전동화 전력반도체 일괄공정 테스트베드 구축(두께측정기)

요약 AI 요약

반도체 웨이퍼의 두께·전체 두께 분포·평탄도·휨·표면거칠기·굴곡 형상을 나노미터급 해상도로 측정하는 비접촉식 고정밀 형상 계측 장비(두께 측정기) 1세트를 구축한다. 전동화 전력반도체 일괄공정 테스트베드 구축 사업의 일환이다.

• 스테이지 및 구동부 1세트 (XY·Z 리니어 모터 스테이지, 리니어 스케일·엔코더 적용, XYZ 정확도 ±1.5㎛ 이하)
• 척(Chuck) 1세트 (진공 척, 링 프레임 테이프 부착 웨이퍼 대응, ESD 코팅)
• 프로그램(데이터 관리) 1세트 (Windows 11 기반 계측 소프트웨어, 원클릭 자동 측정, 무제한 레시피 생성, 웨이퍼 이미지 기반 측정 포인트 설정, 웨이퍼 ID·Lot No·사용자 정보 DB 관리, CSV 내보내기, TCP/IP)
• 하드웨어(PC 포함) 1세트 (산업용 PC, 스틸·화강암 베이스 프레임, 능동형 진동 절연 시스템)
• 측정 성능: 4·6·8·12인치 웨이퍼, 베어·패턴·링 프레임 테이프 부착 웨이퍼 측정, 측정 해상도 10nm, 두께 범위 10~900㎛, 정확도 ±0.5㎛ 이하, 반복 정밀도 ±0.25㎛ 이하, 50㎛ 이하 초박형 웨이퍼 및 거친 표면 측정
• 센서 구성: 정전용량 프로브 센서(CPS), 에어 터프 센서(ATS), 백색광 간섭계(WLI) 기본 제공

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핵심요약

걸리는 것

소속 직원만

소속 직원만

사업수행 인력은 자사 인력으로 구성하여야 하며, 채용 예정 인력 투입 시 별도 명시하고 계약체결 전까지 채용 후 관련 자료 제출. 발표는 본 사업에 투입되는 사업책임자(PM)가 직접발표(신분증 지참)하여야 함.

사업수행 인력은 자사 인력으로 구성하여야 하며, 채용 예정 인력을 투입할 경우에는 별도로 명시하고 계약체결 전까지 채용 후 발주기관에 관련 자료를 제출하여야 합니다.

발표는 본 사업에 투입되는 사업책임자(PM)가 직접발표(신분증 지참필수) 하여야 함

입찰 전

서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일)

입찰 전 따로 할 절차 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일)

가격조사 협조요청으로 견적서·가격자료를 2026.10.14.(수)까지 이메일(mogoon@korea.kr) 또는 팩스(0505-480-2289)로 담당자에게 제출. 그 외 나라장터 외 별도 절차는 없음.

<가격조사 협조요청사항>
* 본 입찰에 참가하고자 하는 업체는 기초금액 산정 참고자료인 견적서와 가격자료를 2026.10.14.(수)까지 이메일 mogoon@korea.kr 또는 팩스(0505-480-2289)로 담당자(김건완: 070-4056-6579)에게 제출하여 주시기 바랍니다.

규격·기술 심사

점수와 통과선

규격/가격 동시입찰로 정량평가(20점)+규격평가(80점) 종합평가점수 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격적합업체로 선정하고, 규격 적합 업체 중 예정가격 이하 최저가 입찰자를 낙찰자로 선정한다. 규격평가 배점표는 우수/적합/미흡으로 나뉘어 있다.

• 통과선 · 85점 이상 100점 만점에 85점 이상

  - 제안서 평가점수가 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격적합업체로 선정합니다.

• 필수 항목·과락 · 아니다 필수 항목 미달·부문별 과락으로 총점과 상관없이 떨어진다고 적은 문장은 없다.

- 제안서 평가점수가 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격적합업체로 선정합니다.

- 규격 적합 업체 중 예정가격 이하 최저가 입찰자를 낙찰자로 선정합니다.

문서 분석

기성품·주문제작

기성품·상용 그대로

규격서가 「또는 동등 이상일 것」로 사양을 정하고 있어 카탈로그 기성품 제출로 보이며, 로고·색 맞춤이나 주문제작·설계 개발 문구는 없다. 시스템 통합 문구도 없음.

• 시스템 통합 · 아니다

Ⅲ. 장비 성능 (또는 동등 이상일 것)

1. 일반사양 (또는 동등 이상일 것)

문서 분석

수행 기간

150일 이내

납품기한 계약일(계약체결)로부터 150일 이내. 하자보증은 검수검사 완료일로부터 2년.

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 없음

❍ 납품기한 : 계약일로부터 150일 이내

2. 납품기한은 계약체결 후 150일 이내로 함

문서 분석

가격

추정가격

318,181,818원

배정예산

352,970,000원

기초금액

331,000,000원 (예비가격 -3% ~ +3%)

부가세

31,818,182원

예정가격 방식

복수예가

첨부파일

• HWPX · 공고서(지방, 규가, 고시미만, 긴급.).hwpx · 공고규격서
• PDF · 공고서(지방, 규가, 고시미만, 긴급.).pdf · 공고규격서
• ZIP · 제안서 및 규격서.zip · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

납품

납품

계약 후 150일
문서: 수행 기간 · 150일 이내

품명

두께측정기 (4111162301)

제조물품

아니오
문서: 직접 생산 · 없음

세부품명 등록

등록 필요

인도조건

설치까지 · 현장설치도
문서: 일의 끝 · 설치·시운전·가동까지

수량

1 set
문서: 일의 분량 · 1set

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음
문서: 업종·면허 조합 · 한 업종
문서: 설치 공사업 면허 · 없음

지역제한

제한 없음
문서: 지역 조건 · 없음

제출 방법

전자입찰
문서: 입찰 전 절차 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일)

실적경쟁 · PQ

모름
문서: 실적 · 점수에 반영

공동수급

공동수급불허
문서: 공동수급 · 막음

입찰참가 제한

모름

국제입찰

국내입찰

입찰 일정

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 제안서 평가점수가 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격적합업체로 선정합니다.

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 두께 측정기 제조·납품·설치·시운전·교육·하자보수

물품 › 연구·실험·계측장비 › 기타 연구장비

반도체 웨이퍼의 두께·TTV·평탄도·휘어짐·표면거칠기를 나노미터급으로 재는 비접촉식 고정밀 형상 계측장비를 제조·납품하는 사업으로, 연구·실험·계측장비의 기타 연구장비에 해당한다.

• 스테이지·구동부, Chuck, 프로그램(데이터 관리), 하드웨어(PC 포함) 일체 공급
• 운반·설치 및 2차 Hook-Up(제외분 별도)
• 장비 제조 현장(Fab.)에서의 성능 테스트(Wafer 두께 ±0.5㎛ 이하, SiC 웨이퍼 센싱, Wafer Moving Test 100회 이상)
• 현장 설치 후 시운전 및 장비 성능검사
• 국내 교육 1주 이상 실시 및 추가 교육·기술지원·기술 세미나
• 검수검사 완료일로부터 2년 하자보증 및 무상점검·A/S
• 산업안전보건관리비 등 안전관련 법정 경비 부담

걸리는 것 · 입찰 전 할 일

걸리는 조건

소속 직원만

사업수행 인력은 자사 인력으로 구성하여야 하며, 채용 예정 인력 투입 시 별도 명시하고 계약체결 전까지 채용 후 관련 자료 제출. 발표는 본 사업에 투입되는 사업책임자(PM)가 직접발표(신분증 지참)하여야 함.

사업수행 인력은 자사 인력으로 구성하여야 하며, 채용 예정 인력을 투입할 경우에는 별도로 명시하고 계약체결 전까지 채용 후 발주기관에 관련 자료를 제출하여야 합니다.

발표는 본 사업에 투입되는 사업책임자(PM)가 직접발표(신분증 지참필수) 하여야 함

입찰 전 할 일

• 입찰 전 따로 할 절차 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일)

  가격조사 협조요청으로 견적서·가격자료를 2026.10.14.(수)까지 이메일(mogoon@korea.kr) 또는 팩스(0505-480-2289)로 담당자에게 제출. 그 외 나라장터 외 별도 절차는 없음.

  <가격조사 협조요청사항>
  * 본 입찰에 참가하고자 하는 업체는 기초금액 산정 참고자료인 견적서와 가격자료를 2026.10.14.(수)까지 이메일 mogoon@korea.kr 또는 팩스(0505-480-2289)로 담당자(김건완: 070-4056-6579)에게 제출하여 주시기 바랍니다.

더 확인할 것

지정 제품·공법

이럴 때 꼭 봅니다 — 특정 모델에 쏠린 규격 · 지정 — 다른 것 불가

지정 — 동등 이상 허용

구매규격서의 장비 성능·구성 항목마다 「(또는 동등 이상일 것)」을 붙여 동등 이상 제품을 허용하고 있으며, 제안요청서도 「제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 합니다」라고 정하고 있다. 특정 제조사·브랜드·모델명은 문서에 없다. 동등 입증 시점을 따로 정한 문장은 없다.

• 동등 입증 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 동등 이상 제품의 적합 판정 시점을 정한 문장이 문서에 없다.

제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 합니다.

Ⅲ. 장비 성능 (또는 동등 이상일 것)

실적

감점 · 점수에 반영

정량평가 사업수행 실적(5점)에서 입찰 공고일 기준 최근 3년간 1억5천만원 이상(단일건, 부가세 포함) 두께 측정기 또는 그 이상 사양의 설계·제작 계약 및 납품실적(하도급계약 제외)만 인정한다.

• 크기 · 3~5점 10억원 초과 5점, 10억~5억이상 4점, 5억원 미만 3점.

  | 구분 | 10억원 초과 | 10억원 ~ 5억원이상 | 5억원 미만 |

  | 점수 | 5 | 4 | 3 |

• 조건 · 유사·동등 이상 실적 인정 두께 측정기 또는 그 이상의 사양을 설계·제작한 실적만 인정(하도급계약 제외). 유사 실적은 인정하지 않음.

  수행 실적은 입찰공고·규격서 등에 명시한 성능·품질 등의 조건과 부합 혹은 그 이상의 사양을 납품한 경우에만 평가하며

- 입찰 공고일 기준 최근 3년간 납품실적(부가세포함) ¹⁾

1. 입찰일 기준으로 최근 3년간 1억5천만원 이상(단일건, 부가세 포함)의 두께 측정기 또는 그 이상의 사양을 설계 및 제작한 계약 및 납품실적 금액(하도급계약 제외)만 인정함.

회사 규모·신분

중소기업만 · 소기업·소상공인만

중소기업자 또는 소상공인으로서 중소기업·소상공인 확인서를 소지한 자로 참가 자격을 제한한다.

「중소기업기본법」 제2조에 따른 중소기업자 또는 「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」 제2조에 따른 소상공인으로서 「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 중소기업ㆍ소상공인 확인서를 소지한 자

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

항목별 규격 대비표 · 카탈로그·제조사 사양서 · 시험성적서 · 실측·성능 데이터·도면

제안서 작성지침에서 「제안서의 내용을 객관적으로 입증할 수 있는 관련 자료는 제안서의 별첨으로 제출하여야 한다」, 「제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증할 수 있는 관계서류를 첨부해야 한다」고 정하고 있어 규격 충족을 보이는 자료를 입찰 때 제출해야 한다. 다만 어떤 형태(대비표·카탈로그·성적서·도면)로 내라는지 구체적으로 정한 문장은 없어 보기 중 해당 수단을 모두 골랐다.

• 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제출 마감 뒤 보완 허용·막음을 정한 문장이 없다.

❍ 제안서의 내용을 객관적으로 입증할 수 있는 관련 자료는 제안서의 별첨으로 제출하여야 합니다.

❍ 제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증할 수 있는 관계서류를 첨부해야 하며, 허위 작성(제안 기능의 실행 불가)한 사실이 판명되거나 입증하지 못하는 경우 부적격 처리되고, 계약 후에도 계약해지와 함께 인적․물적․기간적 손실에 대한 손해배상을 청구할 수 있습니다.

참가 범위

공개 경쟁

제한(총액)규격가격동시 입찰로, 나라장터에 두께측정기(4111162301)를 제조 또는 공급 물품으로 등록하고 중소기업·소상공인 확인서를 소지한 자 등 조건을 갖춘 자면 참여 가능. 명단·협약 등으로 참가자를 미리 묶은 문장은 없음.

○ | 계약입찰방법: | | | | | | | | | | 제한(총액)규격가격동시

- | 입찰참가자격등록 마감일시까지 두께측정기(4111162301)를 제조 또는 공급 물품으로 입찰참가 등록한 자

다른 업 섞임

섞이지 않음

두께 측정기 1종(Set 1) 납품·설치 건으로, 다른 면허·공종·품목의 일이 문서에 없다.

❍ 물 품 명 : 두께 측정기

❍ 구매물품 : 두께 측정기

❍ 구매수량 : 1 (단위:set )

기존 시스템과 이어짐

기존 시스템·설비와 연동

MES 연동을 통한 반자동·전자동 공정 계측 환경 구축이 가능하다고 적었고, 데이터 관리 통신으로 TCP/IP를 제시. 연동 상대편 작업·비용 부담, 기존 제조사 제품 묶임, 연속 사업 문구는 없음.

3. Windows 기반의 사용자 친화적인 측정 프로그램과 고해상도 스테이지를 적용하여 사용자가 정의한 e-mapping 레시피를 통한 자동 다점 측정 및 데이터 저장·관리 기능을 제공하며, MES 연동을 통한 반자동 및 전자동 공정 계측 환경 구축이 가능

4) 데이터 관리
- TCP/IP

일의 끝

설치·시운전·가동까지

현장설치도 조건이며, 장비 현장 설치 후 시운전 및 장비 성능검사, 제조 현장(Fab.) 성능 테스트, 국내 교육 1주 이상을 요구. 시험운영 기간은 별도로 정해지지 않음.

• 시험운영 기간 · 정해지지 않음

○ | 인도조건: | | | | | | | | | 현장설치도

4. 장비 제조사는 장비 현장 설치 후 시운전 및 장비 성능검사 할 때 1주 이상의 국내 교육을 실시해야 한다.

현장·납품지

1곳

납품장소는 수요기관 지정장소(재단법인부산테크노파크). 인도조건 현장설치도.

• 열린 분량 · 정해짐 수요기관 지정장소로 정해져 있음

  ○ | 납품장소: | | | | | | | | | 수요기관 지정장소 | | | | | | | | | | | | | | | | |

• 범위 · 없음(국내 보통 현장)

○ | 납품장소: | | | | | | | | | 수요기관 지정장소 | | | | | | | | | | | | | | | | |

교육·기술이전

1회 이상

장비 제조사는 장비 현장 설치 후 시운전 및 장비 성능검사 할 때 1주 이상의 국내 교육을 실시해야 하며, 사용자의 요청에 따라 추가 교육·기술지원·기술 세미나를 수행해야 한다. 납품 전 제조 현장(Fab.)에서 전력반도체센터 직원 2명 이상 대상 장비 성능 테스트도 있다.

• 무상 · 우리 부담(대가 안) 제안자는 지정 설치장소까지의 발생되는 운반·설치 및 교육비 등 제반 소요비용을 입찰가격에 포함하여야 한다.

  ❍ 제안자는 지정 설치장소까지의 발생되는 운반･설치 및 교육비, 『산업안전보건법』에 따른 산업안전보건관리비 등 안전관련 법정 경비, 제반 소요비용 등이 있을 경우 입찰가격에 포함하여야 합니다.

4. 장비 제조사는 장비 현장 설치 후 시운전 및 장비 성능검사 할 때 1주 이상의 국내 교육을 실시해야 한다. 또한 사용자의 요청에 따라 추가 교육, 기술지원 및 기술 세미나를 수행해야 함.

하자보수

2년 이상

제안요청서는 하자보증을 검수검사 완료일로부터 2년으로 하고, 구매규격서는 Warranty 기간의 시작을 Set-up 완료, 검수·승인 후 최소 2년 이상으로 한다. 공고서의 하자담보책임기간도 2년이다.

• 기점 · 설치·검수 완료일 검수검사 완료일부터 2년, Set-up 완료·검수·승인 후 최소 2년 이상.

  ❍ 하자보증 : 검수검사 완료일로부터 2년

• 보증 기간 정기점검 · 없음 보증 기간 중 정기점검 횟수·주기를 정한 문장이 없다.
• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 보증 기간 소모성·정기정비 부품의 무상 여부를 정한 문장이 없다.

❍ 하자보증 : 검수검사 완료일로부터 2년

1. Warranty 기간의 시작은 Set-up 완료, 검수·승인 후 최소 2년 이상으로 함.

큰 배점 항목

규격평가 장비의 성능/규격 30점(우수 30·적합 29·미흡 0), 사양 충족도 15점(우수 15·적합 14·미흡 0), 장비의 안전성 10점(우수 10·적합 9·미흡 1)

규격평가 80점 중 배점이 큰 항목. 정량평가는 사업수행 실적 5점, 기술인력 보유 6점, 경영상태 6점, 행정처분 3점.

| 규격 평가
(80점) | 장비의 성능/
규격 | | ○ 제안 장비 사양 등 규격 적합성 평가
- 규격 또는 기술과의 적합성과 구성품의 기능 및 내구성
- 진단 시스템-소프트웨어 기능의 우수성, 호환성
- 품질 우수성, 편의성, 부품 신뢰성
- 성능평가 및 검증방안 제시 여부
- 추가기능, 성능의 확장성, 편의성, 효율 등 | 30 | 29 | 0 |

| 규격 평가
(80점) | 사양 충족도 | | ○ 제안요청사항 요구 충족도
- 장비의 원리 이해도, 제안기술의 완성도 및 특장점 등
- 제안요청 내용의 이해 및 작성의 충실성
- 성능 시험의 자체 개발 알고리즘 적용
- 가동 원리, 설계, 전체 시스템 구성 등
- 장비 도면, 설계 및 설치 계획 등 | 15 | 14 | 0 |

| 규격 평가
(80점) | 장비의
안전성 | | ○ 장비의 각종 안전 및 보호 기능 평가
- 장비간의 인터페이스, S/W의 안정성 검증
- 장비 이상 발생 시 비상 대비 여부 | 10 | 9 | 1 |

무상 추가 제공

감점 · 점수에 반영

규격평가 품질보증계획 항목에서 장비의 무상점검 계획 및 하자보증, 기술지원(A/S)·사후관리 계획, 2년간 유지보수 비용·조직, 장애 대응계획을 10점(우수 10·적합 9·미흡 1)으로 평가.

• 요구 기간 · 2년 이상 하자보증 2년, 2년간 유지보수 비용·조직 평가

  - 2년간 유지보수 비용, 유지보수 조직

• 크기 · 1~10점 품질보증계획 우수 10점·적합 9점·미흡 1점

  | 규격 평가
  (80점) | 품질보증
  계획 | | ○ 장비의 무상점검 계획 및 하자보증
  - 기술지원 계획 등 (소모품, 교체시기 목록, 교체기준 등)
  - 제조사 또는 공급사의 기술지원(A/S), 사후관리 계획
  - 2년간 유지보수 비용, 유지보수 조직
  - 장비하자 및 장애 시 처리 방안 등 대응계획 | 10 | 9 | 1 |

• 대상 · 유지보수·사후지원 무상점검·하자보증·기술지원(A/S)·사후관리 계획

  - 제조사 또는 공급사의 기술지원(A/S), 사후관리 계획

| 규격 평가
(80점) | 품질보증
계획 | | ○ 장비의 무상점검 계획 및 하자보증
- 기술지원 계획 등 (소모품, 교체시기 목록, 교체기준 등)
- 제조사 또는 공급사의 기술지원(A/S), 사후관리 계획
- 2년간 유지보수 비용, 유지보수 조직
- 장비하자 및 장애 시 처리 방안 등 대응계획 | 10 | 9 | 1 |

평가 자리 발표

발표(대면·화상)

평가방법은 발표평가(온라인 또는 서면으로 진행할 수도 있음). 발표시간 업체당 30분 내외(발표 20분, 질의응답 10분), 발표순서는 입찰순서에 따라 진행, 발표는 PM이 직접발표(신분증 지참).

• 빠지면 · 최하점·서면으로만 평가 제안평가 불참자는 제출한 제안서로만 평가

  - 제안평가 불참자는 제출한 제안서로만 평가합니다.

평가방법 : 발표평가(온라인 또는 서면으로 진행할 수도 있음)

- 발표시간 : 업체당 30분 내외(발표 20분, 질의응답 10분)

- 발표는 본 사업에 투입되는 사업책임자(PM)가 직접발표(신분증 지참필수) 하여야 함

지원사업·R&D 재원

정부·지자체 지원사업 돈

『전동화 전력반도체 일괄공정 테스트베드 구축』사업

과업목적 : 『전동화 전력반도체 일괄공정 테스트베드 구축』사업의 일환으로 “두께 측정기’ 구축 추진을 위해 입찰자가 제출한 규격입찰서를 평가기준에 정하는 바에 따라 공정하고 객관성 있게 평가하고자 함.

설치·사용 환경

옥내

• 보호 등급·사용 온도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

10/06(화)

공고번호

R26BK01756895-000

참조번호

-

공고기관

조달청 부산지방조달청

수요기관

재단법인부산테크노파크

계약방법

제한경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

318,181,818원

배정예산

352,970,000원

사전규격번호

R26BD00269056

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 분석 전체

이 분야에서 갈리는 것 · 기성품인가 제작인가, 규격이 우리 모델에 맞나(기존 설비와 호환 포함), 기술·규격 평가를 넘나, 납기(2주~5개월, 고정된 끝 날짜)를 맞추나에서 갈린다.

질문 86개 · 꼭 4 · 좋음 22 · 안 봐도 됨 60

주제 · 참가 자격 9개

업종·면허 조합

한 업종

입찰참가자격 등록은 두께측정기(4111162301)를 제조 또는 공급 물품으로 등록한 자이면 되고, 별도의 법·조례상 허가·지정·등록이나 업태·종목·전문매장 조건은 없다.

• 코드 밖 자격 · 없음 법·조례가 정한 허가·지정·등록, 사업자등록증 업태·종목, 전문매장 보유 같은 코드 밖 자격 요구는 문서에 없다.

입찰참가자격등록 마감일시까지 두께측정기(4111162301)를 제조 또는 공급 물품으로 입찰참가 등록한 자

지역 조건

없음

본점 지역 제한(대한민국 소재) 외에 사업장·지사·시설·인력 소재, 지역 인력 고용·장비 사용, 지역 업체 공동수급, 지역 가점을 거는 조건은 문서에 없다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 지역 관련 평가표 배점이 없다.
• 대상 · - 해당하는 지역 조건이 없다.

실적

감점 · 점수에 반영

정량평가 사업수행 실적(5점)에서 입찰 공고일 기준 최근 3년간 1억5천만원 이상(단일건, 부가세 포함) 두께 측정기 또는 그 이상 사양의 설계·제작 계약 및 납품실적(하도급계약 제외)만 인정한다.

• 크기 · 3~5점 10억원 초과 5점, 10억~5억이상 4점, 5억원 미만 3점.

  | 구분 | 10억원 초과 | 10억원 ~ 5억원이상 | 5억원 미만 |

  | 점수 | 5 | 4 | 3 |

• 조건 · 유사·동등 이상 실적 인정 두께 측정기 또는 그 이상의 사양을 설계·제작한 실적만 인정(하도급계약 제외). 유사 실적은 인정하지 않음.

  수행 실적은 입찰공고·규격서 등에 명시한 성능·품질 등의 조건과 부합 혹은 그 이상의 사양을 납품한 경우에만 평가하며

- 입찰 공고일 기준 최근 3년간 납품실적(부가세포함) ¹⁾

1. 입찰일 기준으로 최근 3년간 1억5천만원 이상(단일건, 부가세 포함)의 두께 측정기 또는 그 이상의 사양을 설계 및 제작한 계약 및 납품실적 금액(하도급계약 제외)만 인정함.

업력

없음

업력(설립·개업 후 경과 햇수)을 참가 조건이나 점수로 보는 요구는 문서에 없다.

• 요구 업력 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 요구 업력이 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 업력 배점이 없다.

공동수급

막음

공동계약 및 구성방식: 불가로 적혀 있다.

• 자격을 나눠 채우기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공동수급 불가로 자격 분담을 따질 자리가 없다.

○ | 공동계약 및 구성방식: | | | | | | | | | | | | | | | | 불가 |

회사 규모·신분

중소기업만 · 소기업·소상공인만

중소기업자 또는 소상공인으로서 중소기업·소상공인 확인서를 소지한 자로 참가 자격을 제한한다.

「중소기업기본법」 제2조에 따른 중소기업자 또는 「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」 제2조에 따른 소상공인으로서 「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 중소기업ㆍ소상공인 확인서를 소지한 자

안전보건수준평가

없음

안전보건수준평가 대상 사업으로 지정한 문장은 없고, 중대재해처벌법 관련 일반 안내만 있다.

하도급

모름 · 문서로 확인 안 됨

하도급 허용·금지를 이 공고가 직접 적은 문장은 없고, 하도급 승인절차 등은 과업내용서·제안요청서·관련 법령에 따른다고만 적혀 있다.

• 하도급 한도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급 한도 규정이 없다.

이 입찰계약의 하도급에 관한 사항(하도급 승인절차 등)은 과업내용서 또는 제안요청서, 다른 법령에서 정하고 있는 경우에는 관련 법령(「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」, 「소프트웨어산업진흥법」, 「정보통신공사업법」 등)에 따르며, 하도급에 관한 사항을 정하고 있지 않은 경우에는 계약체결 후 계약자와 수요기관 간 협의에 의해 정해진 바에 따릅니다.

직접 생산

없음

직접생산확인증명서 소지나 제조 등록을 참가 자격으로 요구하지 않는다. 다만 직접생산기준 위반 시 계약해지·부정당업자 제재 등 일반 조항이 있다.

• 참가 등록 · 제조·공급 모두 두께측정기(4111162301)를 제조 또는 공급 물품으로 등록한 자.

  입찰참가자격등록 마감일시까지 두께측정기(4111162301)를 제조 또는 공급 물품으로 입찰참가 등록한 자

• 직생 범위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 직접생산확인 요구가 없다.
• 대상 · - 제품 제조·공급 방식에 대한 요구가 없다.

주제 · 제품 규격·인증 9개

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

구매규격서의 장비 성능·구성 항목마다 「(또는 동등 이상일 것)」을 붙여 동등 이상 제품을 허용하고 있으며, 제안요청서도 「제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 합니다」라고 정하고 있다. 특정 제조사·브랜드·모델명은 문서에 없다. 동등 입증 시점을 따로 정한 문장은 없다.

• 동등 입증 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 동등 이상 제품의 적합 판정 시점을 정한 문장이 문서에 없다.

제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 합니다.

Ⅲ. 장비 성능 (또는 동등 이상일 것)

제조사 확약서

없음

제조사·공식 공급원에게서 받아야 하는 공급 확약서·기술지원(A/S) 확약서·대리점 지위·정품보증서·수입신고필증 같은 서류를 요구하는 문장이 없다. 규격평가 품질보증계획에서 「제조사 또는 공급사의 기술지원(A/S), 사후관리 계획」을 제안서에 담도록 한 것은 평가 항목이지 제출 서류 요구가 아니다.

• 대상 · - 해당 서류 요구 없음
• 조건 · 없음

제품 인증

없음

납품 장비에 인증·허가·시험성적서를 갖추라고 정한 문장이 없다. 다만 계약 후 납품 전 제조 현장에서 성능 테스트(Wafer 두께 측정 ±0.5㎛ 정확도 이하, SiC Wafer Sensing 이상 없음, Wafer Moving Test 100회 이상)를 진행하도록 정하고 있다.

• 크기 · -
• 대상 · -
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

원산지(국산)

모름 · 문서로 확인 안 됨

원산지 제한·국산 요구 문장이 문서에 없다. 「원산지를 거짓으로 표시하여 납품하는 행위」는 부정행위 환수 기준일 뿐 원산지 제한이 아니다.

합격선

숫자 기준 있음

구매규격서가 측정 해상도 10 nm, 측정 범위 10~900 ㎛, 정확도 ≤±0.5 ㎛, 반복 정밀도 ≤±0.25 ㎛(1σ, 동일 포인트 10회), 초박형 50 ㎛ 이하 측정, 거친 표면 분해능 ≤0.5 nm·반복 정밀도 ≤0.1% @1σ, 스테이지 정확도 ±1.5 ㎛ 이하, 12" 97점/8" 45점 매핑, 무게 350 kg 이상, 소비전력 Max. 4.9 kVA, 진공 -80 kPa 등 수치 합격선을 정하고 있다. 납품 전 제조 현장 성능 테스트도 ±0.5㎛ 정확도 이하·Wafer Moving Test 100회 이상으로 정해져 있다.

• 따를 표준·지침 · 문서에 따르라고 지정한 표준·지침·법령·양식·방법론의 이름은 없다. 다만 데이터 관리 항목에 통신 방식으로 TCP/IP가 적혀 있고, MES 연동을 통한 반자동·전자동 공정 계측 환경 구축이 가능하다고 정하고 있다.

  4) 데이터 관리
  - TCP/IP

  MES 연동을 통한 반자동 및 전자동 공정 계측 환경 구축이 가능

5) 측정 해상도(Resolution) : 10 nm

2) 측정 정확도(Accuracy) : ≤ ±0.5 ㎛

3) 반복 정밀도(Repeatability) : ≤ ±0.25 ㎛ (1σ, 동일 포인트 10회 측정 기준)

등록 제품

없음

우수제품·혁신제품·발주처 규격심의·사전등록·특정 기관 인증·플랫폼 등록·제품(모델) 납품·설치 실적·가격집 등재를 요구하는 문장이 없다. 정량평가의 「수행경험(실적)」은 회사(입찰자)의 납품실적이지 제품(모델) 자체의 실적 요구가 아니다.

• 대상 · -

신품·제조 시기

없음

신품·최근 생산품·제조 후 경과 상한·남은 유효기간·단종 예정 모델 금지를 정한 문장이 없다.

• 제조 뒤 경과 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 남은 유효기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

규격·기술 심사

점수와 통과선

규격/가격 동시입찰로 정량평가(20점)+규격평가(80점) 종합평가점수 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격적합업체로 선정하고, 규격 적합 업체 중 예정가격 이하 최저가 입찰자를 낙찰자로 선정한다. 규격평가 배점표는 우수/적합/미흡으로 나뉘어 있다.

• 통과선 · 85점 이상 100점 만점에 85점 이상

  - 제안서 평가점수가 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격적합업체로 선정합니다.

• 필수 항목·과락 · 아니다 필수 항목 미달·부문별 과락으로 총점과 상관없이 떨어진다고 적은 문장은 없다.

- 제안서 평가점수가 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격적합업체로 선정합니다.

- 규격 적합 업체 중 예정가격 이하 최저가 입찰자를 낙찰자로 선정합니다.

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

항목별 규격 대비표 · 카탈로그·제조사 사양서 · 시험성적서 · 실측·성능 데이터·도면

제안서 작성지침에서 「제안서의 내용을 객관적으로 입증할 수 있는 관련 자료는 제안서의 별첨으로 제출하여야 한다」, 「제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증할 수 있는 관계서류를 첨부해야 한다」고 정하고 있어 규격 충족을 보이는 자료를 입찰 때 제출해야 한다. 다만 어떤 형태(대비표·카탈로그·성적서·도면)로 내라는지 구체적으로 정한 문장은 없어 보기 중 해당 수단을 모두 골랐다.

• 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제출 마감 뒤 보완 허용·막음을 정한 문장이 없다.

❍ 제안서의 내용을 객관적으로 입증할 수 있는 관련 자료는 제안서의 별첨으로 제출하여야 합니다.

❍ 제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증할 수 있는 관계서류를 첨부해야 하며, 허위 작성(제안 기능의 실행 불가)한 사실이 판명되거나 입증하지 못하는 경우 부적격 처리되고, 계약 후에도 계약해지와 함께 인적․물적․기간적 손실에 대한 손해배상을 청구할 수 있습니다.

주제 · 입찰 절차 9개

참가 범위

공개 경쟁

제한(총액)규격가격동시 입찰로, 나라장터에 두께측정기(4111162301)를 제조 또는 공급 물품으로 등록하고 중소기업·소상공인 확인서를 소지한 자 등 조건을 갖춘 자면 참여 가능. 명단·협약 등으로 참가자를 미리 묶은 문장은 없음.

○ | 계약입찰방법: | | | | | | | | | | 제한(총액)규격가격동시

- | 입찰참가자격등록 마감일시까지 두께측정기(4111162301)를 제조 또는 공급 물품으로 입찰참가 등록한 자

여러 과제로 나뉨

나뉘지 않음

단일 입찰번호(R26BK01756895-000)로 두께 측정기 1 set를 한 번에 발주. 과제·권역·입찰번호로 나눈 문장 없음.

• 여러 개 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 나뉘지 않은 단일 입찰이라 해당 없음.

○ | 입찰공고번호: | | | | | | | | | | R26BK01756895-000

○ | 수량: | | | | | 1

입찰 전 절차

서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일)

가격조사 협조요청으로 견적서·가격자료를 2026.10.14.(수)까지 이메일(mogoon@korea.kr) 또는 팩스(0505-480-2289)로 담당자에게 제출. 그 외 나라장터 외 별도 절차는 없음.

<가격조사 협조요청사항>
* 본 입찰에 참가하고자 하는 업체는 기초금액 산정 참고자료인 견적서와 가격자료를 2026.10.14.(수)까지 이메일 mogoon@korea.kr 또는 팩스(0505-480-2289)로 담당자(김건완: 070-4056-6579)에게 제출하여 주시기 바랍니다.

현장설명회

없음

현장설명회·현장답사 일정이나 참석 확인 문장 없음.

정정·재공고 변경

해당 없음(첫 공고)

재공고·정정공고 문장 없음.

낙찰 업체 수

한 업체가 전량

두께 측정기 1 set를 총액계약으로 한 업체가 낙찰. 분할납품 불가.

• 최소 응찰 물량 · 해당 없음 나눠 낙찰하는 구조가 아님.

○ | 분할납품: | | | | | | | | | 불가

❍ 계약유형 : 총액계약

MAS 2단계경쟁

아니다

규격/가격 동시입찰(제한 총액)로 낙찰자 결정. 다수공급자계약·종합쇼핑몰 문장 없음.

❍ 낙찰자결정방식 : 규격/가격 동시입찰

입찰보증금

면제·지급각서로 갈음

신용정보 관리규약상 채무불이행·금융질서 문란자 등 일부만 입찰금액 100분의 5 이상 납부, 그 외는 납부 면제하고 입찰보증금 지급각서 제출(전자입찰서로 대신). 계약보증금은 조달청 내자구매업무 처리규정 제48조의2, 하자보수보증금은 물품 계약금액 100분의 3.

• 입찰보증금 비율 · 5% 이상 일부 해당자(채무불이행·금융질서 문란자 등)만 입찰금액의 100분의 5 이상.

  ○ | | 입찰자가 아래에 해당하는 경우에는 입찰금액의 100분의 5이상(「지방계약법 시행령」 제37조 제1항 단서조항에 따른 기획재정부장관이 기간을 정하여 고시한 경우에는 1천분의 25이상)의 입찰보증금을 납부 하여야 합니다.

• 계약·하자 보증 비율 · 3% 하자보수보증금은 물품 계약금액의 100분의 3. 계약보증금은 조달청 내자구매업무 처리규정 제48조의2 적용.

  제59조(하자보수 보증금) ①계약담당과장은 물품 및 용역의 특성상 하자보수보증이 필요하다고 인정되는 경우에는 물품(용역)별 하자담보 책임기간을 정하고 계약상대자로 하여금 물품의 경우 계약금액의 100분의 3, 용역의 경우 계약금액의 100분의 2(｢국가계약법 시행규칙｣ 제72조제1항 및 ｢지방계약법 시행규칙｣ 제70조제1항에서 정한 경우에는 그 금액)에 해당하는 하자보수 보증금을 납부하게 할 수 있다.

○ | | (납부면제) 위 사항을 제외하고는 이 입찰에서 입찰보증금의 납부는 면제하되, 입찰보증금 지급각서를 제출하여야 합니다.

제59조(하자보수 보증금) ①계약담당과장은 물품 및 용역의 특성상 하자보수보증이 필요하다고 인정되는 경우에는 물품(용역)별 하자담보 책임기간을 정하고 계약상대자로 하여금 물품의 경우 계약금액의 100분의 3, 용역의 경우 계약금액의 100분의 2(｢국가계약법 시행규칙｣ 제72조제1항 및 ｢지방계약법 시행규칙｣ 제70조제1항에서 정한 경우에는 그 금액)에 해당하는 하자보수 보증금을 납부하게 할 수 있다.

문서끼리 다른 곳

아니다

입찰공고서와 과업내용서가 다르면 입찰공고서가 우선한다는 정형 조항만 있고, 실제로 어긋난 값은 확인되지 않음.

이 입찰집행과 관련하여 입찰공고서와 과업내용서(제안요청서 등 입찰 첨부서류 일체)의 내용이 서로 다를 경우 입찰공고서가 우선하여 적용됩니다.

주제 · 과업 범위 11개

다른 업 섞임

섞이지 않음

두께 측정기 1종(Set 1) 납품·설치 건으로, 다른 면허·공종·품목의 일이 문서에 없다.

❍ 물 품 명 : 두께 측정기

❍ 구매물품 : 두께 측정기

❍ 구매수량 : 1 (단위:set )

하는 일

반도체 웨이퍼의 두께·TTV·평탄도·휨·표면거칠기·굴곡을 나노미터급 해상도로 측정하는 비접촉식 고정밀 형상 계측 장비(두께 측정기) 1Set를 납품·설치하는 사업이다. 4~12인치 베어/패턴/링프레임 테이프 부착/초박형·타이코/범프 웨이퍼를 측정하고, 측정 해상도 10nm, 두께범위 10~900㎛, 정확도 ±0.5㎛ 이하, 반복정밀도 ±0.25㎛ 이하, MES 연동 및 레시피 기반 자동 다점 측정·CSV Export를 요구한다.

1. 반도체 웨이퍼의 두께(Thickness), 전체 두께 분포(TTV), 평탄도(Flatness), 휨(Warpage), 표면거칠기(Roughness) 및 굴곡(Bow) 형상을 나노미터급 해상도로 측정하는 비접촉식 고정밀 형상 계측 장비이다.

5) 측정 해상도(Resolution) : 10 nm

1) 측정 범위(Thickness range): 기본 : 10 ㎛ ~ 900 ㎛

2) 측정 정확도(Accuracy) : ≤ ±0.5 ㎛

기존 시스템과 이어짐

기존 시스템·설비와 연동

MES 연동을 통한 반자동·전자동 공정 계측 환경 구축이 가능하다고 적었고, 데이터 관리 통신으로 TCP/IP를 제시. 연동 상대편 작업·비용 부담, 기존 제조사 제품 묶임, 연속 사업 문구는 없음.

3. Windows 기반의 사용자 친화적인 측정 프로그램과 고해상도 스테이지를 적용하여 사용자가 정의한 e-mapping 레시피를 통한 자동 다점 측정 및 데이터 저장·관리 기능을 제공하며, MES 연동을 통한 반자동 및 전자동 공정 계측 환경 구축이 가능

4) 데이터 관리
- TCP/IP

설치 공사업 면허

없음

전기·정보통신·수도·소방 등 공사업 면허를 참가자격이나 시공 조건으로 요구한 문구가 없다.

• 대상 · -
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

일의 끝

설치·시운전·가동까지

현장설치도 조건이며, 장비 현장 설치 후 시운전 및 장비 성능검사, 제조 현장(Fab.) 성능 테스트, 국내 교육 1주 이상을 요구. 시험운영 기간은 별도로 정해지지 않음.

• 시험운영 기간 · 정해지지 않음

○ | 인도조건: | | | | | | | | | 현장설치도

4. 장비 제조사는 장비 현장 설치 후 시운전 및 장비 성능검사 할 때 1주 이상의 국내 교육을 실시해야 한다.

기성품·주문제작

기성품·상용 그대로

규격서가 「또는 동등 이상일 것」로 사양을 정하고 있어 카탈로그 기성품 제출로 보이며, 로고·색 맞춤이나 주문제작·설계 개발 문구는 없다. 시스템 통합 문구도 없음.

• 시스템 통합 · 아니다

Ⅲ. 장비 성능 (또는 동등 이상일 것)

1. 일반사양 (또는 동등 이상일 것)

함께 넘길 물품

해당 없음

본품과 함께 넘겨주거나 비치해야 하는 별도 물품(예비품·소모품·전용 공구 등)을 품목·수량으로 정한 문구가 없다.

철거·폐기

없음

기존 장비·시설의 철거·이설·폐기·반납이나 포장재 회수를 우리 몫으로 정한 문구가 없다.

부가 작업

장비 제조 현장(Fab.)에서의 성능 테스트, 현장 설치 후 시운전·성능검사 시 1주 이상의 국내 교육, 사용자 요청에 따른 추가 교육·기술지원·기술 세미나, 장비이동(트럭·도비·크레인) 및 설치 비용 부담.

3. 장비 계약 후 장비 납품 전, (재)부산테크노파크 전력반도체상센터 직원 2명 이상을 대상으로 장비 제조 현장(Fab.)에서 장비 성능 테스트를 진행함.

4. 장비 제조사는 장비 현장 설치 후 시운전 및 장비 성능검사 할 때 1주 이상의 국내 교육을 실시해야 한다. 또한 사용자의 요청에 따라 추가 교육, 기술지원 및 기술 세미나를 수행해야 함.

5. 장비의 납품 시 장비이동(트럭, 도비, 크레인 비용 등) 및 장비 설치(2차 Hook-Up 비용 제외)에 관한 모든 비용은 공급회사에서 부담한다.

디자인 몫

해당 없음

디자인·편집·원고 작업이 있는 사업이 아니다.

묶인 품목 수

1종

구매규격서상 품목은 두께 측정기 1종(Set 1)이며, 산출내역서는 장비 구성 항목 6개(Precision Granite Base, Dual-Sided Optical Inspection, Vacuum-Integrated Motion Stage, Advanced Computing, Calibration and Operator Training, WLI Roughness Interferometer module)로 나뉘어 있으나 모두 하나의 장비 구성이다. 제조사·상표·모델을 하나로 지정한 문구는 없다.

• 제조사 수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

| 1 | 41111623
(두께 측정기) | 두께 측정기 | Set | 1 |

주제 · 납품 일정·현장 11개

일의 분량

1set

구매수량 1 set(두께 측정기 1대). 산출내역서는 6개 품목 각 1식. 과업예산 350,000,000원(부가세 포함), 추정가격 318,181,818원(부가세 제외).

• 열린 분량 · 정해짐 수량이 1 set로 정해져 있음

  ❍ 구매수량 : 1 (단위:set )

❍ 구매수량 : 1 (단위:set )

| 1 | 41111623
(두께 측정기) | 두께 측정기 | Set | 1 |

수행 기간

150일 이내

납품기한 계약일(계약체결)로부터 150일 이내. 하자보증은 검수검사 완료일로부터 2년.

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 없음

❍ 납품기한 : 계약일로부터 150일 이내

2. 납품기한은 계약체결 후 150일 이내로 함

현장·납품지

1곳

납품장소는 수요기관 지정장소(재단법인부산테크노파크). 인도조건 현장설치도.

• 열린 분량 · 정해짐 수요기관 지정장소로 정해져 있음

  ○ | 납품장소: | | | | | | | | | 수요기관 지정장소 | | | | | | | | | | | | | | | | |

• 범위 · 없음(국내 보통 현장)

○ | 납품장소: | | | | | | | | | 수요기관 지정장소 | | | | | | | | | | | | | | | | |

현장 여건

장비 납품 시 장비이동(트럭, 도비, 크레인 비용 등) 및 장비 설치(2차 Hook-Up 비용 제외)에 관한 모든 비용은 공급회사가 부담한다. 제안자는 지정 설치장소까지의 운반·설치 및 교육비, 산업안전보건법에 따른 산업안전보건관리비 등 안전관련 법정 경비, 제반 소요비용을 입찰가격에 포함하여야 한다.

• 부대공사·현장 준비 · 우리 부담(대가 안) 대가에 잡혔나: 잡힘 — 장비이동·설치 비용은 공급회사 부담, 운반·설치·교육비 등은 입찰가격에 포함

  5. 장비의 납품 시 장비이동(트럭, 도비, 크레인 비용 등) 및 장비 설치(2차 Hook-Up 비용 제외)에 관한 모든 비용은 공급회사에서 부담한다.

  ❍ 제안자는 지정 설치장소까지의 발생되는 운반･설치 및 교육비, 『산업안전보건법』에 따른 산업안전보건관리비 등 안전관련 법정 경비, 제반 소요비용 등이 있을 경우 입찰가격에 포함하여야 합니다.

• 위험작업 · 중량물 장비 중량 350 kg 이상, 크레인 비용 언급

  - Weight : 350 kg 이상

  5. 장비의 납품 시 장비이동(트럭, 도비, 크레인 비용 등) 및 장비 설치(2차 Hook-Up 비용 제외)에 관한 모든 비용은 공급회사에서 부담한다.

5. 장비의 납품 시 장비이동(트럭, 도비, 크레인 비용 등) 및 장비 설치(2차 Hook-Up 비용 제외)에 관한 모든 비용은 공급회사에서 부담한다.

❍ 제안자는 지정 설치장소까지의 발생되는 운반･설치 및 교육비, 『산업안전보건법』에 따른 산업안전보건관리비 등 안전관련 법정 경비, 제반 소요비용 등이 있을 경우 입찰가격에 포함하여야 합니다.

작업 시기

해당 없음

다른 일정에 묶임

아니다

나눠 납품

한 번에 전량

납품기한 계약일로부터 150일 이내 하나만 적혀 있고 나눠 내라는 말이 없음

• 분할납품 · 막음

  ○ | 분할납품: | | | | | | | | | 불가 | | | | | | | | | | | | | | | | |

❍ 납품기한 : 계약일로부터 150일 이내

보관 조건

없음

• 대상 · -

주문 뒤 납품 시한

모름 · 문서로 확인 안 됨

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

포장·표시

해당 없음

보안 조치

의무 · 계약 뒤 지킬 일

제안요청서에 제안자는 과업수행기간은 물론 그 이후라도 정보유출 등에 관한 보안사항을 준수하여야 하며 보안사고에 대한 민·형사상 모든 책임을 진다고 적혀 있음. 보안각서(별지3)는 제출서류 목록에 포함되어 있음.

• 크기 · -
• 대상 · 자료 반출 금지·끝난 뒤 삭제·반납 보안각서: 제공받은 자료를 제안서 작성에만 참고자료로 사용하고 외부 유출·상업적 목적 사용·임의 복사·제3자 배포하지 않음

  1. 본 건과 관련하여 제공받은 자료(개인정보 등)를 활용함에 있어 본 사업의 제안서 작성에만 참고자료로 사용할 것이며, 외부로 유출하거나 상업적 목적으로 사용 또는 해당 자료를 임의로 복사하여 제3자에게 배포하지 않을 것입니다.

❍ 제안자는 동 사업과 관련하여 취급 또는 습득한 정보에 대하여 과업수행기간은 물론 그 이후라도 정보유출 등에 관한 보안사항을 준수하여야 하며, 보안사고에 대한 민․형사상의 모든 책임져야 합니다.

주제 · 견본·검사·검수 7개

검수

발주처 검수만

검사/검수기관이 수요기관/수요기관으로 되어 있고, 규격서 Ⅳ.1에서 Warranty 기간의 시작을 Set-up 완료, 검수·승인 후로 정함. 외부 기관 심의·승인·검사·감리·성과심사는 없음.

○ | 검사/검수기관: | | | | | | | | | | | 수요기관 / 수요기관

1. Warranty 기간의 시작은 Set-up 완료, 검수·승인 후 최소 2년 이상으로 함.

샘플·시안 선제출

없음

입찰·제안·규격평가 단계에서 시안·샘플·견본·조감도·시험 번역·예약확인서를 우리 돈으로 미리 만들어 내거나 평가 자리에서 실물·프로그램·서비스를 직접 시연·성능시험 받아야 한다는 요구가 없음. 발표평가는 제출한 제안서에 기반한 발표 자료로 평가할 뿐임.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표에 시연·성능시험 항목이 없어 점수 차 없음
• 대상 · - 해당하는 대상 없음

시험·검사

시험·검사 없음

이 공고·규격서·산출내역서가 정한 품질 시험·검사·분석은 없음. 규격서 Ⅳ.3의 장비 제조 현장 성능 테스트는 납품 전 제조 현장에서 수요기관 직원이 진행하는 것으로 시험 비용 부담 주체·단위·장소가 정해져 있지 않음.

• 시험 단위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험·검사가 없어 단위 없음
• 시험 장소 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험·검사가 없어 장소 없음

시안 승인

모름 · 문서로 확인 안 됨

본 작업·제작 전 시안·샘플·제작도·중간검수 승인 횟수를 정한 문장이 없음. 규격서 Ⅳ.3의 장비 제조 현장 성능 테스트는 납품 전 제조 현장에서 진행하는 것으로 승인 횟수·수정 횟수·승인 기간이 정해져 있지 않음.

• 수정 횟수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 수정 횟수를 정한 문장 없음
• 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 승인 기간이 납기에 드는지 정한 문장 없음

공장 실사·입회

제작 중 검사·입회

규격서 Ⅳ.3에서 장비 계약 후 장비 납품 전, (재)부산테크노파크 전력반도체상센터 직원 2명 이상을 대상으로 장비 제조 현장(Fab.)에서 장비 성능 테스트를 진행한다고 정함. 계약 전 실사·납품 전 검사는 없음.

3. 장비 계약 후 장비 납품 전, (재)부산테크노파크 전력반도체상센터 직원 2명 이상을 대상으로 장비 제조 현장(Fab.)에서 장비 성능 테스트를 진행함.(Wafer 두께 측정: ±0.5㎛ 정확도 이하, SiC Wafer의 Sensing에 문제가 없어야 하며, Wafer Moving Test를 100회 이상 진행하여도 이상 없어야 함)

이 공고가 군수품 조달인가 — 국방부·각 군이…

아니다

수요기관은 재단법인부산테크노파크이고, 군수품 특수조건·국방규격·재고번호·국방 표지·군 검사·부대 출입 보안 같은 군 전용 절차가 없음.

군수품이면 납품 검사·검수는 누가 하나 — 수…

해당 없음

군수품 조달이 아님

• 품질보증형태 · 해당 없음 군수품 조달이 아님

주제 · 인력·A/S·하자 대응 8개

장비·시설 보유

없음

구매규격서 Ⅱ. 장비의 구성(스테이지·척·프로그램·하드웨어)은 납품할 물건의 구성이고, 정량평가의 기술인력 보유·신용등급·실적은 회사 보유 장비·시설이 아니다. 일에 쓸 장비·시설을 갖추라는 요구는 문서에 없다.

• 갖출 때 · 해당 없음 갖출 것을 요구하지 않으므로 시점도 없다.
• 크기 · - 장비·시설 보유를 평가하는 항목이 없다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 임차 인정 여부를 정한 문장이 없다.

인력 자격

감점 · 점수에 반영

정량평가 운영인력 구성현황에서 제안사 사업수행 전문 인력 보유 인원을 4대보험 가입자 명부 제출 시에만 인정해 6/5/4점으로 평가한다. 자격·등급·학위·경력 요구는 없고, 발표는 사업책임자(PM)가 직접 하여야 한다.

• 크기 · 4~6점 5명 초과 6점, 2~5명 5점, 2명 미만 4점.

  | 구분 | 5명 초과 | 2 ~ 5명 | 2명 미만 |
  | --- | --- | --- | --- |
  | 점수 | 6 | 5 | 4 |

• 대상 · 책임자(PM·책임기술자·현장대리인) · 투입 인력 전반 기술인력 투입 현황 서식으로 사업수행 전문 인력 보유 인원을 평가하고, 발표는 PM이 직접 한다.

  (별지8) 기술인력 투입 현황
  - 해당업체에 근무하고 있는 자로, 이를 증명하기 위해
  4대 사회보험 사업장 가입자 명부 첨부

- 제안사 사업수행 전문 인력 보유 인원
※ 4대보험 가입자 명부 제출 시에만 인정

- 발표는 본 사업에 투입되는 사업책임자(PM)가 직접발표(신분증 지참필수) 하여야 함

출동 시한

없음

장애·긴급 호출 시 현장 도착·착수 시한을 정한 문장이 없다.

• 도착 시한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 도착 시한을 정한 문장이 없다.

처리 시한

해당 없음

납품 장비의 요청·장애를 받아 처리하는 시한을 정한 문장이 없다.

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 처리 시한을 정한 문장이 없다.

교육·기술이전

1회 이상

장비 제조사는 장비 현장 설치 후 시운전 및 장비 성능검사 할 때 1주 이상의 국내 교육을 실시해야 하며, 사용자의 요청에 따라 추가 교육·기술지원·기술 세미나를 수행해야 한다. 납품 전 제조 현장(Fab.)에서 전력반도체센터 직원 2명 이상 대상 장비 성능 테스트도 있다.

• 무상 · 우리 부담(대가 안) 제안자는 지정 설치장소까지의 발생되는 운반·설치 및 교육비 등 제반 소요비용을 입찰가격에 포함하여야 한다.

  ❍ 제안자는 지정 설치장소까지의 발생되는 운반･설치 및 교육비, 『산업안전보건법』에 따른 산업안전보건관리비 등 안전관련 법정 경비, 제반 소요비용 등이 있을 경우 입찰가격에 포함하여야 합니다.

4. 장비 제조사는 장비 현장 설치 후 시운전 및 장비 성능검사 할 때 1주 이상의 국내 교육을 실시해야 한다. 또한 사용자의 요청에 따라 추가 교육, 기술지원 및 기술 세미나를 수행해야 함.

하자보수

2년 이상

제안요청서는 하자보증을 검수검사 완료일로부터 2년으로 하고, 구매규격서는 Warranty 기간의 시작을 Set-up 완료, 검수·승인 후 최소 2년 이상으로 한다. 공고서의 하자담보책임기간도 2년이다.

• 기점 · 설치·검수 완료일 검수검사 완료일부터 2년, Set-up 완료·검수·승인 후 최소 2년 이상.

  ❍ 하자보증 : 검수검사 완료일로부터 2년

• 보증 기간 정기점검 · 없음 보증 기간 중 정기점검 횟수·주기를 정한 문장이 없다.
• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 보증 기간 소모성·정기정비 부품의 무상 여부를 정한 문장이 없다.

❍ 하자보증 : 검수검사 완료일로부터 2년

1. Warranty 기간의 시작은 Set-up 완료, 검수·승인 후 최소 2년 이상으로 함.

단종 뒤 부품 공급

해당 없음

보증이 끝나거나 단종된 뒤 부품·소모품·유지보수를 대야 하는 기간을 정한 문장이 없다.

A/S 조직·인력

없음

품질보증계획 평가에서 제조사 또는 공급사의 기술지원(A/S), 사후관리 계획과 2년간 유지보수 비용·유지보수 조직을 평가하나, A/S 인력 수·부서·서비스망·예비품 보유를 요구하는 문장은 없다.

• 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 A/S 인력 수를 정한 문장이 없다.
• 크기 · - A/S 조직을 별도 배점으로 평가하는 항목이 없다.
• 대상 · 기타 기술지원(A/S)·사후관리 계획과 유지보수 조직을 품질보증계획 평가에서 본다.

  - 제조사 또는 공급사의 기술지원(A/S), 사후관리 계획
  - 2년간 유지보수 비용, 유지보수 조직

- 제조사 또는 공급사의 기술지원(A/S), 사후관리 계획
- 2년간 유지보수 비용, 유지보수 조직

주제 · 가격·대금·계약 조건 11개

총액·단가 방식

총액

총액계약, 사업금액 350,000,000원(부가세 포함), 수량 1 set. 산출내역서 단가·금액 칸은 비어 있음.

• 정산 · 확정 금액 총액계약으로 낙찰금액이 계약금액. 실적·실비 정산 문구 없음.

  ❍ 계약유형 : 총액계약

• 단가 조정 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 계약 기간 중 단가 고정·시세 연동·협의 조정을 정한 문장 없음.

❍ 계약유형 : 총액계약

○ 사업금액: 350,000,000원(부가가치세 포함)

물량 변동

확정

구매수량 1 set, 규격서에 사양·수량이 확정. 납품기한 계약일로부터 150일.

❍ 구매수량 : 1 (단위:set )

❍ 납품기한 : 계약일로부터 150일 이내

발주처 단가 기준

적혀 있지 않음

산출내역서에 품명·수량만 있고 단가·금액이 비어 있음. 품셈·요율·상한가 기준 없음.

계약 상대

공고 낸 기관 직접

조달청 부산지방조달청이 공고·계약, 수요기관은 재단법인부산테크노파크(검사/검수·평가 담당).

○ 수요기관: 재단법인부산테크노파크

○ 검사/검수기관: 수요기관 / 수요기관

그대로 넘길 돈

아니다

계약금액 안에서 다른 곳에 넘기거나 정해진 곳에 써야 하는 돈을 정한 문장 없음. 산업안전보건관리비 등은 입찰가격에 포함하라는 일반 문구.

• 넘길 돈 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 항목 없음.
• 투찰 때 반영 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 항목 없음.

견적 근거

물량·목록만 공개

산출내역서에 품명·수량·단위만 있고 단가·금액 칸이 비어 있음. 구매규격서로 사양 공개.

• 이윤 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 산출내역서에 단가·금액이 없어 이윤 칸 없음.

| 구분 | 품명 | 수량 | 단위 | 단가 | 금액 |

대금 받는 때

끝난 뒤 한 번에

납품기한 계약 후 150일, 검수·승인 후 하자보증 개시. 지급 시기·선금을 정한 문장 없음.

• 선금 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 선금을 정한 문장 없음.
• 지급 기한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 청구 후 지급 기한을 정한 문장 없음.

1. Warranty 기간의 시작은 Set-up 완료, 검수·승인 후 최소 2년 이상으로 함.

공채·채권

모름 · 문서로 확인 안 됨

공채·채권 매입을 정한 문장 없음.

보험 가입

없음

이 일 때문에 들어야 하는 보험·공제를 정한 문장 없음.

• 보상 한도 · 해당 없음 보험 요구 없음.
• 보험료 · 해당 없음 보험 요구 없음.
• 대상 · 해당 없음 보험 요구 없음.

계약 변동 가능

아니다

예산 확정 전·보조사업자 계약 등으로 계약이 안 되거나 금액·물량·기간이 바뀔 수 있다고 적은 문장 없음.

• 바뀔 수 있는 것 · 해당 없음 해당 문장 없음.

부가세 과세

모름 · 문서로 확인 안 됨

이 일·품목의 과세·면세를 정한 문장 없음. 사업금액·입찰금액은 부가세 포함 가격.

• 투찰가에 부가세 · 넣는다 입찰금액은 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰.

  ◇ 입찰자가 면세사업자인 경우 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰해야 하며, 입찰결과 낙찰자가 면세사업자인 경우 계약금액은 낙찰금액에서 부가가치세 상당액을 차감한 금액으로 합니다.

◇ 사업예산, 기초금액 및 입찰금액은 부가가치세를 포함한 가격입니다.

뽑는 방식 · 입찰 방식 7개

회사 속성 우대

가점

정량평가 경영상태(신용평가등급)에서 추정가격이 고시금액 미만인 입찰에서 입찰공고일 기준 최근 7년 이내 사업을 개시한 창업기업에 신용평가등급 점수상의 배점 한도(6점)를 부여. 그 외 여성·장애인·사회적기업·고용실적·인증·산업재해율 우대는 없음.

• 우대 대상 · 창업기업 입찰공고일 기준 최근 7년 이내 사업 개시(법인은 법인설립등기일, 개인은 사업자등록일 기준)

  이 경우 창업기업에 대한 기간계산은 법인인 경우에는 법인등기부상 법인설립등기일을, 개인 사업자인 경우에는 사업자등록증명서상 사업자등록일을 기준으로 한다.

• 가점 크기 · 6점 신용평가등급 배점 한도 6점 부여(최고등급과 동일)

  추정가격이 고시금액 미만인 입찰에서 입찰공고일을 기준으로 최근 7년 이내에 사업을 개시한 창업기업에 대해서는 신용평가등급 점수상의 배점 한도를 부여한다.

추정가격이 고시금액 미만인 입찰에서 입찰공고일을 기준으로 최근 7년 이내에 사업을 개시한 창업기업에 대해서는 신용평가등급 점수상의 배점 한도를 부여한다.

신용등급·경영상태

감점 · 점수에 반영

정량평가 경영상태 항목에서 신용평가회사의 신용평가등급으로 6점 배점(등급별 6~4점). 등급 확인서 미확인 시 최저등급(4점)으로 평가.

• 등급이 없을 때 · 최저 등급 점수 신용평가등급 확인서가 확인되지 않은 경우 최저등급(4점)으로 평가

  신용평가등급 확인서가 확인되지 않은 경우에는 최저등급으로 평가하며, 유효기간 시작일 또는 만료일이 입찰공고일인 경우에도 유효한 것으로 평가한다.

• 크기 · 4~6점 신용평가등급별 배점 한도 6점(AAA~BBB0) ~ 4점(미제출)

  | 객관적
  평가 | AAA, AA+, AA0, AA-
  A+, A0, A-, BBB+, BBB0 | A1, A2+, A20,
  A2-, A3+, A30 | AAA, AA+, AA0, AA-,
  A+, A0, A-, BBB+, BBB0 | 6 |

  | 객관적
  평가 | 미제출 | 미제출 | 미제출 | 4 |

• 대상 · 신용평가등급 회사채·기업어음·기업신용평가등급을 국가종합전자조달시스템에 조회된 등급으로 평가, 가장 최근 등급 적용(다수·상이 시 가장 낮은 등급)

  「신용정보의 이용 및 보호에 관한 법률」제2조 제8의3에 해당하는 신용조회사 또는「자본시장과 금융투자업에 관한 법률」제335조의3에 따라 업무를 영위하는 신용평가사가 입찰공고일 이전에 평가하고 유효기간 내에 있는 회사채, 기업어음 및 기업신용평가등급을 국가종합전자조달시스템에 조회된 신용평가등급으로 평가하되, 가장 최근의 신용평가등급으로 평가한다.

- 신용평가회사의 신용 평가 등급 ²⁾

신용평가등급 확인서가 확인되지 않은 경우에는 최저등급으로 평가하며, 유효기간 시작일 또는 만료일이 입찰공고일인 경우에도 유효한 것으로 평가한다.

보유 인력

감점 · 점수에 반영

정량평가 운영인력 구성현황에서 제안사 사업수행 전문 인력 보유 인원으로 6점 배점(5명 초과 6점, 2~5명 5점, 2명 미만 4점). 4대보험 가입자 명부 제출 시에만 인정.

• 기준 인원 · 5명 초과 5명 초과 시 만점 6점, 2~5명 5점, 2명 미만 4점

  | 구분 | 5명 초과 | 2 ~ 5명 | 2명 미만 |

• 크기 · 4~6점 기술인력 보유 인원에 따른 배점 6점(5명 초과) ~ 4점(2명 미만)

  | 점수 | 6 | 5 | 4 |

- 제안사 사업수행 전문 인력 보유 인원
※ 4대보험 가입자 명부 제출 시에만 인정

| 구분 | 5명 초과 | 2 ~ 5명 | 2명 미만 |

| 점수 | 6 | 5 | 4 |

소속 직원

벽 · 못 맞추면 탈락

사업수행 인력은 자사 인력으로 구성하여야 하며, 채용 예정 인력 투입 시 별도 명시하고 계약체결 전까지 채용 후 관련 자료 제출. 발표는 본 사업에 투입되는 사업책임자(PM)가 직접발표(신분증 지참)하여야 함.

• 재직 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 재직 기간 조건은 문서에 없음
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 인력 소속 관련 배점은 없음
• 대상 · 책임자·발표자(PM·현장대리인) · 투입 인력 전원 사업수행 인력 전원은 자사 인력, 발표는 PM이 직접

  사업수행 인력은 자사 인력으로 구성하여야 하며, 채용 예정 인력을 투입할 경우에는 별도로 명시하고 계약체결 전까지 채용 후 발주기관에 관련 자료를 제출하여야 합니다.

• 조건 · 없음 프리랜서·외부 전문가 활용에 대한 별도 허용 규정 없음

사업수행 인력은 자사 인력으로 구성하여야 하며, 채용 예정 인력을 투입할 경우에는 별도로 명시하고 계약체결 전까지 채용 후 발주기관에 관련 자료를 제출하여야 합니다.

발표는 본 사업에 투입되는 사업책임자(PM)가 직접발표(신분증 지참필수) 하여야 함

큰 배점 항목

규격평가 장비의 성능/규격 30점(우수 30·적합 29·미흡 0), 사양 충족도 15점(우수 15·적합 14·미흡 0), 장비의 안전성 10점(우수 10·적합 9·미흡 1)

규격평가 80점 중 배점이 큰 항목. 정량평가는 사업수행 실적 5점, 기술인력 보유 6점, 경영상태 6점, 행정처분 3점.

| 규격 평가
(80점) | 장비의 성능/
규격 | | ○ 제안 장비 사양 등 규격 적합성 평가
- 규격 또는 기술과의 적합성과 구성품의 기능 및 내구성
- 진단 시스템-소프트웨어 기능의 우수성, 호환성
- 품질 우수성, 편의성, 부품 신뢰성
- 성능평가 및 검증방안 제시 여부
- 추가기능, 성능의 확장성, 편의성, 효율 등 | 30 | 29 | 0 |

| 규격 평가
(80점) | 사양 충족도 | | ○ 제안요청사항 요구 충족도
- 장비의 원리 이해도, 제안기술의 완성도 및 특장점 등
- 제안요청 내용의 이해 및 작성의 충실성
- 성능 시험의 자체 개발 알고리즘 적용
- 가동 원리, 설계, 전체 시스템 구성 등
- 장비 도면, 설계 및 설치 계획 등 | 15 | 14 | 0 |

| 규격 평가
(80점) | 장비의
안전성 | | ○ 장비의 각종 안전 및 보호 기능 평가
- 장비간의 인터페이스, S/W의 안정성 검증
- 장비 이상 발생 시 비상 대비 여부 | 10 | 9 | 1 |

무상 추가 제공

감점 · 점수에 반영

규격평가 품질보증계획 항목에서 장비의 무상점검 계획 및 하자보증, 기술지원(A/S)·사후관리 계획, 2년간 유지보수 비용·조직, 장애 대응계획을 10점(우수 10·적합 9·미흡 1)으로 평가.

• 요구 기간 · 2년 이상 하자보증 2년, 2년간 유지보수 비용·조직 평가

  - 2년간 유지보수 비용, 유지보수 조직

• 크기 · 1~10점 품질보증계획 우수 10점·적합 9점·미흡 1점

  | 규격 평가
  (80점) | 품질보증
  계획 | | ○ 장비의 무상점검 계획 및 하자보증
  - 기술지원 계획 등 (소모품, 교체시기 목록, 교체기준 등)
  - 제조사 또는 공급사의 기술지원(A/S), 사후관리 계획
  - 2년간 유지보수 비용, 유지보수 조직
  - 장비하자 및 장애 시 처리 방안 등 대응계획 | 10 | 9 | 1 |

• 대상 · 유지보수·사후지원 무상점검·하자보증·기술지원(A/S)·사후관리 계획

  - 제조사 또는 공급사의 기술지원(A/S), 사후관리 계획

| 규격 평가
(80점) | 품질보증
계획 | | ○ 장비의 무상점검 계획 및 하자보증
- 기술지원 계획 등 (소모품, 교체시기 목록, 교체기준 등)
- 제조사 또는 공급사의 기술지원(A/S), 사후관리 계획
- 2년간 유지보수 비용, 유지보수 조직
- 장비하자 및 장애 시 처리 방안 등 대응계획 | 10 | 9 | 1 |

평가 자리 발표

발표(대면·화상)

평가방법은 발표평가(온라인 또는 서면으로 진행할 수도 있음). 발표시간 업체당 30분 내외(발표 20분, 질의응답 10분), 발표순서는 입찰순서에 따라 진행, 발표는 PM이 직접발표(신분증 지참).

• 빠지면 · 최하점·서면으로만 평가 제안평가 불참자는 제출한 제안서로만 평가

  - 제안평가 불참자는 제출한 제안서로만 평가합니다.

평가방법 : 발표평가(온라인 또는 서면으로 진행할 수도 있음)

- 발표시간 : 업체당 30분 내외(발표 20분, 질의응답 10분)

- 발표는 본 사업에 투입되는 사업책임자(PM)가 직접발표(신분증 지참필수) 하여야 함

카테고리 · 연구·실험·계측장비 4개

지원사업·R&D 재원

정부·지자체 지원사업 돈

『전동화 전력반도체 일괄공정 테스트베드 구축』사업

과업목적 : 『전동화 전력반도체 일괄공정 테스트베드 구축』사업의 일환으로 “두께 측정기’ 구축 추진을 위해 입찰자가 제출한 규격입찰서를 평가기준에 정하는 바에 따라 공정하고 객관성 있게 평가하고자 함.

품질 인증

없음

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 대상 · 기타

경비 부담

우리 부담(대가 안)

운반·설치·교육비, 산업안전보건관리비 등 제반 소요비용을 입찰가격에 포함

• 관급 금액 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 관급 설치 · 해당 없음

제안자는 지정 설치장소까지의 발생되는 운반･설치 및 교육비, 『산업안전보건법』에 따른 산업안전보건관리비 등 안전관련 법정 경비, 제반 소요비용 등이 있을 경우 입찰가격에 포함하여야 합니다.

장비의 납품 시 장비이동(트럭, 도비, 크레인 비용 등) 및 장비 설치(2차 Hook-Up 비용 제외)에 관한 모든 비용은 공급회사에서 부담한다.

설치·사용 환경

옥내

• 보호 등급·사용 온도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

문서 발췌

과업·요구

2026. 8.

1 제안 일반사항

가. 과업 목적 ❍ 과업목적 : 『전동화 전력반도체 일괄공정 테스트베드 구축』사업의 일환으로 “두께 측정기’ 구축 추진을 위해 입찰자가 제출한 규격입찰서를 평가기준에 정하는 바에 따라 공정하고 객관성 있게 평가하고자 함. 이를 위해 평가기준, 방법 및 절차 등을 정하여 적합한 업체를 선정함으로써 시험기자재류의 우수한 성능 및 품질을 확보함. 나. 과업 범위 ❍ 물품 규격서 - 별도 물품 규격서 파일 첨부를 참조

2 제안요청 내용

가. 개요 ❍ 물 품 명 : 두께 측정기 ❍ 구매물품 : 두께 측정기 ❍ 구매수량 : 1 (단위:set ) ❍ 납품기한 : 계약일로부터 150일 이내 ❍ 하자보증 : 검수검사 완료일로부터 2년 ❍ 과업예산 : 금삼억오천만원 (￦350,000,000, 부가세포함) ❍ 계약유형 : 총액계약 ❍ 낙찰자결정방식 : 규격/가격 동시입찰

3 제안서 작성요령

가. 제안서의 효력 ❍ 제안서에 제시된 내용과 발주기관의 요구에 의하여 수정, 보완, 변경된 제안내용은 계약서에 명시하지 아니하더라도 계약서와 동일한 효력을 갖습니다. 다만, 계약서에 명시된 경우는 계약서가 우선합니다. ❍ 발주기관은 필요시 제안사에 대하여 자료를 요구할 수 있으며, 이에 따라 제출된 자료는 제안서와 동일한 효력을 갖습니다. 나. 제안서 작성지침(권고사항) 및 유의사항 ❍ 제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 합니다. ❍ 제안서는 제안요청서에서 요구하는 모든 사항이 기술되어야 하며, 향상된 내용으로 제안할 수 있습니다. ❍ A4지 규격의 전자문서(pdf)로 작성을 권고합니다. - 제안서 본문 내용은 양면인쇄기준 100장 이내로 작성 권고 - 전자문서형태(pdf)로 제출하며 200MB 이내로 용량 준수 - 제안설명시 홍보용 동영상활용 금지 ❍ 제안서는 A4 종 방향 작성을 원칙으로 하되, 부득이한 경우 A4 횡 또는 기타 용지를 일부 사용할 수 있습니다. ❍ 제출된 제안서의 내용은 수정, 삭제 또는 대체할 수 없습니다. ❍ 제안서는 한글작성이 원칙이며, 사용된 영문약어에 대해서는 약어표를 제공해야 합니다. ❍ 제안서의 내용을 객관적으로 입증할 수 있는 관련 자료는 제안서의 별첨으로 제출하여야 합니다. ❍ 제안서의 내용은 명확한 용어를 사용하여 표현하여야 합니다. 예를 들어, “사용가능하다”, “할 수 있다”, “고려하고 있다” 등과 같이 모호한 표현은 평가 시 불가능한 것으로 간주하며, 계량화가 가능한 것은 계량화하여야 합니다. ❍ 본 제안에 의한 산출물은 별도의 명시가 없는 한 부산테크노파크가 소유권을 갖습니다. ❍ 사업수행 인력은 자사 인력으로 구성하여야 하며, 채용 예정 인력을 투입할 경우에는 별도로 명시하고 계약체결 전까지 채용 후 발주기관에 관련 자료를 제출하여야 합니다.

참가자격

② 『지방자치단체를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 및 같은 법 시행령』에 의한 부정당업자의 입찰참가자격 제한을 받지 않아야 합니다. ③ 입찰참가자는 입찰공고일 전날[신규사업자(법인인 경우 법인등기일, 개인사업자인 경우 사업자등록일 기준으로 함)인 경우 입찰공고일 이후를 포함함]부터 입찰일(낙찰자는 계약체결일)까지 법인등기부상 본점(개인사업자인 경우에는 사업자등록증 또는 관련 법령에 따른 허가·인가·면허·등록·신고 등에 관련된 서류에 기재된 사업장의 소재지를 말한다)의 소재지가 대한민국에 위치하여야 합니다. ④ 『국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정』에 의하여 나라장터(G2B)에 입찰서 제출 마감일 전일까지 다음의 물품분류번호를 입찰참가자격으로 공급 또는 제조자로 등록한 자 이어야 합니다. - 41111623 (두께 측정기) 나. 제안서 평가 방법 ❍ 정량평가와 규격평가를 실시하여 종합평가점수로 평가 - 평가비율 : 정량평가(20%), 규격평가(80%) - 종합평가점수 = 정량평가(20점) + 규격평가(80점) ❍ 기술평가 방법 - 기술평가는 제안서의 공정한 평가를 위해 전문가로 구성된 기술평가 위원회를 구성합니다. - 기술평가는 각 평가위원의 평가점수 중 최고점수와 최저점수를 제외한 나머지 점수를 산술평균한 점수로 선정합니다. - 기술평가점수 결과는 소수점 다섯째자리에서 반올림합니다. - 각 항목별 평가배점과 방법은 『다. 기술성평가기준』에 의합니다. ❍ 평가위원회 구성 - 구 성 : 7명(위원장 1명, 위원 6명) - 위 원 : 전문성이 있는 국가 및 타 지자체 공무원, 해당분야 전문기관 단체 임직원 및 전문가·대학교수 등 - 구성방법 · 3배수 이상 평가위원 예비 명부 작성 및 고유번호 부여 · 입찰 참가자 제안서 제출 시 심사위원 수만큼의 번호 추첨 · 빈도 순위로 평가위원 결정(다빈도 수가 동일한 경우 고령자 순) ❍ 낙찰자 선정기준 - 제안서 평가점수가 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격적합업체로 선정합니다. - 규격 적합 업체 중 예정 가격 이하 최저가 입찰자를 낙찰자로 선정합니다. - 동일 가격으로 입찰한 최저가 입찰자가 2인 이상인 경우에는 적격 통과점수 이상을 받은 자 중에서 최고점수를 받은 자를 낙찰자로 결정하고, 종합평점도 동일한 경우에는 전자 조달시스템을 통한 자동 추첨으로 낙찰자를 결정합니다. - 기타 규정되지 않은 사항은 발주기관 규정 및 지방계약법에 의합니다. 다. 기술성 평가기준 ❍ 정량적평가 : 20점

배점·평가

1) 사업수행 실적 1. 입찰일 기준으로 최근 3년간 1억5천만원 이상(단일건, 부가세 포함)의 두께 측정기 또는 그 이상의 사양을 설계 및 제작한 계약 및 납품실적 금액(하도급계약 제외)만 인정함. 2. 수행 실적은 입찰공고·규격서 등에 명시한 성능·품질 등의 조건과 부합 혹은 그 이상의 사양을 납품한 경우에만 평가하며, ‘규격’란에는 그 납품 규격의 내용을 구체적으로 명시해야 함. 3. 국내외 납품실적은 해당물품의 납품실적증명서(원)을 포함한 계약서(혹은 외자 발주서), 세금계산서, 거래명세서, 검사검수, 대금지급 서류 사본 등 실적증명이 가능한 서류를 첨부하여야 한다. 실적 입증의 책임은 입찰참가자에게 있고 실적 확인이 어려운 경우에는 그 실적을 평가에서 제외함. 2) 신용평가회사의 신용 평가 등급

5. 공동수급체의 경우 구성원별 해당 점수에 지분율을 곱한 후 그 점수들을 합산하여 최종 평가하고, 평가 결과 소수점 이하의 숫자가 있는 경우 소수점 다섯째자리에서 반올림한다. (예) (A사 점수×A사 지분율)+(B사 점수×B사 지분율)… 6. 중소기업협동조합이 입찰에 참여하는 경우 중소기업협동조합의 신용평가등급으로 평가한다. ❍ 규격평가 : 80점

※ 입찰참가자격 판단서류(①~⑦) 및 정성적 평가자료(⑬~⑭)는 반드시 제출하여야 하며, 이중 미제출 목록이 있는 경우는 제안서 미접수로 간주합니다. ※ 정량적 평가자료(⑧~⑫) 미 제출시 제안서 평가 기준에 의거하여 “최하점수”를 부여할 수 있습니다. 마. 제안서 평가 ❍ 평가일정 및 장소 : 입찰 마감일 후 10일 이내, 별도 일정 통지 ※ 상기 일정에 진행 불가 시 별도 연락 예정 ❍ 평가위원 구성 : 7인 이상 관련 전문가 등으로 평가위원 ❍ 평가방법 : 발표평가(온라인 또는 서면으로 진행할 수도 있음) - 발표시간 : 업체당 30분 내외(발표 20분, 질의응답 10분) - 발표순서 : 입찰순서에 따라 발표 진행 - 발표는 본 사업에 투입되는 사업책임자(PM)가 직접발표(신분증 지참필수) 하여야 함 - 제안평가 불참자는 제출한 제안서로만 평가합니다. - 제안서 평가 시 필요한 오프라인 자료는 추후 개별 통보 예정 - 제안서 평가는 평가 항목의 평가 요소별 배점을 구분하여 평가한다. - 발표평가는 제안 업체가 제출한 제안서에 기반한 발표 자료로 평가한다. 바 문의처 - 문 의 처 : 전력반도체센터 051-514-3906 - 입찰 및 개찰 : 경영지원실 051-974-9019 - 전자입찰 이용안내 : 조달청 전자조달(나라장터) 콜센터 (1588-0800) [별지1] 입 찰 참 가 신 청 서 * 아래사항 중 해당되는 경우에만 기재하시기 바랍니다.

과업·요구

Ⅰ. 용도 1. 반도체 웨이퍼의 두께(Thickness), 전체 두께 분포(TTV), 평탄도(Flatness), 휨(Warpage), 표면거칠기(Roughness) 및 굴곡(Bow) 형상을 나노미터급 해상도로 측정하는 비접촉식 고정밀 형상 계측 장비이다. 2. 고정밀 비접촉 센서를 적용하여 자재 손상 없이 안정적인 측정이 가능하며, 베어 웨이퍼, 패턴 웨이퍼, 링 프레임 테이프 부착 웨이퍼, 초박형 및 타이코(Taiko) 웨이퍼, 범프 웨이퍼 등 다양한 공정 단계의 웨이퍼 형상 측정에 사용 3. Windows 기반의 사용자 친화적인 측정 프로그램과 고해상도 스테이지를 적용하여 사용자가 정의한 e-mapping 레시피를 통한 자동 다점 측정 및 데이터 저장·관리 기능을 제공하며, MES 연동을 통한 반자동 및 전자동 공정 계측 환경 구축이 가능 Ⅱ. 장비의 구성 1. 스테이지 및 구동부 1SET 2. Chuck 1SET 3. 프로그램(데이터 관리) 1SET 4. 하드웨어(PC포함) 1SET Ⅲ. 장비 성능 (또는 동등 이상일 것) 1. 일반사양 (또는 동등 이상일 것) 1) 측정 대상 Wafer size : 4”, 6”, 8”, 12” 측정 가능할 것 2) Wafer type : Bare / Patterned / Ring framed wafer on tape 측정 가능할 것 3) 측정 방식 : Non-contact 방식의 고정밀 형상 측정

4) 측정 항목 : Thickness, TTV, Warpage, Bow, Roughness, Ring framed wafer on tape thickness 5) 측정 해상도(Resolution) : 10 nm 6) 측정 자동화 : 사용자 정의 레시피 기반 자동 측정 가능할 것 7) 데이터 처리 : 측정 데이터 저장, 호출 및 CSV Export 가능할 것 2. 측정 성능 사양 (또는 동등 이상일 것) 1) 측정 범위(Thickness range): 기본 : 10 ㎛ ~ 900 ㎛ 2) 측정 정확도(Accuracy) : ≤ ±0.5 ㎛ 3) 반복 정밀도(Repeatability) : ≤ ±0.25 ㎛ (1σ, 동일 포인트 10회 측정 기준) 4) 초박형 웨이퍼 측정 : 50 ㎛ 이하 웨이퍼 측정 가능할 것 5) 거친 표면 측정 : Rough surface 측정 가능할 것 - 분해능 (Resolution) ≤ 0.5 nm (VPI) - 반복 정밀도 (Repeatability) ≤ 0.1% @1σ (VLSI) 3. 센서 구성 (또는 동등 이상일 것) 1) 기본 제공 센서: Capacitance Probe Sensor (CPS), Air Tough Sensor (ATS), White Light Interferometry (WLI) 2) 측정 가능 항목 - Thickness, TTV, Warp/Bow - Surface Roughness (nm) - Micro CD - Ring framed wafer on tape thickness 4. 스테이지 및 구동부 (또는 동등 이상일 것)

1) XY & Z 스테이지 - XY & Z1/Z2 Linear motor stage - Linear scale & Encoder 적용 2) 스테이지 정확도 - XYZ stage accuracy : ±1.5 ㎛ 이하 또는 동등 이상 3) Mapping 포인트 - chuck (Ring-framed wafer측정 가능) * 12” wafer : 97 points / 8” wafer : 45 points 5. Chuck 및 Wafer 고정 방식 (또는 동등 이상일 것) 1) vacuum chuck - Ring framed wafer on tape 대응 - ESD coating 적용 6. 프로그램 및 데이터 관리 (또는 동등 이상일 것) 1) 운영 프로그램 - Windows 11 기반 계측 소프트웨어 - One-click 자동 측정 기능 2) Recipe 기능 - 무제한 레시피 생성 - Wafer image 기반 측정 포인트 설정 3) 데이터 관리 - Wafer ID, Lot No, User 정보 DB 관리 - 측정 결과 저장 및 CSV Export - 지정 폴더 기반 Lot 단위 데이터 관리 4) 데이터 관리 - TCP/IP 7. 하드웨어 및 설치 사양 (또는 동등 이상일 것)

1) 시스템 구조 - Stand-alone metrology system - Steel & Granite base frame 2) Anti-vibration - 장비에 패시브(Active) 아이솔레이트 시스템을 적용하여 외부 바닥 진동 및 저주파 진동을 효과적으로 감쇠할 것 3) PC 사양 - Industrial PC/Intel i7 2.2GHz 이상/Memory 32GB 이상/SSD 256GB 이상 4) 외형 - Size : 860(W) × 1230(D) × 1350(H) mm (변경 가능) - Weight : 350 kg 이상 5) 전원 - 220V, Single phase, 50/60Hz - 소비전력 : Max. 4.9 kVA 6) 진공 - Vacuum : -80 kPa Ⅳ. 기타조건 1. Warranty 기간의 시작은 Set-up 완료, 검수·승인 후 최소 2년 이상으로 함. 2. 납품기한은 계약체결 후 150일 이내로 함 3. 장비 계약 후 장비 납품 전, (재)부산테크노파크 전력반도체상센터 직원 2명 이상을 대상으로 장비 제조 현장(Fab.)에서 장비 성능 테스트를 진행함.(Wafer 두께 측정: ±0.5㎛ 정확도 이하, SiC Wafer의 Sensing에 문제가 없어야 하며, Wafer Moving Test를 100회 이상 진행하여도 이상 없어야 함)

4. 장비 제조사는 장비 현장 설치 후 시운전 및 장비 성능검사 할 때 1주 이상의 국내 교육을 실시해야 한다. 또한 사용자의 요청에 따라 추가 교육, 기술지원 및 기술 세미나를 수행해야 함. 5. 장비의 납품 시 장비이동(트럭, 도비, 크레인 비용 등) 및 장비 설치(2차 Hook-Up 비용 제외)에 관한 모든 비용은 공급회사에서 부담한다. 6. 본 사양서에 기재 되지 않은 내용에 대해서는 (재)부산테크노파크 전력반도체센터와 협의하여 진행함을 원칙으로 함. === 제안서 및 규격서/3-2. 산출내역서_두께 측정기.hwp ===