한국에너지공과대학교 레이저 현미경 구매

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• 3. 규격가격 동시입찰 평가기준서.hwp · 공고규격서

공고 개요

유찰 · 한국에너지공과대학교 · 기타 연구장비

결과

유찰

참가

0곳 · 개찰 06/09(화)

요약 AI 요약

전력반도체 웨이퍼 및 패키지의 표면 거칠기와 3D 형상을 나노미터급으로 정밀 분석하기 위해 레이저 현미경을 도입함. 이를 통해 소자의 물리적 신뢰성을 검증하고 공정 최적화 연구를 수행함.

• 레이저 공초점 및 백색광 간섭계 융합 하이브리드 측정 시스템
• 5X, 10X, 20X, 50X, 100X 대물렌즈 및 전동 6구 노즈피스
• 전동 X/Y 스테이지 및 수동 틸트 스테이지
• 거칠기, 박막 두께, 입자 분석 등 전용 소프트웨어 패키지
• 고성능 워크스테이션 및 44인치 대형 모니터 2대
• 능동형 외부 진동 차단 제진대

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 평가위원별 평가점수를 평균한 종합득점이 85점 이상인 업체를 규격적격 업체로 선정하며

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자입찰

입찰 일정

가격

추정가격

181,800,000원

배정예산

199,980,000원

기초금액

199,980,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)

부가세

18,180,000원

예정가격 방식

복수예가

납품

품명

레이저현미경 (4111172301)

수량

1 식

인도조건

과업내역에 따름

제조물품

아니오

세부품명 등록

등록 필요

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

05/29(금)

공고번호

R26BK01551869-000

참조번호

재무구매팀-10317

공고기관

한국에너지공과대학교

수요기관

한국에너지공과대학교

계약방법

제한경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

181,800,000원

배정예산

199,980,000원

사전규격번호

R26BD00230912

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 발췌

과업·요구

=== 2. 용도설명서 및 상세규격서.pdf === 용 도 설 명 서 영 문 Laser optical microscope 1. 품 명 국 문 레이저 현미경 □ 규격(성능 및 사양) : OLS5500-SAA Hybrid 3D Optical Profilometer (OLS5100-SAF Measurement System) 1. 측정 방식 : 레이저 공초점, 백색광 간섭계, 초점 변이 하이브리드 통합 시스템 2. 광원 : 405nm 단파장 반도체 레이저 다이오드(LD) 및 백색광 LED 3. 검출기 : 고감도 광전자증배관(PMT) 및 CMOS 이미지센서 4. X-Y 스캐너 : 전자기 유도형 MEMS 공진 스캐너(X축) + 갈바노 미러(Y축) 2축 통합 구조 5. 반복 정밀도 : σ ≤ 0.012 μm (1σ) 6. 측정 노이즈 : ISO 25178-700:2022 기준 보증 7. LSM 및 WLI 측정 정확도·반복성 보증 (Evident Certificate System) 8. WLI 측정 속도 : 기존 LSM 대비 최대 40배 고속 측정 9. 전동 스테이지 : X/Y 100mm × 100mm, 오토 스티칭 지원, length-measuring module 내장 10. 대물렌즈 구성 - MPLFLN5X-2-7 : M Plan Semi-Apochromat 5X - MPLFLN10XLEXT : LEXT 전용 10X - MPLAPON20XLEXT : LEXT 전용 고해상도 20X - MPLAPON50XLEXT : LEXT 전용 고해상도 50X - MPLAPON100XLEXT : LEXT 전용 고해상도 100X - WLI10XMRTC : 백색광 간섭계 전용 10X

11. 노즈피스 : U-D6REMC 전동 6구 회전 노즈피스 12. DIC 관찰 : U-DICR 반사광 미분 간섭(DIC) 슬라이더 13. 틸트 스테이지 : OLS55-TLTS 수동 틸트 스테이지 14. 소프트웨어 구성 - OLS51-BSW : Standard Software - OLS50-S-AA : Advanced Analysis Software - OLS50-S-FT : Film Thickness Measurement Software - OLS50-S-PA : Particle Analysis Software - OLS51-S-ETA : Experiment Total Assist Software - OLS50-S-MSP : Motorized Stage Package Software - OLS-S-WLI : White Light Interferometry Application - OLS-S-FV : Focus Variation Application 15. 프레임 그래버 : OLS50-GRAB Frame Grabber Board 16. 표면 거칠기 측정 : ISO 25178 (면 거칠기) 준거 17. 레이저 등급 : Class 2 Laser Product (IEC 60825-1) 18. 워크스테이션 : HP Z2 TWR G9 WKS (Windows 11 Pro, 64GB RAM, 4TB Storage) 19. 모니터 : 44인치 대형 모니터 2대 20. 제진대 : Tabletop Active Isolation System 상세 규격 세부 참조 □ 용도설명 : 한국에너지공과대학교 차세대그리드센터 구축 사업의 일환으로, SiC/GaN 전력반도체 웨 이퍼 및 패키지의 표면 거칠기(Roughness)와 3D 형상을 나노미터(nm)급으로 정밀 분석하기 위한 장비

임. 405nm 단파장 레이저 공초점(Confocal)과 백색광 간섭계(WLI) 기술이 융합된 하이브리드 측정 시 스템으로, 전력반도체 소자의 미세 트렌치(Trench) 구조, 표면 결함, 박막 두께 등을 비파괴적으로 측 정·분석하여 소자의 물리적 신뢰성을 검증하고 공정 최적화 연구를 수행함. □ 기타 참고사항(기대효과 등) : Ÿ 405nm 레이저와 WLI 융합 하이브리드 시스템 도입으로 기존 단일 방식 대비 측정 범위 및 정밀 도가 획기적으로 향상되며, 서브 마이크론(Sub-micron) 단위의 결함 검출이 가능함. Ÿ 전력반도체 소자의 설계 검증, 공정 모니터링, 패키징 신뢰성 평가에 활용하여 연구 생산성 및 데 이터 신뢰성 향상이 기대됨. Ÿ 호남권 내 동급 최신 사양(OLS5500급) 장비가 부재하므로, 지역 내 산·학·연 공동 활용 인프라로서 나주 에너지밸리 중심의 전력반도체 산업 생태계 활성화에 기여함. 2026 년 02 월 09 일 부서장(연구책임자) : 강혜민 (인) 상 세 규 격 서 ⃞장비명 : 레이저 현미경 구 분 상 세 명 세 수 량 비 고 Ⅰ. 용 도(End-user's Use) - 한국에너지공과대학교 차세대그리드센터 구축 사업의 그리드반도체 ① 장비 규격 1 테스트 플랫폼 일환으로, 고전력반도체(SiC/GaN)의 표면 및 형상 특 성을 정밀 평가하기 위한 장비 - 405nm 레이저 공초점(Confocal)과 백색광 간섭계(WLI) 기술을 융 합하여 전력반도체 웨이퍼의 나노미터(nm)급 Roughness 및 미세 패턴 정밀 측정 - 전력반도체 패키징의 본딩 와이어 루프, 범프 높이, Trench 구조 등에 대한 비파괴 3D 형상 분석 및 서브 마이크론 단위 결함 검출 - 고해상도 이미징을 통해 소자의 누설 전류 및 절연 파괴 원인이 되 는 미세 크랙, 이물질 등을 분석하여 전력 소자의 신뢰성 확보 Ⅱ. 장비 구성 (Configurations of Goods)

1. OLS5500-SAA Hybrid 3D Optical Profilometer 1 SET

MPLAPON100XLEX

Workstation (Windows 11 Pro, 64GB RAM, 21 HP Z2 TWR G9 1 4TB Storage) 22 44" Monitor 대형 모니터 1 Tabletop Active 23 능동형 제진대 1 Isolation System Ⅲ. 장비 성능 및 규격 (Performance and Specification) 1. OLS5500-SAA Hybrid 3D Optical Profilometer 1-1. 측정 시스템 (OLS5100-SAF) - 측정 방식 : 레이저 공초점(LSM), 백색광 간섭계(WLI), 초점 변이 (FVM) 하이브리드 통합 - 광원 : 405nm 단파장 반도체 레이저 다이오드(LD) 및 백색광 LED - 검출기 : 고감도 광전자증배관(PMT) 및 CMOS 이미지센서 - X-Y 스캐너 : 전자기 유도형 MEMS 공진 스캐너(X축) + 갈바노 미러(Y축) 2축 통합 구조 - 반복 정밀도(Repeatability) : σ ≤ 0.012 μm (1σ) - 측정 노이즈 : ISO 25178-700:2022 기준 보증 - LSM 및 WLI 측정 정확도·반복성 보증 (Evident Certificate System) - WLI 측정 속도 : 기존 LSM 대비 최대 40배 고속 측정 - 표면 거칠기 측정 : ISO 25178 (면 거칠기) 준거 - 레이저 등급 : Class 2 Laser Product (IEC 60825-1) 1-2. 대물렌즈 - MPLFLN5X-2-7 : M Plan Semi-Apochromat 5X - MPLFLN10XLEXT : LEXT 전용 10X - MPLAPON20XLEXT : LEXT 전용 고해상도 20X - MPLAPON50XLEXT : LEXT 전용 고해상도 50X - MPLAPON100XLEXT : LEXT 전용 고해상도 100X - WLI10XMRTC : 백색광 간섭계 전용 10X - U-D6REMC : 전동 6구 회전 노즈피스 (대물렌즈 자동 교체) 1-3. 스테이지 및 광학계 - 전동 스테이지 (OLS50-S-MSP) : X/Y 100mm × 100mm, 오토 스티칭 지원, length-measuring module 내장 - 수동 틸트 스테이지 (OLS55-TLTS) : OLS5500 SAF 스테이지 전용, 기 울어진 시료 및 패키지 측면 분석 지원 - 반사광 미분 간섭(DIC) 슬라이더 (U-DICR) : 나노미터급 표면 윤곽 가시 화 1-4. 소프트웨어 - OLS51-BSW : Standard Software - OLS50-S-AA : Advanced Analysis Software - OLS50-S-FT : Film Thickness Measurement Software - OLS50-S-PA : Particle Analysis Software - OLS51-S-ETA : Experiment Total Assist Software - OLS50-S-MSP : Motorized Stage Package Software

- OLS-S-WLI : White Light Interferometry Application - OLS-S-FV : Focus Variation Application 1-5. 데이터 처리 및 주변장치 - 프레임 그래버 : OLS50-GRAB Frame Grabber Board - 고속 데이터 전송 및 처리 - 워크스테이션 : HP Z2 TWR G9 WKS - Windows 11 Pro, 64GB RAM, 4TB Storage - 모니터 : 44인치 대형 모니터 2대 (Dual Monitor System) - 분석 화면 및 멀티태스킹 환경 - 제진대 : Tabletop Active Isolation System - 능동형 외부 진동 차단 ② 설치조건 및 전남 나주시 켄텍길 21 한국에너지공과대학교 연구1동 차세대그리드센터 실험실 장소 ③ 보증기간 보증기간: 납품일로부터 1년, 납품기한: 2026년 6월 30일 납품기한 등 ① 본인은 상기 물품구입과 관련, 상세규격서를 작성함에 있어 정확한 제품사양 및 설치조건, 필요사항 등을 모두 기재하였음(특수 연구목적 및 기존 장비 및 물품과의 호환 등 특수조 건이 필요한 경우 별지의 물품구매 특수조건을 작성하여 제출함) ② 낙찰 후 상기 상세규격 이외의 추가사항 및 증빙을 요청할 수 없음을 확인함 구매 요구시 2026 년 02 월 08 일 부서장(연구책임자) : 강혜민 (인) ① 낙찰업체의 물품규격과 본인이 요구한 규격의 충족여부 검토 결과, 이상이 없음을 확 인함 물품 계약시 2026 년 월 일 부서장(연구책임자) : (인) === 3. 규격가격 동시입찰 평가기준서.hwp === 한국에너지공과대학교 레이저 현미경 규격‧가격 동시입찰 평가기준서 2026년 5월

참가자격

한국에너지공과대학교 1. 계약방법 가. 규격가격동시입찰 나. 관련 근거 : ｢국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령｣ 제18조 2. 제안자격 가. 입찰공고문에 따름 나. ｢국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정｣에 따라 입찰참가등록 마감일시까지 국가종합전자조달시스템(나라장터)에 레이저현미경(세부품명번호 10자리: 4111172301)으로 입찰참가자격을 등록한 자 3. 제안조건 가. 제시된 규격과 동등하거나 그 이상의 규격으로 제안하여야 한다. 나. 제안과 관련되어 제출된 모든 자료는 반환하지 않으며, 제안에 따른 일체의 비용은 제안업체가 부담한다. 다. 제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증 가능한 서류를 첨부하여야 하며, 허위 작성한 사실이 판명되는 경우 평가대상에서 제외되고 계약 후에도 계약해지와 함께 인적, 물적, 기간적 손실에 대한 손해배상 청구가 가능하다. 라. 제출된 제안서의 내용은 수정, 삭제 또는 대체할 수 없다. 마. 제안서에 제시된 내용은 계약서에 명시되지 않더라도 계약서와 동일한 효력을 가진다. 다만, 계약서에 명시된 경우에는 계약서의 내용이 우선한다. 바. 본 제안서의 결과에 의한 일체의 계약은 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 등 관련 법규를 준수한다. 사. 제안업체는 본 사업과 관련하여 취급 또는 습득한 정보에 대하여 과업 수행기간은 물론 종료 후에도 보안사항을 준수하여야 하며, 정보 유출 등 보안 사고 발생 시 모든 민․형사상의 책임을 진다.

다. 규격적격자로 선정된 업체에 한하여 가격개찰을 실시하며, 최저가격을 제시한 업체를 낙찰자로 선정한다. 6. 보안준수 - 제안 요청일 이후 제안서 제출 시까지 모든 사항은 제안 참여 업체의 제안 관계자 외에는 대외비로 취급하여야 한다. 또한 한국에너지공과대학교에 기 제출된 모든 문서와 제공한 자료 및 정보에 대해서는 외부에 공개할 수 없다. 7. 유의사항 가. 평가기준서에 기재된 필수 제출서류를 제외하고, 업체 제안서 내용 중 증빙 또는 보완이 필요한 경우 추가 자료 제출을 요청할 수 있으며, 이 경우 업체는 이를 수용하여 관련 자료를 제출하여야 한다. 나. 상세규격서에 명시된 내용을 단순 복사하여 제출한 제안서는 무효 처리하며, 관련 규정에 따라 부정당업자로 제재를 받을 수 있다. 8. 납품 관련 사항 가. 납품일 : 2026년 6월 30일까지 나. 납품장소 : 전남 나주시 켄텍길 21 한국에너지공과대학교 연구1동 차세대그리드센터 실험실 다. 하자보증기간 : 1년 9. 제출 서류 및 부수 : 입찰공고문에 따름 [붙임 1] □ 제안서 작성지침 ※ 입찰참가자가 제시규격과 상이한 규격을 제출한 경우 이의 인정 여부 등은 평가위원회에서 협의하여 결정함. ※ 필수규격을 충족하지 못하는 경우 부적격으로 처리함.

배점·평가

참가자격

다. 유의사항 ○ 본 입찰은 전자입찰로만 집행하며 한번 제출한 입찰서는 취소하거나 수정할 수 없습니다. 단, 국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서 제8조에 따라 입찰의 취소를 신청할 수 있습니다. 3. 예정가격 및 낙찰자 결정방법 가. 예정가격은 기초금액을 기준으로 ±2% 범위 내에서 작성된 15개의 예비가격 중 입찰참가자가 추첨(2개씩 선택)한 번호 중 가장 많이 선택된 4개를 산술평균한 금액으로 결정합니다. 나. 낙찰자 선정방법 : 제안서 평가 적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자 ※ 기술(규격)제안서를 평가하여 적격자를 대상으로 가격입찰서를 개찰하고, 예정가격이하 최저가격으로 입찰한 자를 낙찰자로 선정합니다. 다. 동일가격 입찰자는 ｢전자입찰특별유의서｣ 제15조에 따라 나라장터(국가종합전자조달시스템)의 ‘동일가격 입찰 낙찰자 자동프로그램’을 통하여 계약상대자를 결정합니다. 4. 입찰참가 자격 가. ｢국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정｣에 의하여 국가종합전자조달시스템(나라장터)에 입찰참가자격등록 마감일시까지 아래의 자격을 입찰참가 등록한 자 - 세부품명번호 10자리: 4111172301 레이저현미경 나. ｢국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령｣ 제12조(경쟁입찰의 참가자격) 및 동법 시행규칙 제14조(입찰참가자격요건의 증명) 자격을 갖춘 업체로서 동법 제27조 및 동법시행령 제76조(부정당업자의 입찰참가자격 제한)에 의한 부정당업자의 입찰참가자격 제한을 받은 사실이 없는 업체

다. ｢중소기업기본법｣ 제2조에 따른 중소기업자 또는 ｢소상공인 보호 및 지원에 관한 법률｣ 제2에 따른 소상공인으로서, ｢중소기업 범위 및 확인에 관한 규정｣에 따라 발급된 ‘중기업, 소기업 또는 소상공인 확인서’를 소지한 자 ※ 전자입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 함 □ 중소기업으로 간주되는 특별법인의 입찰참가 - ｢중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률｣제33조 제1항에 의거 중소기업으로 간주되는 특별법인은 입찰참가 자격이 있으며 상기 각호의 입찰참가 자격을 모두 갖추어야 합니다. * 특별법인 해당 여부는 개찰 후 낙찰자결정전에 관련서류를 제출받아 확인하며 해당 자격이 없는 경우 낙찰자 결정 대상에서 제외됩니다. ◐ 상기 ‘중‧소기업확인서’가 중소기업제품 공공구매종합정보망(http://www.smpp.go.kr)에서 확인이 안 될 경우 입찰참가자격이 없습니다. 다만, 중소기업확인서를 전자입찰서 제출 마감일 전일까지 신청한 업체는 입찰참가가 가능하나 다음의 어느 하나에 해당하는 경우에는 참가자격이 없습니다. - 서류제출 마감일까지 중소기업확인서가 발급되지 않은 경우 - 발급된 중소기업확인서가 입찰참가자격의 기업구분과 다른 경우 - 발급된 중소기업확인서의 유효기간 시작일이 전자입찰서 제출 마감일 이후인 경우 - 전자입찰서 제출 마감일 이후 중소기업확인서를 신청한 경우 ◐ 아래 각호에 어느 하나에 해당하는 경우에는 위 입찰참가자격을 모두 갖춘 경우에도 본 입찰에 참여할 수 없습니다.