유도결합 반응성 식각기 구매_261041

요약 AI 요약

양자정보·컴퓨팅 소자(초전도 큐비트, 양자점, 이온트랩 등)의 정밀 식각과 나노스케일 가공을 위해 유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE) 1세트를 구매하는 사업이다. SiN, LN, SiO₂ 및 금속(Ti, TiN, Al) 물질 맞춤형 식각이 가능한 장비를 도입한다.

• 주장비: Semi-automatic transfer, 1 process module, 1 vacuum load-lock, ICP source 및 bias RF power(bias plus 기능 필수), 6인치 웨이퍼(Flat/Notch) 지원 및 8인치 확장 가능, PC·LCD 모니터
• 부속장비: Process chamber, Load-Lock, Turbo molecular pump, Dry pump, Chiller, PM Gas box, AC/RF Rack, Wafer mechanical clamp, Lift pin, Signal tower, 가스라인(기본 8라인, 최대 12라인 확장)
• 식각 성능: SiO₂·SiN >3000Å/min, LN >1000Å/min, Ti·TiN >120nm/min, Al >12nm/min, 웨이퍼 내 균일도 및 식각 각도 기준 충족
• 금속 식각은 Fluorine-based Plasma를 이용한 공정이 가능해야 하며, Parameter Ramping 기능 구현
• 시스템 제어: 자동 공정 컨트롤러, 공정 데이터 로그 백업, 실시간 온도·가스·압력 표시, 이벤트 로그, 원격 지원, 향후 FDC/SEGS/GEM 자동화 연동 프로그램 지원
• 장비 설치 및 시운전, 운용·유지보수 교육 3회 및 6개월 주기 정기 교육·운용능력 검증 지원

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핵심요약

걸리는 것

A/S 조직·인력

A/S 조직·인력

장비 설치 후 유지보수 및 기술지원을 신속하게 제공할 수 있는 국내 서비스 조직을 보유하여야 하며, 공정·장비·전장 분야 전문 엔지니어를 확보하고 있어야 한다. 인원 수는 적혀 있지 않다.

- 장비 설치 후 유지보수 및 기술지원을 신속하게 제공할 수 있는 국내 서비스 조직을 보유하여야 하며, 공정(Process), 장비(Mechanical), 전장(Electrical) 분야의 전문 엔지니어를 확보하고 있어야 한다.

규격·기술 심사

점수와 통과선

규격가격동시입찰로 기술평가위원회가 제안서를 평가하여 100점 만점에 85점 이상 득한 업체를 규격입찰적격 업체로 선정한 후 가격입찰을 실시한다.

• 통과선 · 85점 이상 100점 만점에 85점 이상.

  평가위원의 종합평점이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰적격 업체로 선정

• 필수 항목·과락 · 아니다 필수 항목 미달·과락으로 총점과 상관없이 떨어진다는 규정은 없다.

평가위원의 종합평점이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰적격 업체로 선정

문서 분석

수행 기간

납품

납품기한이 2027년 7월 31일까지로 날짜로 정해져 있음. 기점은 명시되지 않음.

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 예산 사용 기간 초과 예상 시 계약 해지·해제 가능, 납품기한 내 이행 완료 필요

  납품이 예산 사용 기간을 초과할 것으로 예상되는 경우 계약이 해지 또는 해제될 수 있습니다.

  반드시 납품기한 내 계약이행 완료가 가능한 업체만 입찰에 참여하시기 바랍니다.

❍ 납품기한 : 2027년 7월 31일까지

문서 분석

하자보수

1년

하자보증기간은 최종 검수일로부터 1년. 세부 하자보수 범위 및 대응 조건은 계약 시 협의.

• 기점 · 설치·검수 완료일 최종 검수일로부터 기산.

  1. 하자보수 기간 : 최종 검수일로부터 1년

• 보증 기간 정기점검 · 없음 보증 기간 중 정기점검 주기를 정한 문장이 없다.
• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 소모성·정기정비 부품의 무상 여부가 적혀 있지 않다.

❍ 하자보증기간 : 최종 검수일로부터 1년

1. 하자보수 기간 : 최종 검수일로부터 1년

문서 분석

공정 장비 종류

식각

유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE) — ICP 기반 플라즈마 식각 장비

유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE)

초전도 큐비트, 양자점, 이온트랩 기반 양자소자의 정밀 식각 공정 및 나노스케일 가공을 위한 ICP-RIE 기반 플라즈마 식각 기술 활용

문서 분석

가격

추정가격

450,000,000원

배정예산

495,000,000원

기초금액

485,294,100원 (예비가격 -2% ~ +2%)

부가세

45,000,000원

예정가격 방식

복수예가

첨부파일

• HWPX · KAIST 물품 구매 입찰 공고서_규격가격동시입찰_유도결합 반응성 식각기 구매_261041_최종.hwpx · 공고규격서
• PDF · KAIST 물품 구매 입찰 공고서_규격가격동시입찰_유도결합 반응성 식각기 구매_261041_최종.pdf · 공고규격서
• HWP · 물품 내역 및 세부 규격서_최종.hwp · 공고규격서
• HWP · KAIST 규격가격동시입찰 (규격)제안요청서 양식_웨이퍼 식각기_최종.hwp · 공고규격서
• PDF · 물품 내역 및 세부 규격서_최종.pdf · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

납품

납품

납품 · 문서

품명

웨이퍼식각기 (2321118001)

세부품명 등록

등록 필요

제조물품

아니오
문서: 직접 생산 · 의무 · 계약 뒤 지킬 일

수량

1 식
문서: 일의 분량 · 1set

인도조건

설치까지 · 현장설치도
문서: 일의 끝 · 설치·시운전·가동까지

참가 자격 · 제한

지역제한

제한 없음
문서: 지역 조건 · 없음

업종제한

제한 없음
문서: 업종·면허 조합 · 한 업종
문서: 설치 공사업 면허 · 없음

제출 방법

전자입찰
문서: 입찰 전 절차 · 따로 없음(나라장터만)

실적경쟁 · PQ

모름
문서: 실적 · 없음

공동수급

공동수급불허
문서: 공동수급 · 막음

입찰참가 제한

모름

국제입찰

국내입찰

입찰 일정

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 평가위원의 종합평점이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰적격 업체로 선정

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE) 공급·설치·시운전

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

반도체·박막 소자를 만드는 식각 공정장비(ICP-RIE)를 사서 현장에 설치·시운전까지 맡기는 일이 사업의 몸통이다.

• 제조사 신품 장비 공급(중고·전시·재생 불가)
• 현장 설치 및 시운전
• SiO2·SiN·LN·Ti·TiN·Al 물질별 퀄테스트(Test Wafer 식각) 수행
• 공정사양서 및 퀄테스트 계획 제출
• 운용·유지보수 교육 3회 및 6개월 주기 정기 교육
• 하자보증 1년(최종 검수일로부터) 하자보수·기술지원
• 국내 서비스 조직 및 공정·장비·전장 엔지니어 확보

걸리는 것 · 입찰 전 할 일

걸리는 조건

A/S 조직·인력

장비 설치 후 유지보수 및 기술지원을 신속하게 제공할 수 있는 국내 서비스 조직을 보유하여야 하며, 공정·장비·전장 분야 전문 엔지니어를 확보하고 있어야 한다. 인원 수는 적혀 있지 않다.

- 장비 설치 후 유지보수 및 기술지원을 신속하게 제공할 수 있는 국내 서비스 조직을 보유하여야 하며, 공정(Process), 장비(Mechanical), 전장(Electrical) 분야의 전문 엔지니어를 확보하고 있어야 한다.

더 확인할 것

기성품·주문제작

이럴 때 꼭 봅니다 — 주문제작 · 설계부터 우리가

주문제작(받은 규격·도면대로)

규격서가 주장비·부속장비 구성과 성능·규격을 상세히 정하고 '동등 및 동급 이상의 규격을 제안'하도록 하므로 발주처 규격에 맞춘 제작·공급이다. 시스템 통합 여부는 문서에 명시되지 않았다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품을 엮어 하나의 시스템으로 통합한다고 적혀 있지 않다.

본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

직접 생산

의무 · 계약 뒤 지킬 일

공급 장비는 제조사에서 직접 생산한 신품이어야 하며 중고·전시품·재생장비 공급은 허용하지 않는다고 적혀 있다. 직접생산확인증명서 소지나 한 제조사 제품으로만 채워야 한다는 조건은 없다.

• 참가 등록 · 제조·공급 모두 웨이퍼식각기(물품분류번호 23211180) 제조 또는 공급으로 등록하면 된다.

  - (물품) 웨이퍼식각기(물품분류번호 23211180) 제조 또는 공급

• 직생 범위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 직접생산확인 공고가 아니다.
• 대상 · 우리가 직접 만든 것만(직생·제조 등록·OEM 불가) 제조사에서 직접 생산한 신품이어야 한다.

  - 공급 장비는 제조사에서 직접 생산한 신품(New Equipment)이어야 하며, 중고장비(Refurbished, Used Equipment), 전시품 또는 재생장비의 공급은 허용하지 않는다.

- 공급 장비는 제조사에서 직접 생산한 신품(New Equipment)이어야 하며, 중고장비(Refurbished, Used Equipment), 전시품 또는 재생장비의 공급은 허용하지 않는다.

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다고 적었다. 제안 조건에서도 제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 한다고 적었다. 동등 입증 시점에 대한 명시는 없다.

• 동등 입증 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 동등 입증 시점에 대한 명시가 없다.

본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 하며, 제안서에 기재된 장비 일체는 국내에 정식 유통망이 있는 제품으로 한정

원산지(국산)

수입 허용

원산지 제한 문구가 없다. 다만 제안서에 기재된 장비 일체는 국내에 정식 유통망이 있는 제품으로 한정한다고 적었다.

제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 하며, 제안서에 기재된 장비 일체는 국내에 정식 유통망이 있는 제품으로 한정

합격선

숫자 기준 있음

식각 성능 합격선이 수치로 정해져 있다. SiO2/SiN 식각속도 >3000Å/min, LN >1000Å/min, Ti/TiN >120nm/min, Al >12nm/min, 선택비·균일도·각도 등. 따를 표준·지침으로는 향후 FDC/SEGS/GEM 등 자동화 시스템과 연결할 수 있는 프로그램 지원이 가능해야 한다고 적었다.

• 따를 표준·지침 · FDC/SEGS/GEM 등 자동화 시스템 연계 프로그램 지원 향후 FDC/SEGS/GEM 등 자동화 시스템과 연결할 수 있는 프로그램 지원이 가능해야 한다.

  향후 FDC/SEGS/GEM 등 자동화 시스템과 연결할 수 있는 프로그램 지원이 가능해야 한다.

Etch rate | >3000Å/min | >3000Å/min | >1000Å/min

향후 FDC/SEGS/GEM 등 자동화 시스템과 연결할 수 있는 프로그램 지원이 가능해야 한다.

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

카탈로그·제조사 사양서 · 실측·성능 데이터·도면

입찰자는 입찰 마감일까지 제품 규격서, 카탈로그, 기술제안서 등 장비의 성능을 확인할 수 있는 자료를 제출하여야 한다. 제출 서류로 카달로그, 브로슈어 도면 등 제안 물품 설명 자료, 공정사양서 및 퀄테스트 계획을 요구한다. 규격 비교표 서식도 있다.

• 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 보완에 대한 명시 없음.

입찰자는 입찰 마감일까지 제품 규격서, 카탈로그, 기술제안서 등 장비의 성능을 확인할 수 있는 자료를 제출하여야 한다.

카달로그, 브로슈어 도면 등 제안 물품 설명 자료 각 1부

참가 범위

공개 경쟁

계약방법이 일반경쟁, 총액입찰로 명시되어 있고, 참가자격은 법령상 유자격자 및 나라장터에 웨이퍼식각기 제조·공급 등록을 한 자로 조건만 갖추면 누구나 참여 가능하다.

○ 계약방법 : 일반경쟁, 총액입찰

「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정(조달청 고시)」에 의하여 입찰참가 자격등록 마감일시까지 국가종합전자조달시스템(나라장터)에 아래 입찰참가자격을 모두 등록한 자

현장 여건

장비 설치 및 시운전 포함. 부대공사·현장 준비에 대한 별도 규정 없음. 위험작업 관련 규정 없음.

설치 조건: 장비 설치 및 시운전 포함. 중대재해처벌법 관련 안전·보건 의무 준수 및 비용 입찰가격 반영 안내 있음.

• 부대공사·현장 준비 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 부대공사·현장 준비 주체 및 비용에 대한 규정 없음
• 위험작업 · 없음 위험작업 관련 규정 없음

- 설치 조건 : 장비 설치 및 시운전 포함

입찰자는 현장여건, 과업내용 등을 미리 확인하여 이와 관련된 제반비용을 입찰가격에 반영하여야 합니다.

교육·기술이전

3회

장비 설치 후 운용 및 유지보수 관련 교육 3회, 장비 납품 후 1년 이내 수요기관 요청 시 3회까지 무상교육. 장비 운용자에 대한 6개월 주기 정기 교육 및 운용능력 검증 지원도 있다.

• 무상 · 우리 부담(대가 안) 납품 후 1년 이내 요청 시 3회까지 무상교육.

  장비 납품 후 1년 이내 수요기관에서 교육 요청 시 3회까지 무상교육을 실시해야 함

- 장비 설치 후 운용 및 유지보수 관련 교육 3회 실시

※ 교육 담당자는 입찰업체 또는 공급업체 소속 직원이어야 하며, 장비 납품 후 1년 이내 수요기관에서 교육 요청 시 3회까지 무상교육을 실시해야 함

큰 배점 항목

공고규격 또는 기술과의 적합성 30점, 장비의 효율성 및 편의성 20점, 인력·관리 기술 20점(추진체계·기술 보유 및 지원방안도 20점).

기술규격평가 배점표: 일반현황(신용평가) 10점, 공고규격 또는 기술과의 적합성 30점, 장비의 효율성 및 편의성 20점, 인력·관리 기술 20점, 추진체계·기술 보유 및 지원방안 20점, 합계 100점.

| 기술부문 | ○ 공고규격 또는 기술과의 적합성 | 30점

| 기술부문 | ○ 장비의 효율성 및 편의성 | 20점

| 기술부문 | ○ 인력․관리 기술 | 20점

무상 추가 제공

의무 · 계약 뒤 지킬 일

하자보증기간은 최종 검수일로부터 1년이며, Warranty 기간 중 장비 고장·성능 이상 시 기술지원 및 조치를 제공해야 한다. 장비 설치 후 운용·유지보수 교육 3회, 6개월 주기 정기 교육 및 운용능력 검증 지원. 과업 밖 추가 제공을 점수로 주는 배점은 없다.

• 요구 기간 · 1년 하자보수 기간 최종 검수일로부터 1년.

  1. 하자보수 기간 : 최종 검수일로부터 1년

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 사후관리·추가 제공 배점이 없다.
• 대상 · 유지보수·사후지원 하자보수(워런티) 대응체계가 관리부문 평가요소에 포함되나 별도 배점표 항목은 아니다.

  - 설치 후 검수(Test Wafer 식각 등) 및 성능 확인 지원계획, 하자보수(워런티) 대응체계의 구체성

1. 하자보수 기간 : 최종 검수일로부터 1년

- Warranty 기간 중 장비 고장 및 성능 이상 발생 시 기술지원 및 필요한 조치 제공

평가 자리 발표

서면 평가만

제안서 발표 없이 서면으로 평가한다. 사업설명회 미실시. 발표가 없으므로 빠지면·발표자 관련 규정은 없다.

• 빠지면 · 해당 없음 발표가 없어 해당 없음.

❍ 제안서의 평가는 본교의 기술평가위원회를 통해 제안서류를 평가하며, 제안서 발표 없이 서면으로 평가

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

6inch

6 inch wafer (Flat/Notch type), Extendable to 8 inch wafer

6 inch wafer (Flat/Notch type), Extendable to 8 inch wafer 1SET

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

10/12(월)

공고번호

R26BK01765697-000

참조번호

261041

공고기관

한국과학기술원

수요기관

한국과학기술원

계약방법

일반경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

450,000,000원

배정예산

495,000,000원

사전규격번호

R26BD00281210

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 분석 전체

이 분야에서 갈리는 것 · 우리가 만드는 공정 방식·기판 크기인가, 주문제작을 150일 안에 끝낼 수 있나, 기술평가 85점을 넘나, 3년 품질보증을 감당하나에서 갈린다.

질문 87개 · 꼭 5 · 좋음 20 · 안 봐도 됨 62

주제 · 참가 자격 9개

업종·면허 조합

한 업종

입찰참가자격은 웨이퍼식각기(물품분류번호 23211180) 제조 또는 공급 등록 하나이며, 규격서 기타 조건에 '관련법령에 따른 필수 면허·자격 사항 : 해당 없음(N/A)'이라고 적혀 있다.

• 코드 밖 자격 · 없음 규격서 기타 조건에 관련법령에 따른 필수 면허·자격 사항은 해당 없음(N/A)으로 적혀 있다.

  - 관련법령에 따른 필수 면허·자격 사항 : 해당 없음(N/A)

- (물품) 웨이퍼식각기(물품분류번호 23211180) 제조 또는 공급

- 관련법령에 따른 필수 면허·자격 사항 : 해당 없음(N/A)

지역 조건

없음

본점 지역 제한 외에 사업장·인력·장비 소재, 지역 업체 공동수급, 지역 가점 등 지역을 묶는 조건이 문서에 없다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 지역 관련 배점이 없다.
• 대상 · - 해당하는 지역 조건이 없다.

실적

없음

비슷한 일을 한 실적을 참가 조건이나 점수로 요구하는 문장이 문서에 없다. 평가표는 신용평가등급, 규격 적합성, 장비 효율성, 인력·관리 기술, 추진체계 등만 본다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 실적 배점이 없다.
• 조건 · 없음 실적 인정 범위를 정한 문장이 없다.

업력

없음

업력을 참가 조건이나 점수로 보는 문장이 문서에 없다.

• 요구 업력 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 요구 업력이 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 업력 배점이 없다.

공동수급

막음

입찰 개요에 '공동계약 및 구성방식 : 불가'로 적혀 있다.

• 자격을 나눠 채우기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공동수급이 불가하므로 나눠 채우기를 따질 자리가 없다.

○ 공동계약 및 구성방식 : 불가

회사 규모·신분

중소기업만

중소기업·소상공인확인서가 중소기업제품 공공구매 종합정보망에서 확인되지 않으면 입찰참가자격이 없다고 적혀 있다.

※ ‘중소기업ㆍ소상공인확인서’가 중소기업제품 공공구매 종합정보망(http://www.smpp.go.kr)에서 확인(전자입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 것으로서 전자입찰서 제출 마감일까지 계속 유지되어야 함)되지 않을 경우 입찰참가자격이 없습니다.

안전보건수준평가

없음

안전보건수준평가 대상 사업이라고 지정한 문장이 없다. 중대재해처벌법 관련 준수 사항은 일반적인 안내 문구다.

하도급

모름 · 문서로 확인 안 됨

이 공고가 하도급 허용·금지를 적은 문장이 없다. 공급 장비는 제조사에서 직접 생산한 신품이어야 한다는 조건만 있다.

• 하도급 한도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급 한도가 적혀 있지 않다.

직접 생산

의무 · 계약 뒤 지킬 일

공급 장비는 제조사에서 직접 생산한 신품이어야 하며 중고·전시품·재생장비 공급은 허용하지 않는다고 적혀 있다. 직접생산확인증명서 소지나 한 제조사 제품으로만 채워야 한다는 조건은 없다.

• 참가 등록 · 제조·공급 모두 웨이퍼식각기(물품분류번호 23211180) 제조 또는 공급으로 등록하면 된다.

  - (물품) 웨이퍼식각기(물품분류번호 23211180) 제조 또는 공급

• 직생 범위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 직접생산확인 공고가 아니다.
• 대상 · 우리가 직접 만든 것만(직생·제조 등록·OEM 불가) 제조사에서 직접 생산한 신품이어야 한다.

  - 공급 장비는 제조사에서 직접 생산한 신품(New Equipment)이어야 하며, 중고장비(Refurbished, Used Equipment), 전시품 또는 재생장비의 공급은 허용하지 않는다.

- 공급 장비는 제조사에서 직접 생산한 신품(New Equipment)이어야 하며, 중고장비(Refurbished, Used Equipment), 전시품 또는 재생장비의 공급은 허용하지 않는다.

주제 · 제품 규격·인증 9개

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다고 적었다. 제안 조건에서도 제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 한다고 적었다. 동등 입증 시점에 대한 명시는 없다.

• 동등 입증 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 동등 입증 시점에 대한 명시가 없다.

본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 하며, 제안서에 기재된 장비 일체는 국내에 정식 유통망이 있는 제품으로 한정

제조사 확약서

없음

제조사·공식 공급원에게서 받아 와야 하는 공급 확약서, 기술지원·A/S 확약서, 대리점·총판·공식 파트너 지위, 제조자·공급자 증명서, 정품보증서·정품확인서, 수입신고필증 등의 서류 요구가 없다.

• 대상 · - 해당 서류 요구 없음.
• 조건 · 없음 제조사면 면제 등의 조건 없음.

제품 인증

없음

인증·허가·시험성적서 요구가 없다. 다만 장비 검수 시 물질별 퀄테스트를 진행하며 해당 사양을 만족하여야 한다고 적었다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 점수 차 없음.
• 대상 · - 인증·시험성적서 대상 없음.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 입증 수단에 대한 명시 없음.

위 물질별로 장비 검수시 퀄테스트를 진행하며, 해당 사양을 만족하여아한다.

원산지(국산)

수입 허용

원산지 제한 문구가 없다. 다만 제안서에 기재된 장비 일체는 국내에 정식 유통망이 있는 제품으로 한정한다고 적었다.

제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 하며, 제안서에 기재된 장비 일체는 국내에 정식 유통망이 있는 제품으로 한정

합격선

숫자 기준 있음

식각 성능 합격선이 수치로 정해져 있다. SiO2/SiN 식각속도 >3000Å/min, LN >1000Å/min, Ti/TiN >120nm/min, Al >12nm/min, 선택비·균일도·각도 등. 따를 표준·지침으로는 향후 FDC/SEGS/GEM 등 자동화 시스템과 연결할 수 있는 프로그램 지원이 가능해야 한다고 적었다.

• 따를 표준·지침 · FDC/SEGS/GEM 등 자동화 시스템 연계 프로그램 지원 향후 FDC/SEGS/GEM 등 자동화 시스템과 연결할 수 있는 프로그램 지원이 가능해야 한다.

  향후 FDC/SEGS/GEM 등 자동화 시스템과 연결할 수 있는 프로그램 지원이 가능해야 한다.

Etch rate | >3000Å/min | >3000Å/min | >1000Å/min

향후 FDC/SEGS/GEM 등 자동화 시스템과 연결할 수 있는 프로그램 지원이 가능해야 한다.

등록 제품

없음

우수제품·혁신제품·규격심의·사전등록·제품 실적 등 목록·지정 요구가 없다.

• 대상 · - 해당 목록·지정 없음.

신품·제조 시기

의무 · 계약 뒤 지킬 일

공급 장비는 제조사에서 직접 생산한 신품(New Equipment)이어야 하며, 중고장비(Refurbished, Used Equipment), 전시품 또는 재생장비의 공급은 허용하지 않는다고 적었다.

• 제조 뒤 경과 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조 뒤 경과 상한 명시 없음.
• 남은 유효기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 남은 유효기간 명시 없음.

공급 장비는 제조사에서 직접 생산한 신품(New Equipment)이어야 하며, 중고장비(Refurbished, Used Equipment), 전시품 또는 재생장비의 공급은 허용하지 않는다.

규격·기술 심사

점수와 통과선

규격가격동시입찰로 기술평가위원회가 제안서를 평가하여 100점 만점에 85점 이상 득한 업체를 규격입찰적격 업체로 선정한 후 가격입찰을 실시한다.

• 통과선 · 85점 이상 100점 만점에 85점 이상.

  평가위원의 종합평점이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰적격 업체로 선정

• 필수 항목·과락 · 아니다 필수 항목 미달·과락으로 총점과 상관없이 떨어진다는 규정은 없다.

평가위원의 종합평점이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰적격 업체로 선정

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

카탈로그·제조사 사양서 · 실측·성능 데이터·도면

입찰자는 입찰 마감일까지 제품 규격서, 카탈로그, 기술제안서 등 장비의 성능을 확인할 수 있는 자료를 제출하여야 한다. 제출 서류로 카달로그, 브로슈어 도면 등 제안 물품 설명 자료, 공정사양서 및 퀄테스트 계획을 요구한다. 규격 비교표 서식도 있다.

• 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 보완에 대한 명시 없음.

입찰자는 입찰 마감일까지 제품 규격서, 카탈로그, 기술제안서 등 장비의 성능을 확인할 수 있는 자료를 제출하여야 한다.

카달로그, 브로슈어 도면 등 제안 물품 설명 자료 각 1부

주제 · 입찰 절차 9개

참가 범위

공개 경쟁

계약방법이 일반경쟁, 총액입찰로 명시되어 있고, 참가자격은 법령상 유자격자 및 나라장터에 웨이퍼식각기 제조·공급 등록을 한 자로 조건만 갖추면 누구나 참여 가능하다.

○ 계약방법 : 일반경쟁, 총액입찰

「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정(조달청 고시)」에 의하여 입찰참가 자격등록 마감일시까지 국가종합전자조달시스템(나라장터)에 아래 입찰참가자격을 모두 등록한 자

여러 과제로 나뉨

나뉘지 않음

단일 입찰건으로 과제·권역·입찰번호로 나뉜 내용이 없다.

• 여러 개 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 나뉘지 않아 해당 사항 없음.

입찰 전 절차

따로 없음(나라장터만)

제출방법이 나라장터 전자제출이며 별도 입찰참가 신청이 필요 없다고 명시되어 있다.

○ 제출방법 : 국가종합전자조달시스템(나라장터)을 통한 전자제출

전자입찰로서 별도의 입찰(견적) 참가 신청을 하지 않아도 되며, 조달청 입찰 참가 자격등록 내용에 따라 입찰(견적)에 참여하는 것으로 갈음함

현장설명회

없음

사업설명회 미실시로 명시되어 있다.

○ 사업설명회 : 미실시

정정·재공고 변경

해당 없음(첫 공고)

재공고·정정 공고가 아니며, 규격 변경 가능성에 대한 언급이 없다.

낙찰 업체 수

한 업체가 전량

수량 1 set로 단일 업체가 전량 낙찰받는 구조이다.

• 최소 응찰 물량 · 해당 없음 나눠 낙찰하는 구조가 아니다.

| 1 | 23211180
(웨이퍼식각기) | 유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE) | set | 1 |

MAS 2단계경쟁

아니다

규격가격동시입찰 방식이며 다수공급자계약·종합쇼핑몰 관련 내용이 없다.

○ 낙찰방법 : 규격가격동시입찰

입찰보증금

면제·지급각서로 갈음

입찰보증금 5% 납부를 면제하고 지급각서 제출로 대체한다. 계약·하자 보증 비율은 공고 본문에 없다.

• 입찰보증금 비율 · 해당 없음 지급각서로 갈음하여 실제 납부하지 않는다.
• 계약·하자 보증 비율 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공고 본문에 계약보증금·하자보수보증금 비율이 적혀 있지 않다.

- 입찰보증금(5%) 납부는 면제하되 입찰보증금 지급각서 제출로 대체함

- 입찰보증금 지급각서는 전자입찰 시 정해진 서식에 따라 송신한 입찰서로 갈음함

문서끼리 다른 곳

아니다

문서 간 어긋난 값이 없고, 우선순위 조항만 있다.

○ 본 입찰집행과 관련하여 입찰공고서와 규격서(제안요청서 등 입찰 첨부서류 일체)의 내용이 서로 다를 경우 입찰공고서가 우선 적용됩니다.

주제 · 과업 범위 11개

다른 업 섞임

섞이지 않음

본업은 웨이퍼식각기(ICP-RIE) 1종 구매·설치이며, 규격서 기타 조건에 '관련법령에 따른 필수 면허·자격 사항 : 해당 없음(N/A)'이라고 적혀 있어 다른 면허·공종·품목의 일이 섞이지 않는다.

관련법령에 따른 필수 면허·자격 사항 : 해당 없음(N/A)

하는 일

유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE) 1 set를 구매해 KAIST 국가양자팹연구소에 현장 설치·시운전까지 하는 일이다. SiN, LN, SiO₂ 및 Metal(Ti, TiN, Al) 맞춤형 식각이 가능해야 하며, SiO₂·SiN 식각속도 >3000Å/min, LN >1000Å/min, Ti·TiN >120nm/min, Al >12nm/min 등의 성능을 만족해야 한다.

주장비(Semi-automatic transfer, 1 process module, 1 Vacuum Load-Lock, ICP source and bias RF power, 6인치 웨이퍼 대응·8인치 확장, PC/LCD 모니터)와 부속장비 일체를 포함한다.

유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE)

SiN(Silicon Nitride), LN(Lithium Niobate), SiO₂(Silicon Oxide) 및 Metal 물질 맞춤형 식각

설치 조건 : 장비 설치 및 시운전 포함

기존 시스템과 이어짐

기존 시스템·설비와 연동

시스템 제어 사양에 '향후 FDC/SEGS/GEM 등 자동화 시스템과 연결할 수 있는 프로그램 지원이 가능해야 한다'고 적혀 있어 향후 자동화 시스템과의 연동을 전제로 한다. 기존 제조사 제품 묶임, 연속 사업, 연동 SW 개발 포함, 상대편 작업·비용 부담은 문서에 없다.

향후 FDC/SEGS/GEM 등 자동화 시스템과 연결할 수 있는 프로그램 지원이 가능해야 한다.

설치 공사업 면허

없음

규격서 기타 조건에 '관련법령에 따른 필수 면허·자격 사항 : 해당 없음(N/A)'이라고 적혀 있어 전기·정보통신·수도·소방 등 공사업 면허를 요구하지 않는다.

• 대상 · - 공사업 면허 대상이 문서에 적혀 있지 않다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급·공동수급·직접 시공 조건이 문서에 적혀 있지 않다.

관련법령에 따른 필수 면허·자격 사항 : 해당 없음(N/A)

일의 끝

설치·시운전·가동까지

인도조건이 '현장설치'이고 규격서에 '설치 조건 : 장비 설치 및 시운전 포함'이라고 적혀 있어 설치·시운전까지 우리 몫이다. 시험운영 기간은 별도로 정해지지 않았다.

• 시험운영 기간 · 정해지지 않음 설치·시운전 이후 별도의 시험운영 기간이 문서에 정해지지 않았다.

인도조건 : 현장설치

설치 조건 : 장비 설치 및 시운전 포함

기성품·주문제작

주문제작(받은 규격·도면대로)

규격서가 주장비·부속장비 구성과 성능·규격을 상세히 정하고 '동등 및 동급 이상의 규격을 제안'하도록 하므로 발주처 규격에 맞춘 제작·공급이다. 시스템 통합 여부는 문서에 명시되지 않았다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품을 엮어 하나의 시스템으로 통합한다고 적혀 있지 않다.

본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

함께 넘길 물품

해당 없음

본품과 함께 우리 돈으로 넘겨주거나 비치해야 하는 별도 물품이 문서에 적혀 있지 않다.

철거·폐기

없음

기존 장비·시설의 철거·이설·폐기·반납이나 다 쓴 물품·포장재 회수를 우리 몫으로 정한 문장이 문서에 없다.

부가 작업

장비 설치 후 운용 및 유지보수 관련 교육 3회 실시, 장비 운용자에 대한 6개월 주기의 정기 교육 및 운용능력 검증 지원, 하자보증기간 중 기술지원 및 조치 제공.

교육과 하자보수 지원이 본업 위에 얹힌 부가 서비스다.

장비 설치 후 운용 및 유지보수 관련 교육 3회 실시

장비 운용자에 대한 6개월 주기의 정기 교육 및 운용능력 검증 지원

디자인 몫

해당 없음

디자인·편집·원고 작업이 이 공고에 없다.

묶인 품목 수

1종

물품 내역 및 세부 규격서에 '유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE) set 1' 한 품목만 있다.

• 제조사 수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조사·상표·모델을 하나로 정해 적지 않았다.

유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE) | set | 1

주제 · 납품 일정·현장 11개

일의 분량

1set

사업예산 495,000,000원(VAT 포함), 기초금액 485,294,100원(VAT 포함). 물품 내역상 유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE) 1 set.

• 열린 분량 · 정해짐 수량이 1 set로 정해져 있음

  | 1 | 23211180
  (웨이퍼식각기) | 유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE) | set | 1 |

❍ 사업예산 : 495,000,000원(VAT 포함)

❍ 기초금액 : 485,294,100원 (VAT 포함) ※ 예비가격 산정의 기준이 되는 금액

| 1 | 23211180
(웨이퍼식각기) | 유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE) | set | 1 |

수행 기간

납품

납품기한이 2027년 7월 31일까지로 날짜로 정해져 있음. 기점은 명시되지 않음.

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 예산 사용 기간 초과 예상 시 계약 해지·해제 가능, 납품기한 내 이행 완료 필요

  납품이 예산 사용 기간을 초과할 것으로 예상되는 경우 계약이 해지 또는 해제될 수 있습니다.

  반드시 납품기한 내 계약이행 완료가 가능한 업체만 입찰에 참여하시기 바랍니다.

❍ 납품기한 : 2027년 7월 31일까지

현장·납품지

1곳

납품장소: 대전광역시 유성구 대학로291 KAIST (국가양자팹연구소). 입찰 때 정해짐.

• 열린 분량 · 정해짐 납품장소가 공고에 명시됨

  ❍ 납품장소 : 대전광역시 유성구 대학로291 KAIST (국가양자팹연구소)

• 범위 · 없음(국내 보통 현장) 국내 대전 소재 KAIST 국가양자팹연구소

  ❍ 납품장소 : 대전광역시 유성구 대학로291 KAIST (국가양자팹연구소)

❍ 납품장소 : 대전광역시 유성구 대학로291 KAIST (국가양자팹연구소)

현장 여건

장비 설치 및 시운전 포함. 부대공사·현장 준비에 대한 별도 규정 없음. 위험작업 관련 규정 없음.

설치 조건: 장비 설치 및 시운전 포함. 중대재해처벌법 관련 안전·보건 의무 준수 및 비용 입찰가격 반영 안내 있음.

• 부대공사·현장 준비 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 부대공사·현장 준비 주체 및 비용에 대한 규정 없음
• 위험작업 · 없음 위험작업 관련 규정 없음

- 설치 조건 : 장비 설치 및 시운전 포함

입찰자는 현장여건, 과업내용 등을 미리 확인하여 이와 관련된 제반비용을 입찰가격에 반영하여야 합니다.

작업 시기

해당 없음

일할 수 있는 때에 대한 제약 규정 없음

다른 일정에 묶임

아니다

다른 공사·사업 일정에 묶였다는 규정 없음

나눠 납품

한 번에 전량

납품기한 2027년 7월 31일까지 하나만 적혀 있고 나눠 내라는 말이 없음

• 분할납품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 일반조건에만

❍ 납품기한 : 2027년 7월 31일까지

보관 조건

없음

보관·운송 조건 관련 규정 없음

• 대상 · - 해당 없음

주문 뒤 납품 시한

정해지지 않음

주문(납품요구) 후 납품 시한에 대한 규정 없음. 납품기한만 2027년 7월 31일까지로 정해져 있음.

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 기점 규정 없음

포장·표시

포장 단위나 제품 표시·라벨 요구 없음

포장·라벨 관련 규정 없음

보안 조치

의무 · 계약 뒤 지킬 일

제안요청서 Ⅲ. 제안 조건에 보안사항 준수 및 보안 사고 책임 규정. Ⅴ. 기타 사항에 대외비 취급 및 외부 공개 불가 규정. 보안 대책이 평가 점수에 포함되지 않음.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 보안 대책이 평가 항목에 없음
• 대상 · 자료 반출 금지·끝난 뒤 삭제·반납 제출 문서·자료·정보 외부 공개 불가, 정보유출 금지

  제안서와 관련되어 한국과학기술원에 기 제출된 모든 문서와 제공한 자료 및 정보에 대해서는 외부에 공개 불가

제안업체는 동 사업과 관련하여 취급 또는 습득한 정보에 대하여 과업수행기간은 물론 그 이후라도 정보유출 등에 관한 보안사항을 준수하여야 하며, 보안 사고에 대한 민․형사상의 모든 책임을 져야 함

제안요청일 이후 제안서 제출 시까지 발생하는 모든 사안에 대하여 제안 참여 업체의 제안 관계자 이외의 인원에 대해서는 대외비로 취급

제안서와 관련되어 한국과학기술원에 기 제출된 모든 문서와 제공한 자료 및 정보에 대해서는 외부에 공개 불가

주제 · 견본·검사·검수 7개

검수

발주처 검수만

장비 설치 및 시운전 포함, 검수 시 물질별 퀄테스트 진행. 외부 기관 심의·승인·검사·감리·성과심사 문구 없음.

설치 조건 : 장비 설치 및 시운전 포함

위 물질별로 장비 검수시 퀄테스트를 진행하며, 해당 사양을 만족하여아한다.

샘플·시안 선제출

없음

입찰 단계에서 시안·샘플·견본·시연·성능시험을 요구하는 문구 없음. 제안서 발표 없이 서면 평가. 카달로그·브로슈어·도면 등 설명 자료 제출은 있으나 평가 자리 시연·성능시험은 아님.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표에 입찰 단계 시연·성능시험 배점 없음.
• 대상 · - 해당 없음.

시험·검사

시험·검사 없음

검수 시 퀄테스트를 진행하나 비용 부담 주체·시험 단위·장소는 문서에 없음. 별도 품질 시험·검사·분석 비용 조항 없음.

• 시험 단위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험 단위에 대한 문구 없음.
• 시험 장소 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험 장소에 대한 문구 없음.

위 물질별로 장비 검수시 퀄테스트를 진행하며, 해당 사양을 만족하여아한다.

시안 승인

-

본 작업·제작 전 시안·샘플·제작도·중간검수 승인 횟수에 대한 문구 없음.

• 수정 횟수 · - 수정 횟수에 대한 문구 없음.
• 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 승인 기간이 납기에 드는지에 대한 문구 없음.

공장 실사·입회

없음

발주처가 공장·사업장을 실사하거나 제작 중간검사에 입회한다는 문구 없음.

이 공고가 군수품 조달인가 — 국방부·각 군이…

아니다

수요기관은 한국과학기술원(KAIST)이며 군수품 특수조건·국방규격·재고번호·군 검사 등 군 전용 절차 문구 없음.

군수품이면 납품 검사·검수는 누가 하나 — 수…

해당 없음

군수품 조달이 아님.

• 품질보증형태 · 해당 없음 군수품 조달이 아님.

주제 · 인력·A/S·하자 대응 8개

장비·시설 보유

없음

장비·시설을 갖추라는 요구는 문서에 없다. 다만 국내 서비스 조직 보유와 전문 엔지니어 확보는 A/S 조직·인력 요구로 이 질문 대상이 아니다.

• 갖출 때 · 해당 없음 갖출 시점을 정한 문장이 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표에 장비·시설 보유 점수 항목이 없다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 임차·소유 조건이 적혀 있지 않다.

인력 자격

감점 · 점수에 반영

과업참여자의 전문성(20점), 인력 투입 및 업무 분담의 명확화(20점), 유지보수 인력 제시(4대 보험 증빙) 등이 평가 항목이다. 자격·등급·학위·경력은 서식 6 보유 기술 인력 세부 현황의 등급 구분(특급·고급·중급·초급)으로 제시한다.

• 크기 · 12~20점 인력·관리 기술 20점 항목(매우우수 20 ~ 매우미흡 12).

  ○ 인력․관리 기술 | 20점

  20 | 18 | 16 | 14 | 12

• 대상 · 투입 인력 전반 · 기타 과업참여자·인력 투입 및 업무 분담, 유지보수 인력. 전담 역할(현장대리인·안전관리자 등)은 문서에 없다.

  - 인력 투입 및 업무 분담의 명확화

  - 과업참여자의 전문성

- 인력 투입 및 업무 분담의 명확화

- 과업참여자의 전문성

- 유지보수(하자보수)의 적정성 평가를 위한 인력 제시

※ 해당 인력 보유 증명을 위해 4대 보험 증빙 제출

출동 시한

없음

고장·장애 시 현장 도착·착수 시한을 정한 문장이 없다. 하자보수 조건은 기술지원 및 필요한 조치 제공뿐이다.

• 도착 시한 · - 도착 시한이 적혀 있지 않다.

처리 시한

-

처리·복구 완료 시한이 적혀 있지 않다. 하자보수 기간 중 고장·성능 이상 시 기술지원 및 필요한 조치 제공만 있다.

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 처리 시한이 없어 기점도 정해지지 않았다.

- Warranty 기간 중 장비 고장 및 성능 이상 발생 시 기술지원 및 필요한 조치 제공

교육·기술이전

3회

장비 설치 후 운용 및 유지보수 관련 교육 3회, 장비 납품 후 1년 이내 수요기관 요청 시 3회까지 무상교육. 장비 운용자에 대한 6개월 주기 정기 교육 및 운용능력 검증 지원도 있다.

• 무상 · 우리 부담(대가 안) 납품 후 1년 이내 요청 시 3회까지 무상교육.

  장비 납품 후 1년 이내 수요기관에서 교육 요청 시 3회까지 무상교육을 실시해야 함

- 장비 설치 후 운용 및 유지보수 관련 교육 3회 실시

※ 교육 담당자는 입찰업체 또는 공급업체 소속 직원이어야 하며, 장비 납품 후 1년 이내 수요기관에서 교육 요청 시 3회까지 무상교육을 실시해야 함

하자보수

1년

하자보증기간은 최종 검수일로부터 1년. 세부 하자보수 범위 및 대응 조건은 계약 시 협의.

• 기점 · 설치·검수 완료일 최종 검수일로부터 기산.

  1. 하자보수 기간 : 최종 검수일로부터 1년

• 보증 기간 정기점검 · 없음 보증 기간 중 정기점검 주기를 정한 문장이 없다.
• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 소모성·정기정비 부품의 무상 여부가 적혀 있지 않다.

❍ 하자보증기간 : 최종 검수일로부터 1년

1. 하자보수 기간 : 최종 검수일로부터 1년

단종 뒤 부품 공급

해당 없음

보증 종료·단종 후 부품·소모품·유지보수 공급 기간을 정한 문장이 없다.

A/S 조직·인력

벽 · 못 맞추면 탈락

장비 설치 후 유지보수 및 기술지원을 신속하게 제공할 수 있는 국내 서비스 조직을 보유하여야 하며, 공정·장비·전장 분야 전문 엔지니어를 확보하고 있어야 한다. 인원 수는 적혀 있지 않다.

• 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 요구 인원 수가 적혀 있지 않다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표에 A/S 조직·인력 수 점수 항목이 없다.
• 대상 · A/S 부서·조직 · 지역·전국 서비스망 국내 서비스 조직 보유, 공정·장비·전장 전문 엔지니어 확보. 인원 수·예비품 보유는 적혀 있지 않다.

  - 장비 설치 후 유지보수 및 기술지원을 신속하게 제공할 수 있는 국내 서비스 조직을 보유하여야 하며, 공정(Process), 장비(Mechanical), 전장(Electrical) 분야의 전문 엔지니어를 확보하고 있어야 한다.

- 장비 설치 후 유지보수 및 기술지원을 신속하게 제공할 수 있는 국내 서비스 조직을 보유하여야 하며, 공정(Process), 장비(Mechanical), 전장(Electrical) 분야의 전문 엔지니어를 확보하고 있어야 한다.

주제 · 가격·대금·계약 조건 11개

총액·단가 방식

총액

총액입찰로 규격가격동시입찰. 사업예산 495,000,000원(VAT 포함), 기초금액 485,294,100원(VAT 포함). 정산·단가 조정에 관한 문장 없음.

• 정산 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 실적·실비 정산 또는 확정 금액을 정한 문장이 없다.
• 단가 조정 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 단가 고정·시세 연동·협의 조정을 정한 문장이 없다.

○ 계약방법 : 일반경쟁, 총액입찰

○ 사업예산 : 495,000,000원 (VAT 포함)

○ 기초금액 : 485,294,100원 (VAT 포함) ※ 예비가격 산정의 기준이 되는 금액

물량 변동

확정

품목·수량(유도결합 반성 식각기(ICP-RIE) set 1)과 세부 규격·성능·납품기한이 규격서에 확정되어 있고, 제안사는 동등 이상 규격을 제안한다.

| 1 | 23211180
(웨이퍼식각기) | 유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE) | set | 1 |

- 본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

발주처 단가 기준

적혀 있지 않음

발주처가 정한 단가·상한가·요율·품셈 등 대가 산정 기준이 공고·규격서에 없다. 사업예산·기초금액만 제시.

계약 상대

공고 낸 기관 직접

공고기관·수요기관 모두 한국과학기술원(KAIST)이며, 계약·대금 상대를 달리 적은 문장이 없다.

그대로 넘길 돈

아니다

계약금액 안에서 다른 곳에 넘기거나 정해진 곳에 그대로 써야 하는 돈을 정한 문장이 없다.

• 넘길 돈 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 항목·금액이 적혀 있지 않다.
• 투찰 때 반영 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 투찰 시 조정 여부를 정한 문장이 없다.

견적 근거

물량·목록만 공개

물품 내역(품목·수량)과 세부 규격서가 공개되어 있으나 단가·내역서는 없다. 원가계산서·산출내역이 공개되지 않아 이윤 여부는 알 수 없다.

• 이윤 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 원가계산서·산출내역이 공개되지 않았다.

| 연번 | 정부물품분류번호1) (품명)2) | 품목명3) | 단위 | 수량 |

| 1 | 23211180
(웨이퍼식각기) | 유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE) | set | 1 |

대금 받는 때

끝난 뒤 한 번에

납품기한 2027년 7월 31일까지 현장설치, 하자보증기간 최종 검수일로부터 1년. 지급 시기·선금·지급 기한을 정한 문장이 없어 선금·지급 기한은 모름.

• 선금 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 선금 비율을 정한 문장이 없다.
• 지급 기한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 청구 뒤 지급 기한을 정한 문장이 없다.

❍ 납품기한 : 2027년 7월 31일까지

❍ 인도조건 : 현장설치

공채·채권

모름 · 문서로 확인 안 됨

공채·채권 매입을 정한 문장이 공고·규격서에 없다.

보험 가입

없음

이 일 때문에 우리가 들어야 하는 보험·공제를 정한 문장이 없다. 4대 사회보험료 완납증명서 제출은 대금 지급 조건일 뿐 보험 가입 요구가 아니다.

• 보상 한도 · 해당 없음 보험 요구가 없다.
• 보험료 · 해당 없음 보험 요구가 없다.
• 대상 · 해당 없음 보험 요구가 없다.

계약 변동 가능

아니다

예산 확정 전·보조사업자 계약 등으로 계약이 안 되거나 금액·물량·기간이 바뀔 수 있다고 적은 문장이 없다. 예산 활용기간 초과 시 계약 해지·해제 가능 문구는 납품기한 미준수에 따른 것으로 이 질문의 까닭이 아니다.

• 바뀔 수 있는 것 · 해당 없음 계약 불성립·조정을 정한 문장이 없다.

부가세 과세

모름 · 문서로 확인 안 됨

이 일·품목의 과세·면세를 정한 문장이 없다. 사업예산·기초금액이 VAT 포함으로 표기되어 있고, 입찰금액에 부가가치세를 포함해 투찰하라고 지시되어 있다.

• 투찰가에 부가세 · 넣는다 입찰금액에 부가가치세를 포함해 투찰하라고 지시.

  ○ 본 사업예산은 부가가치세가 포함된 금액이므로 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함하여 투찰하여야 함

○ 본 사업예산은 부가가치세가 포함된 금액이므로 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함하여 투찰하여야 함

뽑는 방식 · 입찰 방식 7개

회사 속성 우대

없음

평가표·적격심사 어디에도 창업기업·여성기업·장애인기업·사회적기업·소기업·고용실적·인증·산업재해율에 따른 우대(가점·특례) 규정이 없다. 중소기업·소상공인확인서는 입찰참가자격 요건일 뿐 우대가 아니다.

• 우대 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 문서에 회사 속성 우대 대상이 적혀 있지 않다.
• 가점 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 회사 속성 우대 가점 규정이 없다.

신용등급·경영상태

감점 · 점수에 반영

일반부문 일반현황 10점을 신용평가등급으로 평가한다. 신용평가등급 확인서 미제출 시 최저등급(7.0점)으로 평가하며, 입찰공고일 이전 평가·유효기간 내 등급을 가장 최근 것으로 평가하고 다수가 다르면 가장 낮은 등급으로 평가한다. 기술신용평가(T등급)·재무비율·매출·지급여력은 없다.

• 등급이 없을 때 · 최저 등급 점수 신용평가등급 확인서를 제출하지 않을 경우 최저등급으로 평가(7.0점).

  ② 신용평가등급 확인서를 제출하지 않을 경우에는 최저등급으로 평가하며, 유효기간 시작일 또는 만료일이 입찰공고일인 경우에도 유효한 것으로 평가한다.

• 크기 · 7~10점 신용평가등급에 의한 경영상태 평가표(10.0점~7.0점).

  | AAA
  AA+, AA0, AA-
  A+, A0, A-
  BBB+, BBB0 | A1
  A2+, A20, A2-
  A3+, A30 | AAA
  AA+, AA0, AA-
  A+, A0, A-
  BBB+, BBB0 | 10.0 |

  | CCC+ 이하 | C 이하 | CCC+ 이하 | 7.0 |

• 대상 · 신용평가등급 회사채·기업어음·기업신용평가등급(신용평가등급)만 해당. 기술신용평가·재무비율·매출·지급여력은 없음.

  ① 「신용정보의 이용 및 보호에 관한 법률」제2조 제8의3에 해당하는 신용조회사 또는「자본시장과 금융투자업에 관한 법률」제335조의3에 따라 업무를 영위 하는 신용평가사가 입찰공고일 이전에 평가하고 유효기간 내에 있는 회사채, 기업어음 및 기업신용평가등급을 평가하되, 가장 최근의 신용평가등급으로 평가한다.

일반부문 | ○ 일반현황 - 경영상태 확인을 위한 신용평가 등급 확인서 | 10점

② 신용평가등급 확인서를 제출하지 않을 경우에는 최저등급으로 평가하며, 유효기간 시작일 또는 만료일이 입찰공고일인 경우에도 유효한 것으로 평가한다.

보유 인력

없음

보유 기술인력 수·등급을 점수나 참가 조건으로 보는 규정이 없다. 서식 6 보유 기술 인력 세부 현황은 제출 서식일 뿐 배점표에 인력 보유 점수 항목이 없다. 인력·관리 기술 20점은 인력 투입 및 업무 분담의 명확화·과업참여자의 전문성으로, 투입 인력에 관한 것이다.

• 기준 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 보유 인력 기준 인원이 적혀 있지 않다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 보유 인력 점수 차 규정이 없다.

소속 직원

의무 · 계약 뒤 지킬 일

교육 담당자는 입찰업체 또는 공급업체 소속 직원이어야 한다. 그 외 투입 인력(PM·발표자·현장대리인)의 소속·재직기간·고용형태 조건은 없다. 유지보수 인력은 4대 보험 증빙을 제출하나 소속 요건 문장은 없다.

• 재직 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 재직 기간 조건이 적혀 있지 않다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 소속·재직 관련 배점이 없다.
• 대상 · 기타 교육 담당자(입찰업체 또는 공급업체 소속 직원).

  ※ 교육 담당자는 입찰업체 또는 공급업체 소속 직원이어야 하며, 장비 납품 후 1년 이내 수요기관에서 교육 요청 시 3회까지 무상교육을 실시해야 함

• 조건 · 없음 프리랜서·외부 전문가 활용에 관한 규정이 없다.

※ 교육 담당자는 입찰업체 또는 공급업체 소속 직원이어야 하며, 장비 납품 후 1년 이내 수요기관에서 교육 요청 시 3회까지 무상교육을 실시해야 함

큰 배점 항목

공고규격 또는 기술과의 적합성 30점, 장비의 효율성 및 편의성 20점, 인력·관리 기술 20점(추진체계·기술 보유 및 지원방안도 20점).

기술규격평가 배점표: 일반현황(신용평가) 10점, 공고규격 또는 기술과의 적합성 30점, 장비의 효율성 및 편의성 20점, 인력·관리 기술 20점, 추진체계·기술 보유 및 지원방안 20점, 합계 100점.

| 기술부문 | ○ 공고규격 또는 기술과의 적합성 | 30점

| 기술부문 | ○ 장비의 효율성 및 편의성 | 20점

| 기술부문 | ○ 인력․관리 기술 | 20점

무상 추가 제공

의무 · 계약 뒤 지킬 일

하자보증기간은 최종 검수일로부터 1년이며, Warranty 기간 중 장비 고장·성능 이상 시 기술지원 및 조치를 제공해야 한다. 장비 설치 후 운용·유지보수 교육 3회, 6개월 주기 정기 교육 및 운용능력 검증 지원. 과업 밖 추가 제공을 점수로 주는 배점은 없다.

• 요구 기간 · 1년 하자보수 기간 최종 검수일로부터 1년.

  1. 하자보수 기간 : 최종 검수일로부터 1년

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 사후관리·추가 제공 배점이 없다.
• 대상 · 유지보수·사후지원 하자보수(워런티) 대응체계가 관리부문 평가요소에 포함되나 별도 배점표 항목은 아니다.

  - 설치 후 검수(Test Wafer 식각 등) 및 성능 확인 지원계획, 하자보수(워런티) 대응체계의 구체성

1. 하자보수 기간 : 최종 검수일로부터 1년

- Warranty 기간 중 장비 고장 및 성능 이상 발생 시 기술지원 및 필요한 조치 제공

평가 자리 발표

서면 평가만

제안서 발표 없이 서면으로 평가한다. 사업설명회 미실시. 발표가 없으므로 빠지면·발표자 관련 규정은 없다.

• 빠지면 · 해당 없음 발표가 없어 해당 없음.

❍ 제안서의 평가는 본교의 기술평가위원회를 통해 제안서류를 평가하며, 제안서 발표 없이 서면으로 평가

카테고리 · 연구·실험·계측장비 5개

지원사업·R&D 재원

아니다

품질 인증

없음

경비 부담

우리 부담(대가 안)

제안과 관련된 일체의 소요비용은 제안업체가 부담. 장비 설치 및 시운전 포함.

제안과 관련되어 제출된 자료 일체는 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요비용은 제안업체가 부담

설치 조건 : 장비 설치 및 시운전 포함

공정 장비 종류

식각

유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE) — ICP 기반 플라즈마 식각 장비

유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE)

초전도 큐비트, 양자점, 이온트랩 기반 양자소자의 정밀 식각 공정 및 나노스케일 가공을 위한 ICP-RIE 기반 플라즈마 식각 기술 활용

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

6inch

6 inch wafer (Flat/Notch type), Extendable to 8 inch wafer

6 inch wafer (Flat/Notch type), Extendable to 8 inch wafer 1SET

문서 발췌

과업·요구

=== KAIST 규격가격동시입찰 (규격)제안요청서 양식_웨이퍼 식각기_최종.hwp === 유도결합 반응성 식각기 구매 2026. 09 ※ 관련 문의 ○ 입찰참가자격 등록, 나라장터 시스템 : 정부조달 콜센터(1588-0800) ○ 입찰 및 계약 (입찰공고, 개찰, 계약방법 등) : 구매팀 한상민 ☎ 042-350-2332 ○ 물품 규격, 사양 등 : 국가양자팹연구소 정용준 ☎ 042-350-8542 규 격 제 안 요 청 서

■ ■ 목 차 ■ ■

Ⅰ. 사업 개요 1 Ⅱ. 입찰 참가 자격 1 Ⅲ. 낙찰자 선정 방법 및 제안 조건 2 Ⅳ. 제안서 평가 및 적격업체 선정 3 Ⅴ. 기타 사항 4 Ⅵ. 붙임 1. 제안서 작성 지침 5 2. 기술규격평가 배점표 6 3. 기술규격평가 세부 채점기준표 7 4. 신용평가등급에 의한 경영상태 평가 기준 8 Ⅶ. 서식 1. 제안서 표지 9 2. 업체 일반현황 및 주요 연혁 10 3. 기업신용평가 11 4. 제안 물품 내역 및 규격서 12 5. 규격 비교표 14 6. 보유 기술 인력 세부 현황 15

Ⅰ 사업 개요

❍ 사업명 : 유도결합 반응성 식각기 구매_261041 ❍ 사업예산 : 495,000,000원(VAT 포함) ❍ 규격 및 수량 : 물품 내역 및 세부 규격서 등 참조 ❍ 납품기한 : 2027년 7월 31일까지 ❍ 납품장소 : 대전광역시 유성구 대학로291 KAIST (국가양자팹연구소) ❍ 인도조건 : 현장설치 ❍ 하자보증기간 : 최종 검수일로부터 1년

참가자격

Ⅱ 입찰 참가 자격

❍ 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령」 제12조 및 같은 법 시행규칙 제14조의 규정에 의한 유자격자 ❍ 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정(조달청 고시)」에 의하여 입찰참가 자격등록 마감일시까지 국가종합전자조달시스템(나라장터)에 아래 입찰참가자격을 모두 등록한 자 - 웨이퍼식각기 (물품분류번호 8자리 : 23211180) 공급 또는 제조 ❍ 기타 입찰 자격에 관한 세부 사항은 공고서 및 규격서에 따름

Ⅲ 낙찰자 선정 방법 및 제안 조건

□ 낙찰자 선정 방법 : 규격가격동시입찰* * 제안서와 가격입찰서를 동시에 제출받고 본원의 기술평가위원회의 제안서 평가에 따라 규격적격자를 선정한 후 규격적격자의 가격입찰서를 개봉하여 낙찰자를 선정하는 방식

2. 참가 자격 --------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------- 아래의 입찰 참가 자격을 모두 갖춘 자이어야 합니다. ○ 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령」 제12조 및 같은 법 시행규칙 제14조의 규정에 의한 유자격자 ○ 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정(조달청 고시)」에 의하여 입찰참가 자격등록 마감일시까지 국가종합전자조달시스템(나라장터)에 아래 입찰참가자격을 모두 등록한 자 - (물품) 웨이퍼식각기(물품분류번호 23211180) 제조 또는 공급 ※ 예산 활용기간 제한에 따른 입찰 참가 자격 본 입찰에 따른 물품 구매 예산은 사용 기간에 제한되어 있습니다. 규격서 등에서 명시한 납기가 준수되지 않을 경우 지체상금이 부과될 수 있으며, 납품이 예산 사용 기간을 초과할 것으로 예상되는 경우 계약이 해지 또는 해제될 수 있습니다. 따라서, 반드시 납품기한 내 계약이행 완료가 가능한 업체만 입찰에 참여하시기 바랍니다. ※ ‘중소기업ㆍ소상공인확인서’가 중소기업제품 공공구매 종합정보망(http://www.smpp.go.kr)에서 확인(전자입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 것으로서 전자입찰서 제출 마감일까지 계속 유지되어야 함)되지 않을 경우 입찰참가자격이 없습니다.

과업·요구

Ⅰ. 용도 및 특징(End-user's Use and Feature) 1. 유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE) - 양자상태 제어 및 광자 경로 설계를 위한 광집적회로 기반 양자정보/컴퓨팅소자의 정밀 식각 및 구조 구현 - 초전도 큐비트, 양자점, 이온트랩 기반 양자소자의 정밀 식각 공정 및 나노스케일 가공을 위한 ICP-RIE 기반 플라즈마 식각 기술 활용 - SiN(Silicon Nitride), LN(Lithium Niobate), SiO₂(Silicon Oxide) 및 Metal 물질 맞춤형 식각 Ⅱ. 물품/장비의 구성(Configurations of Goods) 1. 유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE) 가. 주장비 1) Semi-automatic transfer, 1 process module 1SET 2) 1 Vacuum Load-Lock 1SET 3) ICP source and bias RF power (bias plus 기능 필수) 1SET 4) 6 inch wafer (Flat/Notch type), Extendable to 8 inch wafer 1SET 5) PC and LCD Monitor 1SET 나. 부속장비 1) Process chamber Assy 1SET 2) Load-Lock Assy 1SET 3) Chamber Turbo molecular pump 1SET

4) Chamber Dry pump 1SET 5) Load-Lock Vacuum pump 1SET 6) Chiller 1SET 7) PM Gas box 1SET 8) AC/RF Rack 1SET 9) Chamber PM cleaning parts 1SET 10) Wafer mechanical clamp 1SET 11) Lift pin Assy 1SET 12) Signal tower, 3color (R, Y, G) 1SET 13) Gas line: Standard 8 gas lines, expandable up to 12 gas lines 1SET Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specification) 1. 유도결합 반응성 식각기(ICP-RIE) 가. Hardware spec 1) Process Module 1.1) Process chamber Symmetric chamber design Al chamber housing ICP plasma source Mechanical chuck with back side He cooling Base pressure <2mT Ceramic cylinder plasma source block Top gas feed with GDP Wall/Lid heating individually Heated foreline from turbo pump outlet to rear panel Wafer lift pin cylinder Side view port total 4ea(Side 2ea * 2ea) 0.1 mTorr Process manometer, heating type Ceramic ESC (Option) EPD (Option) 1.2) High Vacuum Pump Turbo molecular pump 2,700 ℓ/sec Dry pump for process chamber >1,600 ℓ/min Pendulum APC valve, Φ250mm, Heating type 1.3) RF Power Supply Source power generator 13.56MHz, 3KW Bias power generator 13.56MHz, 1.5KW Bias Pulse . Source & Bias auto RF matching box 1.4) Gas Supply

Standard supply process gases : 8 gases(Max 12 gases) Back side He cooling system Gas line, fitting : 1/4” EP grade, VCR fitting Gas box : conventional gas stick Each line consists of manual valve / pneumatic valve / pressure gauge / regulator 1.5) Chiller Single channel circulation system, Temp. range : -10℃~60℃ Cooling capacity > 5.0KW at 20℃ Heating capacity > 3.0kW at 20℃ Coolant : FL300 Anti-condensation 1.6) System control Automatic process controller Easy cluster engine and graphical user interface Process data log backup system Process operation and control software Real-time display of temperature, gas, and pressure Display of event log Operation program remote support service available 향후 FDC/SEGS/GEM 등 자동화 시스템과 연결할 수 있는 프로그램 지원이 가능해야 한다.

2) Transfer Module 2.1) Load lock 1 Vacuum load lock 1 wafer manual loading Slow / fast pumping and venting 2.2) Transfer Chamber Transfer view window(Top Φ120 1ea) Al housing Slow / fast pumping ATM / Vacuum switch Wafer position/sliding detection sensor 2.3) Aligner Notch/Flat type alignment 2.4) Vacuum pump Rotary pump for Transfer module >1,300 ℓ/min 2.5) System control Industrial computer PCI D-Net master card with Device Net I/O module Windows 7 for system O/S (장비 유지보수 및 데이터 확인을 위해 장비의 OS 접근이 가능해야 함.) Fully automatic control unit Process data log 999 Recipes / Non-Cycling process recipe function. 99 Steps per recipe Easy cluster engine & graphical user interface Touch monitor Air, water interlock system 나. Process spec

1) 식각 성능

1-1) SiO₂, SiN, LN 및 Metal(Ti, TiN, Al) 식각 성능을 확인할 수 있는 공정 테스트 계획을 제출하여야함, 위 물질별로 장비 검수시 퀄테스트를 진행하며, 해당 사양을 만족하여아한다. 1-2) Metal 식각은 Fluorine-based Plasma를 이용한 식각 공정이 가능하여야 한다. 2) Parameter Ramping 기능 2.1) 본 장비에서 해당 기능을 구현할 수 있어야 한다. Ⅳ. 납품 및 교육(Install Test & Education) 1. 설치 및 납품 - 납품기한 : 2027년 7월 31일까지 - 설치 조건 : 장비 설치 및 시운전 포함 - 설치장소 : 대전광역시 유성구 KAIST 국가양자팹연구소 2. 교육 - 장비 설치 후 운용 및 유지보수 관련 교육 3회 실시 - 장비 운용자에 대한 6개월 주기의 정기 교육 및 운용능력 검증 지원 Ⅴ. 하자보수(Maintenance) 1. 하자보수 기간 : 최종 검수일로부터 1년 2. 하자보수 조건 - Warranty 기간 중 장비 고장 및 성능 이상 발생 시 기술지원 및 필요한 조치 제공 3. 기타 하자보수 관련 내용 - 세부 하자보수 범위 및 대응 조건은 계약 시 협의 Ⅵ. 기타 조건(Remarks) 1. 공통사항 - 본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다. - 공급 장비는 제조사에서 직접 생산한 신품(New Equipment)이어야 하며, 중고장비(Refurbished, Used Equipment), 전시품 또는 재생장비의 공급은 허용하지 않는다. - 입찰자는 입찰 마감일까지 제품 규격서, 카탈로그, 기술제안서 등 장비의 성능을 확인할 수 있는 자료를 제출하여야 한다. - 장비 설치 후 유지보수 및 기술지원을 신속하게 제공할 수 있는 국내 서비스 조직을 보유하여야 하며, 공정(Process), 장비(Mechanical), 전장(Electrical) 분야의 전문 엔지니어를 확보하고 있어야 한다. 2. 기타 조건 - 관련법령에 따른 필수 면허·자격 사항 : 해당 없음(N/A) Ⅶ. 규격 관련 문의 소속/직급/성명/연락처/이메일 : KAIST 국가양자팹연구소 정용준 연구원, 042-350-8542, jun5390@kaist.ac.kr)