한양대학교 ERICA 퍼니스 시스템 구매

요약 AI 요약

실리콘 웨이퍼 표면에 고품질 열산화막(SiO2)을 형성하는 반도체 전공정 장비인 Dry Oxidation Furnace(퍼니스 시스템) 1대를 구매하는 사업이다. 한양대학교 ERICA 반도체 GAIA의 RISE 사업에서 반도체 소자·공정 실무교육, 산학연계 연구개발, 기업 기술지원 및 시제품 제작에 활용한다.

• 질소·산소 분위기에서 최대 1,200℃(히터 표면)까지 올려 6인치 웨이퍼의 확산 및 건식·습식 열처리
• 공정 챔버 모듈: 히터(최대 1,200℃, R-type 스파이크 열전대), 볼 조인트 석영 튜브, 앞뒤 석영 배플, 25장 석영 보트, SiC 캔틸레버형 자동 로더(AC 모터, 6인치 웨이퍼 25장)
• 가스 공급 모듈: N2·O2용 공정 MFC, water용 Bubbling mantle(3,000cc, 최대 100도 온도 조절, 과열 안전 기능, 가스 라인 히팅), PFA 공압식 밸브·PFA 가스 라인·체크 밸브·316L SUS 가스 라인·스웨즈락 피팅
• 제어 모듈: PC 기반 시스템 제어, 공정 소프트웨어(GUI, 공정 데이터 로깅, 레시피 편집/저장/다운로드/실행, 무기한 라이센스), 아날로그·디지털 입출력 카드, 전력 구동 패널·온도 컨트롤러 패널·MFC 컨트롤러 패널
• 프레임 모듈: 이동이 쉽도록 캐스터 및 레벨링 풋 부착
• 공정 조건: 온도 제어 정확도 1,100℃±1℃, Dry oxidation(300Å, 6인치 10매) 및 Wet oxidation(1,000Å, 6인치 10매)에서 Within wafer·Wafer to wafer·Run to Run 각각 ≤±3%, Factory Test Sheet 제출, 납품 전 제조자 clean room에서 성능 검사 및 공정 시연

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핵심요약

입찰 전

서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 발주처 담당자 사전 확인·서명 · 샘플·시안 선제출 · 벽

입찰 전 따로 할 절차 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 발주처 담당자 사전 확인·서명

서류 제출 마감일시 : 2026. 10. 15. 10:00까지(방문 제출에 한함, 우편 접수 불가) / 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

서류 제출 마감일시 : 2026. 10. 15. 10:00까지(방문 제출에 한함, 우편 접수 불가)

사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

샘플·시안 선제출 · 벽

입찰 서류를 제출한 업체로서 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받아야 하며, 사용부서확인서(서식 6)를 제출해야 한다. 사용부서 확인서에는 현장실사를 필하였음이 적혀 있다. 평가표 배점은 문서에 없다.

국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

(업체명 수기로 기입)이/가 현장실사를 필하였으며, 차후 본 입찰에 최저가 낙찰되어 계약을 체결하고 물품의 제조 및 납품 이행을 하게 되는 것에 이견이 없음을 확인합니다.

규격·기술 심사

항목마다 적합·부적합

사용부서의 사양 적합 확인을 받아야 함

• 통과선 · 해당 없음
• 필수 항목·과락 · 해당 없음

사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

문서 분석

수행 기간

옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음

2026년 12월 30일까지 납품

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 2026년 12월 30일

  납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

문서 분석

하자보수

1년 이상

무상보수 기간은 검수일로부터 1년

• 기점 · 설치·검수 완료일

  무상보수 - 검수일로부터 1년

• 보증 기간 정기점검 · 없음
• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

하자보수 기간 : 1년 이상

무상보수 - 검수일로부터 1년

문서 분석

공정 장비 종류

열·전자빔 증착

Dry Oxidation Furnace — 산소 분위기 고온 열산화로 Si 웨이퍼 표면에 SiO2 형성(열산화 방식)

Dry Oxidation Furnace는 실리콘(Si) 웨이퍼 표면에 고품질의 열산화막(SiO2)을 형성하기 위한 반도체 전공정 핵심 장비로서, 고온 분위기에서 산소(O2)를 이용하여 균일하고 치밀한 산화막을 성장시키는 장비이다.

문서 분석

가격

추정가격

83,636,364원

배정예산

92,000,000원

기초금액

92,000,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)

낙찰하한율

86.245%

부가세

8,363,636원

예정가격 방식

복수예가

첨부파일

• HWP · 붙임1. 한양대학교ERICA 퍼니스 시스템 구매 규격서.hwp · 공고규격서
• PDF · 1. 입찰세부공고_한양대학교ERICA 퍼니스시스템 구매.pdf · 공고규격서
• HWP · 1. 입찰세부공고_한양대학교ERICA 퍼니스시스템 구매.hwp · 공고규격서
• PDF · 붙임1. 한양대학교ERICA 퍼니스 시스템 구매 규격서.pdf · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

납품

납품

옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 · 문서

품명

열산화반응챔버 (2321117701)

세부품명 등록

아니오

제조물품

아니오
문서: 직접 생산 · 없음

수량

1 ea
문서: 일의 분량 · 1EA

인도조건

설치까지 · 현장설치도
문서: 일의 끝 · 설치·시운전·가동까지

참가 자격 · 제한

지역제한

제한 없음
문서: 지역 조건 · 없음

업종제한

제한 없음
문서: 업종·면허 조합 · 한 업종
문서: 설치 공사업 면허 · 없음

제출 방법

전자입찰
문서: 입찰 전 절차 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 발주처 담당자 사전 확인·서명

실적경쟁 · PQ

모름
문서: 실적 · 없음

공동수급

공동수급불허
문서: 공동수급 · 막음

입찰참가 제한

모름

국제입찰

국내입찰

입찰 일정

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 퍼니스 시스템 구매·설치·교육·하자보수

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

실리콘 웨이퍼 건식 열산화막 형성을 위한 반도체 전공정 장비(열산화로)를 사서 설치·교육·하자보수까지 맡기는 일로, 반도체·박막 공정장비에 해당한다.

• 6인치 웨이퍼 25장용 석영 보트·SiC 캔틸레버 자동 로더 등 공정 챔버 모듈
• N2·O2 MFC, 버블링 맨틀, PFA 가스라인 등 가스 공급 모듈
• PC 기반 시스템 제어·공정 소프트웨어(무기한 라이선스)·입출력 카드 등 제어 모듈
• 캐스터·레벨링 풋이 달린 프레임 모듈
• 제조자 클린룸에서의 성능 검사·공정 시연 및 Factory Test Sheet 제출
• 수요자 지정 장소 납품·설치
• 납품 후 장비 운영 교육
• 검수일로부터 1년 이상 무상 하자보수 및 긴급·유상 보수 지원
• 매뉴얼(책자 1부, PDF)

걸리는 것 · 입찰 전 할 일

입찰 전 할 일

• 입찰 전 따로 할 절차 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 발주처 담당자 사전 확인·서명

  서류 제출 마감일시 : 2026. 10. 15. 10:00까지(방문 제출에 한함, 우편 접수 불가) / 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

  서류 제출 마감일시 : 2026. 10. 15. 10:00까지(방문 제출에 한함, 우편 접수 불가)

  사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

• 샘플·시안 선제출 · 벽

  입찰 서류를 제출한 업체로서 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받아야 하며, 사용부서확인서(서식 6)를 제출해야 한다. 사용부서 확인서에는 현장실사를 필하였음이 적혀 있다. 평가표 배점은 문서에 없다.

  국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

  (업체명 수기로 기입)이/가 현장실사를 필하였으며, 차후 본 입찰에 최저가 낙찰되어 계약을 체결하고 물품의 제조 및 납품 이행을 하게 되는 것에 이견이 없음을 확인합니다.

더 확인할 것

기성품·주문제작

이럴 때 꼭 봅니다 — 주문제작 · 설계부터 우리가

주문제작(받은 규격·도면대로)

규격서에 명시된 상세 사양(히터 최대 온도, 석영 튜브·보트, MFC, PC 제어 방식 등)에 맞춰 제작·납품하는 장비이며, 동등 및 동급 이상 규격 제안이 허용된다. 공정 소프트웨어는 공정 프로그램 제공(라이선스 무기한)으로 명시되어 있다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품을 엮어 하나의 시스템으로 통합한다는 내용이 없다.

본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 함

• 동등 입증 때 · 입찰 때(공고일·마감일 기준) 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체여야 하며 사용부서확인서를 제출해야 함

  사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

원산지(국산)

수입 허용

국내 제조 장비를 권장함(반도체 소부장 기술 자립화 취지)

국내 제조 장비: 반도체 소부장 기술 자립화 취지에 부합하는 국내 제조 장비

합격선

숫자 기준 있음

Temp. control accurarcy: 1,100℃± 1℃, Dry/Wet oxidation With in wafer/Wafer to wafer/Run to Run: ≤±3%

• 따를 표준·지침 · 없음

Temp. control accurarcy: 1,100℃± 1℃

With in wafer: ≤±3%

Wafer to wafer: ≤±3%

Run to Run: ≤±3%

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

카탈로그·제조사 사양서

사용부서확인서 작성을 위해 제품사양 등을 확인받아야 함

• 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

사용부서로부터 확인을 받은 견적(사양)서 여백 및 사용부서 확인서에 서명을 받아야 함.

참가 범위

공개 경쟁

본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율)임.

현장 여건

제조자가 납품 전 clean room 내에서 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)을 부담하여 구성해야 함.

• 부대공사·현장 준비 · 우리 부담(대가 안) 제조자 부담

  성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함.

• 위험작업 · 없음

납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함.

공장 실사·입회

계약 전 실사

사용부서 확인서에 입찰 참여 업체에 대해 현장실사를 필하였음이 적혀 있다. 제작 중 검사·입회, 납품 전 검사는 문서에 없다.

(업체명 수기로 기입)이/가 현장실사를 필하였으며, 차후 본 입찰에 최저가 낙찰되어 계약을 체결하고 물품의 제조 및 납품 이행을 하게 되는 것에 이견이 없음을 확인합니다.

A/S 조직·인력

의무 · 계약 뒤 지킬 일

국내 설치, 교육, 장애 대응 및 부품 공급이 가능한 기술 지원 체계 구축 및 주요 부품/대체 재고 보유·관리 의무

• 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 크기 · -
• 대상 · A/S 부서·조직 · 예비품 보유

국내 설치. 교육. 장애 대응 및 부품 공급이 가능한 기술 지원 체계를 갖추고 입찰 시 담당연락처를 제출해야 한다

무상 보수 기간 이후 납품업체는 제품의 안정적인 운영을 위하여 주요 부품 및 대체 재고를 보유·관리하여야 하며

지원사업·R&D 재원

정부·지자체 지원사업 돈

RISE 사업(한양대학교 ERICA 반도체 GAIA의 RISE 사업)

본 장비는 한양대학교 ERICA 반도체 GAIA의 RISE 사업에서 추진하는 반도체 소자·공정 실무교육, 산학연계 연구개발, 기업 기술지원 및 시제품 제작을 위한 핵심 공정장비로 활용할 예정이다.

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

6inch

6인치 웨이퍼 25장 적재 가능

본 장치는 질소, 산소 분위기에서 최대 1,200℃(히터 표면)를 올려 6인치 웨이퍼 표면을 확산 및 건식 & 습식을 하는 열처리로 장비이다.

6인치 웨이퍼 25장 적재 가능

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

10/07(수)

공고번호

R26BK01759047-000

참조번호

-

공고기관

한양대학교 에리카산학협력단

수요기관

한양대학교 에리카산학협력단

계약방법

일반경쟁

낙찰방법

제한적최저가(낙찰하한율)

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

83,636,364원

배정예산

92,000,000원

사전규격번호

R26BD00279095

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 분석 전체

이 분야에서 갈리는 것 · 우리가 만드는 공정 방식·기판 크기인가, 주문제작을 150일 안에 끝낼 수 있나, 기술평가 85점을 넘나, 3년 품질보증을 감당하나에서 갈린다.

질문 87개 · 꼭 5 · 좋음 18 · 안 봐도 됨 64

주제 · 참가 자격 9개

업종·면허 조합

한 업종

참가자격은 국가계약법 시행령 제12조·시행규칙 제14조 규정에 의한 자격요건을 갖춘 사업자로서 사용부서 사양 적합 확인을 받은 업체. 법·조례가 정한 별도 허가·지정·등록, 업태·종목, 전문매장 보유 조건은 없음.

• 코드 밖 자격 · 없음 법·조례가 정한 허가·지정·등록, 사업자등록증 업태·종목, 전문매장 보유 등 별도 자격 요구 없음.

국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

지역 조건

없음

본점 지역 제한 외에 사업장·지사·시설·인력 소재, 지역 거점, 지역 인력 고용·장비 사용, 지역 업체 공동수급, 지역 가점 조건 없음. 규격서에 '지역 반도체 기업의 공정개발 및 시제품 제작 지원'이라는 활용 목적 문구만 있음.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 지역 관련 평가표 없음.
• 대상 · - 해당 없음.

실적

없음

실적 요구 없음. 참가자격은 법령 자격요건과 사용부서 사양 적합 확인만.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 실적 평가표 없음.
• 조건 · 없음 실적 인정 범위 규정 없음.

업력

없음

업력 요구 없음.

• 요구 업력 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 업력 요구 없음.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 업력 평가표 없음.

공동수급

막음

본 계약 이행에 따르는 일체의 채권·채무를 제3자에게 양도하거나 위임, 하청, 공동 도급할 수 없다고 명시.

• 자격을 나눠 채우기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공동수급 자체가 금지되어 자격 분담 규정 없음.

본 계약 이행에 따르는 일체의 채권 및 채무를 제3자에게 양도하거나 위임, 하청, 공동 도급할 수 없다.

회사 규모·신분

제한 없음

규모·신분에 따른 참가 제한 없음. 참가자격은 법령 자격요건과 사용부서 사양 적합 확인만.

안전보건수준평가

없음

안전보건수준평가 대상 지정 문구 없음.

하도급

막음

본 계약 이행에 따르는 일체의 채권·채무를 제3자에게 양도하거나 위임, 하청, 공동 도급할 수 없다고 명시.

• 하도급 한도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급 자체가 금지되어 한도 규정 없음.

본 계약 이행에 따르는 일체의 채권 및 채무를 제3자에게 양도하거나 위임, 하청, 공동 도급할 수 없다.

직접 생산

없음

직접생산확인 요구 없음. 다만 제안 물품은 제조사 정품 부품이어야 하고 Refurbished·Used·Warranty 서비스용 부품 제안 불가, 국내 제조 장비 조건 있음.

• 참가 등록 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조·공급 등록 구분 규정 없음.
• 직생 범위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 직접생산확인 요구 없음.
• 대상 · - 직생·제조 등록·한 제조사 제품 조건 없음.

제안에 포함된 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며, Refurbished, Used, Warranty 서비스용 부품의 제안해서는 안 된다.

국내 제조 장비: 반도체 소부장 기술 자립화 취지에 부합하는 국내 제조 장비

주제 · 제품 규격·인증 9개

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 함

• 동등 입증 때 · 입찰 때(공고일·마감일 기준) 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체여야 하며 사용부서확인서를 제출해야 함

  사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

제조사 확약서

의무 · 계약 뒤 지킬 일

정품 증명 서류

• 대상 · 정품보증서·정품확인서
• 조건 · 없음

낙찰 후 정품에 대한 관련 증명을 요구하는 경우 낙찰자는 정품임을 증명하는 서류를 즉시 제출하여야 한다.

제품 인증

의무 · 계약 뒤 지킬 일

공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet)

• 크기 · -
• 대상 · 기타
• 조건 · 자체·제조사 시험성적서도 인정 제조자의 clean room 내에서 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 함

  납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함.

구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출)

원산지(국산)

수입 허용

국내 제조 장비를 권장함(반도체 소부장 기술 자립화 취지)

국내 제조 장비: 반도체 소부장 기술 자립화 취지에 부합하는 국내 제조 장비

합격선

숫자 기준 있음

Temp. control accurarcy: 1,100℃± 1℃, Dry/Wet oxidation With in wafer/Wafer to wafer/Run to Run: ≤±3%

• 따를 표준·지침 · 없음

Temp. control accurarcy: 1,100℃± 1℃

With in wafer: ≤±3%

Wafer to wafer: ≤±3%

Run to Run: ≤±3%

등록 제품

없음

• 대상 · -

신품·제조 시기

의무 · 계약 뒤 지킬 일

모든 부품은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 함

• 제조 뒤 경과 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 남은 유효기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

장비를 구성하는 모든 부품들은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다.

규격·기술 심사

항목마다 적합·부적합

사용부서의 사양 적합 확인을 받아야 함

• 통과선 · 해당 없음
• 필수 항목·과락 · 해당 없음

사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

카탈로그·제조사 사양서

사용부서확인서 작성을 위해 제품사양 등을 확인받아야 함

• 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

사용부서로부터 확인을 받은 견적(사양)서 여백 및 사용부서 확인서에 서명을 받아야 함.

주제 · 입찰 절차 9개

참가 범위

공개 경쟁

본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율)임.

여러 과제로 나뉨

나뉘지 않음

• 여러 개 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

입찰 전 절차

서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 발주처 담당자 사전 확인·서명

서류 제출 마감일시 : 2026. 10. 15. 10:00까지(방문 제출에 한함, 우편 접수 불가) / 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

서류 제출 마감일시 : 2026. 10. 15. 10:00까지(방문 제출에 한함, 우편 접수 불가)

사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

현장설명회

없음

정정·재공고 변경

해당 없음(첫 공고)

낙찰 업체 수

한 업체가 전량

• 최소 응찰 물량 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

MAS 2단계경쟁

아니다

입찰보증금

실제로 낸다(보증서·현금)

입찰서류 제출 마감 일시까지 납부하여야 한다.

• 입찰보증금 비율 · 5% 이상 입찰금액

  입찰금액의 5/100 이상의 이행(입찰)보증보험증권(원본)

• 계약·하자 보증 비율 · 계약보증금 10% · 하자(이행)증권 3% 계약금액

  계약 시 대학이 제시하는 구매 예정액의 100분의 10을 계약보증금(현금 또는 보증보험증권)으로 납부하여야 한다.

  낙찰자는 계약 후 납품 시 계약금액의 100분의 3에 해당하는 하자(이행)증권을 납부하여야 한다.

입찰금액의 5/100 이상의 이행(입찰)보증보험증권(원본)으로 입찰서류 제출 마감 일시까지 납부하여야 한다.

문서끼리 다른 곳

아니다

주제 · 과업 범위 11개

다른 업 섞임

섞이지 않음

구매 품목은 퍼니스 시스템 1종뿐이며, 다른 면허·공종·품목의 일이 섞여 있다는 내용이 없다.

하는 일

실리콘 웨이퍼 표면에 열산화막(SiO2)을 형성하는 Dry Oxidation Furnace(퍼니스 시스템) 1EA를 구매하는 사업이다. 질소·산소 분위기에서 최대 1,200℃(히터 표면)까지 올려 6인치 웨이퍼 25장을 처리하는 열처리로로, 공정 챔버·가스 공급·제어·프레임 모듈로 구성되며 1,100℃±1℃ 온도 제어 정확도와 산화막 두께 균일도 ±3% 이내 등의 성능을 요구한다.

Dry Oxidation Furnace는 실리콘(Si) 웨이퍼 표면에 고품질의 열산화막(SiO2)을 형성하기 위한 반도체 전공정 핵심 장비로서, 고온 분위기에서 산소(O2)를 이용하여 균일하고 치밀한 산화막을 성장시키는 장비이다.

본 장치는 질소, 산소 분위기에서 최대 1,200℃(히터 표면)를 올려 6인치 웨이퍼 표면을 확산 및 건식 & 습식을 하는 열처리로 장비이다.

기존 시스템과 이어짐

없음(새로 하는 독립된 일)

기존 시스템·설비와의 연동, 기존 제조사 제품 지정, 연속 사업, 연동 SW 개발, 상대편 연동 작업·비용 부담에 관한 내용이 없다.

설치 공사업 면허

없음

전기·정보통신·수도·소방 등 공사업 면허를 요구하거나 하도급·공동수급 조건을 정한 내용이 없다. 다만 계약 이행의 하청·공동도급은 금지되어 있다.

• 대상 · - 공사업 면허 대상이 적혀 있지 않다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공사업 면허 관련 하도급·공동수급·직접 시공 조건이 적혀 있지 않다.

일의 끝

설치·시운전·가동까지

납품 전 제조자 clean room에서 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 수요자 지정 장소에 납품·설치하며, 납품 후 장비 운영 교육을 해야 한다.

• 시험운영 기간 · 정해지지 않음 설치·시운전 뒤 넘기기 전까지의 시험운영 기간이 적혀 있지 않다.

납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함.

설치 및 납품 : 2026년 12월 30일까지 수요자 지정 장소에 납품

기성품·주문제작

주문제작(받은 규격·도면대로)

규격서에 명시된 상세 사양(히터 최대 온도, 석영 튜브·보트, MFC, PC 제어 방식 등)에 맞춰 제작·납품하는 장비이며, 동등 및 동급 이상 규격 제안이 허용된다. 공정 소프트웨어는 공정 프로그램 제공(라이선스 무기한)으로 명시되어 있다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품을 엮어 하나의 시스템으로 통합한다는 내용이 없다.

본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

함께 넘길 물품

매뉴얼(책자 1부, PDF)

부속품으로 매뉴얼 책자 1부와 PDF를 요구한다.

부속품
- 매뉴얼 (책자 1부, PDF)

철거·폐기

없음

기존 장비·시설의 철거·이설·폐기·반납이나 폐기물·포장재 회수에 관한 내용이 없다.

부가 작업

납품 후 장비 운영에 대한 교육(일정은 상호 협의)과 하자보수(무상보수 1년, 긴급 A/S 24시간 이내 점검 등)를 부가로 수행해야 한다.

교육 : 납품 후 장비 운영에 대한 교육이 이루어져야 하며, 일정은 상호 협의하여 결정

디자인 몫

해당 없음

디자인·편집·원고 작업이 있는 사업이 아니다.

묶인 품목 수

1종

퍼니스 시스템(FURNACE SYSTEM) 1종, 수량 1EA이다.

• 제조사 수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조사·상표를 하나로 정해 적지 않았고, 국내 제조 장비라는 조건만 있다.

| 1 | 장비 | 퍼니스 시스템
(FURNACE SYSTEM) | 2321117701 (열산화반응챔버) | 1 |

주제 · 납품 일정·현장 11개

일의 분량

1EA

퍼니스 시스템 1대 구매

• 열린 분량 · 정해짐

품명 퍼니스 시스템 (FURNACE SYSTEM) 수량 1EA

수행 기간

옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음

2026년 12월 30일까지 납품

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 2026년 12월 30일

  납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

현장·납품지

1곳

한양대학교 ERICA캠퍼스 4공학관 1층 머시닝기술센터

• 열린 분량 · 정해짐
• 범위 · 없음(국내 보통 현장)

납품장소 : 한양대학교 ERICA캠퍼스 4공학관 1층 머시닝기술센터

현장 여건

제조자가 납품 전 clean room 내에서 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)을 부담하여 구성해야 함.

• 부대공사·현장 준비 · 우리 부담(대가 안) 제조자 부담

  성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함.

• 위험작업 · 없음

납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함.

작업 시기

제약 없음

다른 일정에 묶임

아니다

나눠 납품

한 번에 전량

2026년 12월 30일까지 납품

• 분할납품 · 해당 없음 단일 품목 1대 납품

납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

보관 조건

해당 없음

주문 뒤 납품 시한

정해지지 않음

납품기한이 특정 날짜로 지정됨

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

포장·표시

매뉴얼 책자 1부 및 PDF 제출 요구

부속품 - 매뉴얼 (책자 1부, PDF)

보안 조치

없음

주제 · 견본·검사·검수 7개

검수

발주처 검수만

납품 전 제조자의 클린룸에서 성능 검사·공정 시연을 거쳐 검수 조건을 만족해야 수요기관에 납품 가능하며, 납품기한은 검수·납품·설치·세금계산서 발행 완료까지이다. 외부 기관 심의·승인·감리·성과심사는 없다.

납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함.

납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

샘플·시안 선제출

벽 · 못 맞추면 탈락

입찰 서류를 제출한 업체로서 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받아야 하며, 사용부서확인서(서식 6)를 제출해야 한다. 사용부서 확인서에는 현장실사를 필하였음이 적혀 있다. 평가표 배점은 문서에 없다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 배점이 문서에 없다.
• 대상 · 기타 사용부서 사양 적합 확인·현장실사

  국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출

(업체명 수기로 기입)이/가 현장실사를 필하였으며, 차후 본 입찰에 최저가 낙찰되어 계약을 체결하고 물품의 제조 및 납품 이행을 하게 되는 것에 이견이 없음을 확인합니다.

시험·검사

우리 부담(대가 안)

납품 전 제조자의 클린룸에서 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하며, 이를 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담한다. 공정 검수 사양 test 자료(Factory Test Sheet)를 제출해야 한다.

• 시험 단위 · 한 번 납품 전 1회 성능 검사·공정 시연

  납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함.

• 시험 장소 · 출고 전 공장 제조자의 클린룸

  납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함.

구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출)

납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함.

시안 승인

모름 · 문서로 확인 안 됨

본 작업·제작 전 시안·샘플·제작도·중간검수 승인 횟수는 문서에 없다. 납품 전 제조자 클린룸에서 성능 검사·공정 시연을 거쳐야 한다는 조건만 있다.

• 수정 횟수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 문서에 없다.
• 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 문서에 없다.

공장 실사·입회

계약 전 실사

사용부서 확인서에 입찰 참여 업체에 대해 현장실사를 필하였음이 적혀 있다. 제작 중 검사·입회, 납품 전 검사는 문서에 없다.

(업체명 수기로 기입)이/가 현장실사를 필하였으며, 차후 본 입찰에 최저가 낙찰되어 계약을 체결하고 물품의 제조 및 납품 이행을 하게 되는 것에 이견이 없음을 확인합니다.

이 공고가 군수품 조달인가 — 국방부·각 군이…

아니다

수요기관은 한양대학교 에리카산학협력단이며, 군수품 특수조건·국방규격·재고번호·국방 표지·군 검사·부대 출입 보안 같은 군 전용 절차가 없다.

군수품이면 납품 검사·검수는 누가 하나 — 수…

해당 없음

군수품 조달이 아니다.

• 품질보증형태 · 해당 없음 군수품 조달이 아니다.

주제 · 인력·A/S·하자 대응 8개

장비·시설 보유

없음

국내 설치, 교육, 장애 대응 및 부품 공급이 가능한 기술 지원 체계를 갖추고 입찰 시 담당연락처를 제출해야 함

• 갖출 때 · 입찰 때
• 크기 · -
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

국내 설치. 교육. 장애 대응 및 부품 공급이 가능한 기술 지원 체계를 갖추고 입찰 시 담당연락처를 제출해야 한다

인력 자격

해당 없음

• 크기 · -
• 대상 · -

출동 시한

의무 · 계약 뒤 지킬 일

긴급 A/S 요청 시 24시간 이내 현장 방문 또는 원격 점검 실시

• 도착 시한 · 24시간 야간·휴일 포함

장비의 이상으로 본교의 긴급 A/S 요청 시, 24시간 이내에 현장 방문 또는 영상/원격 통신 등을 통한 점검 및 상태 진단을 실시하고, 최단 시간 내에 장비가 정상 가동되도록 조치하여야 한다.

처리 시한

48시간

무상 보수 기간 내 제품 하자 발생 시 보수 시한

• 기점 · 요청·신고·접수 받은 때

무상 보수 기간 내 제품에 하자 발생시 48시간 내에 즉시 보수되어야 한다.

교육·기술이전

모름 · 문서로 확인 안 됨

납품 후 장비 운영에 대한 교육 실시, 일정은 상호 협의 결정

• 무상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

교육 : 납품 후 장비 운영에 대한 교육이 이루어져야 하며, 일정은 상호 협의하여 결정

하자보수

1년 이상

무상보수 기간은 검수일로부터 1년

• 기점 · 설치·검수 완료일

  무상보수 - 검수일로부터 1년

• 보증 기간 정기점검 · 없음
• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

하자보수 기간 : 1년 이상

무상보수 - 검수일로부터 1년

단종 뒤 부품 공급

해당 없음

A/S 조직·인력

의무 · 계약 뒤 지킬 일

국내 설치, 교육, 장애 대응 및 부품 공급이 가능한 기술 지원 체계 구축 및 주요 부품/대체 재고 보유·관리 의무

• 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 크기 · -
• 대상 · A/S 부서·조직 · 예비품 보유

국내 설치. 교육. 장애 대응 및 부품 공급이 가능한 기술 지원 체계를 갖추고 입찰 시 담당연락처를 제출해야 한다

무상 보수 기간 이후 납품업체는 제품의 안정적인 운영을 위하여 주요 부품 및 대체 재고를 보유·관리하여야 하며

주제 · 가격·대금·계약 조건 11개

총액·단가 방식

총액 · 단가×수량

총액계약이면서 투찰금액은 품목별 단가×수량의 합계액으로 산정한다. 낙찰자는 실제 구매량(납품 지시량)이 증감되어도 계약단가로 납품해야 한다. 정산·단가 조정에 대한 별도 문구는 없다.

• 정산 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 확정 금액인지 실적·실비 정산인지 문서에 없다.
• 단가 조정 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 계약 기간 동안 단가 고정 여부나 시세·지표 연동에 대한 문구가 없다.

본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율)임.

투찰금액 = (품목별 단가 × 수량) 의 합계액(부가가치세 포함)

낙찰자는 실제 구매량(납품 지시량)이 증가되거나 감소되어도 본 계약단가에 의하여 납품하여야 하며, 이에 이의를 제기할 수 없다.

물량 변동

확정

퍼니스 시스템 1EA, 상세 규격·수량·납품기한이 규격서에 확정되어 있다.

품명 퍼니스 시스템 (FURNACE SYSTEM) 수량 1EA

설치 및 납품 : 2026년 12월 30일까지 수요자 지정 장소에 납품

발주처 단가 기준

적혀 있지 않음

발주처가 정한 단가·상한가·품셈·요율 등 대가 산정 기준이 공고에 없다.

계약 상대

공고 낸 기관 직접

공고기관·수요기관 모두 한양대학교 에리카산학협력단이며, 계약 상대가 다른 곳이라는 문구가 없다.

그대로 넘길 돈

아니다

계약금액 안에 다른 곳에 넘기거나 정해진 곳에 써야 하는 돈이 있다는 문구가 없다.

• 넘길 돈 · 해당 없음 해당 항목이 없다.
• 투찰 때 반영 · 해당 없음 해당 항목이 없다.

견적 근거

공개 안 됨

규격서·공고문에 설계서·내역서·도면 등 견적 근거가 공개되어 있지 않고, 견적서는 입찰자가 산출내역을 포함해 제출하는 서류다.

• 이윤 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공개된 원가계산서·산출내역이 없다.

견적서(지정된 양식 없음, 산출내역 포함, 입찰가와 무관) - 사용부서 확인(서명)

대금 받는 때

끝난 뒤 한 번에

납품기한 내 검수·납품·설치·세금계산서 발행 완료로 되어 있어 완료 후 지급으로 보인다. 선금·지급 기한에 대한 별도 문구는 없다.

• 선금 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 선금 비율에 대한 문구가 없다.
• 지급 기한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 청구 후 지급 기한에 대한 문구가 없다.

납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)

공채·채권

모름 · 문서로 확인 안 됨

공채·채권 매입에 대한 문구가 없다.

보험 가입

없음

이 일 때문에 들어야 하는 보험·공제 요구가 문서에 없다. 입찰보증보험증권·계약보증금·하자증권은 보증금으로 이 질문 대상이 아니다.

• 보상 한도 · 해당 없음 보험 요구가 없다.
• 보험료 · 해당 없음 보험 요구가 없다.
• 대상 · 해당 없음 보험 요구가 없다.

계약 변동 가능

아니다

낙찰 후 계약이 안 되거나 금액·물량·기간이 바뀔 수 있다는 문구가 없다. 실제 구매량 증감 시 계약단가로 납품한다는 문구는 있으나 계약 자체의 변경을 말하는 것이 아니다.

• 바뀔 수 있는 것 · 해당 없음 해당 문구가 없다.

부가세 과세

모름 · 문서로 확인 안 됨

이 일·품목의 과세·면세 여부를 적은 문구가 없다. 투찰금액에 부가세를 포함하라고만 되어 있다.

• 투찰가에 부가세 · 넣는다 입찰자가 면세사업자인 경우에도 부가세를 포함해 투찰하고, 낙찰 시 낙찰금액에서 부가세 상당액을 차감해 계약한다.

  입찰자가 면세사업자인 경우에도 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰해야 하며, 입찰결과 낙찰자가 면세사업자인 경우 낙찰금액에서 부가가치세 상당액을 차감한 금액으로 계약을 체결함.

뽑는 방식 · 입찰 방식 7개

회사 속성 우대

없음

평가 관련 조항이 없고, 낙찰자는 예정가격 이하·낙찰하한율 이상 최저가 투찰자로 결정한다고만 적혀 있다. 회사 속성 우대 규정은 문서에 없다.

• 우대 대상 · 없음 창업기업·여성기업·장애인기업·사회적기업·소기업·고용 실적·인증·산업재해율 관련 우대 조항이 문서에 없다.
• 가점 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 가점 규정 자체가 없다.

신용등급·경영상태

없음

신용평가등급·기술신용평가 등급·경영상태를 참가 조건이나 점수로 본다는 조항이 없다. 참가자격은 국가계약법령상 자격요건, 정리절차·금융불량 여부, 사용부서 사양 적합 확인뿐이다.

• 등급이 없을 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 등급 평가 자체가 없어 규정이 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표가 없다.
• 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 항목이 문서에 없다.

보유 인력

없음

회사가 보유한 인력의 수·등급을 점수나 참가 조건으로 본다는 조항이 없다. 규격서에는 납품 후 장비 운영 교육만 요구한다.

• 기준 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 기준 인원 규정이 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표가 없다.

전담 인력

해당 없음

이 공고는 물품(퍼니스 시스템) 구매로, 투입 인력·현장대리인 전담·겸직·참여율 관련 조항이 없다.

• 참여율 상한 · 해당 없음 투입 인력 개념이 없는 물품 구매다.
• 크기 · 해당 없음 평가표가 없다.
• 대상 · 해당 없음 투입 인력이 없다.

큰 배점 항목

해당 없음

제안서·규격 평가표가 없고, 낙찰자는 예정가격 이하·낙찰하한율 이상 최저가 투찰자로 결정한다.

가점

없음

특허·신기술·수상·우수업체 선정·기술개발 투자·신규 고용에 대한 가점 조항이 문서에 없다.

• 가점 대상 · 없음 해당 가점 규정이 없다.
• 가점 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 가점 규정이 없다.

가격을 연 뒤 낙찰자를 어느 심사 기준으로 가…

심사 없음(하한율 이상 최저가·배제사유만)

예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상을 충족하면서 최저가격을 투찰한 자를 계약상대자로 결정하며, 동일가격이면 추첨한다. 적격심사 세부기준 적용 문구는 없다.

• 통과선 · 해당 없음 심사 없이 최저가로 결정하므로 통과 점수가 없다.

낙찰자 결정은 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상을 충족하면서 최저가격을 투찰한 자를 계약상대자로 결정하며, 낙찰이 될 수 있는 동일가격 입찰서 제출자가 2인 이상인 경우는 동일 가격 입찰자를 대상으로 나라장터 시스템을 통해 자동으로 추첨하는 방식을 적용한다.

카테고리 · 연구·실험·계측장비 5개

지원사업·R&D 재원

정부·지자체 지원사업 돈

RISE 사업(한양대학교 ERICA 반도체 GAIA의 RISE 사업)

본 장비는 한양대학교 ERICA 반도체 GAIA의 RISE 사업에서 추진하는 반도체 소자·공정 실무교육, 산학연계 연구개발, 기업 기술지원 및 시제품 제작을 위한 핵심 공정장비로 활용할 예정이다.

품질 인증

없음

경비 부담

우리 부담(대가 안)

납품 전 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담

납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함.

공정 장비 종류

열·전자빔 증착

Dry Oxidation Furnace — 산소 분위기 고온 열산화로 Si 웨이퍼 표면에 SiO2 형성(열산화 방식)

Dry Oxidation Furnace는 실리콘(Si) 웨이퍼 표면에 고품질의 열산화막(SiO2)을 형성하기 위한 반도체 전공정 핵심 장비로서, 고온 분위기에서 산소(O2)를 이용하여 균일하고 치밀한 산화막을 성장시키는 장비이다.

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

6inch

6인치 웨이퍼 25장 적재 가능

본 장치는 질소, 산소 분위기에서 최대 1,200℃(히터 표면)를 올려 6인치 웨이퍼 표면을 확산 및 건식 & 습식을 하는 열처리로 장비이다.

6인치 웨이퍼 25장 적재 가능

문서 발췌

과업·요구

『한양대학교 ERICA 퍼니스 시스템 구매』 2026. 09. 29 한양대학교 1. 물품 규격

2. 상세 규격 내용 품명 퍼니스 시스템 (FURNACE SYSTEM) 수량 1EA 세부 내역 ■ 주요 사양 Ⅰ.용도 Dry Oxidation Furnace는 실리콘(Si) 웨이퍼 표면에 고품질의 열산화막(SiO2)을 형성하기 위한 반도체 전공정 핵심 장비로서, 고온 분위기에서 산소(O2)를 이용하여 균일하고 치밀한 산화막을 성장시키는 장비이다. 형성된 SiO2 박막은 MOSFET의 gate oxide, 소자 간 절연막, 표면 보호막, 공정용 마스크 및 계면 특성 제어 등에 활용된다. 본 장비는 한양대학교 ERICA 반도체 GAIA의 RISE 사업에서 추진하는 반도체 소자·공정 실무교육, 산학연계 연구개발, 기업 기술지원 및 시제품 제작을 위한 핵심 공정장비로 활용할 예정이다. 특히 다음과 같은 공정 및 교육에 활용한다. • Si wafer의 dry thermal oxidation을 통한 고품질 SiO2 형성 • MOS capacitor 및 MOSFET 제작을 위한 gate oxide 형성 • CMOS 소자 제작 교육 및 반도체 전공정 실습 • Si 기반 diode, sensor, power device 및 광전자소자 제작 • 산화막 두께 및 산화조건에 따른 소자 전기적 특성 분석 • 반도체 공정 조건 최적화 및 공정 integration 연구 • 지역 반도체 기업의 공정개발 및 시제품 제작 지원 Dry oxidation으로 형성되는 Si/SiO2 계면은 반도체 소자의 성능과 신뢰성을 결정하는 핵심 요소이므로, 본 장비는 단순 박막 형성장비가 아니라 Si 반도체 소자 제작을 위한 핵심 기반 공정장비로 활용된다. Ⅱ. 특성

1. 본 장치는 질소, 산소 분위기에서 최대 1,200℃(히터 표면)를 올려 6인치 웨이퍼 표면을 확산 및 건식 & 습식을 하는 열처리로 장비이다. 2. 가열부를 지정 시간 내에 요구하는 온도에 도달하고, 온도 조절이 자유롭고 열손실이 극히 적으며, 온도편차를 최소화한 설비이다. 3. 장비 구동에 반드시 필요한 공압과 냉각수에 대한 인터락(Safety interlock)이 구성되어 있어야 한다. 4. 장비를 구성하는 모든 부품들은 중고품을 사용할 수 없고 반드시 신품을 사용하여야 한다. Ⅲ. 성능 및 규격 -. 장비 구성 1. 공정 챔버 모듈 2. 가스 공급 모듈 3. 제어 모듈 4. 프레임 모듈 -. 장비 상세 사양 1. 공정 챔버 모듈 가. 히터 1) 히터 최대 온도: 1,200℃(히터 표면) 2) 온도 제어 3) R-type 스파이크 열전대(thermocouple) 나. 공정튜브 1) 볼 조인트(Ball-joint) 형태의 석영 튜브 2) 가스 흐름, 열 분포, 입자 흐름을 제어하기 위한 석영 재질의 배플 (앞, 뒤) 3) 25개의 웨이퍼를 장착할 수 있는 석영 보트 다. 로드 스테이션

1) SiC 캔틸레버형 자동 로더 2) 로더 작동 방식 : AC 모터 3) 6인치 웨이퍼 25장 적재 가능 2. 가스 공급 모듈 가. 사용 가스 및 유량 제어 1) 공정용 MFC: N2, O2 나. Bubbling mantle(water 용) 1) 용량: 3,000cc 2) 재질: 플라스크 3) Bubbling 온도 조절: 최대 100도 4) 과열에 안전한 기능 포함 5) 가스 라인 히팅 다. 가스 밸브 & 가스 라인 1) PFA 공압식 가스 밸브 2) PFA 가스 라인 3) 체크 벨브 4) 316L SUS 재질의 가스 라인 5) 스웨즈락 피팅 사용 3. 제어 모듈 가. 시스템 제어 1) 시스템 제어 방식: PC 2) 공정 소프트웨어 포함: 공정 프로그램 제공 (소프트웨어 라이센스 무기한) GUI, 공정 데이터 로깅, 레시피 편집/저장/다운로드/실행 3) 아날로그 & 디지털 입출력 카드 포함 나. 전기 접점 메커니즘을 가진 메인프레임

1) 전력 구동 패널 (전원 on, off / 비상 스위치) 2) 온도 컨트롤러 패널 3) MFC 컨트롤러 패널 4. 프레임 모듈 - 장비의 이동이 쉽도록 캐스터 및 레벨링 풋 부착 -. 공정 조건 가. Temp. control accurarcy: 1,100℃± 1℃ 나. Dry oxidation(조건: 300Å, 6인치 10 nos. wafer 내) With in wafer: ≤±3% Wafer to wafer: ≤±3% Run to Run: ≤±3% 다. Wet oxidation(조건: 1,000Å, 6인치 10 nos. wafer 내) With in wafer: ≤±3% Wafer to wafer: ≤±3% Run to Run: ≤±3% 라. 구매 규격에 기재된 공정 검수 사양 test 자료 (Factory Test Sheet 제출) 마. 납품 전 제조자의 clean room 내에서 상기 검수 조건에 대한 성능 검사 및 공정 시연을 거쳐야 하고, 검수 조건이 만족되어야만 수요기관으로의 납품이 가능함. 이때, 성능 검사 및 공정 시연을 위한 제반시설(가스, 냉각수, 그 외 안전을 위한 각종 유틸리티 등)은 제조자가 부담하여 구성하도록 함. Ⅳ. 납품 및 교육

1. 설치 및 납품 : 2026년 12월 30일까지 수요자 지정 장소에 납품 2. 교육 : 납품 후 장비 운영에 대한 교육이 이루어져야 하며, 일정은 상호 협의하여 결정 Ⅴ. 하자보수(Maintenance) 1. 하자보수 기간 : 1년 이상 2. 하자보수 조건 가. 기자재 보수: 무상보수 - 검수일로부터 1년 - 무상 보수 기간 내 제품에 하자 발생시 48시간 내에 즉시 보수되어야 한다. 나. 긴급 보수 - 장비의 이상으로 본교의 긴급 A/S 요청 시, 24시간 이내에 현장 방문 또는 영상/원격 통신 등을 통한 점검 및 상태 진단을 실시하고, 최단 시간 내에 장비가 정상 가동되도록 조치하여야 한다. 다. 유상보수 - 무상 보수 기간 이후 납품업체는 제품의 안정적인 운영을 위하여 주요 부품 및 대체 재고를 보유·관리하여야 하며, 수리 시 지연이 발생하는 경우 재고 부품 또는 대체 장비를 제공하여 장비가 정상 가동될 수 있도록 지원하여야 한다. Ⅵ. 기타 조건(Remarks) 1. 공통사항 - 본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다. - 제안에 포함된 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며, Refurbished, Used, Warranty 서비스용 부품의 제안해서는 안 된다. - 국내 설치. 교육. 장애 대응 및 부품 공급이 가능한 기술 지원 체계를 갖추고 입찰 시 담당연락처를 제출해야 한다

2. 기타 조건 - 국내 제조 장비: 반도체 소부장 기술 자립화 취지에 부합하는 국내 제조 장비 요청 사항 부속품 - 매뉴얼 (책자 1부, PDF) === 1. 입찰세부공고_한양대학교ERICA 퍼니스시스템 구매.hwp === 한양대학교ERICA RISE지산학협력단 공고 제01-2026-0005호

한양대학교ERICA 퍼니스 시스템 구매 입찰 공고

1. 입찰에 부치는 사항 가. 입찰건명 : 한양대학교ERICA 퍼니스 시스템 구매 나. 구매내역 : 붙임1. 한양대학교ERICA 퍼니스 시스템 규격서 확인 다. 납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료) 라. 납품장소 : 한양대학교 ERICA캠퍼스 4공학관 1층 머시닝기술센터 2. 입찰방법 가. 본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율)임. 나. 본 입찰의 투찰금액은 1. 입찰에 부치는 사항 나. 구매내역에 명시한 구매물품에 대한 총액을 투찰한다. ※ 투찰금액 = (품목별 단가 × 수량) 의 합계액(부가가치세 포함) 입찰자가 면세사업자인 경우에도 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰해야 하며, 입찰결과 낙찰자가 면세사업자인 경우 낙찰금액에서 부가가치세 상당액을 차감한 금액으로 계약을 체결함. 다. 본 입찰서 제출은 전자입찰방식으로 나라장터 시스템에서만 가능하며, 제출된 일체의 서류는 반환하지 않음. 3. 참가자격

참가자격

가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출 나. 입찰공고일 현재 청산, 합병, 매각 등 정리 절차 중이거나 계획 중인 사업자와 법원에 화의 또는 법정관리 중이거나 신청 중인 사업자는 입찰에 참가할 수 없음. 다. 금융 불량 및 이상이 있는 사업자는 입찰에 참가할 수 없음. 4. 입찰 서류 제출, 입찰 일시 및 장소 가. 서류 제출 마감일시 : 2026. 10. 15. 10:00까지(방문 제출에 한함, 우편 접수 불가) 나. 서류 제출 장소 : 한양대학교ERICA RISE지산학협력단 RISE팀(학연산클러스터지원센터 314호) 다. 입찰/개찰 일시 : 2026. 10. 15. 11:00 라. 입찰/개찰 장소 : 나라장터 시스템 마. 제출서류 목록 1) 입찰참가신청서(서식 1) 2) 사업자등록증 사본(원본대조필 후 인감날인) 3) 법인등기부등본(개인사업자의 경우 대표자 주민등록등본) 4) 법인인감증명서(개인사업자의 경우 대표이사 인감증명서) 5) 위임장(서식 2, 재직증명서 포함) - 대표이사 직접 참가 시 제외 6) 사용인감계(서식 3) - 대표인감 사용할 경우 사용인감계 제외

과업·요구

나. 낙찰자는 낙찰 통보일로부터 지체 없이 계약을 체결하여야 하며, 계약 시 대학이 제시하는 구매 예정액의 100분의 10을 계약보증금(현금 또는 보증보험증권)으로 납부하여야 한다. 다. 낙찰자는 실제 구매량(납품 지시량)이 증가되거나 감소되어도 본 계약단가에 의하여 납품하여야 하며, 이에 이의를 제기할 수 없다. 라. 낙찰자는 계약 후 납품 시 계약금액의 100분의 3에 해당하는 하자(이행)증권을 납부하여야 한다. 마. 납품하는 모든 제품은 정품이어야 하며, 낙찰 후 정품에 대한 관련 증명을 요구하는 경우 낙찰자는 정품임을 증명하는 서류를 즉시 제출하여야 한다. 7. 양도 제한 및 공동도급 불가 본 계약 이행에 따르는 일체의 채권 및 채무를 제3자에게 양도하거나 위임, 하청, 공동 도급할 수 없다. 8. 계약해지 및 손해배상 규격 미달품을 납품하거나 비정품을 납품할 경우 계약의 일부 또는 전부를 해제 또는 해지할 수 있으며, 이로 인하여 공급받는 자가 손해를 입었을 경우 공급자는 이를 배상할 책임을 진다. 9. 기타사항 가. 입찰에 참가하고자 하는 자는 입찰공고의 내용 및 규격서 등 필요한 모든 사항을 완전히 숙지하고 참가하시기 바라며, 이를 숙지하지 못한 책임은 입찰서 제출자에게 있음. 나. 공고문에 언급되지 않은 사항은 입찰공고일 현재 적용되는 국가계약관련법령 등 관련 규정에 의함. 붙임 1) 구매규격서 서식 1) 입찰참가신청서 2) 위임장 3) 사용인감계 4) 청렴계약이행서약서 5) 확약서 6) 사용부서확인서 <문의사항 안내> □ 입찰 및 계약에 관한 내용 ERICA RISE지산학협력단 RISE팀 서상진 대리, 031-400-4647, clover724@hanyang.ac.kr □ 규격 및 납기에 관한 내용 규격 : ERICA 마이크로LED디스플레이연구센터 반희정 연구원, 031-400-4680, bbanhj@hanyang.ac.kr 납기 : ERICA RISE지산학협력단 RISE팀 서상진 대리, 031-400-4647, clover724@hanyang.ac.kr 2026. 10. 07.