스퍼터링 시스템 1SE

요약 AI 요약

박막 증착 연구용 RF 마그네트론 스퍼터링 시스템(Load-lock 포함) 1식을 설계·제작·설치하는 사업이다. Main Chamber, 기판부, RF Cathode, 배기계, Loadlock 챔버, 가스 공급계, 제어부 및 부대설비로 구성된다.

• Main Chamber: Φ450mm×500H, SUS304 수냉 구조, Vertical Cylinder 구동 Front Door, CF 10" 기판 포트·CF 8" 배기 포트·Cathode 포트 3개·CF 2.75" 예비 포트 5개, 8" View Window(Shutter 포함), Shield Plate 및 내부 조명
• Substrate Module: 2" 기판 최대 800℃ 히터, Z축 이송 Manipulator(Stroke 4"), UHV Rotary Motion Feedthrough(수냉형), Pneumatic Shutter
• Cathode Module: RF 전원 600W·13.56MHz·Auto Matching Network 2Set, 2" Magnetron Sputter Gun(Gun Shutter 포함) 2EA, Off-Axis Gun Moving Stage(Stroke 160mm, 모터 구동·제어부 포함)
• Pumping Module: Turbo Molecular Pump 700 L/s, Dry Pump 1,000 L/min, Cold Cathode Gauge·Convectron Gauge, Capacitance Manometer 1 Torr F.S., ISO160 Pneumatic 게이트 밸브, Throttle Valve NW50 및 Controller, Angle Valve NW25·Vent Valve·Vacuum Hose & Clamp
• Loadlock Module: SUS304 OD150×200H 챔버, CF 6" Pneumatic 게이트 밸브, Magnetic Transfer Rod(Travel 500mm), Rotary Pump 200 L/min 및 Low Vacuum Gauge
• Gas Delivery Module·System Control·Frame/부대설비: Ar 100 sccm·O₂ 100 sccm MFC 2EA 및 2채널 Readout, Gas Valve·Regulator·Line & Fitting, PLC 제어·Manual Control Panel·Valve 및 Heater 온도 제어, 진공·냉각수·공압·도어 Safety Interlock, SS41 Ivory 도장 Frame/Rack(1000W×700D×800H, 19" Rack), Chiller 1HP, Air/Water 센서·Solenoid Valve·Manifold

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핵심요약

걸리는 것

추가 자격 요건 · 지역 조건

추가 자격 요건

중소기업·소상공인 확인서 소지, 경상북도에 본점·지점·사업장 소재, 전자입찰 이용자 등록, 결격사유 없음이 참가 자격으로 요구된다.

「중소기업기본법」 제2조에 따른 중소기업자 또는「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」 제2조에 따른 소상공인으로서「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 중기업·소기업·소상공인확인서(전자입찰서 제출마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 함)를 소지한 업체여야 합니다.

우리 기관에서 제시하는 규격, 사양, 조건 등에 따라 납품이 가능한 업체여야 하며, 공고일 전일부터 입찰 마감일까지 법인등기부상 본점 및 지점 소재지(개인사업자인 경우 사업자등록증 또는 관련 법령에 따른 허가, 인가, 면허, 등록, 신고 등의 서류에 기재된 사업장의 소재지)을 경상북도에 둔 업체여야 합니다.

지역 조건

공고일 전일부터 입찰 마감일까지 법인등기부상 본점 및 지점 소재지(개인사업자인 경우 사업자등록증 등에 기재된 사업장 소재지)를 경상북도에 둔 업체여야 한다. 지역 가점이나 지역 인력·장비·공동수급 조건은 없다.

우리 기관에서 제시하는 규격, 사양, 조건 등에 따라 납품이 가능한 업체여야 하며, 공고일 전일부터 입찰 마감일까지 법인등기부상 본점 및 지점 소재지(개인사업자인 경우 사업자등록증 또는 관련 법령에 따른 허가, 인가, 면허, 등록, 신고 등의 서류에 기재된 사업장의 소재지)을 경상북도에 둔 업체여야 합니다.

규격·기술 심사

가격 전 심사 없음

가격을 열기 전에 규격·공급업체·기술 심사를 통과해야 한다는 관문이 문서에 없음. 적격심사는 가격 개찰 후 낙찰자 결정 단계에서 이루어짐.

• 통과선 · 해당 없음 가격 전 심사가 없으므로 통과선 없음.
• 필수 항목·과락 · 해당 없음 가격 전 심사가 없으므로 해당 없음.

예정가격 이하로서 최저가격(낙찰하한율 적용한 제한적 최저가)으로 입찰한 자 순서대로 계약이행능력을 심사하여 종합평점이 85점 이상이면 낙찰자로 결정하며

문서 분석

수행 기간

납품 112일 (계약체결일부터) · 납품(설치 및 시운전 포함) 16주 (계약일부터)

입찰공고문은 계약체결일로부터 112일 이내, 구매사양서는 계약일로부터 16주 이내(설치 및 시운전 포함)로 적고 있음.

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 없음

납 품 기 한 | | 계약체결일로부터 112일 이내

납품기한 : 계약일로부터 16주 이내 (설치 및 시운전 포함)

문서 분석

하자보수

1년

• 기점 · 설치·검수 완료일

  하자보증기간은 검수 완료일로부터 1년으로 한다.

• 보증 기간 정기점검 · 없음

하자보증기간은 검수 완료일로부터 1년으로 한다. (소모품 제외)

문서 분석

공정 장비 종류

스퍼터

본 장비는 RF 마그네트론 스퍼터링 방식의 박막 증착 장비로서

문서 분석

가격

추정가격

130,000,000원

배정예산

143,000,000원

기초금액

143,000,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)

낙찰하한율

86.245%

부가세

13,000,000원

예정가격 방식

복수예가

첨부파일

• HWP · 입찰공고문_ 2026-7694.hwp · 공고규격서
• PDF · 입찰공고문_ 2026-7694.pdf · 공고규격서
• PDF · 물품명세서.pdf · 공고규격서
• HWP · RF_Sputter_구매사양서.hwp · 공고규격서
• PDF · RF_Sputter_구매사양서.pdf · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

납품

납품

계약 후 112일
문서: 수행 기간 · 납품 112일 (계약체결일부터) · 납품(설치 및 시운전 포함) 16주 (계약일부터)

품명

실험실용공급기기 (4110412701)

세부품명 등록

아니오

제조물품

아니오
문서: 직접 생산 · 없음

수량

1 SET
문서: 일의 분량 · 1식

인도조건

설치까지 · 현장설치도
문서: 일의 끝 · 설치·시운전·가동까지

참가 자격 · 제한

지역제한

경상북도
문서: 지역 조건 · 필수 · 못 맞추면 탈락

업종제한

제한 없음
문서: 업종·면허 조합 · 한 업종
문서: 설치 공사업 면허 · 없음

제출 방법

전자입찰
문서: 입찰 전 절차 · 따로 없음(나라장터만)

실적경쟁 · PQ

모름
문서: 실적 · 없음

공동수급

공동수급불허
문서: 공동수급 · 모름

입찰참가 제한

모름

국제입찰

국내입찰

입찰 일정

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · RF 스퍼터링 시스템 설계·제작·설치·시운전 일괄

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

RF 마그네트론 스퍼터링 박막 증착 장비를 설계·제작·설치·시운전까지 공급하는 반도체·박막 공정장비 구매다.

• Main Chamber Module 제작
• Substrate Module(기판 히터·Z축 이송·회전·셔터)
• Cathode Module(RF 전원·Sputter Gun·Off-Axis 스테이지)
• Pumping Module(터보·드라이펌프·게이지·밸브)
• Loadlock Chamber Module
• Gas Delivery Module(MFC·가스라인)
• System Control Module(PLC·인터락)
• System Frame & Control Rack
• Chiller 1HP 및 Utility
• 운송·반입·설치·배관배선 연결
• 시운전 및 성능 검수
• 사용자 교육 1회 이상
• 하자보증 1년 무상수리
• 장비 배치도·전기배관 도면·매뉴얼·시험성적서 제출

걸리는 것 · 입찰 전 할 일

걸리는 조건

추가 자격 요건

중소기업·소상공인 확인서 소지, 경상북도에 본점·지점·사업장 소재, 전자입찰 이용자 등록, 결격사유 없음이 참가 자격으로 요구된다.

「중소기업기본법」 제2조에 따른 중소기업자 또는「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」 제2조에 따른 소상공인으로서「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 중기업·소기업·소상공인확인서(전자입찰서 제출마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 함)를 소지한 업체여야 합니다.

우리 기관에서 제시하는 규격, 사양, 조건 등에 따라 납품이 가능한 업체여야 하며, 공고일 전일부터 입찰 마감일까지 법인등기부상 본점 및 지점 소재지(개인사업자인 경우 사업자등록증 또는 관련 법령에 따른 허가, 인가, 면허, 등록, 신고 등의 서류에 기재된 사업장의 소재지)을 경상북도에 둔 업체여야 합니다.

지역 조건

공고일 전일부터 입찰 마감일까지 법인등기부상 본점 및 지점 소재지(개인사업자인 경우 사업자등록증 등에 기재된 사업장 소재지)를 경상북도에 둔 업체여야 한다. 지역 가점이나 지역 인력·장비·공동수급 조건은 없다.

우리 기관에서 제시하는 규격, 사양, 조건 등에 따라 납품이 가능한 업체여야 하며, 공고일 전일부터 입찰 마감일까지 법인등기부상 본점 및 지점 소재지(개인사업자인 경우 사업자등록증 또는 관련 법령에 따른 허가, 인가, 면허, 등록, 신고 등의 서류에 기재된 사업장의 소재지)을 경상북도에 둔 업체여야 합니다.

더 확인할 것

기성품·주문제작

이럴 때 꼭 봅니다 — 주문제작 · 설계부터 우리가

설계부터 우리가(새로 개발)

공급자가 세부 규격에 따라 장비를 설계·제작·설치해야 하며, 주요 구성품은 구매자와 협의하여 동등 사양으로 대체할 수 있다.

• 시스템 통합 · 그렇다 Main Chamber, 기판부, RF Cathode, 배기계, Loadlock, 가스 공급계, 제어부, 부대설비를 하나의 시스템으로 구성한다.

  본 장비는 RF 마그네트론 스퍼터링 방식의 박막 증착 장비로서 Main Chamber, 기판부, RF Cathode(2 Gun), 배기계, Loadlock 챔버, 가스 공급계, 제어부 및 부대설비로 구성되며

공급자는 아래 세부 규격에 따라 장비를 설계·제작·설치하여야 한다.

나. 주요 구성품은 구매자와 협의하여 동등 사양의 제품으로 대체할 수 있다.

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

물품명세서(규격서) 상의 제조사 및 모델명은 참고용이며, 동등 이상인 경우 입증자료를 제출해야 함. 입증자료 미제출 또는 보완 요청 미응 시 선순위 자격에서 배제됨.

• 동등 입증 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 동등 이상 입증자료를 언제까지 제출·보완해야 하는지에 대한 시점이 명시되지 않음.

물품명세서(규격서) 상의 제조사 및 모델명은 참고용입니다. 계약상대자가 공급하고자 하는 물품의 규격·품질 등이 참고용 모델보다 동등 이상인 경우 계약상대자는 특정된 조건(호환성 등)을 충족하는 입증자료(가격 및 시험 분석 증빙서류, 성능시험 성적서 등)를 반드시 제출해야 하며, 입증자료에 대한 책임도 계약상대자에게 있습니다.

입증자료를 제출하지 못하거나, 제출했다하더라도 연구원 측 보완 요청에 기한 내 응하지 않을 경우 선순위 자격에서 배제됩니다.

합격선

숫자 기준 있음

도달 진공도 1.0 × 10⁻⁷ Torr 이하, 기판 온도 상온~800℃ 및 설정 온도 대비 ±10℃ 이내, 박막 균일도 2" 기판 기준 두께 균일도 3% 이내, RF 전원 600W 출력 시 반사 전력 10% 이하 등 성능 수치가 있음.

• 따를 표준·지침 · 해당 없음 따르라고 지정한 표준·지침·법령·양식·방법론이 문서에 없음.

가. 도달 진공도 : Main Chamber 1.0 × 10⁻⁷ Torr 이하

나. 기판 온도 : 상온 ~ 800℃, 설정 온도 대비 ±10℃ 이내

다. 박막 균일도 : 2" 기판 기준 두께 균일도 3% 이내

마. RF 전원 : 600W 출력 시 자동 정합, 반사 전력 10% 이하

참가 범위

공개 경쟁

제한경쟁(총액)으로, 중소기업자·소상공인이고 경상북도에 본점·지점을 둔 업체 등 자격을 갖추면 참여 가능하다.

**2. 계약방법 : 제한경쟁(총액), 적격심사**

라. 우리 기관에서 제시하는 규격, 사양, 조건 등에 따라 납품이 가능한 업체여야 하며, 공고일 전일부터 입찰 마감일까지 법인등기부상 본점 및 지점 소재지(개인사업자인 경우 사업자등록증 또는 관련 법령에 따른 허가, 인가, 면허, 등록, 신고 등의 서류에 기재된 사업장의 소재지)을 경상북도에 둔 업체여야 합니다.

현장 여건

전원·냉각수·압축공기·공정가스 등 1차 유틸리티는 구매자가 제공하며, 연결점 이후 작업은 공급자가 수행한다. 공급자는 장비의 운송, 반입, 설치, 배관·배선 연결 및 시운전을 수행한다. 위험작업에 대한 별도 기재는 없음.

1차 유틸리티는 구매자 제공, 연결점 이후는 공급자 부담. 별도 위험작업 언급 없음.

• 부대공사·현장 준비 · 발주처 부담 1차 유틸리티(전원·냉각수·압축공기·공정가스)는 구매자 제공, 연결점 이후는 공급자 수행.

  전원·냉각수·압축공기·공정가스 등 1차 유틸리티는 구매자가 제공하며, 연결점 이후 작업은 공급자가 수행한다.

• 위험작업 · 없음

전원·냉각수·압축공기·공정가스 등 1차 유틸리티는 구매자가 제공하며, 연결점 이후 작업은 공급자가 수행한다.

공급자는 장비의 운송, 반입, 설치, 배관·배선 연결 및 시운전을 수행한다.

시안 승인

1회

납품 전 장비 배치도 및 소요 유틸리티 사양을 제출하여 구매자와 협의. 수정 횟수 규정 없음.

• 수정 횟수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 규정 없음
• 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 규정 없음

다. 공급자는 납품 전 장비 배치도 및 소요 유틸리티 사양을 제출하여 구매자와 협의한다.

공장 실사·입회

납품 전 검사

설치 완료 후 구매자 입회 하에 검수. 계약 전 실사·제작 중 입회는 없음.

가. 설치 완료 후 구매자 입회 하에 본 규격서의 세부 규격 및 성능 요건 충족 여부를 확인한다.

교육·기술이전

1회 이상

• 무상 · 우리 부담(대가 안)

장비 운용 및 유지보수에 관한 사용자 교육을 1회 이상 실시한다.

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

2inch

성능 기준

박막 균일도 : 2" 기판 기준 두께 균일도 3% 이내

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

10/07(수)

공고번호

R26BK01759474-000

참조번호

2026-7694

공고기관

한국원자력연구원

수요기관

한국원자력연구원

계약방법

제한경쟁

낙찰방법

적격심사제

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

130,000,000원

배정예산

143,000,000원

사전규격번호

R26BD00279932

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 분석 전체

이 분야에서 갈리는 것 · 우리가 만드는 공정 방식·기판 크기인가, 주문제작을 150일 안에 끝낼 수 있나, 기술평가 85점을 넘나, 3년 품질보증을 감당하나에서 갈린다.

질문 87개 · 꼭 5 · 좋음 18 · 안 봐도 됨 64

주제 · 참가 자격 9개

업종·면허 조합

한 업종

참가 자격은 국가계약법령 자격, 전자입찰 등록, 중소기업·소상공인 확인서 소지, 경상북도 소재, 결격사유 없음 등이며, 업종 등록·면허를 여럿 요구하지 않는다. 물품 제조·구매 입찰로 별도 업종 코드 관계는 없다.

• 코드 밖 자격 · 벽 · 못 맞추면 탈락 중소기업·소상공인 확인서 소지, 경상북도에 본점·지점·사업장 소재, 전자입찰 이용자 등록, 결격사유 없음이 참가 자격으로 요구된다.

  「중소기업기본법」 제2조에 따른 중소기업자 또는「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」 제2조에 따른 소상공인으로서「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 중기업·소기업·소상공인확인서(전자입찰서 제출마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 함)를 소지한 업체여야 합니다.

  우리 기관에서 제시하는 규격, 사양, 조건 등에 따라 납품이 가능한 업체여야 하며, 공고일 전일부터 입찰 마감일까지 법인등기부상 본점 및 지점 소재지(개인사업자인 경우 사업자등록증 또는 관련 법령에 따른 허가, 인가, 면허, 등록, 신고 등의 서류에 기재된 사업장의 소재지)을 경상북도에 둔 업체여야 합니다.

「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제12조 및 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행규칙」 제14조의 자격을 구비하여야 합니다.

국가종합전자조달시스템(G2B)를 이용한 전자입찰로 진행하므로 전자입찰 이용자로 등록된 업체만 입찰에 참가 가능합니다.

지역 조건

벽 · 못 맞추면 탈락

공고일 전일부터 입찰 마감일까지 법인등기부상 본점 및 지점 소재지(개인사업자인 경우 사업자등록증 등에 기재된 사업장 소재지)를 경상북도에 둔 업체여야 한다. 지역 가점이나 지역 인력·장비·공동수급 조건은 없다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 지역 조건은 참가 자격(벽)이며 평가표의 점수 차는 문서에 없다.
• 대상 · 본점·사업장 · 지사·영업소 법인등기부상 본점 및 지점 소재지, 개인사업자의 사업장 소재지를 경상북도에 두어야 한다.

  우리 기관에서 제시하는 규격, 사양, 조건 등에 따라 납품이 가능한 업체여야 하며, 공고일 전일부터 입찰 마감일까지 법인등기부상 본점 및 지점 소재지(개인사업자인 경우 사업자등록증 또는 관련 법령에 따른 허가, 인가, 면허, 등록, 신고 등의 서류에 기재된 사업장의 소재지)을 경상북도에 둔 업체여야 합니다.

우리 기관에서 제시하는 규격, 사양, 조건 등에 따라 납품이 가능한 업체여야 하며, 공고일 전일부터 입찰 마감일까지 법인등기부상 본점 및 지점 소재지(개인사업자인 경우 사업자등록증 또는 관련 법령에 따른 허가, 인가, 면허, 등록, 신고 등의 서류에 기재된 사업장의 소재지)을 경상북도에 둔 업체여야 합니다.

실적

없음

참가 자격이나 적격심사에서 유사 실적을 요구하는 문장이 없다. 적격심사는 조달청 물품구매적격심사 세부기준을 적용한다고만 적혀 있다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 실적 점수 차는 문서에 없다.
• 조건 · 없음 실적 인정 범위를 정한 문장이 없다.

업력

없음

업력을 참가 조건이나 점수로 보는 문장이 없다.

• 요구 업력 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 요구 업력이 문서에 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 업력 점수 차는 문서에 없다.

공동수급

모름 · 문서로 확인 안 됨

공동수급 허용·금지를 적은 문장이 없다. 공동계약은 일반조건·계약예규가 정하는 일이다.

• 자격을 나눠 채우기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공동수급 자격 분담에 관한 문장이 없다.

회사 규모·신분

중소기업만 · 소기업·소상공인만

중소기업자 또는 소상공인으로서 중기업·소기업·소상공인확인서를 소지한 업체여야 한다.

「중소기업기본법」 제2조에 따른 중소기업자 또는「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」 제2조에 따른 소상공인으로서「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 중기업·소기업·소상공인확인서(전자입찰서 제출마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 함)를 소지한 업체여야 합니다.

안전보건수준평가

없음

안전보건수준평가 대상 사업이라고 적은 문장이 없다.

하도급

모름 · 문서로 확인 안 됨

하도급 허용·금지를 적은 문장이 없다. 하도급은 법·일반조건이 정하는 일이다.

• 하도급 한도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급 한도가 문서에 없다.

직접 생산

없음

직접생산확인증명서 소지나 직접 제조 의무를 참가 자격·제품 조건으로 요구하는 문장이 없다. 물품명세서(규격서) 상의 제조사 및 모델명은 참고용이다.

• 참가 등록 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 참가 등록을 제조로만 또는 제조·공급 모두로 정한 문장이 없다.
• 직생 범위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 직접생산확인 요구가 없어 범위를 정한 문장이 없다.
• 대상 · - 직접 제조·직생·한 제조사 제품 조건이 없다.

물품명세서(규격서) 상의 제조사 및 모델명은 참고용입니다.

주제 · 제품 규격·인증 9개

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

물품명세서(규격서) 상의 제조사 및 모델명은 참고용이며, 동등 이상인 경우 입증자료를 제출해야 함. 입증자료 미제출 또는 보완 요청 미응 시 선순위 자격에서 배제됨.

• 동등 입증 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 동등 이상 입증자료를 언제까지 제출·보완해야 하는지에 대한 시점이 명시되지 않음.

물품명세서(규격서) 상의 제조사 및 모델명은 참고용입니다. 계약상대자가 공급하고자 하는 물품의 규격·품질 등이 참고용 모델보다 동등 이상인 경우 계약상대자는 특정된 조건(호환성 등)을 충족하는 입증자료(가격 및 시험 분석 증빙서류, 성능시험 성적서 등)를 반드시 제출해야 하며, 입증자료에 대한 책임도 계약상대자에게 있습니다.

입증자료를 제출하지 못하거나, 제출했다하더라도 연구원 측 보완 요청에 기한 내 응하지 않을 경우 선순위 자격에서 배제됩니다.

제조사 확약서

없음

제조사나 공식 공급원에게서 받아 와야 하는 서류(공급 확약서, 기술지원·A/S 확약서, 대리점·총판·공식 파트너 지위, 제조자·공급자 증명서, 정품보증서·정품확인서, 수입신고필증 등)에 대한 요구가 문서에 없음.

• 대상 · - 해당 서류 요구 없음.
• 조건 · 없음 제조사면 면제 조건 없음.

제품 인증

없음

납품 제품·장비에 요구하는 인증·허가·시험성적서가 문서에 없음. 검수 시 시험성적서 제출은 있으나 이는 인증·성적서 자체를 요구하는 것이 아님.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 없음.
• 대상 · - 해당 없음.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 인증·성적서 요구가 없어 조건을 판단할 수 없음.

원산지(국산)

모름 · 문서로 확인 안 됨

원산지 제한에 대한 문구가 문서에 없음.

합격선

숫자 기준 있음

도달 진공도 1.0 × 10⁻⁷ Torr 이하, 기판 온도 상온~800℃ 및 설정 온도 대비 ±10℃ 이내, 박막 균일도 2" 기판 기준 두께 균일도 3% 이내, RF 전원 600W 출력 시 반사 전력 10% 이하 등 성능 수치가 있음.

• 따를 표준·지침 · 해당 없음 따르라고 지정한 표준·지침·법령·양식·방법론이 문서에 없음.

가. 도달 진공도 : Main Chamber 1.0 × 10⁻⁷ Torr 이하

나. 기판 온도 : 상온 ~ 800℃, 설정 온도 대비 ±10℃ 이내

다. 박막 균일도 : 2" 기판 기준 두께 균일도 3% 이내

마. RF 전원 : 600W 출력 시 자동 정합, 반사 전력 10% 이하

등록 제품

없음

제품이 미리 정해진 목록·지정에 올라 있거나 제품(모델) 자체의 실적이 있어야 한다는 요구가 문서에 없음.

• 대상 · - 해당 없음.

신품·제조 시기

없음

신품·최근 생산품·유효기간·단종 예정 모델 등에 대한 요구가 문서에 없음.

• 제조 뒤 경과 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 조건 없음.
• 남은 유효기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 조건 없음.

규격·기술 심사

가격 전 심사 없음

가격을 열기 전에 규격·공급업체·기술 심사를 통과해야 한다는 관문이 문서에 없음. 적격심사는 가격 개찰 후 낙찰자 결정 단계에서 이루어짐.

• 통과선 · 해당 없음 가격 전 심사가 없으므로 통과선 없음.
• 필수 항목·과락 · 해당 없음 가격 전 심사가 없으므로 해당 없음.

예정가격 이하로서 최저가격(낙찰하한율 적용한 제한적 최저가)으로 입찰한 자 순서대로 계약이행능력을 심사하여 종합평점이 85점 이상이면 낙찰자로 결정하며

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

따로 없음

입찰 때 제품이 규격을 맞춘다는 것을 보여야 한다는 증빙 자료 제출 요구가 문서에 없음. 다만 동등 이상 제품으로 대체할 경우 입증자료를 제출해야 한다는 조항은 있음.

• 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 입찰 서류 보완에 대한 명시적 규정이 없음.

물품명세서(규격서) 상의 제조사 및 모델명은 참고용입니다. 계약상대자가 공급하고자 하는 물품의 규격·품질 등이 참고용 모델보다 동등 이상인 경우 계약상대자는 특정된 조건(호환성 등)을 충족하는 입증자료(가격 및 시험 분석 증빙서류, 성능시험 성적서 등)를 반드시 제출해야 하며, 입증자료에 대한 책임도 계약상대자에게 있습니다.

주제 · 입찰 절차 9개

참가 범위

공개 경쟁

제한경쟁(총액)으로, 중소기업자·소상공인이고 경상북도에 본점·지점을 둔 업체 등 자격을 갖추면 참여 가능하다.

**2. 계약방법 : 제한경쟁(총액), 적격심사**

라. 우리 기관에서 제시하는 규격, 사양, 조건 등에 따라 납품이 가능한 업체여야 하며, 공고일 전일부터 입찰 마감일까지 법인등기부상 본점 및 지점 소재지(개인사업자인 경우 사업자등록증 또는 관련 법령에 따른 허가, 인가, 면허, 등록, 신고 등의 서류에 기재된 사업장의 소재지)을 경상북도에 둔 업체여야 합니다.

여러 과제로 나뉨

나뉘지 않음

단일 입찰건으로 스퍼터링 시스템 1SE를 1식 납품한다.

| 입 찰 건 명 | | 스퍼터링 시스템 1SE | | |

1 SE 1 입자빔이용연구부 박준규 054-750-5308

입찰 전 절차

따로 없음(나라장터만)

전자입찰로 별도 입찰참가신청은 하지 않으며, 입찰서는 나라장터로 제출한다.

가. 본 입찰은 전자입찰로서 별도의 입찰참가신청을 하지 않아도 되나, 입찰보증금은 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제37조에서 정한 금액(입찰금액의 100분의 2.5 이상)과 방법[동법 시행령 제37조 제2항 각호의 1에 해당하는 보증서]으로 납부하여야 하며,지급각서로는 제출이 불가합니다.

전자입찰서는 반드시 지정된 기간 내에 조달청 국가종합전자조달시스템(G2B)을 통하여 제출

현장설명회

없음

현장설명회나 현장 답사에 관한 내용이 문서에 없다.

정정·재공고 변경

해당 없음(첫 공고)

재공고·정정 공고라는 내용이 없다.

낙찰 업체 수

한 업체가 전량

스퍼터링 시스템 1SE 1식을 한 업체가 낙찰받는다.

1 SE 1 입자빔이용연구부 박준규 054-750-5308

MAS 2단계경쟁

아니다

다수공급자계약(MAS)·종합쇼핑몰 2단계경쟁 구조가 아니고, 제한경쟁(총액) 적격심사로 낙찰자를 정한다.

**2. 계약방법 : 제한경쟁(총액), 적격심사**

입찰보증금

실제로 낸다(보증서·현금)

입찰보증금은 입찰금액의 100분의 2.5 이상을 보증서로 납부해야 하며 지급각서로는 제출할 수 없다. 계약·하자 보증 비율은 공고 본문에 없다.

• 입찰보증금 비율 · 2.5% 이상 입찰금액의 100분의 2.5 이상

  입찰보증금은 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제37조에서 정한 금액(입찰금액의 100분의 2.5 이상)과 방법[동법 시행령 제37조 제2항 각호의 1에 해당하는 보증서]으로 납부하여야 하며,지급각서로는 제출이 불가합니다.

• 계약·하자 보증 비율 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공고 본문에 계약보증금·하자보수보증금 비율이 적혀 있지 않다.

가. 본 입찰은 전자입찰로서 별도의 입찰참가신청을 하지 않아도 되나, 입찰보증금은 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제37조에서 정한 금액(입찰금액의 100분의 2.5 이상)과 방법[동법 시행령 제37조 제2항 각호의 1에 해당하는 보증서]으로 납부하여야 하며,지급각서로는 제출이 불가합니다.

문서끼리 다른 곳

아니다

문서 간에 같은 대상을 다르게 적은 값이 없다.

주제 · 과업 범위 11개

다른 업 섞임

섞이지 않음

RF 스퍼터링 시스템 1식의 설계·제작·설치·시운전만 요구되며, 다른 면허·공종·품목의 일은 문서에 없다.

공급자는 아래 세부 규격에 따라 장비를 설계·제작·설치하여야 한다.

공급자는 장비의 운송, 반입, 설치, 배관·배선 연결 및 시운전을 수행한다.

하는 일

RF 마그네트론 스퍼터링 방식 박막 증착 장비(RF Sputtering System, Load-lock 포함) 1식을 설계·제작·설치·시운전까지 공급하는 일이다. Main Chamber, 기판부, RF Cathode(2 Gun), 배기계, Loadlock 챔버, 가스 공급계, 제어부 및 부대설비로 구성되며, 도달 진공도 1.0×10⁻⁷ Torr 이하, 기판 온도 상온~800℃(±10℃ 이내), 2" 기판 두께 균일도 3% 이내 등의 성능을 충족해야 한다.

박막 증착 연구용 RF 스퍼터링 시스템 1식

본 장비는 RF 마그네트론 스퍼터링 방식의 박막 증착 장비로서 Main Chamber, 기판부, RF Cathode(2 Gun), 배기계, Loadlock 챔버, 가스 공급계, 제어부 및 부대설비로 구성되며, 공급자는 아래 세부 규격에 따라 장비를 설계·제작·설치하여야 한다.

가. 도달 진공도 : Main Chamber 1.0 × 10⁻⁷ Torr 이하

나. 기판 온도 : 상온 ~ 800℃, 설정 온도 대비 ±10℃ 이내

다. 박막 균일도 : 2" 기판 기준 두께 균일도 3% 이내

기존 시스템과 이어짐

없음(새로 하는 독립된 일)

기존 시스템·설비와의 연동, 기존 제조사 제품 묶임, 연속 사업, 연동 SW 개발, 상대편 연동 작업·비용 부담에 관한 내용이 문서에 없다.

설치 공사업 면허

없음

전기·정보통신·수도·소방 등 법상 공사업 면허를 참가자격이나 계약 조건으로 요구하는 문장이 문서에 없다. 배관·배선 연결은 공급자 수행으로만 적혀 있다.

• 대상 · - 해당하는 공사업 종류가 문서에 적혀 있지 않다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급·공동수급·직접 시공에 관한 조건이 문서에 없다.

일의 끝

설치·시운전·가동까지

운송·반입·설치·배관·배선 연결 및 시운전을 공급자가 수행하고, 설치 완료 후 구매자 입회 하에 검수한다.

• 시험운영 기간 · 정해지지 않음 시운전 이후 넘기기 전까지의 시험운영·안정화 기간이 문서에 정해지지 않았다.

가. 공급자는 장비의 운송, 반입, 설치, 배관·배선 연결 및 시운전을 수행한다.

가. 설치 완료 후 구매자 입회 하에 본 규격서의 세부 규격 및 성능 요건 충족 여부를 확인한다.

기성품·주문제작

설계부터 우리가(새로 개발)

공급자가 세부 규격에 따라 장비를 설계·제작·설치해야 하며, 주요 구성품은 구매자와 협의하여 동등 사양으로 대체할 수 있다.

• 시스템 통합 · 그렇다 Main Chamber, 기판부, RF Cathode, 배기계, Loadlock, 가스 공급계, 제어부, 부대설비를 하나의 시스템으로 구성한다.

  본 장비는 RF 마그네트론 스퍼터링 방식의 박막 증착 장비로서 Main Chamber, 기판부, RF Cathode(2 Gun), 배기계, Loadlock 챔버, 가스 공급계, 제어부 및 부대설비로 구성되며

공급자는 아래 세부 규격에 따라 장비를 설계·제작·설치하여야 한다.

나. 주요 구성품은 구매자와 협의하여 동등 사양의 제품으로 대체할 수 있다.

함께 넘길 물품

본 규격서에 명시되지 않은 사항이라도 장비의 정상 운용에 필요한 부품 및 작업은 공급자 부담으로 한다.

정상 운용에 필요한 부품을 공급자 부담으로 포함한다는 조항 외에 구체적인 예비품·소모품 목록은 없다.

가. 본 규격서에 명시되지 않은 사항이라도 장비의 정상 운용에 필요한 부품 및 작업은 공급자 부담으로 한다.

철거·폐기

없음

기존 장비·시설의 철거·이설·폐기·반납이나 폐기물·포장재 회수에 관한 내용이 문서에 없다.

부가 작업

장비 운용 및 유지보수에 관한 사용자 교육 1회 이상, 장비 배치도 및 전기·배관 도면, 사용자 매뉴얼, 검수 시험성적서 제출

납품·설치 본체 외에 교육과 서류 제출이 부가 작업으로 요구된다.

다. 장비 운용 및 유지보수에 관한 사용자 교육을 1회 이상 실시한다.

가. 장비 배치도 및 전기·배관 도면

나. 사용자 매뉴얼

다. 검수 시험성적서

디자인 몫

해당 없음

디자인·편집·원고 작업이 이 공고에 없다.

묶인 품목 수

12종

물품명세서에 Main Chamber Module, Substrate Module, Cathode Module, Pumping Module, Loadlock Chamber Module, Gas Delivery Module, System Control Module, System Frame & Control Rack, Chiller 1HP, Utility, System Design·Composition Test Cost, etc expense & setup의 12개 항목이 1 SE로 묶여 있다.

• 제조사 수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 물품명세서(규격서) 상의 제조사 및 모델명은 참고용이라고 적혀 있어 제조사를 하나로 정한 것으로 볼 수 없다.

  라. 물품명세서(규격서) 상의 제조사 및 모델명은 참고용입니다.

1. Main Chamber Module

2. Substrate Module

3. Cahode Module

4. Puming Module

5. Loadlock Chamber Module

6. Gas Delivery Module

7. System Control Module

8. System Frame & Control Rack

9. Chiller 1HP

10. Utility

11. Syatem Design,Composition Test Cost

12. etc expense & setup

주제 · 납품 일정·현장 11개

일의 분량

1식

RF Sputtering System(Load-lock 포함) 1식. 물품명세서상 수량 1 SE. 세부 구성은 Main Chamber, Substrate, Cathode(2 Gun), Pumping, Loadlock, Gas Delivery, System Control, Frame/Rack, Chiller 1HP, Utility 등.

• 열린 분량 · 정해짐 수량이 1식으로 정해져 있음.

  수 량 : 1식

품 명 : RF Sputtering System (Load-lock 포함)

수 량 : 1식

1 SE 1

수행 기간

납품 112일 (계약체결일부터) · 납품(설치 및 시운전 포함) 16주 (계약일부터)

입찰공고문은 계약체결일로부터 112일 이내, 구매사양서는 계약일로부터 16주 이내(설치 및 시운전 포함)로 적고 있음.

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 없음

납 품 기 한 | | 계약체결일로부터 112일 이내

납품기한 : 계약일로부터 16주 이내 (설치 및 시운전 포함)

현장·납품지

1곳

연구원 지정장소에서 검수 완료 후 설치까지 완료. 구체적 장소명은 문서에 없음.

• 열린 분량 · 정해짐 연구원 지정장소 1곳.

  본 공고의 물품은 연구원 지정장소에서 검수가 완료된 후 설치까지 완료 되어야 합니다.

• 범위 · 없음(국내 보통 현장) 국내 연구원 지정장소.

인도조건에 따라, 본 공고의 물품은 연구원 지정장소에서 검수가 완료된 후 설치까지 완료 되어야 합니다.

현장 여건

전원·냉각수·압축공기·공정가스 등 1차 유틸리티는 구매자가 제공하며, 연결점 이후 작업은 공급자가 수행한다. 공급자는 장비의 운송, 반입, 설치, 배관·배선 연결 및 시운전을 수행한다. 위험작업에 대한 별도 기재는 없음.

1차 유틸리티는 구매자 제공, 연결점 이후는 공급자 부담. 별도 위험작업 언급 없음.

• 부대공사·현장 준비 · 발주처 부담 1차 유틸리티(전원·냉각수·압축공기·공정가스)는 구매자 제공, 연결점 이후는 공급자 수행.

  전원·냉각수·압축공기·공정가스 등 1차 유틸리티는 구매자가 제공하며, 연결점 이후 작업은 공급자가 수행한다.

• 위험작업 · 없음

전원·냉각수·압축공기·공정가스 등 1차 유틸리티는 구매자가 제공하며, 연결점 이후 작업은 공급자가 수행한다.

공급자는 장비의 운송, 반입, 설치, 배관·배선 연결 및 시운전을 수행한다.

작업 시기

제약 없음

일할 수 있는 때에 대한 제약이 문서에 없음.

다른 일정에 묶임

아니다

나눠 납품

한 번에 전량

납품기한 하나만 적혀 있고 나눠 납품하라는 내용이 없음.

• 분할납품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 일반조건에만

납품기한 : 계약일로부터 16주 이내 (설치 및 시운전 포함)

보관 조건

없음

• 대상 · -

주문 뒤 납품 시한

모름 · 문서로 확인 안 됨

주문(납품요구) 후 납품 시한에 대한 별도 규정 없음. 납품기한은 계약일로부터 16주(또는 112일) 이내.

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

포장·표시

포장 단위나 제품 표시·라벨 요구에 대한 내용이 문서에 없음.

보안 조치

없음

일반 보안 문구만 있고 이 일에 대한 구체적 보안 조치 없음.

• 크기 · -
• 대상 · -

주제 · 견본·검사·검수 7개

검수

발주처 검수만

설치 완료 후 구매자 입회 하에 규격·성능 충족 여부를 확인하고, 미달 시 무상 조치 후 재검수. 외부 기관 심의·승인·검사·감리·성과심사는 없음.

가. 설치 완료 후 구매자 입회 하에 본 규격서의 세부 규격 및 성능 요건 충족 여부를 확인한다.

나. 규격 미달 시 공급자는 무상으로 조치한 후 재검수를 받는다.

샘플·시안 선제출

없음

입찰·제안·규격평가 단계에서 시안·샘플·견본·시연·성능시험을 미리 내라는 요구 없음. 다만 계약상대자가 참고용 모델보다 동등 이상임을 입증하려면 시험 분석 증빙서류·성능시험 성적서를 제출해야 하며, 미제출 시 선순위 자격에서 배제됨.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 배점 없음
• 대상 · - 해당 없음

라. 물품명세서(규격서) 상의 제조사 및 모델명은 참고용입니다. 계약상대자가 공급하고자 하는 물품의 규격·품질 등이 참고용 모델보다 동등 이상인 경우 계약상대자는 특정된 조건(호환성 등)을 충족하는 입증자료(가격 및 시험 분석 증빙서류, 성능시험 성적서 등)를 반드시 제출해야 하며, 입증자료에 대한 책임도 계약상대자에게 있습니다. 입증자료를 제출하지 못하거나, 제출했다하더라도 연구원 측 보완 요청에 기한 내 응하지 않을 경우 선순위 자격에서 배제됩니다.

시험·검사

시험·검사 없음

이 공고·규격서가 정한 품질 시험·검사·분석은 없음. 검수 시 시험성적서 제출과 구매자 입회 확인만 있음.

• 시험 단위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험 없음
• 시험 장소 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험 없음

다. 검수 시험성적서

시안 승인

1회

납품 전 장비 배치도 및 소요 유틸리티 사양을 제출하여 구매자와 협의. 수정 횟수 규정 없음.

• 수정 횟수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 규정 없음
• 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 규정 없음

다. 공급자는 납품 전 장비 배치도 및 소요 유틸리티 사양을 제출하여 구매자와 협의한다.

공장 실사·입회

납품 전 검사

설치 완료 후 구매자 입회 하에 검수. 계약 전 실사·제작 중 입회는 없음.

가. 설치 완료 후 구매자 입회 하에 본 규격서의 세부 규격 및 성능 요건 충족 여부를 확인한다.

이 공고가 군수품 조달인가 — 국방부·각 군이…

아니다

수요기관은 한국원자력연구원이며 군수품 특수조건·국방규격·군 검사 등 군 전용 절차 없음.

군수품이면 납품 검사·검수는 누가 하나 — 수…

해당 없음

군수품 조달이 아님

• 품질보증형태 · 해당 없음 군수품 아님

주제 · 인력·A/S·하자 대응 8개

장비·시설 보유

없음

• 갖출 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

인력 자격

해당 없음

• 크기 · -
• 대상 · -

출동 시한

의무 · 계약 뒤 지킬 일

장애 발생 시 신속히 대응

• 도착 시한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

보증기간 내 제조상 결함에 대하여 무상 수리하며, 장애 발생 시 신속히 대응한다.

처리 시한

정해지지 않음

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

교육·기술이전

1회 이상

• 무상 · 우리 부담(대가 안)

장비 운용 및 유지보수에 관한 사용자 교육을 1회 이상 실시한다.

하자보수

1년

• 기점 · 설치·검수 완료일

  하자보증기간은 검수 완료일로부터 1년으로 한다.

• 보증 기간 정기점검 · 없음

하자보증기간은 검수 완료일로부터 1년으로 한다. (소모품 제외)

단종 뒤 부품 공급

해당 없음

A/S 조직·인력

없음

장비의 운송, 반입, 설치, 배관·배선 연결 및 시운전을 수행함

• 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

공급자는 장비의 운송, 반입, 설치, 배관·배선 연결 및 시운전을 수행한다.

주제 · 가격·대금·계약 조건 11개

총액·단가 방식

총액

• 정산 · 확정 금액
• 단가 조정 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

2. 계약방법 : 제한경쟁(총액), 적격심사

물량 변동

확정

구매사양서에 세부 규격과 수량이 명시되어 있음

3. 세부 규격

물품명세서(규격서) 상의 제조사 및 모델명은 참고용입니다. 계약상대자가 공급하고자 하는 물품의 규격·품질 등이 참고용 모델보다 동등 이상인 경우 계약상대자는 특정된 조건(호환성 등)을 충족하는 입증자료...를 반드시 제출해야 하며

발주처 단가 기준

적혀 있지 않음

계약 상대

공고 낸 기관 직접

그대로 넘길 돈

아니다

• 넘길 돈 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 투찰 때 반영 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

견적 근거

물량·목록만 공개

물품명세서 및 구매사양서의 세부 규격과 수량이 공개되어 있으나 단가는 없음

• 이윤 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

물품명세서

3. 세부 규격

대금 받는 때

끝난 뒤 한 번에

검수 완료 후 설치까지 완료되어야 함

• 선금 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 지급 기한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

마. 인도조건에 따라, 본 공고의 물품은 연구원 지정장소에서 검수가 완료된 후 설치까지 완료 되어야 합니다.

공채·채권

모름 · 문서로 확인 안 됨

보험 가입

없음

• 보상 한도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 보험료 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 대상 · -

계약 변동 가능

아니다

• 바뀔 수 있는 것 · 해당 없음

부가세 과세

모름 · 문서로 확인 안 됨

• 투찰가에 부가세 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

뽑는 방식 · 입찰 방식 7개

회사 속성 우대

모름 · 문서로 확인 안 됨

• 우대 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

신용등급·경영상태

감점 · 점수에 반영

조달청 물품구매적격심사 세부기준 적용

• 등급이 없을 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

적격심사 평가기준은 「조달청 물품구매적격심사 세부기준」 제4조 제1항 제2호 ([별표 2] 추정가격이 고시금액 미만인 물품 제조 또는 구매입찰)를 적용합니다.

보유 인력

없음

• 기준 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

전담 인력

해당 없음

• 참여율 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

큰 배점 항목

모름 · 문서로 확인 안 됨

적격심사 세부기준(조달청 물품구매적격심사 세부기준 [별표 2])에 따르나 구체적인 배점표는 문서에 없음

가점

모름 · 문서로 확인 안 됨

• 가점 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

가격을 연 뒤 낙찰자를 어느 심사 기준으로 가…

공통 세부기준

조달청 물품구매적격심사 세부기준 [별표 2] 추정가격이 고시금액 미만인 물품 제조 또는 구매입찰

• 통과선 · 85점

  종합평점이 85점 이상이면 낙찰자로 결정하며

적격심사 평가기준은 「조달청 물품구매적격심사 세부기준」 제4조 제1항 제2호 ([별표 2] 추정가격이 고시금액 미만인 물품 제조 또는 구매입찰)를 적용합니다.

카테고리 · 연구·실험·계측장비 5개

지원사업·R&D 재원

아니다

품질 인증

없음

경비 부담

나눠짐

장비 운송, 반입, 설치, 배관·배선 연결 및 시운전, 명시되지 않은 정상 운용 필요 부품 및 작업은 공급자 부담이며, 1차 유틸리티(전원·냉각수·압축공기·공정가스)는 구매자 제공임

• 관급 금액 · -
• 관급 설치 · 우리 몫

  연결점 이후 작업은 공급자가 수행한다.

공급자는 장비의 운송, 반입, 설치, 배관·배선 연결 및 시운전을 수행한다.

전원·냉각수·압축공기·공정가스 등 1차 유틸리티는 구매자가 제공하며, 연결점 이후 작업은 공급자가 수행한다.

본 규격서에 명시되지 않은 사항이라도 장비의 정상 운용에 필요한 부품 및 작업은 공급자 부담으로 한다.

공정 장비 종류

스퍼터

본 장비는 RF 마그네트론 스퍼터링 방식의 박막 증착 장비로서

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

2inch

성능 기준

박막 균일도 : 2" 기판 기준 두께 균일도 3% 이내

문서 발췌

과업·요구

참가자격

* 입찰참가자격 등록마감일이 주말·공휴일인 경우 등록이 불가능할 수 있으니 미리 등록해주시기 바랍니다. 2. 계약방법 : 제한경쟁(총액), 적격심사 적격심사 평가기준은 「조달청 물품구매적격심사 세부기준」 제4조 제1항 제2호 ([별표 2] 추정가격이 고시금액 미만인 물품 제조 또는 구매입찰)를 적용합니다. 3. 참가 자격 : 아래의 입찰참가자격을 모두 갖춘 자이어야 합니다. 가.「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제12조 및 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행규칙」 제14조의 자격을 구비하여야 합니다. 나. 국가종합전자조달시스템(G2B)를 이용한 전자입찰로 진행하므로 전자입찰 이용자로 등록된 업체만 입찰에 참가 가능합니다. 다.「중소기업기본법」 제2조에 따른 중소기업자 또는「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」 제2조에 따른 소상공인으로서「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 중기업·소기업·소상공인확인서(전자입찰서 제출마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 함)를 소지한 업체여야 합니다. ※ 중・소기업 확인서(중기업·소기업·소상공인)는 중소기업 공공구매 종합정보망 등에서 확 인하며, 확인되지 않을 경우 입찰 참가 자격이 없습니다. 라. 우리 기관에서 제시하는 규격, 사양, 조건 등에 따라 납품이 가능한 업체여야 하며, 공고일 전일부터 입찰 마감일까지 법인등기부상 본점 및 지점 소재지(개인사업자인 경우 사업자등록증 또는 관련 법령에 따른 허가, 인가, 면허, 등록, 신고 등의 서류에 기재된 사업장의 소재지)을 경상북도에 둔 업체여야 합니다. 마.「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제27조의5 및 동법 시행령 제12조 제3항 에 해당하는 경우 또는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제27조에 해당하는 경우 에는 입찰에 참여할 수 없습니다. 4. 입찰참가 신청 및 입찰보증금

과업·요구

다. 관련 법규에 따라 허위서류 등을 제출할 경우 계약을 해제·해지할 수 있으며, 입찰참가 자격 제한 등의 불이익을 받을 수 있습니다. 라. 물품명세서(규격서) 상의 제조사 및 모델명은 참고용입니다. 계약상대자가 공급하고자 하는 물품의 규격·품질 등이 참고용 모델보다 동등 이상인 경우 계약상대자는 특정된 조건(호환성 등)을 충족하는 입증자료(가격 및 시험 분석 증빙서류, 성능시험 성적서 등)를 반드시 제출해 야 하며, 입증자료에 대한 책임도 계약상대자에게 있습니다. 입증자료를 제출하지 못하거나, 제출했다하더라도 연구원 측 보완 요청에 기한 내 응하지 않을 경우 선순위 자격에서 배제됩니다. ※ 물품명세서 내용에 시방서 또는 구매규격서 참조 등의 표기가 있음에도 불구하고 본 공고문에 첨부되지 않은 경우에는 물품명세서의 담당자에게 요청하여 확인해야 하며, 납품 시 반드시 충족해야 합니다. 마. 인도조건에 따라, 본 공고의 물품은 연구원 지정장소에서 검수가 완료된 후 설치까지 완료 되어야 합니다.(설치 조건에 대한 물품에 한함.) 바. 본 입찰과 관련한 평가기준 등 기술적인 사항은 물품명세서 상에 기재된 구매요구자에게, 기타 계약관련 사항은 구매팀 (T.042-868-2419)으로 문의하여 주시기 바랍니다. 사. 낙찰예정자는 적격심사 완료 후 3일 이내에 납품이행계획서(발주서 포함) 및 산출내역서를 제출하여야 하며, 10일 이내에 계약을 체결하여야 합니다. 낙찰자가 계약을 체결하지 않을 때에는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제9조 제3항 및 동 시행령 제38조의 규정에 의하여 입찰보증금이 국고로 귀속 됩니다.

아. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제76조 및 (계약예규)물품구매(제조) 계약일반조건 제26조에 따라 계약상대자의 귀책으로 납기가 지체되거나 정당한 이유 없이 계약을 이행하지 않을 경우, 계약을 해지하며 계약보증금을 회수하고 계약해지일로부터 3 개월동안 우리 연구원과의 계약상대자 결정에서 배제합니다. 위와 같이 공고함. 2026. 10 한 국 원 자 력 연 구 원 장 === 물품명세서.pdf ===

[ 물 품 명 세 서 ]

출력일자 : 2026/10/01 PAGE : 1 순번 품 명 및 규 격 단위 수량 부 서 명 담당자 전 화 스퍼터링 시스템 1. Main Chamber Module 2. Substrate Module 3. Cahode Module 4. Puming Module 5. Loadlock Chamber Module 6. Gas Delivery Module 1 SE 1 입자빔이용연구부 박준규 054-750-5308 7. System Control Module 8. System Frame & Control Rack 9. Chiller 1HP 10. Utility 11. Syatem Design,Composition Test Cost 12. etc expense & setup 2026-5834 === RF_Sputter_구매사양서.hwp ===

구 매 사 양 서

(RF Sputtering System) 1. 일반사항 가. 품 명 : RF Sputtering System (Load-lock 포함)

나. 수 량 : 1식 다. 용 도 : 박막 증착 연구용 라. 납품기한 : 계약일로부터 16주 이내 (설치 및 시운전 포함) 2. 장비 개요 본 장비는 RF 마그네트론 스퍼터링 방식의 박막 증착 장비로서 Main Chamber, 기판부, RF Cathode(2 Gun), 배기계, Loadlock 챔버, 가스 공급계, 제어부 및 부대설비로 구성되며, 공급자는 아래 세부 규격에 따라 장비를 설계·제작·설치하여야 한다. 3. 세부 규격

4. 성능 요건 가. 도달 진공도 : Main Chamber 1.0 × 10⁻⁷ Torr 이하 나. 기판 온도 : 상온 ~ 800℃, 설정 온도 대비 ±10℃ 이내 다. 박막 균일도 : 2" 기판 기준 두께 균일도 3% 이내 라. 공정 압력 : Throttle Valve 및 Baratron Gauge에 의한 자동 제어 마. RF 전원 : 600W 출력 시 자동 정합, 반사 전력 10% 이하 바. Loadlock을 통하여 Main Chamber 진공 파기 없이 시료 교환이 가능할 것 5. 납품 및 설치 가. 공급자는 장비의 운송, 반입, 설치, 배관·배선 연결 및 시운전을 수행한다. 나. 전원·냉각수·압축공기·공정가스 등 1차 유틸리티는 구매자가 제공하며, 연결점 이후 작업은 공급자가 수행한다. 다. 공급자는 납품 전 장비 배치도 및 소요 유틸리티 사양을 제출하여 구매자와 협의한다. 6. 검수 가. 설치 완료 후 구매자 입회 하에 본 규격서의 세부 규격 및 성능 요건 충족 여부를 확인한다. 나. 규격 미달 시 공급자는 무상으로 조치한 후 재검수를 받는다. 7. 하자보증 및 기술지원 가. 하자보증기간은 검수 완료일로부터 1년으로 한다. (소모품 제외) 나. 보증기간 내 제조상 결함에 대하여 무상 수리하며, 장애 발생 시 신속히 대응한다. 다. 장비 운용 및 유지보수에 관한 사용자 교육을 1회 이상 실시한다. 8. 제출 서류

가. 장비 배치도 및 전기·배관 도면 나. 사용자 매뉴얼 다. 검수 시험성적서 9. 기타 가. 본 규격서에 명시되지 않은 사항이라도 장비의 정상 운용에 필요한 부품 및 작업은 공급자 부담으로 한다. 나. 주요 구성품은 구매자와 협의하여 동등 사양의 제품으로 대체할 수 있다.