Remote Plasma Source (RPS 발생기) 구매

요약 AI 요약

극한 환경 반도체 공정용 내플라즈마성·내식성 서셉터 개발 과제에서, 챔버 내부 불순물을 화학적으로 세정하기 위한 F(불소) 라디칼을 공급하는 원격 고밀도 플라즈마 발생기(RPS 발생기)를 구매하는 사업이다.

• Reactor(플라즈마 발생 장치)와 MF Generator(전력공급장치)로 구성된 장비 구축 및 설치
• 납품 및 시운전
• 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육
• 크기 500mm(D)×300mm(W)×300mm(H) 이하, 무게 30Kg 이하
• 정격 선간전압 208VAc 3상 접지, 190-220VAC 운전 가능, 주파수 400-460KHz, 최대출력 8000W 이상

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핵심요약

걸리는 것

제조사 확약서

제조사 확약서

외산 장비인 경우 공급확약서를 제출해야 하며, 입찰 참가자격 확인용으로 제출 서류에 포함되어 있다.

| 6 | 공급확약서 | 1부 | 외산 장비인 경우 제출(입찰 참가자격 확인) |

입찰 전

샘플·시안 선제출 · 벽

샘플·시안 선제출 · 벽

개찰 후 수요기관의 기기사양에 대한 규격검토확인서를 제출하여 KSM컴포넌트의 규격 통과 확인 날인을 받아야 하며, 규격검토 결과 부적합 시 입찰참가자격 미달로 처리된다. 별도 시안·샘플·견본·시연·성능시험을 입찰 단계에서 요구하는 문구는 없다.

※ 개찰 후 업체는 수요기관의 기기사양에 대한 규격검토확인서를 제출하여야 함. (KSM컴포넌트의 규격 통과 확인 날인 필수이며, 규격검토 결과 부적합 시 입찰참가자격 미달로 처리함.)

규격·기술 심사

항목마다 적합·부적합

구매규격서에서 정한 필수 규격을 모두 충족한 자에 한하여 가격개찰을 실시한다.

• 통과선 · 해당 없음 항목별 적부 방식이다.
• 필수 항목·과락 · 해당 없음 항목별 적부 방식이다.

규격입찰제안서에 대한 평가 결과, 구매규격서에서 정한 필수 규격을 모두 충족한 자에 한하 여 가격개찰을 실시하며, 예정가격 이하의 유효한 입찰자 중 최저가격 입찰자를 낙찰자로 결 정함.

문서 분석

수행 기간

60일 이내

납품 기한은 계약 후 60일 이내. 규격서에는 계약 후 3개월 이내로 적혀 있다. 사업기간은 공고문 참조로 되어 있고, 사업기간은 제안사의 일정, 예산 상황 등 현장의 여건에 따라 조정될 수 있음.

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 없음 사업기간이 현장 여건에 따라 조정될 수 있다고 적혀 있다.

  가. 사업기간은 제안사의 일정, 예산 상황 등 현장의 여건에 따라 조정될 수 있음

라. 납품 기한은 계약 후 60일 이내

▪ 납품기한: 계약 후 3개월 이내

나. 사업기간 : 공고문 참조

가. 사업기간은 제안사의 일정, 예산 상황 등 현장의 여건에 따라 조정될 수 있음

문서 분석

하자보수

1년 이상

규격서에 '보증기간(A/S): 납품일로부터 1년 이상', 입찰공고에 '하자보증기간: 설치일로부터 1년'이라 적혀 있다. 정기점검·소모성 부품 무상 여부는 적혀 있지 않다.

• 기점 · 설치·검수 완료일 입찰공고는 '설치일로부터 1년'이라 하고, 규격서는 '납품일로부터 1년 이상'이라 하여 다르다.

  5. 하자보증기간 : 설치일로부터 1년

  ▪ 보증기간(A/S) : 납품일로부터 1년 이상

• 보증 기간 정기점검 · 없음 보증 기간 중 정기점검을 나가라는 요구가 없다.
• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 소모성·정기정비 부품의 무상 여부가 적혀 있지 않다.

▪ 보증기간(A/S) : 납품일로부터 1년 이상

5. 하자보증기간 : 설치일로부터 1년

문서 분석

공정 장비 종류

CVD · 식각

원격 고밀도 플라즈마 발생기로 F 라디칼을 공급해 챔버 내부 불순물을 화학적으로 세정(식각)하는 장치이며, 플라즈마를 이용해 이온화시킨 F Radical을 공급한다.

본 장비는 반도체 장비 Chamber 내부에 Plasma를 이용하여 이온화 시킨 “F” Radical을 공급하여 Chamber 내부의 이물질을 제거하는 장치

Remote Plasma Source는 챔버 내부의 불순물을 화학적으로 세정하기 위해 F(불소) Radicla을 공급하는 원격 고밀도 플라즈마 발생기로, 제품의 내플라즈마 파티클 테스트에서 핵심적인 역할을 수행한다.

문서 분석

가격

추정가격

37,000,000원

배정예산

40,700,000원

부가세

3,700,000원

예정가격 방식

복수예가

첨부파일

• DOCX · [사전규격서] 원격 플라즈마 발생기(RPS 발생기).docx · 공고규격서
• PDF · RPS 발생기 입찰공고.pdf · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

납품

납품

계약 후 90일
문서: 수행 기간 · 60일 이내

품명

표면처리기 (2321119801)

세부품명 등록

아니오

제조물품

아니오
문서: 직접 생산 · 없음

수량

1 1
문서: 일의 분량 · 1ea

인도조건

설치까지 · 현장설치도
문서: 일의 끝 · 설치·시운전·가동까지

참가 자격 · 제한

지역제한

제한 없음
문서: 지역 조건 · 없음

업종제한

제한 없음
문서: 업종·면허 조합 · 모름
문서: 설치 공사업 면허 · 해당 없음

제출 방법

전자입찰
문서: 입찰 전 절차 · 따로 없음(나라장터만)

실적경쟁 · PQ

모름
문서: 실적 · 없음

공동수급

공동수급불허
문서: 공동수급 · 막음

입찰참가 제한

모름

국제입찰

국내입찰

입찰 일정

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 평가 부문별 각 부문의 취득점수가 부여된 점수의 50%를 넘지 못하는 경우가 1부문이라도 발생할 경우 또는 입찰참가자격에 부합하지 못하는 경우에는 규격 미달로 판정함

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · RPS 발생기 구매·설치·시운전·교육

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

반도체 챔버 세정용 원격 플라즈마 발생기(RPS)를 사서 현장에 설치·시운전하고 운용 교육까지 하는 반도체 공정장비 구매다.

• 현장 설치
• 시운전
• 장비 사용 및 유지보수 교육
• 하자보증(설치일로부터 1년)
• Trouble Shooting Manual 제공

걸리는 것 · 입찰 전 할 일

걸리는 조건

제조사 확약서

외산 장비인 경우 공급확약서를 제출해야 하며, 입찰 참가자격 확인용으로 제출 서류에 포함되어 있다.

| 6 | 공급확약서 | 1부 | 외산 장비인 경우 제출(입찰 참가자격 확인) |

입찰 전 할 일

• 샘플·시안 선제출 · 벽

  개찰 후 수요기관의 기기사양에 대한 규격검토확인서를 제출하여 KSM컴포넌트의 규격 통과 확인 날인을 받아야 하며, 규격검토 결과 부적합 시 입찰참가자격 미달로 처리된다. 별도 시안·샘플·견본·시연·성능시험을 입찰 단계에서 요구하는 문구는 없다.

  ※ 개찰 후 업체는 수요기관의 기기사양에 대한 규격검토확인서를 제출하여야 함. (KSM컴포넌트의 규격 통과 확인 날인 필수이며, 규격검토 결과 부적합 시 입찰참가자격 미달로 처리함.)

더 확인할 것

기성품·주문제작

이럴 때 꼭 봅니다 — 주문제작 · 설계부터 우리가

기성품·상용 그대로

구매규격서의 성능·규격을 충족하는 RPS 발생기를 납품하는 것으로, 성능이나 품질 등이 동등 이상인 경우 납품 가능하다고 적혀 있다. 로고·표기·색·설정 변경이나 주문제작·설계 개발에 관한 내용은 없다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품·상용품·주문제작품을 엮어 하나의 시스템으로 조립·통합한다는 내용이 문서에 없다.

▪ 성능이나 품질 등이 동등 이상인 경우 납품 가능 여부: 가능

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

구매규격서에 성능·규격이 명시되어 있고, 기타 참고사항에 성능이나 품질 등이 동등 이상인 경우 납품 가능하다고 적혀 있다. 동등 입증 시점에 대한 별도 규정은 없다.

• 동등 입증 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 동등 이상 제품의 적합 판정 시점을 정한 문장이 없다.

▪ 성능이나 품질 등이 동등 이상인 경우 납품 가능 여부: 가능

원산지(국산)

국산만

규격서에 국산여부 O로 표시되어 있다.

| 국산여부 | O |

합격선

숫자 기준 있음

구매규격서에 크기, 무게, 전압, 주파수, 최대출력 등 성능·규격 수치가 정해져 있다.

• 따를 표준·지침 · 없음 따르라고 지정한 표준·지침·법령·양식·방법론이 없다.

1. Szie : 500mm(D) , 300mm(W), 300mm(H) 이하

2. Weight : 30Kg 이하

3. Nominal Line Voltage : 208 VAc , Three Phase With Ground

4. Lin Voltage Ragne : 190-220 VAC를 포함하여 운전 가능

5. Frequency Range : 400 – 460KHz에서 운용가능

6. Maximum Power : 8000W 이상

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

항목별 규격 대비표 · 카탈로그·제조사 사양서 · 실측·성능 데이터·도면

규격제안서 구성에 사양비교표가 포함되고, 평가표에 카탈로그·설계 도면·구성품 내역 등이 평가 항목으로 있다.

• 마감 뒤 보완 · 조건부 허용 제안서 평가 시 필요한 서류가 누락되었거나 불명확한 경우 경미한 사항에 한하여 기한을 정하여 보완을 요구하여야 한다.

  가. 제안서의 평가 시 필요한 서류가 누락되었거나 제출된 서류가 불명확한 경우에는 제안서 내 용의 변경이 없는 경미한 사항에 한하여 기한을 정하여 보완을 요구하여야 한다.

사양비교표 - 요구사양과 제안사양의 비교표 자유서식

∙ 카탈로그, 설계 도면, 구성품 내역 등

참가 범위

공개 경쟁

국가종합전자조달시스템 입찰참가자격 등록규정에 의하여 RPS발생기 또는 동등 물품의 제조·공급이 가능한 업체면 참가 가능한 규격·가격동시입찰.

국가종합전자조달시스템 입찰참가자격 등록규정에 의하여 RPS발생기 또는 본 구매 장비와 동등 한 물품의 제조 또는 공급이 가능한 업체

현장 여건

현장 설치(납품) 후 시운전 진행과 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육 진행. 규격서에 명시되지 않은 장비 및 물량 또는 기술 등이 있을 때에는 제안사가 물량 또는 기술을 제안할 수 있으나, 별도의 금액산정은 인정하지 않는다.

부대공사·현장 준비에 대한 별도 조항이 없고, 제안사가 추가 물량·기술을 제안해도 별도 금액산정은 인정하지 않는다고 적혀 있다.

• 부대공사·현장 준비 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 부대공사·현장 준비를 누가 하는지에 대한 조항이 없다.
• 위험작업 · 없음 위험작업에 대한 내용이 없다.

다. 현장 설치(납품) 후 시운전 진행과 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육 진행

다. 규격제안서 제출 시 제안사에 따라 본 장비의 설치 시 규격서에 명시되지 않은 장비 및 물 량 또는 기술 등이 있을 때에는 제안사가 물량 또는 기술을 제안할 수 있으나, 별도의 금 액산정은 인정하지 않는다.

큰 배점 항목

적정성 - 공고 및 규격서(사양서)와의 적합성(요구사양 및 제안사양 비교) 30점, 적정성 - 장비 사양 및 구성의 적절성 20점, 사업수행 - 납품 및 설치 일정 계획 20점, 기술지원 - 품질보증 계획 20점.

규격평가 기준표 배점: 적정성 50%(적합성 30 + 사양·구성 20 + 성능검증 10), 사업수행 30%(납품·설치 일정 20), 기술지원 20%(품질보증 20).

- 공고 및 규격서(사양서)와의 적합성
∙ 요구사양 및 제안사양 비교 | 30

- 장비 사양 및 구성의 적절성
∙ 카탈로그, 설계 도면, 구성품 내역 등
∙ 장비 사양 및 특성, 성능 등 | 20

- 납품 및 설치 일정 계획
∙ 주요 기자재 확보 및 사용 계획
∙ 단계별 추진 일정 계획
∙ 시운전 계획 | 20

- 품질보증 계획
∙ 장비, 시스템 등 하자보수 계획
∙ 사용자 교육 일정 등 | 20

평가 자리 발표

서면 평가만

발표평가 없이 제안서 서면평가를 진행한다.

• 빠지면 · 해당 없음 발표가 없으므로 해당 없음.

- 발표평가 없이 제안서 서면평가 진행

지원사업·R&D 재원

연구개발 과제·연구비(연구장비 지원사업 포함)

과제명: 극한 환경 반도체 공정에서 내플라즈마성과 내식성이 향상된 서셉터를 개발하는 과제. 본 사업은 연구개발 과정에서 테스트 공정을 구축하기 위함.

가. 당사의 과제는, 극한 환경 반도체 공정에서 내플라즈마성과 내식성이 향상된 서셉터를 개발 하는 것이다.

다. 본 사업은 연구개발 과정에서, 플라즈마가 인가된 환경에서의 불화가스에 대한 내식성에 대 해, 서셉터 제품을 타겟으로 한 테스트 공정을 구축하기 위함이다.

공고 정보

공고종류

재공고 (재입찰공고)

게시일

10/13(화)

공고번호

R26BK01767955-000

참조번호

KSMC-20260921-RPS

공고기관

(주)케이에스엠컴포넌트

수요기관

(주)케이에스엠컴포넌트

계약방법

일반경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

37,000,000원

배정예산

40,700,000원

사전규격번호

R26BD00272895

재공고

재공고

출처

나라장터

문서 분석 전체

이 분야에서 갈리는 것 · 우리가 만드는 공정 방식·기판 크기인가, 주문제작을 150일 안에 끝낼 수 있나, 기술평가 85점을 넘나, 3년 품질보증을 감당하나에서 갈린다.

질문 87개 · 꼭 5 · 좋음 20 · 안 봐도 됨 62

주제 · 참가 자격 9개

업종·면허 조합

모름 · 문서로 확인 안 됨

입찰참가자격은 「RPS발생기 또는 본 구매 장비와 동등한 물품의 제조 또는 공급이 가능한 업체」로만 적혀 있어 업종 등록·면허를 여럿 요구하는지, 하나만 있으면 되는지에 대한 문장이 없다. 법·조례가 정한 허가·지정·등록, 사업자등록증 업태·종목, 전문매장 보유 같은 코드 밖 자격 요구도 없다.

• 코드 밖 자격 · 없음 법·조례가 정한 허가·지정·등록이나 업태·종목·전문매장 보유 같은 자격을 참가 자격으로 요구한 문장이 없다.

지역 조건

없음

본점 지역 제한 외에 사업장·지사·시설·인력 소재, 지역 거점, 지역 인력 고용·장비 사용, 지역 업체 공동수급, 지역 가점을 요구한 문장이 없다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 지역 관련 평가표 배점이 없다.
• 대상 · - 해당하는 지역 조건이 없다.

실적

없음

참가 자격이나 평가에서 비슷한 일을 한 실적을 요구한 문장이 없다. 규격제안서에 「업체현황 및 주요실적」을 적도록 한 서식은 있으나 참가 조건·배점으로 걸린 것은 아니다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 실적 배점이 없다.
• 조건 · 없음 실적 인정 범위를 정한 문장이 없다.

업력

없음

설립·개업 후 경과 연수를 참가 조건이나 점수로 본다는 문장이 없다.

• 요구 업력 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 요구 업력이 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 업력 배점이 없다.

공동수급

막음

「제품의 품질 보증을 위해 분할 납품이나 공동수급은 불허한다.」라고 적어 공동수급을 허용하지 않는다.

• 자격을 나눠 채우기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공동수급을 불허하므로 자격을 나눠 채우는지에 대한 문장이 없다.

바. 제품의 품질 보증을 위해 분할 납품이나 공동수급은 불허한다.

회사 규모·신분

제한 없음

중소기업·소기업·소상공인·여성기업·법인만 등 규모나 신분으로 참가를 좁힌 문장이 없다.

안전보건수준평가

없음

안전보건수준평가 대상 사업이라고 지정한 문장이 없다.

하도급

모름 · 문서로 확인 안 됨

하도급·외주를 허용하거나 금지한다고 적은 문장이 없다. 공동수급 불허 문장은 공동수급에 대한 것이고 하도급에 대한 문장은 없다.

• 하도급 한도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급 한도가 없다.

직접 생산

없음

직접생산확인증명서 소지, 제조 등록, OEM 금지, 한 제조사 제품으로만 채워야 한다는 요구가 없다. 참가 자격은 「RPS발생기 또는 본 구매 장비와 동등한 물품의 제조 또는 공급이 가능한 업체」로 제조·공급 모두 가능하다.

• 참가 등록 · 제조·공급 모두 제조 또는 공급이 가능한 업체로 적혀 있다.

  가. 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격 등록규정에 의하여 RPS발생기 또는 본 구매 장비와 동등 한 물품의 제조 또는 공급이 가능한 업체

• 직생 범위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 직접생산확인 공고가 아니다.
• 대상 · - 제품 출처를 좁히는 조건이 없다.

가. 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격 등록규정에 의하여 RPS발생기 또는 본 구매 장비와 동등 한 물품의 제조 또는 공급이 가능한 업체

주제 · 제품 규격·인증 9개

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

구매규격서에 성능·규격이 명시되어 있고, 기타 참고사항에 성능이나 품질 등이 동등 이상인 경우 납품 가능하다고 적혀 있다. 동등 입증 시점에 대한 별도 규정은 없다.

• 동등 입증 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 동등 이상 제품의 적합 판정 시점을 정한 문장이 없다.

▪ 성능이나 품질 등이 동등 이상인 경우 납품 가능 여부: 가능

제조사 확약서

벽 · 못 맞추면 탈락

외산 장비인 경우 공급확약서를 제출해야 하며, 입찰 참가자격 확인용으로 제출 서류에 포함되어 있다.

• 대상 · 공급 확약서 공급확약서

  | 6 | 공급확약서 | 1부 | 외산 장비인 경우 제출(입찰 참가자격 확인) |

• 조건 · 없음 제조사면 면제된다는 문장은 없다.

| 6 | 공급확약서 | 1부 | 외산 장비인 경우 제출(입찰 참가자격 확인) |

제품 인증

없음

인증·허가·시험성적서를 요구하는 문장이 없다.

• 크기 · 해당 없음 점수 문장이 없다.
• 대상 · - 해당 없음
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 입증 수단을 정한 문장이 없다.

원산지(국산)

국산만

규격서에 국산여부 O로 표시되어 있다.

| 국산여부 | O |

합격선

숫자 기준 있음

구매규격서에 크기, 무게, 전압, 주파수, 최대출력 등 성능·규격 수치가 정해져 있다.

• 따를 표준·지침 · 없음 따르라고 지정한 표준·지침·법령·양식·방법론이 없다.

1. Szie : 500mm(D) , 300mm(W), 300mm(H) 이하

2. Weight : 30Kg 이하

3. Nominal Line Voltage : 208 VAc , Three Phase With Ground

4. Lin Voltage Ragne : 190-220 VAC를 포함하여 운전 가능

5. Frequency Range : 400 – 460KHz에서 운용가능

6. Maximum Power : 8000W 이상

등록 제품

없음

제품 목록·지정·실적 요구가 없다.

• 대상 · - 해당 없음

신품·제조 시기

없음

신품·최근 생산품·유효기간 조건이 없다.

• 제조 뒤 경과 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조 뒤 경과 상한을 정한 문장이 없다.
• 남은 유효기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 남은 유효기간을 정한 문장이 없다.

규격·기술 심사

항목마다 적합·부적합

구매규격서에서 정한 필수 규격을 모두 충족한 자에 한하여 가격개찰을 실시한다.

• 통과선 · 해당 없음 항목별 적부 방식이다.
• 필수 항목·과락 · 해당 없음 항목별 적부 방식이다.

규격입찰제안서에 대한 평가 결과, 구매규격서에서 정한 필수 규격을 모두 충족한 자에 한하 여 가격개찰을 실시하며, 예정가격 이하의 유효한 입찰자 중 최저가격 입찰자를 낙찰자로 결 정함.

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

항목별 규격 대비표 · 카탈로그·제조사 사양서 · 실측·성능 데이터·도면

규격제안서 구성에 사양비교표가 포함되고, 평가표에 카탈로그·설계 도면·구성품 내역 등이 평가 항목으로 있다.

• 마감 뒤 보완 · 조건부 허용 제안서 평가 시 필요한 서류가 누락되었거나 불명확한 경우 경미한 사항에 한하여 기한을 정하여 보완을 요구하여야 한다.

  가. 제안서의 평가 시 필요한 서류가 누락되었거나 제출된 서류가 불명확한 경우에는 제안서 내 용의 변경이 없는 경미한 사항에 한하여 기한을 정하여 보완을 요구하여야 한다.

사양비교표 - 요구사양과 제안사양의 비교표 자유서식

∙ 카탈로그, 설계 도면, 구성품 내역 등

주제 · 입찰 절차 9개

참가 범위

공개 경쟁

국가종합전자조달시스템 입찰참가자격 등록규정에 의하여 RPS발생기 또는 동등 물품의 제조·공급이 가능한 업체면 참가 가능한 규격·가격동시입찰.

국가종합전자조달시스템 입찰참가자격 등록규정에 의하여 RPS발생기 또는 본 구매 장비와 동등 한 물품의 제조 또는 공급이 가능한 업체

여러 과제로 나뉨

나뉘지 않음

단일 품목(원격 플라즈마 발생기 1ea) 구매로 과제·권역·입찰번호로 나뉜 내용이 없다.

• 여러 개 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 나뉘지 않아 해당 사항 없음.

입찰 전 절차

따로 없음(나라장터만)

나라장터 전자입찰 외에 별도 사전 절차 규정이 없다. 규격검토확인서는 개찰 후 제출.

현장설명회

없음

현장설명회·현장답사 관련 규정이 문서에 없다.

정정·재공고 변경

해당 없음(첫 공고)

재공고·정정 공고라는 언급이 없다.

낙찰 업체 수

한 업체가 전량

분할 납품이나 공동수급을 불허한다고 명시.

• 최소 응찰 물량 · 해당 없음 전량 단일 업체 낙찰.

제품의 품질 보증을 위해 분할 납품이나 공동수급은 불허한다.

MAS 2단계경쟁

아니다

다수공급자계약·종합쇼핑몰 관련 내용이 없다.

입찰보증금

면제·지급각서로 갈음

입찰보증금은 전자입찰서 제출 시 지급각서로 갈음. 계약·하자 보증 비율은 문서에 없음.

• 입찰보증금 비율 · 해당 없음 지급각서로 갈음.
• 계약·하자 보증 비율 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 계약보증금·하자보수보증금 비율이 문서에 없다.

※ 입찰보증금은 전자입찰서 제출 시 입찰보증금 지급각서로 갈음함.

문서끼리 다른 곳

그렇다

납품기한: 규격서 「계약 후 3개월 이내」 ↔ 입찰공고 「계약 후 60일 이내」. 하자보증기간: 규격서 「납품일로부터 1년 이상」 ↔ 입찰공고 「설치일로부터 1년」.

▪ 납품기한: 계약 후 3개월 이내

라. 납품 기한은 계약 후 60일 이내

▪ 보증기간(A/S) : 납품일로부터 1년 이상

5. 하자보증기간 : 설치일로부터 1년

주제 · 과업 범위 11개

다른 업 섞임

섞이지 않음

사업범위는 장비 구축·설치, 납품·시운전, 장비 사용·유지보수 교육으로 RPS 발생기 구매·설치·시운전·교육에 한정되며, 다른 면허·공종·품목의 일은 나오지 않는다.

3. 사업범위
가. 장비 구축 및 설치
나. 납품 및 시운전
다. 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육

하는 일

반도체 챔버 내부를 화학적으로 세정하기 위해 F(불소) Radical을 공급하는 원격 고밀도 플라즈마 발생기(Remote Plasma Source) 1대를 구매하여 현장에 설치·시운전하고, 장비 사용 및 유지보수 교육을 하는 사업이다. 주장비 Reactor(Plasma 발생 장치)와 부속장비 MF Generator(전력공급장치)로 구성되며, 크기 500mm(D)·300mm(W)·300mm(H) 이하, 무게 30Kg 이하, 208VAc 3상, 400–460KHz, 최대출력 8000W 이상의 성능을 요구한다.

본 장비는 반도체 장비 Chamber 내부에 Plasma를 이용하여 이온화 시킨
“F” Radical을 공급하여 Chamber 내부의 이물질을 제거하는 장치

I. 장비의 구성 (Configuration of Goods)
1. 주장비
1) Reactor (Plasma 발생 장치)
2. 부속장비
1) MF Generator (전력공급장치 - Plasma발생을 위한 전력 공급 장치)

1. Szie : 500mm(D) , 300mm(W), 300mm(H) 이하
2. Weight : 30Kg 이하
3. Nominal Line Voltage : 208 VAc , Three Phase With Ground
4. Lin Voltage Ragne : 190-220 VAC를 포함하여 운전 가능
5. Frequency Range : 400 – 460KHz에서 운용가능
6. Maximum Power : 8000W 이상

기존 시스템과 이어짐

없음(새로 하는 독립된 일)

기존 시스템·설비와의 연동, 기존 제조사 제품 지정, 연속 사업, 연동 SW 개발, 상대편 연동 작업·비용 부담에 관한 내용이 문서에 없다.

설치 공사업 면허

해당 없음

RPS 발생기 구매·설치·시운전·교육 사업으로, 전기·정보통신·수도·소방 등 법상 공사업 면허에 관한 내용이 문서에 없다.

• 대상 · - 공사업 면허 대상이 되는 전기·정보통신·기타 공사업에 관한 내용이 문서에 없다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급·공동수급·직접 시공에 관한 조건이 문서에 없다.

일의 끝

설치·시운전·가동까지

현장설치도 조건이며, 사업범위에 장비 구축 및 설치, 납품 및 시운전, 장비 사용 및 유지보수 교육이 포함된다. 현장 설치(납품) 후 시운전 진행과 교육을 하여야 한다.

• 시험운영 기간 · 해당 없음 시운전 승인 이후 별도의 시험운영·안정화 기간이 문서에 없다.

3. 사업범위
가. 장비 구축 및 설치
나. 납품 및 시운전
다. 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육

다. 현장 설치(납품) 후 시운전 진행과 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육 진행

기성품·주문제작

기성품·상용 그대로

구매규격서의 성능·규격을 충족하는 RPS 발생기를 납품하는 것으로, 성능이나 품질 등이 동등 이상인 경우 납품 가능하다고 적혀 있다. 로고·표기·색·설정 변경이나 주문제작·설계 개발에 관한 내용은 없다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품·상용품·주문제작품을 엮어 하나의 시스템으로 조립·통합한다는 내용이 문서에 없다.

▪ 성능이나 품질 등이 동등 이상인 경우 납품 가능 여부: 가능

함께 넘길 물품

해당 없음

본품·본업과 함께 우리 돈으로 넘겨주거나 비치해야 하는 별도 물품(예비품·전용 공구·교재 등)이 문서에 없다.

철거·폐기

없음

기존 장비·시설·지장물의 철거·이설·폐기·반납이나 다 쓴 물품·포장재 회수에 관한 내용이 문서에 없다.

부가 작업

장비 사용 및 유지보수에 대한 교육, 현장 설치(납품) 후 시운전 진행, Trouble Shooting Manual 제공, A/S(보증기간 납품일로부터 1년 이상), 유지보수·교육·운영지원 CS 대응 협의.

3. 사업범위
가. 장비 구축 및 설치
나. 납품 및 시운전
다. 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육

▪ 유지보수, 교육 및 운영지원 : CS 대응 협의 필요, 수리 가능, 유상 교육 가능
▪ Trouble shooting 대응 : Trouble Shooting Manual 제공 가능

디자인 몫

해당 없음

디자인·편집·원고 작업에 관한 내용이 문서에 없다.

묶인 품목 수

2종

주장비 Reactor(Plasma 발생 장치) 1종과 부속장비 MF Generator(전력공급장치) 1종으로 구성되며, 수량은 각 1대(총 수량 1 ea)이다.

• 제조사 수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 품목마다 제조사·상표·모델을 하나로 정해 적은 내용이 문서에 없다.

I. 장비의 구성 (Configuration of Goods)
1. 주장비
1) Reactor (Plasma 발생 장치)
2. 부속장비
1) MF Generator (전력공급장치 - Plasma발생을 위한 전력 공급 장치)

주제 · 납품 일정·현장 11개

일의 분량

1ea

품명 원격 플라즈마 발생기(Remote Plasma Source), 수량 1, 단위 ea. 사업비 금 40,700,000원(VAT 포함).

• 열린 분량 · 정해짐 수량이 1 ea로 정해져 있다.

  | 품 명 | (국문): 원격 플라즈마 발생기 | 수 량 | 1 |

| 품 명 | (국문): 원격 플라즈마 발생기 | 수 량 | 1 |

| 품 명 | (영문): Remote Plasma Source | 단 위 | ea |

다. 사 업 비 : 금 40,700,000원 (VAT. 포함)

수행 기간

60일 이내

납품 기한은 계약 후 60일 이내. 규격서에는 계약 후 3개월 이내로 적혀 있다. 사업기간은 공고문 참조로 되어 있고, 사업기간은 제안사의 일정, 예산 상황 등 현장의 여건에 따라 조정될 수 있음.

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 없음 사업기간이 현장 여건에 따라 조정될 수 있다고 적혀 있다.

  가. 사업기간은 제안사의 일정, 예산 상황 등 현장의 여건에 따라 조정될 수 있음

라. 납품 기한은 계약 후 60일 이내

▪ 납품기한: 계약 후 3개월 이내

나. 사업기간 : 공고문 참조

가. 사업기간은 제안사의 일정, 예산 상황 등 현장의 여건에 따라 조정될 수 있음

현장·납품지

1곳

인도조건이 현장설치도로 되어 있고, 현장 설치(납품) 후 시운전 진행. 납품지 이름은 문서에 없다.

• 열린 분량 · 정해짐 현장설치도로 인도조건이 정해져 있다.

  | 회사명 | 케이에스엠컴포넌트 | 인도조건 | □납품장소하차도
  ■현장설치도 |

• 범위 · 없음(국내 보통 현장) 해외·섬·개별 배송에 대한 내용이 없다.

| 회사명 | 케이에스엠컴포넌트 | 인도조건 | □납품장소하차도
■현장설치도 |

다. 현장 설치(납품) 후 시운전 진행과 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육 진행

현장 여건

현장 설치(납품) 후 시운전 진행과 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육 진행. 규격서에 명시되지 않은 장비 및 물량 또는 기술 등이 있을 때에는 제안사가 물량 또는 기술을 제안할 수 있으나, 별도의 금액산정은 인정하지 않는다.

부대공사·현장 준비에 대한 별도 조항이 없고, 제안사가 추가 물량·기술을 제안해도 별도 금액산정은 인정하지 않는다고 적혀 있다.

• 부대공사·현장 준비 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 부대공사·현장 준비를 누가 하는지에 대한 조항이 없다.
• 위험작업 · 없음 위험작업에 대한 내용이 없다.

다. 현장 설치(납품) 후 시운전 진행과 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육 진행

다. 규격제안서 제출 시 제안사에 따라 본 장비의 설치 시 규격서에 명시되지 않은 장비 및 물 량 또는 기술 등이 있을 때에는 제안사가 물량 또는 기술을 제안할 수 있으나, 별도의 금 액산정은 인정하지 않는다.

작업 시기

해당 없음

일할 수 있는 때의 제약에 대한 내용이 없다.

다른 일정에 묶임

그렇다

제안사는 현장설치 일정에 맞추어 기자재를 납품하여 장비 가동에 차질이 없도록 하여야 함.

나. 본 사업의 제안사는 현장설치 일정에 맞추어 기자재를 납품하여 장비 가동에 차질이 없도록 하여야 함

나눠 납품

한 번에 전량

납품 기한은 계약 후 60일 이내로 하나만 적혀 있고 나눠 내라는 말이 없다. 제품의 품질 보증을 위해 분할 납품이나 공동수급은 불허한다.

• 분할납품 · 막음 제품의 품질 보증을 위해 분할 납품이나 공동수급은 불허한다.

  바. 제품의 품질 보증을 위해 분할 납품이나 공동수급은 불허한다.

라. 납품 기한은 계약 후 60일 이내

바. 제품의 품질 보증을 위해 분할 납품이나 공동수급은 불허한다.

보관 조건

없음

보관·운송 조건에 대한 내용이 없다.

• 대상 · - 해당하는 조건이 없다.

주문 뒤 납품 시한

정해지지 않음

주문(납품요구)을 받은 뒤 며칠 안에 대라는 시한이 없다. 납품 기한은 계약 후 60일 이내로만 적혀 있다.

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 주문 시한의 기점이 적혀 있지 않다.

라. 납품 기한은 계약 후 60일 이내

포장·표시

포장 단위나 제품에 붙일 표시·라벨 요구에 대한 내용이 없다.

문서에 포장·라벨 요구가 없다.

보안 조치

없음

서약서에 평가 기준·방법·결과 수용, 제안서 내용의 계약 일부 활용 동의 등이 있으나, 출입 승인·보안서약·보안교육·기기 반입 제한·작업 PC·망 통제·자료 반출 금지·개인정보 처리 위탁계약에 대한 조치는 없다.

• 크기 · - 보안 대책이 평가 점수에 들지 않는다.
• 대상 · - 해당하는 보안 조치가 없다.

주제 · 견본·검사·검수 7개

검수

발주처 검수만

규격제안서 평가에서 필수 규격 충족 여부를 수요기관이 확인하고, 납품 후 시운전·교육을 진행하며, 성능 검증 및 검수 관련 항목을 수요기관 자체 평가위원회가 평가한다. 외부 기관 심의·승인·감리·성과심사는 문서에 없다.

규격입찰제안서에 대한 평가 결과, 구매규격서에서 정한 필수 규격을 모두 충족한 자에 한하여 가격개찰을 실시하며, 예정가격 이하의 유효한 입찰자 중 최저가격 입찰자를 낙찰자로 결정함.

현장 설치(납품) 후 시운전 진행과 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육 진행

샘플·시안 선제출

벽 · 못 맞추면 탈락

개찰 후 수요기관의 기기사양에 대한 규격검토확인서를 제출하여 KSM컴포넌트의 규격 통과 확인 날인을 받아야 하며, 규격검토 결과 부적합 시 입찰참가자격 미달로 처리된다. 별도 시안·샘플·견본·시연·성능시험을 입찰 단계에서 요구하는 문구는 없다.

• 크기 · - 평가표에 시안·샘플·시연 관련 별도 배점 없음
• 대상 · 기타 규격검토확인서(기기사양 규격 통과 확인)

  ※ 개찰 후 업체는 수요기관의 기기사양에 대한 규격검토확인서를 제출하여야 함. (KSM컴포넌트의 규격 통과 확인 날인 필수이며, 규격검토 결과 부적합 시 입찰참가자격 미달로 처리함.)

※ 개찰 후 업체는 수요기관의 기기사양에 대한 규격검토확인서를 제출하여야 함. (KSM컴포넌트의 규격 통과 확인 날인 필수이며, 규격검토 결과 부적합 시 입찰참가자격 미달로 처리함.)

시험·검사

시험·검사 없음

이 공고·규격서에 별도의 품질 시험·검사·분석 항목과 비용 부담 주체가 정해져 있지 않다. 규격평가표에 성능 검증 및 검수 항목이 있으나 이는 제안서 평가 항목이다.

• 시험 단위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 시험 장소 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

시안 승인

-

본 작업·제작 전 시안·샘플·제작도·중간검수 승인 횟수를 정한 문구가 없다. 규격제안서 제출과 개찰 후 규격검토확인서 제출 절차만 있다.

• 수정 횟수 · -
• 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

공장 실사·입회

없음

발주처가 공장·사업장을 실사하거나 제작 중간검사에 입회한다는 문구가 없다. 다만 규격 제안내용 확인을 위한 추가자료 요청 또는 현지실사를 할 수 있다는 조항이 있다.

규격 제안내용에 대한 확인을 위하여 추가자료 요청 또는 현지실사를 할 수 있으며, 이 경우 입찰참가자는 이에 응하여야 한다.

이 공고가 군수품 조달인가 — 국방부·각 군이…

아니다

수요기관은 (주)케이에스엠컴포넌트로 민간 기업이며, 군수품 특수조건·국방규격·재고번호·군 검사 등 군 전용 절차가 없다.

군수품이면 납품 검사·검수는 누가 하나 — 수…

해당 없음

군수품 조달이 아니다.

• 품질보증형태 · 해당 없음

주제 · 인력·A/S·하자 대응 8개

장비·시설 보유

없음

입찰참가자격은 RPS발생기 또는 동등 물품의 제조·공급이 가능한 업체 등록, 부정당업체 아님 등이며, 일에 쓸 장비·시설을 갖추라는 요구는 없다. 규격서의 성능·규격은 납품할 물건의 조건이다.

• 갖출 때 · 해당 없음 갖출 시점을 정한 요구가 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 장비·시설 보유 점수 항목이 없다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 임차·소유 조건이 적혀 있지 않다.

인력 자격

없음

투입 인력의 자격·등급·학위·경력·교육 이수 요구나 전담 역할(현장대리인·안전관리자 등) 요구가 없다. 규격제안서에 사용자 교육 계획을 포함하라는 것은 있으나 이는 발주처 교육에 관한 것이다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 인력 등급·경력 점수 항목이 없다.
• 대상 · - 해당하는 대상이 없다.

출동 시한

없음

고장·장애·긴급 호출 시 현장 도착·착수 시한을 정한 요구가 없다. 규격서에 'Trouble shooting 대응: Trouble Shooting Manual 제공 가능', 'CS 대응 협의 필요, 수리 가능'이 있을 뿐이다.

• 도착 시한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 도착 시한이 적혀 있지 않다.

처리 시한

모름 · 문서로 확인 안 됨

요청·장애·결과 통보의 처리(복구·완료) 시한을 정한 문장이 없다. 규격서에 'CS 대응 협의 필요, 수리 가능'만 있다.

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 기점을 정한 문장이 없다.

교육·기술이전

-

사업범위에 '장비 사용 및 유지보수에 대한 교육'이 있고, 납품조건에 '현장 설치(납품) 후 시운전 진행과 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육 진행'이 있다. 규격서에는 '유지보수, 교육 및 운영지원: CS 대응 협의 필요, 수리 가능, 유상 교육 가능'이라 하여 유상임을 밝히고 있다. 횟수는 적혀 있지 않다.

• 무상 · 따로 받음(별도 정산·실비·추가 대가) 규격서에 '유상 교육 가능'이라 적혀 있다.

  ▪ 유지보수, 교육 및 운영지원 : CS 대응 협의 필요, 수리 가능, 유상 교육 가능

다. 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육

다. 현장 설치(납품) 후 시운전 진행과 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육 진행

▪ 유지보수, 교육 및 운영지원 : CS 대응 협의 필요, 수리 가능, 유상 교육 가능

하자보수

1년 이상

규격서에 '보증기간(A/S): 납품일로부터 1년 이상', 입찰공고에 '하자보증기간: 설치일로부터 1년'이라 적혀 있다. 정기점검·소모성 부품 무상 여부는 적혀 있지 않다.

• 기점 · 설치·검수 완료일 입찰공고는 '설치일로부터 1년'이라 하고, 규격서는 '납품일로부터 1년 이상'이라 하여 다르다.

  5. 하자보증기간 : 설치일로부터 1년

  ▪ 보증기간(A/S) : 납품일로부터 1년 이상

• 보증 기간 정기점검 · 없음 보증 기간 중 정기점검을 나가라는 요구가 없다.
• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 소모성·정기정비 부품의 무상 여부가 적혀 있지 않다.

▪ 보증기간(A/S) : 납품일로부터 1년 이상

5. 하자보증기간 : 설치일로부터 1년

단종 뒤 부품 공급

해당 없음

보증이 끝나거나 단종된 뒤 부품·소모품·유지보수를 대야 하는 기간을 정한 문장이 없다.

A/S 조직·인력

없음

규격제안서에 '장비 A/S 계획'을 포함하라는 항목이 있고, 규격서에 '유지보수, 교육 및 운영지원: CS 대응 협의 필요, 수리 가능'이 있으나, A/S 인력 수·부서·서비스망·예비품 보유를 요구하는 문장은 없다.

• 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 A/S 인력 수가 적혀 있지 않다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 A/S 조직 관련 평가 점수 항목이 없다.
• 대상 · - 해당하는 대상이 없다.

주제 · 가격·대금·계약 조건 11개

총액·단가 방식

총액

사업비가 총액 40,700,000원(VAT 포함)으로 제시되어 있고, 규격제안서 제출 시 별도 금액산정은 인정하지 않는다고 적혀 있다. 정산·단가 조정에 대한 별도 문구는 없다.

• 정산 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 실적·실비 정산 또는 확정 금액이라고 명시한 문장이 없다.
• 단가 조정 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 낙찰 단가 고정·시세 연동·협의 조정에 대한 문구가 없다.

사 업 비 : 금 40,700,000원 (VAT. 포함)

제안사가 물량 또는 기술을 제안할 수 있으나, 별도의 금액산정은 인정하지 않는다.

물량 변동

확정

품명·수량(1 ea)·규격·납품기한이 규격서와 공고에 확정되어 제시되어 있다.

품 명 | (국문): 원격 플라즈마 발생기 | 수 량 | 1

납품 기한은 계약 후 60일 이내

발주처 단가 기준

단가·금액이 적혀 있음

사업비 40,700,000원(VAT 포함)이 공고에 적혀 있다. 품셈·노임·요율 등 산정 기준은 없다.

사 업 비 : 금 40,700,000원 (VAT. 포함)

계약 상대

공고 낸 기관 직접

공고기관과 수요기관이 모두 (주)케이에스엠컴포넌트로, 다른 계약·대금 상대에 대한 문구가 없다.

그대로 넘길 돈

아니다

계약금액 안에서 다른 곳에 넘기거나 정해진 곳에 써야 하는 돈에 대한 문구가 없다.

• 넘길 돈 · 해당 없음 해당 항목이 없다.
• 투찰 때 반영 · 해당 없음 해당 항목이 없다.

견적 근거

물량·목록만 공개

규격서에 장비 구성·성능·규격·수량이 제시되어 있으나 단가·내역서는 공개되지 않았다.

• 이윤 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 원가계산서·산출내역이 공개되지 않았다.

I. 장비의 구성 (Configuration of Goods)

II. 성능 및 규격(Performance and Specification)

대금 받는 때

끝난 뒤 한 번에

납품·설치·시운전·교육 완료 후 대금을 받는 구조로 보이나 지급 시점·방식에 대한 명시적 문구는 없다.

• 선금 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 선금 비율에 대한 문구가 없다.
• 지급 기한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 청구 후 지급 기한에 대한 문구가 없다.

공채·채권

모름 · 문서로 확인 안 됨

공채·채권 매입에 대한 문구가 없다.

보험 가입

없음

이 일 때문에 들어야 하는 보험·공제에 대한 요구가 문서에 없다.

• 보상 한도 · 해당 없음 보험 요구가 없다.
• 보험료 · 해당 없음 보험 요구가 없다.
• 대상 · 해당 없음 보험 요구가 없다.

계약 변동 가능

그렇다

사업기간이 제안사 일정·예산 상황 등 현장 여건에 따라 조정될 수 있다고 적혀 있다.

• 바뀔 수 있는 것 · 금액·물량·기간이 바뀔 수 있음 사업기간이 현장 여건에 따라 조정될 수 있다고 적혀 있다.

  사업기간은 제안사의 일정, 예산 상황 등 현장의 여건에 따라 조정될 수 있음

사업기간은 제안사의 일정, 예산 상황 등 현장의 여건에 따라 조정될 수 있음

부가세 과세

과세

사업비가 VAT 포함으로 표기되어 있어 과세로 본다.

• 투찰가에 부가세 · 넣는다 사업비가 VAT 포함으로 제시되어 있다.

  사 업 비 : 금 40,700,000원 (VAT. 포함)

사 업 비 : 금 40,700,000원 (VAT. 포함)

뽑는 방식 · 입찰 방식 7개

회사 속성 우대

없음

평가표(규격평가 기준표)에 회사 속성 우대 항목이 없고, 입찰참가자격에도 회사 속성 우대가 없다.

• 우대 대상 · 없음 창업기업·여성기업·장애인기업·사회적기업·소기업·고용 실적·인증·산업재해율 관련 우대 문구가 문서에 없다.
• 가점 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 가점이 없어 크기도 없다.

신용등급·경영상태

없음

신용평가등급·기술신용평가 등급·경영상태를 참가 조건이나 점수로 보는 문구가 없다. 평가표는 적정성·사업수행·기술지원 항목뿐이다.

• 등급이 없을 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 등급이 없거나 업력이 짧은 회사의 평가 방법이 적혀 있지 않다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 신용평가 관련 배점이 없다.
• 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 신용평가등급·기술신용평가 등급·재무비율·매출 규모·지급여력비율 관련 평가 문구가 없다.

보유 인력

없음

보유 인력의 수·등급을 점수나 참가 조건으로 보는 문구가 없다.

• 기준 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 기준 인원이 적혀 있지 않다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 기술인력 보유 배점이 없다.

소속 직원

없음

투입 인력이 우리 회사 소속 직원이어야 한다는 조건이나 재직 기간·고용 형태 조건, 프리랜서·외부 전문가 허용 여부에 대한 문구가 없다.

• 재직 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 재직 기간 조건이 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 관련 배점이 없다.
• 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 대상 인력 규정이 없다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 외부 전문가 활용 관련 문구가 없다.

큰 배점 항목

적정성 - 공고 및 규격서(사양서)와의 적합성(요구사양 및 제안사양 비교) 30점, 적정성 - 장비 사양 및 구성의 적절성 20점, 사업수행 - 납품 및 설치 일정 계획 20점, 기술지원 - 품질보증 계획 20점.

규격평가 기준표 배점: 적정성 50%(적합성 30 + 사양·구성 20 + 성능검증 10), 사업수행 30%(납품·설치 일정 20), 기술지원 20%(품질보증 20).

- 공고 및 규격서(사양서)와의 적합성
∙ 요구사양 및 제안사양 비교 | 30

- 장비 사양 및 구성의 적절성
∙ 카탈로그, 설계 도면, 구성품 내역 등
∙ 장비 사양 및 특성, 성능 등 | 20

- 납품 및 설치 일정 계획
∙ 주요 기자재 확보 및 사용 계획
∙ 단계별 추진 일정 계획
∙ 시운전 계획 | 20

- 품질보증 계획
∙ 장비, 시스템 등 하자보수 계획
∙ 사용자 교육 일정 등 | 20

무상 추가 제공

없음

무상 유지보수·사후지원 기간이나 과업 밖 추가 제공을 약속하면 점수를 받는다는 문구가 없다. 하자보증기간 1년은 규격서·공고에 적힌 계약 조건이다.

• 요구 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 유지보수·사후지원 약속 기간 요구가 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 관련 배점이 없다.
• 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 유지보수·추가 제공 관련 평가 문구가 없다.

평가 자리 발표

서면 평가만

발표평가 없이 제안서 서면평가를 진행한다.

• 빠지면 · 해당 없음 발표가 없으므로 해당 없음.

- 발표평가 없이 제안서 서면평가 진행

카테고리 · 연구·실험·계측장비 5개

지원사업·R&D 재원

연구개발 과제·연구비(연구장비 지원사업 포함)

과제명: 극한 환경 반도체 공정에서 내플라즈마성과 내식성이 향상된 서셉터를 개발하는 과제. 본 사업은 연구개발 과정에서 테스트 공정을 구축하기 위함.

가. 당사의 과제는, 극한 환경 반도체 공정에서 내플라즈마성과 내식성이 향상된 서셉터를 개발 하는 것이다.

다. 본 사업은 연구개발 과정에서, 플라즈마가 인가된 환경에서의 불화가스에 대한 내식성에 대 해, 서셉터 제품을 타겟으로 한 테스트 공정을 구축하기 위함이다.

품질 인증

없음

품질·환경·안전·정보보호 인증이나 업무 절차서를 참가 조건·평가 점수·계약 의무로 요구하는 문장이 없다.

경비 부담

우리 부담(대가 안)

규격서에 명시되지 않은 장비·물량·기술을 제안사가 제안할 수 있으나 별도 금액산정은 인정하지 않으며, 제안 관련 일체 소요비용은 입찰참가자 부담.

• 관급 금액 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 관급 자재·금액에 대한 기재가 없다.
• 관급 설치 · 해당 없음 관급 기기·자재가 없어 설치 주체를 따질 일이 없다.

라. 제출된 규격 제안서는 일체 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요비용은 입찰참 가자의 부담으로 한다.

다. 규격제안서 제출 시 제안사에 따라 본 장비의 설치 시 규격서에 명시되지 않은 장비 및 물 량 또는 기술 등이 있을 때에는 제안사가 물량 또는 기술을 제안할 수 있으나, 별도의 금 액산정은 인정하지 않는다.

공정 장비 종류

CVD · 식각

원격 고밀도 플라즈마 발생기로 F 라디칼을 공급해 챔버 내부 불순물을 화학적으로 세정(식각)하는 장치이며, 플라즈마를 이용해 이온화시킨 F Radical을 공급한다.

본 장비는 반도체 장비 Chamber 내부에 Plasma를 이용하여 이온화 시킨 “F” Radical을 공급하여 Chamber 내부의 이물질을 제거하는 장치

Remote Plasma Source는 챔버 내부의 불순물을 화학적으로 세정하기 위해 F(불소) Radicla을 공급하는 원격 고밀도 플라즈마 발생기로, 제품의 내플라즈마 파티클 테스트에서 핵심적인 역할을 수행한다.

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

해당 없음

장비가 받는 기판(웨이퍼) 크기에 대한 기재가 없다.

문서 발췌

과업·요구

=== RPS 발생기 입찰공고.pdf ===

입 찰 공 고

Remote Plasma Source

(RPS 발생기) 구매

2026. 09. 22

KSM컴포넌트

▣ Remote Plasma Source 구매

1. 사업목적 가. 당사의 과제는, 극한 환경 반도체 공정에서 내플라즈마성과 내식성이 향상된 서셉터를 개발 하는 것이다. 나. 반도체 제조공정에서 공정중 발생되는 불순물들이 챔버 벽면과 서셉터에 증착되고, 증착된 불순물들이 박리되면 파티클로써 웨이퍼 품질에 영향을 주게된다. 다. 본 사업은 연구개발 과정에서, 플라즈마가 인가된 환경에서의 불화가스에 대한 내식성에 대 해, 서셉터 제품을 타겟으로 한 테스트 공정을 구축하기 위함이다. 다. Remote Plasma Source는 챔버 내부의 불순물을 화학적으로 세정하기 위해 F(불소) Radicla을 공급하는 원격 고밀도 플라즈마 발생기로, 제품의 내플라즈마 파티클 테스트에서 핵심적인 역할을 수행한다. 2. 사업개요 가. 사 업 명 : Remote Plasma Source 구매 나. 사업기간 : 공고문 참조 다. 사 업 비 : 금 40,700,000원 (VAT. 포함) 3. 사업범위 가. 장비 구축 및 설치 나. 납품 및 시운전 다. 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육 4. 납품조건 가. 사업기간은 제안사의 일정, 예산 상황 등 현장의 여건에 따라 조정될 수 있음 나. 본 사업의 제안사는 현장설치 일정에 맞추어 기자재를 납품하여 장비 가동에 차질이 없도록 하여야 함

참가자격

다. 현장 설치(납품) 후 시운전 진행과 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육 진행 라. 납품 기한은 계약 후 60일 이내 5. 하자보증기간 : 설치일로부터 1년 - 2 -

▣ 업체 선정방법 (입찰 및 낙찰방법)

1. 선정기준 가. 입찰 방식 : 규격·가격동시입찰 나. 제안서 평가 및 기준 - 규격입찰제안서에 대한 평가 결과, 구매규격서에서 정한 필수 규격을 모두 충족한 자에 한하 여 가격개찰을 실시하며, 예정가격 이하의 유효한 입찰자 중 최저가격 입찰자를 낙찰자로 결 정함. - 적격점수는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제 42조(국고의 부담이 되는 경 쟁입찰에서의 낙찰자 결정기준)에 의거 85점 이상으로 함 ※ 입찰보증금은 전자입찰서 제출 시 입찰보증금 지급각서로 갈음함. 2. 입찰참가자격 가. 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격 등록규정에 의하여 RPS발생기 또는 본 구매 장비와 동등 한 물품의 제조 또는 공급이 가능한 업체 나. 부정당업체로 입찰참가 자격 제한을 받고 있지 않은 업체 다. 기타 공고서에 정한 바에 따름 ※ 개찰 후 업체는 수요기관의 기기사양에 대한 규격검토확인서를 제출하여야 함. (KSM컴포넌트의 규격 통과 확인 날인 필수이며, 규격검토 결과 부적합 시 입찰참가자격 미달로 처리함.) ※ 낙찰자로 처리(결정)된 후에도 계약체결 대상 업체로 부적합한 하자 발견 시 계약대상 선순위에서 배제될 수 있으며, 이 경우 차순위자와 계약을 협의할 수 있음.

배점·평가

3. 제안서 평가 가. 평가 일시 및 장소 - 규격제안서 접수 및 개찰 후 7일 이내 - 발표평가 없이 제안서 서면평가 진행 나. 평가위원회 - 수요기관은 장비 규격 검토가 가능한 내부 담당자 등으로 자체 평가위원회를 구성하여 평가 할 수 있음. 다. 평가기준 - KSM컴포넌트에서 마련한 규격 및 가격 동시입찰 규격평가 기준표(붙임 2)를 기준으로 평가 라. 평가방법 - 규격평가 결과 구매규격서의 필수 규격을 모두 충족한 자에 한하여 가격개찰을 실시하며, 예 정가격 이하의 유효한 입찰자 중 최저가격 입찰자를 낙찰자로 선정함. - 평가 부문별 각 부문의 취득점수가 부여된 점수의 50%를 넘지 못하는 경우가 1부문이라도 발생할 경우 또는 입찰참가자격에 부합하지 못하는 경우에는 규격 미달로 판정함. - 제안서 평가는 적정성 50%, 사업수행 30%, 기술지원 및 유지보수 20%로 함. 마. 제안서 평가 문의 : 케이에스엠컴포넌트 소재개발팀 (담당자 : 지준빈, 010-8969-1945) - 3 -

▣ 규격제안서 작성 요령

1. 일반사항 - 본 규격제안요청서는 KSM컴포넌트에서 시행하는 “Remote Plasma Source” 구매에 대한 제안요청서이다. 2. 규격제안서 작성방법 가. 규격제안서는 목차 순서대로 작성하며 정확하고 명료하게 누락 없이 작성한다. 나. 규격제안서를 허위로 작성해서는 안되며, 허위로 작성된 사실이 발견될 경우에는 심사대상 에서 제외한다. 다. 규격제안서 제출 시 제안사에 따라 본 장비의 설치 시 규격서에 명시되지 않은 장비 및 물 량 또는 기술 등이 있을 때에는 제안사가 물량 또는 기술을 제안할 수 있으나, 별도의 금 액산정은 인정하지 않는다.