입찰공고상세[물품]

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다중원소 스퍼터 증착기

재공고 · 광주과학기술원 · 반도체·박막 공정장비

추정가격
8,750만원
참가자격 등록 마감
10/14(수) 18:00 · D-1
낙찰방법
적격심사제 · 하한율 86.245%
참가 자격
제한 없음
무슨 일
다중원소 스퍼터 증착기 제조·납품·설치
걸리는 것
추가 자격 요건 · 직접 생산만
입찰 전
사전 참가신청·등록

요약 AI 요약

위상물질 성장을 위한 전구체 박막을 증착하는 다중원소 스퍼터 증착기를 도입하는 사업이다. 전이금속 칼코제나이드·산화물·칼코젠 등 다중원소 타겟을 사용해 얇고 균일한 박막을 만든다.

  • 메인 챔버 배기 장치(터보 펌프 800리터/초, 로터리 펌프 400리터/분, 게이트 밸브, 압력 조절 스로틀 밸브, 앵글 밸브, 자동 벤트 밸브 등) 1세트
  • 마그네트론 스퍼터링 건 3세트(타겟 2인치, 타겟 두께·건 거리 조절, 공압 셔터)
  • 메인 챔버 진공 측정 장치(이온 게이지 1개, 대류 게이지 2개, 표시 제어기)
  • 고주파 전원 공급 장치 및 정합 회로 3세트(주파수 각각 12.56·13.56·14.56㎒, 최대 600W)
  • 가스 공급 장치(질량 유량 제어기 2개, 다이아프램 밸브, 가스 튜브·피팅)
  • 메인 챔버(SUS304, 미러 폴리싱, 배기·가열 스테이지·뷰·가스·게이지·스퍼터 건 포트)와 기판 스테이지(SUS304, 4인치, 최대 1,000도, SiC 히터, 회전), 자동 압력 제어기, 제어 프로그램(산업용 PC 17인치 터치, 자동/반자동·레시피 제어·데이터 저장·실시간 트렌드), 시스템 지지 프레임

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핵심요약

걸리는 것
추가 자격 요건 · 직접 생산만

추가 자격 요건

직접생산확인증명서 소지(전자입찰서 제출마감일 전일까지 발급·유효기간 내)

국가종합전자조달시스템(나라장터) 입찰참가자격등록규정에의하여 입찰 참가 자격등록 마감일시까지 진공증착기(세부품명번호 10자리 2399039801)를 제조물품으로 입찰 참가를 등록한 업체로서 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」제9조 및 같은 법 시행령 제10조에 의한 직접생산확인증명서를 소지한 업체이어야 합니다.

직접 생산만

진공증착기(2399039801)를 제조물품으로 등록하고 직접생산확인증명서를 소지한 업체.

국가종합전자조달시스템(나라장터) 입찰참가자격등록규정에의하여 입찰 참가 자격등록 마감일시까지 진공증착기(세부품명번호 10자리 2399039801)를 제조물품으로 입찰 참가를 등록한 업체로서 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」제9조 및 같은 법 시행령 제10조에 의한 직접생산확인증명서를 소지한 업체이어야 합니다.
입찰 전
사전 참가신청·등록

입찰 전 따로 할 절차 · 사전 참가신청·등록

입찰참가 미등록 업체는 입찰집행일 전일 근무시간까지 입찰등록을 해야 함. 사전 참고자료 제출은 필수 아님(2026.10.12 18:00).

입찰참가 미등록 업체는 반드시 제2항 입찰참가자격에서 요구하는 필요한 요건에 대하여 입찰집행일 전일 근무시간까지 입찰등록을 하여야 합니다.
사전 참고자료 제출 마감 : 2026. 10. 12.(월) 18:00까지(이메일 송부)
(기초금액 산정을 위한 참고자료일 뿐, 필수 제출 사항은 아님을 알려드립니다.)
규격·기술 심사
가격 전 심사 없음

예정가격 이하 낙찰하한율(86.245%) 이상 최저가격 입찰자 순으로 적격심사 대상자를 선정하고, 조달청 물품구매적격심사 세부기준을 적용하여 종합평점 85점 이상인 자를 낙찰자로 결정한다. 이는 가격 개찰 뒤의 적격심사이므로 가격 전 규격 심사 관문이 아니다.

  • 통과선 · 해당 없음
  • 필수 항목·과락 · 해당 없음
예정가격 이하 낙찰 하한율(86.245%)이상 최저가격(동가 입찰시 나라장터 시스템 추첨으로 결정) 입찰자 순으로 적격심사를 거치며, 심사는 조달청 물품구매적격심사 세부기준을 적용하여 종합평점이 85점 이상인 자를 낙찰자로 결정합니다.

문서 분석

수행 기간
옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음

납품기한은 계약체결일로부터 2026.12.31. 이내이며, 설치 예정일도 2026/12/31일 이내이다.

  • 옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 2026.12.31. 이내로 정해진 납품기한
    납품기한 : 계약체결일로부터 2026.12.31. 이내
납품기한 : 계약체결일로부터 2026.12.31. 이내
설치 예정일 : 2026/12/31일 이내.

문서 분석

하자보수
1년

무상 보증 기간 1년. 기점은 문서에 명시되지 않음. 정기점검·소모성 부품 무상 여부 규정 없음.

  • 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
  • 보증 기간 정기점검 · 없음
  • 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
3. 무상 보증 기간 1년

문서 분석

공정 장비 종류
스퍼터

품명이 다중원소 스퍼터 증착기이고, Magnetron sputtering Gun 3set, RF power supply, 다중원소 기반 타겟 사용 등 스퍼터 공정 장비로 규격이 구성되어 있다.

- 위상물질 성장을 위한 전구체 박막 증착
- 전이금속 칼코제나이드, 전이금속 산화물, 칼코젠 등 다중원소 기반 타겟 사용
2) Magnetron sputtering Gun _ 3set

문서 분석

가격

추정가격
87,500,000원
배정예산
96,250,000원
기초금액
94,300,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)
낙찰하한율
86.245%
부가세
8,750,000원
예정가격 방식
복수예가

첨부파일

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

납품

납품
옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 · 문서
품명
진공증착기 (2399039801)
세부품명 등록
등록 필요
제조물품
예(직접생산)
문서: 직접 생산 · 필수 · 못 맞추면 탈락
수량
1 식
문서: 일의 분량 · 1식
인도조건
설치까지 · 현장설치도
문서: 일의 끝 · 설치·시운전·가동까지

참가 자격 · 제한

지역제한
제한 없음
문서: 지역 조건 · 없음
업종제한
제한 없음
문서: 업종·면허 조합 · 한 업종
문서: 설치 공사업 면허 · 없음
제출 방법
전자입찰
문서: 입찰 전 절차 · 사전 참가신청·등록
실적경쟁 · PQ
모름
문서: 실적 · 없음
공동수급
공동수급불허
문서: 공동수급 · 모름
입찰참가 제한
모름
국제입찰
국내입찰

입찰 일정

진행일시남은 날
공고 게시10/08(목)지남
입찰서 제출 시작10/13(화) 10:00지남
입찰참가자격 등록 마감10/14(수) 18:00D-1
입찰서 제출 마감10/15(목) 10:00D-2
개찰10/15(목) 11:00D-2

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 다중원소 스퍼터 증착기 제조·납품·설치

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

반도체·박막 소자를 만드는 스퍼터 증착 장비를 제조·납품하는 공고로, 대학 팹에서 쓰는 박막 공정장비에 해당한다.

  • 표준 RCP 확보 지원
  • 4인치 웨이퍼 두께·조성 균일도 5% 이내 확보 지원
  • 기존 장비 호환·교환 설치 지원
  • 설치 후 시운전 및 프로그램 설치·테스트
  • 무상 보증 1년(하자보수)

걸리는 것 · 입찰 전 할 일

걸리는 조건

추가 자격 요건

직접생산확인증명서 소지(전자입찰서 제출마감일 전일까지 발급·유효기간 내)

국가종합전자조달시스템(나라장터) 입찰참가자격등록규정에의하여 입찰 참가 자격등록 마감일시까지 진공증착기(세부품명번호 10자리 2399039801)를 제조물품으로 입찰 참가를 등록한 업체로서 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」제9조 및 같은 법 시행령 제10조에 의한 직접생산확인증명서를 소지한 업체이어야 합니다.

직접 생산만

진공증착기(2399039801)를 제조물품으로 등록하고 직접생산확인증명서를 소지한 업체.

국가종합전자조달시스템(나라장터) 입찰참가자격등록규정에의하여 입찰 참가 자격등록 마감일시까지 진공증착기(세부품명번호 10자리 2399039801)를 제조물품으로 입찰 참가를 등록한 업체로서 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」제9조 및 같은 법 시행령 제10조에 의한 직접생산확인증명서를 소지한 업체이어야 합니다.

입찰 전 할 일

  • 입찰 전 따로 할 절차 · 사전 참가신청·등록

    입찰참가 미등록 업체는 입찰집행일 전일 근무시간까지 입찰등록을 해야 함. 사전 참고자료 제출은 필수 아님(2026.10.12 18:00).

    입찰참가 미등록 업체는 반드시 제2항 입찰참가자격에서 요구하는 필요한 요건에 대하여 입찰집행일 전일 근무시간까지 입찰등록을 하여야 합니다.
    사전 참고자료 제출 마감 : 2026. 10. 12.(월) 18:00까지(이메일 송부)
    (기초금액 산정을 위한 참고자료일 뿐, 필수 제출 사항은 아님을 알려드립니다.)

더 확인할 것

기성품·주문제작

이럴 때 꼭 봅니다 — 주문제작 · 설계부터 우리가

기성품·상용 그대로

상세규격서에 규격·사양이 정해져 있고, 제어 프로그램은 시스템 프로그램 설치 및 시험 운행으로 제시되어 있다.

  • 시스템 통합 · 아니다
- System program installation & test run

지정 제품·공법

지정 없음

특정 제품·제조사·브랜드·공법을 지정한 문장이 없다. 다만 상세규격서에 '기존 장비 호환 및 교환 설치 및 사용 가능 확보 - 모든 파트 교환 설치 및 호환 가능 설계'라는 조건이 있다.

  • 동등 입증 때 · 해당 없음 본 답이 「지정 없음」이므로 해당 없음.
4. 기존 장비 호환 및 교환 설치 및 사용 가능 확보
- 모든 파트 교환 설치 및 호환 가능 설계

합격선

숫자 기준 있음

상세규격서 옵션·액세서리 항목에 '4" wafer 두께, 조성 균일도 5% 이내'라는 성능 수치가 있다. 그 밖에 RF 주파수(12.56/13.56/14.56㎒), 최대출력 600W, 기판 최대온도 1,000℃, MFC 정확도 ±0.2% full scale 등은 제품 사양이다.

  • 따를 표준·지침 · 문서에 따르라고 지정한 표준·지침·법령·양식·방법론의 이름이 없다.
- 4” wafer 두께, 조성 균일도 5% 이내

참가 범위

공개 경쟁

제한경쟁/총액입찰이며, 중소기업·직접생산증명서 등 자격 조건을 갖춘 업체면 참가 가능. 특정 명단·협약·지명이 아님.

제한경쟁/총액입찰입니다.
국가종합전자조달시스템(나라장터) 입찰참가자격등록규정에의하여 입찰 참가 자격등록 마감일시까지 진공증착기(세부품명번호 10자리 2399039801)를 제조물품으로 입찰 참가를 등록한 업체로서 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」제9조 및 같은 법 시행령 제10조에 의한 직접생산확인증명서를 소지한 업체이어야 합니다.

현장 여건

설치 장소는 광주과학기술원 대학C동 303호이며, 장비 설치를 위한 부대공사나 현장 준비에 대한 별도 조건은 문서에 없다.

부대공사·현장 준비에 대한 조건이 문서에 없음

  • 부대공사·현장 준비 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 부대공사·현장 준비에 대한 조건이 문서에 없음
  • 위험작업 · 없음 위험작업에 대한 조건이 문서에 없음
설치 장소 : 광주과학기술원 대학C동 303호

시안 승인

1회

계약 체결 전 낙찰업체 물품규격이 상세규격과 충족하는지 수요자(담당교수) 확인 서명을 받아 계약 체결 서류와 함께 제출. 수정 횟수·승인 기간 규정 없음.

  • 수정 횟수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 수정 횟수 규정 없음
  • 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 승인 기간이 납기에 드는지 규정 없음
그중에 물품(연구장비) 공개경쟁 개찰 후 낙찰업체는 물품 계약 시 납품 예정물품규격이 공고된 상세규격과의 충족 여부를 수요자(담당교수)의 확인 서명을 받아 계약 체결 서류와 함께 의무 제출하도록 규정하여 시행하고 있습니다.

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

4inch

Substrate stage의 Substrate size : 4" dia.로 적혀 있다.

- Substrate size : 4" dia.

공고 정보

공고종류
재공고 (재입찰공고)
게시일
10/08(목)
공고번호
R26BK01763403-000
참조번호
내자 2026-185-01호
공고기관
광주과학기술원
수요기관
광주과학기술원
계약방법
제한경쟁
낙찰방법
적격심사제
계약유형
총액계약
예정가격 방식
복수예가
추정가격
87,500,000원
배정예산
96,250,000원
사전규격번호
R26BD00276594
재공고
재공고
출처
나라장터

문서 분석 전체

이 분야에서 갈리는 것 · 우리가 만드는 공정 방식·기판 크기인가, 주문제작을 150일 안에 끝낼 수 있나, 기술평가 85점을 넘나, 3년 품질보증을 감당하나에서 갈린다.

질문 87개 · 꼭 5 · 좋음 18 · 안 봐도 됨 64

주제 · 참가 자격 9개

업종·면허 조합

한 업종

진공증착기(세부품명번호 2399039801)를 제조물품으로 입찰참가자격 등록한 업체. 코드 밖 자격으로 직접생산확인증명서 소지 요구(벽).

  • 코드 밖 자격 · 벽 · 못 맞추면 탈락 직접생산확인증명서 소지(전자입찰서 제출마감일 전일까지 발급·유효기간 내)
    국가종합전자조달시스템(나라장터) 입찰참가자격등록규정에의하여 입찰 참가 자격등록 마감일시까지 진공증착기(세부품명번호 10자리 2399039801)를 제조물품으로 입찰 참가를 등록한 업체로서 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」제9조 및 같은 법 시행령 제10조에 의한 직접생산확인증명서를 소지한 업체이어야 합니다.
국가종합전자조달시스템(나라장터) 입찰참가자격등록규정에의하여 입찰 참가 자격등록 마감일시까지 진공증착기(세부품명번호 10자리 2399039801)를 제조물품으로 입찰 참가를 등록한 업체로서 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」제9조 및 같은 법 시행령 제10조에 의한 직접생산확인증명서를 소지한 업체이어야 합니다.

지역 조건

없음

본점 지역 제한 외 지역 조건 없음.

  • 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
  • 대상 · -

실적

없음

실적 요구 없음.

  • 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
  • 조건 · 없음

업력

없음

업력 요구 없음.

  • 요구 업력 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
  • 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

공동수급

모름 · 문서로 확인 안 됨

공동수급 허용·금지 문장 없음.

  • 자격을 나눠 채우기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

회사 규모·신분

중소기업만

중기업·소기업 또는 소상공인으로 중소기업확인서 소지 업체.

「중소기업기본법」제2조에 따른 중기업 또는 소기업이거나 「소상공인 보호 및 지원에관한 법률」제2조에 따른 소상공인으로서 「중소기업 범위 및 확인에 관한규정」에따라 발급된 중․소기업․소상공인 확인서(중소기업확인서)를 소지한 업체이어야 합니다.

안전보건수준평가

없음

안전보건수준평가 대상 지정 문장 없음.

하도급

모름 · 문서로 확인 안 됨

하도급 허용·금지 문장 없음.

  • 하도급 한도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

직접 생산

벽 · 못 맞추면 탈락

진공증착기(2399039801)를 제조물품으로 등록하고 직접생산확인증명서를 소지한 업체.

  • 참가 등록 · 제조만
    국가종합전자조달시스템(나라장터) 입찰참가자격등록규정에의하여 입찰 참가 자격등록 마감일시까지 진공증착기(세부품명번호 10자리 2399039801)를 제조물품으로 입찰 참가를 등록한 업체로서 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」제9조 및 같은 법 시행령 제10조에 의한 직접생산확인증명서를 소지한 업체이어야 합니다.
  • 직생 범위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
  • 대상 · 우리가 직접 만든 것만(직생·제조 등록·OEM 불가)
    국가종합전자조달시스템(나라장터) 입찰참가자격등록규정에의하여 입찰 참가 자격등록 마감일시까지 진공증착기(세부품명번호 10자리 2399039801)를 제조물품으로 입찰 참가를 등록한 업체로서 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」제9조 및 같은 법 시행령 제10조에 의한 직접생산확인증명서를 소지한 업체이어야 합니다.
국가종합전자조달시스템(나라장터) 입찰참가자격등록규정에의하여 입찰 참가 자격등록 마감일시까지 진공증착기(세부품명번호 10자리 2399039801)를 제조물품으로 입찰 참가를 등록한 업체로서 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」제9조 및 같은 법 시행령 제10조에 의한 직접생산확인증명서를 소지한 업체이어야 합니다.

주제 · 제품 규격·인증 9개

지정 제품·공법

지정 없음

특정 제품·제조사·브랜드·공법을 지정한 문장이 없다. 다만 상세규격서에 '기존 장비 호환 및 교환 설치 및 사용 가능 확보 - 모든 파트 교환 설치 및 호환 가능 설계'라는 조건이 있다.

  • 동등 입증 때 · 해당 없음 본 답이 「지정 없음」이므로 해당 없음.
4. 기존 장비 호환 및 교환 설치 및 사용 가능 확보
- 모든 파트 교환 설치 및 호환 가능 설계

제조사 확약서

없음

제조사·공식 공급원에게서 받아야 하는 확약서·증명서·정품보증서·수입신고필증 요구가 문서에 없다. 입찰참가자격으로 직접생산확인증명서(중소기업제품 구매촉진법 제9조)를 요구하나 이는 계약상대자 자신이 소지해야 하는 서류로 제조사·공급원에게서 받는 서류가 아니다.

  • 대상 · - 해당 없음
  • 조건 · 해당 없음

제품 인증

없음

납품 제품·장비에 인증·허가·시험성적서를 갖추라고 한 요구가 문서에 없다. 입찰참가자격의 직접생산확인증명서는 회사 자격 요건이지 제품 인증이 아니다.

  • 크기 · 해당 없음
  • 대상 · - 해당 없음
  • 조건 · 해당 없음

원산지(국산)

모름 · 문서로 확인 안 됨

원산지 제한에 관한 문장이 문서에 없다.

합격선

숫자 기준 있음

상세규격서 옵션·액세서리 항목에 '4" wafer 두께, 조성 균일도 5% 이내'라는 성능 수치가 있다. 그 밖에 RF 주파수(12.56/13.56/14.56㎒), 최대출력 600W, 기판 최대온도 1,000℃, MFC 정확도 ±0.2% full scale 등은 제품 사양이다.

  • 따를 표준·지침 · 문서에 따르라고 지정한 표준·지침·법령·양식·방법론의 이름이 없다.
- 4” wafer 두께, 조성 균일도 5% 이내

등록 제품

없음

우수제품·혁신제품·발주처 규격심의·사전등록·특정 기관 인증·플랫폼 등록·제품(모델) 실적·가격집 등재를 요구한 문장이 문서에 없다.

  • 대상 · - 해당 없음

신품·제조 시기

없음

신품·최근 생산품·유효기간·단종 예정 모델에 관한 요구가 문서에 없다.

  • 제조 뒤 경과 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
  • 남은 유효기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

규격·기술 심사

가격 전 심사 없음

예정가격 이하 낙찰하한율(86.245%) 이상 최저가격 입찰자 순으로 적격심사 대상자를 선정하고, 조달청 물품구매적격심사 세부기준을 적용하여 종합평점 85점 이상인 자를 낙찰자로 결정한다. 이는 가격 개찰 뒤의 적격심사이므로 가격 전 규격 심사 관문이 아니다.

  • 통과선 · 해당 없음
  • 필수 항목·과락 · 해당 없음
예정가격 이하 낙찰 하한율(86.245%)이상 최저가격(동가 입찰시 나라장터 시스템 추첨으로 결정) 입찰자 순으로 적격심사를 거치며, 심사는 조달청 물품구매적격심사 세부기준을 적용하여 종합평점이 85점 이상인 자를 낙찰자로 결정합니다.

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

따로 없음

입찰 때 규격 증빙 자료를 내라고 한 문장이 문서에 없다. 다만 계약체결 전 제출서류로 '수요부서 부서장(연구책임자)의 납품규격 확인서 1부'가 있다.

  • 마감 뒤 보완 · 해당 없음
마. 수요부서 부서장(연구책임자)의 납품규격 확인서 1부

주제 · 입찰 절차 9개

참가 범위

공개 경쟁

제한경쟁/총액입찰이며, 중소기업·직접생산증명서 등 자격 조건을 갖춘 업체면 참가 가능. 특정 명단·협약·지명이 아님.

제한경쟁/총액입찰입니다.
국가종합전자조달시스템(나라장터) 입찰참가자격등록규정에의하여 입찰 참가 자격등록 마감일시까지 진공증착기(세부품명번호 10자리 2399039801)를 제조물품으로 입찰 참가를 등록한 업체로서 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」제9조 및 같은 법 시행령 제10조에 의한 직접생산확인증명서를 소지한 업체이어야 합니다.

여러 과제로 나뉨

나뉘지 않음

단일 품명·단일 입찰로 과제·권역·입찰번호로 나뉜 내용 없음.

  • 여러 개 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 나뉘지 않아 해당 없음.

입찰 전 절차

사전 참가신청·등록

입찰참가 미등록 업체는 입찰집행일 전일 근무시간까지 입찰등록을 해야 함. 사전 참고자료 제출은 필수 아님(2026.10.12 18:00).

입찰참가 미등록 업체는 반드시 제2항 입찰참가자격에서 요구하는 필요한 요건에 대하여 입찰집행일 전일 근무시간까지 입찰등록을 하여야 합니다.
사전 참고자료 제출 마감 : 2026. 10. 12.(월) 18:00까지(이메일 송부)
(기초금액 산정을 위한 참고자료일 뿐, 필수 제출 사항은 아님을 알려드립니다.)

현장설명회

없음

사양설명회는 별도로 실시하지 않음.

사양설명회는 별도로 실시하지 아니하며, 공고문(상세규격서, 시방서 등 포함)을 참조하거나 수요부서 담당자에게 문의하여 확인하는 것으로 갈음합니다.

정정·재공고 변경

해당 없음(첫 공고)

재공고이나 앞선 공고에서 바뀐 내용에 대한 기재가 없음.

낙찰 업체 수

한 업체가 전량

단일 업체 낙찰 구조.

  • 최소 응찰 물량 · 해당 없음 나눠 낙찰하는 구조가 아님.

MAS 2단계경쟁

아니다

일반 경쟁입찰로 다수공급자계약·종합쇼핑몰 구조가 아님.

입찰보증금

면제·지급각서로 갈음

입찰보증금 납부확약이 명시된 입찰서 제출로 갈음. 낙찰자가 계약 미체결 시 입찰금액의 100분의 5 납입.

  • 입찰보증금 비율 · 해당 없음 지급각서로 갈음하므로 실제 납부 비율 없음.
  • 계약·하자 보증 비율 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 계약보증금·하자보수보증금 비율에 대한 기재 없음.
입찰보증금은 입찰보증금 납부확약이 명시된 입찰서 제출(G2B 전자입찰)로 갈음하며, 낙찰자가 소정의 기일까지 정당한 사유 없이 계약을 체결하지 않을 경우 입찰금액의 100분의 5에 해당하는 금액을 광주과학기술원에 납입하여야 합니다.

문서끼리 다른 곳

아니다

문서 간 어긋난 값 없음.

주제 · 과업 범위 11개

다른 업 섞임

섞이지 않음

진공증착기(다중원소 스퍼터 증착기) 제조물품 단일 품목 구매로, 다른 면허·공종·품목의 일이 섞여 있지 않다.

진공증착기(G2B 세부품명번호: 2399039801)를 제조물품(직접생산증명서)으로 입찰참가자격을 등록한 업체

하는 일

다중원소 스퍼터 증착기 1식을 납품·설치하는 사업으로, 위상물질 성장을 위한 전구체 박막 증착용 장비다. 터보/로터리 펌프, 마그네트론 스퍼터링 건 3set, RF 전원 3set, 가스 공급부, 기판 스테이지(최대 1,000℃), 자동 압력 제어기, 제어 프로그램(Full auto/semi auto), 시스템 지지 프레임 등으로 구성된다.

위상물질 성장을 위한 전구체 박막 증착
- 전이금속 칼코제나이드, 전이금속 산화물, 칼코젠 등 다중원소 기반 타겟 사용
- 얇고 균일한 박막 제어를 위한 RF 건 및 기판 온도 제어 시스템 도입

기존 시스템과 이어짐

기존 제조사 제품에 묶임

기존 장비 호환 및 교환 설치·사용 가능 확보, 모든 파트 교환 설치 및 호환 가능 설계를 요구한다.

4. 기존 장비 호환 및 교환 설치 및 사용 가능 확보
- 모든 파트 교환 설치 및 호환 가능 설계

설치 공사업 면허

없음

설치가 법상 공사(전기·정보통신·수도·소방)에 해당한다는 요구나 공사업 면허 요건이 문서에 없다.

  • 대상 · -
  • 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

일의 끝

설치·시운전·가동까지

납품 설치 후 표준 RCP 확보 지원, 웨이퍼 증착 균일도 확보 지원, 시스템 프로그램 설치 및 시험 운행(test run)을 요구한다.

  • 시험운영 기간 · 정해지지 않음
1. 납품 설치 후 표준 RCP 확보 지원
- System program installation & test run

기성품·주문제작

기성품·상용 그대로

상세규격서에 규격·사양이 정해져 있고, 제어 프로그램은 시스템 프로그램 설치 및 시험 운행으로 제시되어 있다.

  • 시스템 통합 · 아니다
- System program installation & test run

함께 넘길 물품

해당 없음

본품과 함께 넘겨주거나 비치해야 하는 별도 물품이 문서에 없다.

철거·폐기

없음

기존 장비·시설의 철거·이설·폐기·반납이나 폐기물 회수 요구가 문서에 없다.

부가 작업

납품 설치 후 표준 RCP 확보 지원, 웨이퍼 증착 균일도 확보 지원(4" wafer 두께·조성 균일도 5% 이내), 사후 장비 관리 및 점검 지원.

1. 납품 설치 후 표준 RCP 확보 지원
2. Wafer 증착 균일도 확보 지원
3. 사후 장비 관리 및 점검 지원

디자인 몫

해당 없음

디자인·편집·원고 작업이 이 공고에 없다.

묶인 품목 수

10종

Main chamber pumping unit, Magnetron sputtering Gun, Vacuum measurement unit, RF power supply & matching network, Gas supply unit, Main chamber, Substrate stage, Auto Pressure Controller, Control program, System support frame 등 10종.

  • 제조사 수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
1) Main chamber pumping unit _ 1set
10) System support frame _ 1set

주제 · 납품 일정·현장 11개

일의 분량

1식

장비 1대(1식)로 구매하는 물품이며, 기초금액은 배정예산 96,250,000원(VAT포함)이다.

  • 열린 분량 · 정해짐 1식으로 구매하는 장비 1대
    다중원소 스퍼터 증착기
배정예산 : 금 96,250,000(구천육백이십오만)원(VAT포함)

수행 기간

옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음

납품기한은 계약체결일로부터 2026.12.31. 이내이며, 설치 예정일도 2026/12/31일 이내이다.

  • 옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 2026.12.31. 이내로 정해진 납품기한
    납품기한 : 계약체결일로부터 2026.12.31. 이내
납품기한 : 계약체결일로부터 2026.12.31. 이내
설치 예정일 : 2026/12/31일 이내.

현장·납품지

1곳

설치 장소는 광주과학기술원 대학C동 303호 1곳이다.

  • 열린 분량 · 정해짐 설치 장소가 공고에 명시됨
    설치 장소 : 광주과학기술원 대학C동 303호
  • 범위 · 없음(국내 보통 현장) 국내 대학 내 설치 장소
    설치 장소 : 광주과학기술원 대학C동 303호
설치 장소 : 광주과학기술원 대학C동 303호

현장 여건

설치 장소는 광주과학기술원 대학C동 303호이며, 장비 설치를 위한 부대공사나 현장 준비에 대한 별도 조건은 문서에 없다.

부대공사·현장 준비에 대한 조건이 문서에 없음

  • 부대공사·현장 준비 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 부대공사·현장 준비에 대한 조건이 문서에 없음
  • 위험작업 · 없음 위험작업에 대한 조건이 문서에 없음
설치 장소 : 광주과학기술원 대학C동 303호

작업 시기

제약 없음

일할 수 있는 때에 대한 제약이 문서에 없음

다른 일정에 묶임

아니다

다른 공사·사업 일정에 묶였다는 내용이 문서에 없음

나눠 납품

한 번에 전량

납품기한 하나만 적혀 있고 나눠 낸다는 내용이 없음

  • 분할납품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 일반조건에만
납품기한 : 계약체결일로부터 2026.12.31. 이내

보관 조건

없음

보관·운송 조건에 대한 요구가 문서에 없음

  • 대상 · 없음 해당 조건이 문서에 없음

주문 뒤 납품 시한

모름 · 문서로 확인 안 됨

주문 후 납품 시한에 대한 내용이 문서에 없음

  • 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 기점에 대한 내용이 문서에 없음

포장·표시

포장 단위나 표시·라벨 요구가 문서에 없음

포장·라벨 요구 없음

보안 조치

의무 · 계약 뒤 지킬 일

보안서약서 제출이 계약체결 전 제출서류로 요구됨

  • 크기 · -
  • 대상 · 출입 승인·보안서약·보안교육 보안서약서 제출
    보안서약서, 청렴계약이행각서, 퇴직자영입현황 조사표 각 1부(양식 첨부)
보안서약서, 청렴계약이행각서, 퇴직자영입현황 조사표 각 1부(양식 첨부)

주제 · 견본·검사·검수 7개

검수

발주처 검수만

납품 설치 후 수요부서 부서장(연구책임자)의 납품규격 확인서를 계약체결 전 제출하고, 낙찰업체 물품규격 충족여부를 수요자가 확인하는 구조. 외부 기관 심의·승인·검사·감리·성과심사 문구는 문서에 없음.

마. 수요부서 부서장(연구책임자)의 납품규격 확인서 1부
① 낙찰업체의 물품규격과 본인이 요구한 규격의 충족여부 검토 결과, 이상이 없음을 확인함

샘플·시안 선제출

없음

입찰·제안·규격평가 단계에서 시안·샘플·견본·시연·성능시험을 내라는 요구 없음. 사전 참고자료(견적서)는 기초금액 산정용이며 필수 제출 사항이 아님.

(기초금액 산정을 위한 참고자료일 뿐, 필수 제출 사항은 아님을 알려드립니다.)

시험·검사

시험·검사 없음

이 공고·상세규격서가 정한 품질 시험·검사·분석 항목이 없음. 납품 설치 후 표준 RCP 확보 지원, wafer 증착 균일도 확보 지원(4" wafer 두께·조성 균일도 5% 이내)은 성능 지원 사항.

  • 시험 단위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험·검사 자체가 없음
  • 시험 장소 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험·검사 자체가 없음
1. 납품 설치 후 표준 RCP 확보 지원
2. Wafer 증착 균일도 확보 지원
- 4” wafer 두께, 조성 균일도 5% 이내

시안 승인

1회

계약 체결 전 낙찰업체 물품규격이 상세규격과 충족하는지 수요자(담당교수) 확인 서명을 받아 계약 체결 서류와 함께 제출. 수정 횟수·승인 기간 규정 없음.

  • 수정 횟수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 수정 횟수 규정 없음
  • 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 승인 기간이 납기에 드는지 규정 없음
그중에 물품(연구장비) 공개경쟁 개찰 후 낙찰업체는 물품 계약 시 납품 예정물품규격이 공고된 상세규격과의 충족 여부를 수요자(담당교수)의 확인 서명을 받아 계약 체결 서류와 함께 의무 제출하도록 규정하여 시행하고 있습니다.

공장 실사·입회

없음

발주처가 공장·사업장을 실사하거나 제작 중간검사에 입회한다는 규정 없음.

이 공고가 군수품 조달인가 — 국방부·각 군이…

아니다

수요기관은 광주과학기술원이며 군수품 특수조건·국방규격·재고번호·군 검사 등 군 전용 절차가 없음.

군수품이면 납품 검사·검수는 누가 하나 — 수…

해당 없음

군수품 조달이 아님

  • 품질보증형태 · 해당 없음 군수품 조달이 아님

주제 · 인력·A/S·하자 대응 8개

장비·시설 보유

없음

입찰참가자격은 진공증착기(세부품명번호 2399039801) 제조물품 등록·직접생산확인증명서 소지 등이며, 일에 쓸 장비·시설 보유 요구는 없다. 납품 물품 자체의 규격(터보펌프 800 L/s, RF 파워 600W 등)은 납품할 물건이지 회사 보유 장비가 아니다.

  • 갖출 때 · 해당 없음
  • 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
  • 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

인력 자격

없음

투입 인력의 자격·등급·학위·경력·교육 이수 요구나 현장대리인·안전관리자 등 전담 역할 요구가 없다.

  • 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
  • 대상 · -

출동 시한

없음

고장·장애·긴급 호출 시 현장 도착·착수 시한이나 야간·휴일 대응 요구가 없다.

  • 도착 시한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

처리 시한

해당 없음

납품 물품으로 요청·장애를 받아 처리하는 일이 없고, 처리 시한 규정이 없다.

  • 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

교육·기술이전

해당 없음

발주처 직원·사용자 교육, 시연, 매뉴얼, 기술이전 횟수 요구가 없다.

  • 무상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

하자보수

1년

무상 보증 기간 1년. 기점은 문서에 명시되지 않음. 정기점검·소모성 부품 무상 여부 규정 없음.

  • 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
  • 보증 기간 정기점검 · 없음
  • 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
3. 무상 보증 기간 1년

단종 뒤 부품 공급

해당 없음

보증 종료·단종 뒤 부품·소모품·유지보수 공급 기간 규정이 없다.

A/S 조직·인력

없음

A/S·기술 인력 수, A/S 부서·조직, 서비스망, 예비품 보유 요구가 없다.

  • 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
  • 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
  • 대상 · -

주제 · 가격·대금·계약 조건 11개

총액·단가 방식

총액

제한경쟁/총액입찰로 배정예산 96,250,000원(VAT포함)이 제시됨. 정산·단가 조정에 관한 별도 조항은 없음.

  • 정산 · 확정 금액 총액입찰로 낙찰금액이 계약금액이 되며, 실적·실비 정산 조항은 없음.
    제한경쟁/총액입찰입니다.
  • 단가 조정 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 계약 기간 중 단가 조정에 관한 조항이 없음.
제한경쟁/총액입찰입니다.
배정예산 : 금 96,250,000(구천육백이십오만)원(VAT포함)

물량 변동

확정

상세규격서에 품목·수량·사양이 모두 확정되어 있음(예: Turbo pump 800 liter/sec 1set, Magnetron sputtering Gun 3set 등).

1) Main chamber pumping unit _ 1set
2) Magnetron sputtering Gun _ 3set

발주처 단가 기준

적혀 있지 않음

발주처가 정한 단가·품셈·요율·상한가 기준이 공고에 없음. 배정예산만 제시됨.

계약 상대

공고 낸 기관 직접

공고기관·수요기관 모두 광주과학기술원이며, 계약·대금 상대를 달리 적은 문장이 없음.

그대로 넘길 돈

아니다

계약금액 안에서 다른 곳에 넘기거나 정해진 곳에 써야 하는 돈에 관한 조항이 없음.

  • 넘길 돈 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 조항 없음.
  • 투찰 때 반영 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 조항 없음.

견적 근거

물량·목록만 공개

용도설명서·상세규격서에 품목·수량·사양이 공개되어 있으나 단가·내역서는 없음. 사양설명회는 별도로 실시하지 않음.

  • 이윤 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 원가계산서·산출내역이 공개되지 않음.
사양설명회는 별도로 실시하지 아니하며, 공고문(상세규격서, 시방서 등 포함)을 참조하거나 수요부서 담당자에게 문의하여 확인하는 것으로 갈음합니다.

대금 받는 때

끝난 뒤 한 번에

물품대금 지급방법은 현금이며, 납품·설치 완료 후 지급으로 보임. 선금·지급기한에 관한 별도 조항은 없음.

  • 선금 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 선금 비율에 관한 조항이 없음.
  • 지급 기한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 청구 후 지급 기한에 관한 조항이 없음.
물품대금 지급방법 : 현 금

공채·채권

모름 · 문서로 확인 안 됨

공채·채권 매입에 관한 조항이 공고문에 없음.

보험 가입

없음

이 일 때문에 들어야 하는 보험·공제에 관한 조항이 없음. 4대 사회보험료 완납증명서 제출은 대금지급 조건이나 보험 가입 요구가 아님.

  • 보상 한도 · 해당 없음 보험 요구 없음.
  • 보험료 · 해당 없음 보험 요구 없음.
  • 대상 · 해당 없음 보험 요구 없음.

계약 변동 가능

아니다

낙찰 후 계약이 안 되거나 금액·물량·기간이 바뀔 수 있다고 적은 조항이 없음.

  • 바뀔 수 있는 것 · 해당 없음 해당 조항 없음.

부가세 과세

모름 · 문서로 확인 안 됨

이 일·품목의 과세·면세를 적은 문장이 없음. 다만 기초금액 및 입찰금액은 부가세를 포함한 금액이라고 적혀 있음.

  • 투찰가에 부가세 · 넣는다 기초금액 및 입찰금액은 부가가치세를 포함한 금액임.
    기초금액 및 입찰금액은 부가가치세를 포함한 금액입니다.

뽑는 방식 · 입찰 방식 7개

회사 속성 우대

없음

회사 속성 우대(가점·특례) 조항이 공고문·용도설명서·상세규격서 어디에도 없다. 적격심사는 조달청 물품구매적격심사 세부기준을 적용한다고만 적혀 있다.

  • 우대 대상 · 없음 문서에 우대 대상이 적혀 있지 않다.
  • 가점 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 가점 크기 자체가 문서에 없다.

신용등급·경영상태

없음

신용평가등급·기술신용평가 등급·경영상태를 참가 조건이나 점수로 본다는 조항이 없다. 참가자격은 중소기업확인서·직접생산확인증명서·세금완납 등만 요구한다.

  • 등급이 없을 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 등급이 없거나 업력이 짧은 회사의 평가 방법이 문서에 없다.
  • 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 자체가 문서에 없다.
  • 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 대상이 문서에 없다.

보유 인력

없음

보유 인력의 수·등급을 점수나 참가 조건으로 본다는 조항이 없다.

  • 기준 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 기준 인원이 문서에 없다.
  • 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표가 문서에 없다.

전담 인력

없음

투입 인력의 전담·겸직·참여율 관련 조항이 문서에 없다.

  • 참여율 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 참여율 상한이 문서에 없다.
  • 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표가 문서에 없다.
  • 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 대상이 문서에 없다.

큰 배점 항목

모름 · 문서로 확인 안 됨

평가표(제안서·규격 평가)의 배점 항목이 문서에 없다. 적격심사는 조달청 물품구매적격심사 세부기준을 적용한다고만 적혀 있다.

가점

없음

특허·신기술·수상·우수업체 선정·기술개발 투자·신규 고용에 대한 가점 조항이 문서에 없다.

  • 가점 대상 · 없음 가점 대상이 문서에 없다.
  • 가점 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 가점 크기가 문서에 없다.

가격을 연 뒤 낙찰자를 어느 심사 기준으로 가…

공통 세부기준

조달청 물품구매적격심사 세부기준(제4조 제1항 제3호 [별표 3])을 적용한다고 적혀 있다. 낙찰 하한율 86.245% 이상 최저가격 입찰자 순으로 적격심사하며 종합평점 85점 이상인 자를 낙찰자로 결정한다.

  • 통과선 · 85점 이상 종합평점 85점 이상
    심사는 조달청 물품구매적격심사 세부기준을 적용하여 종합평점이 85점 이상인 자를 낙찰자로 결정합니다.
조달청 물품구매적격심사 세부기준(제4조 제1항 제3호([별표 3]))
예정가격 이하 낙찰 하한율(86.245%)이상 최저가격(동가 입찰시 나라장터 시스템 추첨으로 결정) 입찰자 순으로 적격심사를 거치며, 심사는 조달청 물품구매적격심사 세부기준을 적용하여 종합평점이 85점 이상인 자를 낙찰자로 결정합니다.

카테고리 · 연구·실험·계측장비 5개

지원사업·R&D 재원

아니다

공고·용도설명서·상세규격서 어디에도 정부·지자체 지원사업이나 연구개발 과제·연구비로 구매한다는 문구가 없다. 배정예산은 기관 예산으로 표기되어 있다.

품질 인증

없음

참가자격은 중소기업확인서·직접생산확인증명서·진공증착기 제조물품 등록 등이며, ISO 등 품질·환경·안전·정보보호 인증이나 업무 절차서를 참가 조건·평가 점수·계약 의무로 요구하는 문장이 없다.

경비 부담

모름 · 문서로 확인 안 됨

장비·자재·소모품·작업 경비를 누가 부담하는지, 관급 여부·금액·설치 주체를 정한 문장이 공고문·용도설명서·상세규격서에 없다.

  • 관급 금액 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 관급 금액을 정한 문장이 없다.
  • 관급 설치 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 관급 설치 주체를 정한 문장이 없다.

공정 장비 종류

스퍼터

품명이 다중원소 스퍼터 증착기이고, Magnetron sputtering Gun 3set, RF power supply, 다중원소 기반 타겟 사용 등 스퍼터 공정 장비로 규격이 구성되어 있다.

- 위상물질 성장을 위한 전구체 박막 증착
- 전이금속 칼코제나이드, 전이금속 산화물, 칼코젠 등 다중원소 기반 타겟 사용
2) Magnetron sputtering Gun _ 3set

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

4inch

Substrate stage의 Substrate size : 4" dia.로 적혀 있다.

- Substrate size : 4" dia.

문서 발췌

과업·요구

1. 품 명영 문Multi-Element Sputtering System
1. 품 명국 문다중원소 스퍼터 증착기

2. 규격(성능 및 사양) : 1) Main chamber pumping unit _ 1set - Turbo pump(800 liter/sec) & controller _Chemical type - Rotary pump (400 liter/min)_ Chemical tyep _ Fomblin Oil & Kalrez O-ring - Gate valve (Pneumatic type) & Auto Pressure Control Throttle Valve - Angle valve(High temp.& Kalrez O-ring, pneumatic type, Roughing & Foreline) - Auto vent valve - Bellows & pumping line - Clamp & centering set 2) Magnetron sputtering Gun _ 3set - Target size : 2" dia. ~ Target Thickness Control & Stage – Gun Distance control possible - Pneumatic shutter 3) Vacuum measurement unit for main chamber - High vacuum level : ion gauge, 1ea - Low vacuum level : convection gauge, 2ea - Display controller

4) RF power supply & matching network _3set - Frequency : 각각 12.56㎒ , 13.56㎒ , 14.56㎒ - Max. power : 600W 5) Gas supply unit - Mass flow controller _ 2ea ~ +/- 0.2% accuracy of full scale ( 2 to 20% full scale) - Diaphragm valve _ High Temp. 1/4“VCR type _ 3ea - Gas tube & fitting 6) Main chamber - Material : SUS304 - Surface treatment : Mirror Polishing - One(1) Pumping port - One(1) Heating stage port - One(1) View port with window & shutter - Four(4) Gas inlet, gauge port - Three(3) Sputter gun port 7) Substrate stage - Material : SUS304 - Substrate size : 4" dia. - Max temp. :to 1,000 degreeC ~ SIC Heater - Sample stage Rotation

8) Auto Pressure Controller - Pressure controller - Motor-geared throttle valve (ISO160) - Capacitance manometer (High Temp. type 10 Torr) 9) Control program (Full auto/semi auto) _ 1set - Industrial PC _17"Touch system (i5 CPU) - Auto / Semi control module - System recipe control module - System date file save module / real trend - Connection module to system - System program installation & test run 10) System support frame _ 1set - Main chamber support frame - Electronics rack : 19“ 3. 용도설명 : - 위상물질 성장을 위한 전구체 박막 증착 - 전이금속 칼코제나이드, 전이금속 산화물, 칼코젠 등 다중원소 기반 타겟 사용 - 얇고 균일한 박막 제어를 위한 RF 건 및 기판 온도 제어 시스템 도입 4. 기타 참고사항(기대효과 등) : - 차세대 양자 신소재 박막화 기술 역량 확보 - 신소재의 반도체 적용하여 기술 역량 강화 - 신 소재 박막화 역량을 내재화하여 공동 연구 활성화 및 확장 2026년 9월 11일 부서장(연구책임자) : 신현진 (인)

[별지 3-1] 상세규격서 <개정 2020. 04. 06> 상 세 규 격 서 ⃞ 장비명 : 다중원소 스퍼터 증착기

구 분상 세 명 세수 량비 고
1. Feature :
2. Specification :
① Main System
② Option
Accessory
- Standard Acc.
- Optional Acc.
- 전원
④ 설치조건
⑤ 보증기간
납품기한 등
⑥ 기타
1) Main chamber pumping unit _ 1set
- Turbo pump(800 liter/sec) & controller
~ Chemical type
- Rotary pump (400 liter/min)
~ Chemical type _ Fomblin-Oil,Kalrez O-ring
- Gate valve (Pneumatic type)
- Auto Pressure Control Throttle Valve
- Angle valve _ Roughing & Foreline
~ High temp. Kalrez O-ring
~ Pneumatic type
- Auto vent valve
- Bellows & pumping line
- Clamp & centering set
2) Magnetron sputtering Gun _ 3set
- Target size : 2" dia.
~ Target Thickness Control
~ Stage – Gun Distance control possible
- Pneumatic shutter
3) Vacuum measurement unit for main chamber - High vacuum level : ion gauge, 1ea
- Low vacuum level : convection gauge, 2ea
- Display controller
4) RF power supply & matching network _3set
- Frequency : 각각 12.56㎒ , 13.56㎒ , 14.56㎒
- Max. power : 600W
5) Gas supply unit
- Mass flow controller _ 2ea
~ +/- 0.2% accuracy of full scale
( 2 to 20% full scale)
- Diaphragm valve _ High Temp. 1/4“VCR type
- Gas tube & fitting
6) Main chamber
- Material : SUS304
- Surface treatment : Mirror Polishing
- One(1) Pumping port
- One(1) Heating stage port
- One(1) View port with window & shutter
- Four(4) Gas inlet, gauge port
- Three(3) Sputter gun port
7) Substrate stage
- Material : SUS304
- Substrate size : 4" dia.
- Max temp. :to 1,000 degreeC
~ SIC Heater
- Sample stage Rotation
8) Auto Pressure Controller
- Pressure controller
- Motor-geared throttle valve (ISO160)
- Capacitance manometer
~ High Temp. type 10 Torr
9) Control program (Full auto/semi auto) _ 1set
- Industrial PC _17"Touch system (i5 CPU)
- Auto / Semi control module
- System recipe control module
- System date file save module / real trend
- Connection module to system
- System program installation & test run
10) System support frame _ 1set
- Main chamber support frame
- Electronics rack : 19“
1. 납품 설치 후 표준 RCP 확보 지원
2. Wafer 증착 균일도 확보 지원
- 4” wafer 두께, 조성 균일도 5% 이내
3. 사후 장비 관리 및 점검 지원
4. 기존 장비 호환 및 교환 설치 및 사용 가능 확보
- 모든 파트 교환 설치 및 호환 가능 설계
1. 설치 예정일 : 2026/12/31일 이내.
2. 설치 장소 : 광주과학기술원 대학C동 303호
3. 무상 보증 기간 1년
진공증착기(G2B 세부품명번호: 2399039801)를 제조물품(직접생산증명서)으로 입찰참가자격을 등록한 업체
구매 요구시① 본인은 상기 물품구입과 관련, 상세규격서를 작성함에 있어 정확한 제품사양 및 설치조건, 필요사항 등을 모두 기재하였음(기존 장비 및 물품과의 호환 등 특수조건이 필요한 경우 별지의 물품구매 특수조건을 작성하여 제출함)
② 낙찰 후 상기 상세규격 이외의 추가사항 및 증빙을 요청할 수 없음을 확인함
2026년 9월 11일
부서장(연구책임자) : 신현진 (인)
물품 계약시① 낙찰업체의 물품규격과 본인이 요구한 규격의 충족여부 검토 결과, 이상이 없음을 확인함
년 월 일
부서장(연구책임자) : (인)

=== 내자 2026-185 - 다중원소 스퍼터 증착기 - 공고문(재공고).hwp === <공고번호: 내자 2026-185-01호>

입 찰 공 고(재공고)

1. 입찰에 부치는 사항 가. 품 명 : 다중원소 스퍼터 증착기 나. 납품기한 : 계약체결일로부터 2026.12.31. 이내 다. 물품대금 지급방법 : 현 금 라. 배정예산 : 금 96,250,000(구천육백이십오만)원(VAT포함) 마. 사양설명 : 게시 용도설명서 및 구매사양서 열람 및 구매요구자에게 문의 ※ 기초금액은 입찰서 제출기간 전에 입력할 예정이오니 확인하시고 투찰하시기 바랍니다. ※ 기초금액 및 입찰금액은 부가가치세를 포함한 금액입니다. 2. 입찰 및 계약방식 가. 조달청 G2B 전자입찰 방식이며, 예정가격 이하로서 낙찰 하한율 이상 최저가격 입찰자 순으로 적격심사 대상 업체로 선정합니다. 나. 제한경쟁/총액입찰입니다. 다. 적격심사대상 물품 구매입니다. - 조달청 물품구매적격심사 세부기준(제4조 제1항 제3호([별표 3])) 라. 청렴계약 대상입니다. 마. 기획재정부 2023년도 공공기관 지정해제 고시(제2023-4호) 관련으로 본 원의 공공기관 지정 해제에 따른 [과학기술원 관리기준]을 적용합니다. 3. 입찰참가자격 가. 본원 계약업무요령 제15조 및 국가를당사자로하는계약에관한법률 시행령 제12조 규정에 의한 유자격자로서 동법 시행령 제76조 규정에 의해 제한받지 않은 업체이어야 합니다.

참가자격

나. 조달청 전자입찰 참가자격 등록업체이어야 합니다. 전자입찰 이용자 미등록 업체는 조달청 전자입찰시스템 이용약관(입찰자용)에 동의하고 지정 공인인증기관의 인증서를 받은 후, 입찰집행일 전일까지 국가종합전자조달시스템 홈페이지(http://www.g2b.go.kr)의 전자입찰시스템에 이용자 등록을 하여야 합니다. ※ 미자격자가 고의로 입찰에 참가, 국가계약법시행령 제76조 또는 입찰에 관한 서류를 부정하게 행사한 자 또는 고의로 무효의 입찰을 한 자에 해당한다고 판단될 경우에는 관계규정에 따라 부정당업자로 제재할 수 있습니다. 다. [공직자의 이해충돌 방지법 제12조(수의계약 체결 제한) 제1항] 및 본 원 [계약업무요령 제33조의 2(수의계약의 제한)]에 해당하는 자는 입찰 참가 자격이 없으며, 위반하여 계약 체결시 계약 해제·해지 및 입찰참가자격 제한 대상이 될 수 있습니다. 라.「중소기업기본법」제2조에 따른 중기업 또는 소기업이거나 「소상공인 보호 및 지원에관한 법률」제2조에 따른 소상공인으로서 「중소기업 범위 및 확인에 관한규정」에따라 발급된 중․소기업․소상공인 확인서(중소기업확인서)를 소지한 업체이어야 합니다. (단, 중소기업확인서는 전자입찰서 제출마감일 전일까지 발급된 것으로유효기간 내에 있어야 함) 마. 국가종합전자조달시스템(나라장터) 입찰참가자격등록규정에의하여 입찰 참가 자격등록 마감일시까지 진공증착기(세부품명번호 10자리 2399039801)를 제조물품으로 입찰 참가를 등록한 업체로서 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」제9조 및 같은 법 시행령 제10조에 의한 직접생산확인증명서를 소지한 업체이어야 합니다. (단, 직접생산확인증명서는 전자입찰서 제출마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 함)

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