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(전계방사형 주사전자현미경) 조달외자 구매 요청
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공고 개요
외자 · 유찰 · 경북대학교 공동실험실습관 · 기타 연구장비
- 결과
- 유찰
- 참가
- 1곳 · 개찰 04/15(수)
요약 AI 요약
전계방사형 주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope) 1세트와 에너지 분산형 분광기(Energy Dispersive Spectrometer) 2세트 및 부속장비를 구매하는 사업이다. 시료에 닿기 직전·직후 전자를 감속·가속하는 스테이지 바이어스 기능을 갖춰 빔 손상을 줄이고 분해능과 신호 대 잡음비를 높이려는 것이다.
- 전계방사형 주사전자현미경 본체 1세트(전자빔 광학계, 인컬럼 2차전자 검출기 2세트, 메인 챔버 2차전자 검출기, 메인 챔버, 진공 시스템, 반도체형 인컬럼 후방산란전자 검출기, 결정형 모터 구동 후방산란전자 검출기, 트랙볼 또는 조이스틱 3세트, 강압 변압기, 카메라 네비게이션 시스템, 연속 프레임 캡처, 실시간 이미지 처리, SE 밴드패스, 웨이퍼 홀더, 각종 스터브 포함)
- 에너지 분산형 분광기 2세트
- 부속장비: 폐쇄형 수냉 순환기, 공압 밸브용 에어 컴프레서, 오일 프리 스크롤 펌프, 수축 방지용 시료 전처리 시스템
- 분해능 15kV에서 0.6nm 이하, 1kV에서 0.7nm 이하(갭 방식), 배율 사진 모드 최대 200만 배 이상
- 착지 전압 최소 0.02kV 이하, 감속 전압 최대 -3.5kV 이상(10V 스텝 이하), 3단 이상 전자기 렌즈, 4홀 이상 대물 렌즈 조리개(조리개 히터 포함)
- 완전 진심축 5축 이상 모터 구동 시료 스테이지(이동 범위 X/Y 110mm 이상, Z 10mm 이상, T 70° 이상, R 360° 무한 회전), 최대 시료 크기 에어락 방식 150mm 이상 또는 도어 개방 방식 378mm 이상
참가 자격 · 제한
- 업종제한
- 제한 없음
- 지역제한
- 제한 없음
- 공동수급
- 공동수급불허
- 입찰참가 제한
- 모름
- 실적경쟁 · PQ
- 모름
- 국제입찰
- 국제입찰
- 제출 방법
- 전자입찰
입찰 일정
| 진행 | 일시 | 남은 날 |
|---|---|---|
| 공고 게시 | 03/20(금) | 지남 |
| 입찰서 제출 시작 | 03/21(토) 00:00 | 지남 |
| 입찰참가자격 등록 마감 | 04/14(화) 18:00 | 지남 |
| 입찰서 제출 마감 | 04/15(수) 10:00 | 지남 |
| 개찰 | 04/15(수) 11:00 | 지남 |
가격
- 예정가격 방식
- 비예가
납품
- 품명
- 주사전자현미경 (4111172001)
- 인도조건
- 모름
- 제조물품
- 모름
- 세부품명 등록
- 모름
공고 정보
- 공고종류
- 등록공고 (일반공고)
- 게시일
- 03/20(금)
- 공고번호
- R26BK01410181-000
- 참조번호
- R26DC00172772
- 공고기관
- 조달청
- 수요기관
- 경북대학교 공동실험실습관
- 계약방법
- 일반경쟁
- 낙찰방법
- 규격적합자중 최저가
- 계약유형
- 총액계약
- 예정가격 방식
- 비예가
- 추정가격
- -
- 배정예산
- -
- 사전규격번호
- R26BD00193606
- 재공고
- 아니오
- 출처
- 나라장터
문서 발췌
| 품목번호 Item No. | 관세분류번호 HSK No. | 정부물품분류번호 | 수량 Q'ty | 단위 Unit |
|---|---|---|---|---|
| 2 | 9012.10.1090 | 41111720 | 1 | set |
Ⅰ. End-user's Use This SEM should have a stage bias function which decelerates / accelerates incidents electrons just before/after they hit a specimen in order to reduce beam damage and increase resolution & S/N ratio. Ⅱ. Configurations of Goods 1. 주장비 1) Field Emission Scanning Electron Microscope 1set (1) Electron beam optical system 1set (2) In-column secondary electron detector 2sets (3) Secondary electron detector in main chamber 1set (4) Main chamber unit 1set (5) Vacuum system 1set (6) Semiconductor type in-column BSE detector 1set (7) Crystal type motorized retractable BSE detector 1set (8) Trackball or Joystick 3sets (9) Step down transformer 1set (10) Camera navigation system integrating chamber 1set (11) Serial frame capture 1set (12) Live image processing function 1set (13) SE band pass function 1set (14) Wafer holder 1set (15) Various stubs 1set
2) Energy Dispersive Spectrometer 2sets 2. 부속장비 1) Closed water re-circulator 1set 2) Air compressor for pneumatic valve 1set 3) Oil free type scroll pump 1set 4) Sample preparation system for anti-shrink 1set Ⅲ. Performance & Specification 1. Resolution 1) 0.6nm or less at 15kV (by Gap method) 2) 0.7nm or less at 1kV (by Gap method) 2. Magnification (on photo mode) : Max. x2,000,000 or more 3. Electron optics 1) Electron gun : Cold type or Schottky type with mono-chromator FE source 2) Landing voltage : Minimum 0.02kV or less 3) Lens system : 3-stage or more electro-magnetic lens 4) Objective lens aperture : 4 holes or more movable aperture including aperture heater
5) Detectors (1) Dual In-column SE detector with energy filter (2) Chamber SE detector (3) 4 or more segments in-column BSE detector (4) Crystal type motorized retractable BSE detector below OBJ lens 6) Deceleration voltage : Max. -3.5kV or more (10V step or less) 4. Specimen stage : Fully eucentric 5-axis or more motorized stage 1) Movable range : X/Y(110mm or more), Z(10mm or more), T(70° or more), R(360°, endless) 2) Stage control (1) Controlled through Navigation software (2) Shift to specimen exchange position (3) Stage History on sample position trace (4) Eucentric rotation function (5) Position memory function (6) Image navigation function (7) Raster rotation function
3) Maximum loading specimen size : (150mm or more) diameter at air-lock method or (378mm or more) width at door open method 5. Monitor for SEM viewing : Dual 27 inches LCD (16:9) or more 6. Operating system : Microsoft Windows 10 Professional (64bit) or more 7. Operating control : Keyboard, mouse and rotary knobs should be equipped, Trackball or Joystick. 8. Scanning mode : Various steps in each modes 1) Rapid scan 2) Fast scan 3) Slow scan 4) Reduce area scan 5) Fine quality capturing 6) Integration capturing 7) Charging suppression scan 9. Scan speed : User could select various capturing time at each condition 10. Signal display mode 1) Single image display
2) Full screen image display on TV mode 3) Multi image display up to Max. 6 images or more (Support for simultaneous different signal on TV mode) 4) Reduced area display for image adjustment 11. Image data saving 1) Frame size : 6144 x 4096 pixels or more 2) Saving format : JPEG, TIFF, BMP 12. Data entry 1) Fully keyboard (alphanumerics, special symbols on image, numerics) 2) Graphic input (straight lines, circles, arrows, etc.) 3) Auto Measurement by simply between two points by mouse dragging 13. Easy operation and operational assist function 1) Electro-magnetic image shift : ±24㎛ or more at WD=8mm 2) Setting of brightness for ABC 3) Full automatic data display on CRT
4) Scan point indication 5) Focus search 6) Focus memory 7) Filament image 8) Magnification preset 9) Status list indication 10) Raster Rotation / Dynamic focus / Tilt compensation 11) Axial alignment wobbler 14. Vacuum system 1) Vacuum sequence : Fully automated pneumatic valve control system 2) Vacuum pumps : IP or IGP + TMP + Sub-pump 15. Energy Dispersive Spectrometer (2sets) 1) Detector type : LN2 free type Silicon Drift Detector 2) Sensor size : SATW window 100㎟ or more 3) Detection range : From Be(4) to Pu(94) or wider 4) Energy resolution : 127eV or less at MnKα 5) Analytical software package : Point&ID, Mapping, Linescan, Auto-layer, TruMap, Drift correction, Auto PhaseMap, Auto QuantMap, Large area mapping, Point automation, Spectrum matching, etc.
6) PC & LCD Monitor 16. Sample preparation system for anti-shrink 1) Trusted reliability (1) Fully reproducible processes by automation (2) Highly reproducible sample preparation 2) Time saving (1) Reduced process times by filter/sample holder concept (2) Minimal user interaction time by automation and intuitive software (3) Efficient synergy with pre-treatment instrument 3) Ease of use (1) Ease of use by intuitive software and integrated touch screen (2) Store and recall drying programs (3) Expected process time calculated and displayed according to selected process parameters (4) Timer function (5) Flexibility in sample size (6) Large variety of sample holders
4) Cost saving (1) Minimized CO2 consumption by filter/sample holder concept (2) Minimal user interaction time 5) Enhanced safety for user (1) Increased safety by software controlled temperature and pressure cut off function (2) Integrated waste separator avoids direct contact 17. Wafer holder : 4“ & 6” or more 18. Closed water re-circulator : 5 ~ 35℃ or wider 19. Air compressor for pneumatic valve : 1/2 HP or more 20. Oil free type scroll pump : 250L/min or better Ⅳ. 기타 조건(Remarks) 1. Installation & Training : Should be supplied by maker’s trained engineer free of charge. 2. Warranty : Should be one year after installation. === 공급자증명서 양식 및 작성요령.hwpx ===
공 급 자 증 명 서
From： (※ 해외공급자 명의) 발신: To： Public Procurement Service, The Republic of Korea 수신: 대한민국 조달청 Date : (※ 입찰참여일자 기재) 일자: