급속열처리기 구매

요약 AI 요약

차세대 반도체·디스플레이·나노 신소재 연구개발을 위한 급속열처리(RTP) 장비 1세트를 구매하는 사업이다. 웨이퍼·기판 시편을 진공 분위기에서 고온·단시간 열처리하는 장비를 도입한다.

• 공정 챔버 모듈: 스테인리스·알루미늄 냉각벽 구조 챔버, 상단 탑 플레이트 개폐 방식 웨이퍼 로딩/언로딩, 램프·석영 플레이트 상단 구성
• 기판 홀더 유닛: 최대 4인치 웨이퍼 지지, 석영 가이드·지지핀, 웨이퍼 열 손실 최소화 설계
• 히팅 소스 유닛: 적외선 할로겐 램프, 1존 디지털 PID 온도 제어, 반사판·냉각 하우징, 열전대 포함
• 진공 모듈: 정전용량형 진공게이지·ATM 센서, 공압식 앵글 밸브, 오토 벤트 밸브, 스테인리스 하드라인·벨로우즈 라인
• 가스 공급 모듈: Ar 및 H2(4%)+Ar 질량유량계(MFC) 각 1개, N2 니들 밸브(퍼지·벤트용), 공압식 다이어프램 밸브, 316L 스테인리스 튜브
• 제어 모듈: 산업용 PC(MS 윈도우, 터치모니터)+PLC, 아날로그·디지털 입출력 카드, 공정 전용 소프트웨어(GUI, 데이터로깅, 레시피 편집·저장·다운로드·Run), 탁상형 프레임

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핵심요약

걸리는 것

추가 자격 요건 · 직접 생산만 · 제조사 확약서

추가 자격 요건

직접생산확인 증명서 소지자여야 함

중소기업청 고시 ｢중소기업자간 경쟁제품 직접생산 확인기준｣에 의거 직접생산확인 증명서 소지자

직접 생산만

직접생산확인 증명서 소지자 요구. 제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서 제출 요구.

중소기업청 고시 ｢중소기업자간 경쟁제품 직접생산 확인기준｣에 의거 직접생산확인 증명서 소지자

제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서

제조사 확약서

제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서를 입찰 시 제출서류로 요구. 제조사면 면제 규정 없음.

⑦ 제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서

입찰 전

사전 참가신청·등록 · 샘플·시안 선제출 · 벽

입찰 전 따로 할 절차 · 사전 참가신청·등록

제안서를 입찰 등록 마감 전까지 사전 제출하여 통과해야 함. 나라장터 입찰참가자격 등록도 마감일시까지 필요.

당해 구매 물품 또는 동등 이상의 제품으로써 해당 제품에 관한 제안서를 사전 제출하여 통과한 업체(입찰 등록 마감 전까지 제안서를 제출하여야 함)

국가종합전자조달시스템에 입찰 참가 자격등록 마감 일시까지 세부품명번호 10자리 4110460101(실험실용전기로)로 입찰 참가 등록한 업체

샘플·시안 선제출 · 벽

입찰 등록 마감 전까지 국문규격서 대비 응찰제품 제안서 및 증빙서류(카탈로그 등)를 제출하여 통과한 업체만 입찰참가자격이 있음. 제안서 미표시 규격·사양만 기재 시 부적격 처리될 수 있음.

당해 구매 물품 또는 동등 이상의 제품으로써 해당 제품에 관한 제안서를 사전 제출하여 통과한 업체(입찰 등록 마감 전까지 제안서를 제출하여야 함)

미표시 규격이 있을 경우 규격심사 부적격 처리 될 수 있습니다.

규격·기술 심사

항목마다 적합·부적합

규격가격동시입찰로 제안서 심사 적격자 중 예정가격 이하 최저가 낙찰. 제안서에 미표시 규격이 있으면 규격심사 부적격 처리.

• 통과선 · 해당 없음 점수제 아님.
• 필수 항목·과락 · 해당 없음 점수제 아님.

8. 낙찰자 결정방법 : 제안서 심사 적격자 중 예정가격 이하 최저가로 입찰한 자를 낙찰자로 결정함

① 우리원이 제시하는 입찰공고문의 국문규격서와 관련된 규격 사항을 전부 기재 해주시기 바라며, 미표시 규격이 있을 경우 규격심사 부적격 처리 될 수 있습니다.

문서 분석

수행 기간

납품 2026년 12월 20일 이내(날짜로 정한 납기)

납품기간 2026년 12월 20일 이내. 기점은 명시되지 않음.

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 없음 2026.12.20 이내라는 납기만 있고 옮길 수 없다는 문구는 없음

마. 납품기간 : 2026년 12월 20일 이내

1. 납기 : 2026년 12월 20일 이내이어야 함

문서 분석

하자보수

1년

하자보증기간은 검수 완료 후 1년이며, 보증기간 중 설계·제작상 하자로 인한 고장·성능 저하 시 납품자 부담으로 즉시 조치한다.

• 기점 · 설치·검수 완료일 검수 완료 후 1년

  하자보증기간 : 검수 완료 후 1년 이어야 함

• 보증 기간 정기점검 · 없음 보증 기간 중 정기점검 요구가 없다.
• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 소모성·정기정비 부품의 무상 여부가 적혀 있지 않다.

하자보증기간 : 검수 완료 후 1년 이어야 함

보증기간 중 설계 및 제작상의 하자로 인한 고장 또는 성능 저하 시 납품자의 부담으로 즉시 조치를 취하여 정상화시켜야 한다.

문서 분석

가격

추정가격

41,500,000원

배정예산

45,650,000원

부가세

4,150,000원

예정가격 방식

복수예가

첨부파일

• HWP · 4. 청렴계약이행각서.hwp · 공고규격서
• HWP · 5. 퇴직자 영입현황 확인서.hwp · 공고규격서
• HWP · 1. 내자구매 입찰공고문[제26164호].hwp · 공고규격서
• PDF · 1. 내자구매 입찰공고문[제26164호].pdf · 공고규격서
• PDF · 2. 국문규격서.pdf · 공고규격서
• HWP · 3. 제안서[양식].hwp · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

납품

납품

납품 2026년 12월 20일 이내(날짜로 정한 납기) · 문서

품명

실험실용전기로 (4110460101)

세부품명 등록

등록 필요

제조물품

아니오
문서: 직접 생산 · 필수 · 못 맞추면 탈락

수량

1 ea
문서: 일의 분량 · 1SET

인도조건

설치까지 · 현장설치도
문서: 일의 끝 · 설치·시운전·가동까지

참가 자격 · 제한

지역제한

제한 없음
문서: 지역 조건 · 없음

업종제한

제한 없음
문서: 업종·면허 조합 · 한 업종
문서: 설치 공사업 면허 · 없음

제출 방법

전자입찰
문서: 입찰 전 절차 · 사전 참가신청·등록

실적경쟁 · PQ

모름
문서: 실적 · 없음

공동수급

공동수급불허
문서: 공동수급 · 막음

입찰참가 제한

모름

국제입찰

국내입찰

입찰 일정

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 급속열처리기(RTP) 구매·설치·시운전·교육

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

반도체·디스플레이·나노소재 연구용 웨이퍼 열처리 공정장비(RTP)를 제작·구매하는 건으로, 반도체·박막 공정장비에 해당한다.

• 운반
• 설치(장착 기구부·설치 협의)
• 시운전
• 운전교육(횟수 협의)
• 사용자 매뉴얼(책자 1부, PDF)
• 공정 전용 SW 영구 사용 권한
• Factory Test Sheet 제출
• 납품 전 제조자 클린룸 성능검사·공정 시연
• 검수 완료 후 1년 하자보증 및 하자 조치

걸리는 것 · 입찰 전 할 일

걸리는 조건

추가 자격 요건

직접생산확인 증명서 소지자여야 함

중소기업청 고시 ｢중소기업자간 경쟁제품 직접생산 확인기준｣에 의거 직접생산확인 증명서 소지자

직접 생산만

직접생산확인 증명서 소지자 요구. 제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서 제출 요구.

중소기업청 고시 ｢중소기업자간 경쟁제품 직접생산 확인기준｣에 의거 직접생산확인 증명서 소지자

제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서

제조사 확약서

제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서를 입찰 시 제출서류로 요구. 제조사면 면제 규정 없음.

⑦ 제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서

입찰 전 할 일

• 입찰 전 따로 할 절차 · 사전 참가신청·등록

  제안서를 입찰 등록 마감 전까지 사전 제출하여 통과해야 함. 나라장터 입찰참가자격 등록도 마감일시까지 필요.

  당해 구매 물품 또는 동등 이상의 제품으로써 해당 제품에 관한 제안서를 사전 제출하여 통과한 업체(입찰 등록 마감 전까지 제안서를 제출하여야 함)

  국가종합전자조달시스템에 입찰 참가 자격등록 마감 일시까지 세부품명번호 10자리 4110460101(실험실용전기로)로 입찰 참가 등록한 업체

• 샘플·시안 선제출 · 벽

  입찰 등록 마감 전까지 국문규격서 대비 응찰제품 제안서 및 증빙서류(카탈로그 등)를 제출하여 통과한 업체만 입찰참가자격이 있음. 제안서 미표시 규격·사양만 기재 시 부적격 처리될 수 있음.

  당해 구매 물품 또는 동등 이상의 제품으로써 해당 제품에 관한 제안서를 사전 제출하여 통과한 업체(입찰 등록 마감 전까지 제안서를 제출하여야 함)

  미표시 규격이 있을 경우 규격심사 부적격 처리 될 수 있습니다.

더 확인할 것

기성품·주문제작

이럴 때 꼭 봅니다 — 주문제작 · 설계부터 우리가

주문제작(받은 규격·도면대로)

국문규격서의 상세 규격에 따라 제작되어야 하며, 본체 및 구성품은 신품을 사용해야 한다. 공정 전용 SW는 장비 운용을 위한 영구 사용 권한을 제공하는 것으로, 별도 커스터마이징 개발은 없다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품을 엮어 하나의 시스템으로 통합한다는 내용이 없다.

4. 본 장비는 다양한 반도체소자 제작 및 소재 열처리에 활용되어야 하므로 사용 가능 온도, 온도 안정성, 냉 각속도, 사용 가스의 다양성 등이 주요 성능 지표이며, 이를 반영하여 제작되어야 한다.

8. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다.

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

가스 공정 제어 방식에서 Ar, H2(4%)+Ar 질량유량계(MFC) 각 1개를 '동등 또는 이상'으로 허용. 그 외 제품·공법·형식 지정 없음.

• 동등 입증 때 · 입찰 때(공고일·마감일 기준) 입찰참가자격에서 '당해 구매 물품 또는 동등 이상의 제품으로써 해당 제품에 관한 제안서를 사전 제출하여 통과한 업체(입찰 등록 마감 전까지 제안서를 제출하여야 함)'로 규정.

  나. 당해 구매 물품 또는 동등 이상의 제품으로써 해당 제품에 관한 제안서를 사전 제출하여 통과한 업체(입찰 등록 마감 전까지 제안서를 제출하여야 함)

- 공정 가스 제어 방식: Ar, H2(4%)+Ar 질량유량계(Mass Flow Controller, MFC) 각 1개 동등 또는 이상

합격선

숫자 기준 있음

온도 정확성·반복성 ≤±3℃, 최대 가열 온도 1,250℃, 승온 속도 50~200℃/sec, 온도 균일도 ≤±1.5% @800℃, 온도 안정성 ≤±3℃ 등 공정 조건 수치. 납품 전 제조자 clean room에서 성능 검사 및 공정 시연, Factory Test Sheet 제출.

• 따를 표준·지침 · 해당 없음 따르라고 지정한 표준·지침·법령·양식·방법론 없음.

6. 본 장치는 온도 정확성과 반복성을 ≤±3℃로 충족하여야 한다.

가. 최대 가열 온도: 1,250℃

다. 승온 속도: 50~200℃/sec for Silicon wafer

라. 온도 균일도: ≤ ±1.5% @800℃, Silicon wafer

마. 온도 정확도 및 재현도: ≤ ±3℃ at Set temperature

바. 온도 안정성: ≤ ±3℃

사. 구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출)

아. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함.

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

항목별 규격 대비표 · 카탈로그·제조사 사양서

국문규격서 대비 응찰제품의 제안서 및 증빙서류 각 1부 제출. 증빙자료는 카탈로그 등 규격 사항 증빙자료에 규격서상 규격 부분을 표시하여 제출.

• 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 보완에 대한 규정 없음.

① 국문규격서 대비 응찰제품의 제안서 및 증빙서류 각 1부

- 증빙자료 : 카탈로그 등 규격 사항 증빙자료에 규격서상 규격 부분을 표시하여 제출

참가 범위

공개 경쟁

제한경쟁이지만 조건을 갖춘 중소기업이면 참여 가능하며, 특정 명단·협약 업체로 한정하지 않음.

입찰방법 : 제한(총액) 규격가격동시(전자입찰)

계약방법 : 제한경쟁

현장 여건

설치(장착 기구부와 설치는 장비업체와 협의 후 진행), 시운전, 운전교육 포함. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하며 이를 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함.

성능 검사·공정 시연을 위한 제반시설은 제조자(납품자) 부담. 설치장소는 연구원 내 실험실.

• 부대공사·현장 준비 · 우리 부담(대가 안) 성능 검사·공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 유틸리티)을 제조자가 부담. 대가 포함 여부는 명시 없음.

  이때, 성능 검사 및 공정 시연 을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구 성하도록 함.

• 위험작업 · 없음 고온 열처리 장비이나 위험작업 관련 별도 기재 없음

2. 운반, 설치(장착 기구부와 설치는 장비업체와 협의 후 진행), 시운전, 운전교육 포함(횟수 협의)

아. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연 을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구 성하도록 함.

공장 실사·입회

납품 전 검사

납품 전 제조자의 clean room에서 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 함. 발주처의 공장 실사·제작 중 입회 규정은 없음.

납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함.

큰 배점 항목

해당 없음(평가표 없음 — 소액 추첨 등)

규격가격동시입찰로 제안서 심사 적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자를 낙찰자로 결정하며, 배점 평가표가 문서에 없다.

낙찰자 결정방법 : 제안서 심사 적격자 중 예정가격 이하 최저가로 입찰한 자를 낙찰자로 결정함

평가 자리 발표

서면 평가만

규격심사는 한국과학기술연구원에서 진행되며, 제출서류는 국문규격서 대비 응찰제품의 제안서 및 증빙서류를 나라장터를 통해 온라인 제출한다. 발표·질의응답에 관한 규정은 없다.

• 빠지면 · 해당 없음 발표가 없으므로 해당 없음.

규격심사는 한국과학기술연구원에서 진행되며, 개찰은 상기 개찰일시에도 불구하고 입찰 관련 서류평가 완료 후 진행됩니다.

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

4inch 이하

기판 사이즈: 최대 4인치 웨이퍼

기판 사이즈: 최대 4인치 웨이퍼

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

10/13(화)

공고번호

R26BK01767099-000

참조번호

5197-00125

공고기관

한국과학기술연구원

수요기관

한국과학기술연구원

계약방법

제한경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

41,500,000원

배정예산

45,650,000원

사전규격번호

R26BD00281477

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 분석 전체

이 분야에서 갈리는 것 · 우리가 만드는 공정 방식·기판 크기인가, 주문제작을 150일 안에 끝낼 수 있나, 기술평가 85점을 넘나, 3년 품질보증을 감당하나에서 갈린다.

질문 87개 · 꼭 5 · 좋음 20 · 안 봐도 됨 62

주제 · 참가 자격 9개

업종·면허 조합

한 업종

세부품명번호 10자리 4110460101(실험실용전기로)로 입찰 참가 등록한 업체. 코드 밖 자격으로 직접생산확인 증명서 소지 요구.

• 코드 밖 자격 · 벽 · 못 맞추면 탈락 직접생산확인 증명서 소지자여야 함

  중소기업청 고시 ｢중소기업자간 경쟁제품 직접생산 확인기준｣에 의거 직접생산확인 증명서 소지자

󰡔국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정󰡕에 의하여 국가종합전자조달시스템에 입찰 참가 자격등록 마감 일시까지 세부품명번호 10자리 4110460101(실험실용전기로)로 입찰 참가 등록한 업체

중소기업청 고시 ｢중소기업자간 경쟁제품 직접생산 확인기준｣에 의거 직접생산확인 증명서 소지자

지역 조건

없음

본점 지역 제한 외 지역 조건 없음

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 대상 · -

실적

없음

실적 요구 없음

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 조건 · 없음

업력

없음

업력 요구 없음

• 요구 업력 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

공동수급

막음

분할구매 및 공동계약 불허

• 자격을 나눠 채우기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

기 타 : 분할구매 및 공동계약 불허

회사 규모·신분

중소기업만

중소기업자로서 중기업·소기업·소상공인확인서 소지 업체

󰡔중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률󰡕제2조에 의한 중소기업자로서 중소기업청 고시 제2015-1호 「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」, 중소기업청 고시 제2015-2호「장애인기업 확인요령」 및 중소기업청 고시 제2016-49호 「여성기업 확인요령」에 따라 발급된 중기업·소기업·소상공인확인서 (전자입찰서 제출 마감일 전 일까지 발급된 것으로 유효 기간 발급 내에 있어야 함)를 소지한 업체

안전보건수준평가

없음

안전보건수준평가 대상 사업이라는 문구 없음

하도급

모름 · 문서로 확인 안 됨

하도급 허용·금지 문구 없음

• 하도급 한도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

직접 생산

벽 · 못 맞추면 탈락

직접생산확인 증명서 소지자 요구. 제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서 제출 요구.

• 참가 등록 · 제조만 직접생산확인 증명서 소지자

  중소기업청 고시 ｢중소기업자간 경쟁제품 직접생산 확인기준｣에 의거 직접생산확인 증명서 소지자

• 직생 범위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 대상 · 우리가 직접 만든 것만(직생·제조 등록·OEM 불가) 직접생산확인 증명서 소지자

  중소기업청 고시 ｢중소기업자간 경쟁제품 직접생산 확인기준｣에 의거 직접생산확인 증명서 소지자

중소기업청 고시 ｢중소기업자간 경쟁제품 직접생산 확인기준｣에 의거 직접생산확인 증명서 소지자

제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서

주제 · 제품 규격·인증 9개

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

가스 공정 제어 방식에서 Ar, H2(4%)+Ar 질량유량계(MFC) 각 1개를 '동등 또는 이상'으로 허용. 그 외 제품·공법·형식 지정 없음.

• 동등 입증 때 · 입찰 때(공고일·마감일 기준) 입찰참가자격에서 '당해 구매 물품 또는 동등 이상의 제품으로써 해당 제품에 관한 제안서를 사전 제출하여 통과한 업체(입찰 등록 마감 전까지 제안서를 제출하여야 함)'로 규정.

  나. 당해 구매 물품 또는 동등 이상의 제품으로써 해당 제품에 관한 제안서를 사전 제출하여 통과한 업체(입찰 등록 마감 전까지 제안서를 제출하여야 함)

- 공정 가스 제어 방식: Ar, H2(4%)+Ar 질량유량계(Mass Flow Controller, MFC) 각 1개 동등 또는 이상

제조사 확약서

벽 · 못 맞추면 탈락

제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서를 입찰 시 제출서류로 요구. 제조사면 면제 규정 없음.

• 대상 · 공급 확약서 · 기술지원·A/S 확약서 · 대리점·총판·공식 파트너 지위 제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서 — 공급 확약, 기술지원 확약, 정식대리점 지위를 함께 요구.

  ⑦ 제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서

• 조건 · 없음 제조사면 면제한다는 규정 없음.

⑦ 제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서

제품 인증

없음

인증·허가·시험성적서를 갖추라고 요구한 문장 없음. 다만 납품 전 제조자 clean room에서 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐 검수 조건 만족 시 납품 가능(Factory Test Sheet 제출).

• 크기 · 해당 없음 점수제 아님(제안서 심사 적격자 중 최저가 낙찰).
• 대상 · - 해당 인증·시험 없음.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 입증 수단에 대한 규정 없음.

원산지(국산)

모름 · 문서로 확인 안 됨

원산지 제한에 대한 문장 없음.

합격선

숫자 기준 있음

온도 정확성·반복성 ≤±3℃, 최대 가열 온도 1,250℃, 승온 속도 50~200℃/sec, 온도 균일도 ≤±1.5% @800℃, 온도 안정성 ≤±3℃ 등 공정 조건 수치. 납품 전 제조자 clean room에서 성능 검사 및 공정 시연, Factory Test Sheet 제출.

• 따를 표준·지침 · 해당 없음 따르라고 지정한 표준·지침·법령·양식·방법론 없음.

6. 본 장치는 온도 정확성과 반복성을 ≤±3℃로 충족하여야 한다.

가. 최대 가열 온도: 1,250℃

다. 승온 속도: 50~200℃/sec for Silicon wafer

라. 온도 균일도: ≤ ±1.5% @800℃, Silicon wafer

마. 온도 정확도 및 재현도: ≤ ±3℃ at Set temperature

바. 온도 안정성: ≤ ±3℃

사. 구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출)

아. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함.

등록 제품

없음

우수제품·혁신제품·규격심의·사전등록·제품 실적 등 목록·지정 요구 없음.

• 대상 · - 해당 없음.

신품·제조 시기

의무 · 계약 뒤 지킬 일

본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 함.

• 제조 뒤 경과 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조 뒤 경과 상한 규정 없음.
• 남은 유효기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 남은 유효기간 규정 없음.

8. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다.

규격·기술 심사

항목마다 적합·부적합

규격가격동시입찰로 제안서 심사 적격자 중 예정가격 이하 최저가 낙찰. 제안서에 미표시 규격이 있으면 규격심사 부적격 처리.

• 통과선 · 해당 없음 점수제 아님.
• 필수 항목·과락 · 해당 없음 점수제 아님.

8. 낙찰자 결정방법 : 제안서 심사 적격자 중 예정가격 이하 최저가로 입찰한 자를 낙찰자로 결정함

① 우리원이 제시하는 입찰공고문의 국문규격서와 관련된 규격 사항을 전부 기재 해주시기 바라며, 미표시 규격이 있을 경우 규격심사 부적격 처리 될 수 있습니다.

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

항목별 규격 대비표 · 카탈로그·제조사 사양서

국문규격서 대비 응찰제품의 제안서 및 증빙서류 각 1부 제출. 증빙자료는 카탈로그 등 규격 사항 증빙자료에 규격서상 규격 부분을 표시하여 제출.

• 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 보완에 대한 규정 없음.

① 국문규격서 대비 응찰제품의 제안서 및 증빙서류 각 1부

- 증빙자료 : 카탈로그 등 규격 사항 증빙자료에 규격서상 규격 부분을 표시하여 제출

주제 · 입찰 절차 9개

참가 범위

공개 경쟁

제한경쟁이지만 조건을 갖춘 중소기업이면 참여 가능하며, 특정 명단·협약 업체로 한정하지 않음.

입찰방법 : 제한(총액) 규격가격동시(전자입찰)

계약방법 : 제한경쟁

여러 과제로 나뉨

나뉘지 않음

단일 품목 1 SET 구매로 과제·권역·입찰번호로 나뉘지 않음.

• 여러 개 · 해당 없음 나뉘지 않아 해당 없음.

품 명 : 실험실용전기로(급속열처리장비) | SET | 1

입찰 전 절차

사전 참가신청·등록

제안서를 입찰 등록 마감 전까지 사전 제출하여 통과해야 함. 나라장터 입찰참가자격 등록도 마감일시까지 필요.

당해 구매 물품 또는 동등 이상의 제품으로써 해당 제품에 관한 제안서를 사전 제출하여 통과한 업체(입찰 등록 마감 전까지 제안서를 제출하여야 함)

국가종합전자조달시스템에 입찰 참가 자격등록 마감 일시까지 세부품명번호 10자리 4110460101(실험실용전기로)로 입찰 참가 등록한 업체

현장설명회

없음

사양설명은 규격서 열람으로 갈음하며, 별도 현장설명회나 답사 일정은 없음.

사양설명에 관한 사항 : 첨부한 구매사양(규격 및 시방)서 열람으로 갈음함

정정·재공고 변경

해당 없음(첫 공고)

재공고·정정 공고가 아니며, 규격 변경 가능성에 대한 언급도 없음.

낙찰 업체 수

한 업체가 전량

단일 품목 1 SET를 한 업체가 낙찰받으며, 분할구매 불허.

• 최소 응찰 물량 · 해당 없음 나눠 낙찰하지 않아 최소 응찰 물량이 없음.

기 타 : 분할구매 및 공동계약 불허

MAS 2단계경쟁

아니다

다수공급자계약(MAS)·종합쇼핑몰 2단계경쟁 구조가 아님.

입찰보증금

실제로 낸다(보증서·현금)

입찰보증금은 입찰금액의 100분의 5 이상을 입찰마감 이전까지 나라장터 온라인으로 제출. 계약·하자 보증 비율은 공고에 없음.

• 입찰보증금 비율 · 5% 이상 입찰금액의 100분의 5 이상

  입찰보증금 : 입찰금액의 100분의 5이상(설정시기 : 입찰마감 이전까지)

• 계약·하자 보증 비율 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공고에 계약보증금·하자보수보증금·이행보증 비율이 적혀 있지 않음.

입찰보증금 : 입찰금액의 100분의 5이상(설정시기 : 입찰마감 이전까지)

납부장소 및 기한 : 입찰 마감일까지(공휴일인 경우 그 전 일까지). 입찰 시 제출서류와 같이 나라장터 온라인으로 제출

문서끼리 다른 곳

아니다

입찰공고서와 규격서 간에 견적·참가가 갈리는 상이한 값은 없음. 다만 입찰공고서와 규격서가 다를 경우 입찰공고서가 우선한다는 조항은 있음.

본 입찰 집행과 관련하여 입찰공고서와 규격서(제안요청서 등 입찰 첨부서류 일체)의 내용이 서로 다를 경우 입찰공고서가 우선 적용됩니다.

주제 · 과업 범위 11개

다른 업 섞임

섞이지 않음

품목은 실험실용전기로(급속열처리장비) 1종뿐이며, 다른 면허·공종·품목의 일이 없다. 분할구매 및 공동계약 불허.

| 1 | 4110460101 | 실험실용전기로
(급속열처리장비) | SET | 1 |

사. 기 타 : 분할구매 및 공동계약 불허

하는 일

최대 4인치 웨이퍼를 진공 분위기에서 50~200℃/sec로 급속 열처리하는 RTP 장비 1 SET를 제조·납품하고, 운반·설치·시운전·운전교육까지 수행한다. 최대 가열 온도 1,250℃, 온도 정확도·재현도 ≤±3℃, 온도 균일도 ≤±1.5% @800℃ 등의 성능을 충족해야 한다.

본 장비는 최대 4인지 웨이퍼를 진공 분위기에서 급속으로 열처리하는 장비이다. 50~120℃/sec의 빠른 승 온 속도를 통해 반도체 공정에서 재료의 산화 공정, 결정화 열처리 및 도펀드 Drive-in 공정 등에 활용되 는 장비이다.

2. 운반, 설치(장착 기구부와 설치는 장비업체와 협의 후 진행), 시운전, 운전교육 포함(횟수 협의)

기존 시스템과 이어짐

없음(새로 하는 독립된 일)

기존 시스템·설비와의 연동, 기존 제조사 제품 묶임, 연속 사업, 연동 SW 개발, 상대편 연동 작업·비용에 관한 내용이 없다.

설치 공사업 면허

없음

설치가 법상 공사(전기·정보통신·수도·소방)에 해당한다는 내용이나 공사업 면허 요건이 없다. 설치(장착 기구부와 설치는 장비업체와 협의 후 진행)만 규정.

• 대상 · - 해당하는 공사업 종류가 적혀 있지 않다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급·공동수급·직접 시공에 관한 조건이 없다.

일의 끝

설치·시운전·가동까지

운반, 설치, 시운전, 운전교육 포함. 납품 전 제조자 clean room에서 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 함.

• 시험운영 기간 · 정해지지 않음 시운전은 포함되나 시험운영 기간이 정해지지 않았다.

2. 운반, 설치(장착 기구부와 설치는 장비업체와 협의 후 진행), 시운전, 운전교육 포함(횟수 협의)

아. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함.

기성품·주문제작

주문제작(받은 규격·도면대로)

국문규격서의 상세 규격에 따라 제작되어야 하며, 본체 및 구성품은 신품을 사용해야 한다. 공정 전용 SW는 장비 운용을 위한 영구 사용 권한을 제공하는 것으로, 별도 커스터마이징 개발은 없다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품을 엮어 하나의 시스템으로 통합한다는 내용이 없다.

4. 본 장비는 다양한 반도체소자 제작 및 소재 열처리에 활용되어야 하므로 사용 가능 온도, 온도 안정성, 냉 각속도, 사용 가스의 다양성 등이 주요 성능 지표이며, 이를 반영하여 제작되어야 한다.

8. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다.

함께 넘길 물품

사용자 매뉴얼(책자 1부, PDF 파일)

사용자 매뉴얼 책자 1부와 PDF 파일을 제공해야 한다.

6. 사용자 매뉴얼 (책자 1부, PDF 파일), 사용자 교육

철거·폐기

없음

기존 장비·시설의 철거·이설·폐기·반납이나 폐기물·포장재 회수에 관한 내용이 없다.

부가 작업

운전교육(횟수 협의), 사용자 교육, 사용자 매뉴얼 제공

운반·설치·시운전 외에 운전교육과 사용자 교육, 사용자 매뉴얼 제공이 포함된다.

2. 운반, 설치(장착 기구부와 설치는 장비업체와 협의 후 진행), 시운전, 운전교육 포함(횟수 협의)

6. 사용자 매뉴얼 (책자 1부, PDF 파일), 사용자 교육

디자인 몫

해당 없음

디자인·편집·원고 작업이 이 공고에 없다.

묶인 품목 수

1종

품목은 실험실용전기로(급속열처리장비) 1종, 수량 1 SET.

• 제조사 수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조사·상표·모델을 하나로 정해 적지 않았다.

| 1 | 4110460101 | 실험실용전기로
(급속열처리장비) | SET | 1 |

주제 · 납품 일정·현장 11개

일의 분량

1SET

실험실용전기로(급속열처리장비) 1 SET. 기초금액 45,650,000원(부가세 포함). 최대 4인치 웨이퍼 처리.

• 열린 분량 · 정해짐 수량 1 SET로 확정

  | 1 | 4110460101 | 실험실용전기로
  (급속열처리장비) | SET | 1 |

| 1 | 4110460101 | 실험실용전기로
(급속열처리장비) | SET | 1 |

마. 기초금액 : 45,650,000원(부가세 포함)

수행 기간

납품 2026년 12월 20일 이내(날짜로 정한 납기)

납품기간 2026년 12월 20일 이내. 기점은 명시되지 않음.

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 없음 2026.12.20 이내라는 납기만 있고 옮길 수 없다는 문구는 없음

마. 납품기간 : 2026년 12월 20일 이내

1. 납기 : 2026년 12월 20일 이내이어야 함

현장·납품지

1곳

한국과학기술연구원 L4311호(서울시 성북구 화랑로 14길 5). 공고문에는 L4312호로 기재.

• 열린 분량 · 정해짐 설치장소 1곳으로 정해짐

  5. 설치장소 : 한국과학기술연구원 L4311호 (서울시 성북구 화랑로 14길 5)

• 범위 · 없음(국내 보통 현장) 국내 서울 성북구 소재 연구원 내

  5. 설치장소 : 한국과학기술연구원 L4311호 (서울시 성북구 화랑로 14길 5)

5. 설치장소 : 한국과학기술연구원 L4311호 (서울시 성북구 화랑로 14길 5)

나. 납품 및 설치장소 : 서울 성북구 화랑로14길 5 한국과학기술연구원 L4312호

현장 여건

설치(장착 기구부와 설치는 장비업체와 협의 후 진행), 시운전, 운전교육 포함. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하며 이를 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함.

성능 검사·공정 시연을 위한 제반시설은 제조자(납품자) 부담. 설치장소는 연구원 내 실험실.

• 부대공사·현장 준비 · 우리 부담(대가 안) 성능 검사·공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 유틸리티)을 제조자가 부담. 대가 포함 여부는 명시 없음.

  이때, 성능 검사 및 공정 시연 을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구 성하도록 함.

• 위험작업 · 없음 고온 열처리 장비이나 위험작업 관련 별도 기재 없음

2. 운반, 설치(장착 기구부와 설치는 장비업체와 협의 후 진행), 시운전, 운전교육 포함(횟수 협의)

아. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연 을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구 성하도록 함.

작업 시기

해당 없음

일할 수 있는 때에 대한 제약이 문서에 없음

다른 일정에 묶임

아니다

다른 공사·사업 일정에 묶였다는 문구 없음

나눠 납품

한 번에 전량

납품기한 2026년 12월 20일 이내 하나만 적혀 있고 나눠 내라는 말이 없음

• 분할납품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 일반조건에만

마. 납품기간 : 2026년 12월 20일 이내

보관 조건

없음

보관·운송 조건 관련 요구 없음

• 대상 · - 해당 없음

주문 뒤 납품 시한

정해지지 않음

주문 후 납품 시한에 대한 규정 없음. 납품기간은 2026년 12월 20일 이내로만 정해짐.

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 기점 규정 없음

포장·표시

포장 단위나 표시·라벨 요구가 문서에 없음

해당 없음

보안 조치

없음

일반 보안 문구만 있고 이 일에 대한 구체적 보안 조치 없음

• 크기 · -
• 대상 · - 해당 없음

주제 · 견본·검사·검수 7개

검수

발주처 검수만

납품 전 제조자 clean room에서 성능 검사·공정 시연을 거쳐 검수 조건이 만족되어야 수요기관으로 납품 가능. 검수 완료 후 하자보증 1년.

납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함.

하자보증기간 : 검수 완료 후 1년 이어야 함

샘플·시안 선제출

벽 · 못 맞추면 탈락

입찰 등록 마감 전까지 국문규격서 대비 응찰제품 제안서 및 증빙서류(카탈로그 등)를 제출하여 통과한 업체만 입찰참가자격이 있음. 제안서 미표시 규격·사양만 기재 시 부적격 처리될 수 있음.

• 크기 · - 평가표 배점 없음 — 제안서 통과 여부만 규정
• 대상 · 기타 응찰제품 제안서 및 증빙서류(카탈로그 등 규격 증빙자료)

  국문규격서 대비 응찰제품의 제안서 및 증빙서류 각 1부

  증빙자료 : 카탈로그 등 규격 사항 증빙자료에 규격서상 규격 부분을 표시하여 제출

당해 구매 물품 또는 동등 이상의 제품으로써 해당 제품에 관한 제안서를 사전 제출하여 통과한 업체(입찰 등록 마감 전까지 제안서를 제출하여야 함)

미표시 규격이 있을 경우 규격심사 부적격 처리 될 수 있습니다.

시험·검사

우리 부담(대가 안)

납품 전 제조자 clean room에서 성능 검사·공정 시연을 거쳐야 하며, 이를 위한 제반시설(가스, 냉각수, 유틸리티 등)은 제조자가 부담. Factory Test Sheet 제출.

• 시험 단위 · 한 번 납품 전 1회 성능 검사·공정 시연

  납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함.

• 시험 장소 · 출고 전 공장 제조자의 clean room 내에서 실시

  납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함.

구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출)

납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연 을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구 성하도록 함.

시안 승인

-

본 작업·제작 전 시안·샘플·제작도·중간검수 승인 단계는 규정되어 있지 않음. 입찰 단계 제안서 제출만 있음.

• 수정 횟수 · - 수정 횟수 규정 없음
• 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 승인 기간이 납기에 드는지 여부 규정 없음

공장 실사·입회

납품 전 검사

납품 전 제조자의 clean room에서 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 함. 발주처의 공장 실사·제작 중 입회 규정은 없음.

납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함.

이 공고가 군수품 조달인가 — 국방부·각 군이…

아니다

수요기관은 한국과학기술연구원이며 군 전용 절차 없음

군수품이면 납품 검사·검수는 누가 하나 — 수…

해당 없음

군수품 조달이 아님

• 품질보증형태 · 해당 없음 군수품 조달이 아님

주제 · 인력·A/S·하자 대응 8개

장비·시설 보유

없음

입찰참가자격으로 나라장터 세부품명번호 4110460101(실험실용전기로) 등록, 직접생산확인 증명서 소지, 제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서 제출 등이 있으나, 이는 등록·인증·제조사 자격에 관한 것으로 일에 쓸 장비·시설 요구가 아니다. 규격서는 납품할 장비 자체의 성능·구성을 정한 것이다.

• 갖출 때 · 해당 없음 일에 쓸 장비·시설을 갖추라는 요구가 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 없음
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 임차·소유 조건이 적혀 있지 않다.

인력 자격

없음

투입 인력의 자격·등급·학위·경력·교육 이수 요구가 없다. 규격서 C.2의 운전교육은 발주처 직원 대상 교육이다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 없음
• 대상 · - 해당 없음

출동 시한

없음

고장·장애 시 현장 출동·착수 시한 요구가 없다. 규격서 C.4는 하자 발생 시 납품자 부담으로 즉시 조치하라고만 정하고 도착 시한은 없다.

• 도착 시한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 도착·착수 시한이 적혀 있지 않다.

처리 시한

-

요청·장애를 받아 처리하는 일이 없는 납품 건이다. 규격서 C.4의 하자 발생 시 즉시 조치는 처리 시한이 아니라 하자보증 의무다.

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 없음

교육·기술이전

-

운전교육 포함(횟수 협의)으로 횟수가 정해지지 않았다. 사용자 매뉴얼(책자 1부, PDF 파일)과 사용자 교육을 포함한다.

• 무상 · 우리 부담(대가 안) 운전교육·사용자 교육이 납품 조건에 포함되어 별도 대가 없이 수행한다.

  운반, 설치(장착 기구부와 설치는 장비업체와 협의 후 진행), 시운전, 운전교육 포함(횟수 협의)

운반, 설치(장착 기구부와 설치는 장비업체와 협의 후 진행), 시운전, 운전교육 포함(횟수 협의)

사용자 매뉴얼 (책자 1부, PDF 파일), 사용자 교육

하자보수

1년

하자보증기간은 검수 완료 후 1년이며, 보증기간 중 설계·제작상 하자로 인한 고장·성능 저하 시 납품자 부담으로 즉시 조치한다.

• 기점 · 설치·검수 완료일 검수 완료 후 1년

  하자보증기간 : 검수 완료 후 1년 이어야 함

• 보증 기간 정기점검 · 없음 보증 기간 중 정기점검 요구가 없다.
• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 소모성·정기정비 부품의 무상 여부가 적혀 있지 않다.

하자보증기간 : 검수 완료 후 1년 이어야 함

보증기간 중 설계 및 제작상의 하자로 인한 고장 또는 성능 저하 시 납품자의 부담으로 즉시 조치를 취하여 정상화시켜야 한다.

단종 뒤 부품 공급

해당 없음

보증 종료·단종 뒤 부품·소모품·유지보수 공급 기간을 정한 문장이 없다.

A/S 조직·인력

없음

제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서 제출이 입찰 시 제출서류로 있으나, 이는 제조사·대리점 자격 확약에 관한 것으로 A/S 조직·인력·서비스망·예비품 보유 요구가 아니다. 규격서 C.4는 하자 발생 시 납품자 부담으로 즉시 조치하라고만 정한다.

• 인원 · 해당 없음 A/S·기술 인력 수 요구가 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 없음
• 대상 · - 해당 없음

주제 · 가격·대금·계약 조건 11개

총액·단가 방식

총액

제한(총액) 규격가격동시입찰, 기초금액 45,650,000원(부가세 포함). 정산·단가 조정에 관한 문장 없음.

• 정산 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 정산 방식에 관한 문장 없음.
• 단가 조정 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 단가 조정에 관한 문장 없음.

입찰방법 : 제한(총액) 규격가격동시(전자입찰)

기초금액 : 45,650,000원(부가세 포함)

물량 변동

확정

품목·수량·사양이 국문규격서에 확정(실험실용전기로 1 SET, 상세 규격 명시).

| 1 | 4110460101 | 실험실용전기로
(급속열처리장비) | SET | 1 |

발주처 단가 기준

적혀 있지 않음

발주처가 정한 단가·품셈·요율 등 산정 기준이 공고에 없음. 기초금액만 제시.

계약 상대

공고 낸 기관 직접

공고기관·수요기관 모두 한국과학기술연구원. 다른 계약·대금 상대를 적지 않음.

그대로 넘길 돈

아니다

계약금액 안에 다른 곳에 넘기거나 정해진 곳에 써야 하는 돈을 적은 문장 없음.

• 넘길 돈 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 항목 없음.
• 투찰 때 반영 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 문장 없음.

견적 근거

물량·목록만 공개

국문규격서(품목·수량·상세 규격)가 첨부로 공개됨. 단가·원가계산서는 없음.

• 이윤 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 원가계산서·산출내역이 공개되지 않음.

3. 사양설명에 관한 사항 : 첨부한 구매사양(규격 및 시방)서 열람으로 갈음함

대금 받는 때

끝난 뒤 한 번에

납품기간 2026년 12월 20일 이내, 검수 완료 후 하자보증 1년. 지급 시기·선금에 관한 별도 문장 없음.

• 선금 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 선금 비율에 관한 문장 없음.
• 지급 기한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 지급 기한에 관한 문장 없음.

납기 : 2026년 12월 20일 이내이어야 함

공채·채권

모름 · 문서로 확인 안 됨

공채·채권 매입에 관한 문장 없음.

보험 가입

없음

이 일 때문에 들어야 하는 보험·공제를 요구한 문장 없음. 입찰이행보증보험증권은 입찰보증금으로 이 질문 대상 아님.

• 보상 한도 · 해당 없음 요구 없음.
• 보험료 · 해당 없음 요구 없음.
• 대상 · 해당 없음 요구 없음.

계약 변동 가능

아니다

낙찰 후 계약 불성립·금액·물량·기간 변경 가능성을 적은 문장 없음.

• 바뀔 수 있는 것 · 해당 없음 해당 문장 없음.

부가세 과세

모름 · 문서로 확인 안 됨

기초금액이 부가세 포함으로만 표기되어 이 일·품목의 과세·면세 여부를 말하지 않음.

• 투찰가에 부가세 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 투찰가에 부가세를 넣으라는 별도 지시 문장 없음.

기초금액 : 45,650,000원(부가세 포함)

뽑는 방식 · 입찰 방식 7개

회사 속성 우대

없음

회사 속성에 따른 가점·특례 규정이 문서에 없다. 참가자격에서 중소기업자·소기업·소상공인·장애인기업·여성기업 확인서 소지를 요구하나 이는 우대가 아니라 참가 자격이다.

• 우대 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 우대 대상으로 규정된 회사 속성이 없다.
• 가점 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 가점 규정이 없다.

신용등급·경영상태

없음

신용평가등급·기술신용평가 등급·경영상태를 참가 조건이나 점수로 보는 규정이 문서에 없다. 낙찰자 결정은 제안서 심사 적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자로 한다.

• 등급이 없을 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 등급이 없거나 업력이 짧은 회사의 평가 방법이 적혀 있지 않다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표가 없다.
• 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 대상 항목이 적혀 있지 않다.

보유 인력

없음

회사가 보유한 인력의 수·등급을 점수나 참가 조건으로 보는 규정이 문서에 없다.

• 기준 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 기준 인원이 적혀 있지 않다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표가 없다.

소속 직원

없음

투입 인력이 우리 회사 소속 직원이어야 한다는 규정이 문서에 없다. 제출서류에 퇴직자 영입현황 확인서가 있을 뿐이다.

• 재직 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 재직 기간 조건이 적혀 있지 않다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표가 없다.
• 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 대상이 적혀 있지 않다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 프리랜서·외부 전문가 활용에 관한 규정이 적혀 있지 않다.

큰 배점 항목

해당 없음(평가표 없음 — 소액 추첨 등)

규격가격동시입찰로 제안서 심사 적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자를 낙찰자로 결정하며, 배점 평가표가 문서에 없다.

낙찰자 결정방법 : 제안서 심사 적격자 중 예정가격 이하 최저가로 입찰한 자를 낙찰자로 결정함

무상 추가 제공

없음

무상 유지보수·사후지원 기간이나 과업 밖 추가 제공을 점수로 주거나 최소한을 요구하는 규정이 문서에 없다. 하자보증기간 1년은 계약 뒤 의무로 이 질문의 대상이 아니다.

• 요구 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 유지보수·사후지원 약속 기간 요구가 적혀 있지 않다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표가 없다.
• 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 대상이 적혀 있지 않다.

평가 자리 발표

서면 평가만

규격심사는 한국과학기술연구원에서 진행되며, 제출서류는 국문규격서 대비 응찰제품의 제안서 및 증빙서류를 나라장터를 통해 온라인 제출한다. 발표·질의응답에 관한 규정은 없다.

• 빠지면 · 해당 없음 발표가 없으므로 해당 없음.

규격심사는 한국과학기술연구원에서 진행되며, 개찰은 상기 개찰일시에도 불구하고 입찰 관련 서류평가 완료 후 진행됩니다.

카테고리 · 연구·실험·계측장비 5개

지원사업·R&D 재원

아니다

품질 인증

없음

경비 부담

발주처 부담

납품 전 제조자의 clean room 내에서 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담

• 관급 금액 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 관급 설치 · 해당 없음

납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연 을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구

공정 장비 종류

해당 없음

급속열처리(RTP) 장비로 스퍼터·증착·식각·노광·다이싱 등 보기 공정에 해당하지 않음

본 장비는 차세대 반도체, 디스플레이 및 나노 신소재 연구 개발을 위한 급속열처리(Rapid Thermal Process, RTP) 장비로, 웨이퍼 및 기판 시편의 고온·단시간 열처리 공정 기술 확보를 목적으로 한다.

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

4inch 이하

기판 사이즈: 최대 4인치 웨이퍼

기판 사이즈: 최대 4인치 웨이퍼

문서 발췌

과업·요구

A. Features : 일반사항 1. 본 장비는 차세대 반도체, 디스플레이 및 나노 신소재 연구 개발을 위한 급속열처리(Rapid Thermal Process, RTP) 장비로, 웨이퍼 및 기판 시편의 고온·단시간 열처리 공정 기술 확보를 목적으로 한다. 2. 본 장비는 최대 4인지 웨이퍼를 진공 분위기에서 급속으로 열처리하는 장비이다. 50~120℃/sec의 빠른 승 온 속도를 통해 반도체 공정에서 재료의 산화 공정, 결정화 열처리 및 도펀드 Drive-in 공정 등에 활용되 는 장비이다. 3. 본 장비는 반도체 공정 실습을 위한 구성 요소이며 반도체소자 공정 중 금속전극의 오믹 적합 형성, 공정 전·후 열처리 등에 사용된다. 4. 본 장비는 다양한 반도체소자 제작 및 소재 열처리에 활용되어야 하므로 사용 가능 온도, 온도 안정성, 냉 각속도, 사용 가스의 다양성 등이 주요 성능 지표이며, 이를 반영하여 제작되어야 한다. 5. 본 장치는 열에너지가 웨이퍼 전체에 균일하게 제공되어야 하며, 온도 조절이 정밀하고 가능한 넓은 범위를 가져야 한다. 6. 본 장치는 온도 정확성과 반복성을 ≤±3℃로 충족하여야 한다. 7. 본 장치는 자동화된 PC type으로 제작되어야 한다. 8. 본체 및 구성품(부품 포함)은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. B. Components : 구성품의 사양 <장비 구성> 1. 공정 챔버 모듈 2. 진공 모듈

3. 가스 공급 모듈 4. 제어 모듈 5. 프레임 모듈 <상세 규격> 1. 공정 챔버 모듈 (1) 공정 챔버 - 챔버 재질: 스테인리스 및 알루미늄 재질의 냉각벽 구조 - 챔버 사이즈: 소형 사이즈의 챔버 - 웨이퍼 로딩/언로딩 방식: 챔버 상단 탑 플레이트 개폐 타입 - 챔버 상단 구성: 램프 & 석영(Quartz) 플레이트 - 균일한 가스 흐름 분포를 위한 구조로 설계 (2) 기판 홀더 유닛 - 기판 사이즈: 최대 4인치 웨이퍼 - 가이드 & 지지 핀 재질: 석영(Quartz) - 웨이퍼 지지 방식: 웨이퍼 열 손실을 최소화하는 타입으로 설계 (3) 히팅 소스 유닛 - 램프: 적외선 할로겐 램프 - 1개의 구역(1-zone)으로 된 빠른 디지털 PID 온도 제어 - 반사판 & 냉각 하우징 - 온도 조절을 열전대(Thermocouple) 포함 2. 진공 모듈 (1) 압력 게이지 - 공정용: 정전용량형 진공게이지(Capacitance diaphragm gauge) - 대기압용: ATM 센서 (2) 진공 밸브 & 라인 - 진공 밸브: 공압식 앵글 밸브 - 오일의 역류 방지를 위해 오토 벤트 밸브 설치 - 진공 라인: 하드라인과(스테인리스 스틸 재질) 벨로우즈 라인 3. 가스 공급 모듈 (1) 사용가스 & 유량 제어 - 공정 가스 제어 방식: Ar, H2(4%)+Ar 질량유량계(Mass Flow Controller, MFC) 각 1개 동등 또는 이상 - 퍼지(Purge) & 벤트(Vent) 용: N2 니들(Needle) 밸브 (2) 가스 밸브 & 가스 라인 - 가스 밸브: 공압식 다이어프램 밸브 - 가스 라인: 미세 연마 처리된 316L 스테인리스 스틸 재질의 튜브

4. 제어 모듈 (1) 시스템 제어 - 시스템 제어 방식: PC(MS 윈도우 기반, 산업용 PC, 터치모니터)+PLC - 자동 운전 (필요시 작업자 수동 제어 가능) - 아날로그 및 디지털 입/출력 카드 포함 - 공정 제어 소프트웨어: 공정 전용 SW(장비 운용을 위한 영구 사용 권한 제공) GUI: 그래픽 사용자 인터페이스(사람이 컴퓨터나 프로그램을 사용할 때, 그림(아이 콘), 버튼, 창 등 시각적 요소를 통해 조작할 수 있게 해주는 화면 구성 방식) 프로세스 데이터로깅 레시피 편집, 저장, 다운로드, Run 5. 프레임 모듈 - 탁상형 타입(공간을 많이 차지 하지 않도록 설계) <공정 조건> 가. 최대 가열 온도: 1,250℃ 나. 온도별 사용 허가 시간: Spike @1,250℃ 30 min @1,000℃ 60 min @900℃ 120 min @< 800℃ 다. 승온 속도: 50~200℃/sec for Silicon wafer 라. 온도 균일도: ≤ ±1.5% @800℃, Silicon wafer 마. 온도 정확도 및 재현도: ≤ ±3℃ at Set temperature 바. 온도 안정성: ≤ ±3℃ 사. 구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출) 아. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연 을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구 성하도록 함. C. 기타 조건 : 설치, 교육조건, 기타 참고사항

1. 납기 : 2026년 12월 20일 이내이어야 함 2. 운반, 설치(장착 기구부와 설치는 장비업체와 협의 후 진행), 시운전, 운전교육 포함(횟수 협의) 3. 하자보증기간 : 검수 완료 후 1년 이어야 함 4. 보증기간 중 설계 및 제작상의 하자로 인한 고장 또는 성능 저하 시 납품자의 부담으로 즉시 조치를 취하여 정상화시켜야 한다. 5. 설치장소 : 한국과학기술연구원 L4311호 (서울시 성북구 화랑로 14길 5) 6. 사용자 매뉴얼 (책자 1부, PDF 파일), 사용자 교육 === 1. 내자구매 입찰공고문[제26164호].hwp === 구매 입찰 공고 공고번호 : 한국과학기술연구원 제26164호 이 입찰에 참가하는 자는 공고서 및 각종 규정, 규격서 등을 반드시 열람하여 그 내용을 숙지한 후 입찰에 참가하여야 하며, 미숙지에 따른 모든 책임은 입찰자에게 있습니다. 규격 착오 또는 규정의 미숙지 등으로 입찰자가 계약을 체결하지 않거나, 계약을 체결하고 불이행하는 경우 관계법령에 의거 부정당업자로 제재되어 일정기간 입찰참여가 제한되는 등 불이익을 받으실 수 있습니다. [자료 검색] (계약예규) 국가법령정보센터 홈페이지(http://www.law.go.kr)에서 행정규칙으로 검색 (조달청고시 등) 조달청 홈페이지(hppt://pps.go.kr) 정보제공 ⇨ 업무별 자료 ⇨ 내자구매/나라장터 운영규정/품질관리에서 검색 [유의 사항] ▶ 본 입찰 집행과 관련하여 입찰공고서와 규격서(제안요청서 등 입찰 첨부서류 일체)의 내용이 서로 다를 경우 입찰공고서가 우선 적용됩니다. ▶ 본 건 관련 각종 규정은 개정될 수 있으며, 개정될 경우 개정 규정 부칙의 시행일(또는 적용례)에 따라 개정 규정의 적용 여부가 결정될 수 있습니다.

1. 입찰에 부치는 사항 가. 입찰건명 : 급속열처리기 구매 나. 납품 및 설치장소 : 서울 성북구 화랑로14길 5 한국과학기술연구원 L4312호 다. 입찰방법 : 제한(총액) 규격가격동시(전자입찰) 라. 납품기간 : 2026년 12월 20일 이내 마. 기초금액 : 45,650,000원(부가세 포함) 바. 계약방법 : 제한경쟁 사. 기 타 : 분할구매 및 공동계약 불허 2. 입찰참가자격 가. 󰡔국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령󰡕 제12조(경쟁입찰의 참가자격) 및 같은 법 시행규칙 제14조(입찰참가자격요건의 증명)의 규정에 의한 입찰 자격 요건을 구비한 자 나. 당해 구매 물품 또는 동등 이상의 제품으로써 해당 제품에 관한 제안서를 사전 제출하여 통과한 업체(입찰 등록 마감 전까지 제안서를 제출하여야 함) 다. 법정관리, 화의개시 중에 있지 않고 국가. 지방자치단체, 정부출연 및 투자기관에 의하여 부정당 업체로 제재 중에 있지 않은 업체 라. 󰡔중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률󰡕제2조에 의한 중소기업자로서 중소기업청 고시 제2015-1호 「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」, 중소기업청 고시 제2015-2호「장애인기업 확인요령」 및 중소기업청 고시 제2016-49호 「여성기업 확인요령」에 따라 발급된 중기업·소기업·소상공인확인서 (전자입찰서 제출 마감일 전 일까지 발급된 것으로 유효 기간 발급 내에 있어야 함)를 소지한 업체

참가자격

※ 중․소기업 소상공인 확인서는 중소기업공공구매 종합정보망에서 확인하며 확인이 되지 않을 경우 입찰 참가 자격이 없습니다. 마. 󰡔국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정󰡕에 의하여 국가종합전자조달시스템에 입찰 참가 자격등록 마감 일시까지 세부품명번호 10자리 4110460101(실험실용전기로)로 입찰 참가 등록한 업체 바. 중소기업청 고시 ｢중소기업자간 경쟁제품 직접생산 확인기준｣에 의거 직접생산확인 증명서 소지자 3. 사양설명에 관한 사항 : 첨부한 구매사양(규격 및 시방)서 열람으로 갈음함 4. 입찰서 제출 및 개찰 가. 전자입찰 등록 일시 : 2026.10.13.(화) 17:00 ~ 2026.10.21.(수) 10:00 나. 전자입찰 개찰 일시 : 2026.10.21.(수) 11:00 다. 개찰장소 : 입찰집행관 업무용 컴퓨터 ※ 규격가격동시입찰이므로 규격적격자 평가를 위한 심사 결과에 일정 기간이 소요되며 그 기간 동안 가격개찰이 다소 지연될 수 있습니다. 5. 제출서류 가. 전자입찰서는 입찰공고 후 제출 마감 일시까지 24시간 제출이 가능하며, 전자입찰서 제출여부는 국가종합전자조달시스템의 전자문서함 내 보낸 문서함에서 확인하시기 바랍니다. 나. 이 입찰은「지문인식 신원확인 입찰」이 적용되므로 개인인증서를 보유한 대표자 또는 입찰대리인은 국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서 제7조 제1항 제5호에 따라 미리 지문정보를 등록하여야 전자입찰서 제출이 가능합니다. 다만, 지문인식 신원 확인 입찰이 곤란한 자는 국가종합전자조달시스템 전자입찰 특별유의서 제7조제1항제6호 및 제7호의 절차에 따라 예외적으로 개인인증서에 의한 전자 입찰서 제출이 가능합니다. 다. 입찰 시 제출서류 [나라장터를 통한 온라인 제출] ① 국문규격서 대비 응찰제품의 제안서 및 증빙서류 각 1부 - 제안서(첨부) : 기본 양식을 준수하여, 제출 이후 변경할 수 없음 - 증빙자료 : 카탈로그 등 규격 사항 증빙자료에 규격서상 규격 부분을 표시하여 제출 ② 소기업·소상공인·중기업 확인서 1부 ③ 법인등기부등본(개인사업자의 경우 사업자등록증) 1부 ④ 퇴직자 영입현황 확인서 1부 ⑤ 청렴이행각서 1부 ⑥ 입찰이행보증보험증권 1부 [나라장터 전자송부 후, 증권은 반드시 첨부] ⑦ 제조자 정품 공급(정식대리점 계약서) 및 기술지원 확약서 ※ 제출서류가 사본인 경우 '원본대조필‘을 확인 날인하여야 합니다. 라. 입찰보증금(입찰이행보증보험증권) 납부