입찰공고상세[물품]
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AI 제어기반 Ga₂O₃ 단결정 성장 시스템(4인치Ga₂O₃ VB 성장로)
한국기초과학지원연구원 · 반도체·박막 공정장비
- 추정가격
- 8.91억원
- 참가자격 등록 마감
- 10/18(일) 18:00 · D-5
- 낙찰방법
- 규격가격동시입찰
- 참가 자격
- 제한 없음
- 무슨 일
- 4인치 Ga₂O₃ VB 단결정 성장로 제작·납품·설치
요약 AI 요약
4인치 Ga₂O₃ 단결정을 수직 브릿지만(Vertical Bridgman) 방식으로 성장시키기 위한 AI 제어기반 성장 시스템을 제작·설치하는 사업이다. MoSi₂ 히터 기반 고온 저항가열로에서 Pt-Rh 도가니를 정밀 이송하며 단결정을 성장시킨다.
- 성장로 본체: MoSi₂ 히터 기반 고온 저항가열, 최고 1850℃(상용 1800~1820℃), SUS304 이중 수냉 챔버, Air/O₂ 분위기 제어
- Hot Zone 2세트: Al₂O₃/ZrO₂ 고온 단열 구조, 최고 1850℃ 안정 설계
- 파워서플라이: 3상 AC 380V 60Hz, 사이리스터 제어 방식, 3상 15.4kVA 트랜스
- 컨트롤러: PLC 기반 제어, PID 온도제어, 서보모터 기반 도가니 이동 제어, 터치패널 조작
- 도가니 이동 기구: 저속 0.1~10.0 mm/h 결정 성장 하강, 고속 10~1000 mm/min 베이스 챔버 승강, 최대 이동거리 900 mm, 수냉 2중 샤프트
- 4인치 Pt-Rh 도가니 6개(Pt 214.12g / Rh 53.53g)
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핵심요약
- 규격·기술 심사
- 점수와 통과선
제한(총액)규격·가격동시입찰로 규격입찰서 평가 결과 적격자 중 예정가격 이하 최저가격으로 가격입찰한 자를 낙찰자로 선정. 규격입찰서 평가 적격자는 적합기준점수 100점으로 함. 심사위원 명단·심사결과는 공개하지 않음.
- 통과선 · 100점 적합기준점수 100점
규격입찰서 평가 적격자는 적합기준점수 100점으로 함.
- 필수 항목·과락 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 필수 항목·과락 규정 없음
본 건은 제한(총액)규격․가격동시입찰로써 2인 이상의 유효한 입찰자의 규격입찰서 평가 결과 적격자 중 예정가격 이하 최저가격으로 가격입찰한 자를 낙찰자로 선정 함
규격입찰서 평가 적격자는 적합기준점수 100점으로 함.
문서 분석
- 통과선 · 100점 적합기준점수 100점
- 수행 기간
- 옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음
납품기한은 2026년 11월 30일까지이다. 규격입찰서 양식에는 납품가능일을 '계약체결 후 일'로 기재하도록 되어 있다.
- 옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 납품기한이 2026년 11월 30일로 정해져 있다.
차. 납품기한 : 2026년 11월 30일 까지
차. 납품기한 : 2026년 11월 30일 까지
9. 납품가능일 | 계약체결 후 일
문서 분석
- 옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 납품기한이 2026년 11월 30일로 정해져 있다.
- 하자보수
- 2년
입찰공고서의 하자담보책임기간은 기술검수 완료일로부터 2년이고, 제작 사양서의 보증 기간은 장치 납입 후 1년이다. 보증 기간 중 설계·제작 불량 고장은 무상 수리 또는 개선품 납입, 발열체 등 소모품·취급 부주의·유틸리티 불량·임의 개조·시료 가스 손상은 제외.
- 기점 · 설치·검수 완료일 입찰공고서는 기술검수 완료일, 사양서는 장치 납입 후로 적혀 있다.
파. 하자담보책임기간 : 기술검수 완료일로부터 2년
보증 기간은 장치 납입 후 1년으로 한다.
- 보증 기간 정기점검 · 없음 보증 기간 중 정기점검을 나가라는 요구가 없다.
- 소모성·정기정비 부품 · 발주처 부담 발열체 등 소모품은 보증 범위에서 제외한다.
단, 발열체 등 소모품, 취급 부주의, 유틸리티 조건 불량, 임의 개조, 시료에서 발생하는 가스 등에 의한 손상은 보증 범위에서 제외한다.
파. 하자담보책임기간 : 기술검수 완료일로부터 2년
보증 기간은 장치 납입 후 1년으로 한다. 보증 기간 중 명백히 설계 또는 제작 불량에 기인한 고장이 발생한 경우에는 무상 수리 또는 개선품 납입을 원칙으로 한다. 단, 발열체 등 소모품, 취급 부주의, 유틸리티 조건 불량, 임의 개조, 시료에서 발생하는 가스 등에 의한 손상은 보증 범위에서 제외한다.
문서 분석
- 기점 · 설치·검수 완료일 입찰공고서는 기술검수 완료일, 사양서는 장치 납입 후로 적혀 있다.
가격
- 추정가격
- 890,909,091원
- 배정예산
- 980,000,000원
- 부가세
- 89,090,909원
- 예정가격 방식
- 복수예가
첨부파일
- PDF · 1. 입찰공고서(신규_018호)_일반(총액)2단계(규격가격동시).pdf · 공고규격서
- PDF · 2-1. 용도설명 및 구매사양서_AI 제어기반 Ga₂O₃ 단결정 성장 시스템(4인치Ga₂O₃ VB 성장로).pdf · 공고규격서
- PDF · 2-2. 구매사양서_VB 성장로 (4인치 Ga2O3용).pdf · 공고규격서
- HWP · 규격입찰서_양식.hwp · 공고규격서
- HWP · 보안서약서 및 청렴계약 입찰특별유의서.hwp · 공고규격서
납품
- 납품
- 옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 · 문서
- 품명
- 융복합표본제작기 (9941104008)
- 세부품명 등록
- 아니오
- 제조물품
- 아니오
문서: 직접 생산 · 없음 - 수량
- 1 SET
문서: 일의 분량 · 1SET - 인도조건
- 설치·시운전·가동까지 · 문서
참가 자격 · 제한
- 지역제한
- 제한 없음
문서: 지역 조건 · 없음 - 업종제한
- 제한 없음
문서: 업종·면허 조합 · 모름
문서: 설치 공사업 면허 · 없음 - 제출 방법
- 전자입찰
문서: 입찰 전 절차 · 따로 없음(나라장터만) - 실적경쟁 · PQ
- 모름
문서: 실적 · 없음 - 공동수급
- 공동수급불허
문서: 공동수급 · 막음 - 입찰참가 제한
- 모름
- 국제입찰
- 국내입찰
입찰 일정
| 진행 | 일시 | 남은 날 |
|---|---|---|
| 공고 게시 | 10/08(목) | 지남 |
| 입찰서 제출 시작 | 10/08(목) 14:00 | 지남 |
| 입찰참가자격 등록 마감 | 10/18(일) 18:00 | D-5 |
| 입찰서 제출 마감 | 10/19(월) 14:00 | D-6 |
| 개찰 | 10/19(월) 15:00 | D-6 |
사업 내용 · 이 공고에 든 일
중심 · 4인치 Ga₂O₃ VB 단결정 성장로 제작·납품·설치
물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비
MoSi₂ 히터 기반 수직 브릿지만(VB) 성장로를 설계·제작해 Ga₂O₃ 단결정 성장용으로 납품·설치하는 반도체·박막 소재 성장 공정장비다.
- 전기로 본체·핫존(Al₂O₃/ZrO₂ 단열) 2set 제작
- 도가니 저속/고속 이동 구동부 및 수냉 2중 샤프트
- PLC·사이리스터·트랜스 기반 온도/출력 제어반과 트랜스 패널
- Air 분위기 제어장치 및 냉각수 매니폴드
- 안전 회로(과승온·냉각수·누전·순간정전 대응)
- 공장 검사(외관·치수·시퀀스·통전·승온·이동거리)
- 현장 설치 및 시운전 조정, 취급 설명
- 제출 문서(제작 사양서·취급 설명서·기계/전기 도면·검사 성적서)
- 하자담보책임 2년(사양서상 보증 1년) 하자보수
더 확인할 것
기성품·주문제작
이럴 때 꼭 봅니다 — 주문제작 · 설계부터 우리가
주문제작(받은 규격·도면대로)
본 사양서 기준으로 전기로 본체·구동부·제어반·트랜스 패널·가스 및 냉각수 연결부·안전 회로를 설계·제작하고, 형식/모델 KX_VB1800, 도장 색상(맨셀 5PB 6.5/7) 등 지정 사양에 맞춰 제작한다.
- 시스템 통합 · 해당 없음 여러 제조사 제품을 엮어 하나의 시스템으로 통합한다는 내용이 없다.
설계 및 제작 | 본 사양서 기준의 전기로 본체, 구동부, 제어반, 트랜스 패널, 가스 및 냉각수 연
결부, 안전 회로 제작
지정 제품·공법
지정 — 다른 것 불가
구매사양서에 형식/모델을 KX_VB1800으로, 가열 방식을 MoSi₂ 1900 U자 히터 직접 가열 방식으로, 온도 프로그램 조절계를 KP2030P3LY-B1A로, 그래픽 레코더를 KR2S2PSN2A-NNN으로, 과열계를 DB6531로, 사이리스터를 TPP3-055-I-T-FN으로, 방사 온도계를 IR-CZH7NX7(특수 사양)로 지정. 동등 이상 허용 문구는 없음.
- 동등 입증 때 · 해당 없음 동등 이상 허용 규정이 없어 입증 시점도 없음
형식 / 모델 | KX_VB1800
가열 방식 | MoSi₂ 1900 U자 히터 직접 가열 방식
온도 프로그램 조절계 | KP2030P3LY-B1A, 전류 출력형 PID식, 경보 출력 및 외부 입출력 4점 포함
그래픽 레코더 | KR2S2PSN2A-NNN 디지털 기록계
과열계 | DB6531, 로 내 온도 모니터 및 온도 상한 경보 설정
사이리스터 | TPP3-055-I-T-FN, 380V, 55A
방사 온도계 | IR-CZH7NX7(특수 사양), 온도 측정 범위 250~3000℃
합격선
숫자 기준 있음
검수 합격선 수치: 승온 시험 공로 조건 1800℃까지 승온 가능 여부, 납품 후 승온 확인 도가니 및 원료 설치 상태에서 대기 중 1800℃까지 1080분, 온도 분포 1700℃±10℃·200 mm, 핫존 중심부 H150 mm ±10℃(at 1700℃), 승온 속도 1800℃까지 480분(공로 조건), 도가니 이동 속도 0.1~10.0 mm/h, 고속 이동 10~1000 mm/min, 이동 거리 Max. 900 mm, 접지 D종 100Ω 이하, 냉각수 수압 0.3~0.4 MPa·유량 50 L/min 이상·수온 35℃ 이하·저항값 30 kΩ·cm 이상, 순간 정전 3초 이하 운전 지속.
- 따를 표준·지침 · 제작 사양서(φ4 inch 수직형 Bridgman Furnace) 기준의 전기로 본체·구동부·제어반·트랜스 패널·가스 및 냉각수 연결부·안전 회로 제작, PLC 터치패널 기반 제어, PID 온도 프로그램 제어, 서보모터 기반 도가니 이동 제어. 별도 외부 표준·지침·프로토콜 지정은 없음.
설계 및 제작 | 본 사양서 기준의 전기로 본체, 구동부, 제어반, 트랜스 패널, 가스 및 냉각수 연결부, 안전 회로 제작
PLC 기반 제어 시스텐
PID 온도제어
서보모터 기반 도가니 이동 제어
승온 시험 | 공로 조건 기준 1800℃까지 승온 가능 여부 확인 | 공장 검사
도가니 및 원료 설치 상태에서 대기 중 1800℃까지 1080분 승온 확인
온도 분포 측정 | 1700℃에서 온도 분포 측정. 기준: 1700℃±10℃, 200 mm | 현장 검수
핫존 온도 분포 | 핫존 중심부 H150 mm, ±10℃(at 1700℃)
승온 속도 | 1800℃까지 480분(공로 조건)
저속 이동 속도 | 0.1~10.0 mm/h(결정 성장 시 도가니 하강)
고속 이동 속도 | 10~1000 mm/min(베이스 챔버 승강)
이동 거리 | Max. 900 mm
접지 등급 | D종 접지, 접지 저항 100Ω 이하
수압 | 0.3~0.4 MPa(배압측 대기 개방)
유량 | 50 L/min 이상
수온 | 35℃ 이하. 단, 결로가 발생하지 않을 것
수질 | 저항값 30 kΩ·cm 이상, 중성, 혼탁/이물/염소 미포함
순간 정전 대응 | 3초 이하 순간 정전 시 운전 지속 기능
입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…
카탈로그·제조사 사양서
입찰 시 제출서류는 입찰참가관련 업체공문(자율양식), 규격입찰서(공고첨부 지정양식), 물품 카달로그, 기업확인서. 항목별 규격 대비표·시험성적서·실측·성능 데이터·도면 제출 요구는 없음.
- 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 보완 규정 없음
제출서류 : 입찰참가관련 업체공문(자율양식 / 공고번호, 공고명 등 주요사항 명기필, 업체직인필), 규격입찰서(공고첨부 지정양식), 물품 카달로그, 기업확인서
참가 범위
공개 경쟁
계약방법은 일반경쟁, 입찰방법은 제한(총액)2단계(규격·가격동시)이며, 나라장터 전자입찰로 조건을 갖춘 업체 누구나 참여 가능하다.
다. 계약방법 : 일반경쟁
라. 입찰방법 : 제한(총액)2단계(규격․가격동시)
나. 입찰방식 : 국가종합전자조달시스템(나라장터)을 이용한 전자입찰(국내입찰)
현장 여건
1차측 전기 공사, 유틸리티 배관, 배기·배수 배관, 설치 환경(설치 공간·바닥 고정·반입 동선)은 고객(발주처) 범위로 제외되어 있다. 위험작업으로는 고온(최고 1850℃) 운전, 수냉 챔버·냉각수 배관, 3상 380V 전원 작업이 따른다.
견적 제외 사항으로 1차측 배선·배관 공사, 배기 가스·배수 배관 공사가 제외된다.
- 부대공사·현장 준비 · 발주처 부담 1차측 전기 공사, 유틸리티 배관, 배기·배수 배관, 설치 환경은 고객 범위로 제외된다.
1차측 전기 공사 | 본 장치까지의 1차측 전원 인입, 차단기, 접지 및 전기 배선 공사
설치 환경 | 설치 공간, 바닥 고정 조건, 장비 반입 동선 및 건물측 유틸리티 조건 확보
- 위험작업 · 중량물 고온(최고 1850℃) 운전, 수냉 챔버, 3상 380V 전원 작업이 따른다.
최고 / 상용 온도 | 최고 1850℃ / 상용 1800℃
전원 사양 | 3φ AC380V, 60Hz, 15.4kVA
•본 장치까지의 1차측 배선 및 배관 공사(전기, 분위기 가스, 냉각수 등)는 제외한다.
•배기 가스 및 배수 배관 공사는 제외한다.
시안 승인
1회
본 작업·제작 전 시안·샘플·제작도·중간검수 승인 단계를 몇 번 받는지에 대한 명시가 없다. 제출 문서(제작 사양서·기계 도면·전기 도면 등)는 납품 문서로 규정되어 있다.
- 수정 횟수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 수정 횟수에 대한 규정이 없다.
- 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 승인 기간이 납기에 드는지에 대한 규정이 없다.
공장 실사·입회
제작 중 검사·입회 · 납품 전 검사
공장 검사는 고객 입회 하에 공급자 지정 공장에서 실시하고, 납품 후 현장 검수(승온 확인·온도 분포 측정·경보 장치 확인)를 실시한다. 계약 전 실사는 없다.
검사는 고객 입회 하에 공급자 지정 공장에서 실시하는 통상 시험을 최종 검사로 한다.
장치 납입 후에는 실제 설치 조건에서 주요 기능을 재확인하고, 시운전 조정 후 취급 설명을 실시한다.
큰 배점 항목
규격입찰서 평가는 적합기준점수 100점으로만 적혀 있고 세부 평가항목·배점표가 문서에 없다. 낙찰자는 규격적격자 중 예정가격 이하 최저가격 입찰자로 결정된다.
평가 세부기준·배점이 공개되지 않았고, 심사위원 명단·심사결과도 공개하지 않는다고 적혀 있다.
규격입찰서 평가 적격자는 적합기준점수 100점으로 함.
심사위원 명단, 심사결과는 공개하지 않으며, 규격입찰서 제출업체가 이의를 제기할 수 없음
평가 자리 발표
서면 평가만
규격입찰서는 나라장터를 통해 온라인으로 제출하며, 심사위원 명단·심사결과는 공개하지 않는다. 발표·질의응답에 대한 규정이 문서에 없다.
- 빠지면 · 해당 없음 발표 절차가 없으므로 해당 없음.
제출방법 : 규격서는 나라장터를 통하여 온라인으로 제출하여 주시기 바랍니다.
심사위원 명단, 심사결과는 공개하지 않으며, 규격입찰서 제출업체가 이의를 제기할 수 없음
처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가
4inch
φ4인치용 Pt-Rh 도가니 적용
대상 규격 | φ4인치용 Pt-Rh 도가니 적용
공고 정보
- 공고종류
- 등록공고 (일반공고)
- 게시일
- 10/08(목)
- 공고번호
- R26BK01761621-000
- 참조번호
- 제KBSI26구매-018호
- 공고기관
- 한국기초과학지원연구원
- 수요기관
- 한국기초과학지원연구원
- 계약방법
- 일반경쟁
- 낙찰방법
- 규격가격동시입찰
- 계약유형
- 총액계약
- 예정가격 방식
- 복수예가
- 추정가격
- 890,909,091원
- 배정예산
- 980,000,000원
- 사전규격번호
- R26BD00278785
- 재공고
- 아니오
- 출처
- 나라장터
문서 분석 전체
이 분야에서 갈리는 것 · 우리가 만드는 공정 방식·기판 크기인가, 주문제작을 150일 안에 끝낼 수 있나, 기술평가 85점을 넘나, 3년 품질보증을 감당하나에서 갈린다.
질문 87개 · 꼭 5 · 좋음 20 · 안 봐도 됨 62
주제 · 참가 자격 9개
업종·면허 조합
모름 · 문서로 확인 안 됨
참가자격은 국가계약법 시행령 제12조·시행규칙 제14조에 의한 경쟁입찰 참가자격과 조달청 입찰참가자격등록규정에 따른 등록을 요구할 뿐, 업종 코드 사이의 관계(모두/하나)나 법·조례가 정한 허가·지정·등록, 업태·종목, 전문매장 보유 같은 코드 밖 자격을 정한 문장이 없다.
- 코드 밖 자격 · 없음 법·조례가 정한 허가·지정·등록, 사업자등록증 업태·종목, 전문매장 보유 같은 코드 밖 자격 요구가 문서에 없다.
국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 동법 시행규칙 제14조에 의한 경쟁입찰 참가자격을 갖추고, 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 제27조 및 동법 시행령 제76조에 의거 제한 받지 않는 업체(부정당업자의 입찰참가자격 제한)
조달청 입찰참가자격등록규정에 따라 개찰일 전일까지 등록하고, 이용약관에 동의하여 지정 공인인증기관의 인증서를 받은 후 조달청에 전자입찰 등록을 필한 업체
지역 조건
없음
본점 지역 제한 외에 사업장·지사·시설·인력 소재, 지역 거점, 지역 인력 고용·장비 사용, 지역 업체 공동수급, 지역 가점을 요구하는 문장이 공고문·사양서 어디에도 없다.
- 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 지역 관련 평가표 배점이 없다.
- 대상 · - 해당하는 지역 조건이 없다.
실적
없음
비슷한 일을 한 실적을 참가 조건이나 점수로 요구하는 문장이 없다. 낙찰자 결정은 규격입찰서 평가 적격자 중 예정가격 이하 최저가격 낙찰 방식이다.
- 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 실적 배점표가 없다.
- 조건 · 없음 실적 인정 범위를 정한 문장이 없다.
업력
없음
업력을 참가 조건이나 점수로 보는 문장이 없다.
- 요구 업력 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 요구 업력이 적혀 있지 않다.
- 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 업력 배점표가 없다.
공동수급
막음
공고문에 공동계약 불가로 적혀 있다.
- 자격을 나눠 채우기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공동수급 자체가 불가이므로 자격 분담 규정이 없다.
공동계약 : 불가
회사 규모·신분
제한 없음
규모·신분으로 참가 업체를 좁히는 문장이 없다. 참가자격은 국가계약법령상 자격과 조달청 전자입찰 등록 요건뿐이다.
안전보건수준평가
없음
안전보건수준평가 대상 사업이라고 지정한 문장이 없다.
하도급
모름 · 문서로 확인 안 됨
이 공고가 하도급 허용·금지를 적은 문장이 없다. 청렴계약 이행각서에 하도급 계약 관련 서약 문구가 있으나 이는 표준 청렴 서식이다.
- 하도급 한도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급 한도가 적혀 있지 않다.
직접 생산
없음
직접생산확인증명서 소지, 제조 등록, OEM 금지, 한 제조사 제품 조건을 참가 자격이나 제품 조건으로 정한 문장이 없다. 규격입찰서 양식에 제작회사명/국명과 공급사명을 적는 칸이 있을 뿐이다.
- 참가 등록 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조/공급 등록 구분을 정한 문장이 없다.
- 직생 범위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 직접생산확인 요구가 없다.
- 대상 · - 제조·공급 방식에 대한 조건이 없다.
주제 · 제품 규격·인증 9개
지정 제품·공법
지정 — 다른 것 불가
구매사양서에 형식/모델을 KX_VB1800으로, 가열 방식을 MoSi₂ 1900 U자 히터 직접 가열 방식으로, 온도 프로그램 조절계를 KP2030P3LY-B1A로, 그래픽 레코더를 KR2S2PSN2A-NNN으로, 과열계를 DB6531로, 사이리스터를 TPP3-055-I-T-FN으로, 방사 온도계를 IR-CZH7NX7(특수 사양)로 지정. 동등 이상 허용 문구는 없음.
- 동등 입증 때 · 해당 없음 동등 이상 허용 규정이 없어 입증 시점도 없음
형식 / 모델 | KX_VB1800
가열 방식 | MoSi₂ 1900 U자 히터 직접 가열 방식
온도 프로그램 조절계 | KP2030P3LY-B1A, 전류 출력형 PID식, 경보 출력 및 외부 입출력 4점 포함
그래픽 레코더 | KR2S2PSN2A-NNN 디지털 기록계
과열계 | DB6531, 로 내 온도 모니터 및 온도 상한 경보 설정
사이리스터 | TPP3-055-I-T-FN, 380V, 55A
방사 온도계 | IR-CZH7NX7(특수 사양), 온도 측정 범위 250~3000℃
제조사 확약서
없음
공급 확약서·기술지원·A/S 확약서·대리점 지위·제조자 증명서·정품보증서·수입신고필증 등을 제조사·공식 공급원에게서 받아 오라는 요구가 문서에 없음. 입찰 제출서류는 입찰참가관련 업체공문, 규격입찰서, 물품 카달로그, 기업확인서뿐.
- 대상 · - 해당 서류 없음
- 조건 · 없음 제조사 면제 규정 없음
제품 인증
없음
제품·자재가 갖춰야 할 인증·허가·시험성적서 요구가 없음. 검사는 공급자 지정 공장 통상 시험(외관·치수·시퀀스·통전·승온·도가니 이동 거리)과 현장 검수(승온 확인·온도 분포·경보 장치)로, 인증서 제출 요구가 아님.
- 크기 · - 평가표 없음
- 대상 · - 해당 인증 없음
- 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 입증 수단 규정 없음
원산지(국산)
모름 · 문서로 확인 안 됨
원산지 제한·국산 요구·수입 허용 여부를 정한 문장이 없음.
합격선
숫자 기준 있음
검수 합격선 수치: 승온 시험 공로 조건 1800℃까지 승온 가능 여부, 납품 후 승온 확인 도가니 및 원료 설치 상태에서 대기 중 1800℃까지 1080분, 온도 분포 1700℃±10℃·200 mm, 핫존 중심부 H150 mm ±10℃(at 1700℃), 승온 속도 1800℃까지 480분(공로 조건), 도가니 이동 속도 0.1~10.0 mm/h, 고속 이동 10~1000 mm/min, 이동 거리 Max. 900 mm, 접지 D종 100Ω 이하, 냉각수 수압 0.3~0.4 MPa·유량 50 L/min 이상·수온 35℃ 이하·저항값 30 kΩ·cm 이상, 순간 정전 3초 이하 운전 지속.
- 따를 표준·지침 · 제작 사양서(φ4 inch 수직형 Bridgman Furnace) 기준의 전기로 본체·구동부·제어반·트랜스 패널·가스 및 냉각수 연결부·안전 회로 제작, PLC 터치패널 기반 제어, PID 온도 프로그램 제어, 서보모터 기반 도가니 이동 제어. 별도 외부 표준·지침·프로토콜 지정은 없음.
설계 및 제작 | 본 사양서 기준의 전기로 본체, 구동부, 제어반, 트랜스 패널, 가스 및 냉각수 연결부, 안전 회로 제작
PLC 기반 제어 시스텐
PID 온도제어
서보모터 기반 도가니 이동 제어
승온 시험 | 공로 조건 기준 1800℃까지 승온 가능 여부 확인 | 공장 검사
도가니 및 원료 설치 상태에서 대기 중 1800℃까지 1080분 승온 확인
온도 분포 측정 | 1700℃에서 온도 분포 측정. 기준: 1700℃±10℃, 200 mm | 현장 검수
핫존 온도 분포 | 핫존 중심부 H150 mm, ±10℃(at 1700℃)
승온 속도 | 1800℃까지 480분(공로 조건)
저속 이동 속도 | 0.1~10.0 mm/h(결정 성장 시 도가니 하강)
고속 이동 속도 | 10~1000 mm/min(베이스 챔버 승강)
이동 거리 | Max. 900 mm
접지 등급 | D종 접지, 접지 저항 100Ω 이하
수압 | 0.3~0.4 MPa(배압측 대기 개방)
유량 | 50 L/min 이상
수온 | 35℃ 이하. 단, 결로가 발생하지 않을 것
수질 | 저항값 30 kΩ·cm 이상, 중성, 혼탁/이물/염소 미포함
순간 정전 대응 | 3초 이하 순간 정전 시 운전 지속 기능
등록 제품
없음
우수제품·혁신제품·발주처 규격심의·사전등록·특정 기관 인증·플랫폼 등록·제품(모델) 납품·설치 실적·품질테스트 통과·등재 목록(가격집 등) 요구가 문서에 없음.
- 대상 · - 해당 목록·지정 없음
신품·제조 시기
없음
신품·최근 생산품·연식·유효기간·단종 예정 모델 금지 조건이 문서에 없음.
- 제조 뒤 경과 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 규정 없음
- 남은 유효기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 규정 없음
규격·기술 심사
점수와 통과선
제한(총액)규격·가격동시입찰로 규격입찰서 평가 결과 적격자 중 예정가격 이하 최저가격으로 가격입찰한 자를 낙찰자로 선정. 규격입찰서 평가 적격자는 적합기준점수 100점으로 함. 심사위원 명단·심사결과는 공개하지 않음.
- 통과선 · 100점 적합기준점수 100점
규격입찰서 평가 적격자는 적합기준점수 100점으로 함.
- 필수 항목·과락 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 필수 항목·과락 규정 없음
본 건은 제한(총액)규격․가격동시입찰로써 2인 이상의 유효한 입찰자의 규격입찰서 평가 결과 적격자 중 예정가격 이하 최저가격으로 가격입찰한 자를 낙찰자로 선정 함
규격입찰서 평가 적격자는 적합기준점수 100점으로 함.
입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…
카탈로그·제조사 사양서
입찰 시 제출서류는 입찰참가관련 업체공문(자율양식), 규격입찰서(공고첨부 지정양식), 물품 카달로그, 기업확인서. 항목별 규격 대비표·시험성적서·실측·성능 데이터·도면 제출 요구는 없음.
- 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 보완 규정 없음
제출서류 : 입찰참가관련 업체공문(자율양식 / 공고번호, 공고명 등 주요사항 명기필, 업체직인필), 규격입찰서(공고첨부 지정양식), 물품 카달로그, 기업확인서
주제 · 입찰 절차 9개
참가 범위
공개 경쟁
계약방법은 일반경쟁, 입찰방법은 제한(총액)2단계(규격·가격동시)이며, 나라장터 전자입찰로 조건을 갖춘 업체 누구나 참여 가능하다.
다. 계약방법 : 일반경쟁
라. 입찰방법 : 제한(총액)2단계(규격․가격동시)
나. 입찰방식 : 국가종합전자조달시스템(나라장터)을 이용한 전자입찰(국내입찰)
여러 과제로 나뉨
나뉘지 않음
단일 입찰건(공고참조번호 제KBSI26구매-018호)으로 수량 1 SET, 분할납품 불가, 공동계약 불가이다.
- 여러 개 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 나뉘지 않은 단일 입찰이므로 해당 없음.
사. 수량 및 단위 : 1 / SET
카. 분할납품 : 불가
하. 공동계약 : 불가
입찰 전 절차
따로 없음(나라장터만)
전자입찰방식으로 별도 서류제출 없이 나라장터 전자입찰서로만 접수하며, 규격입찰서도 나라장터를 통해 온라인 제출한다. 입찰참가자격등록마감은 2026.10.18. 18:00, 규격·가격 입찰서 제출마감은 2026.10.19. 14:00이다.
가. 본 입찰은 전자입찰방식에 의하여 집행하므로 별도의 서류제출은 없으며, 조달청 나라 장터 시스템을 이용한 전자입찰서로만 접수를 받음
◯ 제출방법 : 규격서는 나라장터를 통하여 온라인으로 제출하여 주시기 바랍니다.
현장설명회
없음
현장설명은 생략하고 용도설명 및 구매사양서 등 열람으로 갈음한다.
5. 현장설명 : 생략(용도설명 및 구매사양서 등 열람으로 갈음 함)
정정·재공고 변경
해당 없음(첫 공고)
문서상 재공고·정정 공고라는 표시나 앞선 공고에서 바뀐 내용에 대한 기재가 없다.
낙찰 업체 수
한 업체가 전량
수량 1 SET, 분할납품 불가, 공동계약 불가로 한 업체가 전량 낙찰받는다.
- 최소 응찰 물량 · 해당 없음 여러 업체가 나누는 구조가 아니므로 최소 응찰 물량 규정이 없다.
사. 수량 및 단위 : 1 / SET
카. 분할납품 : 불가
하. 공동계약 : 불가
MAS 2단계경쟁
아니다
일반(총액)2단계(규격·가격동시)입찰로 나라장터 전자입찰이며, 다수공급자계약(MAS)·종합쇼핑몰 2단계경쟁 구조가 아니다.
[일반(총액)2단계(규격․가격동시)]
나. 입찰방식 : 국가종합전자조달시스템(나라장터)을 이용한 전자입찰(국내입찰)
입찰보증금
면제·지급각서로 갈음
입찰보증금은 면제(나라장터 입찰서의 '입찰보증금지급각서'로 갈음)이나, 입찰참가자격 제한 후 2년 미경과자 등 납부대상은 입찰참가자격 등록마감일시까지 입찰금액의 100분의 5 입찰이행보증증권을 나라장터에 전자문서로 제출해야 하며 미제출 시 무효이다. 계약·하자 보증 비율은 공고 본문에 없다(하자담보책임기간은 기술검수 완료일로부터 2년).
- 입찰보증금 비율 · 5% 이상 납부대상에 한해 입찰금액의 100분의 5.
나. 납부방법 : '가'에 해당할 경우 입찰보증금은 반드시 입찰 참가자격 등록마감일시까지 입찰금액의 100분의 5에 해당하는 입찰이행보증증권을 나라장터에 전자문서 (증권발행기관에서 본 입찰공고건으로 직접 전송(제출))로 제출하여야 하며, 입찰참가자격 등록마감 일시까지 입찰이행보증증권을 제출하지 않은 납부 대상 입찰자의 입찰서는 무효로 처리 함
- 계약·하자 보증 비율 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공고 본문에 계약보증금·하자보수보증금·이행보증 비율이 적혀 있지 않다.
8. 입찰보증금 : 입찰보증금은 면제(나라장터 입찰서의 ‘입찰보증금지급각서’로 갈음)이나 아래의 사항(`가`)에 해당할 경우에는 입찰보증금을 납부하여야 하며, 낙찰자가 낙찰 통지를 받은 후 정당한 이유 없이 10일 이내에 계약을 체결하지 아니할 경우 에는 입찰금액의 100분의 5에 해당하는 금액을 우리연구원에 납입해야 함
나. 납부방법 : '가'에 해당할 경우 입찰보증금은 반드시 입찰 참가자격 등록마감일시까지 입찰금액의 100분의 5에 해당하는 입찰이행보증증권을 나라장터에 전자문서 (증권발행기관에서 본 입찰공고건으로 직접 전송(제출))로 제출하여야 하며, 입찰참가자격 등록마감 일시까지 입찰이행보증증권을 제출하지 않은 납부 대상 입찰자의 입찰서는 무효로 처리 함
문서끼리 다른 곳
그렇다
상용 온도: 1850℃(상용 1820℃)(용도설명 및 구매사양서) ↔ 최고 1850℃ / 상용 1800℃(구매사양서) · 따를 문서에 대한 우선 조항은 문서에 없음.
최대 온도: 1850℃ (상용 1820℃)
7 | 최고 / 상용 온도 | 최고 1850℃ / 상용 1800℃ | |
주제 · 과업 범위 11개
다른 업 섞임
섞이지 않음
본 사양서는 VB 성장로 본체·구동부·제어반·트랜스 패널·가스/냉각수 연결부·안전 회로의 설계·제작·조립·조정·검사·납품을 공급자 범위로 하고, 1차측 전기 공사·유틸리티 배관·배기/배수 배관 공사는 고객(발주처) 범위로 명시해 제외하고 있어 다른 면허·공종의 일이 우리 몫으로 섞여 있지 않다.
•본 장치까지의 1차측 배선 및 배관 공사(전기, 분위기 가스, 냉각수 등)는 제외한다.
•배기 가스 및 배수 배관 공사는 제외한다.
하는 일
MoSi₂ 히터 기반 수직형 Bridgman(VB) 방식의 4인치 Ga₂O₃ 단결정 성장 시스템 1 SET를 제작·납품·현장 설치하는 일이다. 최고 1850℃(상용 1800℃), 도가니 이동 0.1~10 mm/h, Air/O₂ 분위기 제어, PLC 기반 PID 온도제어와 서보모터 도가니 이동 제어, Hot zone 2 set, 4인치 Pt-Rh 도가니 6개를 포함한다.
기존 시스템과 이어짐
없음(새로 하는 독립된 일)
기존 시스템·설비와의 연동, 기존 제조사 제품 지정, 앞선 사업 연속성, 연동 SW 개발, 상대편 연동 비용 부담에 관한 내용이 문서에 없다.
설치 공사업 면허
없음
1차측 전기 공사·유틸리티 배관·배기/배수 배관 공사는 고객(발주처) 범위로 제외되어 있고, 공사업 면허를 참가자격이나 시공 조건으로 요구하는 문장이 없다.
- 대상 · - 문서에 공사업 면허 대상이 적혀 있지 않다.
- 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급·공동수급·직접시공 조건이 적혀 있지 않다.
•본 장치까지의 1차측 배선 및 배관 공사(전기, 분위기 가스, 냉각수 등)는 제외한다.
일의 끝
설치·시운전·가동까지
현장 설치 후 실제 설치 조건에서 주요 기능을 재확인하고 시운전 조정 후 취급 설명을 실시하며, 납품 후 승온 확인·온도 분포 측정·경보 장치 확인 등 현장 검수를 수행한다.
- 시험운영 기간 · 정해지지 않음 시운전 조정 후 취급 설명을 실시한다고만 적혀 있고 시험운영 기간이 정해지지 않았다.
장치 납입 후에는 실제 설치 조건에서 주요 기능을 재확인하고, 시운전 조정 후 취급 설명을 실시한다.
기성품·주문제작
주문제작(받은 규격·도면대로)
본 사양서 기준으로 전기로 본체·구동부·제어반·트랜스 패널·가스 및 냉각수 연결부·안전 회로를 설계·제작하고, 형식/모델 KX_VB1800, 도장 색상(맨셀 5PB 6.5/7) 등 지정 사양에 맞춰 제작한다.
- 시스템 통합 · 해당 없음 여러 제조사 제품을 엮어 하나의 시스템으로 통합한다는 내용이 없다.
설계 및 제작 | 본 사양서 기준의 전기로 본체, 구동부, 제어반, 트랜스 패널, 가스 및 냉각수 연
결부, 안전 회로 제작
함께 넘길 물품
4인치 Pt-Rh 도가니 6개(Pt 214.12g / Rh 53.53g)와 Hot zone 2 set를 포함해 납품한다.
5.
4” Pt-Rh 도가니 : 6개
(Pt 214.12g / Rh 53.53g)
철거·폐기
없음
기존 장비·시설의 철거·이설·폐기·반납이나 다 쓴 물품·포장재 회수에 관한 내용이 문서에 없다.
부가 작업
장치 납품 후 검수 항목 수행 및 취급 설명 실시, 제작 사양서·취급 설명서·기계 도면·전기 도면·배관 관련 자료·검사 성적서 등 제출 문서 작성이 부가 작업으로 포함된다.
납품 및 인도 | 장치 납품 후 검수 항목 수행 및 취급 설명 실시
디자인 몫
해당 없음
디자인·편집·원고 작업에 관한 내용이 이 공고에 없다.
묶인 품목 수
-
입찰공고서에 수량 및 단위가 1 / SET로만 적혀 있고 품목 종 수가 명시되지 않았다.
- 제조사 수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 내역서·규격서가 품목마다 제조사·상표를 하나로 정해 적지 않았다.
사. 수량 및 단위 : 1 / SET
주제 · 납품 일정·현장 11개
일의 분량
1SET
기초금액 980,000,000원(부가가치세 포함), 추정가격 890,909,091원(부가가치세 별도). 수량 및 단위 1 / SET. 세부 구성: 성장로 1대, Hot zone 2 set, 파워서플라이 1대, 컨트롤러 1대, 4” Pt-Rh 도가니 6개.
- 열린 분량 · 정해짐 수량이 1 SET로 정해져 있다.
사. 수량 및 단위 : 1 / SET
사. 수량 및 단위 : 1 / SET
마. 기초금액 : 980,000,000원(부가가치세 포함)
바. 추정가격 : 890,909,091원(부가가치세 별도)
수행 기간
옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음
납품기한은 2026년 11월 30일까지이다. 규격입찰서 양식에는 납품가능일을 '계약체결 후 일'로 기재하도록 되어 있다.
- 옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 납품기한이 2026년 11월 30일로 정해져 있다.
차. 납품기한 : 2026년 11월 30일 까지
차. 납품기한 : 2026년 11월 30일 까지
9. 납품가능일 | 계약체결 후 일
현장·납품지
1곳
납품장소는 한국기초과학지원연구원 영남권센터 1곳이다.
- 열린 분량 · 정해짐 납품장소가 영남권센터로 정해져 있다.
자. 납품장소 : 한국기초과학지원연구원 영남권센터
- 범위 · 없음(국내 보통 현장) 국내 납품이며 해외·섬·개별 배송은 없다.
자. 납품장소 : 한국기초과학지원연구원 영남권센터
현장 여건
1차측 전기 공사, 유틸리티 배관, 배기·배수 배관, 설치 환경(설치 공간·바닥 고정·반입 동선)은 고객(발주처) 범위로 제외되어 있다. 위험작업으로는 고온(최고 1850℃) 운전, 수냉 챔버·냉각수 배관, 3상 380V 전원 작업이 따른다.
견적 제외 사항으로 1차측 배선·배관 공사, 배기 가스·배수 배관 공사가 제외된다.
- 부대공사·현장 준비 · 발주처 부담 1차측 전기 공사, 유틸리티 배관, 배기·배수 배관, 설치 환경은 고객 범위로 제외된다.
1차측 전기 공사 | 본 장치까지의 1차측 전원 인입, 차단기, 접지 및 전기 배선 공사
설치 환경 | 설치 공간, 바닥 고정 조건, 장비 반입 동선 및 건물측 유틸리티 조건 확보
- 위험작업 · 중량물 고온(최고 1850℃) 운전, 수냉 챔버, 3상 380V 전원 작업이 따른다.
최고 / 상용 온도 | 최고 1850℃ / 상용 1800℃
전원 사양 | 3φ AC380V, 60Hz, 15.4kVA
•본 장치까지의 1차측 배선 및 배관 공사(전기, 분위기 가스, 냉각수 등)는 제외한다.
•배기 가스 및 배수 배관 공사는 제외한다.
작업 시기
해당 없음
일할 수 있는 때에 대한 제약이 문서에 없다.
다른 일정에 묶임
아니다
다른 공사·사업 일정에 묶였다는 내용이 없다.
나눠 납품
한 번에 전량
납품기한이 2026년 11월 30일까지로 하나만 정해져 있고 나눠 내라는 말이 없다.
- 분할납품 · 막음 분할납품 불가로 명시되어 있다.
카. 분할납품 : 불가
차. 납품기한 : 2026년 11월 30일 까지
보관 조건
없음
냉장·냉동·차광·마약류·멸균·온습도·살아 있는 생물·무진동 같은 보관·운송 조건을 지켜야 하는 품목이 없다.
- 대상 · - 해당하는 조건이 없다.
주문 뒤 납품 시한
정해지지 않음
주문(납품요구)을 받으면 얼마 안에 대야 하는지에 대한 시한이 문서에 없다. 납품기한은 2026년 11월 30일까지로만 정해져 있다.
- 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 주문 시한의 기점이 문서에 없다.
차. 납품기한 : 2026년 11월 30일 까지
포장·표시
도장 색상이 지정되어 있다. 전기로 본체(외장 색상)와 온도 제어 장치(조작면)는 맨셀 5PB 6.5/7, 블루계, 광택 있음으로 하며, 고객 지정 색상으로 변경 가능하다.
포장 단위에 대한 요구는 문서에 없다.
전기로 본체(외장 색상) | 맨셀 5PB 6.5/7, 블루계, 광택 있음
온도 제어 장치(조작면) | 맨셀 5PB 6.5/7, 블루계, 광택 있음
※ 도장색상은 고객 지정 색상으로 변경 가능하다.
보안 조치
의무 · 계약 뒤 지킬 일
낙찰자로 선정된 자는 계약체결 시 청렴계약 이행각서와 보안서약서를 대표자가 서명하여 별도 제출하여야 한다. 보안서약서에는 연구(영업)비밀을 누설하지 않고, 사용 후 즉시 반환한다는 내용이 있다.
- 크기 · -
- 대상 · 자료 반출 금지·끝난 뒤 삭제·반납 보안서약서에 연구(영업)비밀을 누설하지 않고 사용 후 즉시 반환한다는 내용이 있다.
3. 본 연구(영업)비밀을 사용한 후에는 즉시 본 연구(영업)비밀을 귀원에 전부 반환하며 전기와 같은 비밀유지 의무를 부담할 것을 서약합니다.
라. 본 입찰에 참여한 자는 모두 당 연구원 청렴계약 입찰특별유의서 제2조 제1항에 따라 청렴계약이행각서를 제출한 것으로 간주하며, 낙찰자로 선정된 자는 계약체결 시 청렴 계약 이행각서와 보안서약서를 대표자가 서명하여 당 연구원에 별도 제출하여야 함
3. 본 연구(영업)비밀을 사용한 후에는 즉시 본 연구(영업)비밀을 귀원에 전부 반환하며 전기와 같은 비밀유지 의무를 부담할 것을 서약합니다.
주제 · 견본·검사·검수 7개
검수
발주처 검수만
공장 검사는 고객 입회 하에 공급자 지정 공장에서 실시하는 통상 시험을 최종 검사로 하고, 납입 후 현장 검수(승온 확인·온도 분포 측정·경보 장치 확인)를 거쳐 검수 완료된다. 외부 기관 심의·승인·감리·성과심사는 없다.
검사는 고객 입회 하에 공급자 지정 공장에서 실시하는 통상 시험을 최종 검사로 한다.
장치 납입 후에는 실제 설치 조건에서 주요 기능을 재확인하고, 시운전 조정 후 취급 설명을 실시한다.
샘플·시안 선제출
없음
입찰 단계에서 시안·샘플·견본·조감도·시험 번역·예약확인서를 미리 만들어 내거나 평가 자리에서 시연·성능시험을 받아야 한다는 요구가 없다. 규격입찰서 제출서류는 업체공문, 규격입찰서, 물품 카달로그, 기업확인서뿐이다.
시험·검사
우리 부담(대가 안)
공장 검사(외관·치수·시퀀스 동작·통전·승온·도가니 이동 거리)와 납품 후 현장 검수(1800℃까지 1080분 승온 확인, 1700℃ 온도 분포 측정, 경보 장치 확인)를 공급자가 수행한다. 검사 성적서도 제출 문서에 포함된다. 별도 정산·추가 대가 문구는 없다.
- 시험 단위 · 한 번 공장 검사 1회(최종 검사)와 납품 후 현장 검수 1회로, 롯트·납품마다 반복한다는 문구는 없다.
검사는 고객 입회 하에 공급자 지정 공장에서 실시하는 통상 시험을 최종 검사로 한다.
- 시험 장소 · 둘 다 공장 검사(공급자 지정 공장)와 현장 검수(납품 후 설치 조건)를 모두 실시한다.
검사는 고객 입회 하에 공급자 지정 공장에서 실시하는 통상 시험을 최종 검사로 한다.
장치 납입 후에는 실제 설치 조건에서 주요 기능을 재확인하고, 시운전 조정 후 취급 설명을 실시한다.
검사는 고객 입회 하에 공급자 지정 공장에서 실시하는 통상 시험을 최종 검사로 한다.
장치 납입 후에는 실제 설치 조건에서 주요 기능을 재확인하고, 시운전 조정 후 취급 설명을 실시한다.
시안 승인
1회
본 작업·제작 전 시안·샘플·제작도·중간검수 승인 단계를 몇 번 받는지에 대한 명시가 없다. 제출 문서(제작 사양서·기계 도면·전기 도면 등)는 납품 문서로 규정되어 있다.
- 수정 횟수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 수정 횟수에 대한 규정이 없다.
- 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 승인 기간이 납기에 드는지에 대한 규정이 없다.
공장 실사·입회
제작 중 검사·입회 · 납품 전 검사
공장 검사는 고객 입회 하에 공급자 지정 공장에서 실시하고, 납품 후 현장 검수(승온 확인·온도 분포 측정·경보 장치 확인)를 실시한다. 계약 전 실사는 없다.
검사는 고객 입회 하에 공급자 지정 공장에서 실시하는 통상 시험을 최종 검사로 한다.
장치 납입 후에는 실제 설치 조건에서 주요 기능을 재확인하고, 시운전 조정 후 취급 설명을 실시한다.
이 공고가 군수품 조달인가 — 국방부·각 군이…
아니다
수요기관은 한국기초과학지원연구원이며, 군수품 특수조건·국방규격·재고번호·국방 표지·군 검사·부대 출입 보안 같은 군 전용 절차가 없다.
군수품이면 납품 검사·검수는 누가 하나 — 수…
해당 없음
군수품 조달이 아니다.
- 품질보증형태 · 해당 없음 군수품 조달이 아니다.
주제 · 인력·A/S·하자 대응 8개
장비·시설 보유
없음
입찰참가자격은 국가계약법령·조달청 등록 요건뿐이고, 사양서의 장비·시설은 납품할 물건(성장로) 자체와 발주처(고객)가 준비할 설치 환경·유틸리티이다. 우리가 일에 쓸 장비·시설을 갖추라는 요구는 없다.
- 갖출 때 · 해당 없음 갖출 시점을 정한 문장이 없다.
- 크기 · - 평가표에 장비·시설 점수 항목이 없다.
- 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 임차·소유 조건이 적혀 있지 않다.
인력 자격
없음
투입 인력의 자격·등급·학위·경력·교육 이수나 전담 역할(현장대리인·안전관리자 등)을 요구한 문장이 없다.
- 크기 · - 평가표에 인력 점수 항목이 없다.
- 대상 · - 대상이 될 인력 요구가 없다.
출동 시한
없음
고장·장애·긴급 호출 시 현장 도착·착수 시한을 정한 문장이 없다.
- 도착 시한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 도착 시한이 적혀 있지 않다.
처리 시한
해당 없음
요청·장애를 받아 처리(복구·완료)하는 시한을 정한 문장이 없다. 보증 기간 중 고장 시 무상 수리 원칙만 있다.
- 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 처리 시한 기점이 적혀 있지 않다.
교육·기술이전
해당 없음
교육·시연·기술이전 횟수를 정한 문장이 없다. 납품 후 취급 설명 실시만 있다.
- 무상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 교육 대가·무상 여부가 적혀 있지 않다.
하자보수
2년
입찰공고서의 하자담보책임기간은 기술검수 완료일로부터 2년이고, 제작 사양서의 보증 기간은 장치 납입 후 1년이다. 보증 기간 중 설계·제작 불량 고장은 무상 수리 또는 개선품 납입, 발열체 등 소모품·취급 부주의·유틸리티 불량·임의 개조·시료 가스 손상은 제외.
- 기점 · 설치·검수 완료일 입찰공고서는 기술검수 완료일, 사양서는 장치 납입 후로 적혀 있다.
파. 하자담보책임기간 : 기술검수 완료일로부터 2년
보증 기간은 장치 납입 후 1년으로 한다.
- 보증 기간 정기점검 · 없음 보증 기간 중 정기점검을 나가라는 요구가 없다.
- 소모성·정기정비 부품 · 발주처 부담 발열체 등 소모품은 보증 범위에서 제외한다.
단, 발열체 등 소모품, 취급 부주의, 유틸리티 조건 불량, 임의 개조, 시료에서 발생하는 가스 등에 의한 손상은 보증 범위에서 제외한다.
파. 하자담보책임기간 : 기술검수 완료일로부터 2년
보증 기간은 장치 납입 후 1년으로 한다. 보증 기간 중 명백히 설계 또는 제작 불량에 기인한 고장이 발생한 경우에는 무상 수리 또는 개선품 납입을 원칙으로 한다. 단, 발열체 등 소모품, 취급 부주의, 유틸리티 조건 불량, 임의 개조, 시료에서 발생하는 가스 등에 의한 손상은 보증 범위에서 제외한다.
단종 뒤 부품 공급
해당 없음
보증이 끝나거나 단종된 뒤 부품·소모품·유지보수를 대야 하는 기간을 정한 문장이 없다.
A/S 조직·인력
없음
납품 물품의 설치·시운전·A/S를 맡을 우리 조직(인력 수·부서·서비스망·예비품)을 요구한 문장이 없다.
- 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 요구 인원이 적혀 있지 않다.
- 크기 · - 평가표에 A/S 조직 점수 항목이 없다.
- 대상 · - A/S 조직·서비스망·예비품 요구가 없다.
주제 · 가격·대금·계약 조건 11개
총액·단가 방식
총액
기초금액 980,000,000원(부가세 포함), 수량 1 SET, 납품·검수 완료 후 계약금액 100% 지급. 선급금 지급 불가.
- 정산 · 확정 금액 납품·검수 완료 후 계약금액 100% 지급, 선급금 지급 불가.
※ 대금지급조건 : 납품·검수 완료 후 계약금액 100% 지급 조건(선급금 지급 불가)
- 단가 조정 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 단가 조정에 관한 문장이 없다.
마. 기초금액 : 980,000,000원(부가가치세 포함)
사. 수량 및 단위 : 1 / SET
※ 대금지급조건 : 납품·검수 완료 후 계약금액 100% 지급 조건(선급금 지급 불가)
물량 변동
확정
수량 1 SET, 구매사양서에 사양·구성·수량이 확정 명시.
사. 수량 및 단위 : 1 / SET
아. 물품내역 : 용도설명서 및 구매사양서 참조
발주처 단가 기준
적혀 있지 않음
발주처가 정한 단가·품셈·요율 등 산정 기준이 공고에 없다.
계약 상대
공고 낸 기관 직접
공고기관·수요기관 모두 한국기초과학지원연구원.
그대로 넘길 돈
아니다
계약금액 안에서 다른 곳에 넘기거나 정해진 곳에 써야 하는 돈에 관한 문장이 없다.
- 넘길 돈 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 항목 없음.
- 투찰 때 반영 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 문장 없음.
견적 근거
물량·목록만 공개
구매사양서·제작 사양서에 사양·구성·수량·도면 목록이 공개되어 있으나 단가·내역서는 없다. 현장설명 생략(사양서 열람으로 갈음).
- 이윤 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 원가계산서·산출내역이 공개되지 않았다.
5. 현장설명 : 생략(용도설명 및 구매사양서 등 열람으로 갈음 함)
대금 받는 때
끝난 뒤 한 번에
납품·검수 완료 후 계약금액 100% 지급.
- 선금 · 0% 선급금 지급 불가.
※ 대금지급조건 : 납품·검수 완료 후 계약금액 100% 지급 조건(선급금 지급 불가)
- 지급 기한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 청구 후 지급 기한에 관한 문장이 없다.
※ 대금지급조건 : 납품·검수 완료 후 계약금액 100% 지급 조건(선급금 지급 불가)
공채·채권
모름 · 문서로 확인 안 됨
공채·채권 매입에 관한 문장이 공고에 없다.
보험 가입
없음
이 일 때문에 들어야 하는 보험·공제 요구가 공고에 없다.
- 보상 한도 · 해당 없음 보험 요구 없음.
- 보험료 · 해당 없음 보험 요구 없음.
- 대상 · 해당 없음 보험 요구 없음.
계약 변동 가능
아니다
낙찰 후 계약 불성립·금액·물량·기간 변경에 관한 문장이 없다.
- 바뀔 수 있는 것 · 해당 없음 해당 문장 없음.
부가세 과세
모름 · 문서로 확인 안 됨
이 일·품목의 과세·면세를 적은 문장이 없다. 기초금액·입찰금액은 부가세 포함으로 표기되어 있다.
- 투찰가에 부가세 · 넣는다 기초금액 및 입찰금액은 부가가치세를 포함한 가격.
※ 기초금액 및 입찰금액은 부가가치세를 포함한 가격이오니 입찰서 제출 시 유의 요망
라. 입찰금액은 부가가치세를 포함하여 총액으로 작성해야 함
뽑는 방식 · 입찰 방식 7개
회사 속성 우대
없음
입찰공고서·규격입찰서·구매사양서 어디에도 창업기업·여성기업·장애인기업·사회적기업·소기업·고용실적·인증·산업재해율 등 회사 속성에 따른 우대(가점·특례) 규정이 없다. 낙찰자 결정은 규격적격자 중 예정가격 이하 최저가격 낙찰 방식이다.
- 우대 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 문서에 회사 속성 우대 대상이 전혀 적혀 있지 않다.
- 가점 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 가점 규정 자체가 없다.
신용등급·경영상태
없음
신용평가등급·기술신용평가 등급·경영상태(재무비율·매출·지급여력)를 참가 조건이나 점수로 본다는 규정이 문서에 없다. 참가자격은 국가계약법 시행령 제12조·시행규칙 제14조 경쟁입찰 참가자격과 조달청 입찰참가자격등록규정에 따른 전자입찰 등록뿐이다.
- 등급이 없을 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 등급 미보유·업력 짧은 회사의 평가 방법이 적혀 있지 않다.
- 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 신용평가 관련 배점표가 없다.
- 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 신용평가·기술신용평가·재무비율·매출·지급여력 어느 것도 대상으로 적혀 있지 않다.
보유 인력
없음
회사가 보유한 인력의 수·등급을 점수나 참가 조건으로 본다는 규정이 문서에 없다. 규격입찰서 평가는 적합기준점수 100점으로만 적혀 있고 인력 배점표가 없다.
- 기준 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 기준 인원이 적혀 있지 않다.
- 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 인력 보유 배점표가 없다.
소속 직원
없음
투입 인력이 우리 회사 소속 직원이어야 한다거나 재직 기간·고용 형태 조건을 둔다는 규정이 문서에 없다. 프리랜서·외부 전문가 활용에 대한 언급도 없다.
- 재직 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 재직 기간 조건이 적혀 있지 않다.
- 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 관련 배점표가 없다.
- 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 대상 인력 구분이 적혀 있지 않다.
- 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 외부 전문가 활용 관련 규정이 없다.
큰 배점 항목
규격입찰서 평가는 적합기준점수 100점으로만 적혀 있고 세부 평가항목·배점표가 문서에 없다. 낙찰자는 규격적격자 중 예정가격 이하 최저가격 입찰자로 결정된다.
평가 세부기준·배점이 공개되지 않았고, 심사위원 명단·심사결과도 공개하지 않는다고 적혀 있다.
규격입찰서 평가 적격자는 적합기준점수 100점으로 함.
심사위원 명단, 심사결과는 공개하지 않으며, 규격입찰서 제출업체가 이의를 제기할 수 없음
무상 추가 제공
없음
무상 유지보수·사후지원 기간이나 과업 밖 추가 제공을 약속하면 점수를 받는다거나 최소한을 요구한다는 규정이 문서에 없다. 보증 기간은 장치 납입 후 1년으로 정해져 있으나 이는 하자보증으로 평가 점수·참가 조건이 아니다.
- 요구 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 유지보수·사후지원 약속 기간 요구가 적혀 있지 않다.
- 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 사후관리·추가제안 배점표가 없다.
- 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 유지보수·추가 제공 관련 대상이 적혀 있지 않다.
평가 자리 발표
서면 평가만
규격입찰서는 나라장터를 통해 온라인으로 제출하며, 심사위원 명단·심사결과는 공개하지 않는다. 발표·질의응답에 대한 규정이 문서에 없다.
- 빠지면 · 해당 없음 발표 절차가 없으므로 해당 없음.
제출방법 : 규격서는 나라장터를 통하여 온라인으로 제출하여 주시기 바랍니다.
심사위원 명단, 심사결과는 공개하지 않으며, 규격입찰서 제출업체가 이의를 제기할 수 없음
카테고리 · 연구·실험·계측장비 5개
지원사업·R&D 재원
아니다
공고·사양서 어디에도 사업·과제 이름이 적혀 있지 않음. 용도설명 및 구매사양서의 「연구과제명」 칸은 공란임.
품질 인증
없음
참가자격은 국가계약법령·조달청 등록 요건만 있고, ISO 등 인증이나 업무 절차서를 참가 조건·평가 배점으로 요구하는 문장이 없음.
경비 부담
나눠짐
공급자 범위는 설계·제작·조립·조정·공장검사·납품·인도, 고객 범위는 1차측 전기 공사, 유틸리티 배관, 배기·배수 배관, 원료 및 Pt-Rh 도가니, 설치 환경 확보. 견적 제외 사항으로 1차측 배선·배관, 배기·배수 배관, 원료 및 Pt-Rh 도가니, 소모품·스페어 부품이 제외됨.
- 관급 금액 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 관급 품목·금액이 적혀 있지 않음
- 관급 설치 · 해당 없음 관급 자재·기기가 없음
| 설계 및 제작 | 본 사양서 기준의 전기로 본체, 구동부, 제어반, 트랜스 패널, 가스 및 냉각수 연
결부, 안전 회로 제작 |
| 1차측 전기 공사 | 본 장치까지의 1차측 전원 인입, 차단기, 접지 및 전기 배선 공사 |
•본 장치까지의 1차측 배선 및 배관 공사(전기, 분위기 가스, 냉각수 등)는 제외한다.
•Ga₂O₃ 단결정 성장용 원료 및 Pt-Rh 도가니는 제외한다.
공정 장비 종류
해당 없음
Vertical Bridgman(수직 브릿즈만) 방식 단결정 성장로로, 보기의 스퍼터·증착·CVD·ALD·식각·노광·다이싱·패키징 어디에도 해당하지 않음
성장 방식: Vertical Bridgman (수직 브릿즈만)
처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가
4inch
φ4인치용 Pt-Rh 도가니 적용
대상 규격 | φ4인치용 Pt-Rh 도가니 적용
문서 발췌
| 1 . 품 명 | (국문) AI 제어기반 Ga₂O₃ 단결정 성장 시스템(4인치Ga₂O₃ VB 성장로) (영문) | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 2 . 수 량 / 단 위 | 3 . 금 액 | 원 | |||
| 4 . 연 구 과 제 명 | 5 . 품 목 번 호 ( H S K N o . ) | ||||
| 6 . 제 작 회 사 명 ( 국 명 ) | |||||
| 7 . 국 내 제 작 가 능 여 부 | 8. 기기의 중복 보유여부 | ||||
| 9. 사용용도/ 내구년수 | |||||
| 10. 품명 및 세부사양 | 단위 | 수량 | |||
| A.기본구성사양 1.AI 제어기반 Ga₂O₃ 단결정 성장 시스템(4인치Ga₂O₃ VB 성장로) - 4인치 Vertical Bridgman (수직 브릿즈만) B.기타사양 AI 제어기반 Ga₂O₃ 단결정 성장 시스템 (4” Ga₂O₃ VB 성장로) 1. (성장로) : 1대 성장 방식: Vertical Bridgman (수직 브릿즈만) 대상: 4인치 Ga₂O₃ 단결정 성장용 가열 방식: MoSi₂ 히터 기반 고온 저항가열 최대 온도: 1850℃ (상용 1820℃) 도가니 이동 속도: 0.1 ~ 10 mm/h 챔버 구조: SUS304 이중 구조,수냉식 분위기: Air/O₂ 제어 2. (Hot zone) :2 set 최대 온도: 1850℃ (고온 안정 설계) 내화물 구조: Al₂O₃/ZrO₂ 고온 단열 구조 3. (파워서플라이) : 1대 전원: 3상 AC 380V, 60Hz 제어 방식: 사이리스터 제어 4. (컨트롤러) :1 대 전원: 1상 AC 220V, 60Hz PLC 기반 제어 시스텐 PID 온도제어 서보모터 기반 도가니 이동 제어 5. 4” Pt-Rh 도가니 : 6개 (Pt 214.12g / Rh 53.53g) | SET | 1. |
| 번호 | 구분 | 내용 | 비고 |
|---|---|---|---|
| 1 | 장치 명칭 | MoSi₂ 히터 사용 수직형 브릿지만로 | |
| 2 | 형식 / 모델 | KX_VB1800 | |
| 3 | 대상 규격 | φ4인치용 Pt-Rh 도가니 적용 | |
| 4 | 사용 목적 | Ga₂O₃ 단결정 성장 | |
| 5 | 성장 방식 | 수직형 Bridgman 방식(도가니 하강식) | |
| 6 | 사용 분위기 | Air/O₂ 분위기 제어 | |
| 7 | 최고 / 상용 온도 | 최고 1850℃ / 상용 1800℃ | |
| 8 | 전원 사양 | 3φ AC380V, 60Hz, 15.4kVA |
1. 일반 사양
1-1. 개요 본 설비는 MoSi₂ 히터를 사용하고, 로 내 분위기를 대기 상태로 유지한 조건에서 Ga₂O₃ 단결정을 성장 하기 위한 VB로이다. 성장 중 도가니는 저속 구동 조건에서 하강하며, 승온·용융·결정 성장·냉각 단계에 서 온도, 위치, 가스, 냉각수 및 주요 알람 상태를 감시한다. 제작 사양서 | φ4 inch 수직형 Bridgman Furnace 1-2. 장비 구성
| 번호 | 품명 | 주요 사양 | 수량 |
|---|---|---|---|
| 1 | 전기로 본체 | 분위기 씰 챔버, 핫존, 프레임, 수냉 챔버 및 온도 측정 포트 포함 | 1식 |
| 2 | 도가니 이동 기구 | 저속 성장 구동 및 고속 베이스 챔버 승강 기능, 수냉 2중 샤프트 적용 | |
| 3 | 온도 제어 장치 및 트랜스 패널 | PLC 터치패널, 온도 프로그램 조절계, 과열계, 기록계, 사이리스터, 변압기 포함 | |
| 4 | 분위기 제어 장치 | Air 가스용 플로우미터 2계통 및 압력/유량 조정 기능 | |
| 5 | 냉각수 공급 장치 | SUS304 2inch 급·배수 매니폴드, 내압 호스, 유량/수온 이상 검출 | |
| 6 | 안전 회로 | 온도, 사이리스터, 냉각수, 누전, 구동 이상 및 순간 정전 대응 기능 | |
| 7 | Hot Zone | Al₂O₃/ZrO₂계 고온 단열 구조 및 관련 구성품 | 2set |
2. 공급 범위
2-1. 공급자 범위
| 구분 | 공급 범위 |
|---|---|
| 설계 및 제작 | 본 사양서 기준의 전기로 본체, 구동부, 제어반, 트랜스 패널, 가스 및 냉각수 연 결부, 안전 회로 제작 |
| 조립 및 조정 | 제작 완료 후 장치 조립, 배선·배관 연결 확인, 구동부 및 제어장치 조정 |
| 공장 검사 | 외관, 치수, 시퀀스 동작, 통전, 승온 및 도가니 이동 거리 시험 |
| 기본 운전 확인 | 온도 제어, 구동 속도/거리 설정, 경보 표시, 냉각수 유량 감시, 데이터 기록 기능 확인 |
| 납품 및 인도 | 장치 납품 후 검수 항목 수행 및 취급 설명 실시 |
제작 사양서 | φ4 inch 수직형 Bridgman Furnace 2-2. 고객 범위
| 구분 | 고객 범위 |
|---|---|
| 1차측 전기 공사 | 본 장치까지의 1차측 전원 인입, 차단기, 접지 및 전기 배선 공사 |
| 유틸리티 배관 | 분위기 가스, 압축 공기, 냉각수 공급 및 배수 라인 등 외부 배관 공사 |
| 배기 및 배수 | 배기 가스 및 배수 처리 라인, 설치 장소 기준의 배기·배수 배관 공사 |
| 원료 및 도가니 | Ga₂O₃ 단결정 성장용 원료 및 Pt-Rh 도가니 |
| 설치 환경 | 설치 공간, 바닥 고정 조건, 장비 반입 동선 및 건물측 유틸리티 조건 확보 |
2-3. 견적 제외 사항
•본 장치까지의 1차측 배선 및 배관 공사(전기, 분위기 가스, 냉각수 등)는 제외한다. •배기 가스 및 배수 배관 공사는 제외한다. •본 사양서에 명시되지 않은 특수 시험, 특수 검사 및 추가 개조는 별도 협의한다. •Ga₂O₃ 단결정 성장용 원료 및 Pt-Rh 도가니는 제외한다. •발열체, O-ring, 세라믹 부품 등 소모품 및 스페어 부품은 계약 조건에 따르며, 별도 지정이 없는 경우 제외한다.
3. 검사, 보증 및 제출 문서
3-1. 검사 검사는 고객 입회 하에 공급자 지정 공장에서 실시하는 통상 시험을 최종 검사로 한다. 검사항목은 외 관, 치수, 시퀀스 동작, 통전, 승온 및 도가니 이동 거리 측정을 포함한다. 장치 납입 후에는 실제 설치 조건에서 주요 기능을 재확인하고, 시운전 조정 후 취급 설명을 실시한다.
| 번호 | 검사 항목 | 검사 내용 | 비고 |
|---|---|---|---|
| 1 | 외관 검사 | 장치 외장, 챔버, 프레임, 제어반, 배관 및 포트의 외 관 상태 확인 | 공장 검사 |
| 2 | 치수 검사 | 주요 외형 치수, 포트 위치, 프레임 설치 치수 확인 | |
| 3 | 시퀀스 동작 시험 | 터치패널 조작, 구동부 상승/하강, 알람 표시 및 인 터록 확인 | |
| 4 | 통전 시험 | 전원 투입, 히터 전원 계통, 제어반 및 계측기 동작 확인 | |
| 5 | 승온 시험 | 공로 조건 기준 1800℃까지 승온 가능 여부 확인 | |
| 6 | 도가니 이동 거리 | 구동축 이동 거리 및 저속/고속 동작 확인 |
제작 사양서 | φ4 inch 수직형 Bridgman Furnace 도가니 및 원료 설치 상태에서 대기 중 1800℃까지 7 납품 후 승온 확인 현장 검수 1080분 승온 확인
| 8 | 온도 분포 측정 | 1700℃에서 온도 분포 측정. 기준: 1700℃±10℃, 200 mm | 현장 검수 |
|---|---|---|---|
| 9 | 경보 장치 확인 | 온도, 냉각수, 누전, 사이리스터, 구동 이상 등 각종 경보 동작 확인 | 현장 검수 |
| 번호 | 문서명 | 내용 |
|---|---|---|
| 1 | 제작 사양서 | 장치 구성, 주요 사양, 공급 범위, 유틸리티 및 검수 조건 |
| 2 | 취급 설명서 | 장치 구조, 조작 방법, 주의 사항, 보전 및 트러블 대 응 |
| 3 | 기계 도면 | 전체 레이아웃, 챔버, 프레임, 승강부 및 주요 포트 관련 도면 |
| 4 | 전기 도면 | 제어반, 전원, 계측, 인터록 및 배선 관련 도면 |
| 5 | 배관 관련 자료 | 냉각수 매니폴드, 가스 공급 및 배기 포트 구성 자료 |
| 6 | 검사 성적서 | 공장 검사 및 현장 검수 결과 기록 |
3-3. 보증 보증 기간은 장치 납입 후 1년으로 한다. 보증 기간 중 명백히 설계 또는 제작 불량에 기인한 고장이 발생한 경우에는 무상 수리 또는 개선품 납입을 원칙으로 한다. 단, 발열체 등 소모품, 취급 부주의, 유 틸리티 조건 불량, 임의 개조, 시료에서 발생하는 가스 등에 의한 손상은 보증 범위에서 제외한다.
4. 유틸리티 사양
4-1. 전원 및 접지
| 항목 | 사양 | 비고 |
|---|---|---|
| 주 전원 | 3φ AC380V, 60Hz, 15.4kVA | 히터 및 장치 구동용 |
| 제어 전원 | AC200V 계통 포함 | 무정전 전원 AC200V, 1500W 적용 |
| 접지 | D종 접지, 100Ω 이하 | 장치 및 제어반 접지 |
| 설치 고정 | 로 본체 및 제어반 올 앵커 고정 | 고객 설치 조건에 따름 |
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 수압 | 0.3~0.4 MPa(배압측 대기 개방) |
| 유량 | 50 L/min 이상 |
| 수온 | 35℃ 이하. 단, 결로가 발생하지 않을 것 |
| 수질 | 저항값 30 kΩ·cm 이상, 중성, 혼탁/이물/염소 미포함 |
| 냉각 계통 | 전기로 본체 및 구동축 등 4계통 냉각수 배관 |
| 감시 방식 | 각 계통에 온도 센서 부착 디지털 플로우 스위치 설치 |
4-3. 가스 및 압축 공기
| 구분 | 사양 | 용도 |
|---|---|---|
| 분위기 가스 | Air 1~20%, 유량 10L/min, 압력 0.2 MPa(유량 조정 시) | 로 내 대기 분위기 유지 및 도입 |
| 소유량 Air | Air용 플로우미터 1.0~3 L/min, 센서 포함 | 소량 도입 및 제어 |
| 대유량 Air | Air용 플로우미터 0~30 L/min | 다량 도입 및 퍼지 용도 |
| 압축 공기 | 0.4~0.5 MPa | 밸브 조작용 |
| 구분 | 도장 색상 |
|---|---|
| 전기로 본체(외장 색상) | 맨셀 5PB 6.5/7, 블루계, 광택 있음 |
| 온도 제어 장치(조작면) |
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 가열 방식 | MoSi₂ 1900 U자 히터 직접 가열 방식 |
| 사용 온도 | 상용 1800℃, 최고 1850℃ |
| 성장 방식 | 수직형 Bridgman 방식, 도가니 하강식 |
| 대상 결정 | Ga₂O₃ 단결정 |
| 대상 도가니 | φ4인치용 Pt-Rh 도가니 |
| 공정 분위기 | Air/O₂ 분위기 제어 |
| 로 내 유효 치수 | φ280 × H415 mm |
| 온도 분포 | 핫존 중심부 H150 mm, ±10℃(at 1700℃) |
| 승온 속도 | 1800℃까지 480분(공로 조건) |
| 항목 | 사양 | 수량 |
|---|---|---|
| 발열체 | MoSi₂ 1900 U자 히터, φ6×φ12×H500, 발열부 길이 250 mm | 10본 |
| 단열재 | 고내열 단열 보드, φ594×φ412×H657 | 1식 |
| 알루미나 로심관 | φ160×φ150×L600, 균열관(均熱管)으로 사용 | 1본 |
| 도가니 받침대 | 고순도 알루미나 블록 및 로드 | 1식 |
| 챔버 | SUS304 수냉 2중 구조, φ840×φ808×H980. 베이스 챔버 개폐 후 승 강하여 시료 삽입 및 인출 수행 | |
| 프레임 | 프레임 베이스 치수 □1486×H1689, 로 전체 높이 2900 mm | |
| 방사 온도계 | IR-CZH7NX7(특수 사양), 온도 측정 범위 250~3000℃ | |
| 열전대 | PR20-40 타입. 과승온 측정 및 도가니 바닥/히터 측면 온도 측정 | 2식 |
| 포트 / 배관 항목 | 사양 | 수량 |
|---|---|---|
| 수냉 전극 포트 | 히터 전극 접속용 수냉 전극 포트 | 2개 |
| 방사 온도계용 포트 | φ34×L65 | 1개 |
| 측온 열전대 장착 포트 | φ20×L65 | |
| Air 도입 포트 및 예비 포트 | NW16 | 3개 |
| 탑 챔버 뷰 포트 | φ25 | 1개 |
| 냉각수 배관 | 4계통, 각 계통에 온도 센서 부착 디지털 플로우 스위치 설치 | 1식 |
| 탑 챔버 이동 기구 | 캡 밸런서에 의한 수동 개폐 |
6. 기구 구동부 사양
6-1. 도가니 이동 기구 도가니 이동 기구는 결정 성장 중 Pt-Rh 도가니를 저속으로 하강시키고, 장치 셋업 및 시료 인출 시에 는 베이스 챔버를 고속으로 승강시키는 기구이다. 저속 및 고속은 서보 모터 회전을 클러치로 전환하여 운전한다.
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 구성 | 도가니 이동 기구 1식 |
| 저속 이동 속도 | 0.1~10.0 mm/h(결정 성장 시 도가니 하강) |
| 고속 이동 속도 | 10~1000 mm/min(베이스 챔버 승강) |
| 속도 전환 방식 | 서보 모터 회전을 클러치로 저속/고속 전환 |
| 이동 거리 | Max. 900 mm |
| 도가니 구동축 | 수냉 2중 샤프트, 중심축에 열전대 포트 포함 |
| 운전 조작 | PLC 터치패널에서 이동 속도 및 거리 설정, 승강대 조작 수행 |
| 항목 | 사양 / 기준 |
|---|---|
| 핫존 온도 분포 | 핫존 중심부 H150 mm, ±10℃(at 1700℃) |
| 검수 온도 분포 | 1700℃에서 온도 분포 측정. 기준: 1700℃±10℃, 200 mm |
| 승온 확인 | 도가니 및 원료 설치 상태에서 대기 중 1800℃까지 1080분 승온 확인 |
| 방사 온도계 | IR-CZH7NX7, 측정 범위 250~3000℃ |
| 열전대 | PR20-40 타입, 과승온 및 도가니 바닥/히터 측면 온도 측정 |
| 구분 | 측정 / 기록 내용 | 목적 |
|---|---|---|
| 온도 제어 | 방사 온도계 및 온도 프로그램 조절계 기준 온도 | 승온, 유지, 냉각 조건 관리 |
| 과승온 감시 | 과열계 DB6531 및 PR20-40 계측값 | 온도 상한 경보 및 출력 보호 |
| 도가니 부근 온도 | 도가니 바닥 및 측면 또는 히터 측면 온도 | 공정 온도 안정성 확인 |
| 온도 분포 | 별도 온도 분포 측정값 | 핫존 균일성 및 검수 기준 확인 |
| 히터 전류/전압 | 그래픽 레코더에 히터 전류 및 전압 기록 | 출력 안정성 및 이상 여부 확인 |
| 승강대 위치 | 도가니 승강대 위치 기록 | 성장 속도 및 이동 거리 관리 |
| 냉각수 상태 | 계통별 유량 및 수온 이상 감시 | 과열 및 부품 손상 방지 |
| Air 유량 | 소유량 및 대유량 Air 플로우미터 감시 | 로 내 분위기 유지 및 퍼지 관리 |
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 온도 제어 장치 | 자립 밀폐형, W900×D700×H1900, 1식 |
| 트랜스 패널 | 자립 밀폐형, W600×D600×H800, 1식 |
| 조작 인터페이스 | 액정 모니터 및 PLC 운전 조작 터치패널 |
| 온도 프로그램 조절계 | KP2030P3LY-B1A, 전류 출력형 PID식, 경보 출력 및 외부 입출력 4점 포함 |
| 그래픽 레코더 | KR2S2PSN2A-NNN 디지털 기록계 |
| 과열계 | DB6531, 로 내 온도 모니터 및 온도 상한 경보 설정 |
| 서보 앰프 / 모터 | 3φ, 220V, 100W. 서보 인코더를 통해 속도 및 위치 설정 |
| 사이리스터 | TPP3-055-I-T-FN, 380V, 55A |
| 트랜스 | 3상 15.4 kVA |
| 무정전 전원 | AC200V, 1500W |
| 기타 부품 | 표시등, 전압계, 전류계, 버튼 스위치, 누전 차단기, 패트라이트 |
| 추가 확장 기능 | AI 제어 기능 확장 가능 |
| 번호 | 기능 | 내용 |
|---|---|---|
| 1 | 온도 프로그램 제어 | KP2030P3LY-B1A를 이용하여 승온, 유지, 용융, 성장 및 냉각 온도 조 건을 제어 |
| 2 | 히터 출력 제어 | 사이리스터 및 트랜스 계통을 통해 MoSi₂ 히터 출력 제어 |
| 3 | 도가니 이동 제어 | 이동 속도 및 이동 거리 설정, 저속 성장 하강 및 고속 승강 기능 |
| 4 | 위치 표시 및 기록 | 서보 인코더 및 기록계를 통해 승강대 위치와 이동 상태 기록 |
| 5 | 분위기 가스 제어 | Air 플로우미터를 통한 소유량/대유량 유량 감시 및 조정 |
| 6 | 냉각수 안전 제어 | 계통별 유량 저하 및 수온 이상 감시 |
| 7 | 과승온 보호 | 과열계 및 온도 상한 경보에 의한 히터 출력 차단 또는 운전 정지 |
| 8 | 전원 및 누전 보호 | 누전 차단기, 전원 계통 이상 감시 및 비상 보호 |
| 9 | 데이터 기록 | 온도, 히터 전류/전압, 도가니 승강대 위치 및 알람 상태 기록 |
| 10 | 순간 정전 대응 | 3초 이하 순간 정전 시 운전 지속 기능 |
| 공정 단계 | 관리 항목 | 주요 확인 내용 |
|---|---|---|
| 준비 | 도가니 및 원료 세팅 | 도가니 받침대, 로심관, 보온통, 원료 장착 상 태 확인 |
| 승온 | 온도 프로그램 및 히터 출력 | 공로 기준 1800℃까지 480분, 현장 검수 조건 1800℃까지 1080분 확인 |
| 용융 | 온도 안정 및 분위기 유지 | 대기 분위기 유지, Air 유량 및 챔버 상태 확인 |
| 결정 성장 | 도가니 저속 하강 | 0.1~10.0 mm/h 범위에서 성장 조건에 맞게 운전 |
| 냉각 | 온도 하강 및 냉각수 유지 | 급격한 열충격 방지, 냉각수 유량/온도 유지 |
| 인출 | 베이스 챔버 승강 및 시료 인출 | 고속 이동 10~1000 mm/min 범위에서 승강 조작 |
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 결정 성장 이동 속도 | 0.1~10.0 mm/h(도가니 하강) |
| 장치 이동 속도 범위 | 0.1~20 mm/h 범위로 φ4인치용 Pt-Rh 도가니 이동 |
| 고속 이동 속도 | 10~1000 mm/min(베이스 챔버 승강) |
| 이동 거리 | Max. 900 mm |
| 온도 제어 | PID 온도 프로그램 제어 및 과승온 감시 |
| 데이터 기록 | 온도, 전류, 전압, 승강대 위치 기록 |
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 용도 | MoSi₂ 히터 출력 제어 및 고온 성장로 가열 전원 제어 |
| 전력 제어 방식 | 사이리스터 전력 제어 방식 |
| 사이리스터 | TPP3-055-I-T-FN, 380V, 55A 1식 |
| 트랜스 | 3상 15.4 kVA, 1식 |
| 전원 케이블 | 200A, 3본, 1식 |
| 온도 제어 연동 | KP2030P3LY-B1A 전류 출력형 PID 제어와 연동 |
| 과열 보호 | DB6531 과열계 및 온도 상한 경보와 연동 |
| 기록 연동 | 히터 전류, 전압 및 온도 데이터를 그래픽 레코더에 기록 |
| 보호 기능 | 사이리스터 이상, 누전, 온도 상한, 냉각수 이상 시 경보 및 전원 차단 |
| 항목 | 기준 / 절차 |
|---|---|
| 접지 등급 | D종 접지, 접지 저항 100Ω 이하 |
| 접지 대상 | 전기로 본체, 제어반, 트랜스 패널 및 금속 프레임 |
| 전원 인입 | 3φ AC380V, 60Hz, 15.4kVA 전원 인입부에 적합한 차단기 및 접지 설비 설치 |
| 접지 확인 | 전원 투입 전 접지선 체결 상태, 단자 풀림, 접지 저항 측정값 확인 |
| 정기 점검 | 시운전 후 및 정기 보전 시 접지 단자, 제어반 내부 단자, 프레임 체결부 증체결 |