한양대학교EIRCA 마스크 얼라이너 시스템 구매

요약 AI 요약

반도체 리소그래피 공정에서 포토마스크와 기판을 정렬하고 UV 광원으로 미세 패턴을 전사하는 마스크 얼라이너 시스템 1세트를 구매하는 사업이다. 조각 시료부터 6인치 웨이퍼까지 대응하는 PC 제어 반자동 장비로, Yellow Room 진동 환경에서도 정밀도를 유지하도록 방진 구조를 갖춘다.

• Mask Aligner 본체 (Semi Auto/Manual, Auto exposure·Leveling·Z축 스테이지 모션, 시료 크기 Piece~6인치, 마스크 홀더 7인치×7인치)
• 광원 모듈 (수은 단축 아크 램프 1kW, 파장 350~450nm, 365nm 빔 세기 ~25mW/cm², 최대 빔 7.25인치×7.25인치, 균일도 ≤±3%)
• 현미경 (수동 X·Y·Z 스테이지, 배율 85x~540x, 대물렌즈 간격 50~150mm, Y축 이동 ±10mm, 작업거리 86mm/32mm)
• 스테이지 및 제어 모듈 (노광 타이머 최소 0.1초, X·Y·Z·Theta 이동, Vacuum/Hard/Soft Contact·Proximity gap, 스테이지 분해능 X·Y 0.1um, Z·Theta 모터 구동, Z축 정렬 갭 0~100um)
• 해상도 (Vacuum 1um, Hard 2um, Soft 3um, Proximity(20um) 5um)
• 장비 제어용 PC 및 운영 소프트웨어, 방진 기능 포함 일체형 제진대 베이스 구조, 사용자 매뉴얼 및 기본 부속품

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핵심요약

입찰 전

서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 발주처 담당자 사전 확인·서명 · 샘플·시안 선제출 · 벽

입찰 전 따로 할 절차 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 발주처 담당자 사전 확인·서명

서류 제출 마감일시: 2026. 10. 15. 10:00까지(방문 제출에 한함)

서류 제출 마감일시 : 2026. 10. 15. 10:00까지(방문 제출에 한함, 우편 접수 불가)

사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

샘플·시안 선제출 · 벽

입찰 종료 전(개찰 동일 또는 동급 장비의 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건)을 제출해야 하며, 미제출 또는 확인 불가 시 규격부적합으로 판정될 수 있음. 사용부서 사양 적합 확인(사용부서확인서)도 참가자격 요건.

입찰 종료 전(개찰 동일 또는 동급 장비의 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건)을 제출해야 함.

기한 내 미제출하거나 제출자료를 통해 요구.성능 충족여부를 확인할 수 없는 경우 규격 부적합으로 판정할 수 있음.

입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

규격·기술 심사

항목마다 적합·부적합

1um 이하 패턴 구현 결과 데이터 제출 및 성능 충족 여부 확인

• 통과선 · 해당 없음
• 필수 항목·과락 · 해당 없음

기한 내 미제출하거나 제출자료를 통해 요구.성능 충족여부를 확인할 수 없는 경우 규격 부적합으로 판정할 수 있음.

문서 분석

수행 기간

옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 2026년 12월 30일까지 납품 완료

  납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

문서 분석

하자보수

1년 이상

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 보증 기간 정기점검 · 값 없이 정기적인 점검과 소모품 예방 정비 서비스 제공

  미숙련 사용자의 빈번한 사용으로 인한 고장을 방지하기 위해 정기적인 점검과 소모품 예방 정비 서비스를 제공해야 함.

• 소모성·정기정비 부품 · 우리 부담(대가 안) 소모품 예방 정비 서비스 제공 요구

  미숙련 사용자의 빈번한 사용으로 인한 고장을 방지하기 위해 정기적인 점검과 소모품 예방 정비 서비스를 제공해야 함.

하자보수 기간 : 1년 이상

문서 분석

공정 장비 종류

노광(리소그래피)

반도체 리소그래피(Photo-lithography) 공정에서 패턴이 그려진 포토마스크와 기판을 정확 하게 위치 정렬하고 UV 광원을 조사하여 미세 패턴을 전사하는 핵심 노광 장비임.

문서 분석

가격

추정가격

90,000,000원

배정예산

99,000,000원

기초금액

99,000,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)

낙찰하한율

86.245%

부가세

9,000,000원

예정가격 방식

복수예가

첨부파일

• PDF · 1. 입찰세부공고_한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매.pdf · 공고규격서
• HWP · 1. 입찰세부공고_한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매.hwp · 공고규격서
• HWP · 붙임1. 한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매 규격서.hwp · 공고규격서
• PDF · 붙임1. 한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매 규격서.pdf · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

납품

납품

옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 · 문서

품명

포토레지스트노광기 (2321119401)

세부품명 등록

아니오

제조물품

아니오
문서: 직접 생산 · 없음

수량

1 set
문서: 일의 분량 · 1SET

인도조건

설치까지 · 현장설치도
문서: 일의 끝 · 설치·시운전·가동까지

참가 자격 · 제한

지역제한

제한 없음
문서: 지역 조건 · 없음

업종제한

제한 없음
문서: 업종·면허 조합 · 한 업종
문서: 설치 공사업 면허 · 없음

제출 방법

전자입찰
문서: 입찰 전 절차 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 발주처 담당자 사전 확인·서명

실적경쟁 · PQ

모름
문서: 실적 · 없음

공동수급

공동수급불허
문서: 공동수급 · 막음

입찰참가 제한

모름

국제입찰

국내입찰

입찰 일정

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 마스크 얼라이너 시스템 구매·설치·교육·하자보수

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

반도체 리소그래피 노광장비(Mask Aligner) 본체와 UV 광원·제어PC·제진대·척 등 일체를 납품하는 물품 구매로, 반도체·박막 공정장비에 해당한다.

• Yellow Room 내 지정장소 설치 및 정상 가동 검수
• 전문 엔지니어 대면 사용자 교육 및 심화 기술 지원
• 1년 이상 하자보수(24시간 내 현장 방문, 정기 점검·소모품 예방 정비, 데모 장비 백업 지원)
• 6인치·4인치 웨이퍼 및 조각 샘플 대응 전용 Jig·Mask Holder 등 맞춤형 추가 KIT 제작·기술 서비스

걸리는 것 · 입찰 전 할 일

입찰 전 할 일

• 입찰 전 따로 할 절차 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 발주처 담당자 사전 확인·서명

  서류 제출 마감일시: 2026. 10. 15. 10:00까지(방문 제출에 한함)

  서류 제출 마감일시 : 2026. 10. 15. 10:00까지(방문 제출에 한함, 우편 접수 불가)

  사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

• 샘플·시안 선제출 · 벽

  입찰 종료 전(개찰 동일 또는 동급 장비의 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건)을 제출해야 하며, 미제출 또는 확인 불가 시 규격부적합으로 판정될 수 있음. 사용부서 사양 적합 확인(사용부서확인서)도 참가자격 요건.

  입찰 종료 전(개찰 동일 또는 동급 장비의 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건)을 제출해야 함.

  기한 내 미제출하거나 제출자료를 통해 요구.성능 충족여부를 확인할 수 없는 경우 규격 부적합으로 판정할 수 있음.

  입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

더 확인할 것

기성품·주문제작

이럴 때 꼭 봅니다 — 주문제작 · 설계부터 우리가

주문제작(받은 규격·도면대로)

규격서가 본체 크기(1150×1070×1500mm 이내), 일체형 제진대 구조, 6인치·4인치 웨이퍼 및 조각 샘플 대응, 전용 Jig·Mask Holder 등 맞춤형 추가 KIT 제작을 요구한다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품을 엮어 하나의 시스템으로 통합한다는 내용이 문서에 없다.

· 공간 효율성: Yellow Room 내 협소한 공간 및 연구원 이동 동선을 고려한 가로 1150 mm 세로 1070 mm 높이 1500 mm 이내의 본체 설계.

- 공정 유연성 및 확장성: 6인치, 4인치 웨이퍼 및 조각(Piece) 샘플 모두 대응 가능한 구조여야 하며, 특수 샘플 대응을 위한 전용 Jig 및 Mask Holder 등 맞춤형 추가 KIT 제작 및 기술 서비스를 제공해야 함.

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

마스크 얼라이너 시스템

• 동등 입증 때 · 입찰 때(공고일·마감일 기준) 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건) 제출

  입찰 종료 전(개찰 동일 또는 동급 장비의 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건)을 제출해야 함.

본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

원산지(국산)

수입 허용

국내 제조 장비 권장(반도체 소부장 기술 자립화 취지)

국내 제조 장비: 반도체 소부장 기술 자립화 취지에 부합하는 국내 제조 장비

합격선

숫자 기준 있음

정렬 오차 1㎛ 이내, 패턴 해상도 1㎛ 이내, 평행광 오차 ±1° 이하, 자외선 조사 균일도 ±3% 이내 등

• 따를 표준·지침 · 없음

마스크와 시편의 정렬 오차가 1㎛를 넘지 않는다.

1㎛ 이내의 패턴 해상도를 구현한다.

평행광 오차가 ±1°를 초과하지 않는다

자외선의 조사 균일도가 ±3%를 초과하지 않는다.

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

실측·성능 데이터·도면

1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건)

• 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

입찰 종료 전(개찰 동일 또는 동급 장비의 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건)을 제출해야 함.

참가 범위

공개 경쟁

일반경쟁입찰이며 사용부서의 사양 적합 확인 등의 조건이 있음

본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율)임.

현장 여건

Yellow Room 내 협소한 공간(가로 1150mm, 세로 1070mm, 높이 1500mm 이내) 및 잦은 진동 노출 환경으로 본체 통합 일체형 고성능 제진대 구조가 필수임.

• 부대공사·현장 준비 · 해당 없음
• 위험작업 · 없음

공간 효율성: Yellow Room 내 협소한 공간 및 연구원 이동 동선을 고려한 가로 1150 mm 세로 1070 mm 높이 1500 mm 이내의 본체 설계.

안정성: 잦은 진동 노출 환경에서도 공정 정밀도를 유지할 수 있도록 본체와 통합된 일체형 고성능 제진대(Active/Passive Isolation) 구조 필수.

공장 실사·입회

계약 전 실사

사용부서 확인서에 「현장실사를 필하였으며」라고 적혀 있어 입찰 전(계약 전) 사용부서의 현장실사가 있음. 제작 중 검사·입회, 납품 전 검사 조항은 없음.

(업체명 수기로 기입)이/가 현장실사를 필하였으며, 차후 본 입찰에 최저가 낙찰되어 계약을 체결하고 물품의 제조 및 납품 이행을 하게 되는 것에 이견이 없음을 확인합니다.

A/S 조직·인력

의무 · 계약 뒤 지킬 일

국내 설치, 교육, 장애 대응 및 부품 공급이 가능한 기술 지원 체계 구축 및 담당연락처 제출 요구

• 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 대상 · A/S 부서·조직 · 지역·전국 서비스망 · 예비품 보유

국내 설치. 교육. 장애 대응 및 부품 공급이 가능한 기술 지원 체계를 갖추고 입찰 시 담당연락처를 제출해야 한다

큰 배점 항목

해당 없음(평가표 없음 — 낙찰하한율 이상 최저가)

평가표 없이 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상 최저가 투찰자를 낙찰자로 결정.

낙찰자 결정은 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상을 충족하면서 최저가격을 투찰한 자를 계약상대자로 결정하며

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

6inch 이하

조각(Piece) 단위의 소형 시료부터 최대 6인치 웨이퍼까지 연구실의 다양한 샘플 규격에 맞춘 공정이 가능함.

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

10/07(수)

공고번호

R26BK01759120-000

참조번호

-

공고기관

한양대학교 에리카산학협력단

수요기관

한양대학교 에리카산학협력단

계약방법

일반경쟁

낙찰방법

제한적최저가(낙찰하한율)

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

90,000,000원

배정예산

99,000,000원

사전규격번호

R26BD00279090

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 분석 전체

이 분야에서 갈리는 것 · 우리가 만드는 공정 방식·기판 크기인가, 주문제작을 150일 안에 끝낼 수 있나, 기술평가 85점을 넘나, 3년 품질보증을 감당하나에서 갈린다.

질문 87개 · 꼭 5 · 좋음 18 · 안 봐도 됨 64

주제 · 참가 자격 9개

업종·면허 조합

한 업종

참가자격은 국가계약법 시행령 제12조·시행규칙 제14조 규정에 의한 자격요건을 갖춘 사업자로 규정되어 있고, 별도의 업종 등록·면허·업태·종목·전문매장 보유 조건은 없다. 세부품명번호 2321119401(포토레지스트 노광기) 단일 품목 구매다.

• 코드 밖 자격 · 없음 법·조례가 정한 허가·지정·등록, 사업자등록증 업태·종목, 전문매장 보유 등 코드 밖 자격 요구는 문서에 없다.

국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

지역 조건

없음

본점 지역 제한 외에 사업장·지사·시설·인력 소재, 지역 거점, 지역 인력 고용·장비 사용, 지역 업체 공동수급, 지역 가점 조건은 문서에 없다. 규격서에 국내 설치·교육·장애 대응·부품 공급이 가능한 기술 지원 체계를 갖추라는 조건이 있으나 이는 지역 조건이 아니라 기술 지원 체계 조건이다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 지역 관련 평가표 배점이 없다.
• 대상 · - 해당하는 지역 조건이 없다.

실적

없음

비슷한 일을 한 실적을 참가 조건이나 점수로 요구하는 문장이 문서에 없다. 다만 입찰 종료 전 동급 장비의 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건)를 제출해야 하며, 미제출 시 규격 부적합으로 판정될 수 있다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 실적 관련 평가표 배점이 없다.
• 조건 · 없음 실적 인정 범위를 정한 문장이 없다.

업력

없음

회사 설립·개업·업 등록 후 경과 햇수를 참가 조건이나 점수로 보는 문장이 문서에 없다.

• 요구 업력 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 요구 업력이 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 업력 관련 평가표 배점이 없다.

공동수급

막음

본 계약 이행에 따르는 일체의 채권 및 채무를 제3자에게 양도하거나 위임, 하청, 공동 도급할 수 없다고 명시되어 있다.

• 자격을 나눠 채우기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공동수급 자체가 금지되어 있어 자격 분담 규정이 없다.

본 계약 이행에 따르는 일체의 채권 및 채무를 제3자에게 양도하거나 위임, 하청, 공동 도급할 수 없다.

회사 규모·신분

제한 없음

중소기업·소기업·소상공인·여성기업·법인만 등 규모·신분으로 참가를 좁히는 문장이 문서에 없다. 참가자격은 국가계약법령상 자격요건을 갖춘 사업자다.

안전보건수준평가

없음

안전보건수준평가 대상 사업이라는 문장이나 안전보건 서약·계획서 제출 요구가 문서에 없다.

하도급

막음

본 계약 이행에 따르는 일체의 채권 및 채무를 제3자에게 양도하거나 위임, 하청, 공동 도급할 수 없다고 명시되어 있다.

• 하도급 한도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급이 금지되어 한도 규정이 없다.

본 계약 이행에 따르는 일체의 채권 및 채무를 제3자에게 양도하거나 위임, 하청, 공동 도급할 수 없다.

직접 생산

없음

직접생산확인증명서 소지, 제조 등록, OEM 금지 등 제조자 요건을 참가 자격으로 요구하는 문장이 문서에 없다. 다만 제안 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며 Refurbished·Used·Warranty 서비스용 부품은 제안해서는 안 되고, 국내 제조 장비여야 한다.

• 참가 등록 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조·공급 등록 구분을 정한 문장이 없다.
• 직생 범위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 직접생산확인 요구가 없다.
• 대상 · - 직생·제조 등록·OEM 관련 대상 조건이 없다.

제안에 포함된 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며, Refurbished, Used, Warranty 서비스용 부품의 제안해서는 안 된다.

국내 제조 장비: 반도체 소부장 기술 자립화 취지에 부합하는 국내 제조 장비

주제 · 제품 규격·인증 9개

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

마스크 얼라이너 시스템

• 동등 입증 때 · 입찰 때(공고일·마감일 기준) 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건) 제출

  입찰 종료 전(개찰 동일 또는 동급 장비의 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건)을 제출해야 함.

본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

제조사 확약서

의무 · 계약 뒤 지킬 일

정품 증명 서류

• 대상 · 정품보증서·정품확인서
• 조건 · 없음

낙찰 후 정품에 대한 관련 증명을 요구하는 경우 낙찰자는 정품임을 증명하는 서류를 즉시 제출하여야 한다.

제품 인증

없음

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 대상 · -
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

원산지(국산)

수입 허용

국내 제조 장비 권장(반도체 소부장 기술 자립화 취지)

국내 제조 장비: 반도체 소부장 기술 자립화 취지에 부합하는 국내 제조 장비

합격선

숫자 기준 있음

정렬 오차 1㎛ 이내, 패턴 해상도 1㎛ 이내, 평행광 오차 ±1° 이하, 자외선 조사 균일도 ±3% 이내 등

• 따를 표준·지침 · 없음

마스크와 시편의 정렬 오차가 1㎛를 넘지 않는다.

1㎛ 이내의 패턴 해상도를 구현한다.

평행광 오차가 ±1°를 초과하지 않는다

자외선의 조사 균일도가 ±3%를 초과하지 않는다.

등록 제품

없음

• 대상 · -

신품·제조 시기

의무 · 계약 뒤 지킬 일

제조사 정품 부품이어야 하며, Refurbished, Used, Warranty 서비스용 부품 제안 금지

• 제조 뒤 경과 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 남은 유효기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

제안에 포함된 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며, Refurbished, Used, Warranty 서비스용 부품의 제안해서는 안 된다.

규격·기술 심사

항목마다 적합·부적합

1um 이하 패턴 구현 결과 데이터 제출 및 성능 충족 여부 확인

• 통과선 · 해당 없음
• 필수 항목·과락 · 해당 없음

기한 내 미제출하거나 제출자료를 통해 요구.성능 충족여부를 확인할 수 없는 경우 규격 부적합으로 판정할 수 있음.

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

실측·성능 데이터·도면

1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건)

• 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

입찰 종료 전(개찰 동일 또는 동급 장비의 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건)을 제출해야 함.

주제 · 입찰 절차 9개

참가 범위

공개 경쟁

일반경쟁입찰이며 사용부서의 사양 적합 확인 등의 조건이 있음

본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율)임.

여러 과제로 나뉨

나뉘지 않음

입찰 전 절차

서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 발주처 담당자 사전 확인·서명

서류 제출 마감일시: 2026. 10. 15. 10:00까지(방문 제출에 한함)

서류 제출 마감일시 : 2026. 10. 15. 10:00까지(방문 제출에 한함, 우편 접수 불가)

사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

현장설명회

없음

사용부서 확인서에 현장실사 필함이 언급되어 있으나 공식적인 설명회 일정은 없음

정정·재공고 변경

해당 없음(첫 공고)

낙찰 업체 수

한 업체가 전량

• 최소 응찰 물량 · 해당 없음

MAS 2단계경쟁

아니다

입찰보증금

실제로 낸다(보증서·현금)

입찰서류 제출 마감 일시까지 납부, 보증기간은 입찰일로부터 최소 50일까지

• 입찰보증금 비율 · 5% 이상 입찰금액(투찰가)

  입찰금액의 5/100 이상의 이행(입찰)보증보험증권(원본)

• 계약·하자 보증 비율 · 계약보증금 10% · 하자(이행)증권 3% 계약금액(낙찰금액)

  계약 시 대학이 제시하는 구매 예정액의 100분의 10을 계약보증금(현금 또는 보증보험증권)으로 납부하여야 한다.

  낙찰자는 계약 후 납품 시 계약금액의 100분의 3에 해당하는 하자(이행)증권을 납부하여야 한다.

입찰금액의 5/100 이상의 이행(입찰)보증보험증권(원본)으로 입찰서류 제출 마감 일시까지 납부하여야 한다.

문서끼리 다른 곳

그렇다

구매내역: 마스크 얼라이너 시스템(규격서) ↔ 퍼니스 시스템(입찰세부공고 나항)

가. 입찰건명 : 한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매

나. 구매내역 : 붙임1. 한양대학교ERICA 퍼니스 시스템 규격서 확인

주제 · 과업 범위 11개

다른 업 섞임

섞이지 않음

구매 품목은 마스크 얼라이너 시스템 1 SET(본체·제어 PC·UV 광원·베이스·마스크 홀더·부속품)로 단일 장비이며, 다른 면허·공종·품목의 일이 섞여 있지 않다.

1 | 장비 | 마스크 얼라이너 시스템
가. Mask Aligner 본체 : 1 set
나. 장비 제어용 PC 및 운영 소프트웨어 : 1 set
다. UV 광원 및 기본 노광 유닛 : 1 set
라. 방진 기능이 포함된 장비 베이스 구조 : 1 set
마. Mask holder and Chuck : 1 set
바. 사용자 매뉴얼 및 기본 부속품 : 1 set

하는 일

반도체 리소그래피 공정용 마스크 얼라이너 시스템 1 SET를 구매하는 일이다. Z축 모터 구동 PC 제어 반자동 장비로, 350~450nm UV 광원, 1㎛ 이내 정렬 오차·해상도, ±3% 이내 조사 균일도, 방진 일체형 구조를 요구하며 설치·교육·1년 이상 하자보수를 포함한다.

세부품명번호 2321119401(포토레지스트 노광기), 수량 1 SET.

- 반도체 리소그래피(Photo-lithography) 공정에서 패턴이 그려진 포토마스크와 기판을 정확 하게 위치 정렬하고 UV 광원을 조사하여 미세 패턴을 전사하는 핵심 노광 장비임.

- 마스크와 시편의 정렬 오차가 1㎛를 넘지 않는다.

- 1㎛ 이내의 패턴 해상도를 구현한다.

기존 시스템과 이어짐

없음(새로 하는 독립된 일)

기존 시스템·설비와의 연동, 기존 제조사 제품 묶임, 연속 사업, 연동 SW 개발, 상대편 연동 작업·비용 부담에 관한 내용이 문서에 없다.

설치 공사업 면허

없음

설치가 법상 공사(전기·정보통신·수도·소방)에 해당한다는 내용이나 공사업 면허 요건이 문서에 없다.

• 대상 · - 해당하는 공사업 종류가 문서에 없다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급·공동수급·직접 시공에 관한 조건이 문서에 없다.

일의 끝

설치·시운전·가동까지

지정 장소 설치 및 정상 가동 여부 검수 진행, 납품기한에 검수·납품·설치 완료 포함.

• 시험운영 기간 · 해당 없음 설치·시운전 뒤 넘기기 전까지의 시험운영 기간이 문서에 없다.

- 지정 장소 설치 및 정상 가동 여부 검수 진행

라. 납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

기성품·주문제작

주문제작(받은 규격·도면대로)

규격서가 본체 크기(1150×1070×1500mm 이내), 일체형 제진대 구조, 6인치·4인치 웨이퍼 및 조각 샘플 대응, 전용 Jig·Mask Holder 등 맞춤형 추가 KIT 제작을 요구한다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품을 엮어 하나의 시스템으로 통합한다는 내용이 문서에 없다.

· 공간 효율성: Yellow Room 내 협소한 공간 및 연구원 이동 동선을 고려한 가로 1150 mm 세로 1070 mm 높이 1500 mm 이내의 본체 설계.

- 공정 유연성 및 확장성: 6인치, 4인치 웨이퍼 및 조각(Piece) 샘플 모두 대응 가능한 구조여야 하며, 특수 샘플 대응을 위한 전용 Jig 및 Mask Holder 등 맞춤형 추가 KIT 제작 및 기술 서비스를 제공해야 함.

함께 넘길 물품

특수 샘플 대응을 위한 전용 Jig 및 Mask Holder 등 맞춤형 추가 KIT, 사용자 매뉴얼 및 기본 부속품.

규격서가 맞춤형 추가 KIT 제작·기술 서비스를 요구하고, 물품 규격에 사용자 매뉴얼 및 기본 부속품 1 set가 포함된다.

특수 샘플 대응을 위한 전용 Jig 및 Mask Holder 등 맞춤형 추가 KIT 제작 및 기술 서비스를 제공해야 함.

바. 사용자 매뉴얼 및 기본 부속품 : 1 set

철거·폐기

없음

기존 장비·시설의 철거·이설·폐기·반납이나 다 쓴 물품·포장재 회수에 관한 내용이 문서에 없다.

부가 작업

전문 엔지니어에 의한 대면 중심의 사용자 교육 및 심화 기술 지원, 장비 기본 조작·공정 세팅·유지보수·안전 관리 현장 교육, 하자보수(24시간 이내 현장 방문·정기 점검·소모품 예방 정비·데모 장비 활용 공정 지원).

설치·교육·하자보수가 본업에 부가된 서비스로 규격서에 명시되어 있다.

- 밀착형 기술 전수: 장비 운영 조기 정착을 위해 원격 지원이 아닌, 전문 엔지니어에 의한 대면 중심의 사용자 교육 및 심화 기술 지원 솔루션을 반드시 제공해야 함.

- 장비 기본 조작, 공정 세팅, 유지보수 및 안전 관리에 대한 현장 교육 실시

디자인 몫

해당 없음

디자인·편집·원고 작업이 이 공고에 없다.

묶인 품목 수

1종

마스크 얼라이너 시스템 1 SET(본체·제어 PC·UV 광원·베이스·마스크 홀더·부속품)로 단일 품목이다.

• 제조사 수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 품목마다 제조사·상표·모델을 하나로 정해 적지 않았다.

1 | 장비 | 마스크 얼라이너 시스템
가. Mask Aligner 본체 : 1 set
나. 장비 제어용 PC 및 운영 소프트웨어 : 1 set
다. UV 광원 및 기본 노광 유닛 : 1 set
라. 방진 기능이 포함된 장비 베이스 구조 : 1 set
마. Mask holder and Chuck : 1 set
바. 사용자 매뉴얼 및 기본 부속품 : 1 set

주제 · 납품 일정·현장 11개

일의 분량

1SET

마스크 얼라이너 시스템 1세트

• 열린 분량 · 정해짐

수량 1 SET

수행 기간

옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 전체 답 · 해당 없음

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 2026년 12월 30일까지 납품 완료

  납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

현장·납품지

1곳

한양대학교 ERICA캠퍼스 4공학관 1층 머시닝기술센터

• 열린 분량 · 정해짐
• 범위 · 없음(국내 보통 현장)

납품장소 : 한양대학교 ERICA캠퍼스 4공학관 1층 머시닝기술센터

현장 여건

Yellow Room 내 협소한 공간(가로 1150mm, 세로 1070mm, 높이 1500mm 이내) 및 잦은 진동 노출 환경으로 본체 통합 일체형 고성능 제진대 구조가 필수임.

• 부대공사·현장 준비 · 해당 없음
• 위험작업 · 없음

공간 효율성: Yellow Room 내 협소한 공간 및 연구원 이동 동선을 고려한 가로 1150 mm 세로 1070 mm 높이 1500 mm 이내의 본체 설계.

안정성: 잦은 진동 노출 환경에서도 공정 정밀도를 유지할 수 있도록 본체와 통합된 일체형 고성능 제진대(Active/Passive Isolation) 구조 필수.

작업 시기

제약 없음

다른 일정에 묶임

아니다

나눠 납품

한 번에 전량

2026년 12월 30일까지 납품 완료

• 분할납품 · 해당 없음 납품물이 1세트인 단일 장비임

납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

보관 조건

해당 없음

주문 뒤 납품 시한

정해지지 않음

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

포장·표시

해당 없음

보안 조치

없음

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 대상 · 없음

주제 · 견본·검사·검수 7개

검수

발주처 검수만

지정 장소 설치 및 정상 가동 여부 검수 진행. 납품기한에 검수·납품·설치 완료 포함. 외부 기관 심의·승인·검사·감리·성과심사 문구 없음.

지정 장소 설치 및 정상 가동 여부 검수 진행

납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

샘플·시안 선제출

벽 · 못 맞추면 탈락

입찰 종료 전(개찰 동일 또는 동급 장비의 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건)을 제출해야 하며, 미제출 또는 확인 불가 시 규격부적합으로 판정될 수 있음. 사용부서 사양 적합 확인(사용부서확인서)도 참가자격 요건.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 배점 없음 — 규격부적합(탈락) 조건
• 대상 · 기타 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건) — 시험·성능 데이터 제출

  입찰 종료 전(개찰 동일 또는 동급 장비의 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건)을 제출해야 함.

입찰 종료 전(개찰 동일 또는 동급 장비의 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건)을 제출해야 함.

기한 내 미제출하거나 제출자료를 통해 요구.성능 충족여부를 확인할 수 없는 경우 규격 부적합으로 판정할 수 있음.

입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

시험·검사

시험·검사 없음

이 공고·규격서에 품질 시험·검사·분석을 받으라는 조항 없음. 설치 후 정상 가동 여부 검수만 있음.

• 시험 단위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험·검사 없음
• 시험 장소 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험·검사 없음

시안 승인

모름 · 문서로 확인 안 됨

본 작업·제작 전 시안·샘플·제작도·중간검수 승인 횟수에 대한 조항 없음. 입찰 단계 사용부서 사양 적합 확인(사용부서확인서)만 있음.

• 수정 횟수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 수정 횟수 조항 없음
• 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 승인 기간이 납기에 드는지 여부 조항 없음

공장 실사·입회

계약 전 실사

사용부서 확인서에 「현장실사를 필하였으며」라고 적혀 있어 입찰 전(계약 전) 사용부서의 현장실사가 있음. 제작 중 검사·입회, 납품 전 검사 조항은 없음.

(업체명 수기로 기입)이/가 현장실사를 필하였으며, 차후 본 입찰에 최저가 낙찰되어 계약을 체결하고 물품의 제조 및 납품 이행을 하게 되는 것에 이견이 없음을 확인합니다.

이 공고가 군수품 조달인가 — 국방부·각 군이…

아니다

수요기관은 한양대학교 에리카산학협력단(학교)이며, 군수품 특수조건·국방규격·재고번호·국방 표지·군 검사·부대 출입 보안 등 군 전용 절차가 없음.

군수품이면 납품 검사·검수는 누가 하나 — 수…

해당 없음

군수품 조달이 아님

• 품질보증형태 · 해당 없음 군수품 조달이 아님

주제 · 인력·A/S·하자 대응 8개

장비·시설 보유

의무 · 계약 뒤 지킬 일

제조사가 보유한 동일 모델 이상의 데모(Demo) 장비를 활용한 공정 지원 가능 요구

• 갖출 때 · 수행 중(납품·준공 때 포함) 장비 결함 발생 시 지원 가능해야 함

  장비 결함으로 인한 가동 중단 시, 연구 리스크 최소화를 위해 제조사가 보유한 동일 모델 이상의 데모(Demo) 장비를 활용한 공정 지원이 가능해야 함.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

장비 결함으로 인한 가동 중단 시, 연구 리스크 최소화를 위해 제조사가 보유한 동일 모델 이상의 데모(Demo) 장비를 활용한 공정 지원이 가능해야 함.

인력 자격

해당 없음

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

출동 시한

의무 · 계약 뒤 지킬 일

장애 발생 시 24시간 이내 현장 방문 및 정밀 진단

• 도착 시한 · 24시간 이하 야간·휴일 포함 여부 명시 없음

  장애 발생 시 24시간 이내 현장 방문 및 정밀 진단이 가능한 서비스 망을 갖추어야 함.

장애 발생 시 24시간 이내 현장 방문 및 정밀 진단이 가능한 서비스 망을 갖추어야 함.

처리 시한

정해지지 않음

장애 발생 시 24시간 이내 현장 방문 및 정밀 진단 요구하나, 최종 처리/복구 완료 시한은 명시되지 않음

• 기점 · 요청·신고·접수 받은 때 장애 발생 시

  장애 발생 시 24시간 이내 현장 방문 및 정밀 진단이 가능한 서비스 망을 갖추어야 함.

장애 발생 시 24시간 이내 현장 방문 및 정밀 진단이 가능한 서비스 망을 갖추어야 함.

교육·기술이전

모름 · 문서로 확인 안 됨

전문 엔지니어에 의한 대면 중심의 사용자 교육 및 심화 기술 지원 솔루션 제공 요구

• 무상 · 우리 부담(대가 안) 구매 규격 내 교육 제공 요구

전문 엔지니어에 의한 대면 중심의 사용자 교육 및 심화 기술 지원 솔루션을 반드시 제공해야 함.

하자보수

1년 이상

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 보증 기간 정기점검 · 값 없이 정기적인 점검과 소모품 예방 정비 서비스 제공

  미숙련 사용자의 빈번한 사용으로 인한 고장을 방지하기 위해 정기적인 점검과 소모품 예방 정비 서비스를 제공해야 함.

• 소모성·정기정비 부품 · 우리 부담(대가 안) 소모품 예방 정비 서비스 제공 요구

  미숙련 사용자의 빈번한 사용으로 인한 고장을 방지하기 위해 정기적인 점검과 소모품 예방 정비 서비스를 제공해야 함.

하자보수 기간 : 1년 이상

단종 뒤 부품 공급

해당 없음

A/S 조직·인력

의무 · 계약 뒤 지킬 일

국내 설치, 교육, 장애 대응 및 부품 공급이 가능한 기술 지원 체계 구축 및 담당연락처 제출 요구

• 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 대상 · A/S 부서·조직 · 지역·전국 서비스망 · 예비품 보유

국내 설치. 교육. 장애 대응 및 부품 공급이 가능한 기술 지원 체계를 갖추고 입찰 시 담당연락처를 제출해야 한다

주제 · 가격·대금·계약 조건 11개

총액·단가 방식

총액 · 단가×수량

총액계약이며 투찰금액은 품목별 단가×수량의 합계액(부가세 포함). 실제 구매량(납품 지시량)이 증감해도 계약단가로 납품해야 함.

• 정산 · 확정 금액 실제 구매량(납품 지시량)이 증감해도 계약단가로 납품하며 이의를 제기할 수 없다고만 적혀 있어 실적·실비 정산 문구는 없음.

  낙찰자는 실제 구매량(납품 지시량)이 증가되거나 감소되어도 본 계약단가에 의하여 납품하여야 하며, 이에 이의를 제기할 수 없다.

• 단가 조정 · 낙찰 단가 고정 실제 구매량이 증감해도 본 계약단가에 의하여 납품한다고 적혀 있어 낙찰 단가 고정.

  낙찰자는 실제 구매량(납품 지시량)이 증가되거나 감소되어도 본 계약단가에 의하여 납품하여야 하며, 이에 이의를 제기할 수 없다.

본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율)임.

본 입찰의 투찰금액은 1. 입찰에 부치는 사항 나. 구매내역에 명시한 구매물품에 대한 총액을 투찰한다.

※ 투찰금액 = (품목별 단가 × 수량) 의 합계액(부가가치세 포함)

낙찰자는 실제 구매량(납품 지시량)이 증가되거나 감소되어도 본 계약단가에 의하여 납품하여야 하며, 이에 이의를 제기할 수 없다.

물량 변동

확정

구매내역은 마스크 얼라이너 시스템 1 SET로 수량·규격이 확정되어 있고, 제안사는 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안해야 함.

| 1 | 장비 | 마스크 얼라이너 시스템
가. Mask Aligner 본체 : 1 set
나. 장비 제어용 PC 및 운영 소프트웨어 : 1 set
다. UV 광원 및 기본 노광 유닛 : 1 set
라. 방진 기능이 포함된 장비 베이스 구조 : 1 set
마. Mask holder and Chuck : 1 set
바. 사용자 매뉴얼 및 기본 부속품 : 1 set | 2321119401
(포토레지스트
노광기) | 1 SET |

본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

발주처 단가 기준

적혀 있지 않음

발주처가 정한 단가·상한가·품셈·요율 등 대가 산정 기준이 공고·규격서에 없음.

계약 상대

공고 낸 기관 직접

공고기관·수요기관 모두 한양대학교 에리카산학협력단이며, 계약 상대가 다른 곳이라고 적은 문장이 없음.

그대로 넘길 돈

아니다

계약금액 안에서 다른 곳에 넘기거나 정해진 곳에 그대로 써야 하는 돈을 적은 문장이 없음.

• 넘길 돈 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 항목이 없음.
• 투찰 때 반영 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 항목이 없음.

견적 근거

물량·목록만 공개

규격서에 품목·수량·상세 규격이 공개되어 있으나 단가·산출내역은 공개되지 않음. 견적서는 산출내역을 포함해 제출하되 입찰가와 무관.

• 이윤 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 원가계산서·산출내역이 공개되지 않음.

11) 견적서(지정된 양식 없음, 산출내역 포함, 입찰가와 무관) - 사용부서 확인(서명)

대금 받는 때

끝난 뒤 한 번에

납품기한 2026년 12월 30일까지 검수·납품·설치·세금계산서 발행 완료로, 지급 방식에 대한 별도 문구는 없음.

• 선금 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 선금 비율을 적은 문장이 없음.
• 지급 기한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 청구 뒤 지급 기한을 적은 문장이 없음.

납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

공채·채권

모름 · 문서로 확인 안 됨

공채·채권 매입 비율을 적은 문장이 없음.

보험 가입

없음

이 일 때문에 들어야 하는 보험·공제를 요구한 문장이 없음. 입찰보증금·계약보증금·하자증권은 보증금·증권이지 보험이 아님.

• 보상 한도 · 해당 없음 보험 요구가 없음.
• 보험료 · 해당 없음 보험 요구가 없음.
• 대상 · 해당 없음 보험 요구가 없음.

계약 변동 가능

아니다

낙찰돼도 계약이 안 되거나 금액·물량·기간이 바뀔 수 있다고 적은 문장이 없음.

• 바뀔 수 있는 것 · 해당 없음 해당 문장이 없음.

부가세 과세

모름 · 문서로 확인 안 됨

이 일·품목의 과세·면세를 적은 문장이 없음. 다만 투찰금액은 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰해야 하며, 낙찰자가 면세사업자인 경우 낙찰금액에서 부가가치세 상당액을 차감한 금액으로 계약을 체결함.

• 투찰가에 부가세 · 넣는다 입찰자가 면세사업자인 경우에도 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰해야 함.

  입찰자가 면세사업자인 경우에도 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰해야 하며, 입찰결과 낙찰자가 면세사업자인 경우 낙찰금액에서 부가가치세 상당액을 차감한 금액으로 계약을 체결함.

뽑는 방식 · 입찰 방식 7개

회사 속성 우대

없음

회사 속성 우대(가점·특례) 규정이 문서에 없음. 낙찰은 낙찰하한율 이상 최저가로 결정.

• 우대 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 문서에 우대 대상 규정 없음
• 가점 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 가점 규정 없음

신용등급·경영상태

없음

신용평가등급·기술신용평가·경영상태를 참가 조건이나 점수로 본다는 규정이 없음. 참가자격은 국가계약법령 자격요건, 정리절차·금융불량 여부만 규정.

• 등급이 없을 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 규정 없음
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 없음
• 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 규정 없음

보유 인력

없음

보유 인력 수·등급을 점수나 참가 조건으로 본다는 규정이 없음.

• 기준 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 규정 없음
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 없음

전담 인력

해당 없음

단순 물품 구매로 투입 인력·현장대리인 전담 규정이 없음.

• 참여율 상한 · 해당 없음
• 크기 · 해당 없음
• 대상 · 해당 없음

큰 배점 항목

해당 없음(평가표 없음 — 낙찰하한율 이상 최저가)

평가표 없이 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상 최저가 투찰자를 낙찰자로 결정.

낙찰자 결정은 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상을 충족하면서 최저가격을 투찰한 자를 계약상대자로 결정하며

가점

없음

특허·신기술·수상·우수업체 선정·기술개발 투자·신규 고용 가점 규정이 없음.

• 가점 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 규정 없음
• 가점 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 규정 없음

가격을 연 뒤 낙찰자를 어느 심사 기준으로 가…

심사 없음(하한율 이상 최저가·배제사유만)

제한적최저가입찰(낙찰하한율)로 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상 최저가 투찰자를 낙찰자로 결정. 동일가격 시 추첨.

• 통과선 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 낙찰하한율 수치가 문서에 없음

본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율)임.

낙찰자 결정은 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상을 충족하면서 최저가격을 투찰한 자를 계약상대자로 결정하며, 낙찰이 될 수 있는 동일가격 입찰서 제출자가 2인 이상인 경우는 동일 가격 입찰자를 대상으로 나라장터 시스템을 통해 자동으로 추첨하는 방식을 적용한다.

카테고리 · 연구·실험·계측장비 5개

지원사업·R&D 재원

아니다

품질 인증

없음

경비 부담

우리 부담(대가 안)

공정 장비 종류

노광(리소그래피)

반도체 리소그래피(Photo-lithography) 공정에서 패턴이 그려진 포토마스크와 기판을 정확 하게 위치 정렬하고 UV 광원을 조사하여 미세 패턴을 전사하는 핵심 노광 장비임.

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

6inch 이하

조각(Piece) 단위의 소형 시료부터 최대 6인치 웨이퍼까지 연구실의 다양한 샘플 규격에 맞춘 공정이 가능함.

문서 발췌

2. 상세 규격 내용 품명 마스크 얼라이너 시스템 수량 1EA 세부 내역 ■ 주요 사양 Ⅰ.용도 - 반도체 리소그래피(Photo-lithography) 공정에서 패턴이 그려진 포토마스크와 기판을 정확 하게 위치 정렬하고 UV 광원을 조사하여 미세 패턴을 전사하는 핵심 노광 장비임. - Z-axis 모션이 모터로 동작하는 PC 제어 기반의 반자동(Semi-auto) 장비로, 반복 공정 시 작업자 편차를 줄이고 수율을 향상시킬 수 있음. - 조각(Piece) 단위의 소형 시료부터 최대 6인치 웨이퍼까지 연구실의 다양한 샘플 규격에 맞춘 공정이 가능함. - 외부 보행 진동 등이 발생하는 Yellow Room 환경에서도 해상도 저하를 막기 위해 방진 메커니즘이 통합된 구조를 지님. Ⅱ. 특성 - 수은등의 전 파장(350-450nm)의 조사가 가능하다. - 마스크와 시편의 정렬 오차가 1㎛를 넘지 않는다. - 1㎛ 이내의 패턴 해상도를 구현한다. - 평행광 오차가 ±1°를 초과하지 않는다 - 자외선의 조사 균일도가 ±3%를 초과하지 않는다. Ⅲ. 성능 및 규격 1. 반도체 노광 공정용 Mask Aligner 가. 본체 1) System Type : Semi Auto / Manual System - Auto exposure, Leveling and Z axis Stage motion

2) Sample size : Piece to 6 inch 3) Mask Holder : 7 inch x 7 inch 4) Auto leveling of mask and sample 나. Light source module (광원 모듈) 1) Lamp type : Mercury Short arc lamp (1 kW) 2) Wavelength : 350nm to 450nm 3) 365nm Beam Intensity : ~ 25 mW/cm² 4) Max. beam size : 7.25 inch x 7.25 inch 5) Beam Uniformity : ≤±3% 다. Microscope (현미경) 1) Manual moving stage : Dual X, Y, Z axis 2) Magnification : 85x ~ 540x 3) Objective spacing : 50 ~ 150mm 4) Move range : Y Axis ± 10 mm 5) Working distance : 86 mm / 32 mm (2X Lens) 라. Stage and controller module (스테이지 및 제어 모듈) 1) Exposure Timer : minimum time of 0.1 sec

2) Stage movement : X, Y, Z and Theta X, Y : ±5 mm , Theta : About ±4° Z Motion travel : 15 mm 3) Contact mode : Vacuum, Hard, Soft Contact & Proximity gap 4) Stage Resolution : X, Y Stage Resolution: 0.1 um Theta : 5 x 10-5 degrees Z Axis : 0.1 ~ 10 um 5) Z and Theta Axis motorized motion 6) Z-Axis Alignment Gap: 0 ~ 100 um 마. Resolution (해상도) 1) Vacuum Contact : 1 um 2) Hard Contact : 2 um 3) Soft contact : 3 um 4) Proximity contact (20 um): 5 um Ⅳ. 납품 및 교육 1. 설치 및 납품 - 설치 조건 · 공간 효율성: Yellow Room 내 협소한 공간 및 연구원 이동 동선을 고려한 가로 1150 mm 세로 1070 mm 높이 1500 mm 이내의 본체 설계. · 안정성: 잦은 진동 노출 환경에서도 공정 정밀도를 유지할 수 있도록 본체와 통합된 일체형 고성능 제진대(Active/Passive Isolation) 구조 필수. · 지정 장소 설치 및 정상 가동 여부 검수 진행 - 설치장소 : 수요자 지정장소

2. 교육 - 밀착형 기술 전수: 장비 운영 조기 정착을 위해 원격 지원이 아닌, 전문 엔지니어에 의한 대면 중심의 사용자 교육 및 심화 기술 지원 솔루션을 반드시 제공해야 함. - 장비 기본 조작, 공정 세팅, 유지보수 및 안전 관리에 대한 현장 교육 실시 Ⅴ. 하자보수(Maintenance) 1. 하자보수 기간 : 1년 이상 2. 하자보수 조건 - 신속 대응 체계: 장애 발생 시 24시간 이내 현장 방문 및 정밀 진단이 가능한 서비스 망을 갖추어야 함. - 예방적 품질 관리: 미숙련 사용자의 빈번한 사용으로 인한 고장을 방지하기 위해 정기적인 점검과 소모품 예방 정비 서비스를 제공해야 함. - 공정 연속성 보장(Backup Solution): 장비 결함으로 인한 가동 중단 시, 연구 리스크 최소화를 위해 제조사가 보유한 동일 모델 이상의 데모(Demo) 장비를 활용한 공정 지원이 가능해야 함. Ⅵ. 기타 조건(Remarks) 1. 공통사항 - 본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다. - 제안에 포함된 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며, Refurbished, Used, Warranty 서비스용 부품의 제안해서는 안 된다. - 국내 설치. 교육. 장애 대응 및 부품 공급이 가능한 기술 지원 체계를 갖추고 입찰 시 담당연락처를 제출해야 한다

2. 기타 조건 - 국내 제조 장비: 반도체 소부장 기술 자립화 취지에 부합하는 국내 제조 장비 - 공정 유연성 및 확장성: 6인치, 4인치 웨이퍼 및 조각(Piece) 샘플 모두 대응 가능한 구조여야 하며, 특수 샘플 대응을 위한 전용 Jig 및 Mask Holder 등 맞춤형 추가 KIT 제작 및 기술 서비스를 제공해야 함. 요청 사항 -. 입찰 종료 전(개찰 동일 또는 동급 장비의 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과 이미지와 측정조건)을 제출해야 함. -. 기한 내 미제출하거나 제출자료를 통해 요구.성능 충족여부를 확인할 수 없는 경우 규격 부적합으로 판정할 수 있음. === 1. 입찰세부공고_한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매.hwp === 한양대학교ERICA RISE지산학협력단 공고 제01-2026-0008호

한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매 입찰 공고

1. 입찰에 부치는 사항 가. 입찰건명 : 한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매 나. 구매내역 : 붙임1. 한양대학교ERICA 퍼니스 시스템 규격서 확인 다. 납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료) 라. 납품장소 : 한양대학교 ERICA캠퍼스 4공학관 1층 머시닝기술센터 2. 입찰방법 가. 본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율)임.