입찰공고상세[물품]
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절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트 구입
재공고 · 가천대학교 산학협력단 · 반도체·박막 공정장비
- 추정가격
- 4,900만원
- 개찰
- 10/14(수) 11:00 · D-1
- 낙찰방법
- 최저가낙찰제
- 참가 자격
- 제한 없음
- 무슨 일
- RF 스퍼터링 듀얼 건·스테이지 세트 납품 및 설치
- 걸리는 것
- 추가 자격 요건
- 입찰 전
- 자체 시스템 가입·입찰 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 사전 참가신청·등록 · 발주처 담당자 사전 확인·서명 · 샘플·시안 선제출 · 벽
요약 AI 요약
가천대학교 반도체대학 5-25호의 진공 실험 교육용으로 이미 구축된 PVT사 EASY-DEP002 휴대용 스퍼터링 시스템에 직접 장착·호환되는 절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트를 구입하는 사업이다. 절연체 증착 실험이 2개 이상 가능하도록 RF 스퍼터링 소스와 파워 서플라이, 매칭 시스템 등을 갖춘 장비 1대를 도입한다.
- RF 파워 서플라이: RF 발생기 300W(13.56MHz) 및 자동 매칭 박스
- 2인치 스퍼터 타겟 2개를 기존 챔버 내에 장착하여 2개의 절연체 증착 가능
- 300L/sec 환경에서 구동 가능
- RF 스퍼터 건 및 DC 스퍼터 건 동작 시 스테이지 온도 가변형 기능
- 타겟과 건 사이 거리 10cm 이상 확보
- 기존 구축 시스템(PVT사 EASY-DEP002)에 직접 장착 및 호환
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핵심요약
- 걸리는 것
- 추가 자격 요건
추가 자격 요건
허가·인가·면허·등록·신고 등이 필요한 경우 이를 받았거나 자격요건에 적합하고 입찰참가 등록을 기한 내 완료한 자여야 하며, 공고일 현재 당해 사업에 대한 사업자등록증을 교부받은 자여야 한다.
가. 본 건을 수행하기 위해서 허가·인가·면허·등록·신고 등을 요하거나 자격요건을 갖추어야 할 경우에는 당해 허가·인가·면허·등록·신고 등을 받았거나 당해 자격요건에 적합하고, 입찰참 가 등록을 정해진 기한 내에 완료한 자
나. 공고일 현재 당해 사업에 대한 사업자등록증을 교부받은 자로서, 부정당업자로 지정되지 아니한 업체이어야 하며 현재 부도, 파산 및 금융 신용부실로 정상적인 영업활동에 지장이 없는 업체
- 입찰 전
- 자체 시스템 가입·입찰 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 사전 참가신청·등록 · 발주처 담당자 사전 확인·서명 · 샘플·시안 선제출 · 벽
입찰 전 따로 할 절차 · 자체 시스템 가입·입찰 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 사전 참가신청·등록 · 발주처 담당자 사전 확인·서명
이비즈포유(www.ebiz4u.co.kr)에서 서류등록(2026.10.14. 11:00 마감) 및 입찰(2026.10.15. 11:00)을 진행하며, 입찰참가신청서 등 서류를 PDF로 통합해 온라인 등록해야 함. 또한 입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받아 입찰참가 시 해당 서류를 제출해야 함.
장 소 | www.ebiz4u.co.kr
제출서류 등록10. 입찰 등록 제출서류 : 이비즈포유(www.ebiz4u.co.kr) 제출서류 온라인 등록
※ 입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받으신 후 입찰참가 시 해당 서류를 같이 제출하여 주시기 바랍니다.
샘플·시안 선제출 · 벽
입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받아야 하고, 그 결과 서류(규격검토확인서 및 규격비교표)를 입찰참가 시 제출해야 한다. 규격검토확인서에는 최종판정 합격/불합격란이 있다.
※ 입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받으신 후 입찰참가 시 해당 서류를 같이 제출하여 주시기 바랍니다.
사. 규격검토확인서 및 규격비교표 1부.
- 규격·기술 심사
- 항목마다 적합·부적합
입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받아야 하고, 규격검토확인서에 최종 판정을 합격/불합격으로 가르도록 되어 있다.
- 통과선 · 해당 없음 점수제가 아니다.
- 필수 항목·과락 · 해당 없음 점수제가 아니다.
※ 입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받으신 후 입찰참가 시 해당 서류를 같이 제출하여 주시기 바랍니다.
최 종 판 정 : 합 격( ), 불합격( )
문서 분석
- 수행 기간
- 90일 이내
납품기한 계약일로부터 90일 이내. 기점은 계약일.
- 옮길 수 없는 끝 날짜 · 없음
라. 납품기한 : 계약일로부터 90일 이내
| 가천대학교(성남) 반도체대학 5-25호 | | 계약일로부터 90일 이내 | | | | | |
문서 분석
- 하자보수
- 12개월
장비의 무상 보증 기간은 설치, 시운전 후 12개월. 정기점검·소모성 부품 무상 여부는 문구 없음.
- 기점 · 설치·검수 완료일 설치, 시운전 후부터 기산.
- 장비의 무상 보증 기간은 설치, 시운전 후 12개월
- 보증 기간 정기점검 · 없음 정기점검 요구 문구가 없다.
- 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 소모성·정기정비 부품의 무상 여부가 적혀 있지 않다.
- 장비의 무상 보증 기간은 설치, 시운전 후 12개월
문서 분석
- 기점 · 설치·검수 완료일 설치, 시운전 후부터 기산.
- 공정 장비 종류
- 스퍼터
RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트
RF Sputtering Dual Gun System for Dielectric Deposition
문서 분석
가격
- 추정가격
- 49,000,000원
- 배정예산
- 53,900,000원
- 부가세
- 4,900,000원
- 예정가격 방식
- 단일예가
첨부파일
- PDF · 1. 입찰공고문(재).pdf · 공고규격서
- HWP · 2. 물품규격서(절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트).hwp · 공고규격서
- HWP · 3. 규격검토확인서 및 규격비교표.hwp · 공고규격서
납품
- 납품
- 계약 후 90일
문서: 수행 기간 · 90일 이내 - 품명
- 진공증착기 (2399039801)
- 세부품명 등록
- 아니오
- 제조물품
- 아니오
문서: 직접 생산 · 없음 - 수량
- 1 대
문서: 일의 분량 · 1대 - 인도조건
- 설치·시운전·가동까지 · 문서
참가 자격 · 제한
- 지역제한
- 제한 없음
문서: 지역 조건 · 없음 - 업종제한
- 제한 없음
문서: 업종·면허 조합 · 모름
문서: 설치 공사업 면허 · 없음 - 제출 방법
- 직찰
문서: 입찰 전 절차 · 자체 시스템 가입·입찰 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 사전 참가신청·등록 · 발주처 담당자 사전 확인·서명 - 실적경쟁 · PQ
- 모름
문서: 실적 · 없음 - 공동수급
- 공동수급불허
문서: 공동수급 · 모름 - 입찰참가 제한
- 모름
- 국제입찰
- 국내입찰
입찰 일정
| 진행 | 일시 | 남은 날 |
|---|---|---|
| 공고 게시 | 10/06(화) | 지남 |
| 개찰 | 10/14(수) 11:00 | D-1 |
사업 내용 · 이 공고에 든 일
중심 · RF 스퍼터링 듀얼 건·스테이지 세트 납품 및 설치
물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비
절연체 증착용 RF 스퍼터링 소스·파워서플라이·매칭박스·스테이지를 기존 진공 스퍼터링 시스템에 장착·호환되도록 공급하는 반도체·박막 공정장비 구입이다.
- 기존 PVT EASY-DEP002 시스템과의 호환 확인
- 현장 설치(설치장소: 반도체대학 5-25호)
- 설치·시운전 후 12개월 무상 하자보증
- 장비 설치 및 작동법 교육
걸리는 것 · 입찰 전 할 일
걸리는 조건
추가 자격 요건
허가·인가·면허·등록·신고 등이 필요한 경우 이를 받았거나 자격요건에 적합하고 입찰참가 등록을 기한 내 완료한 자여야 하며, 공고일 현재 당해 사업에 대한 사업자등록증을 교부받은 자여야 한다.
가. 본 건을 수행하기 위해서 허가·인가·면허·등록·신고 등을 요하거나 자격요건을 갖추어야 할 경우에는 당해 허가·인가·면허·등록·신고 등을 받았거나 당해 자격요건에 적합하고, 입찰참 가 등록을 정해진 기한 내에 완료한 자
나. 공고일 현재 당해 사업에 대한 사업자등록증을 교부받은 자로서, 부정당업자로 지정되지 아니한 업체이어야 하며 현재 부도, 파산 및 금융 신용부실로 정상적인 영업활동에 지장이 없는 업체
입찰 전 할 일
- 입찰 전 따로 할 절차 · 자체 시스템 가입·입찰 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 사전 참가신청·등록 · 발주처 담당자 사전 확인·서명
이비즈포유(www.ebiz4u.co.kr)에서 서류등록(2026.10.14. 11:00 마감) 및 입찰(2026.10.15. 11:00)을 진행하며, 입찰참가신청서 등 서류를 PDF로 통합해 온라인 등록해야 함. 또한 입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받아 입찰참가 시 해당 서류를 제출해야 함.
장 소 | www.ebiz4u.co.kr
제출서류 등록10. 입찰 등록 제출서류 : 이비즈포유(www.ebiz4u.co.kr) 제출서류 온라인 등록
※ 입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받으신 후 입찰참가 시 해당 서류를 같이 제출하여 주시기 바랍니다.
- 샘플·시안 선제출 · 벽
입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받아야 하고, 그 결과 서류(규격검토확인서 및 규격비교표)를 입찰참가 시 제출해야 한다. 규격검토확인서에는 최종판정 합격/불합격란이 있다.
※ 입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받으신 후 입찰참가 시 해당 서류를 같이 제출하여 주시기 바랍니다.
사. 규격검토확인서 및 규격비교표 1부.
더 확인할 것
기성품·주문제작
이럴 때 꼭 봅니다 — 주문제작 · 설계부터 우리가
기성품·상용 그대로
기존 시스템에 장착·호환되는 장비를 구입하는 것으로, 로고·표기·색·설정 변경이나 주문제작·설계 개발 내용은 없다.
- 시스템 통합 · 아니다
지정 제품·공법
지정 — 동등 이상 허용
기존 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM 시스템에 직접 장착 및 호환 가능해야 하며, 물품규격서 기타사항에 「동종사양 이상 가능」이라고 적었다.
- 동등 입증 때 · 입찰 때(공고일·마감일 기준) 규격검토확인서에 「입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받으신 후 입찰참가 시 해당 서류를 같이 제출」이라 적었고, 입찰 등록 제출서류에 규격검토확인서 및 규격비교표가 포함되어 있다.
※ 입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받으신 후 입찰참가 시 해당 서류를 같이 제출하여 주시기 바랍니다.
사. 규격검토확인서 및 규격비교표 1부.
-현 반도체대학 5-25호 진공 실험 교육용으로 기 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM 시스템에 직접 장착 및 호환 가능하여아 함.
- 동종사양 이상 가능
합격선
글로만 있음
RF Power Supply 300W(13.56MHz)/Auto Matching Box, 2인치 스퍼터 타겟 2개, 300L/sec 환경 구동, 스테이지 온도 가변형, 타겟과 건 사이 거리 10cm 이상 확보 등 제품 사양이 적혀 있고, 검수·납품 때의 성능 합격선 수치는 없다.
- 따를 표준·지침 · 기존 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM 시스템에 직접 장착 및 호환 기존 설비와 맞물리라고 지정한 연계 조건이다.
-현 반도체대학 5-25호 진공 실험 교육용으로 기 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM 시스템에 직접 장착 및 호환 가능하여아 함.
- RF Power Supply : RF Generator 300W(13.56MHz)/Auto Matching Box
- 타겟과 건 사이 거리가 10cm 이상 확보되어야 함
입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…
항목별 규격 대비표
입찰 등록 제출서류로 규격검토확인서 및 규격비교표를 내도록 했고, 규격비교표는 입찰공고 규격과 입찰업체 응찰 규격을 항목별로 맞대는 표다.
- 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 보완에 관한 문장이 없다.
사. 규격검토확인서 및 규격비교표 1부.
| NO | 입찰공고 규격 | 입찰업체 응찰 규격 | 수량 |
참가 범위
공개 경쟁
일반경쟁입찰로 공고되었고, 참가자격은 허가·면허·등록 등 조건을 갖춘 자로 제한되나 사전 명단·협약·지명이 아님.
2. 경쟁방식 : 일반경쟁입찰
5. 입찰참가자격(다음의 사항을 모두 충족하여야 함)
현장 여건
기 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM 시스템에 직접 장착 및 호환 가능하여야 하며, 수요기관 설치 장소에 설치 가능 여부 확인 및 직접 설치.
기존 챔버 내 2인치 스퍼터 타겟 2개 장착, 타겟과 건 사이 거리 10cm 이상 확보 조건.
- 부대공사·현장 준비 · 해당 없음
- 위험작업 · 없음
-현 반도체대학 5-25호 진공 실험 교육용으로 기 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM 시스템에 직접 장착 및 호환 가능하여아 함.
수요기관 설치 장소에 설치 가능 여부 확인 및 직접 설치
교육·기술이전
1회
장비의 설치와 작동법 교육을 장비 납품 및 설치완료 시 수행. 무상 여부·기한은 별도 문구 없음.
- 무상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 교육이 무상인지 별도 대가인지 적혀 있지 않다.
- 장비의 설치와 작동법 교육은 장비 납품 및 설치완료 시 수행
처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가
2inch
2인치 스퍼터 타겟 2개, 샘플 스테이지 2inch
-2인치 스퍼터 타겟 2개가 기존 챔버 내 장착되어 2개의 절연체 증착이 가능함.
공고 정보
- 공고종류
- 재공고 (재입찰공고)
- 게시일
- 10/06(화)
- 공고번호
- R26BK01757021-000
- 참조번호
- 산학202610133
- 공고기관
- 가천대학교 산학협력단
- 수요기관
- 가천대학교 산학협력단
- 계약방법
- 일반경쟁
- 낙찰방법
- 최저가낙찰제
- 계약유형
- 총액계약
- 예정가격 방식
- 단일예가
- 추정가격
- 49,000,000원
- 배정예산
- 53,900,000원
- 사전규격번호
- R26BD00275663
- 재공고
- 재공고
- 출처
- 나라장터
문서 분석 전체
이 분야에서 갈리는 것 · 우리가 만드는 공정 방식·기판 크기인가, 주문제작을 150일 안에 끝낼 수 있나, 기술평가 85점을 넘나, 3년 품질보증을 감당하나에서 갈린다.
질문 87개 · 꼭 5 · 좋음 18 · 안 봐도 됨 64
주제 · 참가 자격 9개
업종·면허 조합
모름 · 문서로 확인 안 됨
입찰참가자격은 허가·인가·면허·등록·신고를 요하는 경우 갖출 것, 사업자등록증 교부, 부정당업자 아님 등만 적었고 업종 코드 사이의 관계(모두/하나)를 정한 문장이 없다.
- 코드 밖 자격 · 벽 · 못 맞추면 탈락 허가·인가·면허·등록·신고 등이 필요한 경우 이를 받았거나 자격요건에 적합하고 입찰참가 등록을 기한 내 완료한 자여야 하며, 공고일 현재 당해 사업에 대한 사업자등록증을 교부받은 자여야 한다.
가. 본 건을 수행하기 위해서 허가·인가·면허·등록·신고 등을 요하거나 자격요건을 갖추어야 할 경우에는 당해 허가·인가·면허·등록·신고 등을 받았거나 당해 자격요건에 적합하고, 입찰참 가 등록을 정해진 기한 내에 완료한 자
나. 공고일 현재 당해 사업에 대한 사업자등록증을 교부받은 자로서, 부정당업자로 지정되지 아니한 업체이어야 하며 현재 부도, 파산 및 금융 신용부실로 정상적인 영업활동에 지장이 없는 업체
가. 본 건을 수행하기 위해서 허가·인가·면허·등록·신고 등을 요하거나 자격요건을 갖추어야 할 경우에는 당해 허가·인가·면허·등록·신고 등을 받았거나 당해 자격요건에 적합하고, 입찰참 가 등록을 정해진 기한 내에 완료한 자
나. 공고일 현재 당해 사업에 대한 사업자등록증을 교부받은 자로서, 부정당업자로 지정되지 아니한 업체이어야 하며 현재 부도, 파산 및 금융 신용부실로 정상적인 영업활동에 지장이 없는 업체
지역 조건
없음
본점 지역 제한 외에 사업장·지사·시설·인력 소재, 지역 인력 고용·장비 사용, 지역 업체 공동수급, 지역 가점을 요구하는 문장이 없다.
- 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 지역 관련 평가표가 없다.
- 대상 · - 해당하는 지역 조건이 없다.
실적
없음
실적을 참가 자격이나 평가 점수로 요구하는 문장이 없다. 낙찰자는 예정가격 이하 최저가 낙찰제로 결정한다.
- 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 실적 평가표가 없다.
- 조건 · 없음 인정 범위를 정한 문장이 없다.
업력
없음
업력을 참가 조건이나 점수로 보는 문장이 없다.
- 요구 업력 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 요구 업력이 없다.
- 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 업력 평가표가 없다.
공동수급
모름 · 문서로 확인 안 됨
공동수급을 허용·금지·의무화한 문장이 없다.
- 자격을 나눠 채우기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공동수급 관련 문장이 없다.
회사 규모·신분
제한 없음
중소기업·소기업·소상공인·여성기업·법인 등 규모·신분으로 참가를 좁히는 문장이 없다.
안전보건수준평가
없음
안전보건수준평가 대상이라는 문장이 없다.
하도급
모름 · 문서로 확인 안 됨
하도급·외주를 허용·금지·승인 조건으로 정한 문장이 없다.
- 하도급 한도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급 한도가 없다.
직접 생산
없음
직접생산확인증명서 소지, 제조 등록, OEM 금지, 한 제조사 제품 조건을 참가 자격이나 제품 조건으로 정한 문장이 없다. 다만 물품규격서에 명기한 동일 제품으로 납품하여야 한다.
- 참가 등록 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조/공급 등록 구분을 정한 문장이 없다.
- 직생 범위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 직접생산확인 관련 문장이 없다.
- 대상 · - 제조·직생 관련 대상 조건이 없다.
라. 입찰공고 첨부파일의 물품규격서에 명기한 동일 제품으로 납품하여야 함
주제 · 제품 규격·인증 9개
지정 제품·공법
지정 — 동등 이상 허용
기존 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM 시스템에 직접 장착 및 호환 가능해야 하며, 물품규격서 기타사항에 「동종사양 이상 가능」이라고 적었다.
- 동등 입증 때 · 입찰 때(공고일·마감일 기준) 규격검토확인서에 「입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받으신 후 입찰참가 시 해당 서류를 같이 제출」이라 적었고, 입찰 등록 제출서류에 규격검토확인서 및 규격비교표가 포함되어 있다.
※ 입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받으신 후 입찰참가 시 해당 서류를 같이 제출하여 주시기 바랍니다.
사. 규격검토확인서 및 규격비교표 1부.
-현 반도체대학 5-25호 진공 실험 교육용으로 기 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM 시스템에 직접 장착 및 호환 가능하여아 함.
- 동종사양 이상 가능
제조사 확약서
없음
공급 확약서, 기술지원·A/S 확약서, 대리점·총판·공식 파트너 지위, 제조자·공급자 증명서, 정품보증서·정품확인서, 수입신고필증을 요구하는 문장이 문서에 없다.
- 대상 · - 해당하는 서류가 없다.
- 조건 · 없음 제조사면 면제한다는 문장이 없다.
제품 인증
없음
인증·허가·시험성적서를 갖추라고 한 문장이 문서에 없다.
- 크기 · - 평가표가 없다.
- 대상 · - 해당하는 인증·시험이 없다.
- 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 입증 수단을 정한 문장이 없다.
원산지(국산)
모름 · 문서로 확인 안 됨
원산지 제한에 관한 문장이 문서에 없다.
합격선
글로만 있음
RF Power Supply 300W(13.56MHz)/Auto Matching Box, 2인치 스퍼터 타겟 2개, 300L/sec 환경 구동, 스테이지 온도 가변형, 타겟과 건 사이 거리 10cm 이상 확보 등 제품 사양이 적혀 있고, 검수·납품 때의 성능 합격선 수치는 없다.
- 따를 표준·지침 · 기존 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM 시스템에 직접 장착 및 호환 기존 설비와 맞물리라고 지정한 연계 조건이다.
-현 반도체대학 5-25호 진공 실험 교육용으로 기 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM 시스템에 직접 장착 및 호환 가능하여아 함.
- RF Power Supply : RF Generator 300W(13.56MHz)/Auto Matching Box
- 타겟과 건 사이 거리가 10cm 이상 확보되어야 함
등록 제품
없음
우수제품·혁신제품·규격심의·사전등록·플랫폼 등록·제품 실적·가격집 등재를 요구하는 문장이 문서에 없다.
- 대상 · - 해당하는 목록·지정이 없다.
신품·제조 시기
없음
신품·최근 생산품·유효기간·단종 예정 모델에 관한 요구가 문서에 없다.
- 제조 뒤 경과 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조 뒤 경과 상한을 정한 문장이 없다.
- 남은 유효기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 남은 유효기간을 정한 문장이 없다.
규격·기술 심사
항목마다 적합·부적합
입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받아야 하고, 규격검토확인서에 최종 판정을 합격/불합격으로 가르도록 되어 있다.
- 통과선 · 해당 없음 점수제가 아니다.
- 필수 항목·과락 · 해당 없음 점수제가 아니다.
※ 입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받으신 후 입찰참가 시 해당 서류를 같이 제출하여 주시기 바랍니다.
최 종 판 정 : 합 격( ), 불합격( )
입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…
항목별 규격 대비표
입찰 등록 제출서류로 규격검토확인서 및 규격비교표를 내도록 했고, 규격비교표는 입찰공고 규격과 입찰업체 응찰 규격을 항목별로 맞대는 표다.
- 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 보완에 관한 문장이 없다.
사. 규격검토확인서 및 규격비교표 1부.
| NO | 입찰공고 규격 | 입찰업체 응찰 규격 | 수량 |
주제 · 입찰 절차 9개
참가 범위
공개 경쟁
일반경쟁입찰로 공고되었고, 참가자격은 허가·면허·등록 등 조건을 갖춘 자로 제한되나 사전 명단·협약·지명이 아님.
2. 경쟁방식 : 일반경쟁입찰
5. 입찰참가자격(다음의 사항을 모두 충족하여야 함)
여러 과제로 나뉨
나뉘지 않음
단일 입찰건명·공고번호(산학202610133)로 1건이며, 과제·권역·그룹·입찰번호로 나뉜 내용이 없음.
- 여러 개 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 나뉘지 않아 해당 사항 없음.
가. 입찰건명 : [재공고입찰]절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트 구입
입찰 전 절차
자체 시스템 가입·입찰 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 사전 참가신청·등록 · 발주처 담당자 사전 확인·서명
이비즈포유(www.ebiz4u.co.kr)에서 서류등록(2026.10.14. 11:00 마감) 및 입찰(2026.10.15. 11:00)을 진행하며, 입찰참가신청서 등 서류를 PDF로 통합해 온라인 등록해야 함. 또한 입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받아 입찰참가 시 해당 서류를 제출해야 함.
장 소 | www.ebiz4u.co.kr
제출서류 등록
10. 입찰 등록 제출서류 : 이비즈포유(www.ebiz4u.co.kr) 제출서류 온라인 등록
※ 입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받으신 후 입찰참가 시 해당 서류를 같이 제출하여 주시기 바랍니다.
현장설명회
없음
현장설명회·현장답사 일정이나 참석 확인 요구가 문서에 없음.
정정·재공고 변경
해당 없음(첫 공고)
제목이 [재공고입찰]이나 앞선 공고에서 무엇이 바뀌었는지 문서에 적혀 있지 않음.
낙찰 업체 수
한 업체가 전량
수량 1대를 단일 낙찰자에게 전량 납품하는 구조이며, 복수 업체 선정·희망수량 입찰 내용이 없음.
- 최소 응찰 물량 · 해당 없음 나눠 낙찰하는 구조가 아님.
| 국문명 | 절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트 | | | | | 1 | 대 |
MAS 2단계경쟁
아니다
다수공급자계약·종합쇼핑몰 2단계경쟁 관련 내용이 없고, 일반경쟁입찰 최저가 낙찰제로 진행됨.
3. 낙찰자 결정방법 : 예정가격 이하 최저가 낙찰제(총액입찰 및 부가가치세 포함)
입찰보증금
실제로 낸다(보증서·현금)
입찰보증금은 입찰금액의 5/100 이상 이행(입찰)보증보험증권으로 납부해야 하며, 입찰 서류등록 시 제출서류에 포함됨. 계약보증금은 계약금액의 10/100으로 이행(계약)보증보험증권으로 납부. 하자보수보증금 비율은 문서에 없음.
- 입찰보증금 비율 · 5% 이상 입찰금액의 5/100 이상.
가. 입찰보증금은 입찰금액의 5/100이상의 이행(입찰)보증보험증권으로 납부하여야 함
- 계약·하자 보증 비율 · 10% 계약보증금은 계약금액의 10/100. 하자보수보증금 비율은 문서에 없음.
라. 계약보증금은 계약금액의 10/100으로 하며, 이행(계약)보증보험증권으로 납부하여야 함
가. 입찰보증금은 입찰금액의 5/100이상의 이행(입찰)보증보험증권으로 납부하여야 함
라. 계약보증금은 계약금액의 10/100으로 하며, 이행(계약)보증보험증권으로 납부하여야 함
문서끼리 다른 곳
아니다
문서 간 값이 서로 다르게 적힌 곳이 없음.
주제 · 과업 범위 11개
다른 업 섞임
섞이지 않음
본업은 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트 납품·설치이며, 다른 면허·공종·품목의 일이 섞였다는 내용이 없다.
하는 일
절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트 1대를 납품·설치하는 사업이다. RF Generator 300W(13.56MHz)/Auto Matching Box, 2인치 스퍼터 타겟 2개 장착, 300L/sec 환경 구동, 스테이지 온도 가변형, 타겟-건 거리 10cm 이상 확보가 요구된다. 기존 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM에 직접 장착 및 호환 가능해야 한다.
2개 이상의 절연체 증착 실험이 가능 RF 스퍼터링 소스 및 파워 서플라이 시스템, 매칭 시스템 등.
-현 반도체대학 5-25호 진공 실험 교육용으로 기 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM 시스템에 직접 장착 및 호환 가능하여아 함.
기존 시스템과 이어짐
기존 시스템·설비와 연동 · 기존 제조사 제품에 묶임
기 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM에 직접 장착 및 호환 가능해야 한다.
-현 반도체대학 5-25호 진공 실험 교육용으로 기 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM 시스템에 직접 장착 및 호환 가능하여아 함.
설치 공사업 면허
없음
설치가 법상 공사(전기·정보통신·수도·소방)에 해당한다는 내용이나 공사업 면허 요건이 문서에 없다.
- 대상 · -
- 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
일의 끝
설치·시운전·가동까지
현장설치도 조건이며, 설치·시운전 후 12개월 무상 보증 및 설치·작동법 교육을 수행한다.
- 시험운영 기간 · 정해지지 않음
■ 인도조건 : 현장설치도
- 장비의 무상 보증 기간은 설치, 시운전 후 12개월
- 장비의 설치와 작동법 교육은 장비 납품 및 설치완료 시 수행
기성품·주문제작
기성품·상용 그대로
기존 시스템에 장착·호환되는 장비를 구입하는 것으로, 로고·표기·색·설정 변경이나 주문제작·설계 개발 내용은 없다.
- 시스템 통합 · 아니다
함께 넘길 물품
해당 없음
본품과 함께 넘겨주거나 비치해야 하는 별도 물품이 문서에 없다.
철거·폐기
없음
기존 장비·시설의 철거·이설·폐기·반납이나 회수에 대한 내용이 없다.
부가 작업
장비 납품 및 설치완료 시 장비의 설치와 작동법 교육을 수행한다.
- 장비의 설치와 작동법 교육은 장비 납품 및 설치완료 시 수행
디자인 몫
해당 없음
디자인·편집·원고 작업이 있는 사업이 아니다.
묶인 품목 수
1종
품명은 절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트 1대이며, 제조사는 정해 적지 않았다.
- 제조사 수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
| 국문명 | 절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트 | | | | | 1 | 대 |
주제 · 납품 일정·현장 11개
일의 분량
1대
품명 절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트, 수량 1 대. 사업예산 금53,900,000원(VAT 포함).
- 열린 분량 · 정해짐 수량이 1대로 정해짐
| 국문명 | 절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트 | | | | | 1 | 대 |
| 국문명 | 절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트 | | | | | 1 | 대 |
다. 사업예산 : 금53,900,000원(VAT 포함)
수행 기간
90일 이내
납품기한 계약일로부터 90일 이내. 기점은 계약일.
- 옮길 수 없는 끝 날짜 · 없음
라. 납품기한 : 계약일로부터 90일 이내
| 가천대학교(성남) 반도체대학 5-25호 | | 계약일로부터 90일 이내 | | | | | |
현장·납품지
1곳
납품장소 가천대학교(성남) 반도체대학 5-25호, 현장설치도.
- 열린 분량 · 정해짐 납품장소가 입찰 때 정해짐
마. 납품장소 : 가천대학교(성남) 반도체대학 5-25호
- 범위 · 없음(국내 보통 현장)
마. 납품장소 : 가천대학교(성남) 반도체대학 5-25호
■ 인도조건 : 현장설치도
현장 여건
기 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM 시스템에 직접 장착 및 호환 가능하여야 하며, 수요기관 설치 장소에 설치 가능 여부 확인 및 직접 설치.
기존 챔버 내 2인치 스퍼터 타겟 2개 장착, 타겟과 건 사이 거리 10cm 이상 확보 조건.
- 부대공사·현장 준비 · 해당 없음
- 위험작업 · 없음
-현 반도체대학 5-25호 진공 실험 교육용으로 기 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM 시스템에 직접 장착 및 호환 가능하여아 함.
수요기관 설치 장소에 설치 가능 여부 확인 및 직접 설치
작업 시기
해당 없음
다른 일정에 묶임
아니다
나눠 납품
한 번에 전량
납품기한 계약일로부터 90일 이내 하나만 적혔고 나눠 내라는 말이 없음.
- 분할납품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 일반조건에만
라. 납품기한 : 계약일로부터 90일 이내
보관 조건
없음
- 대상 · 없음
주문 뒤 납품 시한
정해지지 않음
납품기한이 계약일로부터 90일 이내로만 정해져 있고 주문 후 시한은 없음.
- 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
라. 납품기한 : 계약일로부터 90일 이내
포장·표시
해당 없음
보안 조치
없음
- 대상 · 없음
주제 · 견본·검사·검수 7개
검수
발주처 검수만
납품·설치 후 발주처(수요기관)가 설치·시운전을 확인하고 하자보증 12개월이 시작되는 구조로, 외부 기관 심의·승인·검사·감리·성과심사 문구는 없다.
장비의 무상 보증 기간은 설치, 시운전 후 12개월
수요기관 설치 장소에 설치 가능 여부 확인 및 직접 설치
샘플·시안 선제출
벽 · 못 맞추면 탈락
입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받아야 하고, 그 결과 서류(규격검토확인서 및 규격비교표)를 입찰참가 시 제출해야 한다. 규격검토확인서에는 최종판정 합격/불합격란이 있다.
- 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 배점이 문서에 없다.
- 대상 · 기타 규격비교표(입찰공고 규격 대비 응찰 규격 비교) 제출.
| NO | 입찰공고 규격 | 입찰업체 응찰 규격 | 수량 |
※ 입찰참여 전 발주기관의 규격검토확인을 받으신 후 입찰참가 시 해당 서류를 같이 제출하여 주시기 바랍니다.
사. 규격검토확인서 및 규격비교표 1부.
시험·검사
시험·검사 없음
이 공고·규격서에 품질 시험·검사·분석을 받으라는 요구가 없다.
- 시험 단위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험 자체가 없다.
- 시험 장소 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험 자체가 없다.
시안 승인
모름 · 문서로 확인 안 됨
본 작업·제작 전 시안·샘플·제작도·중간검수 승인 횟수를 정한 문구가 없다.
- 수정 횟수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 수정 횟수 규정이 없다.
- 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 승인 기간이 납기에 드는지 정한 문구가 없다.
공장 실사·입회
없음
발주처가 공장 실사나 제작 중간검사 입회를 한다는 문구가 없다.
이 공고가 군수품 조달인가 — 국방부·각 군이…
아니다
수요기관은 가천대학교 산학협력단이며 군 전용 절차가 없다.
군수품이면 납품 검사·검수는 누가 하나 — 수…
해당 없음
군수품 조달이 아니다.
- 품질보증형태 · 해당 없음 군수품 조달이 아니다.
주제 · 인력·A/S·하자 대응 8개
장비·시설 보유
없음
입찰참가자격은 허가·인가·면허·등록·신고 등과 사업자등록증, 부정당업자 여부만 규정하고, 일에 쓸 장비·시설 보유 요구는 없다. 물품규격서는 납품할 장비의 성능·기존 시스템 호환 조건을 정한 것이다.
- 갖출 때 · 해당 없음 갖출 장비·시설 요구 자체가 없다.
- 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 없음(최저가 낙찰제).
- 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 임차·소유 조건이 적혀 있지 않다.
가. 본 건을 수행하기 위해서 허가·인가·면허·등록·신고 등을 요하거나 자격요건을 갖추어야 할 경우에는 당해 허가·인가·면허·등록·신고 등을 받았거나 당해 자격요건에 적합하고, 입찰참 가 등록을 정해진 기한 내에 완료한 자
인력 자격
없음
투입 인력의 자격·등급·경력·교육 이수 요구나 전담 역할(현장대리인·안전관리자 등) 규정이 없다. 납품·설치 물품 구매로 인력 요건은 없다.
- 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 없음.
- 대상 · - 해당 없음.
출동 시한
없음
고장·장애·긴급 호출 시 현장 도착·착수 시한을 정한 문구가 없다. 하자보증은 무상 보증 기간만 정한다.
- 도착 시한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 없음.
처리 시한
해당 없음
요청·장애를 받아 처리하는 유지보수 업무가 이 납품 건에 없다. 하자보증 기간만 정해져 있다.
- 기점 · 해당 없음 해당 없음.
교육·기술이전
1회
장비의 설치와 작동법 교육을 장비 납품 및 설치완료 시 수행. 무상 여부·기한은 별도 문구 없음.
- 무상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 교육이 무상인지 별도 대가인지 적혀 있지 않다.
- 장비의 설치와 작동법 교육은 장비 납품 및 설치완료 시 수행
하자보수
12개월
장비의 무상 보증 기간은 설치, 시운전 후 12개월. 정기점검·소모성 부품 무상 여부는 문구 없음.
- 기점 · 설치·검수 완료일 설치, 시운전 후부터 기산.
- 장비의 무상 보증 기간은 설치, 시운전 후 12개월
- 보증 기간 정기점검 · 없음 정기점검 요구 문구가 없다.
- 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 소모성·정기정비 부품의 무상 여부가 적혀 있지 않다.
- 장비의 무상 보증 기간은 설치, 시운전 후 12개월
단종 뒤 부품 공급
해당 없음
보증 종료·단종 뒤 부품·소모품·유지보수 공급 기간을 정한 문구가 없다.
A/S 조직·인력
없음
A/S 인력 수·부서·서비스망·예비품 보유 요구가 없다. 하자보증과 설치·작동법 교육만 정해져 있다.
- 인원 · 해당 없음 요구 인원 없음.
- 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표 없음.
- 대상 · - 해당 없음.
주제 · 가격·대금·계약 조건 11개
총액·단가 방식
총액
총액입찰(부가세 포함)로 사업예산 53,900,000원(VAT 포함)이 제시됨. 정산·단가 조정에 관한 문장은 없음.
- 정산 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 실적·실비 정산이나 확정 금액을 정한 문장이 없음.
- 단가 조정 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 납찰 단가 고정·시세 연동·협의 조정을 정한 문장이 없음.
낙찰자 결정방법 : 예정가격 이하 최저가 낙찰제(총액입찰 및 부가가치세 포함)
사업예산 : 금53,900,000원(VAT 포함)
물량 변동
확정
품명·수량(1대)·세부사양·납품기한(계약일로부터 90일 이내)·설치장소가 규격서와 공고문에 확정되어 있음.
| 국문명 | 절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트 | | | | | 1 | 대 |
라. 납품기한 : 계약일로부터 90일 이내
발주처 단가 기준
적혀 있지 않음
발주처가 정한 단가·품셈·요율·상한가 기준이 공고에 없음. 사업예산 53,900,000원만 제시됨.
계약 상대
공고 낸 기관 직접
공고기관·수요기관 모두 가천대학교 산학협력단이며, 계약·대금 상대를 달리 적은 문장이 없음.
그대로 넘길 돈
아니다
계약금액 안에서 다른 곳에 넘기거나 정해진 곳에 써야 하는 돈을 정한 문장이 없음.
- 넘길 돈 · 해당 없음 해당 항목 없음.
- 투찰 때 반영 · 해당 없음 해당 항목 없음.
견적 근거
물량·목록만 공개
물품규격서에 품명·수량·세부사양·기존 시스템 사양이 공개되어 있으나 단가·내역서는 없음.
- 이윤 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 원가계산서·산출내역이 공개되지 않음.
■ 규 격(세부사양)
2개 이상의 절연체 증착 실험이 가능 RF 스퍼터링 소스 및 파워 서플라이 시스템, 매칭 시스템 등.
대금 받는 때
끝난 뒤 한 번에
납품기한·설치·시운전 후 대금 지급으로 보이나 지급 시점을 정한 명시 문장은 없음. 선금·지급 기한 조항 없음.
- 선금 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 선금 비율을 정한 문장이 없음.
- 지급 기한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 청구 후 지급 기한을 정한 문장이 없음.
공채·채권
모름 · 문서로 확인 안 됨
공채·채권 매입을 정한 문장이 없음.
보험 가입
없음
이 일 때문에 들어야 하는 보험·공제를 정한 문장이 없음. 입찰보증금·계약보증금은 보증보험증권으로 납부하는 것으로 보험 가입 요구가 아님.
- 보상 한도 · 해당 없음 해당 없음.
- 보험료 · 해당 없음 해당 없음.
- 대상 · 해당 없음 해당 없음.
계약 변동 가능
아니다
낙찰 후 계약 미체결·금액·물량·기간 변경 가능성을 정한 문장이 없음.
- 바뀔 수 있는 것 · 해당 없음 해당 없음.
부가세 과세
모름 · 문서로 확인 안 됨
이 품목의 과세·면세를 정한 문장은 없고, 사업예산·총액입찰에 부가세 포함 표기만 있음.
- 투찰가에 부가세 · 넣는다 총액입찰 및 부가가치세 포함, 입찰금액에 제경비·부가가치세 포함.
낙찰자 결정방법 : 예정가격 이하 최저가 낙찰제(총액입찰 및 부가가치세 포함)
가. 입찰금액은 설치/배송/운반/인건비, 부가가치세 등 제경비를 모두 포함 후 작성하여야함
사업예산 : 금53,900,000원(VAT 포함)
뽑는 방식 · 입찰 방식 7개
회사 속성 우대
없음
회사 속성 우대(가점·특례) 규정이 문서에 없다. 낙찰은 예정가격 이하 최저가로만 결정된다.
- 우대 대상 · 없음 창업·여성·장애인·사회적기업·소기업·고용·인증·산업재해율 관련 우대 문구가 없다.
- 가점 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 가점 규정 자체가 없다.
신용등급·경영상태
없음
신용평가등급·기술신용평가·경영상태를 참가 조건이나 점수로 보는 규정이 없다. 참가자격은 허가·등록, 사업자등록, 부정당업자·부도·파산·정리절차 여부만 본다.
- 등급이 없을 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 등급 미보유·업력 짧은 회사 처리 규정이 없다.
- 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표가 없다.
- 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 항목이 없다.
보유 인력
없음
보유 인력 수·등급을 점수나 참가 조건으로 보는 규정이 없다.
- 기준 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 기준 인원 규정이 없다.
- 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표가 없다.
전담 인력
해당 없음
단순 물품 구매(장비 납품·설치)로 투입 인력 전담·겸직·참여율 규정이 없다.
- 참여율 상한 · 해당 없음 투입 인력 개념이 없다.
- 크기 · 해당 없음 평가표가 없다.
- 대상 · 해당 없음 투입 인력 개념이 없다.
큰 배점 항목
해당 없음
제안서·규격 평가표가 없고 예정가격 이하 최저가 낙찰제로만 결정한다.
낙찰자 결정방법 : 예정가격 이하 최저가 낙찰제(총액입찰 및 부가가치세 포함)
가점
없음
특허·신기술·수상·우수업체 선정·기술개발 투자·신규 고용 가점 규정이 없다.
- 가점 대상 · 없음 해당 가점 항목이 없다.
- 가점 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 가점 규정이 없다.
가격을 연 뒤 낙찰자를 어느 심사 기준으로 가…
심사 없음(하한율 이상 최저가·배제사유만)
예정가격 이하 최저가 낙찰제(총액입찰, 부가세 포함)로 심사 없이 최저가 낙찰자를 정한다. 동일가격 2인 이상이면 추첨, 예정가격 이하 입찰자가 없으면 3회까지 재입찰.
- 통과선 · 해당 없음 심사 없이 최저가로 결정하므로 통과 점수가 없다.
낙찰자 결정방법 : 예정가격 이하 최저가 낙찰제(총액입찰 및 부가가치세 포함)
총액입찰(부가세포함)로서 산학협력단이 정한 예정가격 이하 최저가격 입찰자를 낙찰자로 결정하며, 낙찰 가능한 동일 가격으로 입찰한 자가 2인 이상일 경우에는 추첨으로 결정함
카테고리 · 연구·실험·계측장비 5개
지원사업·R&D 재원
아니다
문서에 사업·과제 이름이 없음
품질 인증
없음
인증·업무 절차서 요구 없음
경비 부담
우리 부담(대가 안)
입찰금액에 설치/배송/운반/인건비, 부가가치세 등 제경비 모두 포함
- 관급 금액 · 해당 없음 관급 없음
- 관급 설치 · 해당 없음 관급 없음
입찰금액은 설치/배송/운반/인건비, 부가가치세 등 제경비를 모두 포함 후 작성하여야함
공정 장비 종류
스퍼터
RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트
RF Sputtering Dual Gun System for Dielectric Deposition
처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가
2inch
2인치 스퍼터 타겟 2개, 샘플 스테이지 2inch
-2인치 스퍼터 타겟 2개가 기존 챔버 내 장착되어 2개의 절연체 증착이 가능함.
문서 발췌
과업·요구
| 품 명 | 수량 | 단위 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 국문명 | 절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트 | 1 | 대 | ||||
| 요청학과명(부서명) | 요청학과(부서) 담당자 | ||||||
| 반도체공학과 | 성명 | 진강태 | 연락처 | 010-5680-6076 | |||
| 설치장소 | 납품기한 | ||||||
| 가천대학교(성남) 반도체대학 5-25호 | 계약일로부터 90일 이내 |
■ 특 징 ○ RF Sputtering Dual Gun System for Dielectric Deposition -현 반도체대학 5-25호 진공 실험 교육용으로 기 구축된 PVT사 EASY-DEP002 PORTABLE SPUTTERING SYSTEM 시스템에 직접 장착 및 호환 가능하여아 함. ■ 규 격(세부사양) 2개 이상의 절연체 증착 실험이 가능 RF 스퍼터링 소스 및 파워 서플라이 시스템, 매칭 시스템 등. - RF Power Supply : RF Generator 300W(13.56MHz)/Auto Matching Box -2인치 스퍼터 타겟 2개가 기존 챔버 내 장착되어 2개의 절연체 증착이 가능함. - 300L/sec 에 환경에 구동 가능 - RF스퍼터건 및 DC스퍼터건 동작시 스테이지의 온도 가변형 기능이 가능함. - 타겟과 건 사이 거리가 10cm 이상 확보되어야 함 * 기존 구축된 시스템의 사양 1. 스퍼터링 챔버 ∙ 재질 : SUS304 ∙ 사이즈 : 350mm(O.D) X 250mm(H) ∙ 진공도 : 5 X 10E-7 Torr ∙ 스퍼터건 플랜지 : 6inch CF ∙ 스퍼터링 건 장착가능 수량 : 6ea 2. 스퍼터링 건 ∙ 재질 : SUS304 , Al6061 , Copper ∙ 타겟크기 : 2inch type ∙ 파워 : DC , RF ∙ 파워커넥터 : N type Male ∙ 건 셔터 : 공압 ∙ 가스침니
3. 샘플 스테이지 ∙ 재질 : Al6061 ∙ 샘플크기 : 2inch ∙ 스테이지 회전 : Motorized ■ 하자보증 - 장비의 무상 보증 기간은 설치, 시운전 후 12개월 - 장비의 설치와 작동법 교육은 장비 납품 및 설치완료 시 수행 ■ 인도조건 : 현장설치도 수요기관 설치 장소에 설치 가능 여부 확인 및 직접 설치 ■ 기타사항 - 기타 규격문의는 담당자에게 문의 - 동종사양 이상 가능 === 3. 규격검토확인서 및 규격비교표.hwp ===
규격검토확인서
=== 1. 입찰공고문(재).pdf === 공고 제 산학202610133 호
입찰공고(재)
1. 입찰에 부치는 사항 가. 입찰건명 : [재공고입찰]절연체 공정용 RF 스퍼터링 듀얼 건 및 스테이지 세트 구입 나. 구입내역 : 물품규격서 참조 다. 사업예산 : 금53,900,000원(VAT 포함) 라. 납품기한 : 계약일로부터 90일 이내 마. 납품장소 : 가천대학교(성남) 반도체대학 5-25호 2. 경쟁방식 : 일반경쟁입찰 3. 낙찰자 결정방법 : 예정가격 이하 최저가 낙찰제(총액입찰 및 부가가치세 포함) 4. 입찰 일시 및 장소
| 구 분 | 입찰 서류등록 | 입 찰 |
|---|---|---|
| 마감일시 | 2026.10.14.(수) 11:00 | 2026.10.15.(목) 11:00 |
| 장 소 | www.ebiz4u.co.kr 제출서류 등록 | www.ebiz4u.co.kr 총금액입력, 견적서 등록 |
| 비 고 | 본 공고문 10번 참조 | 견적서 작성시 물품규격서 내용과 동일 |
참가자격
5. 입찰참가자격(다음의 사항을 모두 충족하여야 함) 가. 본 건을 수행하기 위해서 허가·인가·면허·등록·신고 등을 요하거나 자격요건을 갖추어야 할 경우에는 당해 허가·인가·면허·등록·신고 등을 받았거나 당해 자격요건에 적합하고, 입찰참 가 등록을 정해진 기한 내에 완료한 자 나. 공고일 현재 당해 사업에 대한 사업자등록증을 교부받은 자로서, 부정당업자로 지정되지 아니한 업체이어야 하며 현재 부도, 파산 및 금융 신용부실로 정상적인 영업활동에 지장이 없는 업체 다. 입찰에 필요한 구비서류를 제출하여 정해진 기일 내 입찰등록을 필한 업체 라. 입찰공고일 현재 청산, 합병, 매각 등 정리절차 중이거나 계획 중인 업체, 법원에 화의 또는 법정관리(신청 중)중인 업체, Work-out 대상기업 및 영업정지 업체는 입찰에 참가할 수 없음 마. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제76조에 의한 부정당업자는 입찰참가자격을 제한함 6. 입찰 및 계약 보증금 가. 입찰보증금은 입찰금액의 5/100이상의 이행(입찰)보증보험증권으로 납부하여야 함 나. 입찰보증금을 초과하여 투찰 시 무효로 처리되며, 응찰자격을 박탈함 다. 낙찰자는 낙찰일로부터 7일 이내에 계약을 체결하여야 함. (낙찰자가 소정 기일(7일) 내에 계약을 체결하지 아니할 경우 낙찰을 무효로 하며, 입찰보증금은 우리 대학교에 귀속됨 라. 계약보증금은 계약금액의 10/100으로 하며, 이행(계약)보증보험증권으로 납부하여야 함