2.45 GHz Multimode MPCVD Vacuum System

요약 AI 요약

플라즈마기술연구소의 "All-다이아몬드 CMOS용 MPCVD 장비개발(PI2604-1)" 과제와 관련하여, All-Diamond CMOS 제작을 위한 고품질 단결정 및 박막 다이아몬드 합성 연구에 사용할 2.45 GHz Multimode MPCVD 진공시스템 1식을 설계·제작·설치하는 사업이다.

• STS304 진공챔버(외경 약 Ø335 mm, 내경 약 Ø227 mm, 길이 약 185 mm, ISO100/NW40/NW25 포트, 시료 장입·회수 구조, 상·하부 로봇 실린더 구동, IR 온도센서 5개(최대 500 ℃), 최종진공도 5×10⁻⁷ Torr 이하)
• Quartz bell jar(외경 약 Ø260 mm, 내경 약 Ø218 mm, 길이 약 210 mm) 및 STS304 holder(O-ring sealing, gas passage line 포함)
• Substrate module: Mo disk(외경 104 mm, 두께 16 mm), Z-motion welded bellows(내경 90 mm, 길이 190 mm, stroke 30 mm), servo motor/ball screw/LM guide 구동, STS304 수냉식 Mo disk adapter/holder(외경 약 Ø94 mm, 길이 약 194 mm), H₂ gas 공급 및 thermocouple sensor 연결 구조
• Frame & system controller: 80×80 Al profile 또는 Al 상판 구조, 19-inch rack, 산업용 PC/PLC/interface, recipe 운전, HMI(운전상태·설정값/측정값·alarm·interlock 원인·recipe step 표시), digital flow & temperature indicator(RS 계열 통신), STS304 air-cooling supply tank
• 안전 interlock: power abnormal, cooling-water abnormal, CDA/air abnormal, chamber position abnormal, over-temperature, emergency stop 및 가스·진공 구성 확정 시 저진공/고진공·H₂ 조건 추가, 수소 공급 시 fail-safe 제어논리
• 기존 보유 2.45 GHz microwave generator, waveguide, tuner, 진공펌프, 진공게이지, 밸브, MFC, 배기가스 처리설비와 연동 가능한 기계적·전기적·통신 인터페이스

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사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · MPCVD 진공시스템 설계·제작·설치·시운전 일체

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

2.45 GHz 멀티모드 MPCVD 진공시스템 1식을 설계·제작·조립·시험·운송·설치·시운전·교육까지 맡기는 제작 구매로, 반도체·박막(다이아몬드) 공정용 진공·플라즈마 장비 제작에 해당한다.

• 진공챔버(STS304)·quartz bell jar·기판 모듈·프레임 및 시스템 컨트롤러 제작
• PC/PLC 기반 recipe·HMI 통합제어 및 interlock 구성
• FAT/SAT 시험(진공도·누설·구동·제어) 및 성적서 제출
• 설계도면·P&ID·I/O list 등 제출문서 작성
• 현장 설치·시운전 및 운전·정비 교육
• 검수 후 1년 무상보증(하자보수)

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 기술심사 합격조건 : 심사위원들의 평가점수 평균이 80점 이상이어야 한다.

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음
문서: 업종·면허 조합 · 여럿 모두
문서: 설치 공사업 면허 · 없음

지역제한

제한 없음
문서: 지역 조건 · 없음

공동수급

공동수급불허
문서: 공동수급 · 막음

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름
문서: 실적 · 점수에 반영

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자입찰
문서: 입찰 전 절차 · 따로 없음(나라장터만)

걸리는 것 · 입찰 전 할 일

입찰 전 할 일

• 샘플·시안 선제출 · 감점

  기술시방서 제7장(기술심사 우대사항 및 가점 기준)과 규격서 기타사항에서 CST Microwave Studio 보유 및 3차원 전자기장 해석 결과 제공 시 기술평가 가점을 부여한다고 적었다. 입찰 단계에서 시안·샘플·실물 견본·시연을 내야 한다는 요구는 없다.

  CST Microwave Stutio 보유 및 이를 이용한 3차원 전자기장 해석 결과 제공에 대한 평가기준 가산점 적용

  제안업체가 정식 라이선스가 확보된 CST Microwave Studio를 이용하여 2.45 GHz 조건에서 진공챔버 내부의 3차원 전자기장 해석을 수행하고, 그 결과를 기술제안서 또는 상세설계 단계에서 제출하는 경우 기술평가 가점을 부여할 수 있다.

입찰 일정

가격

추정가격

109,000,000원

배정예산

119,900,000원

부가세

10,900,000원

예정가격 방식

단일예가

납품

품명

융복합진공증착기 (9923990305)

수량

1 Sys
문서: 일의 분량 · 2.45 GHz Multimode MPCVD Vacuum System 1식

납품

8주 이하 · 문서

인도조건

설치·시운전·가동까지 · 문서

제조물품

아니오
문서: 직접 생산 · 없음

세부품명 등록

아니오

공고 정보

공고종류

재공고 (재입찰공고)

게시일

10/02(금)

공고번호

R26BK01755912-000

참조번호

제KFE2026-100-1호

공고기관

한국핵융합에너지연구원

수요기관

한국핵융합에너지연구원

계약방법

일반경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

단일예가

추정가격

109,000,000원

배정예산

119,900,000원

사전규격번호

R26BD00274599

재공고

재공고

출처

나라장터

첨부파일

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• HWPX · 기술시방서(공고용).hwpx · 공고규격서
• HWPX · 입찰공고문 및 입찰관련서류 일체.hwpx · 공고규격서
• PDF · 입찰공고문 및 입찰관련서류 일체.pdf · 공고규격서

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더 확인할 것

기성품·주문제작

이럴 때 꼭 봅니다 — 주문제작 · 설계부터 우리가

주문제작(받은 규격·도면대로) · 설계부터 우리가(새로 개발)

모델이 제작품으로, 제작 전 GA drawing, chamber detail, P&ID, electrical schematic, I/O list, utility matrix, BOM을 제출해 승인을 받고, 상세 설계도면 및 유틸리티 요구조건을 발주자와 사전 협의한 후 제작에 착수한다. PC/PLC 기반 통합제어와 recipe 운전, HMI는 요구사항에 맞춰 구성해야 한다.

• 시스템 통합 · 그렇다 모든 구성품은 신품이어야 하며, 상호 호환되어 하나의 통합 진공시스템으로 정상 작동해야 한다.

  모든 구성품은 신품이어야 하며, 상호 호환되어 하나의 통합 진공시스템으로 정상 작동해야 한다.

모델 | 제작품

제작자는 상세 설계도면 및 유틸리티 요구조건을 발주자와 사전 협의한 후 제작에 착수한다.

설계승인 | 제작 전 GA drawing, chamber detail, P&ID, electrical schematic, I/O list, utility matrix, BOM을 제출하여 승인을 받는다.

실적

감점 · 점수에 반영

기술심사 평가표 4. 수행실적(5점)에서 최근 3년간 사업수행실적(금액 기준)을 합산 적용, 창업기업은 최근 7년간 적용. 등급별 배점 100%·90%·80%·70%. 공동수급체는 구성원별 실적에 지분율 곱해 합산. 참가 자격으로 거르는 실적 요구는 없음.

• 크기 · 3.5~5점 배점 5점, 등급 40% 미만 시 배점의 70%(3.5점)
• 조건 · 공동계약 실적 인정 · 창업기업 실적 특례 공동수급체는 구성원별 실적에 지분율 곱해 합산, 창업기업은 최근 7년간 실적 적용. 유사·동등 이상 실적 인정, 하도급 실적 인정, 민간 실적 인정, 상호진출 실적 인정, 투입 인력 개인 실적 인정 문구는 없음.

  6. 공동수급체의 경우 구성원별 실적에 지분율을 곱한 후 그 실적들을 합산한 실적으로 최종 평가하고, 평가 결과 소수점 이하의 숫자가 있는 경우 소수점 다섯째자리에서 반올림 한다.

* 해당 사업규모 대비 입찰공고일 기준 최근 3년간 사업수행실적(금액 기준)을 합산 적용. 단, 입찰공고일을 기준으로 최근 7년 이내에 사업을 개시한 창업기업에 대해서는 최근 7년간 사업수행실적을 합산 적용

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

특정모델 지정 시 호환성이 보장되는 동등사양 이상 조건으로 제안 가능. 계약특수조건 3. 기존 상용제품 납품 ②에서 연구원이 기술적 요인 및 제품 표준화 목적으로 특정 제품을 지목할 수 있고 계약상대자는 이를 적극 검토하여 수용하여야 한다고 정함. 기술시방서 4. 변경관리에서 승인 규격의 재질·형상·부품 변경은 동등 이상 근거와 함께 사전 서면승인을 받아야 한다고 정함.

• 동등 입증 때 · 착수 전(계약 뒤) 제작 착수 전에 제출되는 시스템 구성도, P&ID, 전기도면, I/O list 및 utility matrix를 바탕으로 발주자와 협의하여 최종 확정. 설계승인은 제작 전 GA drawing, chamber detail, P&ID, electrical schematic, I/O list, utility matrix, BOM을 제출하여 승인을 받는다고 정함.

  각 장치의 신호형식, 통신방식, 연결위치 및 공급범위는 제작 착수 전에 제출되는 시스템 구성도, P&ID, 전기도면, I/O list 및 utility matrix를 바탕으로 발주자와 협의하여 최종 확정한다.

  제작 전 GA drawing, chamber detail, P&ID, electrical schematic, I/O list, utility matrix, BOM을 제출하여 승인을 받는다.

특정모델 지정 시 호환성이 보장되는 동등사양 이상 조건으로 제안 가능

연구원은 기술적인 요인 및 제품의 표준화 작업을 목적으로 특정 제품을 지목할 수 있으며 계약상대자는 이를 적극 검토하여 수용하여야 한다.

승인 규격의 재질·형상·부품 변경은 동등 이상 근거와 함께 사전 서면승인을 받아야 한다.

원산지(국산)

수입 허용

원산지 제한 규정 없음. 계약일반조건 제14조 제3항에서 계약상대자가 대한민국 외에서 제조된 계약물품을 납품하고자 할 때에는 관세청장이 고시한 「원산지표시제도 운영에 관한 고시」 및 산업통상자원부장관이 고시한 「대외무역관리규정」에 의하여 원산지를 당해 물품에 표시하여야 한다고 정함.

계약상대자는 대한민국 외에서 제조된 계약물품을 납품하고자 할 때에는 관세청장이 고시한 「원산지표시제도 운영에 관한 고시」 및 산업통상자원부장관이 고시한 「대외무역관리규정」에 의하여 원산지를 당해 물품에 표시하여야 한다.

합격선

숫자 기준 있음

최종진공도 5×10⁻⁷ Torr 이하(청정·건조 상태에서 시스템 배기 후). FAT 진공도 판정기준 ≤5×10⁻⁷ Torr. IR 온도센서 최대 측정온도 500 ℃. 누설은 He leak detector로 확인하되 정량 합격기준은 계약 전 합의. FAT·SAT·인수 단계별 시험항목과 판정기준을 정함.

• 따를 표준·지침 · 기술시방서 제5장 시험 및 검사(FAT·SAT·인수 단계별 시험항목·방법·판정기준). 계약일반조건 제12조 제1항에서 납품 시 「산업표준화법」 제24조에 따른 한국산업표준(특별한 사유가 없는 한 「물류정책기본법」 제24조에 따른 물류표준 포함)을 준수하도록 정함. FAT(공장 인수 시험), SAT(현장 인수 시험), 인수 종합검수 단계별 시험항목·방법·판정기준을 정함. 납품 시 한국산업표준 준수.

  FAT (공장 인수 시험, Factory Acceptance Test)

  SAT (현장 인수 시험, Site Acceptance Test)

  계약상대자는 계약서에 정한 납품기일까지 해당물품(검사에 필요한 서류 등을 포함한다)을 ｢산업표준화법｣ 제24조에 따른 한국산업표준(특별한 사유가 없는 한 ｢물류정책기본법｣ 제24조에 따른 물류표준을 포함한다)을 준수하여 계약담당자가 지정한 장소에 납품하여야 한다.

최종진공도: 5×10⁻⁷ Torr 이하. 측정조건은 제5장 시험방법에 따른다.

FAT | 진공도 | 청정·건조 상태에서 시스템 배기 후 ≤5×10⁻⁷ Torr. 게이지 종류/교정상태/위치, 초기압력, 배기시간, 온도를 기록

FAT | 누설 | He leak detector로 진공경계 및 가스·수냉 계통 확인. 정량 합격기준은 계약 전 합의

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

항목별 규격 대비표 · 카탈로그·제조사 사양서 · 시험성적서 · 실측·성능 데이터·도면

기술제안서(기술제안서 및 관련 증빙 일체 단일 파일 제출)를 필수 제출. 기술제안서 작성 방법, 내용은 기술심사 진행계획서(첨부 5) 참조. 기술심사평가표 – 기술심사 항목별 세부평가기준 순서에 따라 작성. 기술심사 평가표에서 CST 전자기장 해석 결과(3차원 해석모델, 재질 유전율·전기전도도·경계조건, 입력부 위치·입력조건, 전기장 크기·공간분포 등) 제출, 정식 라이선스 사용 확인 자료 제출, 수행실적증명원·계약서 사본·세금계산서, 신용평가기관 유효 등급표 첨부를 요구.

• 마감 뒤 보완 · 허용 한국핵융합에너지연구원의 검토 결과 및 지정 방식에 따라 서류 추가 제출 및 보완 요청 가능.

  (한국핵융합에너지연구원의 검토 결과 및 지정 방식에 따라 서류 추가 제출 및 보완 요청 가능)

기술제안서(기술제안서 및 관련 증빙 일체 단일 파일 제출)

기술심사평가표 – 기술심사 항목별 세부평가기준 순서에 따라 작성

수행실적: 실적증명원(공공계약에 한함), 계약서 사본, 세금계산서 첨부

재무건전성: 신용평가기관에서 발급한 유효 등급표 첨부

참가 범위

공개 경쟁

전자입찰·일반(총액)·규격가격동시 입찰로, 나라장터 이용자 등록을 한 자면 참여 가능. 중소기업자간 제한경쟁은 재공고로 비대상.

입찰방법: 전자입찰, 일반(총액), 규격가격동시

본 입찰은 전자입찰방식에 의하여 집행하므로, 국가종합전자조달 이용자 등록을 한 자만이 입찰에 참여할 수 있으며, 전자입찰서는 반드시 제출 기간 이내에 국가종합전자조달 홈페이지의 전자조달시스템(나라장터)을 이용하여 제출하여야 함. (우편 입찰 등 불허)

현장 여건

설치·시운전은 연구원이 지정한 장소에서 하며, 현장 utility 연결 후 누수·누설·통신·구동·진공 성능을 재확인한다. 수소 사용부의 재질·실링·배관 구성과 전기·가스·냉각수 interlock은 관련 법령 및 설치기관 안전기준을 충족해야 한다.

SAT는 현장 utility 연결 후 누수·누설·통신·구동·진공 성능 재확인. 수소 안전은 설치기관 안전담당자와 협의.

• 부대공사·현장 준비 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 현장 utility 연결 주체·비용 부담이 문서에 명시되지 않음
• 위험작업 · 중량물 진공챔버·프레임 등 중량물 운송·설치, 수소·고온·진공 안전대책 요구

  수소, 고온, 진공, quartz bell jar 및 구동부 안전대책(3점)

SAT | 설치/시운전 | 현장 utility 연결 후 누수·누설·통신·구동·진공 성능 재확인

수소 사용부의 재질·실링·배관 구성과 전기·가스·냉각수 interlock은 관련 법령 및 설치기관 안전기준을 충족해야 한다.

시안 승인

1회

계약특수조건 2. 제작품 제작 ①에서 계약상대자는 제작도면을 작성하여 연구원의 사전 승인을 받은 후 제작에 착수하도록 한다고 정하고 있다. 기술시방서 4장 설계승인에서도 제작 전 GA drawing, chamber detail, P&ID, electrical schematic, I/O list, utility matrix, BOM을 제출하여 승인을 받는다고 적었다. 수정 횟수는 문서에 없다.

• 수정 횟수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 수정 횟수에 대한 규정이 문서에 없다.
• 승인 기간 · 납기·공기에 든다 계약특수조건 2. 제작품 제작 ③에서 연구원은 제작도면 작성기간의 지연으로 인한 납품기간 지연의 책임을 지지 않는다고 정하고 있어, 승인 기간이 납기에 포함되는 것으로 본다.

  연구원은 제작도면 작성기간의 지연으로 인한 납품기간 지연의 책임을 지지 않는다.

계약상대자는 구매품목이 아닌 제작품들에 대하여 제작도면을 작성하여 연구원의 사전 승인을 받은 후 제작에 착수하도록 한다.

설계승인 | 제작 전 GA drawing, chamber detail, P&ID, electrical schematic, I/O list, utility matrix, BOM을 제출하여 승인을 받는다.

공장 실사·입회

제작 중 검사·입회 · 납품 전 검사

기술시방서 제5장에서 제작 중 검사(승인도면 대조, 재질성적서·치수검사표 확인)와 FAT(공장 인수 시험)를 규정하고, 계약특수조건 6. 품질관리 ③ 및 8. 현장점검 ①에서 연구원이 필요로 하는 경우 계약과 관련된 협력업체·제작업체 방문이 허용되어야 하며 계약상대자의 사업장을 방문하여 점검활동을 시행할 수 있다고 정하고 있다. 계약 전 실사 규정은 없다.

연구원이 필요로 하는 경우, 계약과 관련된 협력업체 및 제작업체 방문이 허용되어야 한다.

연구원은 필요에 따라 계약상대자의 사업장을 방문하여 점검활동을 시행할 수 있으며, 시정사항이 발생 시에 계약상대자는 즉각적인 조치를 하여야 한다.

A/S 조직·인력

감점 · 점수에 반영

평가표 3. 관리 능력의 '유지·보수 및 하자 대응 방안(5점)'에 유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성(3점)과 주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획(2점)이 있다. 인원 수·서비스망·직접 고용 여부는 적혀 있지 않다.

• 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 A/S·기술 인력 수를 정한 문장이 없다.
• 크기 · 5점 유지·보수 및 하자 대응 방안 5점(조직·절차·하자 대응 3점 + 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획 2점).

  -유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성(3점)

  -주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획(2점)

• 대상 · A/S 부서·조직 · 예비품 보유 유지보수 조직과 주요 소모품·예비품 공급 계획.

  -유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성(3점)

  -주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획(2점)

-유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성(3점)

-주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획(2점)

큰 배점 항목

1. MPCVD 진공 시스템 설계 및 해석 능력 40점(MPCVD 진공챔버 및 기판 모듈 설계 20점, CST 전자기장 해석 능력 20점), 2. MPCVD 진공 시스템 제작 및 제어 능력 40점(제작 능력 20점, 제어 및 성능검증 능력 20점), 3. 관리 능력 10점(유지·보수 및 하자 대응 방안 5점, 품질·보안·안전관리 방안 5점).

기술심사 합격조건은 심사위원 평가점수 평균 80점 이상.

| 1. MPCVD 진공 시스템 설계 및 해석 능력 (40점) | MPCVD 진공챔버 및 기판 모듈 설계
(20점) |

| 2. MPCVD 진공 시스템 제작 및 제어 능력 (40점) | MPCVD 진공시스템 제작 능력 (20점) |

| 3. 관리 능력
(10점) | 유지·보수 및 하자 대응 방안 (5점) |

무상 추가 제공

감점 · 점수에 반영

기술심사 평가표 3. 관리 능력의 유지·보수 및 하자 대응 방안(5점)에서 유지보수 조직·대응절차·하자 대응방안(3점)과 주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획(2점)을 평가한다. 규격서는 검수 완료 후 최소 1년 무상보증을 권고하며 정확한 보증기간·대응시간·소모품 제외범위는 계약서에 명시한다고 적었다.

• 요구 기간 · 1년 이상 검수 완료 후 최소 1년 무상보증 권고. 정확한 보증기간은 계약서에 명시.

  - 검수 완료 후 최소 1년 무상보증을 권고하며, 정확한 보증기간·대응시간·소모품 제외범위는 계약서에 명시한다.

• 크기 · 0~5점 유지·보수 및 하자 대응 방안 5점(조직·절차·하자 대응 3점, 소모품·예비품·기술지원 2점).

  | 3. 관리 능력
  (10점) | 유지·보수 및 하자 대응 방안 (5점) | -유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성(3점)
  -주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획(2점) | 5 |

• 대상 · 유지보수·사후지원 유지보수 조직·대응절차·하자 대응방안, 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획. 과업 밖 추가 제공(물량·서비스·제안) 배점은 문서에 없음.

  -유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성(3점)

-유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성(3점)

-주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획(2점)

- 검수 완료 후 최소 1년 무상보증을 권고하며, 정확한 보증기간·대응시간·소모품 제외범위는 계약서에 명시한다.

평가 자리 발표

서면 평가만

기술심사 위원회가 입찰업체가 제출한 기술제안서를 기술심사 기준표에 근거하여 평가한다. 입찰 주요 일정에 발표평가는 비대상으로 적혀 있다.

• 빠지면 · 해당 없음 발표 평가가 없으므로 해당 없음.

○ 기술심사 위원회는 입찰업체에서 제출한 기술제안서를 기술심사 기준표에 근거하여 평가하고, 그 결과를 구매부서 계약담당자에게 전달한다.

| ’26.10.02.
(금) | 비대상 | ’26.10.03.(토), 09:00부터 | 비대상 | ’26.10.03.(토), 09:00부터 | ’26.10.13.(화), 15:00(예정) |

지원사업·R&D 재원

연구개발 과제·연구비(연구장비 지원사업 포함)

All-다이아몬드 CMOS용 MPCVD 장비개발(PI2604-1)

플라즈마기술연구소에서는 "All-다이아몬드 CMOS용 MPCVD 장비개발(PI2604-1)" 과제와 관련하여 2.45 GHz Multimode MPCVD Vacuum System을 제작하고자 합니다.

문서 분석 전체

이 분야에서 갈리는 것 · 우리가 만드는 공정 방식·기판 크기인가, 주문제작을 150일 안에 끝낼 수 있나, 기술평가 85점을 넘나, 3년 품질보증을 감당하나에서 갈린다.

질문 87개 · 꼭 5 · 좋음 20 · 안 봐도 됨 62

주제 · 참가 자격 9개

업종·면허 조합

여럿 모두

공통 자격 ①~④를 모두 갖추어야 하고, 개별 자격 ⑤는 중소기업자간 제한경쟁 비대상(재공고)으로 별도 기재. 법·조례가 정한 허가·지정·등록이나 업태·종목·전문매장 보유 같은 코드 밖 자격은 문서에 없음.

• 코드 밖 자격 · 없음 법·조례가 정한 허가·지정·등록, 사업자등록증 업태·종목, 전문매장 보유 같은 조건은 문서에 없음.

본 입찰에 참가하기 위해서는 아래 공통, 개별 입찰 참가 자격을 모두 갖추어야 함.

지역 조건

없음

본점 지역 제한 외에 사업장·지사·시설·인력 소재, 지역 인력 고용·장비 사용, 지역 업체 공동수급, 지역 가점 조건은 문서에 없음. 납품장소가 전라북도 군산시로 기재된 것은 납품 장소일 뿐 참가 조건이 아님.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 지역 관련 평가표 배점 없음
• 대상 · - 해당 없음

실적

감점 · 점수에 반영

기술심사 평가표 4. 수행실적(5점)에서 최근 3년간 사업수행실적(금액 기준)을 합산 적용, 창업기업은 최근 7년간 적용. 등급별 배점 100%·90%·80%·70%. 공동수급체는 구성원별 실적에 지분율 곱해 합산. 참가 자격으로 거르는 실적 요구는 없음.

• 크기 · 3.5~5점 배점 5점, 등급 40% 미만 시 배점의 70%(3.5점)
• 조건 · 공동계약 실적 인정 · 창업기업 실적 특례 공동수급체는 구성원별 실적에 지분율 곱해 합산, 창업기업은 최근 7년간 실적 적용. 유사·동등 이상 실적 인정, 하도급 실적 인정, 민간 실적 인정, 상호진출 실적 인정, 투입 인력 개인 실적 인정 문구는 없음.

  6. 공동수급체의 경우 구성원별 실적에 지분율을 곱한 후 그 실적들을 합산한 실적으로 최종 평가하고, 평가 결과 소수점 이하의 숫자가 있는 경우 소수점 다섯째자리에서 반올림 한다.

* 해당 사업규모 대비 입찰공고일 기준 최근 3년간 사업수행실적(금액 기준)을 합산 적용. 단, 입찰공고일을 기준으로 최근 7년 이내에 사업을 개시한 창업기업에 대해서는 최근 7년간 사업수행실적을 합산 적용

업력

없음

업력(설립·개업 후 경과 햇수)을 참가 조건이나 점수로 보는 요구는 문서에 없음. 창업기업 실적 특례(최근 7년)는 업력 요구가 아님.

• 요구 업력 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 업력 요구 없음
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 업력 배점 없음

공동수급

막음

공동계약 및 구성방식: 불가로 기재.

• 자격을 나눠 채우기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공동수급 불가이므로 해당 사항 없음

⑤ | 공동계약 및 구성방식: | | | | | 불가 |

회사 규모·신분

중소기업만

개별 자격 ⑤에서 중소기업자간 제한경쟁 비대상(재공고)이라 하면서 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」에 따라 추정가격 1억원 이상 2.3억원 미만은 중기업·소기업·소상공인으로 제한한다고 기재. 추정가격 109,000,000원으로 중기업·소기업·소상공인 대상.

- (추정가격 1억원 이상 2.3억원 미만) 중기업, 소기업 또는 소상공인

안전보건수준평가

없음

안전보건수준평가 대상 사업이라고 지정한 문장은 문서에 없음. 기술시방서에 수소 안전·전기 안전 등 안전 요구는 있으나 안전보건수준평가와는 무관.

하도급

모름 · 문서로 확인 안 됨

이 공고가 하도급 허용·금지를 적은 문장은 없음. 계약특수조건 2. 제작품 제작 ④에서 제작을 위한 자재구매·협력업체 선정 등은 사전에 근거자료를 제출하여 승인을 받아야 한다고만 기재.

• 하도급 한도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급 한도 규정 없음

직접 생산

없음

직접생산확인증명서 소지, 제조 등록, OEM 금지, 한 제조사 제품으로만 채워야 한다는 참가 자격·제품 조건은 문서에 없음. 다만 규격서 기타(유의)사항에 모든 구성품은 신품이어야 하며 상호 호환되어 하나의 통합 진공시스템으로 정상 작동해야 한다고 기재.

• 참가 등록 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조/공급 등록 구분 규정 없음
• 직생 범위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 직생 공고 아님
• 대상 · - 해당 없음

주제 · 제품 규격·인증 9개

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

특정모델 지정 시 호환성이 보장되는 동등사양 이상 조건으로 제안 가능. 계약특수조건 3. 기존 상용제품 납품 ②에서 연구원이 기술적 요인 및 제품 표준화 목적으로 특정 제품을 지목할 수 있고 계약상대자는 이를 적극 검토하여 수용하여야 한다고 정함. 기술시방서 4. 변경관리에서 승인 규격의 재질·형상·부품 변경은 동등 이상 근거와 함께 사전 서면승인을 받아야 한다고 정함.

• 동등 입증 때 · 착수 전(계약 뒤) 제작 착수 전에 제출되는 시스템 구성도, P&ID, 전기도면, I/O list 및 utility matrix를 바탕으로 발주자와 협의하여 최종 확정. 설계승인은 제작 전 GA drawing, chamber detail, P&ID, electrical schematic, I/O list, utility matrix, BOM을 제출하여 승인을 받는다고 정함.

  각 장치의 신호형식, 통신방식, 연결위치 및 공급범위는 제작 착수 전에 제출되는 시스템 구성도, P&ID, 전기도면, I/O list 및 utility matrix를 바탕으로 발주자와 협의하여 최종 확정한다.

  제작 전 GA drawing, chamber detail, P&ID, electrical schematic, I/O list, utility matrix, BOM을 제출하여 승인을 받는다.

특정모델 지정 시 호환성이 보장되는 동등사양 이상 조건으로 제안 가능

연구원은 기술적인 요인 및 제품의 표준화 작업을 목적으로 특정 제품을 지목할 수 있으며 계약상대자는 이를 적극 검토하여 수용하여야 한다.

승인 규격의 재질·형상·부품 변경은 동등 이상 근거와 함께 사전 서면승인을 받아야 한다.

제조사 확약서

의무 · 계약 뒤 지킬 일

입찰유의서 제13조 제3항에서 낙찰자가 계약 시 제작사의 공급증명원 및 기술확약증명원을 제출하지 못할 경우 예정가격 이내의 차위업체와 계약을 체결할 수 있다고 정함. 제조사·공식 공급원에게서 받아 와야 하는 서류로 제작사의 공급증명원(공급 확약서)과 기술확약증명원(기술지원·A/S 확약서)이 해당함.

• 대상 · 공급 확약서 · 기술지원·A/S 확약서 제작사의 공급증명원(공급 확약서), 기술확약증명원(기술지원·A/S 확약서).

  낙찰자가 계약 시 제작사의 공급증명원 및 기술확약증명원을 제출하지 못할 경우 예정가격 이내의 차위업체와 계약을 체결할 수 있다.

• 조건 · 없음 제조사면 면제한다는 규정은 없음.

낙찰자가 계약 시 제작사의 공급증명원 및 기술확약증명원을 제출하지 못할 경우 예정가격 이내의 차위업체와 계약을 체결할 수 있다.

제품 인증

없음

이 공고·과업·특기시방이 납품 제품에 건 인증·허가·시험성적서 요구는 없음. 다만 기술시방서 5. 시험 및 검사에서 FAT·SAT·인수 단계의 시험항목과 판정기준을 정하고 있고, 제작 중 재질성적서 및 치수검사표 확인, FAT 진공도·누설·구동/제어 시험, SAT 설치/시운전, 인수 종합검수를 규정함. 이는 납품·검수 때의 시험이므로 인증·성적서 요구와는 구분됨.

• 크기 · 해당 없음 인증·시험성적서 관련 감점 규정 없음.
• 대상 · - 인증·허가·시험성적서 요구 없음.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 인증·성적서 요구가 없어 입증 수단 규정 없음.

제작 중 | 재질/치수/용접/배관 | 승인도면 대조, 재질성적서 및 치수검사표 확인

FAT | 진공도 | 청정·건조 상태에서 시스템 배기 후 ≤5×10⁻⁷ Torr. 게이지 종류/교정상태/위치, 초기압력, 배기시간, 온도를 기록

원산지(국산)

수입 허용

원산지 제한 규정 없음. 계약일반조건 제14조 제3항에서 계약상대자가 대한민국 외에서 제조된 계약물품을 납품하고자 할 때에는 관세청장이 고시한 「원산지표시제도 운영에 관한 고시」 및 산업통상자원부장관이 고시한 「대외무역관리규정」에 의하여 원산지를 당해 물품에 표시하여야 한다고 정함.

계약상대자는 대한민국 외에서 제조된 계약물품을 납품하고자 할 때에는 관세청장이 고시한 「원산지표시제도 운영에 관한 고시」 및 산업통상자원부장관이 고시한 「대외무역관리규정」에 의하여 원산지를 당해 물품에 표시하여야 한다.

합격선

숫자 기준 있음

최종진공도 5×10⁻⁷ Torr 이하(청정·건조 상태에서 시스템 배기 후). FAT 진공도 판정기준 ≤5×10⁻⁷ Torr. IR 온도센서 최대 측정온도 500 ℃. 누설은 He leak detector로 확인하되 정량 합격기준은 계약 전 합의. FAT·SAT·인수 단계별 시험항목과 판정기준을 정함.

• 따를 표준·지침 · 기술시방서 제5장 시험 및 검사(FAT·SAT·인수 단계별 시험항목·방법·판정기준). 계약일반조건 제12조 제1항에서 납품 시 「산업표준화법」 제24조에 따른 한국산업표준(특별한 사유가 없는 한 「물류정책기본법」 제24조에 따른 물류표준 포함)을 준수하도록 정함. FAT(공장 인수 시험), SAT(현장 인수 시험), 인수 종합검수 단계별 시험항목·방법·판정기준을 정함. 납품 시 한국산업표준 준수.

  FAT (공장 인수 시험, Factory Acceptance Test)

  SAT (현장 인수 시험, Site Acceptance Test)

  계약상대자는 계약서에 정한 납품기일까지 해당물품(검사에 필요한 서류 등을 포함한다)을 ｢산업표준화법｣ 제24조에 따른 한국산업표준(특별한 사유가 없는 한 ｢물류정책기본법｣ 제24조에 따른 물류표준을 포함한다)을 준수하여 계약담당자가 지정한 장소에 납품하여야 한다.

최종진공도: 5×10⁻⁷ Torr 이하. 측정조건은 제5장 시험방법에 따른다.

FAT | 진공도 | 청정·건조 상태에서 시스템 배기 후 ≤5×10⁻⁷ Torr. 게이지 종류/교정상태/위치, 초기압력, 배기시간, 온도를 기록

FAT | 누설 | He leak detector로 진공경계 및 가스·수냉 계통 확인. 정량 합격기준은 계약 전 합의

등록 제품

없음

우수제품·혁신제품·발주처 규격심의·사전등록·특정 기관 인증·플랫폼 등록·제품(모델) 납품·설치 실적·품질테스트 통과·등재 목록(가격집 등) 요구 없음. 기술심사 평가표의 수행실적(5점)은 회사(업체)의 사업수행실적을 평가하는 것으로 제품(모델) 자체의 실적 요구가 아님.

• 대상 · - 해당하는 목록·지정 없음.

수행실적: 실적증명원(공공계약에 한함), 계약서 사본, 세금계산서 첨부

신품·제조 시기

의무 · 계약 뒤 지킬 일

규격서 기타(유의)사항에서 모든 구성품은 신품이어야 하며, 상호 호환되어 하나의 통합 진공시스템으로 정상 작동해야 한다고 정함. 계약일반조건 제13조 제1항에서 모든 물품의 규격은 계약상 명시된 규격명세, 규격번호 및 발주자가 제시한 견품의 규격에 맞아야 하며, 구매목적에 맞는 신품이어야 한다고 정함.

• 제조 뒤 경과 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조 뒤 경과 상한 규정 없음.
• 남은 유효기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 남은 유효기간 규정 없음.

모든 구성품은 신품이어야 하며, 상호 호환되어 하나의 통합 진공시스템으로 정상 작동해야 한다.

모든 물품의 규격은 계약상 명시된 규격명세, 규격번호 및 발주자가 제시한 견품의 규격에 맞아야 하며, 구매목적에 맞는 신품이어야 한다.

규격·기술 심사

점수와 통과선

기술심사 합격조건: 심사위원들의 평가점수 평균이 80점 이상이어야 함. 기술적격자(평가점수 평균 80점 이상) 중 예정가격 이하 최저가 입찰자 낙찰. 기술심사 평가표는 5개 심사분야(MPCVD 진공 시스템 설계 및 해석 능력 40점, 제작 및 제어 능력 40점, 관리 능력 10점, 수행실적 5점, 재무건전성 5점) 총 100점.

• 통과선 · 80점 이상 심사위원들의 평가점수 평균 80점 이상.

  기술심사 합격조건 : 심사위원들의 평가점수 평균이 80점 이상이어야 한다.

• 필수 항목·과락 · 아니다 필수 항목 미달이나 부문별 과락으로 총점과 상관없이 떨어진다는 규정 없음. 심사위원 평가점수 평균 80점 이상이면 합격.

기술심사 합격조건 : 심사위원들의 평가점수 평균이 80점 이상이어야 한다.

기술적격자(평가점수 평균 80점 이상) 중 예정가격 이하 최저가 입찰자 낙찰

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

항목별 규격 대비표 · 카탈로그·제조사 사양서 · 시험성적서 · 실측·성능 데이터·도면

기술제안서(기술제안서 및 관련 증빙 일체 단일 파일 제출)를 필수 제출. 기술제안서 작성 방법, 내용은 기술심사 진행계획서(첨부 5) 참조. 기술심사평가표 – 기술심사 항목별 세부평가기준 순서에 따라 작성. 기술심사 평가표에서 CST 전자기장 해석 결과(3차원 해석모델, 재질 유전율·전기전도도·경계조건, 입력부 위치·입력조건, 전기장 크기·공간분포 등) 제출, 정식 라이선스 사용 확인 자료 제출, 수행실적증명원·계약서 사본·세금계산서, 신용평가기관 유효 등급표 첨부를 요구.

• 마감 뒤 보완 · 허용 한국핵융합에너지연구원의 검토 결과 및 지정 방식에 따라 서류 추가 제출 및 보완 요청 가능.

  (한국핵융합에너지연구원의 검토 결과 및 지정 방식에 따라 서류 추가 제출 및 보완 요청 가능)

기술제안서(기술제안서 및 관련 증빙 일체 단일 파일 제출)

기술심사평가표 – 기술심사 항목별 세부평가기준 순서에 따라 작성

수행실적: 실적증명원(공공계약에 한함), 계약서 사본, 세금계산서 첨부

재무건전성: 신용평가기관에서 발급한 유효 등급표 첨부

주제 · 입찰 절차 9개

참가 범위

공개 경쟁

전자입찰·일반(총액)·규격가격동시 입찰로, 나라장터 이용자 등록을 한 자면 참여 가능. 중소기업자간 제한경쟁은 재공고로 비대상.

입찰방법: 전자입찰, 일반(총액), 규격가격동시

본 입찰은 전자입찰방식에 의하여 집행하므로, 국가종합전자조달 이용자 등록을 한 자만이 입찰에 참여할 수 있으며, 전자입찰서는 반드시 제출 기간 이내에 국가종합전자조달 홈페이지의 전자조달시스템(나라장터)을 이용하여 제출하여야 함. (우편 입찰 등 불허)

여러 과제로 나뉨

나뉘지 않음

단일 입찰건(2.45 GHz Multimode MPCVD Vacuum System 1식)으로 과제·권역·입찰번호로 나뉘지 않음.

• 여러 개 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 나뉘지 않아 해당 사항 없음.

입찰건명: 2.45 GHz Multimode MPCVD Vacuum System

세부품명/수량/단위: 공고문에 첨부된 규격서, 기술시방서 등 참조

입찰 전 절차

따로 없음(나라장터만)

전자입찰서·제출서류 모두 나라장터로 전자제출. 별도 자체 시스템 가입·방문/우편 제출·사전 참가신청 절차는 없음. 제출 마감 2026.10.13.(화) 14:00.

제출방법: 조달청 나라장터시스템 전자제출(e-발주시스템)

제출 서류 일체는 조달청 나라장터(www.g2b.go.kr) ⇒ 메인화면 ⇒ “e-고객센터” ⇒ “이용안내의” 해당 문서를 참고하여 온라인으로 제출하며, 정상 송신 확인 필수

현장설명회

없음

입찰 주요 일정에 설명회 '비대상'으로 기재. 현장설명회·답사 관련 조항 없음.

입찰공고 | 설명회 | 서류제출 | 발표평가 | 가격입찰 | 개찰일시

’26.10.02.(금) | 비대상 | ’26.10.03.(토), 09:00부터 | 비대상 | ’26.10.03.(토), 09:00부터 | ’26.10.13.(화), 15:00(예정)

정정·재공고 변경

재공고로, 중소기업자간 제한경쟁 비대상으로 변경됨. 규격 변경 가능성에 대한 문구는 없음.

공고번호가 [재공고] 제KFE2026-100-1호이며, 개별 참가자격에서 '중소기업자간 제한경쟁 비대상 (재공고)'으로 기재. 공고 뒤 규격 변경 가능성 문구는 없음.

공고번호: [재공고] 제KFE2026-100-1호

중소기업자간 제한경쟁 비대상 (재공고)

낙찰 업체 수

한 업체가 전량

단일 업체 낙찰 구조. 분할납품 불가.

• 최소 응찰 물량 · 해당 없음 여러 업체가 나누는 구조가 아님.

분할납품: 불가

기술적격자(평가점수 평균 80점 이상) 중 예정가격 이하 최저가 입찰자 낙찰

MAS 2단계경쟁

아니다

일반(총액) 규격가격동시 입찰로 최저가 낙찰. 다수공급자계약·종합쇼핑몰 2단계경쟁 구조 아님.

입찰방법: 전자입찰, 일반(총액), 규격가격동시

기술(규격) 적격심사를 통과한 예정가격 이하 최저가 입찰 업체 낙찰

입찰보증금

면제·지급각서로 갈음

입찰보증금은 지급각서 제출로 갈음(전자입찰서로 대체). 다만 채무불이행·금융질서문란자 등은 입찰금액 5% 이상 실제 납부. 계약보증금 10%, 하자보증금 계약금액 10%.

• 입찰보증금 비율 · 5% 이상 채무불이행·금융질서문란자 등에 한해 입찰금액의 5% 이상 실제 납부. 일반은 면제·지급각서.

  입찰자가 아래에 해당하는 경우에는 입찰금액의 5% 이상(「국가계약법 시행령」 제37조 제1항 단서조항에 따른 기획재정부장관이 기간을 정하여 고시한 경우에는 1천분의 25이상)의 입찰보증금을 납부 하여야 함.

• 계약·하자 보증 비율 · 10% 계약보증금 10%, 하자보증증권 계약금액의 10%.

  계약 보증금 | | | | | 보증 금율 | 10%

  하자담보: 최종 검수 완료일로부터 1년(하자보증증권(계약금액의 10%) 발급)

위 사항을 제외하고는 입찰보증금 납부는 면제하되, 입찰보증금 지급각서를 제출하여야 함.(전자입찰 시 정해진 서식에 따라 송신한 입찰서로 대체)

입찰자가 아래에 해당하는 경우에는 입찰금액의 5% 이상(「국가계약법 시행령」 제37조 제1항 단서조항에 따른 기획재정부장관이 기간을 정하여 고시한 경우에는 1천분의 25이상)의 입찰보증금을 납부 하여야 함.

문서끼리 다른 곳

아니다

문서 간 상충하는 값 없음. 규격서·기술시방서·공고문 간 수량·규격·기간 값이 일치.

주제 · 과업 범위 11개

다른 업 섞임

섞이지 않음

본 사업은 2.45 GHz Multimode MPCVD 진공시스템 1식의 설계·제작·조립·시험·운송·설치·시운전·교육 및 제출문서로, 다른 면허·공종·품목의 일이 섞여 있다는 기재가 없다. 공동계약은 불가로 적혀 있다.

본 시방서는 All-Diamond CMOS 제작을 위한 고품질 다이아몬드 합성 연구에 사용되는 2.45 GHz 멀티모드 MPCVD 진공시스템 1식의 설계, 제작, 조립, 시험, 운송, 설치, 시운전, 교육 및 제출문서에 적용한다.

공동계약 및 구성방식: 불가

하는 일

2.45 GHz 멀티모드 MPCVD 진공시스템 1식을 설계·제작·조립·시험·운송·설치·시운전·교육하고 제출문서를 내는 일이다. 진공챔버(STS304, 최종진공도 5×10⁻⁷ Torr 이하), quartz bell jar, 기판 지지·승강 모듈, 공정가스 공급부, 냉각부, PC/PLC 기반 통합제어부를 포함하며, 수소 공정가스 공급과 안전 interlock, recipe 운전, HMI 감시·제어를 갖춰야 한다.

본 시방서는 All-Diamond CMOS 제작을 위한 고품질 다이아몬드 합성 연구에 사용되는 2.45 GHz 멀티모드 MPCVD 진공시스템 1식의 설계, 제작, 조립, 시험, 운송, 설치, 시운전, 교육 및 제출문서에 적용한다.

본 시스템은 별도로 설치되거나 기존에 보유한 2.45 GHz microwave generator, waveguide, tuner, 진공펌프, 진공게이지, 밸브, MFC 및 배기가스 처리설비와 연동할 수 있는 기계적·전기적·통신 인터페이스를 제공하여야 한다.

기존 시스템과 이어짐

기존 시스템·설비와 연동

기존에 보유한 2.45 GHz microwave generator, waveguide, tuner, 진공펌프, 진공게이지, 밸브, MFC 및 배기가스 처리설비와 연동할 수 있는 기계적·전기적·통신 인터페이스를 제공해야 한다. 다만 계약 범위에 포함되지 않은 마이크로웨이브 전원, 진공펌프, MFC/가스 캐비닛, 배기처리장치의 포함 여부와 인터페이스는 계약 전 확정한다고 적혀 있다.

본 시스템은 별도로 설치되거나 기존에 보유한 2.45 GHz microwave generator, waveguide, tuner, 진공펌프, 진공게이지, 밸브, MFC 및 배기가스 처리설비와 연동할 수 있는 기계적·전기적·통신 인터페이스를 제공하여야 한다.

계약 범위에 포함되지 않은 마이크로웨이브 전원, 진공펌프, MFC/가스 캐비닛, 배기처리장치의 포함 여부와 인터페이스는 계약 전 확정한다.

설치 공사업 면허

없음

전기·정보통신·수도·소방 등 공사업 면허를 입찰 참가 자격이나 설치 조건으로 요구한다는 기재가 없다.

• 대상 · - 공사업 면허 대상으로 적힌 것이 없다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급·공동수급·직접 시공에 관한 기재가 없다. 공동계약은 불가로만 적혀 있다.

  공동계약 및 구성방식: 불가

일의 끝

설치·시운전·가동까지

설계, 제작, 조립, 시험, 운송, 설치, 시운전, 교육까지 적용 범위에 포함되며, SAT(현장 인수 시험)로 현장 utility 연결 후 누수·누설·통신·구동·진공 성능을 재확인하고, 인수 단계에서 종합검수로 계약 규격 충족·미결사항 조치·최종 문서 및 교육 완료를 확인한다.

• 시험운영 기간 · 정해지지 않음 설치·시운전 뒤 넘기기 전까지의 시험운영 기간이 적혀 있지 않다.

본 시방서는 All-Diamond CMOS 제작을 위한 고품질 다이아몬드 합성 연구에 사용되는 2.45 GHz 멀티모드 MPCVD 진공시스템 1식의 설계, 제작, 조립, 시험, 운송, 설치, 시운전, 교육 및 제출문서에 적용한다.

SAT | 설치/시운전 | 현장 utility 연결 후 누수·누설·통신·구동·진공 성능 재확인

기성품·주문제작

주문제작(받은 규격·도면대로) · 설계부터 우리가(새로 개발)

모델이 제작품으로, 제작 전 GA drawing, chamber detail, P&ID, electrical schematic, I/O list, utility matrix, BOM을 제출해 승인을 받고, 상세 설계도면 및 유틸리티 요구조건을 발주자와 사전 협의한 후 제작에 착수한다. PC/PLC 기반 통합제어와 recipe 운전, HMI는 요구사항에 맞춰 구성해야 한다.

• 시스템 통합 · 그렇다 모든 구성품은 신품이어야 하며, 상호 호환되어 하나의 통합 진공시스템으로 정상 작동해야 한다.

  모든 구성품은 신품이어야 하며, 상호 호환되어 하나의 통합 진공시스템으로 정상 작동해야 한다.

모델 | 제작품

제작자는 상세 설계도면 및 유틸리티 요구조건을 발주자와 사전 협의한 후 제작에 착수한다.

설계승인 | 제작 전 GA drawing, chamber detail, P&ID, electrical schematic, I/O list, utility matrix, BOM을 제출하여 승인을 받는다.

함께 넘길 물품

장비 1식 및 정상운전에 필요한 부속품 일체, 소모품·예비품 목록, 운전·정비·안전 매뉴얼, PLC/HMI backup 및 통신 protocol, 품질보증서, 교육자료 및 교육확인서를 제출해야 한다.

장비 1식 및 정상운전에 필요한 부속품 일체

소모품·예비품 목록, 품질보증서, 교육자료 및 교육확인서

철거·폐기

없음

기존 장비·시설·지장물의 철거·이설·폐기·반납이나 다 쓴 물품·포장재 회수를 우리 몫으로 정한 기재가 없다.

부가 작업

설치·시운전, 운전·정비·안전 교육, FAT/SAT 성적서와 진공·누설·구동·interlock 검사기록 등 제출문서 작성, CST Microwave Studio를 이용한 3차원 전자기장 해석 결과 제출(가점)이 부가 작업·서비스로 적혀 있다.

FAT/SAT 성적서, 진공·누설·구동·interlock 검사기록

제안업체가 정식 라이선스가 확보된 CST Microwave Studio를 이용하여 2.45 GHz 조건에서 진공챔버 내부의 3차원 전자기장 해석을 수행하고, 그 결과를 기술제안서 또는 상세설계 단계에서 제출하는 경우 기술평가 가점을 부여할 수 있다.

디자인 몫

해당 없음

디자인·편집·원고 작업이 이 공고에 없다.

묶인 품목 수

1종

2.45 GHz Multimode MPCVD Vacuum System 1식으로, 진공챔버·quartz bell jar·substrate module·frame 및 system controller를 기본 범위로 한다.

• 제조사 수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 품목마다 제조사·상표·모델을 하나로 정해 적은 기재가 없다.

2.45 GHz 멀티모드 MPCVD 진공시스템 1식의 설계, 제작, 조립, 시험, 운송, 설치, 시운전, 교육 및 제출문서에 적용한다.

본 계약은 견적서에 제시된 진공챔버, quartz bell jar, substrate module, frame 및 system controller를 기본 범위로 한다.

주제 · 납품 일정·현장 11개

일의 분량

2.45 GHz Multimode MPCVD Vacuum System 1식

추정금액(부가세 포함) 119,900,000원, 사업금액(배정예산) 119,900,000원(부가가치세 포함), 추정가격 109,000,000원(부가가치세 불포함). 장비 1식 및 정상운전에 필요한 부속품 일체.

• 열린 분량 · 정해짐 1식으로 정해짐

  2.45 GHz 멀티모드 MPCVD 진공시스템 1식

본 시방서는 All-Diamond CMOS 제작을 위한 고품질 다이아몬드 합성 연구에 사용되는 2.45 GHz 멀티모드 MPCVD 진공시스템 1식의 설계, 제작, 조립, 시험, 운송, 설치, 시운전, 교육 및 제출문서에 적용한다.

장비 1식 및 정상운전에 필요한 부속품 일체

수행 기간

8주 이하

납기는 발주 후 8주 이내를 기준으로 하며, 상세설계 승인·제작·FAT·운송·설치·SAT 일정을 착수회의에서 확정한다. 납품기한은 2026.11.27.(최종 검수 완료일 기준), 납기 완료 요구일은 2026년 11월 27일.

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 있음 납품기한 2026.11.27.(최종 검수 완료일 기준)

  납품기한: 2026.11.27. (최종 검수 완료일 기준)

납기는 발주 후 8주 이내를 기준으로 하며, 상세설계 승인·제작·FAT·운송·설치·SAT 일정을 착수회의에서 확정한다.

납품기한: 2026.11.27. (최종 검수 완료일 기준)

현장·납품지

1곳

플라즈마기술연구소(전라북도 군산시 소재) 내 지정장소, 플라즈마기술연구소 본관동 L306호

• 열린 분량 · 정해짐 납품장소가 지정됨

  납품장소: 플라즈마기술연구소(전라북도 군산시 소재) 내 지정장소

• 범위 · 없음(국내 보통 현장) 국내 입찰, 군산 소재 연구소 내 지정장소

  국내/국제입찰 구분: 국내

납품장소: 플라즈마기술연구소(전라북도 군산시 소재) 내 지정장소

납품 장소 | 플라즈마기술연구소 본관동 L306호

현장 여건

설치·시운전은 연구원이 지정한 장소에서 하며, 현장 utility 연결 후 누수·누설·통신·구동·진공 성능을 재확인한다. 수소 사용부의 재질·실링·배관 구성과 전기·가스·냉각수 interlock은 관련 법령 및 설치기관 안전기준을 충족해야 한다.

SAT는 현장 utility 연결 후 누수·누설·통신·구동·진공 성능 재확인. 수소 안전은 설치기관 안전담당자와 협의.

• 부대공사·현장 준비 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 현장 utility 연결 주체·비용 부담이 문서에 명시되지 않음
• 위험작업 · 중량물 진공챔버·프레임 등 중량물 운송·설치, 수소·고온·진공 안전대책 요구

  수소, 고온, 진공, quartz bell jar 및 구동부 안전대책(3점)

SAT | 설치/시운전 | 현장 utility 연결 후 누수·누설·통신·구동·진공 성능 재확인

수소 사용부의 재질·실링·배관 구성과 전기·가스·냉각수 interlock은 관련 법령 및 설치기관 안전기준을 충족해야 한다.

작업 시기

해당 없음

일할 수 있는 때를 묶는 제약이 문서에 없음

다른 일정에 묶임

아니다

다른 공사·사업 일정에 묶였다는 문구 없음

나눠 납품

한 번에 전량

납품기한 2026.11.27. 하나만 적혀 있고 나눠 내라는 말이 없음

• 분할납품 · 막음 분할납품 불가

  분할납품: 불가

납품기한: 2026.11.27. (최종 검수 완료일 기준)

보관 조건

없음

보관·운송 조건을 지켜야 하는 품목이 문서에 없음

• 대상 · - 해당 없음

주문 뒤 납품 시한

정해지지 않음

주문(납품요구) 후 며칠 안에 대라는 시한이 문서에 없음. 납기는 발주 후 8주 이내 기준.

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 주문 시한의 기점이 명시되지 않음

납기는 발주 후 8주 이내를 기준으로 하며, 상세설계 승인·제작·FAT·운송·설치·SAT 일정을 착수회의에서 확정한다.

포장·표시

포장은 계약조건과 계약 규격서에 규정된 포장조건에 따라야 하며 내용물의 보전에 충분하여야 한다. 물품의 포장면에는 제작자 상호 및 계약상대자 상호, 계약번호, 품명 및 물품저장번호, 포장내용물의 일련번호 및 수량, 순무게·총무게·부피, 취급 시 주의사항 등을 명기하여야 한다.

계약일반조건 제14조·제15조·제16조의 포장·표기 규정. 납품 물품에는 제작자명 또는 상표와 발주자가 정한 관수품 표시를 하여야 한다.

포장은 계약조건과 계약 규격서에 규정된 포장조건에 따라야 하며, 내용물의 보전에 충분하여야 한다.

납품한 물품에는 계약상 규격서에 규정된 포장 외에 제작자명 또는 상표와 발주자가 정한 관수품 표시를 하여야 한다.

보안 조치

없음

일반 보안 문구(입찰유의서 제18조 비밀유지, 계약일반조건 제28조 비밀엄수)만 있고, 출입·반입·PC·자료 반출·개인정보 위탁 등 구체적 보안 조치를 이 일에 요구한 문장이 없음

• 크기 · - 보안 대책이 평가 항목에 없음
• 대상 · - 해당 없음

주제 · 견본·검사·검수 7개

검수

발주처 검수만

기술시방서 제5장 시험 및 검사에서 제작 중 검사, FAT(공장 인수 시험), SAT(현장 인수 시험), 인수(종합검수)를 발주자와의 계약 전 합의·승인·확인으로 진행하며, 외부 기관 심의·승인·감리·성과심사는 등장하지 않는다.

제작 중 | 재질/치수/용접/배관 | 승인도면 대조, 재질성적서 및 치수검사표 확인

FAT | 누설 | He leak detector로 진공경계 및 가스·수냉 계통 확인. 정량 합격기준은 계약 전 합의

인수 | 종합검수 | 계약 규격 충족, 미결사항 조치, 최종 문서 및 교육 완료

샘플·시안 선제출

감점 · 점수에 반영

기술시방서 제7장(기술심사 우대사항 및 가점 기준)과 규격서 기타사항에서 CST Microwave Studio 보유 및 3차원 전자기장 해석 결과 제공 시 기술평가 가점을 부여한다고 적었다. 입찰 단계에서 시안·샘플·실물 견본·시연을 내야 한다는 요구는 없다.

• 크기 · 0~20점 기술심사 평가표 1. MPCVD 진공 시스템 설계 및 해석 능력 중 'CST 전자기장 해석 능력' 20점(정식 라이선스 CST 보유 10점 + 3차원 해석모델 제출 10점)

  -정식 라이선스 CST Microwave Studio 보유 또는 적법한 사용 증빙(10점)

  -실제 제작 예정인 진공챔버, quartz bell jar 및 기판 모듈을 반영한 3차원 해석모델 제출 (10점)

• 대상 · 기타 CST Microwave Studio를 이용한 3차원 전자기장 해석 결과(해석모델·입력조건·경계조건·mesh 조건 포함) 제출 — 시안·샘플·실물 견본·시연·조감도·시험 번역·예약확인서는 해당 없음

  해석모델, 입력조건, 경계조건, mesh 조건 및 주요 결과에 대한 기술적 설명이 포함되어야 한다.

CST Microwave Stutio 보유 및 이를 이용한 3차원 전자기장 해석 결과 제공에 대한 평가기준 가산점 적용

제안업체가 정식 라이선스가 확보된 CST Microwave Studio를 이용하여 2.45 GHz 조건에서 진공챔버 내부의 3차원 전자기장 해석을 수행하고, 그 결과를 기술제안서 또는 상세설계 단계에서 제출하는 경우 기술평가 가점을 부여할 수 있다.

시험·검사

우리 부담(대가 안)

기술시방서 제5장의 제작 중 검사·FAT·SAT·인수 종합검수는 계약상대자가 수행·제출하는 시험이고, 계약일반조건 제19조 제3항 제4호에서 검사에 필요한 일체의 비용과 검사를 위한 변형·소모·파손·변질로 생기는 손상을 계약상대자 부담으로 정하고 있다. 별도 정산·추가 대가 규정은 없다.

• 시험 단위 · 한 번 FAT(공장 인수 시험) 1회, SAT(현장 인수 시험) 1회, 인수 종합검수 1회로 납품 1식에 대한 시험·검사이며 롯트·납품마다 규정은 없다.

  FAT | 진공도 | 청정·건조 상태에서 시스템 배기 후 ≤5×10⁻⁷ Torr. 게이지 종류/교정상태/위치, 초기압력, 배기시간, 온도를 기록

  SAT | 설치/시운전 | 현장 utility 연결 후 누수·누설·통신·구동·진공 성능 재확인

• 시험 장소 · 둘 다 제작 중 검사·FAT는 공장(제작 현장)에서, SAT·인수 종합검수는 설치 현장에서 한다.

  FAT (공장 인수 시험, Factory Acceptance Test)

  SAT (현장 인수 시험, Site Acceptance Test)

검사에 필요한 일체의 비용과 검사를 하기 위한 변형, 소모, 파손 또는 변질로 생기는 손상은 계약상대자의 부담으로 한다.

시안 승인

1회

계약특수조건 2. 제작품 제작 ①에서 계약상대자는 제작도면을 작성하여 연구원의 사전 승인을 받은 후 제작에 착수하도록 한다고 정하고 있다. 기술시방서 4장 설계승인에서도 제작 전 GA drawing, chamber detail, P&ID, electrical schematic, I/O list, utility matrix, BOM을 제출하여 승인을 받는다고 적었다. 수정 횟수는 문서에 없다.

• 수정 횟수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 수정 횟수에 대한 규정이 문서에 없다.
• 승인 기간 · 납기·공기에 든다 계약특수조건 2. 제작품 제작 ③에서 연구원은 제작도면 작성기간의 지연으로 인한 납품기간 지연의 책임을 지지 않는다고 정하고 있어, 승인 기간이 납기에 포함되는 것으로 본다.

  연구원은 제작도면 작성기간의 지연으로 인한 납품기간 지연의 책임을 지지 않는다.

계약상대자는 구매품목이 아닌 제작품들에 대하여 제작도면을 작성하여 연구원의 사전 승인을 받은 후 제작에 착수하도록 한다.

설계승인 | 제작 전 GA drawing, chamber detail, P&ID, electrical schematic, I/O list, utility matrix, BOM을 제출하여 승인을 받는다.

공장 실사·입회

제작 중 검사·입회 · 납품 전 검사

기술시방서 제5장에서 제작 중 검사(승인도면 대조, 재질성적서·치수검사표 확인)와 FAT(공장 인수 시험)를 규정하고, 계약특수조건 6. 품질관리 ③ 및 8. 현장점검 ①에서 연구원이 필요로 하는 경우 계약과 관련된 협력업체·제작업체 방문이 허용되어야 하며 계약상대자의 사업장을 방문하여 점검활동을 시행할 수 있다고 정하고 있다. 계약 전 실사 규정은 없다.

연구원이 필요로 하는 경우, 계약과 관련된 협력업체 및 제작업체 방문이 허용되어야 한다.

연구원은 필요에 따라 계약상대자의 사업장을 방문하여 점검활동을 시행할 수 있으며, 시정사항이 발생 시에 계약상대자는 즉각적인 조치를 하여야 한다.

이 공고가 군수품 조달인가 — 국방부·각 군이…

아니다

수요기관은 한국핵융합에너지연구원이며, 공고·규격서·기술시방서·입찰유의서·계약일반조건·계약특수조건 어디에도 군수품 계약·국방규격·재고번호·국방 표지·군 검사·부대 출입 보안 같은 군 전용 절차가 없다.

군수품이면 납품 검사·검수는 누가 하나 — 수…

해당 없음

군수품 조달이 아니므로 해당 없음.

• 품질보증형태 · 해당 없음 군수품 조달이 아니므로 품질보증형태 표기가 없다.

주제 · 인력·A/S·하자 대응 8개

장비·시설 보유

없음

참가 자격·평가표 어디에도 업체가 일에 쓸 장비·시설을 갖추라는 요구가 없다. CST Microwave Studio 보유는 전자기장 해석 능력 평가(가점) 항목으로, 일에 쓸 장비·시설이 아니라 해석 소프트웨어 보유·사용 증빙이므로 이 질문의 대상이 아니다.

• 갖출 때 · 해당 없음 갖출 것을 요구하지 않는다.
• 크기 · 10점 CST Microwave Studio 정식 라이선스 보유 또는 적법한 사용 증빙 10점(해석 소프트웨어 관련 항목).

  -정식 라이선스 CST Microwave Studio 보유 또는 적법한 사용 증빙(10점)

• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 임차·소유 조건이 적혀 있지 않다.

인력 자격

없음

투입 인력의 자격·등급·학위·경력·교육 이수를 참가 조건·평가 점수·계약 뒤 배치 의무로 건 문장이 없다. 평가표의 항목들은 업체의 설계·제작·제어 능력과 관리 방안을 보는 것이고, 인력 자격 요구가 아니다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 인력 자격·경력 배점 항목이 없다.
• 대상 · - 대상이 될 인력 요구가 없다.

출동 시한

없음

고장·장애·긴급 호출 시 현장 도착·착수 시한을 정한 문장이 없다. 하자 대응 방안은 평가 항목(유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성 3점)으로만 나오고 시한은 없다.

• 도착 시한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 도착·착수 시한이 적혀 있지 않다.

처리 시한

해당 없음

이 공고는 장비 1식의 제작·납품·설치 계약으로, 요청·장애를 받아 처리(복구·완료)하는 시한을 정한 문장이 없다. 검수 불합격 사항의 무상 보완·재검사만 있다.

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 처리 시한을 세는 기점이 적혀 있지 않다.

교육·기술이전

해당 없음

교육 횟수를 정한 문장이 없다. 기술시방서는 적용 범위에 교육을 포함하고 제출문서에 교육자료·교육확인서를 들고 있으며, 인수 종합검수 판정에 '교육 완료'가 들어 있을 뿐 횟수·시기·무상 여부는 정하지 않았다.

• 무상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 교육 대가를 따로 받는지 적혀 있지 않다.

하자보수

1년

하자담보는 최종 검수 완료일로부터 1년(하자보증증권 계약금액의 10% 발급). 규격서·기술시방서는 검수 완료 후/검수일로부터 최소 1년 무상보증을 권고하며 최종 계약조건을 우선한다고 적었다.

• 기점 · 설치·검수 완료일 최종 검수 완료일로부터 1년.

  최종 검수 완료일로부터 1년(하자보증증권(계약금액의 10%) 발급)

• 보증 기간 정기점검 · 없음 보증 기간 중 정기점검 주기를 정한 문장이 없다.
• 소모성·정기정비 부품 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 소모품 제외범위는 계약서에 명시한다고만 적혀 있다.

  - 검수 완료 후 최소 1년 무상보증을 권고하며, 정확한 보증기간·대응시간·소모품 제외범위는 계약서에 명시한다.

⑭ | 하자담보: | | 최종 검수 완료일로부터 1년(하자보증증권(계약금액의 10%) 발급)

- 검수 완료 후 최소 1년 무상보증을 권고하며, 정확한 보증기간·대응시간·소모품 제외범위는 계약서에 명시한다.

무상보증은 검수일로부터 1년을 권고하나 최종 계약조건을 우선한다.

단종 뒤 부품 공급

해당 없음

보증이 끝나거나 단종된 뒤 부품·소모품·유지보수를 대야 하는 기간을 정한 문장이 없다. 소모품·예비품 목록 제출과 주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획(평가 2점)만 있다.

A/S 조직·인력

감점 · 점수에 반영

평가표 3. 관리 능력의 '유지·보수 및 하자 대응 방안(5점)'에 유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성(3점)과 주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획(2점)이 있다. 인원 수·서비스망·직접 고용 여부는 적혀 있지 않다.

• 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 A/S·기술 인력 수를 정한 문장이 없다.
• 크기 · 5점 유지·보수 및 하자 대응 방안 5점(조직·절차·하자 대응 3점 + 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획 2점).

  -유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성(3점)

  -주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획(2점)

• 대상 · A/S 부서·조직 · 예비품 보유 유지보수 조직과 주요 소모품·예비품 공급 계획.

  -유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성(3점)

  -주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획(2점)

-유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성(3점)

-주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획(2점)

주제 · 가격·대금·계약 조건 11개

총액·단가 방식

총액

입찰방법이 일반(총액)이고, 사업금액(배정예산) 119,900,000원(부가가치세 포함)으로 전체 사업기간 기준 금액으로 입찰한다고 적혀 있다. 정산·단가 조정에 대한 별도 조항은 없다.

• 정산 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 총액입찰로 계약금액이 낙찰금액으로 정해지나, 실적·실비 정산 여부를 정한 문장은 없다.
• 단가 조정 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 계약 기간 중 단가 고정·시세 연동·협의 조정을 정한 문장이 없다.

입찰방법: | 전자입찰, 일반(총액), 규격가격동시

사업금액(배정예산): | | | 119,900,000원(부가가치세 포함)

본 입찰의 사업금액(배정예산)은 전체 사업기간을 기준으로 산출되었으며, 가격입찰은 반드시 전체 사업기간에 해당하는 금액으로 입찰

물량 변동

일부 미정

기본 구성 사양과 상세 기술 요구사항으로 품목·수량(1식)은 정해져 있으나, 계약 범위에 포함되지 않은 마이크로웨이브 전원·진공펌프·MFC/가스 캐비닛·배기처리장치의 포함 여부와 인터페이스는 계약 전 확정하고, 각 장치의 신호형식·통신방식·연결위치·공급범위는 제작 착수 전 제출되는 시스템 구성도·P&ID·전기도면·I/O list·utility matrix를 바탕으로 발주자와 협의하여 최종 확정한다고 적혀 있다.

계약 범위에 포함되지 않은 마이크로웨이브 전원, 진공펌프, MFC/가스 캐비닛, 배기처리장치의 포함 여부와 인터페이스는 계약 전 확정한다.

각 장치의 신호형식, 통신방식, 연결위치 및 공급범위는 제작 착수 전에 제출되는 시스템 구성도, P&ID, 전기도면, I/O list 및 utility matrix를 바탕으로 발주자와 협의하여 최종 확정한다.

발주처 단가 기준

적혀 있지 않음

발주처가 정한 단가·상한가·요율·원가계산 기준이 공고에 적혀 있지 않다. 사업금액(배정예산) 119,900,000원(부가가치세 포함), 추정가격 109,000,000원(부가가치세 불포함)만 제시되어 있다.

계약 상대

공고 낸 기관 직접

공고기관·수요기관 모두 한국핵융합에너지연구원이고, 표준계약서의 발주자가 한국핵융합에너지연구원으로 되어 있다. 다른 계약·대금 상대를 적은 문장은 없다.

그대로 넘길 돈

아니다

계약금액 안에 다른 곳에 넘기거나 정해진 곳에 그대로 써야 하는 돈을 두라고 적은 문장이 없다. 인지세 연대 납부(제조·제작·공사에 한함) 의무와 하자보증증권(계약금액의 10%) 발급 의무만 있다.

• 넘길 돈 · 해당 없음 넘길 돈 항목·금액이 적혀 있지 않다.
• 투찰 때 반영 · 해당 없음 투찰 때 반영하라는 조항이 없다.

견적 근거

공개 안 됨

규격서·기술시방서에 기본 구성 사양과 상세 기술 요구사항이 적혀 있으나, 설계서·내역서·도면·기존 시스템 구성도 같은 견적 근거가 입찰 전에 공개된다는 안내가 없다. 제작 전 GA drawing, chamber detail, P&ID, electrical schematic, I/O list, utility matrix, BOM을 제출하여 승인을 받는다고만 적혀 있다.

• 이윤 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공개된 산출내역·원가계산서가 없어 이윤이 잡혔는지 알 수 없다.

대금 받는 때

끝난 뒤 한 번에

계약상대자는 계약이행을 완료한 후 검사에 합격한 때 대가지급청구서를 제출하여 대가를 청구하고, 계약담당자는 청구를 받은 날로부터 5일(공휴일·토요일 제외) 이내에 지급한다고 적혀 있다. 기성·기납 부분 대가는 매 30일마다 공평하게 지급할 수 있다는 일반조건 조항도 있으나, 이 계약에 정한 지급 방식은 완료 후 청구·지급이다.

• 선금 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 선금 비율을 정한 문장이 없다.
• 지급 기한 · 5일 이하 대가지급청구를 받은 날부터 5일(공휴일·토요일 제외) 이내

  계약담당자는 제1항의 청구를 받은 때에는 그 청구를 받은 날로부터 5일(공휴일 및 토요일은 제외한다. 이하 이 조에서 같다) 이내에 그 대가를 지급하여야 한다.

계약상대자는 계약이행을 완료한 후 발주자의 규정에 의한 검사에 합격한 때에는 대가지급청구서(하수급인에 대한 대금지급 계획을 첨부하여야 한다)를 제출하는 등 소정의 절차에 따라 대가지급을 청구할 수 있으며, 청구 시 「국세징수법」 제107조를 준용하여 납세증명서를 제출하여야 한다.

계약담당자는 제1항의 청구를 받은 때에는 그 청구를 받은 날로부터 5일(공휴일 및 토요일은 제외한다. 이하 이 조에서 같다) 이내에 그 대가를 지급하여야 한다.

공채·채권

모름 · 문서로 확인 안 됨

공채·채권 매입 비율을 정한 문장이 없다. 인지세 연대 납부(제조·제작·공사에 한함) 의무와 하자보증증권(계약금액의 10%) 발급 의무만 있다.

보험 가입

없음

이 일 때문에 우리가 들어야 하는 보험·공제를 요구한 문장이 없다. 하자보증증권(계약금액의 10%) 발급 의무만 있다.

• 보상 한도 · 해당 없음 보험·공제 요구가 없다.
• 보험료 · 해당 없음 보험·공제 요구가 없다.
• 대상 · 해당 없음 보험·공제 요구가 없다.

계약 변동 가능

아니다

예산 확정 전·보조사업자와의 계약 같은 까닭을 적고 계약이 안 되거나 금액·물량·기간이 바뀔 수 있다고 쓴 문장이 없다. 계약특수조건에 연구원의 사정(예산관계 등)이 있을 시 지불대금·시기를 조정할 수 있다는 문장이 있으나, 이는 대금 지불 조건에 관한 것이다.

• 바뀔 수 있는 것 · 해당 없음 계약이 안 되거나 금액·물량·기간이 바뀔 수 있다고 적은 문장이 없다.

부가세 과세

모름 · 문서로 확인 안 됨

이 일·품목의 과세·면세·영세율을 적은 문장이 없다. 사업금액(배정예산) 119,900,000원(부가가치세 포함), 추정가격 109,000,000원(부가가치세 불포함)으로만 적혀 있다.

• 투찰가에 부가세 · 넣는다 입찰금액은 부가가치세, 부대비용 일체를 포함한 가격이며, 입찰자가 면세사업자인 경우에도 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰해야 한다고 적혀 있다.

  사업금액(배정예산), 입찰금액은 부가가치세, 부대비용 일체를 포함한 가격임

  입찰자가 면세사업자인 경우에도 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰해야 하며, 입찰 결과 낙찰자가 면세사업자인 경우 계약금액은 낙찰금액에서 부가가치세 상당액을 차감한 금액으로 함.

뽑는 방식 · 입찰 방식 7개

회사 속성 우대

가점

기술심사 평가표의 CST 전자기장 해석 능력(20점) 중 정식 라이선스 CST Microwave Studio 보유 또는 적법한 사용 증빙(10점)이 회사 속성(인증·보유 프로그램)에 따른 가점 성격이다. 창업기업은 수행실적 평가에서 최근 7년 실적 합산 특례가 있으나 이는 실적 특례이고, 여성기업·장애인기업·사회적기업·소기업·고용 실적·산업재해율에 대한 우대는 문서에 없다.

• 우대 대상 · 기타 CST Microwave Studio 정식 라이선스 보유 업체(인증·프로그램 보유). 창업기업은 수행실적 산정에서 최근 7년 실적 합산 특례가 있음.

  단, 입찰공고일을 기준으로 최근 7년 이내에 사업을 개시한 창업기업에 대해서는 최근 7년간 사업수행실적을 합산 적용

• 가점 크기 · 10점 CST 전자기장 해석 능력 20점 중 라이선스 보유·사용 증빙 10점, 3차원 해석모델 제출 10점.

  -정식 라이선스 CST Microwave Studio 보유 또는 적법한 사용 증빙(10점)

CST Microwave Stutio 보유 및 이를 이용한 3차원 전자기장 해석 결과 제공에 대한 평가기준 가산점 적용

-정식 라이선스 CST Microwave Studio 보유 또는 적법한 사용 증빙(10점)

신용등급·경영상태

감점 · 점수에 반영

기술심사 평가표 5. 재무건전성(5점)에서 신용평가기관이 인정한 유효 등급을 평가한다. 등급표에 따라 5.0~2.0점(또는 10.0~4.5점)으로 배점이 갈린다. 신용평가등급 확인서를 제출하지 않으면 최저등급으로 평가한다.

• 등급이 없을 때 · 최저 등급 점수 신용평가등급 확인서를 제출하지 않은 경우 최저등급으로 평가.

  ④ ‘신용평가등급 확인서’를 제출하지 않은 경우에는 최저등급으로 평가하며, 유효기간 만료일이 입찰공고일인 경우에도 유효한 것으로 평가한다.

• 크기 · 2~5점 기업신용평가 등급표 배점 5.0~2.0점(회사채·기업어음 등급 기준 10.0~4.5점).

  | AAA | - | 회사채에 대한 신용평가등급 AAA에 준하는 등급 | 5.0 | 10.0 |

  | CCC+ 이하 | C 이하 | 회사채에 대한 신용평가등급 CCC+ 에 준하는 등급 이하 | 2.0 | 4.5 |

• 대상 · 신용평가등급 기업신용평가등급(회사채·기업어음 신용평가등급 포함). 기술신용평가 등급(T등급)·재무비율·매출·지급여력비율은 문서에 없음.

  ① 「신용정보의 이용 및 보호에 관한 법률」제4조제4항제1호 또는 제4호의 업무를 영위하는 신용정보업자가 심사기준일 이전에 평가한 유효기간 내에 있는 기업신용평가등급을 기준으로 평가한다.

| 5. 재무건전성(5점) | 신용평가기관에서 인정한 유효 등급 (5점) | | 5 |

④ ‘신용평가등급 확인서’를 제출하지 않은 경우에는 최저등급으로 평가하며, 유효기간 만료일이 입찰공고일인 경우에도 유효한 것으로 평가한다.

보유 인력

없음

기술심사 평가표에 회사 보유 인력의 수·등급을 점수나 참가 조건으로 보는 항목이 없다.

• 기준 인원 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 문서에 기준 인원이 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 문서에 없다.

소속 직원

없음

투입 인력이 우리 회사 소속 직원이어야 한다는 요구나 재직 기간·고용 형태 조건, 프리랜서·외부 전문가 활용 조건이 문서에 없다.

• 재직 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 문서에 없다.
• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 문서에 없다.
• 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 문서에 없다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 문서에 없다.

큰 배점 항목

1. MPCVD 진공 시스템 설계 및 해석 능력 40점(MPCVD 진공챔버 및 기판 모듈 설계 20점, CST 전자기장 해석 능력 20점), 2. MPCVD 진공 시스템 제작 및 제어 능력 40점(제작 능력 20점, 제어 및 성능검증 능력 20점), 3. 관리 능력 10점(유지·보수 및 하자 대응 방안 5점, 품질·보안·안전관리 방안 5점).

기술심사 합격조건은 심사위원 평가점수 평균 80점 이상.

| 1. MPCVD 진공 시스템 설계 및 해석 능력 (40점) | MPCVD 진공챔버 및 기판 모듈 설계
(20점) |

| 2. MPCVD 진공 시스템 제작 및 제어 능력 (40점) | MPCVD 진공시스템 제작 능력 (20점) |

| 3. 관리 능력
(10점) | 유지·보수 및 하자 대응 방안 (5점) |

무상 추가 제공

감점 · 점수에 반영

기술심사 평가표 3. 관리 능력의 유지·보수 및 하자 대응 방안(5점)에서 유지보수 조직·대응절차·하자 대응방안(3점)과 주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획(2점)을 평가한다. 규격서는 검수 완료 후 최소 1년 무상보증을 권고하며 정확한 보증기간·대응시간·소모품 제외범위는 계약서에 명시한다고 적었다.

• 요구 기간 · 1년 이상 검수 완료 후 최소 1년 무상보증 권고. 정확한 보증기간은 계약서에 명시.

  - 검수 완료 후 최소 1년 무상보증을 권고하며, 정확한 보증기간·대응시간·소모품 제외범위는 계약서에 명시한다.

• 크기 · 0~5점 유지·보수 및 하자 대응 방안 5점(조직·절차·하자 대응 3점, 소모품·예비품·기술지원 2점).

  | 3. 관리 능력
  (10점) | 유지·보수 및 하자 대응 방안 (5점) | -유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성(3점)
  -주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획(2점) | 5 |

• 대상 · 유지보수·사후지원 유지보수 조직·대응절차·하자 대응방안, 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획. 과업 밖 추가 제공(물량·서비스·제안) 배점은 문서에 없음.

  -유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성(3점)

-유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성(3점)

-주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획(2점)

- 검수 완료 후 최소 1년 무상보증을 권고하며, 정확한 보증기간·대응시간·소모품 제외범위는 계약서에 명시한다.

평가 자리 발표

서면 평가만

기술심사 위원회가 입찰업체가 제출한 기술제안서를 기술심사 기준표에 근거하여 평가한다. 입찰 주요 일정에 발표평가는 비대상으로 적혀 있다.

• 빠지면 · 해당 없음 발표 평가가 없으므로 해당 없음.

○ 기술심사 위원회는 입찰업체에서 제출한 기술제안서를 기술심사 기준표에 근거하여 평가하고, 그 결과를 구매부서 계약담당자에게 전달한다.

| ’26.10.02.
(금) | 비대상 | ’26.10.03.(토), 09:00부터 | 비대상 | ’26.10.03.(토), 09:00부터 | ’26.10.13.(화), 15:00(예정) |

카테고리 · 연구·실험·계측장비 5개

지원사업·R&D 재원

연구개발 과제·연구비(연구장비 지원사업 포함)

All-다이아몬드 CMOS용 MPCVD 장비개발(PI2604-1)

플라즈마기술연구소에서는 "All-다이아몬드 CMOS용 MPCVD 장비개발(PI2604-1)" 과제와 관련하여 2.45 GHz Multimode MPCVD Vacuum System을 제작하고자 합니다.

품질 인증

없음

인증 요구 없음. CST Microwave Studio 정식 라이선스 보유·사용 증빙은 평가 배점(10점)이나 품질·환경·안전·정보보호 인증이 아님

• 크기 · 10점 CST Microwave Studio 정식 라이선스 보유 또는 적법한 사용 증빙(10점) — 인증이 아닌 해석 프로그램 라이선스

  -정식 라이선스 CST Microwave Studio 보유 또는 적법한 사용 증빙(10점)

• 대상 · 기타 CST Microwave Studio 라이선스(해석 소프트웨어)

  CST Microwave Studio를 이용한 해석결과를 제출하는 업체는 프로그램의 정식 라이선스 사용을 확인할 수 있는 자료를 함께 제출하여야 한다.

경비 부담

우리 부담(대가 안)

계약 범위에 포함되지 않은 마이크로웨이브 전원, 진공펌프, MFC/가스 캐비닛, 배기처리장치는 계약 전 확정 — 문서에 부담 주체 명시 없음

• 관급 금액 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 관급 품목·금액 없음
• 관급 설치 · 해당 없음 관급 기기·자재 없음

- 계약 범위에 포함되지 않은 마이크로웨이브 전원, 진공펌프, MFC/가스 캐비닛, 배기처리장치의 포함 여부와 인터페이스는 계약 전 확정한다.

공정 장비 종류

CVD

2.45 GHz 멀티모드 MPCVD(마이크로웨이브 플라즈마 화학기상증착) 진공시스템

본 시방서는 All-Diamond CMOS 제작을 위한 고품질 다이아몬드 합성 연구에 사용되는 2.45 GHz 멀티모드 MPCVD 진공시스템 1식의 설계, 제작, 조립, 시험, 운송, 설치, 시운전, 교육 및 제출문서에 적용한다.

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

해당 없음

기판(웨이퍼) 크기 규정 없음 — Mo disk O.D. 104 mm, quartz bell jar O.D. 약 Ø260 mm 등 부품 치수만 있음

문서 발췌

과업·요구

󰊴 구매 사유 및 활용 용도

플라즈마기술연구소에서는 "All-다이아몬드 CMOS용 MPCVD 장비개발(PI2604-1)" 과제와 관련하여 2.45 GHz Multimode MPCVD Vacuum System을 제작하고자 합니다. === 기술시방서(공고용).hwpx ===

기술시방서

2.45 GHz Multimode MPCVD Vacuum System

2026. 09. 1. 적 용 본 시방서는 All-Diamond CMOS 제작을 위한 고품질 다이아몬드 합성 연구에 사용되는 2.45 GHz 멀티모드 MPCVD 진공시스템 1식의 설계, 제작, 조립, 시험, 운송, 설치, 시운전, 교육 및 제출문서에 적용한다. 본 계약은 견적서에 제시된 진공챔버, quartz bell jar, substrate module, frame 및 system controller를 기본 범위로 한다. 2. 시스템 기능 요구사항 본 시스템은 All-Diamond CMOS 소자 제작을 위한 고품질 단결정 및 박막 다이아몬드 합성 연구에 활용할 수 있도록 구성되어야 한다. 이를 위해 2.45 GHz 멀티모드 마이크로웨이브 플라즈마 발생 환경에 적합한 진공챔버, quartz bell jar, 기판 지지·승강 모듈, 공정가스 공급부, 냉각부 및 통합 제어부를 포함하여야 한다. Quartz bell jar 내부에는 수소를 포함한 다이아몬드 합성용 공정가스를 안정적으로 공급할 수 있어야 한다. 또한 시료의 장입 및 회수, 기판의 수평 유지와 높이 조절, 기판 홀더 냉각 및 온도 측정이 가능하여야 한다. 진공경계부, O-ring 밀봉부, 수냉배관, 가스배관 및 용접부는 반복적인 진공배기와 고온 플라즈마 운전에서도 충분한 기밀성, 내열성 및 구조적 안정성을 유지하여야 한다. 챔버 상·하부 위치조절장치와 Z축 기판구동장치는 운전자가 설정한 위치로 안전하고 반복적으로 이동할 수 있어야 한다. 이동한계 초과, 챔버 미체결, 냉각수 부족, 압축공기 이상 또는 비상정지 등의 비정상 조건이 발생하면 장비가 자동으로 안전 정지되어야 한다. 시스템은 PC 및 PLC 기반의 통합제어방식을 적용하여 진공배기, 가스 공급, 기판 위치, 냉각수와 압축공기 공급, 온도 및 장비 상태를 실시간으로 감시·제어할 수 있어야 한다. 공정 단계별 설정값, 운전시간 및 제어순서를 저장한 recipe의 작성, 저장, 호출, 수정 및 반복 실행이 가능하여야 한다. HMI 화면에서는 장비의 운전상태, 설정값과 실제 측정값, recipe 진행단계, 경보내용 및 interlock 작동원인을 명확하게 확인할 수 있어야 한다. 주요 공정변수와 경보이력은 공정 재현성 평가 및 장비 이상원인 분석에 활용할 수 있도록 저장·조회가 가능하여야 한다. 기본 안전 interlock은 전원, 냉각수, 압축공기, 챔버 위치, 과온 및 비상정지 조건을 포함하여야 한다. 최종 가스 및 진공계통 설계가 확정되면 진공도, 수소 공급, purge, 배기 및 마이크로웨이브 인가조건을 연계한 interlock을 추가하여야 한다. 특히 수소가 공급되는 경우에는 진공도, 냉각수, 배기 및 챔버 체결상태가 모두 정상일 때만 공정운전이 가능하도록 fail-safe 방식의 제어논리를 적용하여야 한다.

본 시스템은 별도로 설치되거나 기존에 보유한 2.45 GHz microwave generator, waveguide, tuner, 진공펌프, 진공게이지, 밸브, MFC 및 배기가스 처리설비와 연동할 수 있는 기계적·전기적·통신 인터페이스를 제공하여야 한다. 각 장치의 신호형식, 통신방식, 연결위치 및 공급범위는 제작 착수 전에 제출되는 시스템 구성도, P&ID, 전기도면, I/O list 및 utility matrix를 바탕으로 발주자와 협의하여 최종 확정한다. 3. 상세 기술 요구사항 3.1 Vacuum Chamber - 재질: STS304. 진공 노출면은 세정 후 오염과 흠집이 없도록 관리한다. - 기준 치수: O.D. 약 Ø335 mm, I.D. 약 Ø227 mm, L 약 185 mm. - 포트: ISO100, NW40, NW25 등. 정확한 개수·방향·용도는 승인도면에 따른다. - 시료 장입·회수 구조와 bell-jar holder flange를 포함한다. - 상부/하부 챔버 위치는 robotic cylinder로 제어하고, 이동 한계·끼임 방지 및 비정상 위치 interlock을 구성한다. - IR 온도센서 5개를 설치하며 최대 측정온도는 500 ℃이다. 정확도·응답시간·파장대·시야각은 공급자 제안 후 승인한다. - 최종진공도: 5×10⁻⁷ Torr 이하. 측정조건은 제5장 시험방법에 따른다. 3.2 Quartz bell jar - 수량 1 set; 기준 치수 O.D. 약 Ø260 mm, I.D. 약 Ø218 mm, L 약 210 mm. - Holder는 STS304로 제작하고 O-ring sealing 및 gas passage line을 포함한다. - Quartz 재질 등급, 벽두께, 표면결함 허용기준, 사용온도, 열충격 및 체결 토크는 제작 전 제출·승인한다. - 파손 시 비산 또는 작업자 위해를 줄일 수 있는 보호대책과 안전한 교체절차를 제시한다. 3.3 Substrate module - Mo disk: disk type, O.D. 104 mm, t 16 mm. - Z-motion welded bellows: I.D. 90 mm, L 190 mm, 유효 stroke 30 mm. - Servo motor, ball screw 및 LM guide로 구동하며 반복위치 정밀도와 속도는 공급자 제안·발주자 승인사항으로 한다. - Mo disk adapter/holder: STS304, O.D. 약 Ø94 mm, L 약 194 mm, 수냉식. - H₂ gas 공급 및 thermocouple sensor 연결 구조를 포함하되, 수소 역류·누설·과온 위험에 대한 interlock 조건을 최종 P&ID에 반영한다. 3.4 Frame and system controller - 80×80 Al profile 또는 Al 상판 구조, 도장, caster 및 leveling foot 포함.

배점·평가

과업·요구

*FAT (공장 인수 시험, Factory Acceptance Test) **SAT (현장 인수 시험, Site Acceptance Test) 6. 납품 및 제출문서 - 장비 1식 및 정상운전에 필요한 부속품 일체 - 최종 승인도면(GA, 상세도, P&ID, 전기도, I/O list) - BOM 및 제조사/모델/수량 목록, 주요 부품 데이터시트 - FAT/SAT 성적서, 진공·누설·구동·interlock 검사기록 - 운전·정비·안전 매뉴얼(국문 권장), PLC/HMI backup 및 통신 protocol - 소모품·예비품 목록, 품질보증서, 교육자료 및 교육확인서 7. 일정 및 품질보증 납기는 발주 후 8주 이내를 기준으로 하며, 상세설계 승인·제작·FAT·운송·설치·SAT 일정을 착수회의에서 확정한다. 공급자는 검수 불합격 사항을 무상으로 보완하여 재검사를 받아야 한다. 무상보증은 검수일로부터 1년을 권고하나 최종 계약조건을 우선한다. 7. 기술심사 우대사항 및 가점 기준 본 장치는 2.45 GHz 마이크로웨이브 플라즈마 발생을 위한 멀티모드 MPCVD 진공시스템으로서, 진공챔버와 quartz bell jar, 기판 홀더 및 주변 금속구조의 형상에 따라 챔버 내부의 공진모드와 전기장 분포가 달라질 수 있다. 따라서 제작 전에 진공챔버 내부의 마이크로웨이브 전자기장 분포를 해석하고, 그 결과를 설계에 반영할 수 있는 기술능력을 보유한 업체를 우대한다. 제안업체가 정식 라이선스가 확보된 CST Microwave Studio를 이용하여 2.45 GHz 조건에서 진공챔버 내부의 3차원 전자기장 해석을 수행하고, 그 결과를 기술제안서 또는 상세설계 단계에서 제출하는 경우 기술평가 가점을 부여할 수 있다. 해석결과에는 다음 사항이 포함될수록 높은 가점을 반영 한다. - 진공챔버, quartz bell jar, 기판 및 기판 홀더를 반영한 3차원 해석모델 - 해석에 적용한 재질의 유전율, 전기전도도 및 경계조건 - 마이크로웨이브 입력부와 포트의 위치 및 입력조건 - 2.45 GHz에서의 챔버 내부 전기장 크기와 공간분포 - 기판 상부 또는 예상 플라즈마 발생영역의 전기장 분포 CST Microwave Studio를 이용한 해석결과를 제출하는 업체는 프로그램의 정식 라이선스 사용을 확인할 수 있는 자료를 함께 제출하여야 한다. 단순한 해석 화면이나 결과 이미지만 제출하는 경우에는 가점을 인정하지 않으며, 해석모델, 입력조건, 경계조건, mesh 조건 및 주요 결과에 대한 기술적 설명이 포함되어야 한다. === 입찰공고문 및 입찰관련서류 일체.hwpx === 【첨부】 입찰관련 서류 일체 1부 - 첨부1 : 입찰유의서 - 첨부2 : 표준계약서 (참고 사항) - 첨부3 : 청렴계약이행서약서 - 첨부4 : 서약서 - 첨부5 : 기술심사 진행계획서

배점·평가