한국에너지공과대학교 동적 전압 피로도 평가 장비 구매

요약 AI 요약

차세대 전력반도체(SiC, Si) 소자의 실제 고전압·고주파 스위칭 구동 환경을 모사하여 동적 게이트 스트레스(DGS)와 동적 역바이어스(DRB, DH3TRB) 가속 스트레스를 복합 인가하는 동적 전압 피로도 평가 장비를 구매하는 사업이다. 이를 통해 소자의 수명 주기, 문턱전압(Vth) 열화 특성, 절연 파괴 메커니즘을 정밀 검증한다.

• DGS(Dynamic Gate Stress) 테스트 장비: 고온 환경에서 고주파 AC 게이트 바이어스 스트레스 인가, Vgs 전압 대역 -40V~+40V, 구동 주파수 0~100kHz, 게이트 전압 상승률 1V/ns 이상(Overshoot 없음), Igss·Vgs(th)·Duty Cycle 실시간 모니터링
• DRB(Dynamic Reverse Bias) 테스트 장비: 오프 상태 고전압 동적 역방향 바이어스 평가, Vds 전압 대역 0~2000V, 드레인 전압 상승률 50V/ns 이상, 누설 전류(Idss) 1nA~100mA 정밀 트래킹
• DH3TRB 가속 수명 테스트 장비: 고온·고습 환경 내부에서 동적 역방향 바이어스(Vds 최대 2000V) 복합 인가, 단일 랙당 TO247/TO220 소자 최대 80pcs 수용
• DHTGB/DHTRB 드로어: 단일 드로어당 TO247 또는 TO220 패키지 소자 24개 장착, 20개 드로어 장착 시 시스템별 최대 480개 DUT 동시 스트레스 평가
• Test Area: DH3TRB 소자 안착용 특수 절연 패키지 지그 및 고온고습 환경 습기 차단 기밀 커넥터 블록(총 6개 세트, 40개 채널 블록 포함)
• 동적 특성 시험 시스템(Firstack): 고속 dv/dt 가변 온프레임 제어 드라이브 유닛, 신뢰성 가속 스트레스 전후 소자의 동적 파라미터(Vgs(th) 과도 시프트, 턴온/턴오프 파티그 슬로프) 정밀 분석

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핵심요약

입찰 전

사전 참가신청·등록 · 나라장터에 등록서류 따로 제출

입찰 전 따로 할 절차 · 사전 참가신청·등록 · 나라장터에 등록서류 따로 제출

입찰참가자격 등록은 전자입찰서 제출마감일 전일 18:00까지 나라장터에 해야 하고, 공동수급체는 공동수급협정서를 2026/10/21 18:00까지 나라장터로 전자 제출해야 하며 미제출 시 무효입찰이다. 제안서도 나라장터로 온라인 제출해야 한다.

(입찰참가자격 등록) 조달청 경쟁입찰참가자격 등록은 수시로 가능하며, 입찰참가를 위해서는 전자입찰서 제출마감일 전일 18:00까지 등록을 하여야 합니다.

제출기한: 2026/10/21 18:00까지

제출방법: 국가종합전자조달시스템(나라장터)을 통해 전자문서로 제출

공동수급협정서를 입찰공고에 명시한 제출방법 및 제출기한을 준수하여 제출하지 않은 경우 물품구매(제조)입찰유의서 제12조제9호(지방자치단체 입찰 및 계약집행기준 제8장 입찰유의서)에 의거 무효 입찰로 처리하오니 유의하시기 바랍니다.

규격·기술 심사

점수와 통과선

제안서 평가는 배점표(100점)에 따라 점수를 매기고, 평가위원별 평가점수를 평균한 종합득점이 85점 이상인 업체를 규격적격 업체로 선정한 뒤 가격개찰을 실시한다.

• 통과선 · 85점 이상 종합득점 85점 이상

  평가위원별 평가점수를 평균한 종합득점이 85점 이상인 업체를 규격적격 업체로 선정하며

• 필수 항목·과락 · 아니다 필수 항목 미달이나 부문별 과락으로 총점과 상관없이 떨어진다는 규정이 없다.

평가위원별 평가점수를 평균한 종합득점이 85점 이상인 업체를 규격적격 업체로 선정하며

규격적격자로 선정된 업체에 한하여 가격개찰을 실시하며

문서 분석

수행 기간

90일 이하

계약일로부터 90일 이내

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 없음

납품일 : 계약일로부터 90일 이내

문서 분석

하자보수

3년

• 기점 · 납품일

  보증기간: 납품일로부터 3년(3%)

• 보증 기간 정기점검 · 없음
• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

하자보증기간 : 3년(3%)

보증기간: 납품일로부터 3년(3%)

문서 분석

가격

추정가격

1,818,181,818원

배정예산

2,012,710,000원

기초금액

1,960,000,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)

부가세

181,818,182원

예정가격 방식

복수예가

첨부파일

• HWPX · 재공고서(국가_규격가격동시).hwpx · 공고규격서
• PDF · 재공고서(국가_규격가격동시).pdf · 공고규격서
• ZIP · 제안요청서 등.Zip · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

납품

납품

계약 후 90일
문서: 수행 기간 · 90일 이하

품명

반도체검사기 (4111370601)

세부품명 등록

등록 필요

제조물품

아니오
문서: 직접 생산 · 없음

수량

1 식
문서: 일의 분량 · DGS test system Basic system 5대 · DGS test system Drawers 20대 · DRB test system Basic system 5대 · DRB test system Drawers 20대 · DH3TRB test system Basic system 3대 · DH3TRB test system test area 6대 · Dynamic test system test system 1대

인도조건

설치까지 · 현장설치도
문서: 일의 끝 · 설치·시운전·가동까지

참가 자격 · 제한

지역제한

제한 없음
문서: 지역 조건 · 없음

업종제한

제한 없음
문서: 업종·면허 조합 · 한 업종
문서: 설치 공사업 면허 · 해당 없음

제출 방법

전자입찰
문서: 입찰 전 절차 · 사전 참가신청·등록 · 나라장터에 등록서류 따로 제출

실적경쟁 · PQ

모름
문서: 실적 · 없음

공동수급

공동이행
문서: 공동수급 · 허용

입찰참가 제한

모름

국제입찰

국내입찰

입찰 일정

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 평가위원별 평가점수를 평균한 종합득점이 85점 이상인 업체를 규격적격 업체로 선정하며, 평균 점수는 소수점 다섯째 자리에서 반올림 한다.

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 동적 전압 피로도 평가 장비 일괄 납품·설치

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

DGS·DRB·DH3TRB·동적특성 시험시스템을 구성하는 반도체 신뢰성 평가(가속 스트레스) 장비 일체를 제조·공급하고 현장에 설치하는 물품 구매다.

• DGS Test Machine Basic System 5대 및 DGS Drawer 20대
• DRB Test Machine Basic System 5대 및 DRB Drawer 20대
• DH3TRB 항온항습 다이내믹 시스템 3대
• TO247/TO220 Test Area 6세트(40채널 블록)
• 동적 특성 시험시스템(Firstack) 1식
• 운송·현장설치 및 시운전
• 장비 작동·운영 및 분석 S/W 사용 교육
• 성능 검증(검교정·성적서)
• 3년 하자보수 및 기술지원

걸리는 것 · 입찰 전 할 일

입찰 전 할 일

• 입찰 전 따로 할 절차 · 사전 참가신청·등록 · 나라장터에 등록서류 따로 제출

  입찰참가자격 등록은 전자입찰서 제출마감일 전일 18:00까지 나라장터에 해야 하고, 공동수급체는 공동수급협정서를 2026/10/21 18:00까지 나라장터로 전자 제출해야 하며 미제출 시 무효입찰이다. 제안서도 나라장터로 온라인 제출해야 한다.

  (입찰참가자격 등록) 조달청 경쟁입찰참가자격 등록은 수시로 가능하며, 입찰참가를 위해서는 전자입찰서 제출마감일 전일 18:00까지 등록을 하여야 합니다.

  제출기한: 2026/10/21 18:00까지

  제출방법: 국가종합전자조달시스템(나라장터)을 통해 전자문서로 제출

  공동수급협정서를 입찰공고에 명시한 제출방법 및 제출기한을 준수하여 제출하지 않은 경우 물품구매(제조)입찰유의서 제12조제9호(지방자치단체 입찰 및 계약집행기준 제8장 입찰유의서)에 의거 무효 입찰로 처리하오니 유의하시기 바랍니다.

더 확인할 것

기성품·주문제작

이럴 때 꼭 봅니다 — 주문제작 · 설계부터 우리가

기성품·상용 그대로

제시된 규격과 동등하거나 그 이상의 규격으로 제안하는 장비 구매이며, 로고·표기·색·설정 변경이나 주문제작·설계 개발은 문서에 없다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품을 엮어 하나의 시스템으로 통합한다는 내용이 없다.

제시된 규격과 동등하거나 그 이상의 규격으로 제안하여야 한다.

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

규격서에 ME100DHTXB, ME100DH3TXB 등 특정 모델명과 Firstack 사의 기술이 명시되어 있으나, '제시한 규격의 동등 및 동등 이상 물품 납품 가능'이라고 적어 동등 이상 허용을 명시했다.

• 동등 입증 때 · 입찰 때(공고일·마감일 기준) 규격가격동시입찰로 제안서 평가(규격 심사)를 가격 개찰 전에 실시하며, 평가위원회에서 제시규격과 상이한 규격의 인정 여부를 결정한다.

  입찰참가자가 제시규격과 상이한 규격을 제출한 경우 이의 인정 여부 등은 평가위원회에서 협의하여 결정함.

  규격적격자로 선정된 업체에 한하여 가격개찰을 실시하며

제시된 규격과 동등하거나 그 이상의 규격으로 제안하여야 한다.

※ 제시한 규격의 동등 및 동등 이상 물품 납품 가능

합격선

숫자 기준 있음

장비 성능·규격에 DGS 전압 대역 -40V~+40V, 구동 주파수 0~100kHz, dVgs/dt > 1V/ns, DRB 전압 대역 0~2000V, dVds/dt > 50V/ns, 온도 실온~200℃(균일도 <3℃), 단일 드로어당 24개·풀캐파 480 DUT, 단일 랙당 80pcs 등 수치가 정해져 있다.

• 따를 표준·지침 · AEC-Q101, AQG324, JESD51-1, JESD51-14 전력반도체 패키지 및 웨이퍼 평가 시 업계표준인 AEC-Q101, AQG324, JESD51-1 및 JESD51-14를 만족하는 장비를 사용한다고 적었다.

  전력반도체 패키지 및 웨이퍼 평가시 업계표준인 AEC-Q101, AQG324, JESD51-1 및 JESD51-14를 만족하는 장비를 사용

DGS 테스트 전압 대역 (Vgs): -40V ~ +40V

DRB 테스트 전압 대역 (Vds) : 0 ~ 2000V

시스템 챔버 제어 온도: 실온(RT) ~ 200’C (온도 균일도 < 3’C

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

항목별 규격 대비표 · 카탈로그·제조사 사양서 · 시험성적서 · 실측·성능 데이터·도면

제안서 작성지침에 시스템 제안서(용도·성능·특징·주요 규격·응용 등), 제안 규격서(기기 세부 Specification 명시), 설치 및 시험운영 계획, 유지보수·기술지원 계획서·품질보증을 제출하도록 하고, 제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증 가능한 서류를 첨부하도록 하였다.

• 마감 뒤 보완 · 조건부 허용 평가에 필요한 서류가 첨부되지 않았거나 불명확하여 평가가 곤란한 경우 제안서 내용의 변경이 없는 경미한 사항에 한하여 기한을 정하여 보완을 요구할 수 있고, 지정 기한 내 미제출 시 해당 평가항목을 최저점으로 평가한다.

  평가에 필요한 서류가 첨부되어 있지 않거나 제출된 서류가 불명확하여 평가가 곤란하다고 판단되는 경우에는 제안서 내용의 변경이 없는 경미한 사항에 한하여 기한을 정하여 보완을 요구할 수 있으며, 지정 기한 내에 보완 서류가 제출되지 아니한 경우에는 해당 평가항목을 ‘최저점’으로 평가한다.

제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증 가능한 서류를 첨부하여야 하며

- 제안 규격서
기기 세부적인 Specification 명시

참가 범위

공개 경쟁

일반(총액)규격가격동시입찰로, 나라장터에 반도체검사기(4111370601)로 입찰참가자격을 등록한 자면 참여 가능하다. 사전 명단·협약·지명으로 참가자를 묶은 문장은 없다.

계약입찰방법: 일반(총액)규격가격동시

입찰참가자격등록 마감일시까지 반도체검사기(4111370601)를 제조 또는 공급 물품으로 입찰참가 등록한 자

현장 여건

납품 업체에서 직접 운송 및 설치를 수행하며, 설치 후 정상 동작 여부 및 성능 검증을 위한 시험운영을 진행함.

• 부대공사·현장 준비 · 우리 부담 안 잡힘
• 위험작업 · 없음

본 장비는 납품 업체에서 직접 운송 및 설치를 수행할 예정이며, 장비 설치 후 정상 동작 여부 및 성능 검증을 위한 시험운영을 함께 진행할 예정이다.

A/S 조직·인력

감점 · 점수에 반영

하자보수 및 교육을 위한 전담인력 구성 및 품질보증계획의 적정성 평가

• 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 크기 · 4~5점
• 대상 · A/S·기술 인력 수

하자보수 및 교육을 위한 전담인력 구성 및 품질보증계획의 적정성 5 / 5점

큰 배점 항목

1. 경영 상태(15점), 2. 기술부문 소계(60점), 3. 설치부문 소계(20점)

경영 상태 신용평가등급 확인서 15 / 15점

기술부문 소 계 60 / 60점

설치부문 소 계 20 / 20점

무상 추가 제공

의무 · 계약 뒤 지킬 일

하자보증기간 3년을 요구함

• 요구 기간 · 3년
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 대상 · 유지보수·사후지원

하자보증기간 : 3년(3%)

평가 자리 발표

필요할 때만 발표

필요 시 현장발표를 요청할 수 있으며, 별도 공지 없이 서면 평가할 수도 있음

• 빠지면 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

필요 시 현장발표를 요청할 수 있으며, 현장발표 실시 시 일시 및 장소는 사전에 통보한다.

다만, 별도 공지 없이 서면 평가할 수도 있으니 평가관련 사항은 반드시 수요기관에 문의하시기 바랍니다.

공고 정보

공고종류

재공고 (재입찰공고)

게시일

10/07(수)

공고번호

R26BK01759580-000

참조번호

-

공고기관

조달청 광주지방조달청

수요기관

한국에너지공과대학교

계약방법

일반경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

1,818,181,818원

배정예산

2,012,710,000원

사전규격번호

R26BD00276377

재공고

재공고

출처

나라장터

문서 분석 전체

이 분야에서 갈리는 것 · 우리가 만드는 공정 방식·기판 크기인가, 주문제작을 150일 안에 끝낼 수 있나, 기술평가 85점을 넘나, 3년 품질보증을 감당하나에서 갈린다.

질문 87개 · 꼭 5 · 좋음 20 · 안 봐도 됨 62

주제 · 참가 자격 9개

업종·면허 조합

한 업종

입찰참가자격은 반도체검사기(세부품명번호 4111370601)를 제조 또는 공급 물품으로 등록한 자로, 단일 품명 등록이다. 법·조례가 정한 허가·지정·등록이나 업태·종목, 전문매장 보유 같은 코드 밖 자격 요구는 없다.

• 코드 밖 자격 · 없음 법·조례가 정한 허가·지정·등록, 사업자등록증 업태·종목, 전문매장 보유 등 코드 밖 자격 요구 문장이 없다.

입찰참가자격등록 마감일시까지 반도체검사기(4111370601)를 제조 또는 공급 물품으로 입찰참가 등록한 자

지역 조건

없음

본점 지역 제한 외에 사업장·지사·시설·인력 소재, 지역 인력 고용·장비 사용, 지역 업체 공동수급, 지역 가점 등 지역을 묶는 조건이 문서에 없다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 지역 관련 평가표 배점이 없다.
• 대상 · - 해당하는 지역 조건이 없다.

실적

없음

유사·동등 실적을 참가 조건이나 점수로 요구하는 문장이 없다. 평가표의 사업수행능력은 신용평가등급(경영상태)만 본다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 실적 배점이 없다.
• 조건 · 없음 실적 인정 범위를 정한 문장이 없다.

업력

없음

업력(설립·개업 후 경과 햇수)을 참가 조건이나 점수로 요구하지 않는다. 신용평가등급 평가에서 창업기업에 배점 한도를 부여하는 조항이 있으나 이는 업력 요구가 아니다.

• 요구 업력 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 요구하는 햇수가 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 업력 배점이 없다.

공동수급

허용

공동계약 허용, 공동이행방식으로만 참여 가능. 구성원은 대표사 포함 5개사 이하, 구성원별 최소 지분율 10% 이상.

• 자격을 나눠 채우기 · 구성원마다 모두 공동수급체 구성원은 각각 본 입찰에서 요구하는 입찰참가자격을 모두 갖추어야 한다.

  공동이행방식으로만 입찰참여가 가능하며 공동수급체 구성원은 각각 본 입찰에서 요구하는 입찰참가자격을 모두 갖추어야 합니다.

기타 : 분할납품 및 공동계약 허용, 시운전 조건부 사업 여부 비해당

공동이행방식으로만 입찰참여가 가능하며 공동수급체 구성원은 각각 본 입찰에서 요구하는 입찰참가자격을 모두 갖추어야 합니다.

공동수급체 구성원은 대표사를 포함하여 5개사 이하로 구성하여야 하며, 구성원별 계약참여 최소 지분율은 10% 이상으로 하여야 합니다.

회사 규모·신분

제한 없음

중소기업·소기업·소상공인·여성기업·법인만 등 규모·신분으로 참가를 좁히는 문장이 없다.

안전보건수준평가

없음

안전보건수준평가 대상 사업으로 지정한 문장이 없다. 중대재해처벌법 준수 안내는 일반 법령 준수 문구다.

하도급

조건부 허용

하도급에 관한 사항(승인절차 등)은 과업내용서·제안요청서·관련 법령에 따르며, 정하지 않은 경우 계약체결 후 계약자와 수요기관 간 협의로 정한다. 수요기관 승인 없이 하도급하면 계약해지·입찰참가자격제한 대상.

• 하도급 한도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급 비율 한도를 정한 문장이 없다.

이 입찰계약의 하도급에 관한 사항(하도급 승인절차 등)은 과업내용서 또는 제안요청서, 다른 법령에서 정하고 있는 경우에는 관련 법령(「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」, 「소프트웨어 진흥법」, 「정보통신공사업법」 등)에 따르며, 하도급에 관한 사항을 정하고 있지 않은 경우에는 계약체결 후 계약자와 수요기관 간 협의에 의해 정해진 바에 따릅니다.

직접 생산

없음

직접생산확인증명서 소지나 직접 제조를 참가 자격으로 요구하지 않는다. 다만 계약상대자는 직접이행의무를 준수해야 하고, 직접생산기준 위반 납품은 부정한 행위로 환수·제재 대상이다.

• 참가 등록 · 제조·공급 모두 반도체검사기(4111370601)를 제조 또는 공급 물품으로 입찰참가 등록한 자.

  입찰참가자격등록 마감일시까지 반도체검사기(4111370601)를 제조 또는 공급 물품으로 입찰참가 등록한 자

• 직생 범위 · 해당 없음 직접생산확인 공고가 아니다.
• 대상 · - 제품 제조사·직생 관련 대상 조건이 없다.

계약상대자는 당사자의 책임 하에 제조자(업체) 또는 공급자(업체) 선정·관리 등 「물품구매(제조)계약특수조건」 제7조의3에 규정된 직접이행의무를 준수하여야 하며, 계약체결 전 직접이행의무의 이행 및 동 의무 불이행 시 불이익 처분에 동의한다는 내용의 확약서(붙임 참조)를 계약담당공무원에게 제출하여야 합니다.

주제 · 제품 규격·인증 9개

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

규격서에 ME100DHTXB, ME100DH3TXB 등 특정 모델명과 Firstack 사의 기술이 명시되어 있으나, '제시한 규격의 동등 및 동등 이상 물품 납품 가능'이라고 적어 동등 이상 허용을 명시했다.

• 동등 입증 때 · 입찰 때(공고일·마감일 기준) 규격가격동시입찰로 제안서 평가(규격 심사)를 가격 개찰 전에 실시하며, 평가위원회에서 제시규격과 상이한 규격의 인정 여부를 결정한다.

  입찰참가자가 제시규격과 상이한 규격을 제출한 경우 이의 인정 여부 등은 평가위원회에서 협의하여 결정함.

  규격적격자로 선정된 업체에 한하여 가격개찰을 실시하며

제시된 규격과 동등하거나 그 이상의 규격으로 제안하여야 한다.

※ 제시한 규격의 동등 및 동등 이상 물품 납품 가능

제조사 확약서

없음

공급 확약서, 기술지원·A/S 확약서, 대리점·총판·공식 파트너 지위, 제조자·공급자 증명서, 정품보증서·정품확인서, 수입신고필증 등을 제조사나 공식 공급원에게서 받아 제출하라는 요구가 문서에 없다.

• 대상 · - 해당하는 서류가 없다.
• 조건 · 없음 제조사면 면제 규정이 없다.

제품 인증

없음

제품·장비가 갖춰야 하는 인증·허가·시험성적서를 요구하는 조항이 없다. 다만 용도설명서 기타 참고사항에 AEC-Q101, AQG324, JESD51-1, JESD51-14를 만족하는 장비를 사용한다는 기대효과 문구가 있다.

• 크기 · 해당 없음 점수 차가 아니다.
• 대상 · - 해당 없음
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 입증 수단을 정한 문장이 없다.

원산지(국산)

모름 · 문서로 확인 안 됨

원산지 제한에 관한 문장이 문서에 없다.

합격선

숫자 기준 있음

장비 성능·규격에 DGS 전압 대역 -40V~+40V, 구동 주파수 0~100kHz, dVgs/dt > 1V/ns, DRB 전압 대역 0~2000V, dVds/dt > 50V/ns, 온도 실온~200℃(균일도 <3℃), 단일 드로어당 24개·풀캐파 480 DUT, 단일 랙당 80pcs 등 수치가 정해져 있다.

• 따를 표준·지침 · AEC-Q101, AQG324, JESD51-1, JESD51-14 전력반도체 패키지 및 웨이퍼 평가 시 업계표준인 AEC-Q101, AQG324, JESD51-1 및 JESD51-14를 만족하는 장비를 사용한다고 적었다.

  전력반도체 패키지 및 웨이퍼 평가시 업계표준인 AEC-Q101, AQG324, JESD51-1 및 JESD51-14를 만족하는 장비를 사용

DGS 테스트 전압 대역 (Vgs): -40V ~ +40V

DRB 테스트 전압 대역 (Vds) : 0 ~ 2000V

시스템 챔버 제어 온도: 실온(RT) ~ 200’C (온도 균일도 < 3’C

등록 제품

없음

우수제품·혁신제품·발주처 규격심의·사전등록·특정 기관 인증·플랫폼 등록·제품(모델) 납품·설치 실적·품질테스트 통과·등재 목록(가격집 등)을 요구하는 조항이 없다.

• 대상 · - 해당하는 목록·지정이 없다.

신품·제조 시기

없음

신품·최근 생산품·유효기간·단종 예정 모델 금지에 관한 요구가 문서에 없다.

• 제조 뒤 경과 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 없음
• 남은 유효기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 없음

규격·기술 심사

점수와 통과선

제안서 평가는 배점표(100점)에 따라 점수를 매기고, 평가위원별 평가점수를 평균한 종합득점이 85점 이상인 업체를 규격적격 업체로 선정한 뒤 가격개찰을 실시한다.

• 통과선 · 85점 이상 종합득점 85점 이상

  평가위원별 평가점수를 평균한 종합득점이 85점 이상인 업체를 규격적격 업체로 선정하며

• 필수 항목·과락 · 아니다 필수 항목 미달이나 부문별 과락으로 총점과 상관없이 떨어진다는 규정이 없다.

평가위원별 평가점수를 평균한 종합득점이 85점 이상인 업체를 규격적격 업체로 선정하며

규격적격자로 선정된 업체에 한하여 가격개찰을 실시하며

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

항목별 규격 대비표 · 카탈로그·제조사 사양서 · 시험성적서 · 실측·성능 데이터·도면

제안서 작성지침에 시스템 제안서(용도·성능·특징·주요 규격·응용 등), 제안 규격서(기기 세부 Specification 명시), 설치 및 시험운영 계획, 유지보수·기술지원 계획서·품질보증을 제출하도록 하고, 제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증 가능한 서류를 첨부하도록 하였다.

• 마감 뒤 보완 · 조건부 허용 평가에 필요한 서류가 첨부되지 않았거나 불명확하여 평가가 곤란한 경우 제안서 내용의 변경이 없는 경미한 사항에 한하여 기한을 정하여 보완을 요구할 수 있고, 지정 기한 내 미제출 시 해당 평가항목을 최저점으로 평가한다.

  평가에 필요한 서류가 첨부되어 있지 않거나 제출된 서류가 불명확하여 평가가 곤란하다고 판단되는 경우에는 제안서 내용의 변경이 없는 경미한 사항에 한하여 기한을 정하여 보완을 요구할 수 있으며, 지정 기한 내에 보완 서류가 제출되지 아니한 경우에는 해당 평가항목을 ‘최저점’으로 평가한다.

제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증 가능한 서류를 첨부하여야 하며

- 제안 규격서
기기 세부적인 Specification 명시

주제 · 입찰 절차 9개

참가 범위

공개 경쟁

일반(총액)규격가격동시입찰로, 나라장터에 반도체검사기(4111370601)로 입찰참가자격을 등록한 자면 참여 가능하다. 사전 명단·협약·지명으로 참가자를 묶은 문장은 없다.

계약입찰방법: 일반(총액)규격가격동시

입찰참가자격등록 마감일시까지 반도체검사기(4111370601)를 제조 또는 공급 물품으로 입찰참가 등록한 자

여러 과제로 나뉨

나뉘지 않음

입찰공고번호 R26BK01759580-000 단일 입찰, 수량 1식으로 발주되었다. 과제·권역·입찰번호로 나눈 문장은 없다.

• 여러 개 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 나뉘지 않은 단일 입찰이라 여러 개 입찰 관련 규정이 없다.

입찰공고번호: R26BK01759580-000

수량 및 단위: 1식

입찰 전 절차

사전 참가신청·등록 · 나라장터에 등록서류 따로 제출

입찰참가자격 등록은 전자입찰서 제출마감일 전일 18:00까지 나라장터에 해야 하고, 공동수급체는 공동수급협정서를 2026/10/21 18:00까지 나라장터로 전자 제출해야 하며 미제출 시 무효입찰이다. 제안서도 나라장터로 온라인 제출해야 한다.

(입찰참가자격 등록) 조달청 경쟁입찰참가자격 등록은 수시로 가능하며, 입찰참가를 위해서는 전자입찰서 제출마감일 전일 18:00까지 등록을 하여야 합니다.

제출기한: 2026/10/21 18:00까지

제출방법: 국가종합전자조달시스템(나라장터)을 통해 전자문서로 제출

공동수급협정서를 입찰공고에 명시한 제출방법 및 제출기한을 준수하여 제출하지 않은 경우 물품구매(제조)입찰유의서 제12조제9호(지방자치단체 입찰 및 계약집행기준 제8장 입찰유의서)에 의거 무효 입찰로 처리하오니 유의하시기 바랍니다.

현장설명회

없음

현장설명회·현장답사 일정이나 참석 확인을 요구하는 문장이 없다.

정정·재공고 변경

해당 없음(첫 공고)

문서 제목이 '재공고서'이나 앞선 공고에서 무엇이 바뀌었는지 적은 문장이 없다.

낙찰 업체 수

한 업체가 전량

1식 단위 총액입찰로 규격적격자 중 최저가 1인을 낙찰자로 선정한다. 수량을 여러 업체에 나눠 뽑는 문장은 없다.

• 최소 응찰 물량 · 해당 없음 여러 업체가 나눠 낙찰받는 구조가 아니라 최소 응찰 물량 규정이 없다.

규격(기술)적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자

MAS 2단계경쟁

아니다

일반(총액)규격가격동시입찰로 규격적격자 중 최저가 낙찰자 선정 방식이며, 다수공급자계약·종합쇼핑몰 2단계경쟁 관련 문장은 없다.

계약입찰방법: 일반(총액)규격가격동시

입찰보증금

면제·지급각서로 갈음

신용정보 관리규약상 채무불이행·금융질서 문란자, 입찰공고일 이전 1년 이내 입찰참가자격 제한을 받은 자만 입찰금액의 100분의 5 이상을 납부하고, 그 외에는 납부를 면제하되 입찰보증금 지급각서를 제출한다. 계약보증금은 조달청 내자구매업무 처리규정 제48조의2, 하자보수보증금은 제59조(물품 계약금액의 100분의 3) 적용을 받는다.

• 입찰보증금 비율 · 5% 이상 입찰금액(투찰가) 기준. 다만 신용정보 관리규약상 채무불이행·금융질서 문란자, 입찰공고일 이전 1년 이내 입찰참가자격 제한을 받은 자에 한한다.

  입찰자가 아래에 해당하는 경우에는 입찰금액의 100분의 5이상(「국가계약법 시행령」 제37조 제1항 단서조항에 따른 재정경제부장관이 기간을 정하여 고시한 경우에는 1천분의 25이상)의 입찰보증금을 납부 하여야 합니다.

• 계약·하자 보증 비율 · 3% 하자보수보증금은 물품 계약금액의 100분의 3(조달청 내자구매업무 처리규정 제59조). 계약보증금 비율은 같은 규정 제48조의2 적용으로만 적혀 있고 이 공고에 값이 없다.

  제59조(하자보수 보증금) ①계약담당과장은 물품 및 용역의 특성상 하자보수보증이 필요하다고 인정되는 경우에는 물품(용역)별 하자담보 책임기간을 정하고 계약상대자로 하여금 물품의 경우 계약금액의 100분의 3, 용역의 경우 계약금액의 100분의 2(｢국가계약법 시행규칙｣ 제72조제1항 및 ｢지방계약법 시행규칙｣ 제70조제1항에서 정한 경우에는 그 금액)에 해당하는 하자보수 보증금을 납부하게 할 수 있다.

(납부면제) 위 사항을 제외하고는 이 입찰에서 입찰보증금의 납부는 면제하되, 입찰보증금 지급각서를 제출하여야 합니다.

입찰자가 아래에 해당하는 경우에는 입찰금액의 100분의 5이상(「국가계약법 시행령」 제37조 제1항 단서조항에 따른 재정경제부장관이 기간을 정하여 고시한 경우에는 1천분의 25이상)의 입찰보증금을 납부 하여야 합니다.

계약보증금 및 하자보증금은 「조달청 내자구매업무 처리규정」 제48조의2(계약보증금), 제59조(하자보수 보증금)의 적용을 받습니다.

제59조(하자보수 보증금) ①계약담당과장은 물품 및 용역의 특성상 하자보수보증이 필요하다고 인정되는 경우에는 물품(용역)별 하자담보 책임기간을 정하고 계약상대자로 하여금 물품의 경우 계약금액의 100분의 3, 용역의 경우 계약금액의 100분의 2(｢국가계약법 시행규칙｣ 제72조제1항 및 ｢지방계약법 시행규칙｣ 제70조제1항에서 정한 경우에는 그 금액)에 해당하는 하자보수 보증금을 납부하게 할 수 있다.

문서끼리 다른 곳

아니다

규격서·내역서·제안요청서 간 수량·규격이 어긋난 문장은 확인되지 않는다. 다만 입찰공고서와 과업내용서가 다르면 입찰공고서가 우선한다는 정형 조항이 있다.

이 입찰집행과 관련하여 입찰공고서와 과업내용서(제안요청서 등 입찰 첨부서류 일체)의 내용이 서로 다를 경우 입찰공고서가 우선하여 적용됩니다.

주제 · 과업 범위 11개

다른 업 섞임

섞이지 않음

입찰참가자격은 반도체검사기(4111370601) 단일 품목 등록이며, 다른 면허·공종·품목의 일이 문서에 없다.

입찰참가자격등록 마감일시까지 반도체검사기(4111370601)를 제조 또는 공급 물품으로 입찰참가 등록한 자

하는 일

차세대 전력반도체(SiC, Si) 소자의 동적 전압 피로도 및 복합 신뢰성 시험 시스템을 구매·설치하는 사업이다. DGS·DRB·DH3TRB·동적 특성 시험 시스템과 드로어·테스트 영역을 납품하고, 현장 설치와 시험운영, 사용자 교육까지 수행한다.

DGS/DRB 메인프레임 각 5대, 드로어 각 20대, DH3TRB 3대, Test Area 6세트, Dynamic test system 1대.

동적 전압 피로도 및 복합 신뢰성 시험 시스템(Dynamic Voltage Stress Test System)은 차세대 전력반도체(SiC, Si) 소자의 고전압·고주파 스위칭 구동 환경을 모사하여 동적 게이트 및 역바이어스 가속 스트레스를 인가하고, 이를 통해 소자의 수명 주기, Vth 열화 특성 및 절연 파괴 메커니즘을 정밀하게 검증하기 위한 장비임.

기존 시스템과 이어짐

기존 제조사 제품에 묶임

TO247 or TO220 (Dynamic characteristic test system)의 제조사를 Firstack으로 지정하고, 본 장비 시스템은 Firstack 사의 고속 dv/dt 제어 및 매커니즘 기술이 적용된다고 적었다. 기존 시스템 연동·연속 사업·연동 SW 개발·상대편 비용 부담은 문서에 없다.

제조사: Firstack

본 장비 시스템은 Firstack 사의 고속 dv/dt 제어 및 매커니즘 기술이 적용되어, 신뢰성 가속 스트레스 전후 소자의 동적 파라미터(게이트 임계전압 과도 시프트, 턴온/턴오프 파티그 슬로프 등)를 정밀하게 추적하고 분석할 수 있음.

설치 공사업 면허

해당 없음

설치가 법상 공사(전기·정보통신·수도·소방)에 해당한다는 내용이 문서에 없다.

• 대상 · 해당 없음 문서에 전기·정보통신·기타 공사업 관련 내용이 없다.
• 조건 · 해당 없음 공사업 면허 관련 하도급·공동수급·직접시공 조건이 문서에 없다.

일의 끝

설치·시운전·가동까지

인도조건이 현장설치도이고, 장비 설치 후 정상 동작 여부 및 성능 검증을 위한 시험운영을 함께 진행한다고 적었다.

• 시험운영 기간 · 정해지지 않음 시험운영을 진행한다고만 적었고 기간은 없다.

  장비 설치 후 정상 동작 여부 및 성능 검증을 위한 시험운영을 함께 진행할 예정이다.

인도조건 : 현장설치도

본 장비는 납품 업체에서 직접 운송 및 설치를 수행할 예정이며, 장비 설치 후 정상 동작 여부 및 성능 검증을 위한 시험운영을 함께 진행할 예정이다.

기성품·주문제작

기성품·상용 그대로

제시된 규격과 동등하거나 그 이상의 규격으로 제안하는 장비 구매이며, 로고·표기·색·설정 변경이나 주문제작·설계 개발은 문서에 없다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품을 엮어 하나의 시스템으로 통합한다는 내용이 없다.

제시된 규격과 동등하거나 그 이상의 규격으로 제안하여야 한다.

함께 넘길 물품

해당 없음

본품과 함께 넘겨주거나 비치해야 하는 별도 물품이 문서에 없다.

철거·폐기

없음

기존 장비·시설의 철거·이설·폐기·반납이나 포장재 회수에 관한 내용이 문서에 없다.

부가 작업

장비 설치 완료 후 사용자 대상 운용 교육 및 기본 유지관리 교육, 분석 소프트웨어 사용 교육을 수행하고, 검교정 및 성능 확인 절차를 통해 정상 운용 상태를 확인한다.

설치·시운전 외에 사용자 교육과 검교정·성능 확인이 부가 작업으로 적혀 있다.

장비 설치 완료 후 사용자 대상 운용 교육 및 기본 유지관리 교육을 진행할 예정이며, 장비 활용을 위한 기초 운용 방법 및 분석 소프트웨어 사용 방법을 포함하여 교육을 수행할 예정이다.

장비의 검교정 및 성능 확인 절차를 통해 장비의 정상 운용 상태를 확인하고, 연구 활용이 가능하도록 지원할 예정이다.

디자인 몫

해당 없음

디자인·편집·원고 작업에 관한 내용이 문서에 없다.

묶인 품목 수

4종

총괄표에 DGS test system, DRB test system, DH3TRB test system, Dynamic test system 4종이 1식씩 묶여 있다. 제조사는 Dynamic test system의 Firstack 1곳만 지정되어 있다.

• 제조사 수 · 1곳 Dynamic test system의 제조사 Firstack만 지정되어 있다.

  제조사: Firstack

1. DGS test system

2. DRB test system

3. DH3TRB test system

4. Dynamic test system

주제 · 납품 일정·현장 11개

일의 분량

DGS test system Basic system 5대 · DGS test system Drawers 20대 · DRB test system Basic system 5대 · DRB test system Drawers 20대 · DH3TRB test system Basic system 3대 · DH3TRB test system test area 6대 · Dynamic test system test system 1대

사업금액 2,000,000,000원(부가가치세 포함)

• 열린 분량 · 정해짐

Basic system TO220/TO2247 대 5

Drawers 24DUT/drawer 대 20

Basic system TO220/TO2247 대 5

Drawers 24DUT/drawer 대 20

Basic system TO220/TO2247 대 3

test area 40DUT/test area 대 6

test system TO220/TO2247 대 1

수행 기간

90일 이하

계약일로부터 90일 이내

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 없음

납품일 : 계약일로부터 90일 이내

현장·납품지

1곳

전남광주통합특별시 나주시 빛가람동 908-1 한국에너지공과대학교 연구1동 223호

• 열린 분량 · 정해짐
• 범위 · 없음(국내 보통 현장)

납품장소 : 전남광주통합특별시 나주시 빛가람동 908-1 한국에너지공과대학교 연구1동 223호

현장 여건

납품 업체에서 직접 운송 및 설치를 수행하며, 설치 후 정상 동작 여부 및 성능 검증을 위한 시험운영을 진행함.

• 부대공사·현장 준비 · 우리 부담 안 잡힘
• 위험작업 · 없음

본 장비는 납품 업체에서 직접 운송 및 설치를 수행할 예정이며, 장비 설치 후 정상 동작 여부 및 성능 검증을 위한 시험운영을 함께 진행할 예정이다.

작업 시기

제약 없음

다른 일정에 묶임

아니다

나눠 납품

한 번에 전량

납품기한이 계약 후 90일 이내로 단일하게 정해져 있음

• 분할납품 · 허용

  분할납품 및 공동계약 허용

납품기한: 계약 후 90일 이내

보관 조건

해당 없음

• 대상 · -

주문 뒤 납품 시한

정해지지 않음

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

포장·표시

해당 없음

보안 조치

의무 · 계약 뒤 지킬 일

과업 수행기간 및 종료 후에도 보안사항을 준수해야 하며 정보 유출 시 민형사상 책임을 짐

• 크기 · -
• 대상 · 기타 대외비 취급 및 정보 외부 공개 금지

  제안 요청일 이후 제안서 제출 시까지 모든 사항은 제안 참여 업체의 제안 관계자 외에는 대외비로 취급하여야 한다. 또한 한국에너지공과대학교에 기 제출된 모든 문서와 제공한 자료 및 정보에 대해서는 외부에 공개할 수 없다.

제안업체는 본 사업과 관련하여 취급 또는 습득한 정보에 대하여 과업 수행기간은 물론 종료 후에도 보안사항을 준수하여야 하며, 정보 유출 등 보안 사고 발생 시 모든 민․형사상의 책임을 진다.

주제 · 견본·검사·검수 7개

검수

발주처 검수만

검사/검수기관: 수요기관 / 수요기관

샘플·시안 선제출

없음

• 크기 · -
• 대상 · 없음

시험·검사

우리 부담(대가 안)

성능 검증 항목별 판정 기준 및 성적서 제출 계획 요구

• 시험 단위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 시험 장소 · 설치 뒤 현장

  장비 설치 후 정상 동작 여부 및 성능 검증을 위한 시험운영을 함께 진행할 예정이며

검증 항목별 판정 기준 및 성적서 제출 계획

시안 승인

해당 없음

• 수정 횟수 · 해당 없음
• 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

공장 실사·입회

없음

이 공고가 군수품 조달인가 — 국방부·각 군이…

아니다

수요기관은 한국에너지공과대학교임

수요기관: 한국에너지공과대학교

군수품이면 납품 검사·검수는 누가 하나 — 수…

해당 없음

• 품질보증형태 · 해당 없음

주제 · 인력·A/S·하자 대응 8개

장비·시설 보유

없음

• 갖출 때 · 해당 없음
• 크기 · -
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

인력 자격

해당 없음

• 크기 · -
• 대상 · 해당 없음

출동 시한

없음

• 도착 시한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

처리 시한

해당 없음

• 기점 · 해당 없음

교육·기술이전

모름 · 문서로 확인 안 됨

사용자 대상 장비 운용 교육 및 분석 소프트웨어 사용 교육 계획 요구

• 무상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

장비 작동 및 운영 기본 교육 - 사용자 대상 장비 운용 교육 및 분석 소프트웨어 사용 교육 계획

하자보수

3년

• 기점 · 납품일

  보증기간: 납품일로부터 3년(3%)

• 보증 기간 정기점검 · 없음
• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

하자보증기간 : 3년(3%)

보증기간: 납품일로부터 3년(3%)

단종 뒤 부품 공급

해당 없음

A/S 조직·인력

감점 · 점수에 반영

하자보수 및 교육을 위한 전담인력 구성 및 품질보증계획의 적정성 평가

• 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 크기 · 4~5점
• 대상 · A/S·기술 인력 수

하자보수 및 교육을 위한 전담인력 구성 및 품질보증계획의 적정성 5 / 5점

주제 · 가격·대금·계약 조건 11개

총액·단가 방식

총액

• 정산 · 확정 금액
• 단가 조정 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

계약입찰방법: 일반(총액)규격가격동시

물량 변동

확정

상세규격서에 품목별 수량이 명시되어 있음

상세 규격서

⃞ 장비명 : 동적 전압 피로도 평가 장비

| 구 분 | 상 세 명 세 | 수 량 | 비 고 |
| --- | --- | --- | --- |
| ① 장비 규격 | ... | 5
20
5
20
3
6
1 | |

발주처 단가 기준

적혀 있지 않음

계약 상대

공고 낸 기관 직접

계약 기관은 광주지방조달청, 수요기관은 한국에너지공과대학교임

계약담당자(입찰공고, 개찰, 계약방법 등): 광주지방조달청 장비구매과

수요기관: 한국에너지공과대학교

그대로 넘길 돈

아니다

견적 근거

물량·목록만 공개

공내역서에 품명과 수량은 있으나 단가는 비어 있음

(공)내역서_한국에너지공과대학교 동적 전압 피로도 평가 장비 구매.xlsx

## 내역서
동적전압 피로도 평가장비

| 명 칭 | 규 격 | 단위 | 발주수량 | 발주단가 | 발주금액 | 비고 |
| --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- |
| 1. DGS test system | | | | | | |
| Basic system | TO220/TO2247 | 대 | 5 | | | |
| Drawers | 24DUT/drawer | 대 | 20 | | | |

대금 받는 때

끝난 뒤 한 번에

• 선금 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 지급 기한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

공채·채권

해당 없음

보험 가입

없음

• 보상 한도 · 해당 없음
• 보험료 · 해당 없음
• 대상 · 해당 없음

계약 변동 가능

아니다

부가세 과세

모름 · 문서로 확인 안 됨

• 투찰가에 부가세 · 넣는다

  사업예산, 기초금액 및 입찰금액은 부가가치세를 포함한 가격입니다.

뽑는 방식 · 입찰 방식 7개

회사 속성 우대

가점

창업기업에 대해 신용평가등급 점수상의 배점 한도를 부여함

• 우대 대상 · 창업기업
• 가점 크기 · 0~15점

추정가격이 고시금액 미만인 입찰에서 입찰공고일을 기준으로 최근 7년 이내에 사업을 개시한 창업기업에 대해서는 신용평가등급 점수상의 배점 한도를 부여한다.

신용등급·경영상태

감점 · 점수에 반영

신용평가등급에 따라 경영상태 점수를 차등 부여함

• 등급이 없을 때 · 최저 등급 점수
• 크기 · 10.5~15점
• 대상 · 신용평가등급

경영 상태 신용평가등급 확인서 15 / 15점

보유 인력

없음

• 기준 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

소속 직원

없음

• 재직 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 대상 · 해당 없음
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

큰 배점 항목

1. 경영 상태(15점), 2. 기술부문 소계(60점), 3. 설치부문 소계(20점)

경영 상태 신용평가등급 확인서 15 / 15점

기술부문 소 계 60 / 60점

설치부문 소 계 20 / 20점

무상 추가 제공

의무 · 계약 뒤 지킬 일

하자보증기간 3년을 요구함

• 요구 기간 · 3년
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 대상 · 유지보수·사후지원

하자보증기간 : 3년(3%)

평가 자리 발표

필요할 때만 발표

필요 시 현장발표를 요청할 수 있으며, 별도 공지 없이 서면 평가할 수도 있음

• 빠지면 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

필요 시 현장발표를 요청할 수 있으며, 현장발표 실시 시 일시 및 장소는 사전에 통보한다.

다만, 별도 공지 없이 서면 평가할 수도 있으니 평가관련 사항은 반드시 수요기관에 문의하시기 바랍니다.

카테고리 · 연구·실험·계측장비 5개

지원사업·R&D 재원

아니다

품질 인증

없음

경비 부담

우리 부담(대가 안)

• 관급 금액 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 관급 설치 · 해당 없음

제안과 관련되어 제출된 모든 자료는 반환하지 않으며, 제안에 따른 일체의 비용은 제안업체가 부담한다.

공정 장비 종류

해당 없음

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

해당 없음

문서 발췌

배점·평가

[붙임2] 1. 기술규격평가 배점표

동적 전압 피로도 평가 장비 평가항목

업체명: 소속: 성명: (인)

2. 기술평가 세부 채점 기준표

<별표1>

경영상태 평가기준(제9조제3항제1호 관련)

과업·요구

□ 규격(성능 및 사양) : - ME100DHTXB (DGS Test Machine Basic System) 테스트 가능 항목: DHTGB, DHTRB, HTGB, HTRB 복합 신뢰성 평가 지원 DGS 테스트 전압 대역 (Vgs): -40V ~ +40V 수량 및 구성: Main Frame 5대 (4 Drawers Capacity / 내장 안전 인터락 인터페이스 탑재) - DHTGB-Drawer (DGS drawers) 슬롯 수용 용량: 단일 드로어당 TO247 또는 TO220 패키지 소자 24개 장착 가능 장비 총 풀 캐파: 20개 드로어 장착 시 총 480개 DUT 동시 스트레스 평가 가능인가 - ME100DHTXB (DRB Test Machine Basic System) DRB 테스트 전압 대역 (Vds) : 0 ~ 2000V 시스템 구동 전원: 3상 AC 380V, 40kW 레벨 인프라 수량: 메인 다이내믹 역바이어스 프레임 5대 - DHTRB-Drawer (DRB drawers) 슬롯 수용 용량: 단일 드로어당 TO247 또는 TO220 패키지 소자 24개 장착 가능 장비 총 풀 캐파: 20개 드로어 장착 시 총 480개 DUT 동시 스트레스 평가 가능인가 - ME100DH3TXB (DH3TRB Test Machine Basic System) 기본 장비 수용 전폭: 단일 랙당 TO247/TO220 소자 최대 80pcs 고온고습 테스트 환경 제공 수량: 항온항습 다이내믹 시스템 3대 - TO247 or TO220-Test Area 수량 및 구성: 총 6개 세트 (하위 스테이션 총 40개 채널 블록 포함) 용도: DH3TRB 소자 안착용 특수 절연 패키지 지그 및 고온고습 환경 습기 차단 기밀 커넥터 블록 - TO247 or TO220 (Dynamic characteristic test system) 용도: 신뢰성 가속 스트레스 전후 소자의 동적 파라미터(Vgs(th) 과도 시프트, 턴온/턴오프 파티그 슬로프) 정밀 분석 상세 규격 세부 참조 □ 용도설명 : - 동적 전압 피로도 및 복합 신뢰성 시험 시스템(Dynamic Voltage Stress Test System)은 차세대 전력반도체(SiC, Si) 소자의 고전압·고주파 스위칭 구동 환경을 모사하여 동적 게이트 및 역바이어스 가속 스트레스를 인가하고, 이를 통해 소자의 수명 주기, Vth 열화 특성 및 절연 파괴 메커니즘을 정밀하게 검증하기 위한 장비임. - 본 장비 시스템은 Firstack 사의 고속 dv/dt 제어 및 매커니즘 기술이 적용되어, 신뢰성 가속 스트레스 전후 소자의 동적 파라미터(게이트 임계전압 과도 시프트, 턴온/턴오프 파티그 슬로프 등)를 정밀하게 추적하고 분석할 수 있음. - DGS(Dynamic Gate Stress) 테스트 장비(ME100DHTXB)는 고온 환경에서 고주파 AC 게이트 바이어스 스트레스를 인가하여 게이트 산화막(Oxide) 계면의 트랩 현상 및 동적 세부 전계 영향을 평가할 수 있으며, -40 ~ +40V의 넓은 Vgs 전압 대역과 0 ~ 100kHz의 구동 주파수를 지원함.

- DGS 시스템은 1V/ns 이상의 빠른 게이트 전압 상승률(dVgs/dt)을 Overshoot 없이 정밀 제어하며, 스트레스 인가 중 Igss (0.1nA ~ 100mA), Vgs(th) (0 ~ 10V), Duty Cycle (0 ~ 100%)을 실시간 모니터링 및 측정할 수 있는 케이퍼빌리티를 확보함. - DRB(Dynamic Reverse Bias) 테스트 장비(ME100DHTXB)는 소자의 오프(Off) 상태에서 가해지는 고전압 동적 역방향 바이어스 하에서의 소자 신뢰성을 평가하며, 최대 0 ~ 2000V의 Vds 전압 대역과 50V/ns 이상의 드레인 전압 상승률(dVds/dt)을 통해 엣지 터미네이션(Edge Termination)의 전계 집중 및 누설 전류(Idss : 1nA ~ 100mA) 거동을 정밀 트래킹함. - DGS 및 DRB 메인 프레임 시스템은 각각 5대씩 총 10대가 도입되며, 단일 드로어당 TO247 또는 TO220 패키지 소자를 24개씩 장착할 수 있는 전용 슬롯(DHTGB/DHTRB Drawer)을 통해 각 시스템별로 최대 480개의 DUT를 동시 스트레스 평가할 수 있는 대용량 풀 캐파(Full Capacity)를 갖춤. - DH3TRB 가속 수명 테스트 장비(ME100DH3TXB)는 고온·고습 환경 내부에서 동적 역방향 바이어스(Vds 최대 2000V 대역)를 복합 인가할 수 있는 항온항습 다이내믹 시스템(총 3대)으로, 단일 랙당 최대 80pcs의 소자를 수용하여 수분 침투에 따른 패키지 계면 고장 메커니즘을 가속 평가함. - DH3TRB 시스템과 연계되는 Test Area(총 6개 세트, 40개 채널 블록 포함)는 고온고습 가혹 환경 하에서 외부 노이즈 및 습기를 완벽히 차단할 수 있는 특수 절연 패키지 지그 및 기밀 커넥터 블록 인터페이스를 제공하여 평가 데이터의 신뢰성을 극대화함. - 전체 시스템은 실온(RT)부터 최대 200C까지의 고온 영역을 3'C 미만의 우수한 온도 균일도로 제어할 수 있는 챔버 시스템과 내장 안전 인터락 인터페이스를 탑재하고 있으며, 3상 AC 380V, 40kW 레벨의 강력한 전력 인프라를 기반으로 장시간의 연속 가속 수명 시험을 안정적으로 수행할 수 있음. - 본 도입 장비는 고전압·고전류 환경에서 스위칭 동작을 수행하는 차세대 전력반도체 소자의 고질적인 게이트 산화막 불안정성과 고온/고역방향 열화 특성을 실제 시스템 어플리케이션 환경 수준으로 검증하여 구체적인 피지컬 열화 데이터를 확보하는 데 필수적인 핵심 연구 장비임. □ 기타 참고사항(기대효과 등) : 전력반도체 패키지 및 웨이퍼 평가시 업계표준인 AEC-Q101, AQG324, JESD51-1 및 JESD51-14를 만족하는 장비를 사용 2026 년 06 월 11 일 (연구책임자) : 강혜민 (인) 상 세 규 격 서 ⃞ 장비명 : 동적 전압 피로도 평가 장비