한양대학교ERICA 반도체 CMP 공정 장비 구매

요약 AI 요약

한양대학교 ERICA의 반도체 공정 연구·교육을 위해 반도체 웨이퍼 평탄화용 화학적 기계 연마(CMP) 장비 1대를 구축하는 사업이다.

• 멤브레인 방식 연마 헤드를 적용한 화학적 기계 연마(CMP) 장비 1대
• 최대 200㎜(8인치) 웨이퍼 호환(100㎜, 150㎜ 포함), 수동 로딩/언로딩 방식
• 멤브레인 캐리어 및 오실레이션 방식 컨디셔닝 시스템
• Si, Oxide, Metal, Poly-Si, Glass, Sapphire, SiC, PR, Nitride, Ceramic 등 소재 연마 지원
• PC 제어 방식으로 연속 6단계 공정 시퀀스 프로그래밍, 자동 레시피 편집, 소모품 사용시간 관리 기능
• WIWNU·WTWNU 5% 이하(1σ, Edge Exclusion 5㎜)의 연마 균일도 성능

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핵심요약

입찰 전

서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 사전 참가신청·등록 · 발주처 담당자 사전 확인·서명 · 샘플·시안 선제출 · 벽

입찰 전 따로 할 절차 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 사전 참가신청·등록 · 발주처 담당자 사전 확인·서명

서류 제출은 2026. 10. 16. 10:00까지 방문 제출만 가능(우편 불가). 입찰 전 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인(사용부서확인서, 서식 6)을 받아야 하며, 견적서에도 사용부서 확인(서명)을 받아야 한다.

가. 서류 제출 마감일시 : 2026. 10. 16. 10:00까지(방문 제출에 한함, 우편 접수 불가)

가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

11) 견적서(지정된 양식 없음, 산출내역 포함, 입찰가와 무관) - 사용부서 확인(서명)

샘플·시안 선제출 · 벽

입찰참가자격으로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체여야 하며, 서식 6 사용부서확인서 제출이 필수. 사용부서 확인서에는 현장실사를 필하였음이 적혀 있음. 별도 시연·성능시험·샘플 제출 요구는 없음.

국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

사용부서로부터 확인을 받은 견적(사양)서 여백 및 사용부서 확인서에 서명을 받아야 함.

규격·기술 심사

가격 전 심사 없음

제한적최저가입찰(낙찰하한율)로 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상을 충족하면서 최저가격을 투찰한 자를 낙찰자로 결정함. 가격 개찰 전 규격 심사 관문은 문서에 없음.

• 통과선 · 해당 없음 점수제가 아님.
• 필수 항목·과락 · 해당 없음 점수제가 아님.

낙찰자 결정은 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상을 충족하면서 최저가격을 투찰한 자를 계약상대자로 결정하며, 낙찰이 될 수 있는 동일가격 입찰서 제출자가 2인 이상인 경우는 동일 가격 입찰자를 대상으로 나라장터 시스템을 통해 자동으로 추첨하는 방식을 적용한다.

문서 분석

수행 기간

납품·설치·검수

납품기한 2026년 12월 31일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료). 기점은 계약일로 명시되지 않음.

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 2026년 12월 31일까지 완료.

  납품기한은 2026년 12월 31일까지(검수, 납품, 설치 완료)로 하며

납품기한 : 2026년 12월 31일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

문서 분석

하자보수

18개월

하자보수(보증) 기간은 납품 후 18개월. 공급업체는 반드시 기술지원 및 수리지원이 가능하여야 하며, 정기적인 시운전 및 장비 점검을 실시하고 A/S 계획서를 제출하여야 한다.

• 기점 · 납품일 납품 후 18개월.

  6) 하자보수(보증) 기간은 납품 후 18개월로 하며, 공급업체는 반드시 기술지원 및 수리지원이 가능하여야 한다.

• 보증 기간 정기점검 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 정기적인 시운전 및 장비 점검을 실시하여야 한다고만 적혀 있고 횟수·주기는 없다.

  7) 공급업체는 정기적인 시운전 및 장비 점검을 실시하여야 하며, A/S 계획서를 제출하여야 한다.

• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 소모성·정기정비 부품의 무상 여부가 적혀 있지 않다.

6) 하자보수(보증) 기간은 납품 후 18개월로 하며, 공급업체는 반드시 기술지원 및 수리지원이 가능하여야 한다.

7) 공급업체는 정기적인 시운전 및 장비 점검을 실시하여야 하며, A/S 계획서를 제출하여야 한다.

문서 분석

가격

추정가격

89,800,000원

배정예산

98,780,000원

기초금액

98,780,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)

낙찰하한율

86.245%

부가세

8,980,000원

예정가격 방식

복수예가

첨부파일

• PDF · 입찰세부공고_ERICA 반도체 CMP 공정 장비 구매.pdf · 공고규격서
• HWPX · 입찰세부공고_ERICA 반도체 CMP 공정 장비 구매.hwpx · 공고규격서
• HWPX · 붙임1. 한양대학교ERICA 반도체 CMP 공정 장비 구축 규격서.hwpx · 공고규격서
• PDF · 붙임1. 한양대학교ERICA 반도체 CMP 공정 장비 구축 규격서.pdf · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

납품

납품

납품·설치·검수 · 문서

품명

연마기 (4110170801)

세부품명 등록

아니오

제조물품

아니오
문서: 직접 생산 · 없음

수량

1 ea
문서: 일의 분량 · 1대

인도조건

설치까지 · 현장설치도
문서: 일의 끝 · 설치·시운전·가동까지

참가 자격 · 제한

지역제한

제한 없음
문서: 지역 조건 · 없음

업종제한

제한 없음
문서: 업종·면허 조합 · 한 업종
문서: 설치 공사업 면허 · 없음

제출 방법

전자입찰
문서: 입찰 전 절차 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 사전 참가신청·등록 · 발주처 담당자 사전 확인·서명

실적경쟁 · PQ

모름
문서: 실적 · 없음

공동수급

공동수급불허
문서: 공동수급 · 막음

입찰참가 제한

모름

국제입찰

국내입찰

입찰 일정

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 반도체 CMP 공정 장비 구매·설치·교육·하자보수

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

반도체 웨이퍼 평탄화용 CMP(화학적 기계 연마) 공정장비 1대를 사서 클린룸에 설치까지 하는 일이 사업의 몸통이다.

• 제5공학관 B108 나노오염제어클린룸 설비실 운반·반입·설치
• 납품 검수 후 1일 이상 이론·현장 반복 교육(제조사 정규 교육 이수 전문기술자)
• 납품 후 18개월 하자보수(보증) 및 A/S 계획서 제출
• 정기 시운전·장비 점검
• 사용·보수유지 설명서(인쇄본·파일) 제출
• 사용부서 사양 적합 확인(사용부서확인서)

걸리는 것 · 입찰 전 할 일

입찰 전 할 일

• 입찰 전 따로 할 절차 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 사전 참가신청·등록 · 발주처 담당자 사전 확인·서명

  서류 제출은 2026. 10. 16. 10:00까지 방문 제출만 가능(우편 불가). 입찰 전 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인(사용부서확인서, 서식 6)을 받아야 하며, 견적서에도 사용부서 확인(서명)을 받아야 한다.

  가. 서류 제출 마감일시 : 2026. 10. 16. 10:00까지(방문 제출에 한함, 우편 접수 불가)

  가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

  11) 견적서(지정된 양식 없음, 산출내역 포함, 입찰가와 무관) - 사용부서 확인(서명)

• 샘플·시안 선제출 · 벽

  입찰참가자격으로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체여야 하며, 서식 6 사용부서확인서 제출이 필수. 사용부서 확인서에는 현장실사를 필하였음이 적혀 있음. 별도 시연·성능시험·샘플 제출 요구는 없음.

  국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

  사용부서로부터 확인을 받은 견적(사양)서 여백 및 사용부서 확인서에 서명을 받아야 함.

더 확인할 것

기성품·주문제작

이럴 때 꼭 봅니다 — 주문제작 · 설계부터 우리가

기성품·상용 그대로

규격서에 명시된 사양과 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하고, 제조사 정품 부품이며 국내 정식 유통 제품을 제안해야 한다. 로고·표기·색·설정 변경이나 주문제작·설계 개발에 관한 내용은 없다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품·상용품·주문제작품을 엮어 하나의 시스템으로 조립·통합해 넣는다는 내용이 문서에 없다.

본 규격은 최소한의 규격이며, 제안사는 본 규격에 명시된 사양과 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

제안에 포함된 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며, Refurbished, Used, Warranty 서비스용 부품은 제안할 수 없다.

국내 정식 유통 제품을 제안하여야 한다.

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

규격서 요청사항 1)에서 본 규격은 최소한의 규격이며 제안사는 명시된 사양과 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다고 정함. 별도 제품·제조사·브랜드 지정은 없음.

• 동등 입증 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 동등 이상 제품의 적합 판정 시점에 대한 문구가 문서에 없음.

본 규격은 최소한의 규격이며, 제안사는 본 규격에 명시된 사양과 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

원산지(국산)

수입 허용

국내 정식 유통 제품을 제안하여야 한다고 정함. 원산지 국산 제한은 없음.

국내 정식 유통 제품을 제안하여야 한다.

합격선

숫자 기준 있음

WIWNU 5% 이하(1σ, Edge Exclusion 5㎜), WTWNU 5% 이하(웨이퍼 5매 기준), 측정 조건 200㎜ Oxide blanket wafer CMP, 직경 방향 19 point 측정.

• 따를 표준·지침 · 없음 따르라고 지정한 표준·지침·양식·방법론이 문서에 없음.

WIWNU(웨이퍼 내 불균일도): 5% 이하 (1σ, Edge Exclusion 5㎜)

WTWNU(웨이퍼 간 불균일도): 5% 이하 (웨이퍼 5매 기준)

측정 조건: 200㎜ Oxide blanket wafer CMP, 직경 방향 19 point 측정

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

카탈로그·제조사 사양서

사용부서 확인서(서식 6)에서 참여 업체의 상세 산출 내역이 포함된 견적서, 물품의 제품사양, A/S기간, 교육지원 사항, 설치 요건, 납품 조건 등을 확인한다고 정함. 입찰 서류로 견적서(산출내역 포함)와 사용부서확인서를 제출함.

• 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제출 마감 뒤 보완에 대한 문구가 문서에 없음.

‘한양대학교ERICA 반도체 CMP 공정 장비 구매’ 입찰에 공지된 물품의 구매 신청자는 참여하려는 (업체명 수기로 기입)의 상세 산출 내역이 포함된 견적서, 물품의 제품사양, A/S기간, 교육지원 사항, 설치 요건, 납품 조건 등을 확인하였으며, (업체명 수기로 기입)이/가 현장실사를 필하였으며, 차후 본 입찰에 최저가 낙찰되어 계약을 체결하고 물품의 제조 및 납품 이행을 하게 되는 것에 이견이 없음을 확인합니다.

참가 범위

공개 경쟁

일반경쟁입찰로 공고되었고, 참가자격은 국가계약법령상 자격요건을 갖추고 사용부서 사양 적합 확인을 받은 업체로 조건만 갖추면 누구나 참여 가능하다.

가. 본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율)임.

가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

현장 여건

설치 장소는 클린룸 설비실이며, 칠러 및 DIW 공급장치는 포함되지 않고(칠러는 수요기관 준비), 설치 장소의 설비 및 연결은 포함되지 않는다. 장비 사방 500㎜ 이상 유지보수 공간 확보 필요.

부대공사·현장 준비: 칠러는 수요기관 준비, 설비 및 연결은 미포함.

• 부대공사·현장 준비 · 나눠짐 칠러는 수요기관 준비, 설비 및 연결은 미포함.

  9) 칠러(Chiller) 및 DIW 공급장치는 포함되지 않으며(칠러는 수요기관 준비), 설치 장소의 설비 및 연결은 포함되지 않는다.

• 위험작업 · 중량물 장비 중량 1,200㎏ 이하.

  - 중량: 1,200㎏ 이하

9) 칠러(Chiller) 및 DIW 공급장치는 포함되지 않으며(칠러는 수요기관 준비), 설치 장소의 설비 및 연결은 포함되지 않는다.

공장 실사·입회

계약 전 실사

사용부서 확인서에 「현장실사를 필하였으며」라고 적혀 있어 입찰 전(계약 전) 사용부서의 현장실사가 있음. 제작 중 검사·입회, 납품 전 검사 규정은 없음.

(업체명 수기로 기입)이/가 현장실사를 필하였으며, 차후 본 입찰에 최저가 낙찰되어 계약을 체결하고 물품의 제조 및 납품 이행을 하게 되는 것에 이견이 없음을 확인합니다.

교육·기술이전

1회 이상

납품 검수 후 1일 이상 이론 및 현장 반복 교육을 진행하여야 한다. 사용 및 보수유지 설명서(인쇄본 및 파일) 제출 의무가 있다.

• 무상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 교육 대가·비용 부담 주체가 적혀 있지 않다.

5) 납품 검수 후 1일 이상 이론 및 현장 반복 교육을 진행하여야 하며, 제조회사로부터 정규 교육과정(기술개념, 측정기법 및 원리, 장비 작동과 A/S 및 교정 교육과정)을 이수한 전문 기술자가 담당하여야 한다.

8) 사용 및 보수유지 설명서(인쇄본 및 파일)를 제출하여야 한다.

큰 배점 항목

해당 없음(평가표 없음 — 소액 추첨 등)

이 입찰은 제한적최저가입찰(낙찰하한율)로 예정가격 이하·낙찰하한율 이상 최저가 투찰자를 낙찰자로 정하며, 제안서·규격 평가표가 없다.

낙찰자 결정은 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상을 충족하면서 최저가격을 투찰한 자를 계약상대자로 결정하며, 낙찰이 될 수 있는 동일가격 입찰서 제출자가 2인 이상인 경우는 동일 가격 입찰자를 대상으로 나라장터 시스템을 통해 자동으로 추첨하는 방식을 적용한다.

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

200mm 이하

최대 200㎜(8인치)까지 호환, 100㎜·150㎜ 포함.

- 웨이퍼 크기: 최대 200㎜(8인치)까지 호환되어야 함(100㎜, 150㎜ 포함)

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

10/08(목)

공고번호

R26BK01762635-000

참조번호

-

공고기관

한양대학교 에리카산학협력단

수요기관

한양대학교 에리카산학협력단

계약방법

일반경쟁

낙찰방법

제한적최저가(낙찰하한율)

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

89,800,000원

배정예산

98,780,000원

사전규격번호

R26BD00280552

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 분석 전체

이 분야에서 갈리는 것 · 우리가 만드는 공정 방식·기판 크기인가, 주문제작을 150일 안에 끝낼 수 있나, 기술평가 85점을 넘나, 3년 품질보증을 감당하나에서 갈린다.

질문 87개 · 꼭 5 · 좋음 18 · 안 봐도 됨 64

주제 · 참가 자격 9개

업종·면허 조합

한 업종

참가자격은 국가계약법 시행령 제12조·시행규칙 제14조에 따른 자격요건을 갖춘 사업자로 규정되어 있고, 별도의 업종 등록·면허·업태·종목·전문매장 조건은 없다.

• 코드 밖 자격 · 없음 법·조례가 정한 허가·지정·등록, 사업자등록증 업태·종목, 전문매장 보유 등 코드 밖 자격 요구가 없다.

국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

지역 조건

없음

본점 지역 제한 외에 사업장·지사·시설·인력 소재, 지역 거점, 지역 인력 고용·장비 사용, 지역 업체 공동수급, 지역 가점 등 지역 조건이 없다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 지역 관련 평가표가 없다.
• 대상 · - 해당하는 지역 조건이 없다.

실적

없음

비슷한 일을 한 실적을 참가 조건이나 점수로 요구하지 않는다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 실적 평가표가 없다.
• 조건 · 없음 실적 인정 범위에 관한 규정이 없다.

업력

없음

회사 설립·업 등록 후 경과 연수를 참가 조건이나 점수로 보지 않는다.

• 요구 업력 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 요구 업력이 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 업력 평가표가 없다.

공동수급

막음

본 계약 이행에 따르는 일체의 채권 및 채무를 제3자에게 양도하거나 위임, 하청, 공동 도급할 수 없다고 규정되어 있다.

• 자격을 나눠 채우기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공동수급이 금지되어 있어 해당 사항이 없다.

본 계약 이행에 따르는 일체의 채권 및 채무를 제3자에게 양도하거나 위임, 하청, 공동 도급할 수 없다.

회사 규모·신분

제한 없음

중소기업·소기업·소상공인·여성기업·법인만 등 규모나 신분으로 참가를 좁히는 규정이 없다.

안전보건수준평가

없음

안전보건수준평가 대상 사업이라는 문구나 안전보건 서약·계획서 제출 요구가 없다.

하도급

막음

본 계약 이행에 따르는 일체의 채권 및 채무를 제3자에게 양도하거나 위임, 하청, 공동 도급할 수 없다고 규정되어 있다.

• 하도급 한도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급이 금지되어 한도 규정이 없다.

본 계약 이행에 따르는 일체의 채권 및 채무를 제3자에게 양도하거나 위임, 하청, 공동 도급할 수 없다.

직접 생산

없음

직접생산확인, 제조 등록, OEM 금지, 한 제조사 제품으로만 채워야 한다는 등의 요구가 없다. 다만 제안 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며 Refurbished·Used·Warranty 서비스용 부품은 제안할 수 없고, 국내 정식 유통 제품을 제안하여야 한다.

• 참가 등록 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조·공급 등록 구분에 관한 규정이 없다.
• 직생 범위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 직접생산확인 요구가 없다.
• 대상 · - 직접 제조·직생·한 제조사 제품 조건이 없다.

제안에 포함된 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며, Refurbished, Used, Warranty 서비스용 부품은 제안할 수 없다.

국내 정식 유통 제품을 제안하여야 한다.

주제 · 제품 규격·인증 9개

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

규격서 요청사항 1)에서 본 규격은 최소한의 규격이며 제안사는 명시된 사양과 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다고 정함. 별도 제품·제조사·브랜드 지정은 없음.

• 동등 입증 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 동등 이상 제품의 적합 판정 시점에 대한 문구가 문서에 없음.

본 규격은 최소한의 규격이며, 제안사는 본 규격에 명시된 사양과 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

제조사 확약서

의무 · 계약 뒤 지킬 일

낙찰 후 정품에 대한 관련 증명을 요구하는 경우 낙찰자는 정품임을 증명하는 서류를 즉시 제출하여야 함. 확약서(서식 5)에서도 모든 제품은 정품을 공급한다고 확인함.

• 대상 · 정품보증서·정품확인서 정품임을 증명하는 서류를 요구 시 제출. 제조사·공식 공급원에게서 받아 오는 확약서·지위 서류는 문서에 없음.

  납품하는 모든 제품은 정품이어야 하며, 낙찰 후 정품에 대한 관련 증명을 요구하는 경우 낙찰자는 정품임을 증명하는 서류를 즉시 제출하여야 한다.

• 조건 · 없음 제조사면 면제한다는 문구가 문서에 없음.

납품하는 모든 제품은 정품이어야 하며, 낙찰 후 정품에 대한 관련 증명을 요구하는 경우 낙찰자는 정품임을 증명하는 서류를 즉시 제출하여야 한다.

제품 인증

없음

제품·장비가 갖춰야 하는 인증·허가·시험성적서 요구가 문서에 없음. 전원 사양에 CE 인증 전장이라는 표기가 있으나 이는 제품 사양임.

• 크기 · 해당 없음 점수제가 아님.
• 대상 · - 해당하는 인증·시험 없음.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 입증 수단에 대한 문구가 문서에 없음.

원산지(국산)

수입 허용

국내 정식 유통 제품을 제안하여야 한다고 정함. 원산지 국산 제한은 없음.

국내 정식 유통 제품을 제안하여야 한다.

합격선

숫자 기준 있음

WIWNU 5% 이하(1σ, Edge Exclusion 5㎜), WTWNU 5% 이하(웨이퍼 5매 기준), 측정 조건 200㎜ Oxide blanket wafer CMP, 직경 방향 19 point 측정.

• 따를 표준·지침 · 없음 따르라고 지정한 표준·지침·양식·방법론이 문서에 없음.

WIWNU(웨이퍼 내 불균일도): 5% 이하 (1σ, Edge Exclusion 5㎜)

WTWNU(웨이퍼 간 불균일도): 5% 이하 (웨이퍼 5매 기준)

측정 조건: 200㎜ Oxide blanket wafer CMP, 직경 방향 19 point 측정

등록 제품

없음

우수제품·혁신제품·규격심의·사전등록·제품 실적·등재 목록 요구가 문서에 없음.

• 대상 · - 해당하는 목록·지정 없음.

신품·제조 시기

의무 · 계약 뒤 지킬 일

제안에 포함된 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며, Refurbished, Used, Warranty 서비스용 부품은 제안할 수 없다고 정함.

• 제조 뒤 경과 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조 뒤 경과 상한에 대한 문구가 문서에 없음.
• 남은 유효기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 남은 유효기간에 대한 문구가 문서에 없음.

제안에 포함된 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며, Refurbished, Used, Warranty 서비스용 부품은 제안할 수 없다.

규격·기술 심사

가격 전 심사 없음

제한적최저가입찰(낙찰하한율)로 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상을 충족하면서 최저가격을 투찰한 자를 낙찰자로 결정함. 가격 개찰 전 규격 심사 관문은 문서에 없음.

• 통과선 · 해당 없음 점수제가 아님.
• 필수 항목·과락 · 해당 없음 점수제가 아님.

낙찰자 결정은 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상을 충족하면서 최저가격을 투찰한 자를 계약상대자로 결정하며, 낙찰이 될 수 있는 동일가격 입찰서 제출자가 2인 이상인 경우는 동일 가격 입찰자를 대상으로 나라장터 시스템을 통해 자동으로 추첨하는 방식을 적용한다.

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

카탈로그·제조사 사양서

사용부서 확인서(서식 6)에서 참여 업체의 상세 산출 내역이 포함된 견적서, 물품의 제품사양, A/S기간, 교육지원 사항, 설치 요건, 납품 조건 등을 확인한다고 정함. 입찰 서류로 견적서(산출내역 포함)와 사용부서확인서를 제출함.

• 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제출 마감 뒤 보완에 대한 문구가 문서에 없음.

‘한양대학교ERICA 반도체 CMP 공정 장비 구매’ 입찰에 공지된 물품의 구매 신청자는 참여하려는 (업체명 수기로 기입)의 상세 산출 내역이 포함된 견적서, 물품의 제품사양, A/S기간, 교육지원 사항, 설치 요건, 납품 조건 등을 확인하였으며, (업체명 수기로 기입)이/가 현장실사를 필하였으며, 차후 본 입찰에 최저가 낙찰되어 계약을 체결하고 물품의 제조 및 납품 이행을 하게 되는 것에 이견이 없음을 확인합니다.

주제 · 입찰 절차 9개

참가 범위

공개 경쟁

일반경쟁입찰로 공고되었고, 참가자격은 국가계약법령상 자격요건을 갖추고 사용부서 사양 적합 확인을 받은 업체로 조건만 갖추면 누구나 참여 가능하다.

가. 본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율)임.

가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

여러 과제로 나뉨

나뉘지 않음

단일 입찰건으로 CMP 장비 1대를 구매하는 건이며, 과제·권역·그룹·입찰번호로 나뉜 내용이 없다.

• 여러 개 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 나뉘지 않아 해당 사항 없음.

나. 구매내역 : 붙임1. 한양대학교ERICA 반도체 CMP 공정 장비 구축 규격서

입찰 전 절차

서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 사전 참가신청·등록 · 발주처 담당자 사전 확인·서명

서류 제출은 2026. 10. 16. 10:00까지 방문 제출만 가능(우편 불가). 입찰 전 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인(사용부서확인서, 서식 6)을 받아야 하며, 견적서에도 사용부서 확인(서명)을 받아야 한다.

가. 서류 제출 마감일시 : 2026. 10. 16. 10:00까지(방문 제출에 한함, 우편 접수 불가)

가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

11) 견적서(지정된 양식 없음, 산출내역 포함, 입찰가와 무관) - 사용부서 확인(서명)

현장설명회

없음

현장설명회나 현장 답사 일정·참석 확인에 대한 내용이 없다. 다만 사용부서 확인서 서식에 현장실사를 필하였다는 문구가 있다.

(업체명 수기로 기입)이/가 현장실사를 필하였으며, 차후 본 입찰에 최저가 낙찰되어 계약을 체결하고 물품의 제조 및 납품 이행을 하게 되는 것에 이견이 없음을 확인합니다.

정정·재공고 변경

해당 없음(첫 공고)

재공고·정정 공고가 아니며, 앞선 공고에서 바뀐 내용이나 공고 뒤 규격 변경 가능성에 대한 언급이 없다.

낙찰 업체 수

한 업체가 전량

CMP 장비 1대를 단일 업체가 낙찰받는 구조이며, 수량을 나눠 여러 업체를 선정한다는 내용이 없다.

• 최소 응찰 물량 · 해당 없음 나눠 낙찰하는 구조가 아님.

1 | CMP 장비 | 화학적 기계 연마 장비(CMP, Chemical Mechanical Polisher) | 1

MAS 2단계경쟁

아니다

일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율) 방식이며, 다수공급자계약(MAS)·종합쇼핑몰 2단계경쟁에 대한 내용이 없다.

가. 본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율)임.

입찰보증금

실제로 낸다(보증서·현금)

입찰금액의 5/100 이상 이행(입찰)보증보험증권 원본을 입찰서류 제출 마감 일시까지 납부해야 한다. 계약 시 계약보증금 10%, 납품 시 하자(이행)증권 3%를 납부한다.

• 입찰보증금 비율 · 5% 이상 입찰금액의 5/100 이상

  가. 입찰금액의 5/100 이상의 이행(입찰)보증보험증권(원본)으로 입찰서류 제출 마감 일시까지 납부하여야 한다.

• 계약·하자 보증 비율 · 계약보증금 10% · 하자(이행)증권 3% 계약 시 구매 예정액의 10% 계약보증금, 납품 시 계약금액의 3% 하자(이행)증권

  나. 낙찰자는 낙찰 통보일로부터 지체 없이 계약을 체결하여야 하며, 계약 시 대학이 제시하는 구매 예정액의 100분의 10을 계약보증금(현금 또는 보증보험증권)으로 납부하여야 한다.

  라. 낙찰자는 계약 후 납품 시 계약금액의 100분의 3에 해당하는 하자(이행)증권을 납부하여야 한다.

가. 입찰금액의 5/100 이상의 이행(입찰)보증보험증권(원본)으로 입찰서류 제출 마감 일시까지 납부하여야 한다.

나. 낙찰자는 낙찰 통보일로부터 지체 없이 계약을 체결하여야 하며, 계약 시 대학이 제시하는 구매 예정액의 100분의 10을 계약보증금(현금 또는 보증보험증권)으로 납부하여야 한다.

라. 낙찰자는 계약 후 납품 시 계약금액의 100분의 3에 해당하는 하자(이행)증권을 납부하여야 한다.

문서끼리 다른 곳

아니다

문서 간 값이 서로 다르게 적힌 곳이 없다.

주제 · 과업 범위 11개

다른 업 섞임

섞이지 않음

구매 품목은 CMP 장비 1종뿐이며, 다른 면허·공종·품목의 일이나 다른 업의 일이 섞여 있지 않다. 다만 계약 이행에 따르는 일체의 채무를 제3자에게 양도·위임·하청·공동도급할 수 없다고 적혀 있다.

본 계약 이행에 따르는 일체의 채권 및 채무를 제3자에게 양도하거나 위임, 하청, 공동 도급할 수 없다.

하는 일

반도체 웨이퍼 평탄화용 화학적 기계 연마(CMP) 장비 1대를 구매하여 지정 장소에 운반·반입·설치하는 일이다. 최대 200㎜ 웨이퍼 호환, 멤브레인 방식 연마 헤드, 오실레이션 컨디셔닝 시스템, WIWNU·WTWNU 5% 이하 등의 성능을 갖춰야 한다.

납품기한은 2026년 12월 31일까지(검수·납품·설치 완료)이며, 납품 검수 후 1일 이상 이론 및 현장 반복 교육, 하자보수 18개월, A/S 계획서 제출이 요구된다.

용도: 반도체 웨이퍼(디바이스 웨이퍼) 평탄화를 위한 화학적 기계 연마(CMP) 장비로, 멤브레인(Membrane) 방식 연마 헤드를 적용하여 우수한 연마 균일도를 확보할 수 있어야 함

납품기한은 2026년 12월 31일까지(검수, 납품, 설치 완료)로 하며, 공급자는 수요기관이 지정한 장소(제5공학관 지하1층 B08호 나노오염제어클린룸 설비실)에 운반·반입 및 설치를 수행한다.

기존 시스템과 이어짐

없음(새로 하는 독립된 일)

기존 시스템·설비와의 연동, 기존 제조사 제품 묶임, 연속 사업, 연동 SW 개발, 상대편 연동 작업·비용 부담에 관한 내용이 문서에 없다. 칠러 및 DIW 공급장치는 포함되지 않으며 설치 장소의 설비 및 연결도 포함되지 않는다.

칠러(Chiller) 및 DIW 공급장치는 포함되지 않으며(칠러는 수요기관 준비), 설치 장소의 설비 및 연결은 포함되지 않는다.

설치 공사업 면허

없음

전기·정보통신·수도·소방 등 법상 공사업 면허에 관한 요구가 문서에 없다. 다만 설치 장소의 설비 및 연결은 포함되지 않는다고 적혀 있다.

• 대상 · - 공사업 면허 대상이 되는 전기·정보통신·기타 공사업에 관한 내용이 문서에 없다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급·공동수급·직접 시공에 관한 조건이 문서에 없다.

일의 끝

설치·시운전·가동까지

운반·반입 및 설치를 수행하고, 납품 검수 후 1일 이상 이론 및 현장 반복 교육을 진행하며, 정기적인 시운전 및 장비 점검을 실시하고 A/S 계획서를 제출해야 한다. 시험운영 기간은 별도로 정해지지 않았다.

• 시험운영 기간 · 정해지지 않음 설치·시운전 뒤 넘기기 전까지의 시험운영 기간이 문서에 정해지지 않았다.

납품기한은 2026년 12월 31일까지(검수, 납품, 설치 완료)로 하며, 공급자는 수요기관이 지정한 장소(제5공학관 지하1층 B08호 나노오염제어클린룸 설비실)에 운반·반입 및 설치를 수행한다.

공급업체는 정기적인 시운전 및 장비 점검을 실시하여야 하며, A/S 계획서를 제출하여야 한다.

기성품·주문제작

기성품·상용 그대로

규격서에 명시된 사양과 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하고, 제조사 정품 부품이며 국내 정식 유통 제품을 제안해야 한다. 로고·표기·색·설정 변경이나 주문제작·설계 개발에 관한 내용은 없다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품·상용품·주문제작품을 엮어 하나의 시스템으로 조립·통합해 넣는다는 내용이 문서에 없다.

본 규격은 최소한의 규격이며, 제안사는 본 규격에 명시된 사양과 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

제안에 포함된 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며, Refurbished, Used, Warranty 서비스용 부품은 제안할 수 없다.

국내 정식 유통 제품을 제안하여야 한다.

함께 넘길 물품

CMP 장비 본체 x1, 200㎜ 1-Zone 멤브레인 캐리어 x1, 오실레이션 컨디셔닝 시스템 x1, 슬러리 펌프 x2, 제어용 PC x1, 사용자 매뉴얼(인쇄본 및 파일) 1식

규격서 구성에 명시된 물품이며, 칠러 및 DIW 공급장치는 포함되지 않는다.

구성: CMP 장비 본체 x1, 200㎜ 1-Zone 멤브레인 캐리어 x1, 오실레이션 컨디셔닝 시스템 x1, 슬러리 펌프 x2, 제어용 PC x1, 사용자 매뉴얼(인쇄본 및 파일) 1식

철거·폐기

없음

기존 장비·시설·지장물의 철거·이설·폐기·반납이나 다 쓴 물품·포장재 회수에 관한 내용이 문서에 없다.

부가 작업

납품 검수 후 1일 이상 이론 및 현장 반복 교육, 정기적인 시운전 및 장비 점검, A/S 계획서 제출, 사용 및 보수유지 설명서(인쇄본 및 파일) 제출

교육은 제조회사로부터 정규 교육과정을 이수한 전문 기술자가 담당해야 한다.

납품 검수 후 1일 이상 이론 및 현장 반복 교육을 진행하여야 하며, 제조회사로부터 정규 교육과정(기술개념, 측정기법 및 원리, 장비 작동과 A/S 및 교정 교육과정)을 이수한 전문 기술자가 담당하여야 한다.

공급업체는 정기적인 시운전 및 장비 점검을 실시하여야 하며, A/S 계획서를 제출하여야 한다.

사용 및 보수유지 설명서(인쇄본 및 파일)를 제출하여야 한다.

디자인 몫

해당 없음

디자인·편집·원고 작업에 관한 내용이 이 공고에 없다.

묶인 품목 수

1종

구매 품목은 화학적 기계 연마 장비(CMP) 1종이며 수량은 1대이다. 제조사·상표·모델을 하나로 정해 적지 않았으므로 제조사 수는 모름이다.

• 제조사 수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 내역서·규격서가 품목마다 제조사·상표·모델을 하나로 정해 적지 않았다.

| 1 | CMP 장비 | 화학적 기계 연마 장비(CMP, Chemical Mechanical Polisher) | 1 |

주제 · 납품 일정·현장 11개

일의 분량

1대

CMP 장비 1대(1식 구성: 본체 x1, 멤브레인 캐리어 x1, 컨디셔닝 시스템 x1, 슬러리 펌프 x2, 제어용 PC x1, 매뉴얼 1식).

• 열린 분량 · 정해짐 수량 1대로 확정.

  품명 화학적 기계 연마 장비(CMP, Chemical Mechanical Polisher) 수량 1

| 1 | CMP 장비 | 화학적 기계 연마 장비(CMP, Chemical Mechanical Polisher) | 1 |

수행 기간

납품·설치·검수

납품기한 2026년 12월 31일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료). 기점은 계약일로 명시되지 않음.

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 2026년 12월 31일까지 완료.

  납품기한은 2026년 12월 31일까지(검수, 납품, 설치 완료)로 하며

납품기한 : 2026년 12월 31일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

현장·납품지

1곳

한양대학교 ERICA캠퍼스 제5공학관 B108호 나노오염제어클린룸 설비실.

• 열린 분량 · 정해짐 납품장소가 공고에 명시됨.

  납품장소 : 한양대학교 ERICA캠퍼스 제5공학관 B108호 나노오염제어클린룸 설비실

• 범위 · 없음(국내 보통 현장) 국내 캠퍼스 내 클린룸.

납품장소 : 한양대학교 ERICA캠퍼스 제5공학관 B108호 나노오염제어클린룸 설비실

현장 여건

설치 장소는 클린룸 설비실이며, 칠러 및 DIW 공급장치는 포함되지 않고(칠러는 수요기관 준비), 설치 장소의 설비 및 연결은 포함되지 않는다. 장비 사방 500㎜ 이상 유지보수 공간 확보 필요.

부대공사·현장 준비: 칠러는 수요기관 준비, 설비 및 연결은 미포함.

• 부대공사·현장 준비 · 나눠짐 칠러는 수요기관 준비, 설비 및 연결은 미포함.

  9) 칠러(Chiller) 및 DIW 공급장치는 포함되지 않으며(칠러는 수요기관 준비), 설치 장소의 설비 및 연결은 포함되지 않는다.

• 위험작업 · 중량물 장비 중량 1,200㎏ 이하.

  - 중량: 1,200㎏ 이하

9) 칠러(Chiller) 및 DIW 공급장치는 포함되지 않으며(칠러는 수요기관 준비), 설치 장소의 설비 및 연결은 포함되지 않는다.

작업 시기

해당 없음

일할 수 있는 때에 대한 제약이 문서에 없음.

다른 일정에 묶임

아니다

다른 공사·사업 일정에 묶였다는 문구 없음.

나눠 납품

한 번에 전량

납품기한 하나만 적혀 있고 나눠 내라는 말이 없음.

• 분할납품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 일반조건에만.

납품기한 : 2026년 12월 31일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

보관 조건

없음

보관·운송 조건 요구 없음.

• 대상 · -

주문 뒤 납품 시한

정해지지 않음

주문 후 납품 시한이 문서에 없음. 납품기한은 2026년 12월 31일까지로만 정해짐.

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

포장·표시

포장 단위나 표시·라벨 요구가 문서에 없음.

보안 조치

없음

일반 보안 문구만 있고 구체적 보안 조치 없음.

• 크기 · -
• 대상 · -

주제 · 견본·검사·검수 7개

검수

발주처 검수만

납품기한은 2026년 12월 31일까지(검수, 납품, 설치 완료)이며, 납품 검수 후 교육·하자보수 등은 공급자 의무. 외부 기관 심의·승인·검사·감리·성과심사 통과 조건은 없음.

납품기한은 2026년 12월 31일까지(검수, 납품, 설치 완료)로 하며, 공급자는 수요기관이 지정한 장소(제5공학관 지하1층 B08호 나노오염제어클린룸 설비실)에 운반·반입 및 설치를 수행한다.

납품 검수 후 1일 이상 이론 및 현장 반복 교육을 진행하여야 하며, 제조회사로부터 정규 교육과정(기술개념, 측정기법 및 원리, 장비 작동과 A/S 및 교정 교육과정)을 이수한 전문 기술자가 담당하여야 한다.

샘플·시안 선제출

벽 · 못 맞추면 탈락

입찰참가자격으로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체여야 하며, 서식 6 사용부서확인서 제출이 필수. 사용부서 확인서에는 현장실사를 필하였음이 적혀 있음. 별도 시연·성능시험·샘플 제출 요구는 없음.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 없음 — 제한적최저가입찰(낙찰하한율)로 점수 배점 없음.
• 대상 · 기타 사용부서 사양 적합 확인(사용부서확인서) 및 현장실사. 시안·샘플·실물 견본·시연·조감도·시험 번역·예약확인서는 해당 없음.

  사용부서로부터 확인을 받은 견적(사양)서 여백 및 사용부서 확인서에 서명을 받아야 함.

국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

사용부서로부터 확인을 받은 견적(사양)서 여백 및 사용부서 확인서에 서명을 받아야 함.

시험·검사

시험·검사 없음

이 공고·규격서에 품질 시험·검사·분석을 받으라는 요구가 없음. 규격서의 WIWNU·WTWNU 등은 장비 성능 사양으로, 시험 비용 부담 주체·시험 단위·장소는 정해지지 않음.

• 시험 단위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험·검사 요구가 없어 단위가 정해지지 않음.
• 시험 장소 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험·검사 요구가 없어 장소가 정해지지 않음.

시안 승인

모름 · 문서로 확인 안 됨

본 작업·제작 전 시안·샘플·제작도·중간검수 승인 단계 수는 규격서·공고문에 없음. 다만 사용부서 사양 적합 확인(사용부서확인서)은 입찰 전 절차로 이 질문 대상이 아님.

• 수정 횟수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 수정 횟수 규정 없음.
• 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 승인 기간이 납기에 드는지 여부를 정한 문장 없음.

공장 실사·입회

계약 전 실사

사용부서 확인서에 「현장실사를 필하였으며」라고 적혀 있어 입찰 전(계약 전) 사용부서의 현장실사가 있음. 제작 중 검사·입회, 납품 전 검사 규정은 없음.

(업체명 수기로 기입)이/가 현장실사를 필하였으며, 차후 본 입찰에 최저가 낙찰되어 계약을 체결하고 물품의 제조 및 납품 이행을 하게 되는 것에 이견이 없음을 확인합니다.

이 공고가 군수품 조달인가 — 국방부·각 군이…

아니다

수요기관은 한양대학교 에리카산학협력단으로 군이 아니며, 군수품 특수조건·국방규격·재고번호·국방 표지·군 검사·부대 출입 보안 등 군 전용 절차가 없음.

군수품이면 납품 검사·검수는 누가 하나 — 수…

해당 없음

군수품 조달이 아님.

• 품질보증형태 · 해당 없음 군수품 조달이 아님.

주제 · 인력·A/S·하자 대응 8개

장비·시설 보유

없음

규격서는 납품할 CMP 장비 자체의 사양(정반, 헤드, 유틸리티 등)을 정할 뿐, 입찰자가 일에 쓸 별도 장비·시설·업무 시스템을 갖추라고 요구하지 않는다. 설치 공간·유틸리티는 납품·설치 조건이다.

• 갖출 때 · 해당 없음 입찰자가 갖출 장비·시설 요구 자체가 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 없음.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 임차·소유 조건이 적혀 있지 않다.

인력 자격

의무 · 계약 뒤 지킬 일

납품 검수 후 1일 이상 이론 및 현장 반복 교육을 진행하여야 하며, 제조회사로부터 정규 교육과정(기술개념, 측정기법 및 원리, 장비 작동과 A/S 및 교정 교육과정)을 이수한 전문 기술자가 담당하여야 한다. 참가자격은 아니다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 없음.
• 대상 · 기타 교육을 담당하는 전문 기술자.

  5) 납품 검수 후 1일 이상 이론 및 현장 반복 교육을 진행하여야 하며, 제조회사로부터 정규 교육과정(기술개념, 측정기법 및 원리, 장비 작동과 A/S 및 교정 교육과정)을 이수한 전문 기술자가 담당하여야 한다.

5) 납품 검수 후 1일 이상 이론 및 현장 반복 교육을 진행하여야 하며, 제조회사로부터 정규 교육과정(기술개념, 측정기법 및 원리, 장비 작동과 A/S 및 교정 교육과정)을 이수한 전문 기술자가 담당하여야 한다.

출동 시한

없음

고장·장애·긴급 호출 시 현장 도착·착수 시한을 정한 문구가 없다. 기술지원·수리지원이 가능하여야 한다는 요구만 있다.

• 도착 시한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 도착 시한이 적혀 있지 않다.

처리 시한

해당 없음

요청·장애를 받아 처리하는 유지보수 용역이 아니라 장비 납품·설치 건이다. 하자보수(보증) 기간은 납품 후 18개월로 정해져 있다.

• 기점 · 해당 없음 처리 시한 자체가 없다.

교육·기술이전

1회 이상

납품 검수 후 1일 이상 이론 및 현장 반복 교육을 진행하여야 한다. 사용 및 보수유지 설명서(인쇄본 및 파일) 제출 의무가 있다.

• 무상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 교육 대가·비용 부담 주체가 적혀 있지 않다.

5) 납품 검수 후 1일 이상 이론 및 현장 반복 교육을 진행하여야 하며, 제조회사로부터 정규 교육과정(기술개념, 측정기법 및 원리, 장비 작동과 A/S 및 교정 교육과정)을 이수한 전문 기술자가 담당하여야 한다.

8) 사용 및 보수유지 설명서(인쇄본 및 파일)를 제출하여야 한다.

하자보수

18개월

하자보수(보증) 기간은 납품 후 18개월. 공급업체는 반드시 기술지원 및 수리지원이 가능하여야 하며, 정기적인 시운전 및 장비 점검을 실시하고 A/S 계획서를 제출하여야 한다.

• 기점 · 납품일 납품 후 18개월.

  6) 하자보수(보증) 기간은 납품 후 18개월로 하며, 공급업체는 반드시 기술지원 및 수리지원이 가능하여야 한다.

• 보증 기간 정기점검 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 정기적인 시운전 및 장비 점검을 실시하여야 한다고만 적혀 있고 횟수·주기는 없다.

  7) 공급업체는 정기적인 시운전 및 장비 점검을 실시하여야 하며, A/S 계획서를 제출하여야 한다.

• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 소모성·정기정비 부품의 무상 여부가 적혀 있지 않다.

6) 하자보수(보증) 기간은 납품 후 18개월로 하며, 공급업체는 반드시 기술지원 및 수리지원이 가능하여야 한다.

7) 공급업체는 정기적인 시운전 및 장비 점검을 실시하여야 하며, A/S 계획서를 제출하여야 한다.

단종 뒤 부품 공급

해당 없음

보증 종료·단종 뒤 부품·소모품·유지보수 공급 기간을 정한 문구가 없다.

A/S 조직·인력

없음

공급업체는 반드시 기술지원 및 수리지원이 가능하여야 한다고만 적혀 있고, A/S 인력 수·부서·서비스망·예비품 보유를 요구하지 않는다. A/S 계획서 제출 의무는 있다.

• 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 A/S 인력 수 요구가 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 없음.
• 대상 · - 인력 수·부서·서비스망·예비품 보유 요구가 없다.

6) 하자보수(보증) 기간은 납품 후 18개월로 하며, 공급업체는 반드시 기술지원 및 수리지원이 가능하여야 한다.

주제 · 가격·대금·계약 조건 11개

총액·단가 방식

총액

총액계약이며 투찰금액은 품목별 단가×수량의 합계액(부가세 포함)으로 산정하나, 계약 형태는 총액계약이다. 정산·단가 조정에 대한 별도 조항은 없다.

• 정산 · 확정 금액 총액계약으로 낙찰금액이 계약금액이 되며, 실적·실비 정산 조항은 없다.
• 단가 조정 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 계약 기간 중 단가 고정·연동·협의 조정에 대한 조항이 없다.

본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율)임.

본 입찰의 투찰금액은 1. 입찰에 부치는 사항 나. 구매내역에 명시한 구매물품에 대한 총액을 투찰한다.

※ 투찰금액 = (품목별 단가 × 수량) 의 합계액(부가가치세 포함)

물량 변동

확정

구매내역은 규격서에 명시된 CMP 장비 1대로 수량·사양이 확정되어 있고, 납품기한·납품장소도 정해져 있다.

구매내역 : 붙임1. 한양대학교ERICA 반도체 CMP 공정 장비 구축 규격서

| 1 | CMP 장비 | 화학적 기계 연마 장비(CMP, Chemical Mechanical Polisher) | 1 |

발주처 단가 기준

적혀 있지 않음

발주처가 정한 단가·상한가·품셈·요율 등 대가 산정 기준이 공고에 없다.

계약 상대

공고 낸 기관 직접

공고기관·수요기관은 한양대학교 에리카산학협력단이며, 계약 상대를 달리 적은 문장이 없다.

그대로 넘길 돈

아니다

계약금액 안에서 다른 곳에 넘기거나 정해진 곳에 써야 하는 돈에 대한 조항이 없다.

• 넘길 돈 · 해당 없음 해당 항목이 없다.
• 투찰 때 반영 · 해당 없음 해당 항목이 없다.

견적 근거

공개 안 됨

규격서에 사양·수량은 있으나 단가·내역서·도면 등 견적 근거는 공개되어 있지 않다. 견적서는 입찰자가 산출내역을 포함해 제출하는 서류다.

• 이윤 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 원가계산서·산출내역이 공개되지 않았다.

11) 견적서(지정된 양식 없음, 산출내역 포함, 입찰가와 무관) - 사용부서 확인(서명)

대금 받는 때

끝난 뒤 한 번에

납품기한 내 검수·납품·설치·세금계산서 발행 완료 조건이며, 지급 시기·선금·지급 기한에 대한 별도 조항은 없다.

• 선금 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 선금 지급에 대한 조항이 없다.
• 지급 기한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 청구 후 지급 기한에 대한 조항이 없다.

납품기한 : 2026년 12월 31일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

공채·채권

모름 · 문서로 확인 안 됨

공채·채권 매입에 대한 조항이 없다.

보험 가입

없음

이 일 때문에 들어야 하는 보험·공제에 대한 요구가 없다. 입찰보증금·계약보증금·하자증권은 보증금이지 보험이 아니다.

• 보상 한도 · 해당 없음 보험 요구가 없다.
• 보험료 · 해당 없음 보험 요구가 없다.
• 대상 · 해당 없음 보험 요구가 없다.

계약 변동 가능

아니다

낙찰 후 계약이 안 되거나 금액·물량·기간이 바뀔 수 있다는 조항이 없다. 다만 실제 구매량(납품 지시량)이 증감되어도 계약단가로 납품해야 한다는 조항은 있다.

• 바뀔 수 있는 것 · 해당 없음 계약 불성립·조정에 대한 조항이 없다.

낙찰자는 실제 구매량(납품 지시량)이 증가되거나 감소되어도 본 계약단가에 의하여 납품하여야 하며, 이에 이의를 제기할 수 없다.

부가세 과세

모름 · 문서로 확인 안 됨

이 일·품목의 과세·면세 여부를 적은 문장이 없다. 다만 투찰금액에 부가세를 포함하라고 지시하고 있다.

• 투찰가에 부가세 · 넣는다 면세사업자인 경우에도 부가세를 포함해 투찰하고, 낙찰 시 낙찰금액에서 부가세 상당액을 차감해 계약한다.

  입찰자가 면세사업자인 경우에도 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰해야 하며, 입찰결과 낙찰자가 면세사업자인 경우 낙찰금액에서 부가가치세 상당액을 차감한 금액으로 계약을 체결함.

뽑는 방식 · 입찰 방식 7개

회사 속성 우대

없음

회사 속성(창업·여성·장애인·사회적기업·소기업·고용실적·인증·산업재해율) 우대 가점·특례 규정이 문서에 없다. 낙찰은 낙찰하한율 이상 최저가 방식이다.

• 우대 대상 · 없음 문서에 회사 속성 우대 대상이 적혀 있지 않다.
• 가점 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 가점 규정 자체가 없다.

신용등급·경영상태

없음

신용평가등급·기술신용평가·경영상태(재무비율·매출·지급여력)를 참가 조건이나 점수로 본다는 규정이 없다. 참가자격은 사양 적합 확인, 정리절차·금융불량 여부만 본다.

• 등급이 없을 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 등급이 없거나 업력이 짧은 회사의 평가 방법이 적혀 있지 않다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 신용평가 관련 배점표가 없다.
• 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 신용평가·기술신용평가·재무비율·매출·지급여력 어느 것도 대상으로 적혀 있지 않다.

보유 인력

없음

회사가 보유한 인력의 수·등급을 점수나 참가 조건으로 본다는 규정이 없다. 규격서의 교육 담당 전문기술자 요건은 투입 인력 자격이지 보유 인력 점수가 아니다.

• 기준 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 보유 인력 기준 인원이 적혀 있지 않다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 기술인력 보유 배점표가 없다.

전담 인력

해당 없음

이 공고는 물품 구매(장비 납품·설치)로 공사 현장대리인 제도가 없다. 투입 인력 전담·겸직·참여율 규정이 없다.

• 참여율 상한 · 해당 없음 참여율 규정이 없다.
• 크기 · 해당 없음 업무중첩도 배점이 없다.
• 대상 · 해당 없음 대상 인력 구분이 없다.

큰 배점 항목

해당 없음(평가표 없음 — 소액 추첨 등)

이 입찰은 제한적최저가입찰(낙찰하한율)로 예정가격 이하·낙찰하한율 이상 최저가 투찰자를 낙찰자로 정하며, 제안서·규격 평가표가 없다.

낙찰자 결정은 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상을 충족하면서 최저가격을 투찰한 자를 계약상대자로 결정하며, 낙찰이 될 수 있는 동일가격 입찰서 제출자가 2인 이상인 경우는 동일 가격 입찰자를 대상으로 나라장터 시스템을 통해 자동으로 추첨하는 방식을 적용한다.

가점

없음

특허·신기술·수상·우수업체 선정·기술개발 투자·신규 고용에 대한 가점 규정이 문서에 없다.

• 가점 대상 · 없음 가점 대상이 적혀 있지 않다.
• 가점 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 가점 규정이 없다.

가격을 연 뒤 낙찰자를 어느 심사 기준으로 가…

심사 없음(하한율 이상 최저가·배제사유만)

제한적최저가입찰(낙찰하한율)로 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상 최저가 투찰자를 낙찰자로 결정하고, 동일가격이면 추첨한다. 적격심사 세부기준·통과 점수는 문서에 없다.

• 통과선 · 해당 없음 심사 없이 최저가로 정하므로 통과 점수가 없다.

낙찰자 결정은 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상을 충족하면서 최저가격을 투찰한 자를 계약상대자로 결정하며, 낙찰이 될 수 있는 동일가격 입찰서 제출자가 2인 이상인 경우는 동일 가격 입찰자를 대상으로 나라장터 시스템을 통해 자동으로 추첨하는 방식을 적용한다.

카테고리 · 연구·실험·계측장비 5개

지원사업·R&D 재원

아니다

공고·규격서 어디에도 정부·지자체 지원사업이나 연구개발 과제·연구비로 구매한다는 문장이 없다. 공고기관명에 RISE지산학협력단이 있을 뿐이다.

품질 인증

없음

참가자격은 국가계약법령 자격요건·사용부서 사양확인·정리절차/금융불량 여부만 본다. ISO 등 인증이나 업무 절차서를 참가 조건·평가 배점·계약 의무로 요구하는 문장이 없다.

경비 부담

나눠짐

장비 본체·부속(멤브레인 캐리어, 컨디셔닝 시스템, 슬러리 펌프, 제어용 PC, 매뉴얼)과 운반·반입·설치는 공급자(계약상대자) 부담. 칠러(Chiller)는 수요기관 준비, DIW 공급장치는 미포함, 설치 장소의 설비 및 연결은 포함되지 않음.

• 관급 금액 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 관급 자재·기기 금액이 적혀 있지 않다.
• 관급 설치 · 해당 없음 관급자재·관급기기 납품이 아니라 칠러를 수요기관이 준비하는 조건이다.

4) 납품기한은 2026년 12월 31일까지(검수, 납품, 설치 완료)로 하며, 공급자는 수요기관이 지정한 장소(제5공학관 지하1층 B08호 나노오염제어클린룸 설비실)에 운반·반입 및 설치를 수행한다.

9) 칠러(Chiller) 및 DIW 공급장치는 포함되지 않으며(칠러는 수요기관 준비), 설치 장소의 설비 및 연결은 포함되지 않는다.

공정 장비 종류

해당 없음

화학적 기계 연마(CMP) 장비로, 보기의 스퍼터·증착·CVD·ALD·식각·노광·다이싱·패키징 어느 공정에도 해당하지 않는다.

- 용도: 반도체 웨이퍼(디바이스 웨이퍼) 평탄화를 위한 화학적 기계 연마(CMP) 장비로, 멤브레인(Membrane) 방식 연마 헤드를 적용하여 우수한 연마 균일도를 확보할 수 있어야 함

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

200mm 이하

최대 200㎜(8인치)까지 호환, 100㎜·150㎜ 포함.

- 웨이퍼 크기: 최대 200㎜(8인치)까지 호환되어야 함(100㎜, 150㎜ 포함)

문서 발췌

『한양대학교ERICA 반도체 CMP 공정 장비 구매』 2026. 10. 02. 한양대학교 1. 물품 규격

2. 상세 규격 내용 품명 화학적 기계 연마 장비(CMP, Chemical Mechanical Polisher) 수량 1 세부 내역 ■ 주요 사양(Feature) - 용도: 반도체 웨이퍼(디바이스 웨이퍼) 평탄화를 위한 화학적 기계 연마(CMP) 장비로, 멤브레인(Membrane) 방식 연마 헤드를 적용하여 우수한 연마 균일도를 확보할 수 있어야 함 - 웨이퍼 크기: 최대 200㎜(8인치)까지 호환되어야 함(100㎜, 150㎜ 포함) - 웨이퍼 로딩 방식: 수동 로딩/언로딩(Single wafer type) - 멤브레인 캐리어 및 오실레이션(Oscillation) 방식 컨디셔닝 시스템을 갖추어야 함 - 적용 가능 소재: Si, Oxide, Metal, Poly-Si, Glass, Sapphire, SiC, PR, Nitride, Ceramic 등 ■ 장비 본체(Housing) - 크기: 1,200×1,250×1,960㎜(W×D×H) - 중량: 1,200㎏ 이하 - 재질: Stainless steel, 클린룸 대응 도장 ■ 연마 모듈(Polishing Module) - 연마 정반(Platen): 직경 508㎜(20인치), Teflon 코팅 알루미늄, 1EA - 정반 회전 속도: 30~200rpm (인버터 모터 구동) - 정반 교체가 용이한 퀵체인지(Quick-Change) 베이스 적용 - 정반 냉각 구조: 정반 내부 냉각수 유로 내장(연마 마찰열에 의한 열 드리프트 최소화), 칠러(Chiller)는 미포함 - 연마 헤드: 멤브레인 가압 방식, 200㎜ 웨이퍼용 1-Zone 멤브레인 캐리어 1EA - 가압 범위: 70~500g/㎠(1~7.1psi, 200㎜ 웨이퍼 기준), 전자식 공압 조절기로 가변 제어 - 헤드 회전 속도: 30~200rpm (서보 모터 구동) - 헤드 오실레이션 길이: ±12㎜ - 회전 편차: 상하 ±0.5㎜, 좌우 ±1㎜ 이내 - 공정 방식: Dry-in / Wet-out ■ 슬러리 공급 모듈(Slurry Supply) - 유량 조절이 가능한 슬러리 펌프 2EA(Roller pump / Silicone tube) - 최대 유량: 400㎖/min - 슬러리 적하 위치: 정반 중심부터 가장자리까지 ■ 컨디셔닝 모듈(Conditioning) - 방식: 오실레이션 헤드(Oscillating head) 방식 컨디셔너, In-situ 컨디셔닝 가능 - 컨디셔너 디스크: 직경 Φ240~245㎜(Φ20㎜ 세그먼트 24EA) - 컨디셔너 회전 속도: 0~160rpm - 컨디셔너 하중: 2~5kgf - 재질: Anodized Aluminum, PE, cPVC - 나일론 브러시 패드 세정 및 고압 DIW 린스(분사 노즐 어레이) 기능 포함, DIW 공급장치는 미포함 - 사용 가능 pH 범위: pH 2~13 ■ 제어 프로그램(Control) - PC 제어 방식 - 연속 6단계 공정 시퀀스 프로그래밍 가능 - 주요 기능: 메인 운전(Main operation), 수동 운전(Manual operation), 자동 레시피 편집(Auto recipe edit), 소모품 사용시간 관리(Consumables timer)

■ 공정 성능(Process Performance) - WIWNU(웨이퍼 내 불균일도): 5% 이하 (1σ, Edge Exclusion 5㎜) - WTWNU(웨이퍼 간 불균일도): 5% 이하 (웨이퍼 5매 기준) - 측정 조건: 200㎜ Oxide blanket wafer CMP, 직경 방향 19 point 측정 ■ 유틸리티(Utilities) - 전원: 220V / 3상 / 60Hz / 7.1㎾, CE 인증 전장, 차단기 50A - CDA: Ø8㎜ 튜브, 5.5㎏/㎠ 이상, 평균 2.5 SCFM / 최대 3.5 SCFM - DIW: Ø12㎜ 튜브, 2.0㎏/㎠ 이상, 평균 5L/min / 최대 10L/min - Drain: Ø48㎜(40A) PVC 배관, 평균 7L/min / 최대 14L/min - Coolant: Ø16㎜ 튜브, 1.0㎏/㎠ 이상 - Vacuum: Ø8㎜ 튜브, -70kPa 이하, 평균 1 SCFM / 최대 2 SCFM - Exhaust: Ø125㎜ 배관, 평균 100 SCFM / 최대 170 SCFM - 설치 공간: 평탄한 바닥에 설치, 장비 사방 500㎜ 이상의 유지보수 공간 확보 - 구성: CMP 장비 본체 x1, 200㎜ 1-Zone 멤브레인 캐리어 x1, 오실레이션 컨디셔닝 시스템 x1, 슬러리 펌프 x2, 제어용 PC x1, 사용자 매뉴얼(인쇄본 및 파일) 1식 요청 사항 1) 본 규격은 최소한의 규격이며, 제안사는 본 규격에 명시된 사양과 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

2) 제안에 포함된 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며, Refurbished, Used, Warranty 서비스용 부품은 제안할 수 없다. 3) 국내 정식 유통 제품을 제안하여야 한다. 4) 납품기한은 2026년 12월 31일까지(검수, 납품, 설치 완료)로 하며, 공급자는 수요기관이 지정한 장소(제5공학관 지하1층 B08호 나노오염제어클린룸 설비실)에 운반·반입 및 설치를 수행한다. 5) 납품 검수 후 1일 이상 이론 및 현장 반복 교육을 진행하여야 하며, 제조회사로부터 정규 교육과정(기술개념, 측정기법 및 원리, 장비 작동과 A/S 및 교정 교육과정)을 이수한 전문 기술자가 담당하여야 한다. 6) 하자보수(보증) 기간은 납품 후 18개월로 하며, 공급업체는 반드시 기술지원 및 수리지원이 가능하여야 한다. 7) 공급업체는 정기적인 시운전 및 장비 점검을 실시하여야 하며, A/S 계획서를 제출하여야 한다. 8) 사용 및 보수유지 설명서(인쇄본 및 파일)를 제출하여야 한다. 9) 칠러(Chiller) 및 DIW 공급장치는 포함되지 않으며(칠러는 수요기관 준비), 설치 장소의 설비 및 연결은 포함되지 않는다. 10) 사용 부서로부터 사양에 대한 확인을 받아야 한다. === 입찰세부공고_ERICA 반도체 CMP 공정 장비 구매.hwpx === 한양대학교ERICA RISE지산학협력단 공고 제01-2026-0009호

한양대학교ERICA 반도체 CMP 공정 장비 구매

1. 입찰에 부치는 사항

가. 입찰건명 : 한양대학교ERICA 반도체 CMP 공정 장비 구매 나. 구매내역 : 붙임1. 한양대학교ERICA 반도체 CMP 공정 장비 구축 규격서 다. 납품기한 : 2026년 12월 31일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료) 라. 납품장소 : 한양대학교 ERICA캠퍼스 제5공학관 B108호 나노오염제어클린룸 설비실 2. 입찰방법 가. 본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율)임. 나. 본 입찰의 투찰금액은 1. 입찰에 부치는 사항 나. 구매내역에 명시한 구매물품에 대한 총액을 투찰한다. ※ 투찰금액 = (품목별 단가 × 수량) 의 합계액(부가가치세 포함) 입찰자가 면세사업자인 경우에도 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰해야 하며, 입찰결과 낙찰자가 면세사업자인 경우 낙찰금액에서 부가가치세 상당액을 차감한 금액으로 계약을 체결함. 다. 본 입찰서 제출은 전자입찰방식으로 나라장터 시스템에서만 가능하며, 제출된 일체의 서류는 반환하지 않음. 3. 참가자격 가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출