화학기상반응을 이용한 원자층 증착 설비

요약 AI 요약

울산과학기술원이 진공 상태에서 플라즈마를 이용한 원자층 증착 공정으로 6인치 실리콘 웨이퍼에 박막을 형성하는 설비를 도입하려는 사업이다. 1개의 공정 챔버와 1개의 로드락 챔버로 구성된 장비 1대를 구축한다.

• 6인치 웨이퍼 대응 산화물 플라즈마 원자층 증착(PEALD) 챔버 (Al 6061, 서셉터 히터 최대 400℃, 샤워헤드 최대 150℃)
• 가스 공급부: 금속 전구체 4개 라인, 액체 반응물(예: H2O) 1개 라인, 기체 반응물(H2, N2, NH3, O2, 예비) 5개 라인, MFC 최대 1000 sccm
• 전장 및 소프트웨어: PC 기반 iOV ControlPro 제어 소프트웨어, Device-net 인터페이스, 히터 컨트롤러, 온도·가스·진공 등 시스템 인터록 및 안전 센서
• 단일막 및 복합막 증착 공정 수행, 6인치 웨이퍼에서 박막 증착 균일도 3% 이내(AlO) 구현
• 수동 로드락 챔버(반자동 1매 웨이퍼 이송)
• 장비 설치·조정 및 작동법·유지보수·프로그래밍 교육 수행

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핵심요약

규격·기술 심사

점수와 통과선

기술평가위원회가 제안서를 100점 만점으로 평가하여 평균 85점 이상을 규격입찰 적격 업체로 선정하고, 적격자에 한해 가격개찰을 실시한다. 물품사양서 규격을 충족하지 못하면 부적격 처리한다.

• 통과선 · 85점 이상 100점 만점에 85점 이상

  가. 평가위원들의 종합 평점의 평균이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰 적격 업체로 선정한다.

• 필수 항목·과락 · 그렇다 물품사양서의 규격을 충족하지 못하는 경우 부적격 처리

  라. 물품사양서의 규격을 충족하지 못하는 경우 부적격으로 처리한다.

가. 평가위원들의 종합 평점의 평균이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰 적격 업체로 선정한다.

라. 물품사양서의 규격을 충족하지 못하는 경우 부적격으로 처리한다.

문서 분석

수행 기간

180일 이내

납품기한 계약일로부터 180일 이내(물품사양서는 6개월 이내). 기점은 계약일.

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 없음

라. 납품기한 : 계약일로부터 180일이내

자. 납기
- 계약일로부터 6개월 이내

문서 분석

하자보수

1년

장비의 하자보증 기간은 1년. 기점 미기재. 정기점검·소모성 부품 무상 여부 미기재.

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 기점 미기재
• 보증 기간 정기점검 · 없음 정기점검 요구 없음
• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 소모성·정기정비 부품 무상 여부 미기재

- 장비의 하자보증 기간은 1년으로 한다.
- 하자보증 기간 중 정상적인 작동 상태에서 발생하는 모든 결함은 장비 공급자의 책임 하에
무상으로 수리되어야 한다.

문서 분석

공정 장비 종류

CVD · ALD

품명이 화학기상반응을 이용한 원자층 증착 설비이고, 진공 상태에서 플라즈마를 이용한 원자층 증착 공정(atomic layer deposition process)에 의해 박막을 형성하는 장비.

- 진공 상태에서 플라즈마(Plasma)를 이용한 원자층 증착 공정 (atomic layer deposition process)에 의해 박막을 형성 수 있어야 함.

문서 분석

가격

추정가격

86,363,636원

배정예산

95,000,000원

부가세

8,636,364원

예정가격 방식

복수예가

첨부파일

• HWP · 물품사양서.hwp · 공고규격서
• PDF · 입찰공고문(재공고).pdf · 공고규격서
• HWP · 평가기준서.hwp · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

납품

납품

계약 후 180일
문서: 수행 기간 · 180일 이내

품명

웨이퍼증착적층기 (2321118301)

세부품명 등록

등록 필요

제조물품

아니오
문서: 직접 생산 · 없음

수량

1 식
문서: 일의 분량 · 1대

인도조건

설치까지 · 현장설치도
문서: 일의 끝 · 설치·시운전·가동까지

참가 자격 · 제한

지역제한

제한 없음
문서: 지역 조건 · 없음

업종제한

제한 없음
문서: 업종·면허 조합 · 한 업종
문서: 설치 공사업 면허 · 없음

제출 방법

전자입찰
문서: 입찰 전 절차 · 따로 없음(나라장터만)

실적경쟁 · PQ

모름
문서: 실적 · 없음

공동수급

공동수급불허
문서: 공동수급 · 모름

입찰참가 제한

모름

국제입찰

국내입찰

입찰 일정

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 평가위원들의 종합 평점의 평균이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰 적격 업체로 선정한다.

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 화학기상반응 원자층 증착 설비 납품·설치

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

진공 플라즈마 PEALD 장비로 6인치 웨이퍼에 박막을 증착하는 반도체·박막 공정장비를 사는 공고다.

• 장비 설치 및 조정
• 시운전
• 장비 작동법·유지보수·프로그래밍 교육훈련
• 1년 하자보증 및 A/S(7일 내 현장 도착·수리)

더 확인할 것

기성품·주문제작

이럴 때 꼭 봅니다 — 주문제작 · 설계부터 우리가

기성품·상용 그대로

iOV ControlPro S/W(PC Base) 등 상용 제품을 설치하는 것으로 보이며, 로고·표기·색·설정 맞춤이나 주문제작·설계부터 개발에 관한 내용은 문서에 없다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품을 엮어 하나의 시스템으로 통합한다는 내용이 문서에 없다.

1) iOV ControlPro S/W (PC Base)

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

특정 제품·제조사·브랜드 지정은 없고, 물품사양서 기타사항에 "반드시 상기 사양과 동등 또는 동등 이상의 제품으로 납품하여야 한다"고 적었다. 동등 입증 시점에 대한 규정은 없다.

• 동등 입증 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 동등 입증을 언제까지 받아야 하는지에 대한 문장이 없다.

반드시 상기 사양과 동등 또는 동등 이상의 제품으로 납품하여야 한다.

가. 제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 한다.

합격선

숫자 기준 있음

증착 균일도 3% 이내(AlO) @ 6인치 웨이퍼, Wafer temp ≤400℃(Max), Showerhead kit temp ≤150℃, MFC Max 1000 sccm, System Main Power AC 208V 3φ4W 75A(60Hz) or AC 380V 3φ4W 20A 등 수치 기준이 있다.

• 따를 표준·지침 · iOV ControlPro S/W (PC Base), Device-net Interface Communication, Auto Throttle Valve(NW40) 등 발주처가 지정한 제어 S/W·통신 방식·부품 규격

  1) iOV ControlPro S/W (PC Base)

  2) Device-net Interface Communication

  4) Throttle valve : Auto control, NW40

증착 균일도 : 3%이내(AlO) @ 6인치 웨이퍼에서 유기 가능하여야 함.

2) Susceptor heater : Wafer temp ~≤400℃(Max), SUS 316L

3) Showerhead kit : Showerhead kit temp ~≤150℃, Al, Al 6061

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

항목별 규격 대비표 · 카탈로그·제조사 사양서 · 시험성적서 · 실측·성능 데이터·도면

제안서 작성지침에서 공고 규격 적합성·설비 능력 항목에 "물품사양서에 명시된 규격 관련 자료"를 제출하도록 하고, 제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증할 수 있는 서류를 첨부해야 한다고 적었다. 구체적 증빙 종류를 열거하지는 않았다.

• 마감 뒤 보완 · 조건부 허용 업체에서 제출한 제안서 내용 중 추가 자료가 요구되거나 보완이 필요한 경우에는 추가 제출할 수 있다.

  1) 입찰공고문에 기재된 필수 제출서류를 제외하고, 업체에서 제출한 제안서 내용 중 추가 자료가 요구되거나 보완이 필요한 경우에는 추가 제출할 수 있다.

- 장비 사양 및 특장점 명시

- 기본 규격서의 규격 충족도 및 적합성

다. 제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증할 수 있는 서류를 첨부해야 하며, 허위 작성한 사실이 판명되는 경우 평가대상에서 제외되며 계약 후에도 계약해지와 함께 인적․물적․기간적 손실에 대한 손해배상을 청구할 수 있다.

참가 범위

공개 경쟁

제한(총액)규격가격동시입찰로, 규격 충족·전자입찰 등록·중소기업 확인서 등 조건을 갖춘 업체면 참여 가능. 사전 명단·협약·지명·특정 한 곳으로 제한한 문구 없음.

바. 입찰방법 : 제한(총액)규격가격동시

가. 우리 원에서 제시하는 규격에 따라 납품이 가능한 업체

라. 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 국가종합전자조달시스템 (나라장터)에 입찰참가자격등록 마감일시까지 아래의 자격을 입찰참가 등록한 자

현장 여건

장비 공급자가 울산과학기술원이 지정하는 시간 및 장소에 장비를 설치하고 정상 작동을 위해 요구 조건 및 공정 결과를 충족하여야 한다. 설치 및 시운전은 공급사가 수행한다.

설치·시운전 공급사 부담. 부대공사·현장 준비 관련 별도 조항 없음.

• 부대공사·현장 준비 · 해당 없음 부대공사·현장 준비 관련 조항 없음
• 위험작업 · 없음 위험작업 관련 조항 없음

장비 공급자는 울산과학기술원이 지정하는 시간 및 장소에 장비를 설치하고, 정상 작동을 위해 아래에 요구되는 모든 조건 및 공정 결과를 충족하여야 한다.

- 설치 및 시운전 : 공급사

큰 배점 항목

공고 규격의 적합성 30점, 설비 능력 30점, 업체 현황 10점·기업신용도 10점·사후 관리 10점·추진 계획/교육 훈련 10점

평가기준서 평가표: 일반부문 20점(업체 현황 10, 기업신용도 10), 기술부문 60점(공고 규격의 적합성 30, 설비 능력 30), 품질보증 계획의 적정성 20점(사후 관리 10, 추진 계획/교육 훈련 10).

기술부문(60점) | 공고 규격의 적합성 | | 30점

기술부문(60점) | 설비 능력 | | 30점

일반부문(20점) | 업체 현황 | | 10점

무상 추가 제공

감점 · 점수에 반영

품질보증 계획의 적정성 20점 중 사후 관리 10점의 평가 요소에 '제시한 보증기간 이상의 하자보증'이 포함되어 있다. 물품사양서는 하자보증 기간을 1년으로 정하고 있다. 과업 밖 추가 제공(물량·서비스·제안) 배점은 없다.

• 요구 기간 · 1년 이상 하자보증 기간 1년(물품사양서). 평가는 '제시한 보증기간 이상의 하자보증'을 본다.

  - 장비의 하자보증 기간은 1년으로 한다.

• 크기 · 1~10점 사후 관리 10점 항목의 채점 기준표: 우수 10, 보통 7, 미흡 5

  우수 | 보통 | 미흡

  10 | 7 | 5

• 대상 · 유지보수·사후지원 사후 관리(유지보수·A/S·부품수급·하자보증)만 해당. 과업 밖 추가 제공 배점은 없다.

  사후 관리 | | 10점 | - 장비 유지보수 및 인력운영계획
  - 유지보수를 위한 A/S 및 부품수급의
  용이성
  - 제시한 보증기간 이상의 하자보증

사후 관리 | | 10점 | - 장비 유지보수 및 인력운영계획
- 유지보수를 위한 A/S 및 부품수급의
용이성
- 제시한 보증기간 이상의 하자보증

- 장비의 하자보증 기간은 1년으로 한다.

평가 자리 발표

서면 평가만

입찰공고문에 '별도 공지 및 발표 절차 없이 서면 평가가 진행될 예정'이라고 적혀 있다. 평가기준서에는 필요시 제안발표회를 수행할 수 있다고 되어 있으나, 공고문에서 서면 평가로 확정하였다.

• 빠지면 · 해당 없음 발표가 없으므로 해당 없음.

ㅇ 별도 공지 및 발표 절차 없이 서면 평가가 진행될 예정입니다.

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

6inch

6“ Si wafer에 증착, 6인치 웨이퍼 기준 증착 균일도 3% 이내

- 6“ Si wafer에 증착 할 수 있어야 하며, 1개의 Process chamber와 1개의 Loadlock chamber로 구성되어야 함.

- 증착 균일도 : 3%이내(AlO) @ 6인치 웨이퍼에서 유기 가능하여야 함.

공고 정보

공고종류

재공고 (재입찰공고)

게시일

10/12(월)

공고번호

R26BK01765656-000

참조번호

1000012169

공고기관

울산과학기술원

수요기관

울산과학기술원

계약방법

제한경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

86,363,636원

배정예산

95,000,000원

사전규격번호

R26BD00273037

재공고

재공고

출처

나라장터

문서 분석 전체

이 분야에서 갈리는 것 · 우리가 만드는 공정 방식·기판 크기인가, 주문제작을 150일 안에 끝낼 수 있나, 기술평가 85점을 넘나, 3년 품질보증을 감당하나에서 갈린다.

질문 87개 · 꼭 5 · 좋음 20 · 안 봐도 됨 62

주제 · 참가 자격 9개

업종·면허 조합

한 업종

입찰참가자격등록은 세부품명번호 10자리 2321118301 웨이퍼증착적층기 하나만 요구한다. 코드 밖 자격으로는 중소기업·소상공인 확인서 소지가 있으나 이는 규모·신분 조건이라 이 질문의 코드 밖 자격이 아니다.

• 코드 밖 자격 · 없음 법·조례가 정한 허가·지정·등록이나 사업자등록증 업태·종목, 전문매장 보유 같은 조건은 문서에 없다. 중소기업확인서·직접생산확인증명서는 규모·신분 조건이다.

- 세부품명번호 10자리 2321118301 웨이퍼증착적층기

지역 조건

없음

본점 지역 제한 외에 사업장·지사·시설·인력 소재, 지역 인력 고용, 지역 업체 공동수급, 지역 가점 등 지역을 묶는 조건이 문서에 없다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 지역 관련 평가표 점수 차가 없다.
• 대상 · - 해당하는 지역 조건이 없다.

실적

없음

비슷한 일을 한 실적을 참가 조건이나 점수로 요구하는 문장이 없다. 평가표에도 실적 배점이 없다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 실적 배점이 없다.
• 조건 · 없음 실적 인정 범위를 정한 문장이 없다.

업력

없음

회사 설립·개업 후 경과 햇수를 참가 조건이나 점수로 보는 문장이 없다.

• 요구 업력 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 요구 업력이 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 업력 배점이 없다.

공동수급

모름 · 문서로 확인 안 됨

공동수급 허용·금지를 적은 문장이 문서에 없다.

• 자격을 나눠 채우기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공동수급 관련 문장이 없다.

회사 규모·신분

중소기업만

「중소기업기본법」제2조에 따른 중소기업자 또는 「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」제2조에 따른 소상공인으로서 중기업·소기업·소상공인 확인서를 소지한 자로 참가 자격을 좁힌다.

「중소기업기본법」제2조에 따른 중소기업자 또는 「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」 제2조에 따른 소상공인으로서, 「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 ‘중기업, 소기업 또는 소상공인 확인서’를 소지한 자

안전보건수준평가

없음

안전보건수준평가 대상 사업이라고 적은 문장이 문서에 없다.

하도급

모름 · 문서로 확인 안 됨

하도급·외주 허용·금지를 적은 문장이 문서에 없다.

• 하도급 한도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급 한도가 없다.

직접 생산

없음

직접생산확인증명서가 중소기업제품 공공구매종합정보망에서 확인되어야 한다는 문구가 있으나, 직접생산확인증명서 소지를 참가 자격으로 요구하는지 여부는 문서에 명확하지 않다. 제조 등록·OEM 금지·한 제조사 제품 조건은 없다.

• 참가 등록 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조만인지 제조·공급 모두인지 정한 문장이 없다.
• 직생 범위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 직생 공고 여부가 명확하지 않다.
• 대상 · - 직접 만든 것만·한 제조사 제품으로만 같은 조건이 없다.

◐ 상기 ‘중소기업확인서’ 및 ‘직접생산확인증명서’가 중소기업제품 공공구매종합정보망(http://www.smpp.go.kr)에서 확인이 안 될 경우 입찰참가자격이 없습니다.

주제 · 제품 규격·인증 9개

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

특정 제품·제조사·브랜드 지정은 없고, 물품사양서 기타사항에 "반드시 상기 사양과 동등 또는 동등 이상의 제품으로 납품하여야 한다"고 적었다. 동등 입증 시점에 대한 규정은 없다.

• 동등 입증 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 동등 입증을 언제까지 받아야 하는지에 대한 문장이 없다.

반드시 상기 사양과 동등 또는 동등 이상의 제품으로 납품하여야 한다.

가. 제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 한다.

제조사 확약서

없음

제조사·공식 공급원에게서 받아야 하는 공급 확약서·기술지원 확약서·대리점 지위·정품보증서·수입신고필증 등의 서류 요구가 문서에 없다.

• 대상 · - 해당 서류 요구 없음
• 조건 · 없음

제품 인증

없음

납품 제품에 인증·허가·시험성적서를 갖추라고 한 요구가 문서에 없다.

• 크기 · 해당 없음
• 대상 · -
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

원산지(국산)

모름 · 문서로 확인 안 됨

원산지 제한에 대한 문장이 문서에 없다.

합격선

숫자 기준 있음

증착 균일도 3% 이내(AlO) @ 6인치 웨이퍼, Wafer temp ≤400℃(Max), Showerhead kit temp ≤150℃, MFC Max 1000 sccm, System Main Power AC 208V 3φ4W 75A(60Hz) or AC 380V 3φ4W 20A 등 수치 기준이 있다.

• 따를 표준·지침 · iOV ControlPro S/W (PC Base), Device-net Interface Communication, Auto Throttle Valve(NW40) 등 발주처가 지정한 제어 S/W·통신 방식·부품 규격

  1) iOV ControlPro S/W (PC Base)

  2) Device-net Interface Communication

  4) Throttle valve : Auto control, NW40

증착 균일도 : 3%이내(AlO) @ 6인치 웨이퍼에서 유기 가능하여야 함.

2) Susceptor heater : Wafer temp ~≤400℃(Max), SUS 316L

3) Showerhead kit : Showerhead kit temp ~≤150℃, Al, Al 6061

등록 제품

없음

우수제품·혁신제품·규격심의·사전등록·제품 실적 등 목록·지정 요구가 문서에 없다.

• 대상 · -

신품·제조 시기

없음

신품·최근 생산품·유효기간·단종 모델 관련 요구가 문서에 없다.

• 제조 뒤 경과 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 남은 유효기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

규격·기술 심사

점수와 통과선

기술평가위원회가 제안서를 100점 만점으로 평가하여 평균 85점 이상을 규격입찰 적격 업체로 선정하고, 적격자에 한해 가격개찰을 실시한다. 물품사양서 규격을 충족하지 못하면 부적격 처리한다.

• 통과선 · 85점 이상 100점 만점에 85점 이상

  가. 평가위원들의 종합 평점의 평균이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰 적격 업체로 선정한다.

• 필수 항목·과락 · 그렇다 물품사양서의 규격을 충족하지 못하는 경우 부적격 처리

  라. 물품사양서의 규격을 충족하지 못하는 경우 부적격으로 처리한다.

가. 평가위원들의 종합 평점의 평균이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰 적격 업체로 선정한다.

라. 물품사양서의 규격을 충족하지 못하는 경우 부적격으로 처리한다.

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

항목별 규격 대비표 · 카탈로그·제조사 사양서 · 시험성적서 · 실측·성능 데이터·도면

제안서 작성지침에서 공고 규격 적합성·설비 능력 항목에 "물품사양서에 명시된 규격 관련 자료"를 제출하도록 하고, 제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증할 수 있는 서류를 첨부해야 한다고 적었다. 구체적 증빙 종류를 열거하지는 않았다.

• 마감 뒤 보완 · 조건부 허용 업체에서 제출한 제안서 내용 중 추가 자료가 요구되거나 보완이 필요한 경우에는 추가 제출할 수 있다.

  1) 입찰공고문에 기재된 필수 제출서류를 제외하고, 업체에서 제출한 제안서 내용 중 추가 자료가 요구되거나 보완이 필요한 경우에는 추가 제출할 수 있다.

- 장비 사양 및 특장점 명시

- 기본 규격서의 규격 충족도 및 적합성

다. 제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증할 수 있는 서류를 첨부해야 하며, 허위 작성한 사실이 판명되는 경우 평가대상에서 제외되며 계약 후에도 계약해지와 함께 인적․물적․기간적 손실에 대한 손해배상을 청구할 수 있다.

주제 · 입찰 절차 9개

참가 범위

공개 경쟁

제한(총액)규격가격동시입찰로, 규격 충족·전자입찰 등록·중소기업 확인서 등 조건을 갖춘 업체면 참여 가능. 사전 명단·협약·지명·특정 한 곳으로 제한한 문구 없음.

바. 입찰방법 : 제한(총액)규격가격동시

가. 우리 원에서 제시하는 규격에 따라 납품이 가능한 업체

라. 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 국가종합전자조달시스템 (나라장터)에 입찰참가자격등록 마감일시까지 아래의 자격을 입찰참가 등록한 자

여러 과제로 나뉨

나뉘지 않음

단일 품목 1대에 대한 한 건의 입찰로 과제·권역·그룹·입찰번호로 나뉜 문구 없음.

• 여러 개 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 나뉘지 않아 해당 없음.

2. 수량 | 1

입찰 전 절차

따로 없음(나라장터만)

가격입찰서와 제안서 모두 나라장터 전자 제출만 가능하며, 직접 방문·이메일·우편 제출은 받지 않음. 별도 사전 참가신청·담당자 확인 절차 없음.

ㅇ 가격입찰장소 :국가종합전자조달시스템(나라장터)

○ 제출방법 : 온라인(전자 제출, 나라장터)

※ 직접 방문 및 전자 메일, 우편 등을 통한 서류제출은 받지 않습니다.

현장설명회

없음

현장설명회·현장답사 관련 문구 없음.

정정·재공고 변경

해당 없음(첫 공고)

재공고로 표시되어 있으나 앞선 공고에서 무엇이 바뀌었는지 문서에 없음.

낙찰 업체 수

한 업체가 전량

수량 1대를 한 업체가 낙찰받는 구조. 복수 업체 선정·희망수량 입찰 문구 없음.

• 최소 응찰 물량 · 해당 없음 나눠 낙찰하는 구조가 아님.

2. 수량 | 1

나. 낙찰자 선정방법 : 제안서 평가 적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자

MAS 2단계경쟁

아니다

일반 규격가격동시입찰로, 다수공급자계약·종합쇼핑몰 2단계경쟁 문구 없음.

입찰보증금

면제·지급각서로 갈음

일반 입찰참가자는 입찰금액 100분의 5를 조달청 전자입찰서의 입찰보증금 지급각서로 대체. 다만 채무불이행·금융질서문란자 및 부정당업자 제재 대상자는 실제 납부. 계약·하자 보증 비율은 문서에 없음.

• 입찰보증금 비율 · 5% 일반 입찰참가자는 지급각서로 갈음하나 비율은 입찰금액의 100분의 5.

  마.위 “가”,“나”에 해당하지 않는 입찰참가자의 경우 입찰금액의 100분의 5에 해당하는 입찰보증금을 국가계약법시행령 제37조제3항 각호에 따라 조 달청 전자입찰서의 입찰보증금 지급각서로 대체합니다.

• 계약·하자 보증 비율 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 계약보증금·하자보수보증금·이행보증 비율이 문서에 없음.

마.위 “가”,“나”에 해당하지 않는 입찰참가자의 경우 입찰금액의 100분의 5에 해당하는 입찰보증금을 국가계약법시행령 제37조제3항 각호에 따라 조 달청 전자입찰서의 입찰보증금 지급각서로 대체합니다.

가.신용정보 관리규약 제12조에 의한 채무불이행 또는 금융질서 문란자인 경우 :입찰금액의 100분의 5

문서끼리 다른 곳

아니다

문서 간 값이 어긋난 곳 없음.

주제 · 과업 범위 11개

다른 업 섞임

섞이지 않음

본 사업은 원자층 증착 설비 1종의 납품·설치·시운전이며, 다른 면허·공종·품목의 일이나 별도 업무는 문서에 없다.

하는 일

진공 상태에서 플라즈마를 이용한 원자층 증착(PEALD) 설비 1기를 납품·설치하는 사업이다. 6인치 Si 웨이퍼 대응 Oxide PEALD Chamber 1개와 Loadlock Chamber 1개, Gas Delivery Ass'y, Electrics & SW로 구성되며, 증착 균일도 3% 이내(AlO) @ 6인치 웨이퍼, 단일·복합막 공정, Wafer 최대 400℃, Showerhead 최대 150℃ 등의 성능을 충족해야 한다.

- 진공 상태에서 플라즈마(Plasma)를 이용한 원자층 증착 공정 (atomic layer deposition process)에 의해 박막을 형성 수 있어야 함.

- 6“ Si wafer에 증착 할 수 있어야 하며, 1개의 Process chamber와 1개의 Loadlock chamber로 구성되어야 함.

- 증착 균일도 : 3%이내(AlO) @ 6인치 웨이퍼에서 유기 가능하여야 함.

기존 시스템과 이어짐

없음(새로 하는 독립된 일)

기존 시스템·설비와의 연동, 기존 제조사 제품 묶임, 연속 사업, 상대편 연동 작업·비용 부담에 관한 내용이 문서에 없다.

설치 공사업 면허

없음

전기·정보통신·수도·소방 등 공사업 면허를 요구하거나 하도급·공동수급 조건을 정한 내용이 문서에 없다.

• 대상 · -
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

일의 끝

설치·시운전·가동까지

장비 설치 및 조정, 정상 작동을 위한 조건·공정 결과 충족, 설치 및 시운전은 공급사가 수행한다.

• 시험운영 기간 · 정해지지 않음 설치·시운전을 마친 뒤 넘기기 전까지의 시험운영·안정화 기간이 문서에 정해지지 않았다.

1) 장비 설치 및 조정

장비 공급자는 울산과학기술원이 지정하는 시간 및 장소에 장비를 설치하고,

정상 작동을 위해 아래에 요구되는 모든 조건 및 공정 결과를 충족하여야 한다.

- 설치 및 시운전 : 공급사

기성품·주문제작

기성품·상용 그대로

iOV ControlPro S/W(PC Base) 등 상용 제품을 설치하는 것으로 보이며, 로고·표기·색·설정 맞춤이나 주문제작·설계부터 개발에 관한 내용은 문서에 없다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품을 엮어 하나의 시스템으로 통합한다는 내용이 문서에 없다.

1) iOV ControlPro S/W (PC Base)

함께 넘길 물품

해당 없음

본품과 함께 우리 돈으로 넘겨주거나 비치해야 하는 별도 물품(예비품·전용 공구·소모품 등)이 문서에 없다.

철거·폐기

없음

기존 장비·시설의 철거·이설·폐기·반납이나 다 쓴 물품·포장재 회수에 관한 내용이 문서에 없다.

부가 작업

장비 작동법 교육, 유지보수 교육, 프로그래밍 교육을 실시해야 한다. 하자보증 기간 1년 중 결함 발생 시 7일 이내 현장 도착, 도착 후 7일 이내 수리 완료, 부품 교체 시 공급 가능 시점을 확인해 울산과학기술원 승인을 받아야 한다.

- 다음과 같은 교육은 별도의 협의가 없어도 필수적으로 수행되어야 한다.

* 장비 작동법 교육

* 유지보수 교육

* 프로그래밍 교육

- 하자보증기간 이내 장비 공급자는 장비의 결함 발생 시 사용자의 요청을 접수한 이후 07일 이내에 현장에 도착하여야 하며 도착 후 07일 이내에 수리작업을 완료하여야 한다.

디자인 몫

해당 없음

디자인·편집·원고 작업에 관한 내용이 문서에 없다.

묶인 품목 수

1종

품명은 화학기상반응을 이용한 원자층 증착 설비 1종이며, 수량은 1이다.

• 제조사 수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 품목마다 제조사·상표·모델을 하나로 정해 적은 내용이 문서에 없다.

| 1. 품명 | 화학기상반응을 이용한 원자층 증착 설비 | | |

| 2. 수량 | 1 | 3. 작성일 | 2026년 09월 01일 |

주제 · 납품 일정·현장 11개

일의 분량

1대

물품사양서 수량 1(대). 추정가격 95,000,000원(부가세 포함).

• 열린 분량 · 정해짐 수량이 1로 정해짐

  2. 수량 | 1

2. 수량 | 1

마. 추정가격 : 95,000,000원(*부가세 포함)

수행 기간

180일 이내

납품기한 계약일로부터 180일 이내(물품사양서는 6개월 이내). 기점은 계약일.

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 없음

라. 납품기한 : 계약일로부터 180일이내

자. 납기
- 계약일로부터 6개월 이내

현장·납품지

1곳

납품장소는 울산과학기술원 지정장소 1곳.

• 열린 분량 · 정해짐 지정장소로 정해짐

  다. 납품장소 : 울산과학기술원 지정장소

• 범위 · 없음(국내 보통 현장) 국내 울산 소재 기관

다. 납품장소 : 울산과학기술원 지정장소

현장 여건

장비 공급자가 울산과학기술원이 지정하는 시간 및 장소에 장비를 설치하고 정상 작동을 위해 요구 조건 및 공정 결과를 충족하여야 한다. 설치 및 시운전은 공급사가 수행한다.

설치·시운전 공급사 부담. 부대공사·현장 준비 관련 별도 조항 없음.

• 부대공사·현장 준비 · 해당 없음 부대공사·현장 준비 관련 조항 없음
• 위험작업 · 없음 위험작업 관련 조항 없음

장비 공급자는 울산과학기술원이 지정하는 시간 및 장소에 장비를 설치하고, 정상 작동을 위해 아래에 요구되는 모든 조건 및 공정 결과를 충족하여야 한다.

- 설치 및 시운전 : 공급사

작업 시기

제약 없음

일할 수 있는 때에 대한 제약 조항 없음.

다른 일정에 묶임

아니다

다른 공사·사업 일정에 묶였다는 조항 없음.

나눠 납품

한 번에 전량

납품기한 하나만 적혀 있고 나눠 낸다는 말이 없음.

• 분할납품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 일반조건에만

라. 납품기한 : 계약일로부터 180일이내

보관 조건

없음

보관·운송 조건 관련 조항 없음.

• 대상 · - 해당 없음

주문 뒤 납품 시한

정해지지 않음

주문(납품요구) 후 납품 시한에 대한 조항 없음. 납품기한은 계약일로부터 180일 이내.

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

포장·표시

포장 단위나 제품 표시·라벨 요구에 대한 조항 없음.

해당 없음

보안 조치

의무 · 계약 뒤 지킬 일

제안업체는 취급·습득한 정보에 대해 과업수행기간은 물론 이후라도 정보유출 등 보안사항을 준수하고 보안 사고에 대한 민·형사상 책임을 진다. 제안 요청일 이후 제출 시까지 대외비 취급, 제출 문서·자료·정보 외부 공개 금지.

• 크기 · - 보안 대책이 평가 항목에 없음
• 대상 · 자료 반출 금지·끝난 뒤 삭제·반납 제출 문서·자료·정보 외부 공개 금지

  제안서와 관련되어 울산과학기술원에 기 제출된 모든 문서와 제공한 자료 및 정보에 대해서는 외부에 공개하지 않는다.

사. 제안업체는 동 사업과 관련하여 취급 또는 습득한 정보에 대하여 과업수행기간은 물론 그 이후라도 정보유출 등에 관한 보안사항을 준수하여야 하며, 보안 사고에 대한 민․형사상의 모든 책임을 진다.

- 제안 요청일 이후 제안서 제출 시까지 발생하는 모든 사안에 대하여 제안참여 업체의 제안 관계자 이외의 인원에 대해서는 대외비로 취급 되어야 하며, 제안서와 관련되어 울산과학기술원에 기 제출된 모든 문서와 제공한 자료 및 정보에 대해서는 외부에 공개하지 않는다.

주제 · 견본·검사·검수 7개

검수

발주처 검수만

물품사양서에 장비설치 및 검수, 설치 및 시운전은 공급사가 하되 발주처가 지정하는 장소에서 정상 작동 조건을 충족해야 한다고만 적혀 있고, 외부 기관 심의·승인·검사·감리·성과심사는 없다.

장비 공급자는 울산과학기술원이 지정하는 시간 및 장소에 장비를 설치하고, 정상 작동을 위해 아래에 요구되는 모든 조건 및 공정 결과를 충족하여야 한다.

- 설치 및 시운전 : 공급사

샘플·시안 선제출

없음

입찰·제안 단계에서 시안·샘플·견본·조감도·시험 번역·예약확인서를 미리 만들어 내거나 평가 자리에서 실물·프로그램·서비스를 직접 시연·성능시험 받아야 한다는 요구가 없다. 제안발표회는 필요시 수행할 수 있다고만 적혀 있다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표에 시연·성능시험 관련 배점이 없다.
• 대상 · - 해당하는 대상이 없다.

시험·검사

시험·검사 없음

이 공고·사양서·평가기준서에 품질 시험·검사·분석을 받아야 한다는 요구가 없다. 물품사양서에 증착 균일도 3% 이내 등 성능 조건만 있다.

• 시험 단위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험 단위가 적혀 있지 않다.
• 시험 장소 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험 장소가 적혀 있지 않다.

시안 승인

모름 · 문서로 확인 안 됨

본 작업·제작 전 시안·샘플·제작도·중간검수 승인 횟수가 적혀 있지 않다.

• 수정 횟수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 수정 횟수가 적혀 있지 않다.
• 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 승인 기간이 납기에 드는지 적혀 있지 않다.

공장 실사·입회

-

발주처가 공장·사업장을 실사하거나 제작 중간검사에 입회한다는 내용이 없다.

이 공고가 군수품 조달인가 — 국방부·각 군이…

아니다

수요기관은 울산과학기술원이고, 군수품 특수조건·국방규격·재고번호·국방 표지·군 검사·부대 출입 보안 같은 군 전용 절차가 없다.

군수품이면 납품 검사·검수는 누가 하나 — 수…

해당 없음

군수품 조달이 아니다.

• 품질보증형태 · 해당 없음 군수품 조달이 아니다.

주제 · 인력·A/S·하자 대응 8개

장비·시설 보유

없음

장비·시설을 갖추라는 요구 없음. 물품사양서는 납품할 장비의 규격을 정한 것.

• 갖출 때 · 해당 없음 갖출 시점을 정한 문장 없음
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 장비·시설 보유 점수 없음
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 임차·소유 조건 없음

인력 자격

없음

투입 인력 자격·등급·학위·경력·교육 이수 요구 없음. 평가표의 기술인력 현황은 회사 보유 인력 점수.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 인력 등급·경력 점수 없음
• 대상 · - 해당 없음

출동 시한

의무 · 계약 뒤 지킬 일

하자보증기간 이내 결함 발생 시 사용자 요청 접수 후 07일 이내 현장 도착. 대응 시간대는 근무시간만.

• 도착 시한 · 7일 이내 대응 시간대: 근무시간만

  - 하자보증기간 이내 장비 공급자는 장비의 결함 발생 시 사용자의 요청을 접수한 이후 07일
  이내에 현장에 도착하여야 하며 도착 후 07일 이내에 수리작업을 완료하여야 한다.

- 하자보증기간 이내 장비 공급자는 장비의 결함 발생 시 사용자의 요청을 접수한 이후 07일
이내에 현장에 도착하여야 하며 도착 후 07일 이내에 수리작업을 완료하여야 한다.

처리 시한

7일 이내

현장 도착 후 07일 이내 수리작업 완료. 24시간·365일 대응 요구 없음.

• 기점 · 그 밖(짧은 글) 현장 도착 후부터 기산

  - 하자보증기간 이내 장비 공급자는 장비의 결함 발생 시 사용자의 요청을 접수한 이후 07일
  이내에 현장에 도착하여야 하며 도착 후 07일 이내에 수리작업을 완료하여야 한다.

- 하자보증기간 이내 장비 공급자는 장비의 결함 발생 시 사용자의 요청을 접수한 이후 07일
이내에 현장에 도착하여야 하며 도착 후 07일 이내에 수리작업을 완료하여야 한다.

교육·기술이전

-

장비 작동법 교육, 유지보수 교육, 프로그래밍 교육을 별도 협의 없이 필수 수행. 횟수 미기재. 장비 관련 교육은 별도로 협의하여 실시.

• 무상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 무상 여부 미기재

- 장비와 관련된 교육은 별도로 울산과학기술원와 협의하여 실시한다.
- 다음과 같은 교육은 별도의 협의가 없어도 필수적으로 수행되어야 한다.
* 장비 작동법 교육
* 유지보수 교육
* 프로그래밍 교육

하자보수

1년

장비의 하자보증 기간은 1년. 기점 미기재. 정기점검·소모성 부품 무상 여부 미기재.

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 기점 미기재
• 보증 기간 정기점검 · 없음 정기점검 요구 없음
• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 소모성·정기정비 부품 무상 여부 미기재

- 장비의 하자보증 기간은 1년으로 한다.
- 하자보증 기간 중 정상적인 작동 상태에서 발생하는 모든 결함은 장비 공급자의 책임 하에
무상으로 수리되어야 한다.

단종 뒤 부품 공급

해당 없음

보증 종료·단종 후 부품·유지보수 기간 요구 없음

A/S 조직·인력

없음

A/S 조직·인력·서비스망·예비품 보유 요구 없음. 하자보증기간 이내 결함 시 수리 의무만 있음.

• 인원 · 해당 없음 요구 인원 없음
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 A/S 조직 점수 없음
• 대상 · - 해당 없음

주제 · 가격·대금·계약 조건 11개

총액·단가 방식

총액

추정가격 95,000,000원(부가세 포함), 제한(총액)규격가격동시입찰. 정산·단가 조정에 대한 별도 문구 없음.

• 정산 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 정산 방식에 대한 문구 없음
• 단가 조정 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 단가 조정에 대한 문구 없음

마. 추정가격 : 95,000,000원(*부가세 포함)

바. 입찰방법 : 제한(총액)규격가격동시

물량 변동

확정

수량 1, 물품사양서에 상세 규격 확정. 납품기한 계약일로부터 180일 이내.

2. 수량 | 1

라. 납품기한 : 계약일로부터 180일이내

발주처 단가 기준

적혀 있지 않음

발주처가 정한 단가·산정 기준 없음. 추정가격만 제시.

계약 상대

공고 낸 기관 직접

공고기관·수요기관 모두 울산과학기술원. 계약·대금 상대를 달리 적은 문구 없음.

그대로 넘길 돈

아니다

계약금액 안에서 다른 곳에 넘기거나 정해진 곳에 써야 하는 돈에 대한 문구 없음.

• 넘길 돈 · 해당 없음
• 투찰 때 반영 · 해당 없음

견적 근거

물량·목록만 공개

물품사양서에 규격·구성품 목록 공개. 단가·내역서는 없음.

• 이윤 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 원가계산서·산출내역 미공개

다. 구성품 (악세사리 포함)

1) Oxide PEALD Chamber

2) Gas Delivery Ass’y

3) Electrics & S/W

대금 받는 때

끝난 뒤 한 번에

납품기한 계약일로부터 180일 이내, 지급 방식에 대한 별도 문구 없음.

• 선금 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 선금에 대한 문구 없음
• 지급 기한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 지급 기한에 대한 문구 없음

라. 납품기한 : 계약일로부터 180일이내

공채·채권

모름 · 문서로 확인 안 됨

공채·채권 매입에 대한 문구 없음.

보험 가입

없음

이 일 때문에 들어야 하는 보험·공제에 대한 문구 없음.

• 보상 한도 · 해당 없음
• 보험료 · 해당 없음
• 대상 · 해당 없음

계약 변동 가능

아니다

낙찰 후 계약 불성립·금액·물량·기간 변경 가능성에 대한 문구 없음.

• 바뀔 수 있는 것 · 해당 없음

부가세 과세

모름 · 문서로 확인 안 됨

이 일·품목의 과세·면세 여부를 적은 문구 없음. 추정가격에 부가세 포함 표기만 있음.

• 투찰가에 부가세 · 넣는다 면세사업자인 경우 부가세 포함 투찰, 낙찰 시 부가세 상당액 차감 후 계약.

  ※ 본 사업예산은 부가가치세가 포함된 금액이므로, 입찰자가 면세사업자인 경우 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함하여 투찰하여야 하며, 입찰결과 낙찰자가 면세사업자인 경우 낙 찰금액에서 부가가치세 상당액을 차감한 금액을 계약금액으로 합니다.

뽑는 방식 · 입찰 방식 7개

회사 속성 우대

없음

평가기준서의 평가항목(업체 현황, 기업신용도, 공고 규격 적합성, 설비 능력, 사후 관리, 추진 계획/교육 훈련)에 회사 속성 우대 가점·특례가 없고, 입찰공고문에도 창업기업·여성기업·장애인기업·사회적기업·소기업·고용 실적·인증·산업재해율 관련 우대 규정이 없다. 중소기업·소상공인 확인서 소지는 참가자격(벽)일 뿐 우대가 아니다.

• 우대 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 문서에 우대 대상이 적혀 있지 않다.
• 가점 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 가점 크기가 적혀 있지 않다.

신용등급·경영상태

감점 · 점수에 반영

평가기준서 일반부문 기업신용도 10점이 신용평가등급에 따라 차등 배점된다. 등급이 없을 때의 처리 규정은 없다. 신용평가등급확인서는 제출서류로 요구된다.

• 등급이 없을 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 등급이 없거나 유효기간이 지난 경우의 처리 규정이 문서에 없다.
• 크기 · 7.8~10점 경영상태 평점표: AAA 10점 ~ CCC+ 이하 7.8점

  AAA | | 회사채에 대한 신용평가등급 AAA에 준하는 등급 | 10

  CCC+ 이하 | C 이하 | 회사채에 대한 신용평가등급 CCC+에 준하는 등급 | 7.8

• 대상 · 신용평가등급 신용평가등급(회사채·기업어음·기업신용평가등급)만 해당. 기술신용평가 등급, 재무비율, 매출 규모, 지급여력비율은 없다.

  신용평가등급

기업신용도 | * 붙임 1의 경영상태에 따른 평점표에 따름 | 10점 | - 신용평가등급

④ 신용평가등급확인서 1부

보유 인력

감점 · 점수에 반영

평가기준서 일반부문 업체 현황 10점의 평가 요소에 '기술인력 현황'이 포함되어 있다. 기준 인원(만점 인원·최소 인원)은 문서에 없다.

• 기준 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 기준 인원이 적혀 있지 않다.
• 크기 · 1~10점 업체 현황 10점 항목의 채점 기준표: 우수 10, 보통 3, 미흡 1

  우수 | 보통 | 미흡

  10 | 3 | 1

- 제안 개요 및 제안사의 일반현황, 주요연혁, 주요 사업 분야, 기술인력 현황

소속 직원

없음

투입 인력이 우리 회사 소속 직원이어야 한다는 요구나 재직 기간·고용 형태 조건, 프리랜서·외부 전문가 활용 관련 규정이 문서에 없다.

• 재직 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 재직 기간 조건이 적혀 있지 않다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 점수 차가 없다.
• 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 대상이 적혀 있지 않다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 외부 전문가 활용 관련 규정이 없다.

큰 배점 항목

공고 규격의 적합성 30점, 설비 능력 30점, 업체 현황 10점·기업신용도 10점·사후 관리 10점·추진 계획/교육 훈련 10점

평가기준서 평가표: 일반부문 20점(업체 현황 10, 기업신용도 10), 기술부문 60점(공고 규격의 적합성 30, 설비 능력 30), 품질보증 계획의 적정성 20점(사후 관리 10, 추진 계획/교육 훈련 10).

기술부문(60점) | 공고 규격의 적합성 | | 30점

기술부문(60점) | 설비 능력 | | 30점

일반부문(20점) | 업체 현황 | | 10점

무상 추가 제공

감점 · 점수에 반영

품질보증 계획의 적정성 20점 중 사후 관리 10점의 평가 요소에 '제시한 보증기간 이상의 하자보증'이 포함되어 있다. 물품사양서는 하자보증 기간을 1년으로 정하고 있다. 과업 밖 추가 제공(물량·서비스·제안) 배점은 없다.

• 요구 기간 · 1년 이상 하자보증 기간 1년(물품사양서). 평가는 '제시한 보증기간 이상의 하자보증'을 본다.

  - 장비의 하자보증 기간은 1년으로 한다.

• 크기 · 1~10점 사후 관리 10점 항목의 채점 기준표: 우수 10, 보통 7, 미흡 5

  우수 | 보통 | 미흡

  10 | 7 | 5

• 대상 · 유지보수·사후지원 사후 관리(유지보수·A/S·부품수급·하자보증)만 해당. 과업 밖 추가 제공 배점은 없다.

  사후 관리 | | 10점 | - 장비 유지보수 및 인력운영계획
  - 유지보수를 위한 A/S 및 부품수급의
  용이성
  - 제시한 보증기간 이상의 하자보증

사후 관리 | | 10점 | - 장비 유지보수 및 인력운영계획
- 유지보수를 위한 A/S 및 부품수급의
용이성
- 제시한 보증기간 이상의 하자보증

- 장비의 하자보증 기간은 1년으로 한다.

평가 자리 발표

서면 평가만

입찰공고문에 '별도 공지 및 발표 절차 없이 서면 평가가 진행될 예정'이라고 적혀 있다. 평가기준서에는 필요시 제안발표회를 수행할 수 있다고 되어 있으나, 공고문에서 서면 평가로 확정하였다.

• 빠지면 · 해당 없음 발표가 없으므로 해당 없음.

ㅇ 별도 공지 및 발표 절차 없이 서면 평가가 진행될 예정입니다.

카테고리 · 연구·실험·계측장비 5개

지원사업·R&D 재원

아니다

품질 인증

없음

경비 부담

우리 부담(대가 안)

제안과 관련된 일체의 소요비용은 제안업체가 부담. 설치 및 시운전은 공급사(공급업체)가 수행.

• 관급 금액 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 관급 설치 · 해당 없음

제안과 관련되어 제출된 자료 일체는 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요비용은 제안업체가 부담한다.

- 설치 및 시운전 : 공급사

공정 장비 종류

CVD · ALD

품명이 화학기상반응을 이용한 원자층 증착 설비이고, 진공 상태에서 플라즈마를 이용한 원자층 증착 공정(atomic layer deposition process)에 의해 박막을 형성하는 장비.

- 진공 상태에서 플라즈마(Plasma)를 이용한 원자층 증착 공정 (atomic layer deposition process)에 의해 박막을 형성 수 있어야 함.

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

6inch

6“ Si wafer에 증착, 6인치 웨이퍼 기준 증착 균일도 3% 이내

- 6“ Si wafer에 증착 할 수 있어야 하며, 1개의 Process chamber와 1개의 Loadlock chamber로 구성되어야 함.

- 증착 균일도 : 3%이내(AlO) @ 6인치 웨이퍼에서 유기 가능하여야 함.

문서 발췌

참가자격

라. 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 국가종합전자조달시스템 (나라장터)에 입찰참가자격등록 마감일시까지 아래의 자격을 입찰참가 등록한 자 - 세부품명번호 10자리 2321118301 웨이퍼증착적층기 마. 「중소기업기본법」제2조에 따른 중소기업자 또는 「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」 제2조에 따른 소상공인으로서, 「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 ‘중기업, 소기업 또는 소상공인 확인서’를 소지한 자 * 전자입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 함 ◐ 상기 ‘중소기업확인서’ 및 ‘직접생산확인증명서’가 중소기업제품 공공구매종합정보망 (http://www.smpp.go.kr)에서 확인이 안 될 경우 입찰참가자격이 없습니다. 다만, 중 소기업확인서를 전자입찰서 제출 마감일 전일까지 신청한 업체는 입찰참가가 가능하나 다음의 어느 하나에 해당하는 경우에는 참가자격이 없습니다. - 계약이행능력심사 서류제출 마감일까지 중소기업확인서가 발급되지 않은 경우 - 발급된 중소기업확인서가 입찰참가자격의 기업구분과 다른 경우 - 발급된 중소기업확인서의 유효기간 시작일이 전자입찰서 제출 마감일 이후인 경우 - 전자입찰서 제출 마감일 이후 중소기업확인서를 신청한 경우 ◐ 아래 각호에 어느 하나에 해당하는 경우에는 위 입찰참가자격을 모두 갖춘 경우에도 동 입찰에 참여할 수 없습니다.

과업·요구

7. 기타사항 - 본 사양서에 언급되지 않은 사항은 일반 구매 계약 기준에 따르며 계약 후의 별도 사항 발생시에는 상호 협의 하에 적용한다. - 반드시 상기 사양과 동등 또는 동등 이상의 제품으로 납품하여야 한다.

물품사양서 [COMMODITY DESCRIPTION]

=== 평가기준서.hwp ===

화학기상반응을 이용한 원자층

증착 설비

규격가격동시입찰 평가기준서

울산과학기술원

1. 계약방법 - 규격가격동시입찰 - 관련 근거: 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제18조 2. 제안 자격 - 입찰 공고문에 따름 3. 제안 조건 가. 제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 한다. 나. 제안과 관련되어 제출된 자료 일체는 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요비용은 제안업체가 부담한다. 다. 제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증할 수 있는 서류를 첨부해야 하며, 허위 작성한 사실이 판명되는 경우 평가대상에서 제외되며 계약 후에도 계약해지와 함께 인적․물적․기간적 손실에 대한 손해배상을 청구할 수 있다. 라. 제출된 제안서의 내용은 수정, 삭제 또는 대체할 수 없다. 마. 제안서에 제시된 내용은 계약서에 명시하지 않더라도 계약서와 동일한 효력을 가진다. 다만, 계약서에 명시된 경우에는 계약서의 내용이 우선한다.

배점·평가