한다. 타. 운용지원(After Service) 1) 계약자는 제작 공급한 교육 훈련 장비에 대한 신속하고 완벽한 운용지원(After Service)을 위하여 지원체제를 갖추어야 한다. 파. 납품 기한 지정된 일정에 맞추어야 하며, 발주자 지정 장소에 설치 완료하는 것을 원칙으로 한다.

제Ⅲ장 기 술 사 양 서

1. 장비 설치 가. 장비 구성도는 본교의 실습장 여건에 맞도록 설치 구상되어야 하며 상세한 것은 학교와 협의해야 한다. 나. 전원의 공급은 본교에서 기본 제공하며 장비의 배관 및 배선은 장비 공급업체에서 담당하 며 이의 설치는 각 학교와 협의한다. 2. 일반 관리사항 가. 설치 및 검사 1) 사양 협의 : 계약 후 2주 이내에 본교에 설치할 장비의 구성도 및 동 장비의 세부 사양을 제출한다. 2) 설치 : 본교에서 지정하는 해당 실습장에 설치한다. 3) 설치 후 시험 운전을 하여 가동되었을 때 학교 검사 절차에 의하여 납기 내에 검사필을 하여야 한다. 4) 설치 후 공급 업체에 제공한 모든 장비는 운용에 무리가 없고, 동 사양이 완료되어 시운전이 끝난 후를 검사가 완료된 것으로 본다.(시운전 및 검사를 위한 소재는 공급 업체에서 제공)

5) 본 사양에 명시되지 않은 부품의 설치가 필요한 경우(비용 포함) 설치 회사에서 제공한다. 6) 설치 시 기술적 문제는 본교와 상세한 협의를 하고 설치에 따른 Know-How를 제공하여야 한다. 나. 기술 전수 및 협력 업체 체제 구축 1) 운용 및 관리에 대한 기술적인 지원, 또는 교육 훈련 장비 운용에 대한 기술 향상을 위하여 학교의 요청 시 국내외의 기술정보 및 기술 자료를 제공할 수 있으며 지속적인 협력 체제를 구축한다. 2) 교육 체험 장비 기술에 대한 향후 발전에 대한 정보교환 및 진로 개발 협력 3) 교육 체험 장비에 대한 기법과 운용기법 제공 4) 3년간 16주 이상 교육과정 운영 지원 5) 기자재별 부교재 제공 다. 유지보수 및 점검 1) 무상보수 : 검수일로부터 2년 2) 요청 시 보수 : 기간 내 제품에 하자 발생 시 48시간 내에 즉시 보수 3) 유상 보수 : 무상 정비 기간 후 4) 정기 점검 : 매 분기별 1회 이상 실시 5) 수시 점검 : 해당 학교의 요청 시 또는 회사 자체 순회 시 3. 장비의 기본 사양 및 성능 : 기자재 규격서 참조 [붙임1] 기자재 규격서 1-1. 품목: 반자동 현상 웻벤치 제어 실험장치 품목번호 1-1 품목 반자동 현상 웻벤치 제어 실험장치 단위 대 수량 1 Ⅰ. 특징

1. 본 장비는 공정 전‧후 현상액(Developer)를 이용하여 기판 또는 웨이퍼의 표면을 세정하여 미세패턴을 형성하기 위한 반자동 장비이다. 2. 본 장비는 실험 또는 작업 공간이 충분하도록 제작하며, 내부에 충분한 작업 물량을 비치할 수 있도록 설계되어야 한다. 3. 본 장비는 디벨롭(Develop) 배스(Bath)와 QDR 배스(Bath)의 독립적이고 최적화된 공정 구성을 통해 현상 균일도 및 세정 효율을 동시에 확보하며, 공정 재현성과 생산성을 향상시키도록 설계되어야 한다. 4. 본 장비의 내부 조명은 충분한 조도가 필요하며 작업면은 평활도를 유지하도록 설계되어야 한다. 5. 도어의 창은 투명 PVC 재질을 사용하며, 상/하 슬라이딩 도어형 원스톱 방식으로 제작되어야 한다. 6. 실험 중 발생하는 유해가스의 기내 체류 시간 및 와류에 의한 실내 역류 방지 등을 최대한 줄이기 위하여 풍량 조정을 위한 수동 댐퍼가 존재하여야 한다. 7. 장비의 내·외부는 내약품성이 우수한 재질로 제작한다. 8. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. Ⅱ. 장비 구성 1. 메인 바디 유닛 2. 파이프 펌핑 유닛 3. 공정 배스(Bath) 유닛 4. 시스템 제어 유닛 5. 보조 유닛 Ⅲ. 상세 규격 1. 메인 바디 유닛 • 메인 프레임 패널 - 재질: 내부식 도장 처리된 강철 프레임 구조 - 공정 배스(Bath) 영역: 내부식 도장 처리된 스틸 프레임 & FM PVC 커버 • 외부 패널 - 재질: FM PVC 플레이트 - 색상: 흰색 계열 • 유지보수용 개폐 도어 - 재질: 표준 FM PVC 패널 - 도어: 슬라이딩 개폐 방식, 플라스틱 롤러 캐치 방식이 적용된 탈착식 구조 • 누액 방지 드립 패널 - 재질: 표준 FM PVC 플레이트 - 인터록(Interlock): 누출 센서 • 싱크 플레넘(Sink Plenum) - 재질: 표준 FM PVC 플레이트

2. 파이프 펌핑 유닛 • DIW - 주요 배관 재질: C-PVC - 서브 배관 재질: PFA 튜브 • 배수 - 주요 배관 재질: PVC 파이프 • DI 회수 라인 - 주요 배관 재질: C-PVC 파이프 • 배기구 - 재질: 표준 PVC 파이프 3. 공정 배스(Bath) 유닛 • 디벨롭(Develop) 배스 - 수량: 2세트 - 재질: 테프론(PTFE) - 확산판 재질: 테프론(PTFE) - 공정 온도: 상온 - DI 공급 배관: PFA 튜브 - 화학물 배수 방법: 공정 배스에서 펌프를 사용하지 않고 병으로 중력으로 배출 - 화학물 공급 방식: 수동 공급 • QDR 배스 - 수량: 2개 - 재질: 투명 PVC - 배스 구조: V-Notch와 층류 상향 흐름 구조를 채택하여 기판 전체에 균일한 약품 공급이 가능하며, 재오염을 방지하도록 설계 - 확산판 재질: 투명 PVC - 공정온도: 상온 - 빠른 덤프 배수: 공정 배스에서 펌프를 사용하지 않고 중력으로 배출 - DIW 샤워: 샤워 노즐/콘 타입 (노즐 이동 매커니즘) - QDR 시퀸스: 변경 전 시간(사이클 카운터) 배수시간(QDR 수) DIW 오버플로우 시간 DIW 샤워시간 + 샤워 지연 시간 샤워 종료 시간 4. 시스템 제어 유닛 • 시스템 제어 - 제어 방식: PLC 시퀸스 제어 컨트롤러 - 컨트롤러 프레임 재질: 내부식 도장 처리된 강철 프레임 구조

5. 보조 유닛 • 배기장치 - 댐퍼: 0~90도 각도로 조절 가능 - 게이지: 패널 장착형 • DI / N2 건 - 좌측, 우측에 설치 • 전면 도어 - 개폐 방식: 작업자 수동 개폐 구조 - 재질: 표준 FM PVC 플레이트 Ⅳ. 기타 조건 1. 납기일: 계약 후 150일 이내 2. 납품장소: 수요처 지정장소에 설치 - 장비 설치는 전문 엔지니어가 설치하여야 하며, 설치 후 시운전 동작에서 아무 이상이 없을 때 완료된 것으로 한다. 3. 교육: 전문 엔지니어가 수요처가 지정하는 일정에 따라 별도의 비용 없이 교육을 제공 4. 부속품: 장비 유지보수 매뉴얼 책자 1부와 PDF 파일을 제공 5 하자보증기간: 장비 설치 후 검수 완료일로부터 2년 6. 납품 기준: 본 규격서에 제시한 성능 및 규격과 동등하거나 동등 이상의 제품이어야 한다. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호 협의로 결정한다.) 7. 품질관리 세부 사항 가. 설비 유지보수 지원 1) 장비 고장 접수 후 48시간 이내에 전문 엔지니어가 현장에 도착하여 조치에 착수하여야 한다. 2) 최종 수리 및 정상화 조치는 현장 방문 후 최대 7일 이내에 완료하여야 한다. 3) 신속한 대응을 위해 원격 기술 지원을 제공하여야 하며, 장비별 전문 엔지니어의 비상 연락처를 제출하여야 한다. 나. 설비 보증 1) 설비 계약 시 계약 이행 보증 증권을 발행하여야 함.

2) 설비 납품 시 하자 보증 증권을 발행하여야 함. 8. 장비 운용 교육 및 기술 전수 가. 장비 인도 시 정상 구동을 위한 표준 공정 레시피(Recipe)를 기본 탑재하여 납품하여야 한다. 나. 사용자 교육은 제안요청서의 총 교육 시간 내에서 진행하되, 반드시 장비별 신규 레시피 작성, 예방 정비(PM), 트러블슈팅(오류 조치)을 포함한 깊이 있는 실습 위주로 실시하여야 하며, 국문 매뉴얼(운영·정비 가이드)을 책자 및 전자파일 형태로 제출하여야 한다. 1-2. 품목: 수동형 현상 웻벤치 제어 실험장치 품목번호 1-2 품목 수동형 현상 웻벤치 제어 실험장치 단위 대 수량 1 Ⅰ. 특징 1. 본 장비는 공정 전‧후 웨이퍼의 표면을 세정하기 위한 수동 장비이다. 2. 본 장비는 실험 또는 작업 공간이 충분하도록 제작하며, 내부에 충분한 작업 물량을 비치할 수 있도록 설계되어야 한다. 3. 본 장비의 내부 조명은 충분한 조도가 필요하며 작업면은 평활도를 유지하도록 설계되어야 한다. 4. 도어의 창은 투명 PVC 재질을 사용하며, 상/하 슬라이딩 도어형 원스톱 방식으로 제작되어야 한다. 5. 실험 중 발생하는 유해가스의 기내 체류 시간 및 와류에 의한 실내 역류 방지 등을 최대한 줄이기 위하여 풍량 조정을 위한 수동 댐퍼가 존재하여야 한다. 6. 장비의 내·외부는 내약품성이 우수한 재질로 제작한다. 7. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. Ⅱ. 장비 구성

1. 메인 바디 유닛 2. 작업 테이블 유닛 3. 파이프 펌핑 유닛 4. 시스템 제어 유닛 5. 보조 유닛 Ⅲ. 상세 규격 1. 메인 바디 유닛 • 메인 프레임 패널 - 재질: 강철 프레임 구조에 내화학성이 우수한 FM PVC 재질 외장 커버 마감 • 외부 패널 - 재질: 아이보리 색상의 FM PVC 판재(Plate) • 유지보수용 개폐 도어 - 재질: 표준 FM PVC 패널 - 도어: 플라스틱 롤러 캐치 방식이 적용된 탈착식 구조 - 인터록(Interlock): 도어 낙하 방지를 위한 안전 인터록 장치 적용 • 누액 방지 드립 패널 - 재질: FM PVC • 배수 라인 - 주요 배관: C-PVC 배관 2. 작업 테이블 유닛 • 작업 구역 - 재질: FM PVC - 작업 구역은 좌 / 우로 나뉘어 구성 - 펀칭 플레이트 재질: SUS • 산성 물질 구역용 싱크대 - 재질: 두께 10mmT 이상의 FM PVC 재질 - 배수를 원활하게 하기 위한 타공형 펀칭 플레이트 3. 파이프 펌핑 유닛 • DIW - 주요 배관 재질: C-PVC / 서브 배관 재질: PFA 튜브 • 배수 - 주요 배관 재질: C-PVC • CDA • GN2 - 재질: SUS 파이프 - 압력조절기(Regulator) 4. 시스템 제어 유닛 • 시스템 제어 - 제어 방식: 버튼형 스위치 제어 5. 보조 유닛 • 배기장치 - 댐퍼: 0~90도 각도로 조절 가능 • DI / N2 건 - 좌측, 우측에 설치 • 내부 형광등(노란색) • 보틀(Bottle) 배수 장치 - 이동을 원활하게 하는 이동식 카트 포함 - 안전 센서: 레벨 센서 Ⅳ. 기타 조건

1. 납기일: 계약 후 150일 이내 2. 납품장소: 수요처 지정장소에 설치 - 장비 설치는 전문 엔지니어가 설치하여야 하며, 설치 후 시운전 동작에서 아무 이상이 없을 때 완료된 것으로 한다. 3. 교육: 전문 엔지니어가 수요처가 지정하는 일정에 따라 별도의 비용 없이 교육을 제공 4. 부속품: 장비 유지보수 매뉴얼 책자 1부와 PDF 파일을 제공 5 하자보증기간: 장비 설치 후 검수 완료일로부터 2년 6. 납품 기준: 본 규격서에 제시한 성능 및 규격과 동등하거나 동등 이상의 제품이어야 한다. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호 협의로 결정한다.) 7. 품질관리 세부 사항 가. 설비 유지보수 지원 1) 장비 고장 접수 후 48시간 이내에 전문 엔지니어가 현장에 도착하여 조치에 착수하여야 한다. 2) 최종 수리 및 정상화 조치는 현장 방문 후 최대 7일 이내에 완료하여야 한다. 3) 신속한 대응을 위해 원격 기술 지원을 제공하여야 하며, 장비별 전문 엔지니어의 비상 연락처를 제출하여야 한다. 나. 설비 보증 1) 설비 계약 시 계약 이행 보증 증권을 발행하여야 함. 2) 설비 납품 시 하자 보증 증권을 발행하여야 함. 8. 장비 운용 교육 및 기술 전수 가. 장비 인도 시 정상 구동을 위한 표준 공정 레시피(Recipe)를 기본 탑재하여 납품하여야 한다. 나. 사용자 교육은 제안요청서의 총 교육 시간 내에서 진행하되, 반드시 장비별 신규 레시피 작성, 예방 정비(PM), 트러블슈팅(오류 조치)을 포함한 깊이 있는 실습 위주로 실시하여야 하며, 국문 매뉴얼(운영·정비 가이드)을 책자 및 전자파일 형태로 제출하여야 한다. 1-3. 품목: 반자동 솔벤트 웻벤치 제어 실험장치 품목번호 1-3 품목 반자동 솔벤트 웻벤치 제어 실험장치 단위 대 수량 1 Ⅰ. 특징

1. 본 장비는 공정 전‧후 유기용제(Solvent)를 이용하여 기판 또는 웨이퍼의 표면을 세정하기 위한 반자동 장비이다. 2. 본 장비는 실험 또는 작업 공간이 충분하도록 제작하며, 내부에 충분한 작업 물량을 비치할 수 있도록 설계되어야 한다. 3. 본 장비는 스트립(Strip) 배스(Bath), 솔벤트 배스(Bath)와 QDR 배스(Bath)의 독립적이고 최적화된 공정 구성을 통해 현상 균일도 및 세정 효율을 동시에 확보하며, 공정 재현성과 생산성을 향상시키도록 설계되어야 한다. 4. 본 장비의 내부 조명은 충분한 조도가 필요하며 작업면은 평활도를 유지하도록 설계되어야 한다. 5. 도어의 창은 투명 PVC 재질을 사용하며, 상/하 슬라이딩 도어형 원스톱 방식으로 제작되어야 한다. 6. 실험 중 발생하는 유해가스의 기내 체류 시간 및 와류에 의한 실내 역류 방지 등을 최대한 줄이기 위하여 풍량 조정을 위한 수동 댐퍼가 존재하여야 한다. 7. 장비의 내·외부는 내약품성이 우수한 재질로 제작한다. 8. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. Ⅱ. 장비 구성 1. 메인 바디 유닛 2. 파이프 펌핑 유닛 3. 공정 배스(Bath) 유닛 4. 시스템 제어 유닛 5. 자동 소화 장치 유닛 6. 보조 유닛 Ⅲ. 상세 규격 1. 메인 바디 유닛 • 메인 프레임 패널 - 메인 프레임: SUS304 프레임 - 공정 배스(Bath) 구역: SUS304 프레임 및 SUS304 커버 • 외부 패널 - 재질: SUS304 플레이트 - 뷰 포트: 강화유리 • 유지보수용 개폐 도어 - 도어: 슬라이딩 개폐 방식, SUS 롤러 캐치 방식이 적용된 탈착식 구조 - 재질: SUS304 • 누액 방지 드립 패널 - 재질: SUS304 - 인터록: 누출 센서 • 싱크 플레넘(Sink Plenum) - 재질: SUS304 플레이트

2. 파이프 펌핑 유닛 • DIW - 주요 배관 재질: SUS 파이프 - 서브 배관 재질: PFA 튜브 • 배수 - 주요 배관 재질: SUS 파이프 • DI 회수 라인 - 주요 배관 재질: SUS 파이프 • 배기구 - 재질: 표준 SUS 파이프 3. 공정 배스(Bath) 유닛 • 스트립(Strip) 배스 - 수량: 1개 - 재질: SUS316 - 확산판 재질: SUS316 - 공정온도: 80도 - 가열 방식: SUS 히터를 사용하여 직접 가열 - 히터 출력: 1.5kW - 온도 제어 방식: PID - DI 공급 배관: PFA 튜브 - 화학물 배수 방법: 공정 배스에서 펌프를 사용하지 않고 병으로 중력으로 배출 - 배스 인터록(Interlock) 기능: 공정 배스의 액위는 마그네틱 플로트 센서를 통해 감지하며, 설정된 감지 포인트에서 히터 및 초음파 장치가 자동으로 인터록(차단) 되도록 설계함 • 솔벤트 배스 - 수량: 2개 - 재질: SUS316 - 확산판 재질: SUS316 - 공정온도: 60도 - 가열 방식: SUS 히터를 사용하여 직접 가열 - 히터 출력: 1.5kW - 온도 제어 방식: PID - 초음파 출력: 주파수 44kHz에서 600W - DI 공급 배관: PFA 튜브 - 화학물 배수 방법: 공정 배스에서 펌프를 사용하지 않고 병으로 중력으로 배출 - 배스 인터록(Interlock) 기능: 공정 배스의 액위는 마그네틱 플로트 센서를 통해 감지하며, 설정된 감지 포인트에서 히터 및 초음파 장치가 자동으로 인터록(차단) 되도록 설계함 • QDR 배스 - 수량: 3개 - 재질: SUS316 - 배스 구조: V-Notch와 층류 상향 흐름 구조를 채택하여 기판 전체에 균일한 약품 공급이 가능하며, 재오염을 방지하도록 설계 - 확산판 재질: SUS316 - 공정온도: 상온 - 빠른 덤프 배수: 공정 배스에서 펌프를 사용하지 않고 중력으로 배출 - DIW 샤워: 샤워 노즐/콘 타입 (노즐 이동 매커니즘) - QDR 시퀸스: 변경 전 시간(사이클 카운터) 배수시간(QDR 수) DIW 오버플로우 시간 DIW 샤워시간 + 샤워 지연 시간 샤워 종료 시간

4. 시스템 제어 유닛 • 시스템 제어 - 제어 방식: PLC 시퀸스 제어 컨트롤러 - 컨트롤러 프레임 재질: SUS304 5. 자동 소화 장치 유닛 • 자동소화장치 - 자동소화용 이산화탄소 가스 캐비닛 - 불꽃 감지 센서: UV/IR 감지 센서 - 온도 감지 센서: 디지털 온도 제어기 - 수동 조작 패널 - 소화용 이산화탄소 분화구 6. 보조 유닛 • 배기장치 - 게이지: 패널 장착형 • DI / N2 건 - 좌측, 우측에 설치 • 전면 도어 - 개폐 방식: 작업자 수동 개폐 구조 - 재질: SUS304 플레이트 Ⅳ. 기타 조건 1. 납기일: 계약 후 150일 이내 2. 납품장소: 수요처 지정장소에 설치 - 장비 설치는 전문 엔지니어가 설치하여야 하며, 설치 후 시운전 동작에서 아무 이상이 없을 때 완료된 것으로 한다. 3. 교육: 전문 엔지니어가 수요처가 지정하는 일정에 따라 별도의 비용 없이 교육을 제공 4. 부속품: 장비 유지보수 매뉴얼 책자 1부와 PDF 파일을 제공 5 하자보증기간: 장비 설치 후 검수 완료일로부터 2년 6. 납품 기준: 본 규격서에 제시한 성능 및 규격과 동등하거나 동등 이상의 제품이어야 한다. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호 협의로 결정한다.) 7. 품질관리 세부 사항 가. 설비 유지보수 지원 1) 장비 고장 접수 후 48시간 이내에 전문 엔지니어가 현장에 도착하여 조치에 착수하여야 한다.

5. 실험 중 발생하는 유해가스의 기내 체류 시간 및 와류에 의한 실내 역류 방지 등을 최대한 줄이기 위하여 풍량 조정을 위한 수동 댐퍼가 존재하여야 한다. 6. 장비의 내·외부는 내약품성이 우수한 재질로 제작한다. 7. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. Ⅱ. 장비 구성 1. 메인 바디 유닛 2. 작업 테이블 유닛 3. 파이프 펌핑 유닛 4. 시스템 제어 유닛 5. 보조 유닛 Ⅲ. 상세 규격 1. 메인 바디 유닛 • 메인 프레임 패널 - 메인 프레임: SUS304 프레임 • 외부 패널 - 재질: SUS304 판재(Plate) • 유지보수용 개폐 도어 - 재질: SUS304 패널 - 도어: 플라스틱 롤러 캐치 방식이 적용된 탈착식 구조 - 인터록(Interlock): 도어 낙하 방지를 위한 안전 인터록 장치 적용 • 누액 방지 드립 패널 - 재질: SUS304 • 배수 라인 - 주요 배관: SUS 배관 2. 작업 테이블 유닛 • 작업 구역 - 재질: SUS316 - 작업 구역은 좌 / 우로 나뉘어 구성 - 펀칭 플레이트 재질: SUS316 • 싱크대 - 재질: SUS - 배수를 원활하게 하기 위한 타공형 펀칭 플레이트 3. 파이프 펌핑 유닛 • DIW - 주요 배관 재질: SUS / 서브 배관 재질: PFA 튜브 • 배수 - 주요 배관 재질: SUS • CDA • GN2 - 재질: SUS 파이프 - 압력조절기(Regulator)

4. 시스템 제어 유닛 • 시스템 제어 - 제어 방식: 버튼형 스위치 제어 5. 보조 유닛 • 배기장치 - 댐퍼: 0~90도 각도로 조절 가능 • DI / N2 건 - 좌측, 우측에 설치 • 내부 형광등(노란색) • 보틀(Bottle) 배수 장치 - 이동을 원활하게 하는 이동식 카트 포함 - 안전 센서: 레벨 센서 Ⅳ. 기타 조건 1. 납기일: 계약 후 150일 이내 2. 납품장소: 수요처 지정장소에 설치 - 장비 설치는 전문 엔지니어가 설치하여야 하며, 설치 후 시운전 동작에서 아무 이상이 없을 때 완료된 것으로 한다. 3. 교육: 전문 엔지니어가 수요처가 지정하는 일정에 따라 별도의 비용 없이 교육을 제공 4. 부속품: 장비 유지보수 매뉴얼 책자 1부와 PDF 파일을 제공 5 하자보증기간: 장비 설치 후 검수 완료일로부터 2년 6. 납품 기준: 본 규격서에 제시한 성능 및 규격과 동등하거나 동등 이상의 제품이어야 한다. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호 협의로 결정한다.) 7. 품질관리 세부 사항 가. 설비 유지보수 지원 1) 장비 고장 접수 후 48시간 이내에 전문 엔지니어가 현장에 도착하여 조치에 착수하여야 한다. 2) 최종 수리 및 정상화 조치는 현장 방문 후 최대 7일 이내에 완료하여야 한다. 3) 신속한 대응을 위해 원격 기술 지원을 제공하여야 하며, 장비별 전문 엔지니어의 비상 연락처를 제출하여야 한다.

나. 설비 보증 1) 설비 계약 시 계약 이행 보증 증권을 발행하여야 함. 2) 설비 납품 시 하자 보증 증권을 발행하여야 함. 8. 장비 운용 교육 및 기술 전수 가. 장비 인도 시 정상 구동을 위한 표준 공정 레시피(Recipe)를 기본 탑재하여 납품하여야 한다. 나. 사용자 교육은 제안요청서의 총 교육 시간 내에서 진행하되, 반드시 장비별 신규 레시피 작성, 예방 정비(PM), 트러블슈팅(오류 조치)을 포함한 깊이 있는 실습 위주로 실시하여야 하며, 국문 매뉴얼(운영·정비 가이드)을 책자 및 전자파일 형태로 제출하여야 한다. 1-5. 품목: 웻 벤치용 초순수 생성 제어 실험장치 품목번호 1-5 품목 웻 벤치용 초순수 생성기 단위 대 수량 1 Ⅰ. 특징 1. 충북반도체고등학교 반도체 등 연구장비의 설치·운용을 위한 클린룸시스템을 구축하여, 반도체 장비에 필요한 초순수 생성 제어 실험장치를 공급하여 장비를 요구 조건에 따라 운용할 수 있는 환경을 조성한다. 2. 반드시 물품사양서 사양과 동등 또는 동등 이상의 제품으로 납품하여야 한다. Ⅱ. 상세 규격 1. 웻 벤치용 초순수 생성기 1) Resistivity : 15~18.2㏁/㎝ 2) DI productivity : 500LPH 3) Frame material - Main frame : Steel frame with anti-corrosive paint - Process bath area : Steel frame with anti-corrosive paint and natural PVC cover

4) Out-side panel - Material : Ivory FMPVC - Color: Ivory (Sink area - gray color) 5) Side door Out-side panel - Material : Ivory FMPVC & PVC 6) System control box - Material : Steel frame with anti-corrosive paint, Ivory PVC 7) Precision filtration filter - Housing : φ120*H500 (clear acryl) - Cartridge filter : 10 ㎛ , 5㎛,3 ㎛ & 1㎛ * L500mm 8) Activated carbon filtration filter - Housing : φ120*H500 (clear acryl) - Cartridge filter : Screen type 9) High pressure pump - Pump capacity : 0.8㎥/hr*1.1kw 10) Reverse osmosis systems - Membrane element : ESPA1 - 1set - Pressure vessel : 121D*1121mmH - 1set 11) Mixed-bed deionization system - Vessel : φ203*H1130 – 2set – Resin 220V, 60Hz, 1.2 Kw

12) UV sterilizer - Flow rate : 2㎥/hr - Lamp watts : 40W/h 13) Treatment filtration filter - Housing - Cartridge filter : 0.1㎛*L500mm - 2set 14) DI supply pump - Pump capacity : 3㎥/hr*40m*0.75kw/h - Material : Composite / NORYL 15) Module control - Conductivity monitor : 0.055~100uS/㎝ - Resistivity monitor : 0~18.2㏁.㎝ - Flow indicator : 20LPM - Pressure switch - Feed water control unit - Pressure gauge 16) Material : PVC 17) Capacity : 650liter 18) Level control unit Ⅲ. 기타 조건 1. 납기일: 계약 후 150일 이내 2. 납품장소: 수요처 지정장소에 설치 - 장비 설치는 전문 엔지니어가 설치하여야 하며, 설치 후 시운전 동작에서 아무 이상이 없을 때 완료된 것으로 한다. 3. 교육: 전문 엔지니어가 수요처가 지정하는 일정에 따라 별도의 비용 없이 교육을 제공

4. 부속품: 장비 유지보수 매뉴얼 책자 1부와 PDF 파일을 제공 5 하자보증기간: 장비 설치 후 검수 완료일로부터 2년 6. 납품 기준: 본 규격서에 제시한 성능 및 규격과 동등하거나 동등 이상의 제품이어야 한다. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호 협의로 결정한다.) 7. 품질관리 세부 사항 가. 설비 유지보수 지원 1) 장비 고장 접수 후 48시간 이내에 전문 엔지니어가 현장에 도착하여 조치에 착수하여야 한다. 2) 최종 수리 및 정상화 조치는 현장 방문 후 최대 7일 이내에 완료하여야 한다. 3) 신속한 대응을 위해 원격 기술 지원을 제공하여야 하며, 장비별 전문 엔지니어의 비상 연락처를 제출하여야 한다. 나. 설비 보증 1) 설비 계약 시 계약 이행 보증 증권을 발행하여야 함. 2) 설비 납품 시 하자 보증 증권을 발행하여야 함. 8. 장비 운용 교육 및 기술 전수 가. 장비 인도 시 정상 구동을 위한 표준 공정 레시피(Recipe)를 기본 탑재하여 납품하여야 한다. 나. 사용자 교육은 제안요청서의 총 교육 시간 내에서 진행하되, 반드시 장비별 신규 레시피 작성, 예방 정비(PM), 트러블슈팅(오류 조치)을 포함한 깊이 있는 실습 위주로 실시하여야 하며, 국문 매뉴(운영·정비 가이드)을 책자 및 전자파일 형태로 제출하여야 한다. 1-6. 품목: 마스크 얼라이너 품목번호 1-6 품목 마스크 얼라이너 단위 대 수량 2 Ⅰ. 특징

1. 마스크 얼라이너는 포토리소그래피 공정에서 마스크와 웨이퍼를 정밀하게 정렬한 뒤 자외선을 이용해 회로 패턴을 전사하는 장비이다. 2. 광원 종류: UV LED 3. 파장대: 365nm (I-line 전용) 4. 전원 공급 장치 포함 (UV LED Power Supply) 5. UV LED 냉각 시스템 탑재 (LED Cooling System) 6. 매뉴얼 및 공압 제어 방식(Manual & Pneumatic Control) 7. 듀얼 CCD 줌 마이크로스코프(Dual CCD Zoom Microscope) 장착 8. X, Y, Z, Theta 방향 이동이 가능한 정밀 스테이지 탑재 (Precision Stage with X, Y, Z, Theta Control) 9. 레벨링 오차 보완 기능 탑재 (Wedge Error Compensation) 10. 공정 샘플 크기: 조각 시편부터 최대 4인치 웨이퍼까지 11. 마스크 홀더 크기: 조각 패턴용(multi) 마스크 홀더에서 최대 5인치 마스크 고정 가능 12. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. Ⅱ. 장비 구성 1. 노광 모듈 2. 현미경 모듈 3. 스테이지 모듈 4. 해상도 5. 액세서리 Ⅲ. 상세 규격 1. 노광 모듈 - 광원의 종류: UV LED - 파장대: 365nm 단일 파장 - 365nm 파장대 강도: > max 25 mW/cm2 - 최대 빔 크기: 125mm - 빔 노광 균일도: ≤±3% (4인치 기준)

2. 현미경 모듈 - 현미경 종류: 듀얼 CCD 줌 마이크로 스코프 - 샘플 로딩부 축 이동: Dual X, Y, Z axis - 마스크 및 광원부 여유공간: 60 ~ 100mm - 축의 움직임 범위: Y Axis ± 15 mm - 현미경 배율: 85x ~540x - 마스크 및 마이크로 스코프 범위: 86 mm / 32 mm (2X Lens 장착 시) 3. 스테이지 모듈 - 노광 타이머: 0.1 sec to 999.9 Hour - 스테이지 이동 방향 및 범위: X,Y,Z and Theta X, Y: ±5 mm / Theta: About ±4°/ Z Motion travel: 10 mm - 컨택 모드: Vacuum, Hard, Soft Contact, Vacuum Hard contact (Force controllable) - 정렬 오차: <±1.0 micron - 진공 / 공압 제어 항목: 샘플 및 마스크 고정, 컨택 4. 해상도 - 진공 컨택: 1um <Thin PR (Thickness 1um) @Full size Si Wafer / line & space 기준 - 하드 컨택: 2um - 소프트 컨택: 3um - 20um 근접 모드: 5um 5. 액세서리 - 오일리스 진공 펌프 1대, 진공 척 1개, 마스크 홀더 1개, 전원공급장치 1세트, SUS 테이블 1개 Ⅳ. 기타 조건 1. 납기일: 계약 후 150일 이내 2. 납품장소: 수요처 지정장소에 설치 - 장비 설치는 전문 엔지니어가 설치하여야 하며, 설치 후 시운전 동작에서 아무 이상이 없을 때 완료된 것으로 한다.

3. 교육: 전문 엔지니어가 수요처가 지정하는 일정에 따라 별도의 비용 없이 교육을 제공 4. 부속품: 장비 유지보수 매뉴얼 책자 1부와 PDF 파일을 제공 5 하자보증기간: 장비 설치 후 검수 완료일로부터 2년 6. 납품 기준: 본 규격서에 제시한 성능 및 규격과 동등하거나 동등 이상의 제품이어야 한다. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호 협의로 결정한다.) 7. 품질관리 세부 사항 가. 설비 유지보수 지원 1) 장비 고장 접수 후 48시간 이내에 전문 엔지니어가 현장에 도착하여 조치에 착수하여야 한다. 2) 최종 수리 및 정상화 조치는 현장 방문 후 최대 7일 이내에 완료하여야 한다. 3) 신속한 대응을 위해 원격 기술 지원을 제공하여야 하며, 장비별 전문 엔지니어의 비상 연락처를 제출하여야 한다. 나. 설비 보증 1) 설비 계약 시 계약 이행 보증 증권을 발행하여야 함. 2) 설비 납품 시 하자 보증 증권을 발행하여야 함. 8. 장비 운용 교육 및 기술 전수 가. 장비 인도 시 정상 구동을 위한 표준 공정 레시피(Recipe)를 기본 탑재하여 납품하여야 한다. 나. 사용자 교육은 제안요청서의 총 교육 시간 내에서 진행하되, 반드시 장비별 신규 레시피 작성, 예방 정비(PM), 트러블슈팅(오류 조치)을 포함한 깊이 있는 실습 위주로 실시하여야 하며, 국문 매뉴얼(운영·정비 가이드)을 책자 및 전자파일 형태로 제출하여야 한다. 1-7. 품목: 스핀 코터와 핫플레이트가 포함된 흄후드 품목번호 1-7 품목 스핀 코터와 핫플레이트가 포함된 흄후드 단위 대 수량 2 Ⅰ. 특징

1. 스핀코터와 핫플레이트가 포함된 흄후드로 코팅 및 베이크 공정을 한 공간에서 수행가능 한 장비이다. 2. 흄후드를 통해 화학 증기 및 증발 가스를 외부로 효과적으로 배출해야 한다. 3. 스핀코터는 균일한 박막 형성을 위한 회전 속도 및 시간 정밀 제어가 가능해야 한다. 4. 핫플레이트는 온도 균일도와 정밀 제어가 가능해야 한다. 5. 컴팩트한 설계로 실험 환경에서 안전성과 작업 효율성을 동시에 확보하도록 설계되어야 한다. 6. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. Ⅱ. 장비 구성 1. 흄후드 유닛 2. 스핀코터 유닛 3. 핫플레이트 유닛 Ⅲ. 상세 규격 1. 흄후드 유닛 • 흄후드 - 프레임 사이즈: 1500mm × 750mm × 1500mm 이내 - 새시(Sash) 사이즈: 1250mm × 850mm - 외장 재질: 에폭시 분체 도장 강철 (Epoxy powder coated steel) - 내장 재질: 페놀릭 라미네이트 (Phenolic laminate) - 작업 구역 재질: 페놀릭 라미네이트 (두께 25mm 이내) - 새시(Sash) 재질: 5.0T 강화유리 및 안전필름 - 에어 포일 재질: 에폭시 분체 도장 강철 - 요구 배기량(풍속 0.3 m/s 기준): 2425 m3/h - 조명: 38W LED 램프 적용 - 밸브 & 노즐: Water 1개, N2 1개 - 컨트롤 패널: 2단 스위치 (Fan & Light)

2. 스핀코터 유닛 • 스핀코터 - 제어 종류: 터치 패널(Touch Panel) - 척(Chuck) 회전 속도: 300~7,000rpm ±3% - 코팅 시스템: 50steps, 50 Recipes (Save & load) - 스핀 시간 설정: 0.1~99.9sec (Programmable) - 보울(Bowl) 크기: 8inch 이내 - 기판 사이즈: 조각 시편부터 4인치 wafer까지 사용 가능 - 진공 척: 알루미늄 재질 아노다이징 코팅 1ea 포함 - BLDC servo 모터/ SUS 본체 - Oil-less Vacuum Pump 포함(1ea) - 가속도 시간 분배 가능: 0.1초 단위 - 장비 크기: 230mm × 340mm × 265mm 이내 - 장비 무게: 15kg 이내 - 장비 전원 사양: 220V, 5A, Single Phase 3. 핫플레이트 유닛 • 핫플레이트 - 플레이트 재질: 알루미늄(세라믹 코팅 가공) - 온도 설정: 디지털 입력식 - 온도 설정범위 실온+10도~350도 - 온도 분포 폭: 4도 - 온도 제어 방식: PID 제어 방식 - 내부 온도 센서: 열전대(K-타입) - 히터 용량: 890W Ⅳ. 기타 조건 1. 납기일: 계약 후 150일 이내 2. 납품장소: 수요처 지정장소에 설치 - 장비 설치는 전문 엔지니어가 설치하여야 하며, 설치 후 시운전 동작에서 아무 이상이 없을 때 완료된 것으로 한다.

3. 교육: 전문 엔지니어가 수요처가 지정하는 일정에 따라 별도의 비용 없이 교육을 제공 4. 부속품: 장비 유지보수 매뉴얼 책자 1부와 PDF 파일을 제공 5 하자보증기간: 장비 설치 후 검수 완료일로부터 2년 6. 납품 기준: 본 규격서에 제시한 성능 및 규격과 동등하거나 동등 이상의 제품이어야 한다. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호 협의로 결정한다.) 7. 품질관리 세부 사항 가. 설비 유지보수 지원 1) 장비 고장 접수 후 48시간 이내에 전문 엔지니어가 현장에 도착하여 조치에 착수하여야 한다. 2) 최종 수리 및 정상화 조치는 현장 방문 후 최대 7일 이내에 완료하여야 한다. 3) 신속한 대응을 위해 원격 기술 지원을 제공하여야 하며, 장비별 전문 엔지니어의 비상 연락처를 제출하여야 한다. 나. 설비 보증 1) 설비 계약 시 계약 이행 보증 증권을 발행하여야 함. 2) 설비 납품 시 하자 보증 증권을 발행하여야 함. 8. 장비 운용 교육 및 기술 전수 가. 장비 인도 시 정상 구동을 위한 표준 공정 레시피(Recipe)를 기본 탑재하여 납품하여야 한다. 나. 사용자 교육은 제안요청서의 총 교육 시간 내에서 진행하되, 반드시 장비별 신규 레시피 작성, 예방 정비(PM), 트러블슈팅(오류 조치)을 포함한 깊이 있는 실습 위주로 실시하여야 하며, 국문 매뉴얼(운영·정비 가이드)을 책자 및 전자파일 형태로 제출하여야 한다. 1-8. 품목: 웨이퍼 이중 스핀 세정 건조기 품목번호 1-8 품목 웨이퍼 이중 스핀 세정 건조기 단위 대 수량 1 Ⅰ. 특징

1. 본장비는 웨이퍼를 최대 3,000rpm 속도로 회전시키며 세정 후 건조까지 수행하는 장비이다. 2. 이중 스핀 구조를 통해 세정 및 건조 공정의 효율성과 처리 균일성을 향상시키도록 설계되어여 한다. 3. DI Water 린스와 고속 스핀 건조로 파티클 및 워터마크를 최소화하는 장비이다. 4. 회전 속도, 시간 등의 조건을 제어할 수 있도록 스크린 제어가 가능해야 한다. 5. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. Ⅱ. 장비 구성 1. 메인 바디 유닛 2. 파이프 펌핑 유닛 3. 스핀 유닛 4. 시스템 제어 유닛 5. 보조 유닛 Ⅲ. 상세 규격 1. 메인 바디 유닛 • 메인 프레임 패널 - 재질: 내부식 도장 처리된 강철 프레임 구조 - 공정 배스(Bath) 영역: 내부식 도장 처리된 스틸 프레임 & FM PVC 커버 • 외부 패널 - 재질: FM PVC 플레이트 - 색상: 흰색 계열 • 유지보수용 개폐 도어 - 재질: 표준 FM PVC 패널 - 도어: 슬라이딩 개폐 방식, 플라스틱 롤러 캐치 방식이 적용된 탈착식 구조 • 누액 방지 드립 패널 - 재질: 표준 FM PVC 플레이트 - 인터록(Interlock): 누출 센서 • 싱크 플레넘(Sink Plenum) - 재질: 표준 FM PVC 플레이트 2. 파이프 펌핑 유닛 • DIW - 주요 배관 재질: C-PVC - 서브 배관 재질: PFA 튜브 • 배수 - 주요 배관 재질: PVC 파이프 • DI 회수 라인 - 주요 배관 재질: C-PVC 파이프 • 배기구 - 재질: 표준 PVC 파이프

3. 스핀 유닛 • 공정 챔버 - 재질: P.P - 약품 비산 방지용 보호 커버 포함 - 챔버 개폐 방식: 상단 안전 도어 개폐 - 포트: 배수구 및 배기구 - 인터록(Interlock): 도어 안전 인터락 포함 - DIW 스프레이 - N2 공급 • 기판 홀더 - 재질: PVDF - 기판 크기: 최대 4인치 웨이퍼 - 웨이퍼 고정 방식: 클램핑 타입 - 회전 속도: 최대 3,000 rpm 4. 시스템 제어 유닛 • 시스템 제어 - 제어 방식: 터치 LCD 스크린 제어 5. 보조 유닛 • 배기장치 - 댐퍼: 0~90도 각도로 조절 가능 - 게이지: 패널 장착형 • DI / N2 건 • 전면 도어 - 개폐 방식: 작업자 수동 개폐 구조 - 재질: 표준 FM PVC 플레이트 Ⅳ. 기타 조건 1. 납기일: 계약 후 150일 이내 2. 납품장소: 수요처 지정장소에 설치 - 장비 설치는 전문 엔지니어가 설치하여야 하며, 설치 후 시운전 동작에서 아무 이상이 없을 때 완료된 것으로 한다. 3. 교육: 전문 엔지니어가 수요처가 지정하는 일정에 따라 별도의 비용 없이 교육을 제공 4. 부속품: 장비 유지보수 매뉴얼 책자 1부와 PDF 파일을 제공 5 하자보증기간: 장비 설치 후 검수 완료일로부터 2년 6. 납품 기준: 본 규격서에 제시한 성능 및 규격과 동등하거나 동등 이상의 제품이어야 한다. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호 협의로 결정한다.)

7. 품질관리 세부 사항 가. 설비 유지보수 지원 1) 장비 고장 접수 후 48시간 이내에 전문 엔지니어가 현장에 도착하여 조치에 착수하여야 한다. 2) 최종 수리 및 정상화 조치는 현장 방문 후 최대 7일 이내에 완료하여야 한다. 3) 신속한 대응을 위해 원격 기술 지원을 제공하여야 하며, 장비별 전문 엔지니어의 비상 연락처를 제출하여야 한다. 나. 설비 보증 1) 설비 계약 시 계약 이행 보증 증권을 발행하여야 함. 2) 설비 납품 시 하자 보증 증권을 발행하여야 함. 8. 장비 운용 교육 및 기술 전수 가. 장비 인도 시 정상 구동을 위한 표준 공정 레시피(Recipe)를 기본 탑재하여 납품하여야 한다. 나. 사용자 교육은 제안요청서의 총 교육 시간 내에서 진행하되, 반드시 장비별 신규 레시피 작성, 예방 정비(PM), 트러블슈팅(오류 조치)을 포함한 깊이 있는 실습 위주로 실시하여야 하며, 국문 매뉴얼(운영·정비 가이드)을 책자 및 전자파일 형태로 제출하여야 한다. 4) 계약사의 유지보수 담당부서 외 장비별 전문가의 연락처를 제공하여야 함. 나. 설비 보증 1) 설비 계약 시 계약 이행 보증 증권을 발행하여야 함. 2) 설비 납품 시 하자 보증 증권을 발행하여야 함. 1-9. 품목: 습식, 건식 산화 및 확산 퍼니스 장비 품목번호 1-9 품목 습식, 건식 산화 및 확산 퍼니스 장비 단위 대 수량 1 Ⅰ. 특징

1. 본 장치는 질소, 산소 분위기에서 최대 1,200℃ (히터 표면)를 올려 4인치 웨이퍼 (산화용 최대 25장) 표면을 습식 & 건식을 하는 열처리로 장비이다. 2. 가열부를 지정 시간내에 요구하는 온도에 도달하고, 온도 조절이 자유롭고 열손실이 극히 적으며, 온도편차를 최소화한 설비이다. 3. 공정 챔버에는 공정 시 내부 온도를 측정하기 위한 T/C가 설치 되어야 한다. 4. 이송/반송 모듈에서 웨이퍼 이송/반송을 위한 모듈은 모터 및 에어 실린더를 이용하여 PC로 제어가 가능해야 한다. 5. 장비구동에 반드시 필요한 공압과 냉각수에 대한 인터락(Safety interlock)이 구성되어 있어야 한다. 6. 장비는 PC를 이용하여 자동 제어되고, 시스템의 안전한 운용을 위해 safety interlock이 구현되어어야 한다. 7. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. Ⅱ. 장비 구성 1. 공정 챔버 모듈 2. 가스 공급 모듈 3. 소스 공급 모듈 4. 제어 모듈 5. 프레임 모듈 Ⅲ. 상세 규격 1. 공정 챔버 모듈 • 히터 - 수량: 2세트 - 히터 표면 온도: 최대 1,200도 - 온도 제어 구역: 1-존(Zone) - 히터 발열체: Kanthal AMR 저항선 내장형 히터 - 히터 단열재 & 지지대 재료: 초고순도 알루미나(Al2O3) 세라믹 - 온도 측정을 위한 Spike 열전대(Thermocouple)와 Profile 열전대 포함 - 컬러 및 디스크에 필요한 카운터 보어 블록(구멍이 가공된 블록)을 표준 구성품으로 제공 - 히터 전원 시스템: 2차 제어 방식의 제로 크로스오버 점화 SCR 전력 제어기 - 안전 알람: 과온, SCR 과열, 챔버 과열에 대한 알람 시스템 제공 • 공정 튜브 - 수량: 2세트 튜브 #1: 습식/건식 산화용 튜브 #2: 확산용 - 튜브 형태 & 재질: 볼 조인트(Ball-joint) 형태의 석영(Quartz) 튜브 • 시료 적재 유닛 - 이송 방식: 캔틸레버형 타입의 자동 로더 - 시료 로딩/언로딩 방식: 모터 - 시료 적재 홀더: 4인치 웨이퍼 25장 적재 가능한 석영 보트(산화용)

2. 가스 공급 모듈 • 사용가스 & 유량 제어 - 수량: 2세트 - 공정 가스 제어 방식: O2, N2 질량유량계(Mass Flow Controller, MFC) 각 1개 동등 또는 이상 • 가스 밸브 & 가스 라인 - 가스 밸브: 공압식 다이어프램 밸브 - 가스 라인: 미세 연마 처리된 316L 스테인리스 스틸 재질의 튜브 3. 소스 공급 모듈 • 산화용 스티머 - 수량: 1세트 - 용량: 3,000cc 4. 제어 모듈 • 시스템 제어 - 시스템 제어 방식: PC(MS 윈도우 기반, 산업용 PC, 장비 프레임 부착형)+PLC - 자동 운전 (필요시 작업자 수동 제어 가능) - 아날로그 및 디지털 입/출력 카드 포함 - 공정 제어 소프트웨어: 전용 공정 제어 SW(장비 운용을 위한 영구 사용 권한 제공 또는 동등 이상 제품) GUI: 그래픽 사용자 인터페이스(사람이 컴퓨터나 프로그램을 사용할 때, 그림(아이콘), 버튼, 창 등 시각적 요소를 통해 조작할 수 있게 해주는 화면 구성 방식) 프로세스 데이터로깅 레시피 편집, 저장, 다운로드, Run • 전기 접촉 메커니즘이 포함된 메인 프레임 - 전원 구동 패널(온/오프, 비상스위치 버튼) - 온도 조절 패널 - 가스 흐름 제어/디스플레이 패널 5. 프레임 모듈 - 단일 프레임 내 상하로 배치된 2개의 석영 튜브형 구조 - 시스템 프레임 재질: 연강(Mild steel) - 19인치 사이즈 제어 판넬 장착 가능 - 장비의 이동이 쉬운 캐스터 & 레벨링 풋 부착 <공정 조건>

가. Temp. control accurarcy : 1,000℃± 1℃ 나. Dry oxidation - ≤±5%@200Å, 4인치 5장 wafer내 (WIW, WTW, RTR) 다. Wet oxidation - ≤±5%@3,000Å, 4인치 5장 wafer내 (WIW, WTW, RTR) 라. 구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출) 마. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함. Ⅳ. 기타 조건 1. 납기일: 계약 후 150일 이내 2. 납품장소: 수요처 지정장소에 설치 - 장비 설치는 전문 엔지니어가 설치하여야 하며, 설치 후 시운전 동작에서 아무 이상이 없을 때 완료된 것으로 한다. 3. 교육: 전문 엔지니어가 수요처가 지정하는 일정에 따라 별도의 비용 없이 교육을 제공 4. 부속품: 장비 유지보수 매뉴얼 책자 1부와 PDF 파일을 제공 5 하자보증기간: 장비 설치 후 검수 완료일로부터 2년 6. 납품 기준: 본 규격서에 제시한 성능 및 규격과 동등하거나 동등 이상의 제품이어야 한다. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호 협의로 결정한다.)

7. 품질관리 세부 사항 가. 설비 유지보수 지원 1) 장비 고장 접수 후 48시간 이내에 전문 엔지니어가 현장에 도착하여 조치에 착수하여야 한다. 2) 최종 수리 및 정상화 조치는 현장 방문 후 최대 7일 이내에 완료하여야 한다. 3) 신속한 대응을 위해 원격 기술 지원을 제공하여야 하며, 장비별 전문 엔지니어의 비상 연락처를 제출하여야 한다. 나. 설비 보증 1) 설비 계약 시 계약 이행 보증 증권을 발행하여야 함. 2) 설비 납품 시 하자 보증 증권을 발행하여야 함. 8. 장비 운용 교육 및 기술 전수 가. 장비 인도 시 정상 구동을 위한 표준 공정 레시피(Recipe)를 기본 탑재하여 납품하여야 한다. 나. 사용자 교육은 제안요청서의 총 교육 시간 내에서 진행하되, 반드시 장비별 신규 레시피 작성, 예방 정비(PM), 트러블슈팅(오류 조치)을 포함한 깊이 있는 실습 위주로 실시하여야 하며, 국문 매뉴얼(운영·정비 가이드)을 책자 및 전자파일 형태로 제출하여야 한다. 1-10. 품목: 반응성 이온 식각 장비 품목번호 1-10 품목 반응성 이온 식각 장비 단위 대 수량 1 Ⅰ. 특징 1. 본 시스템은 아르곤, 산소, 불소계열의 가스를 이용한 플라즈마 영역에서 실리콘, 산화막 기판의 정밀패턴을 식각하는 장비이다. 2. 나노공정에서 사용되는 장비로, RF 주파수의 전자기장을 걸어서 화학적으로 반응성이 높은 플라즈마를 발생시켜서 시료를 선택적으로 건식 식각 가능한 장비이다.

3. CF4 가스를 포함한 다양한 가스(CF4, O2, Ar)를 활용하여 건식 에칭이 가능하며, 해당 장비를 통하여 최종 기능성 막질로 구성된 미세 패턴 구현 되어야 한다. 4. 장비구동에 반드시 필요한 공압과 냉각수에 대한 인터락(Safety interlock)이 구성되어 있어야 한다. 5. 장비는 PC를 이용하여 자동 제어되고, 시스템의 안전한 운용을 위해 safety interlock이 구현되어어야 한다. 6. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. Ⅱ. 장비 구성 1. 공정 챔버 모듈 2. 전원 공급 모듈 3. 진공 모듈 4. 가스 공급 모듈 5. 제어 모듈 6. 프레임 모듈 Ⅲ. 상세 규격 1. 공정 챔버 모듈 • 공정 챔버 - 챔버 상단 플레이트 재질: 양극 산화 처리 된 알루미늄 챔버(Anodized aluminum chamber) - 상단 개폐 방식: 에어 실린더 - 챔버 퍼지(Purge) & 벤트(Vent) - 챔버 내부를 확인 할 수 있는 뷰포트 • 샤워헤드 유닛 - 샤워헤드 재질: 알루미늄 - 이중 패턴으로 된 샤워헤드를 통한 가스 주입 • 척 유닛 - 기판 크기: 최대 4인치 - 가장자리 보정용 석영 재질의 포커스 링 포함 - 전기 절연, 오염 방지를 위한 세라믹 소재의 절연체 포함 - 척은 RF 노이즈로부터 완벽하게 차단되도록 제작 되어야 함

2. 전원 공급 모듈 • RF 생성기 - 주파수: 13.56MHz - 출력 전력: 50Ω조건에서 600W - 냉각 방식: 강제 공랭식 - RF 전력 측정 방식: 디지털 RF 전력계 - DC 바이어스 전압 표시: DC 셀프 바이어스 판독 표시기 • RF 매칭 유닛 - 작동 방식: 자동 - 주파수: 13.56MHz - 냉각 방식: 강제 공랭식 3. 진공 모듈 • 진공 펌프 - 폼블린 오일 타입의 로터리 펌프: 700L/min급 동등 또는 이상 - 도달 압력: 5E-3 torr 이하 • 압력계 - 저진공용 게이지: 컨벤트론 게이지(Convectron Gauge) & 컨트롤러 • 압력 제어 - 자동 압력 컨트롤러(Auto Pressure Controller, APC) - 전기식 스로틀 밸브(Electrical Throttle Valve) - 바라트론 게이지(Baratron Gauge) • 진공 밸브 & 진공 라인 - 진공 밸브: 공압식 앵글 밸브 - 진공 라인: 하드 라인(재질: 스테인리스 스틸)과 벨로우즈 라인으로 구성 4. 가스 공급 모듈 • 사용가스 & 유량 제어 - 공정 가스 제어 방식: CF4, O2, Ar 질량유량계(Mass Flow Controller, MFC) 각 1개 동등 또는 이상 - 퍼지(Purge) & 벤트(Vent) 용: N2 미터링 밸브 - 4채널 이상의 MFC 컨트롤러 • 가스 밸브 & 가스 라인 - 가스 밸브: 공압식 다이어프램 밸브 - 가스 라인: 미세 연마 처리된 316L 스테인리스 스틸 재질의 튜브

5. 제어 모듈 • 시스템 제어 - 시스템 제어 방식: PC(MS 윈도우 기반, 산업용 PC)+PLC - PC 모니터는 32인치 이상의 스탠드형 타입 - 자동 운전 (필요시 작업자 수동 제어 가능) - 아날로그 및 디지털 입/출력 카드 포함 - 공정 제어 소프트웨어: 전용 공정 제어 SW(장비 운용을 위한 영구 사용 권한 제공 또는 동등 이상 제품) GUI: 그래픽 사용자 인터페이스(사람이 컴퓨터나 프로그램을 사용할 때, 그림(아이콘), 버튼, 창 등 시각적 요소를 통해 조작할 수 있게 해주는 화면 구성 방식)프로세스 데이터로깅 레시피 편집, 저장, 다운로드, Run • 전기 접촉 메커니즘이 포함된 메인 프레임 - 전원 구동 패널(온/오프, 비상스위치 버튼) - MFC 제어 패널 - RF 전원 제어 패널 - 압력 조절 패널 6. 프레임 모듈 - 장비의 이동이 쉬운 캐스터 & 레벨링 풋 부착 <공정 조건> 가. Ultimate pressure: ≤5×10-3 Torr 나. Chamber Leak rate: ≤1×10-9 L.Torr/sec 다. SiO2 Etching Process ① Etch rate: 20~100nm/min ② Etch Uniformity: ≤±5% within 4 inch wafer, 5-point (edge 5mm exclusion) 라. 구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출)

마. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함. Ⅳ. 기타 조건 1. 납기일: 계약 후 150일 이내 2. 납품장소: 수요처 지정장소에 설치 - 장비 설치는 전문 엔지니어가 설치하여야 하며, 설치 후 시운전 동작에서 아무 이상이 없을 때 완료된 것으로 한다. 3. 교육: 전문 엔지니어가 수요처가 지정하는 일정에 따라 별도의 비용 없이 교육을 제공 4. 부속품: 장비 유지보수 매뉴얼 책자 1부와 PDF 파일을 제공 5 하자보증기간: 장비 설치 후 검수 완료일로부터 2년 6. 납품 기준: 본 규격서에 제시한 성능 및 규격과 동등하거나 동등 이상의 제품이어야 한다. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호 협의로 결정한다.) 7. 품질관리 세부 사항 가. 설비 유지보수 지원 1) 장비 고장 접수 후 48시간 이내에 전문 엔지니어가 현장에 도착하여 조치에 착수하여야 한다. 2) 최종 수리 및 정상화 조치는 현장 방문 후 최대 7일 이내에 완료하여야 한다. 3) 신속한 대응을 위해 원격 기술 지원을 제공하여야 하며, 장비별 전문 엔지니어의 비상 연락처를 제출하여야 한다.

나. 설비 보증 1) 설비 계약 시 계약 이행 보증 증권을 발행하여야 함. 2) 설비 납품 시 하자 보증 증권을 발행하여야 함. 8. 장비 운용 교육 및 기술 전수 가. 장비 인도 시 정상 구동을 위한 표준 공정 레시피(Recipe)를 기본 탑재하여 납품하여야 한다. 나. 사용자 교육은 제안요청서의 총 교육 시간 내에서 진행하되, 반드시 장비별 신규 레시피 작성, 예방 정비(PM), 트러블슈팅(오류 조치)을 포함한 깊이 있는 실습 위주로 실시하여야 하며, 국문 매뉴얼(운영·정비 가이드)을 책자 및 전자파일 형태로 제출하여야 한다. 1-11. 품목: ICP 소스가 장착된 반응성 이온 식각 장비 품목번호 1-11 품목 유도가열식 건식 식각 제어 실험장치 단위 대 수량 1 Ⅰ. 특징 1. 본 장비는 유도 결합 플라즈마(Inductively Coupled Plasma)와 반응성 이온 에칭(Reactive Ion Etching)을 결합한 방식으로 고주파(RF) 에너지를 사용하여 플라즈마를 생성하는 장비이며, 생성된 플라즈마는 표면을 균일하고 정확하게 에칭할 수 있도록 한다. 2. 본 장비는 고도의 가공 공정으로 수십 nm ~ 수 μm 크기의 영역에서 정밀한 패턴 형성을 수행하여 소자 제작을 위한 공정 및 연구 용도로 활용할 수 있다. 3. 본 장비는 높은 에너지의 이온(Ion)을 사용하여 식각함으로 세밀한 제어가 가능하여, 미세한 패턴이나 구조를 정확하게 이해할 수 있으며, 반도체 제조와 나노기술 분야에서 가장 중요한 공정 중 하나인 장비이다.

4. 본 장비는 ICP 소스용으로 1kW, 바이어스(Bais)용으로 600W의 RF가 공급되어야 하며, 공정 챔버의 척 장치는 RF 노이즈를 완벽하게 차폐된 시스템으로 구성되어야 한다. 5. 장비구동에 반드시 필요한 공압과 냉각수에 대한 인터락(Safety interlock)이 구성되어 있어야 한다. 6. 장비는 PC를 이용하여 자동 제어되고, 시스템의 안전한 운용을 위해 safety interlock이 구현되어어야 한다. 7. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. Ⅱ. 장비 구성 1. 공정 챔버 모듈 2. 전원 공급 모듈 3. 진공 모듈 4. 가스 공급 모듈 5. 제어 모듈 6. 프레임 모듈 Ⅲ. 상세 규격 1. 공정 챔버 모듈 • 공정 챔버 - 챔버 상단 플레이트 재질: 양극 산화 처리 된 알루미늄 챔버(Anodized aluminum chamber) - 챔버 상단 개폐 방식: 에어 실린더 - 챔버 퍼지(Purge) & 벤트(Vent) - 챔버 내부를 확인 할 수 있는 뷰포트 • 샤워헤드 유닛 - 샤워헤드 재질: 알루미늄 - 이중 패턴으로 된 샤워헤드를 통한 가스 주입 • 척 유닛 - 기판 크기: 최대 4인치 - 가장자리 보정용 석영 재질의 포커스 링 포함 - 전기 절연, 오염 방지를 위한 세라믹 소재의 절연체 포함 - 척은 RF 노이즈로부터 완벽하게 차단되도록 제작 되어야 함 • ICP 소스 - 4인치 웨이퍼 공정에 적합한 균일한 플라즈마 밀도 - ICP 캐비티(Cavity) 벽면: Al203

2. 전원 공급 모듈 • RF 생성기 – ICP 소스용 - 주파수: 13.56MHz - 출력 전력: 50Ω조건에서 1000W - 냉각 방식: 강제 공랭 • RF 매칭 유닛 – ICP 소스용 - 작동 방식: 자동 - 주파수: 13.56MHz - 냉각 방식: 강제 공랭 • RF 생성기 – 바이어스(Bias)용 - 주파수: 13.56MHz - 출력 전력: 50Ω조건에서 600W - 냉각 방식: 강제 공랭식 - RF 전력 측정 방식: 디지털 RF 전력계 - DC 바이어스 전압 표시: DC 셀프 바이어스 판독 표시기 • RF 매칭 유닛– 바이어스(Bias)용 - 작동 방식: 자동 - 주파수: 13.56MHz - 냉각 방식: 강제 공랭 3. 진공 모듈 • 진공 펌프 - 폼블린 오일 타입의 로터리 펌프: 700L/min급 동등 또는 이상 - 부스터 펌프: 6,000L/min급 동등 또는 이상 - 도달 압력: 5E-3 torr 이하 • 압력계 - 저진공용 게이지: 컨벤트론 게이지(Convectron Gauge) & 컨트롤러 • 압력 제어 - 자동 압력 컨트롤러(Auto Pressure Controller, APC) - 전기식 스로틀 밸브(Electrical Throttle Valve) - 바라트론 게이지(Baratron Gauge) • 진공 밸브 & 진공 라인 - 진공 밸브: 공압식 앵글 밸브 - 진공 라인: 하드 라인(재질: 스테인리스 스틸)과 벨로우즈 라인으로 구성

4. 가스 공급 모듈 • 사용가스 & 유량 제어 - 공정 가스 제어 방식: CF4, O2, Ar 질량유량계(Mass Flow Controller, MFC) 각 1개 동등 또는 이상 - 퍼지(Purge) & 벤트(Vent) 용: N2 미터링 밸브 - 4채널 이상의 MFC 컨트롤러 • 가스 밸브 & 가스 라인 - 가스 밸브: 공압식 다이어프램 밸브 - 가스 라인: 미세 연마 처리된 316L 스테인리스 스틸 재질의 튜브 5. 제어 모듈 • 시스템 제어 - 시스템 제어 방식: PC(MS 윈도우 기반, 산업용 PC)+PLC - PC 모니터는 32인치 이상의 스탠드형 타입 - 자동 운전 (필요시 작업자 수동 제어 가능) - 아날로그 및 디지털 입/출력 카드 포함 - 공정 제어 소프트웨어: 전용 공정 제어 SW(장비 운용을 위한 영구 사용 권한 제공 또는 동등 이상 제품) GUI: 그래픽 사용자 인터페이스(사람이 컴퓨터나 프로그램을 사용할 때, 그림(아이콘), 버튼, 창 등 시각적 요소를 통해 조작할 수 있게 해주는 화면 구성 방식) 프로세스 데이터로깅 레시피 편집, 저장, 다운로드, Run • 전기 접촉 메커니즘이 포함된 메인 프레임 - 전원 구동 패널(온/오프, 비상스위치 버튼) - MFC 제어 패널 - RF 전원 제어 패널 - 진공 & 압력 조절 패널 6. 프레임 모듈 - 장비의 이동이 쉬운 캐스터 & 레벨링 풋 부착 <공정 조건>

가. Etching Uniformity : ≤±5 %( @4 inch substrate) 나. SiO2 Etching Process ① Etch rate: 20~100nm/min ② Etch Uniformity: ≤±5% within 4 inch wafer, 5-point (edge 5mm exclusion) 다. 식각 Selectivity 성능 ① Low/No selectivity (SiO2 vs Si) : 1.4 이하 라. 구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출) 마. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함. Ⅳ. 기타 조건 1. 납기일: 계약 후 150일 이내 2. 납품장소: 수요처 지정장소에 설치 - 장비 설치는 전문 엔지니어가 설치하여야 하며, 설치 후 시운전 동작에서 아무 이상이 없을 때 완료된 것으로 한다. 3. 교육: 전문 엔지니어가 수요처가 지정하는 일정에 따라 별도의 비용 없이 교육을 제공 4. 부속품: 장비 유지보수 매뉴얼 책자 1부와 PDF 파일을 제공 5 하자보증기간: 장비 설치 후 검수 완료일로부터 2년

6. 납품 기준: 본 규격서에 제시한 성능 및 규격과 동등하거나 동등 이상의 제품이어야 한다. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호 협의로 결정한다.) 7. 품질관리 세부 사항 가. 설비 유지보수 지원 1) 장비 고장 접수 후 48시간 이내에 전문 엔지니어가 현장에 도착하여 조치에 착수하여야 한다. 2) 최종 수리 및 정상화 조치는 현장 방문 후 최대 7일 이내에 완료하여야 한다. 3) 신속한 대응을 위해 원격 기술 지원을 제공하여야 하며, 장비별 전문 엔지니어의 비상 연락처를 제출하여야 한다. 나. 설비 보증 1) 설비 계약 시 계약 이행 보증 증권을 발행하여야 함. 2) 설비 납품 시 하자 보증 증권을 발행하여야 함. 8. 장비 운용 교육 및 기술 전수 가. 장비 인도 시 정상 구동을 위한 표준 공정 레시피(Recipe)를 기본 탑재하여 납품하여야 한다. 나. 사용자 교육은 제안요청서의 총 교육 시간 내에서 진행하되, 반드시 장비별 신규 레시피 작성, 예방 정비(PM), 트러블슈팅(오류 조치)을 포함한 깊이 있는 실습 위주로 실시하여야 하며, 국문 매뉴얼(운영·정비 가이드)을 책자 및 전자파일 형태로 제출하여야 한다. 1-12. 품목: 플라즈마 애셔 장비 품목번호 1-12 품목 플라즈마 애셔 장비 단위 대 수량 1 Ⅰ. 특징 1. 본 장비는 공정 시 챔버 내부에 산소 또는 아르곤 기체를 주입하고, 플라즈마(plasma)를 형성시킨 후, 이온화 된 입자들이 웨이퍼 표면 위의 유기물질 및 포토레지스트 막과 반응하여 제거하거나 기판 표면을 세정하는 장비이다.

2. 장비구동에 반드시 필요한 공압과 냉각수에 대한 인터락(Safety interlock)이 구성되어 있어야 한다. 3. 장비는 PC를 이용하여 자동 제어되고, 시스템의 안전한 운용을 위해 safety interlock이 구현되어 있어야 한다. 4. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. Ⅱ. 장비 구성 1. 공정 챔버 모듈 2. 전원 공급 모듈 3. 진공 모듈 4. 가스 공급 모듈 5. 제어 모듈 6. 프레임 모듈 Ⅲ. 상세 규격 1. 공정 챔버 모듈 • 공정 챔버 - 챔버 재질: 전해 연마처리된 SUS(Electro-polished SUS) - 웨이퍼 로딩/언로딩 방식: 챔버 상단 플레이트 개폐 타입 - 챔버 상단 플레이트 개폐 방식: 파워 실린더 - 포트: 챔버 내부를 확인 할 수 있는 뷰 포트, 펌핑 포트, 가스 포스 • 샤워헤드 유닛 - 샤워헤드를 통해 균일한 공정 가스 주입 - 공정 품질을 균일하게 유지하기 위한 4인치 웨이퍼 공정에 적합한 균일한 가스 흐름 - 샤워헤드 재질: 알루미늄(Aluminum) - 아킹(Arcing) 차단을 위한 RF 아이솔레이터(재질: 세라믹) 포함 - 플라즈마 강화(PE) 공정에 최적화된 단일 구조 샤워헤드 설계 • 기판 척 - 기판 사이즈: 최대 4인치 웨이퍼 대응가능 - 용량: 웨이퍼 1장 2. 전원 공급 모듈 • RF 생성기 - 주파수: 13.56MHz - 출력 전력: 50Ω조건에서 600W • RF 매칭 유닛 - 작동 방식: 자동 - 주파수: 13.56MHz

3. 진공 모듈 • 진공 펌프 - 로터리 펌프: 1,000L/min급 동등 또는 이상 - 도달 압력: 5E-3 torr 이하 • 압력계 - 저진공용 게이지: 컨벤트론 게이지(Convectron Gauge) & 컨트롤러 - 대기압용: ATM 센서 • 진공 밸브 & 진공 라인 - 진공 밸브: 공압식 앵글 밸브 - 진공 라인: 하드 라인(재질: 스테인리스 스틸)과 벨로우즈 라인으로 구성 자동 벤트 라인(오일의 역류 방지) 적용 4. 가스 공급 모듈 • 사용가스 & 유량 제어 - 공정 가스 제어 방식: O2, N2 질량유량계(Mass Flow Controller, MFC) 각 1개 동등 또는 이상 - 퍼지(Purge) & 벤트(Vent) 용: N2 미터링 밸브 - 2채널 이상의 MFC 컨트롤러 • 가스 밸브 & 가스 라인 - 가스 밸브: 공압식 다이어프램 밸브 - 가스 라인: 미세 연마 처리된 316L 스테인리스 스틸 재질의 튜브 5. 제어 모듈 • 시스템 제어 - 시스템 제어 방식: PC(MS 윈도우 기반, 산업용 PC)+PLC - PC 모니터는 32인치 이상의 스탠드형 타입 - 자동 운전 (필요시 작업자 수동 제어 가능) - 아날로그 및 디지털 입/출력 카드 포함 - 공정 제어 소프트웨어: 전용 공정 제어 SW(장비 운용을 위한 영구 사용 권한 제공 또는 동등 이상 제품) GUI: 그래픽 사용자 인터페이스(사람이 컴퓨터나 프로그램을 사용할 때, 그림(아이콘), 버튼, 창 등 시각적 요소를 통해 조작할 수 있게 해주는 화면 구성 방식) 프로세스 데이터로깅 레시피 편집, 저장, 다운로드, Run • 전기 접촉 메커니즘이 포함된 메인 프레임 - 전원 구동 패널(온/오프, 비상스위치 버튼) - MFC 제어 패널 - RF 전원 제어 패널 - 압력 조절 패널

6. 프레임 모듈 - 장비의 이동이 쉬운 캐스터 & 레벨링 풋 부착 <공정 조건> 가. 식각균일성: ≤ ±3% (@4inch Wafer) 나. PR Ashing Rate: > 100~500Å/min 다. Ashing 두께 균일도 : PR - ≤±5%@1,500Å, 4인치 wafer 내 (PR 및 유기물 제거 (4인치 웨이퍼 edge 5mm 제외 기준) 라. 구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출) 마. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함. Ⅳ. 기타 조건 1. 납기일: 계약 후 150일 이내 2. 납품장소: 수요처 지정장소에 설치 - 장비 설치는 전문 엔지니어가 설치하여야 하며, 설치 후 시운전 동작에서 아무 이상이 없을 때 완료된 것으로 한다. 3. 교육: 전문 엔지니어가 수요처가 지정하는 일정에 따라 별도의 비용 없이 교육을 제공 4. 부속품: 장비 유지보수 매뉴얼 책자 1부와 PDF 파일을 제공 5 하자보증기간: 장비 설치 후 검수 완료일로부터 2년 6. 납품 기준: 본 규격서에 제시한 성능 및 규격과 동등하거나 동등 이상의 제품이어야 한다. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호 협의로 결정한다.)

7. 품질관리 세부 사항 가. 설비 유지보수 지원 1) 장비 고장 접수 후 48시간 이내에 전문 엔지니어가 현장에 도착하여 조치에 착수하여야 한다. 2) 최종 수리 및 정상화 조치는 현장 방문 후 최대 7일 이내에 완료하여야 한다. 3) 신속한 대응을 위해 원격 기술 지원을 제공하여야 하며, 장비별 전문 엔지니어의 비상 연락처를 제출하여야 한다. 나. 설비 보증 1) 설비 계약 시 계약 이행 보증 증권을 발행하여야 함. 2) 설비 납품 시 하자 보증 증권을 발행하여야 함. 8. 장비 운용 교육 및 기술 전수 가. 장비 인도 시 정상 구동을 위한 표준 공정 레시피(Recipe)를 기본 탑재하여 납품하여야 한다. 나. 사용자 교육은 제안요청서의 총 교육 시간 내에서 진행하되, 반드시 장비별 신규 레시피 작성, 예방 정비(PM), 트러블슈팅(오류 조치)을 포함한 깊이 있는 실습 위주로 실시하여야 하며, 국문 매뉴얼(운영·정비 가이드)을 책자 및 전자파일 형태로 제출하여야 한다. 1-13. 품목: 스퍼터 장비(Sputter System – 4＂Gun * 4ea) 품목번호 1-13 품목 스퍼터 장비(Sputter System 4＂Gun * 4ea) 단위 대 수량 1 Ⅰ. 특징 1. 본 장비는 RF 또는 (Pules) DC 증착을 이용하여 최대 3가지의 서로 다른 물질의 조성을 달리하여 고진공 조건에서 금속, 산화물, 투명 적극 박막을 증착하는 장비이다.

2. 본 장비는 4개의 스퍼터 건으로 제작되어 DC(1set), Pulse DC(1set)와 RF(1set)를 독립적으로 인가할 수 있어야 한다. 3. 4인치 기판에서 증착균일도(Uniformity)가 ±3% 이내가 되도록 장비를 구성해야 한다. 4. 증착 등으로 인한 오염을 방지하기 위하여 챔버 내부에는 크리닝커버가 존재해야 한다. 5. 기판 온도는 최대 400도를 충족하여야 한다. 6. 공정 챔버는 최저 진공도가 5×10-7 Torr 이하로 도달하여야 한다. 7. 장비구동에 반드시 필요한 공압과 냉각수에 대한 인터락(Safety interlock)이 구성되어 있어야 한다. 8. 장비는 PC를 이용하여 자동 제어되고, 시스템의 안전한 운용을 위해 safety interlock이 구현되어 있어야 한다. 9. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. Ⅱ. 장비 구성 1. 공정 챔버 모듈 2. 전원 공급 모듈 3. 진공 모듈 4. 가스 공급 모듈 5. 로드락 모듈 6. 제어 모듈 7. 프레임 모듈 Ⅲ. 상세 규격 1. 공정 챔버 모듈 • 공정 챔버 - 챔버 재질: 전해 연마처리된 SUS(Electro-polished SUS) - 챔버 형상: 스퍼터 건 4개를 지지할 수 있는 반구형 형태 - 증착등으로 인한 챔버 내부 오염 방지용 크리닝 커버 포함 - 웨이퍼 로딩/언로딩 방식: 챔버 상단 개폐 타입 - 챔버 상단 개폐 방식: 모터 - 챔버 퍼지(Purge) & 벤트(Vent) • 기판 히터 - 히터 종류: 저항 가열 방식 히터(Resistive heater type) - 기판 온도: 최대 400도 동등 또는 이상 - 기판 크기 & 용량: 최대 4인치 웨이퍼 & 1장 - 기판 승강(Up/down operated) 방식: 모터 - 기판 회전(Rotarion) 방식: 모터 • 스퍼터 건 - 건 사이즈 & 수량: 4인치 건 & 4개 동등 또는 이상 - 스퍼터 건 셔터 개폐 방식: 에어 실린더(Air cylinder) - 반드시 스퍼터 건의 자석과 냉각수 라인은 접촉되지 않도록 설계되어야 함 - 표면 자석 가우스: 중앙 자석의 겨우 4,500G 이상, 가장자리 자석의 경우 3,300G 이상 - 전극 절연 재질: peek - 백킹 플레이트 재질: 구리(Copper)

2. 전원 공급 모듈 • RF 생성기 & 매칭 유닛 - 수량: 1세트 동등 또는 이상 - 주파수: 13.56MHz - 출력 전력: 50Ω조건에서 600W - 냉각 방식: 강제 공랭식 - RF 전력 측정 방식: 디지털 RF 전력계 - 작동 방식: 자동 • 펄스 DC 전원 공급 장치 - 수량: 1세트 동등 또는 이상 - 출력 전력: 2kW - 모드 타입: Pulse-DC, Watt, C.V, C.C - 디지털 전압/암페어 미터 • DC 전원 공급 장치 - 수량: 1세트 동등 또는 이상 - 출력 전력: 2kW - 디지털 전압/암페어 미터 3. 진공 모듈 • 진공 펌프 - 로터리 펌프: 1,000L/min급 동등 또는 이상 - 터보분자펌프(TMP): 800L/sec(N2) 동등 또는 이상 - 도달 압력: 5E-7 torr 이하 • 압력계 - 고진공용 게이지: 열음극 이온 게이지 - 저진공용 게이지: 컨벤트론 게이지(Convectron Gauge) - 게이지용 컨트롤러 • 압력 제어 - 자동 압력 컨트롤러(Auto Pressure Controller, APC) - 전기식 스로틀 밸브(Electrical Throttle Valve) - 바라트론 게이지(Baratron Gauge) • 진공 밸브 & 진공 라인 - 진공 밸브: 메인 밸브용 공압식 게이트 밸브 러핑 라인과 포어 라인 밸브용 공압식 앵글 밸브 - 진공 라인: 하드 라인(재질: 스테인리스 스틸)과 벨로우즈 라인으로 구성

4. 가스 공급 모듈 • 사용가스 & 유량 제어 - 공정 가스 제어 방식: Ar, N2 질량유량계(Mass Flow Controller, MFC) 각 1개 동등 또는 이상 O2 질량유량계(Mass Flow Controller, MFC) 2개 동등 또는 이상 - 퍼지(Purge) & 벤트(Vent) 용: N2 미터링 밸브 - 4채널 이상의 MFC 컨트롤러 • 가스 밸브 & 가스 라인 - 가스 밸브: 공압식 다이어프램 밸브 - 가스 라인: 미세 연마 처리된 316L 스테인리스 스틸 재질의 튜브 5. 로드락 모듈 • 로드락 챔버 - 기판 트레이 용량: 웨이퍼 1장 - 이송 방식: 자동 이송 방식 - 챔버와 로드락 챔버 사이 사각형 타입의 게이트 밸브 설치 • 진공 장치 - 로터리 펌프: 600L/min 동등 또는 이상 - 도달 압력: 5E-3 torr 이하 • 압력 게이지 - 저진공용 게이지: 컨벤트론 게이지(Convectron Gauge) & 컨트롤러 • 로드락 진공 밸브 & 라인 - 진공 밸브: 공압식 앵글 밸브 - 진공 라인: 하드 라인(재질: 스테인리스 스틸)과 벨로우즈 라인으로 구성 자동 벤트 라인(오일의 역류 방지) 적용 6. 제어 모듈 • 시스템 제어 - 시스템 제어 방식: PC(MS 윈도우 기반, 산업용 PC)+PLC - PC 모니터는 32인치 이상의 스탠드형 타입 - 자동 운전 (필요시 작업자 수동 제어 가능) - 아날로그 및 디지털 입/출력 카드 포함 - 공정 제어 소프트웨어: 전용 공정 제어 SW(장비 운용을 위한 영구 사용 권한 제공 또는 동등 이상 제품) GUI: 그래픽 사용자 인터페이스(사람이 컴퓨터나 프로그램을 사용할 때, 그림(아이콘), 버튼, 창 등 시각적 요소를 통해 조작할 수 있게 해주는 화면 구성 방식) 프로세스 데이터로깅 레시피 편집, 저장, 다운로드, Run • 전기 접촉 메커니즘이 포함된 메인 프레임 - 전원 구동 패널(온/오프, 비상스위치 버튼) - MFC 제어 패널 - RF 전원 제어 패널 - DC 전원 제어 패널 - 펄스 DC 전원 제어 패널 - 온도 제어 패널 - 진공 & 압력 조절 패널

7. 프레임 모듈 - 장비의 이동이 쉬운 캐스터 & 레벨링 풋 부착 <공정 조건> 가. 진공도: 5×10-7 Torr 이하 나. Leak rate: 1×10-9 Torr·L/sec 이하 다. Substrate temperature uniformity: ±<2% (@ wafer 400도, 4인치 TC wafer, 5 point, Ar 30sccm, 5 mtorr, edge 5mm 제외, (max-min)/2 average×100 라. Ti 박막 두께 균일성 1) Thickness uniformity: ±3%이하, @4인치, 1,500Å (E/E : 5mm), (max-min)/2 average×100 마. Al 박막 두께 균일성 1) Thickness uniformity: ±3%이하, @4인치, 1,500Å (E/E : 5mm), (max-min)/2 average×100 마. IGZO 박막 두께 균일성 1) Thickness uniformity: ±3%이하, @4인치, 1,500Å (E/E : 5mm), (max-min)/2 average×100 바. 구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출) 사. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함. Ⅳ. 기타 조건

1. 납기일: 계약 후 150일 이내 2. 납품장소: 수요처 지정장소에 설치 - 장비 설치는 전문 엔지니어가 설치하여야 하며, 설치 후 시운전 동작에서 아무 이상이 없을 때 완료된 것으로 한다. 3. 교육: 전문 엔지니어가 수요처가 지정하는 일정에 따라 별도의 비용 없이 교육을 제공 4. 부속품: 장비 유지보수 매뉴얼 책자 1부와 PDF 파일을 제공 5 하자보증기간: 장비 설치 후 검수 완료일로부터 2년 6. 납품 기준: 본 규격서에 제시한 성능 및 규격과 동등하거나 동등 이상의 제품이어야 한다. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호 협의로 결정한다.) 7. 품질관리 세부 사항 가. 설비 유지보수 지원 1) 장비 고장 접수 후 48시간 이내에 전문 엔지니어가 현장에 도착하여 조치에 착수하여야 한다. 2) 최종 수리 및 정상화 조치는 현장 방문 후 최대 7일 이내에 완료하여야 한다. 3) 신속한 대응을 위해 원격 기술 지원을 제공하여야 하며, 장비별 전문 엔지니어의 비상 연락처를 제출하여야 한다. 나. 설비 보증 1) 설비 계약 시 계약 이행 보증 증권을 발행하여야 함. 2) 설비 납품 시 하자 보증 증권을 발행하여야 함. 8. 장비 운용 교육 및 기술 전수 가. 장비 인도 시 정상 구동을 위한 표준 공정 레시피(Recipe)를 기본 탑재하여 납품하여야 한다. 나. 사용자 교육은 제안요청서의 총 교육 시간 내에서 진행하되, 반드시 장비별 신규 레시피 작성, 예방 정비(PM), 트러블슈팅(오류 조치)을 포함한 깊이 있는 실습 위주로 실시하여야 하며, 국문 매뉴얼(운영·정비 가이드)을 책자 및 전자파일 형태로 제출하여야 한다. 1-14. 품목: 스퍼터 장비 (Sputter System – 4＂Gun * 3ea, Manual) 품목번호 1-14 품목 스퍼터 장비 (Sputter System 4＂Gun * 3ea, Manual) 단위 대 수량 1 Ⅰ. 특징

1. 본 장비는 RF 또는 펄스(Pules) DC 증착을 이용하여 서로 다른 물질의 조성을 달리하여 고진공 조건에서 금속, 산화물, 투명 적극 박막을 증착하는 장비이다. 2. 본 장비는 3개의 스퍼터 건으로 제작되어 Pulse DC(1set)와 RF(1set)를 독립적으로 인가할 수 있어야 한다. 3. 4인치 기판에서 증착균일도(Uniformity)가 ±3% 이내가 되도록 장비를 구성해야 한다. 4. 증착 등으로 인한 오염을 방지하기 위하여 챔버 내부에는 크리닝커버가 존재해야 한다. 5. 기판 온도는 최대 400도를 충족하여야 한다. 6. 공정 챔버는 최저 진공도가 5×10-7 Torr 이하로 도달하여야 한다. 7. 장비구동에 반드시 필요한 공압과 냉각수에 대한 인터락(Safety interlock)이 구성되어 있어야 한다. 8. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. Ⅱ. 장비 구성 1. 공정 챔버 모듈 2. 전원 공급 모듈 3. 진공 모듈 4. 가스 공급 모듈 5. 제어 모듈 6. 프레임 모듈 Ⅲ. 상세 규격 1. 공정 챔버 모듈 • 공정 챔버 - 챔버 재질: 전해 연마처리된 SUS(Electro-polished SUS) - 챔버 형상: 스퍼터 건 3개를 지지할 수 있는 반구형 형태 - 증착등으로 인한 챔버 내부 오염 방지용 크리닝 커버 포함 - 웨이퍼 로딩/언로딩 방식: 챔버 상단 개폐 타입 - 챔버 상단 개폐 방식: 모터 - 챔버 퍼지(Purge) & 벤트(Vent) • 기판 히터 - 히터 종류: SUS 몰드 히터(SUS mold heater) - 기판 온도: 최대 400도 동등 또는 이상 - 기판 크기 & 용량: 최대 4인치 웨이퍼 & 1장 - 기판 회전(Rotarion) 방식: 모터 • 스퍼터 건 - 건 사이즈 & 수량: 4인치 건 & 3개 동등 또는 이상 - 스퍼터 건 셔터 개폐 방식: 수동 - 반드시 스퍼터 건의 자석과 냉각수 라인은 접촉되지 않도록 설계되어야 함 - 표면 자석 가우스: 중앙 자석의 겨우 4,500G 이상, 가장자리 자석의 경우 3,300G 이상 - 전극 절연 재질: peek - 백킹 플레이트 재질: 구리(Copper)

2. 전원 공급 모듈 • RF 생성기 & 매칭 유닛 - 수량: 1세트 동등 또는 이상 - 주파수: 13.56MHz - 출력 전력: 50Ω조건에서 600W - 냉각 방식: 강제 공랭식 - RF 전력 측정 방식: 디지털 RF 전력계 - 작동 방식: 자동 • 펄스 DC 전원 공급 장치 - 수량: 1세트 동등 또는 이상 - 출력 전력: 2kW - 모드 타입: Pulse-DC, Watt, C.V, C.C - 디지털 전압/암페어 미터 3. 진공 모듈 • 진공 펌프 - 로터리 펌프: 600L/min급 동등 또는 이상 - 터보분자펌프(TMP): 450L/sec(N2) 동등 또는 이상 - 도달 압력: 5E-7 torr 이하 • 압력계 - 고진공용 게이지: 열음극 이온 게이지 - 저진공용 게이지: 컨벤트론 게이지(Convectron Gauge) - 게이지용 컨트롤러 • 압력 제어 - 자동 압력 컨트롤러(Auto Pressure Controller, APC) - 전기식 스로틀 밸브(Electrical Throttle Valve) - 바라트론 게이지(Baratron Gauge) • 진공 밸브 & 진공 라인 - 진공 밸브: 메인 밸브용 공압식 게이트 밸브 러핑 라인과 포어 라인 밸브용 공압식 앵글 밸브 - 진공 라인: 하드 라인(재질: 스테인리스 스틸)과 벨로우즈 라인으로 구성 4. 가스 공급 모듈 • 사용가스 & 유량 제어 - 공정 가스 제어 방식: Ar, O2 질량유량계(Mass Flow Controller, MFC) 각 1개 동등 또는 이상 - 퍼지(Purge) & 벤트(Vent) 용: N2 미터링 밸브 - 2채널 이상의 MFC 컨트롤러 • 가스 밸브 & 가스 라인 - 가스 밸브: 공압식 다이어프램 밸브 - 가스 라인: 미세 연마 처리된 316L 스테인리스 스틸 재질의 튜브

사. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함. Ⅳ. 기타 조건 1. 납기일: 계약 후 150일 이내 2. 납품장소: 수요처 지정장소에 설치 - 장비 설치는 전문 엔지니어가 설치하여야 하며, 설치 후 시운전 동작에서 아무 이상이 없을 때 완료된 것으로 한다. 3. 교육: 전문 엔지니어가 수요처가 지정하는 일정에 따라 별도의 비용 없이 교육을 제공 4. 부속품: 장비 유지보수 매뉴얼 책자 1부와 PDF 파일을 제공 5 하자보증기간: 장비 설치 후 검수 완료일로부터 2년 6. 납품 기준: 본 규격서에 제시한 성능 및 규격과 동등하거나 동등 이상의 제품이어야 한다. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호 협의로 결정한다.) 7. 품질관리 세부 사항 가. 설비 유지보수 지원 1) 장비 고장 접수 후 48시간 이내에 전문 엔지니어가 현장에 도착하여 조치에 착수하여야 한다. 2) 최종 수리 및 정상화 조치는 현장 방문 후 최대 7일 이내에 완료하여야 한다. 3) 신속한 대응을 위해 원격 기술 지원을 제공하여야 하며, 장비별 전문 엔지니어의 비상 연락처를 제출하여야 한다.

6. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. Ⅱ. 장비 구성 1. 공정 챔버 모듈 2. 열원 모듈 3. 두께 제어 모듈 4. 진공 & 가스 공급 모듈 5. 제어 모듈 6. 프레임 모듈 Ⅲ. 상세 규격 1. 공정 챔버 모듈 • 공정 챔버 - 챔버 재질: 전해 연마처리된 SUS(Electro-polished SUS) - 챔버 형상: 전면부 도어가 있는 D자 모양 또는 박스형(셔터가 있는 뷰 포트 2개 포함) - 증착등으로 인한 챔버 내부 오염 방지용 크리닝 커버 포함 - 웨이퍼 로딩/언로딩 방식: 챔버 도어 개폐 타입 - 챔버 퍼지(Purge) & 벤트(Vent) • 기판 홀더 - 기판 크기 & 용량: 최대 4인치 웨이퍼 & 5장 - 균일한 박막 증착을 위해 기판 홀더는 회전해야 함 - 기판 홀더 회전 방식: 모터 - 페로플루이드 기반 자기 밀봉 기술을 적용한 기판 홀더 회전 메커니즘 설계·제작 2. 열원 모듈 • 열(Thermal) 전원 공급기 - 수량: 2세트 - 최대 출력: 1.5kW - 출력 전압: 0~5V - 출력 전류: 0~300A - 전류 조절 정밀도: 최대 출력 대비 ±2% 이내 • 열(Thermal) 보트 - 수량: 2세트 - 구성: 텅스텐(W) 보트와 나선형 필라멘트 - 열 보트용 공압식(에어 실린더) 개별 제어 셔터 적용 - 고전류 절연 피드스루(Feedthrough) 포함

3. 두께 제어 모듈 • 두께 제어기 - 주파수 분해능: 0.03 Hz - 측정 간격: 0.1초 - 크리스탈 시작 주파수: 5 MHz 또는 6 MHz - 공정 수: 99개 / 레이어 수: 999개 • 오실레이터 패키지 - 주파수: 5 MHz 또는 6 MHz (센서와 호환 가능해야 함) - 두께 제어기와 연결할 수 있는 케이블 포함 • 두께 센서 - 수량: 2세트 (표준형 센서 타입) - 센서의 온도 안정성 확보를 위한 수냉식 피드스류(Feedthrough) 포함 4. 진공 & 가스 공급 모듈 • 진공 펌프 - 로터리 펌프: 600L/min급 동등 또는 이상 - 터보분자펌프(TMP): 450L/sec(N2) 동등 또는 이상 - 도달 압력: 5E-7 torr 이하 • 압력계 - 고진공용 게이지: 열음극 이온 게이지 - 저진공용 게이지: 컨벤트론 게이지(Convectron Gauge) - 게이지용 컨트롤러 • 진공 밸브 & 진공 라인 - 진공 밸브: 메인 밸브용 공압식 게이트 밸브 러핑 라인과 포어 라인 밸브용 공압식 앵글 밸브 - 진공 라인: 하드 라인(재질: 스테인리스 스틸)과 벨로우즈 라인으로 구성 자동 벤트 라인(오일의 역류 방지) 적용 • 가스 밸브 & 가스 라인 - 가스 밸브: 공압식 다이어프램 밸브 N2용 니들(Needle) 밸브 - 가스 라인: 미세 연마 처리된 316L 스테인리스 스틸 재질의 튜브 5. 제어 모듈 • 시스템 제어 - 시스템 제어 방식: PC(MS 윈도우 기반, 산업용 PC)+PLC - PC 모니터는 32인치 이상의 스탠드형 타입 - 자동 운전 (필요시 작업자 수동 제어 가능) - 아날로그 및 디지털 입/출력 카드 포함 - 공정 제어 소프트웨어: 전용 공정 제어 SW (장비 운용을 위한 영구 사용 권한 제공 또는 동등 이상 제품) GUI: 그래픽 사용자 인터페이스(사람이 컴퓨터나 프로그램을 사용할 때, 그림(아이콘), 버튼, 창 등 시각적 요소를 통해 조작할 수 있게 해주는 화면 구성 방식) 프로세스 데이터로깅 레시피 편집, 저장, 다운로드, Run • 전기 접촉 메커니즘이 포함된 메인 프레임 - 전원 구동 패널(온/오프, 비상스위치 버튼) - 열원 제어 패널 - 두께 제어 패널 - 진공 & 압력 조절 패널

6. 프레임 모듈 - 장비의 이동이 쉬운 캐스터 & 레벨링 풋 부착 <공정 조건> 가. Ultimate pressure: ≤5×10-7 Torr 나. 두께 균일도 ① Ti - WIW : ≤±3% @ 1,500Å (4inch 영역에서 가장자리 5mm제외) WTW : ≤±3% @ 1,500Å (4inch 영역에서 가장자리 5mm제외) ② Al - WIW : ≤±3% @ 1,500Å (4inch 영역에서 가장자리 5mm제외) WTW : ≤±3% @ 1,500Å (4inch 영역에서 가장자리 5mm제외) 다. 구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출) 라. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함. Ⅳ. 기타 조건 1. 납기일: 계약 후 180일 이내 2. 납품장소: 수요처 지정장소에 설치 - 장비 설치는 전문 엔지니어가 설치하여야 하며, 설치 후 시운전 동작에서 아무 이상이 없을 때 완료된 것으로 한다. 3. 교육: 전문 엔지니어가 수요처가 지정하는 일정에 따라 별도의 비용 없이 교육을 제공 4. 부속품: 장비 유지보수 매뉴얼 책자 1부와 PDF 파일을 제공 5 하자보증기간: 장비 설치 후 검수 완료일로부터 2년

6. 납품 기준: 본 규격서에 제시한 성능 및 규격과 동등하거나 동등 이상의 제품이어야 한다. (본 규격서에 명시되지 않은 사항은 상호 협의로 결정한다.) 7. 품질관리 세부 사항 가. 설비 유지보수 지원 1) 장비 고장 접수 후 48시간 이내에 전문 엔지니어가 현장에 도착하여 조치에 착수하여야 한다. 2) 최종 수리 및 정상화 조치는 현장 방문 후 최대 7일 이내에 완료하여야 한다. 3) 신속한 대응을 위해 원격 기술 지원을 제공하여야 하며, 장비별 전문 엔지니어의 비상 연락처를 제출하여야 한다. 나. 설비 보증 1) 설비 계약 시 계약 이행 보증 증권을 발행하여야 함. 2) 설비 납품 시 하자 보증 증권을 발행하여야 함. 8. 장비 운용 교육 및 기술 전수 가. 장비 인도 시 정상 구동을 위한 표준 공정 레시피(Recipe)를 기본 탑재하여 납품하여야 한다. 나. 사용자 교육은 제안요청서의 총 교육 시간 내에서 진행하되, 반드시 장비별 신규 레시피 작성, 예방 정비(PM), 트러블슈팅(오류 조치)을 포함한 깊이 있는 실습 위주로 실시하여야 하며, 국문 매뉴얼(운영·정비 가이드)을 책자 및 전자파일 형태로 제출하여야 한다. 1-16 품목: 급속 열처리 장비 품목번호 1-16 품목 급속 열처리 장비 단위 대 수량 2 Ⅰ. 특징 1. 본 장치는 최대 4인지 웨이퍼를 진공 분위기에서 급속으로 열처리하는 장비이다. 50~120℃/sec의 빠른 승온 속도를 통해 반도체 공정에서 재료의 산화 공정, 결정화 열처리 및 도펀드 Drive-in 공정 등에 활용되는 장비이다.

2. 본 장비는 반도체 공정 실습을 위한 구성 요소이며 반도체소자 공정 중 금속전극의 오믹 적합 형성, 공정 전·후 열처리 등에 사용된다. 3. 본 장비는 다양한 반도체소자 제작 및 소재 열처리에 활용되어야 하므로 사용 가능 온도, 온도 안정성, 냉각속도, 사용 가스의 다양성 등이 주요 성능 지표이며, 이를 반영하여 제작되어야 한다. 4. 본 장치는 열에너지가 웨이퍼 전체에 균일하게 제공되어야 하며, 온도 조절이 정밀하고 가능한 넓은 범위를 가져야 한다. 5. 본 장치는 온도 정확성과 반복성을 ≤±3℃로 충족하여야 한다. 6. 본 장치는 자동화된 PC type으로 제작되어야 한다. 7. 장비구동에 반드시 필요한 공압과 냉각수에 대한 인터락(Safety interlock)이 구성되어 있어야 한다. 8. 장비는 PC를 이용하여 자동 제어되고, 시스템의 안전한 운용을 위해 safety interlock이 구현되어 있어야 한다. 9. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. Ⅱ. 장비 구성 1. 공정 챔버 모듈 2. 진공 모듈 3. 가스 공급 모듈 4. 제어 모듈 5. 프레임 모듈 Ⅲ. 상세 규격 1. 공정 챔버 모듈 • 공정 챔버 - 챔버 재질: 스테인리스 재질의 냉각벽 구조 - 챔버 사이즈: 소형 사이즈의 챔버 - 웨이퍼 로딩/언로딩 방식: 챔버 상단 탑 플레이트 개폐 타입 - 챔버 상단 구성: 램프 & 석영(Quartz) 플레이트 - 균일한 가스 흐름 분포를 위한 구조로 설계 • 기판 홀더 유닛 - 기판 사이즈: 최대 4인치 웨이퍼 - 가이드 & 지지 핀 재질: 석영(Quartz) - 웨이퍼지지 방식: 웨이퍼 열 손실을 최소화하는 타입으로 설계 • 히팅 소스 유닛 - 램프: 적외선 할로겐 램프 - 1개의 구역(1-zone)으로 된 빠른 디지털 PID 온도 제어 - 반사판 & 냉각 하우징 - 온도 조절을 열전대(Thermocouple) 포함

2. 진공 모듈 • 진공 펌프 - 로터리 펌프: 600L/min급 동등 또는 이상 - 도달 압력: 5E-3 Torr 이하 • 압력 게이지 - 공정용: 정전용량형 진공게이지(Capacitance diaphragm gauge) - 대기압용: ATM 센서 • 진공 밸브 & 라인 - 진공 밸브: 공압식 앵글 밸브 - 오일의 역류 방지를 위해 오토 벤트 밸브 설치 - 진공 라인: 하드라인과(스테인리스 스틸 재질) 벨로우즈 라인 3. 가스 공급 모듈 • 사용가스 & 유량 제어 - 공정 가스 제어 방식: O2, N2 질량유량계(Mass Flow Controller, MFC) 각 1개 동등 또는 이상 - 퍼지(Purge) & 벤트(Vent) 용: N2 니들(Needle) 밸브 • 가스 밸브 & 가스 라인 - 가스 밸브: 공압식 다이어프램 밸브 - 가스 라인: 미세 연마 처리된 316L 스테인리스 스틸 재질의 튜브 4. 제어 모듈 • 시스템 제어 - 시스템 제어 방식: PC(MS 윈도우 기반, 산업용 PC, 터치모니터)+PLC - 자동 운전 (필요시 작업자 수동 제어 가능) - 아날로그 및 디지털 입/출력 카드 포함 - 공정 제어 소프트웨어: 전용 공정 제어 SW(장비 운용을 위한 영구 사용 권한 제공 또는 동등 이상 제품) GUI: 그래픽 사용자 인터페이스(사람이 컴퓨터나 프로그램을 사용할 때, 그림(아이콘), 버튼, 창 등 시각적 요소를 통해 조작할 수 있게 해주는 화면 구성 방식) 프로세스 데이터로깅 레시피 편집, 저장, 다운로드, Run

5. 프레임 모듈 - 탁상형 타입 <공정 조건> 가. 최대 가열 온도: 1,250℃ 나. 온도별 사용 허가 시간: Spike @1,250℃ 1 min @1,200℃ 3 min @1,100℃ 30 min @1,000℃ 60 min @900℃ 120 min @< 800℃ 다. 승온 속도: 50~200℃/sec for Silicon wafer 10~50℃/sec for Substrate on SiC coated graphite susceptor 라. 냉각 속도: 10℃/sec for Silicon wafer 마. 온도 균일도: ≤ ±1.5% @800℃, Silicon wafer ≤ ±1.0% @800℃, Substrate on SiC coated graphite susceptor 바. 온도 정확도 및 재현도: ≤ ±3℃ at Set temperature 사. 온도 안정성: ≤ ±3℃ 아. 구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출) 자. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함. Ⅳ. 기타 조건 1. 납기일: 계약 후 150일 이내 2. 납품장소: 수요처 지정장소에 설치 - 장비 설치는 전문 엔지니어가 설치하여야 하며, 설치 후 시운전 동작에서 아무 이상이 없을 때 완료된 것으로 한다.

참가자격

※ ‘직접생산확인증명서’가 중소기업제품 공공구매 종합정보망(http://www.smpp.go.kr)에서 확인이 안될 경우 입찰참가자격이 없습니다. 다. 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」제6조(중소기업자간 경쟁제품)에 따른 지정 품목을 포함하고 있어, 중기업, 소기업, 소상공인 간 제한경쟁 입찰입니다. ※ <중기업·소기업·소상공인 확인서>는 ‘중소기업제품 공공구매 종합정보망(http://www.smpp.go.kr)’ 에서 확인이 안 될 경우 입찰참가자격이 없습니다. - 단, <중기업·소기업·소상공인 확인서>가 전자입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 합니다. - 다만, <중기업·소기업·소상공인 확인서>를 전자입찰서 제출 마감일 전일까지 신청한 업체는 입찰참가가 가능하나, 제안서 제출일로부터 5일 이내에 중소기업공공구매 종합정보망에서 확인이 되지 않거나 입찰참가자격상 기업구분이 다른 경우에는 참가자격이 없습니다. 라. 우리 학교에서 제시한 사양서 대로 사업수행(납품)이 가능하고, 제품의 공급과 기술지원을 위해 제조사 공급증명원 및 기술지원(서비스) 확약서를 제출할 수 있는 업체이어야 합니다. 마. 제안서를 제출하는 업체는 제안요청서 사항 및 사양서를 숙지하고 제안서를 작성하여야 하며, 제안서의 내용이 허위로 판명된 경우 입찰참가 자격을 제한하고, 지방자치단체를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령 제92조에 의거 부정당업자로 제재할 수 있습니다.