산화막 식각 장비 구매

요약 AI 요약

대구경북과학기술원(DGIST)이 보유한 8인치 웨이퍼용 산화막 식각 장비(Oxide Etcher)를 리퍼비시(재생·개조)하여 구매하는 사업이다. Applied Materials Centura II EMAX 장비를 해체·세정·오버홀·부품 교체 후 재조립하여 양산 수준의 산화막/질화막 식각 성능을 확보하는 것이 목표다.

• 8인치 웨이퍼 25매 순차 자동 공정이 가능한 플라즈마 건식 식각 장비 (Load-lock 챔버와 Process 챔버를 각각 개별 진공 펌프로 구성, 진공 분위기에서 Transfer Robot으로 웨이퍼 자동 이송)
• Process Chamber A/B/C(전면 산화막·질화막 식각, 후면 산화막·질화막 식각, 폴리머 식각) 및 Orient Chamber 구성
• 핵심 모듈 교체·재생: ESC Chuck, RF Generator/Matcher, Turbo Pump, Dry Pump, Throttle Valve, Gate Valve, Gas Injector, MFC, Robot Blade 등 (신규 교체품/오버홀 재사용품/기존 재사용품 구분)
• 안전 및 보호 예방 기능 구현: EMO 스위치, Interlock, Signal Light Tower, Buzzer, Smoke/Water Detector, Cooling Water Flow Sensor
• 공정 성능 확보: 산화막·질화막 식각속도 3000Å/min 이상, Profile angle 85° 초과, PR 선택비 3:1 이상, 웨이퍼 내/간/런간 균일도 3% 미만, 누설률·He leak 기준 충족
• 운용·유지보수·문제해결 매뉴얼(인쇄본 2부, 전자파일 1식) 및 장비 운영·트러블슈팅 교육 훈련 계획서 제출

AI에게 이 공고를 물어볼 때 · ChatGPT · Claude에 이 링크를 함께 주면 공고문과 첨부를 정리한 글을 읽고 답합니다. /ai/projects/R26BK01753898 · 베타 기간 무료

핵심요약

걸리는 것

추가 자격 요건 · 장비 보유

추가 자격 요건

장비 실사 참여가 참가 자격(실사 미참여·확인서 미제출 시 제안서 접수 거부·평가 제외)이고, 나라장터 입찰참가자격 등록도 필수.

실사에 참여하지 않았거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외한다.

장비 실사에 참여하지 않은 업체는 본 입찰에 참여할 수 없음.

장비 보유

장비 실사 참여가 입찰 참가 자격 조건이다. 실사에 참여하지 않거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외한다. 실사 일시는 2026. 10. 06.(화)이다.

본 입찰은 본원이 실시하는 식각 장비 실사에 참여한 업체에 한하여 입찰에 참가할 수 있다.

실사에 참여하지 않았거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외한다.

입찰 전

현장설명회 참석 필수 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 사전 참가신청·등록 · 샘플·시안 선제출 · 벽

현장설명회 참석 · 참석 필수

2026년 10월 6일(화) 오전 10시, 삼성전자 화성 장안 창고에서 장비 실사. 실사 참여하지 않으면 입찰 참여 불가.

다. 입찰에 참여하고자 하는 업체는 아래 일정에 삼성 유휴설비가 보관된 창고에 방문하여 설비의 상태를 확인하여야 합니다.

5) 장비 실사에 참여하지 않은 업체는 본 입찰에 참여할 수 없음.

입찰 전 따로 할 절차 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 사전 참가신청·등록

입찰 서류는 우편 또는 직접 방문 제출(마감일 전일 18:00 도착) 또는 전자메일(마감 일시까지). 전자입찰이용자 등록 필수.

가. 제출방법 : 우편 또는 직접 방문 제출

나. 전자입찰방식에 의하므로 전자입찰이용자 등록을 필한 업체만이 참여가 가능합니다.

샘플·시안 선제출 · 벽

입찰 전 본원이 실시하는 장비 실사에 참여해야 하며, 실사 참여 여부는 현장 참석자 명부로 확인하고 [서식 5. 장비 실사 참여확인서]를 제안서에 첨부해야 함. 실사에 참여하지 않았거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외함. 실사 소요 비용은 제안업체 부담.

1) 본 입찰은 본원이 실시하는 식각 장비 실사에 참여한 업체에 한하여 입찰에 참가할 수 있다.

4) 실사에 참여하지 않았거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외한다.

5) 장비 실사에 참여하지 않은 업체는 본 입찰에 참여할 수 없음.

규격·기술 심사

점수와 통과선

제안서 평가는 기술능력평가 100% 비중으로 하고, 적격자는 총점 80점 이상을 만족하는 경우를 말한다. 규격 심사를 통과한 자에 한해 예정가격 이하 최저가 투찰한 자가 낙찰된다.

• 통과선 · 80점 이상 적격자는 총점 80점 이상

  - 총점 80점 이상

• 필수 항목·과락 · 아니다 필수 항목 미달이나 부문별 과락으로 총점과 상관없이 떨어진다는 규정이 없다.

라. 적격자는 아래의 조건을 만족하는 경우를 말한다.
- 총점 80점 이상

가. 규격 심사를 통과한 자에 한해 예정가격 이하로 최저가 투찰한 자가 낙찰되며

문서 분석

수행 기간

5개월 이내

계약 체결일로부터 5개월 이내에 장비 납품 및 설치 완료. 장비 설치 완료 후 2주 이내 최종 검수 완료 원칙(협의·불가피한 사정에 따라 연장 가능).

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 없음 연장 가능하다고 적혀 있음

  (단, 본원과의 협의 및 불가피한 사정에 따라 연장될 수 있음)

납품기한 : 계약일로부터 5개월 이내

- 계약 체결일로부터 5개월 이내에 장비 납품 및 설치를 완료해야 함.

- 장비 설치 완료 후 2주 이내에 최종 검수를 완료함을 원칙으로 함.
(단, 본원과의 협의 및 불가피한 사정에 따라 연장될 수 있음)

문서 분석

하자보수

1년

장비의 무상보증 기간(Labor & Part)은 최종 검수 완료 승인일로부터 1년으로 한다. 단, Consumable Part 사용자 과실 및 고의로 의한 고장은 제외한다.

• 기점 · 설치·검수 완료일 최종 검수 완료 승인일로부터 기산한다.

  장비의 무상보증 기간(Labor & Part)은 최종 검수 완료 승인일로부터 1년으로 한다.

• 보증 기간 정기점검 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 보증 기간 중 정기점검에 대한 내용은 문서에 없다.
• 소모성·정기정비 부품 · 나눠짐 Consumable Part는 사용자 과실 및 고의로 의한 고장은 제외한다고 적혀 있다.

  단, Consumable Part 사용자 과실 및 고의로 의한 고장은 제외함.

장비의 무상보증 기간(Labor & Part)은 최종 검수 완료 승인일로부터 1년으로 한다. 단, Consumable Part 사용자 과실 및 고의로 의한 고장은 제외함.

문서 분석

공정 장비 종류

식각

플라즈마 기반 건식 식각 장비로 산화막 및 질화막을 선택적으로 식각하는 Oxide Etcher(AMAT Centura II EMAX)다.

▣ 본 장비는 플라즈마 기반의 건식 식각 장비로써 산화막 및 질화막을 선택적으로 식각 하는 장비임.

문서 분석

가격

추정가격

810,000,000원

배정예산

891,000,000원

부가세

81,000,000원

예정가격 방식

단일예가

첨부파일

• HWP · 1. 공고문(DGIST 제2026-148호).hwp · 공고규격서
• PDF · 1. 공고문(DGIST 제2026-148호).pdf · 공고규격서
• HWP · 2. 상세규격서.hwp · 공고규격서
• HWP · 3. 제안요청서.hwp · 공고규격서
• PNG · 4-1. 장비도면.png · 공고규격서
• PNG · 4-2. 장비도면.png · 공고규격서
• HWP · 5. BIDDING SPECIFICATION(양식).hwp · 공고규격서
• HWP · 6. 퇴직자(재직자) 영입현황 확인서 및 수의계약 체결 제한 여부 확인서(양식).hwp · 공고규격서
• HWP · 7. 청렴계약 이행각서(양식).hwp · 공고규격서
• HWP · 8. 공익·부패 신고제도 안내.hwp · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

납품

납품

계약 후 150일
문서: 수행 기간 · 5개월 이내

품명

웨이퍼식각기 (2321118001)

세부품명 등록

아니오

제조물품

아니오
문서: 직접 생산 · 없음

수량

1 대
문서: 일의 분량 · 산화막 식각 장비(Oxide Etcher) 1set

인도조건

설치까지 · 현장설치도
문서: 일의 끝 · 설치·시운전·가동까지

참가 자격 · 제한

지역제한

제한 없음
문서: 지역 조건 · 없음

업종제한

제한 없음
문서: 업종·면허 조합 · 모름
문서: 설치 공사업 면허 · 없음

제출 방법

전자입찰
문서: 입찰 전 절차 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 사전 참가신청·등록

실적경쟁 · PQ

모름
문서: 실적 · 점수에 반영

공동수급

공동수급불허
문서: 공동수급 · 막음

입찰참가 제한

모름

국제입찰

국내입찰

입찰 일정

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 적격자는 아래의 조건을 만족하는 경우를 말한다. - 총점 80점 이상

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 산화막 식각 장비 리퍼비시 공급

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

삼성 유휴설비(AMAT Centura II EMAX Oxide Etcher)를 인수해 세정·오버홀·부품 교체로 리퍼비시한 반도체 건식 식각 장비 1세트를 납품·설치하는 일이 사업의 몸통이다.

• 장비 실사 참여(화성 장안창고)
• 삼성전자 창고에서 설비 직접 운반
• 챔버 세정·표면 재처리 및 오버홀
• 핵심 모듈(ESC Chuck, RF Generator/Matcher, Vacuum Pump, MFC 등) 교체·재생
• Layout 도면·유틸리티 사양 제출
• 클린룸 Fab-in·설치·Sub-Fab 배치
• 출하 전 점검 및 하드웨어 검수
• 공정 성능 검수(Process Acceptance) 및 Recipe 제공
• 장비 설치보고서·공정 결과보고서 제출
• 운용·유지보수·트러블슈팅 매뉴얼 제공
• 사용자·관리자 교육(무상, 추가 2회 이상)
• 무상보증 1년 및 하자보증서 제출
• 연간 운용비용·PM·유지보수 계획 제시

걸리는 것 · 입찰 전 할 일

걸리는 조건

추가 자격 요건

장비 실사 참여가 참가 자격(실사 미참여·확인서 미제출 시 제안서 접수 거부·평가 제외)이고, 나라장터 입찰참가자격 등록도 필수.

실사에 참여하지 않았거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외한다.

장비 실사에 참여하지 않은 업체는 본 입찰에 참여할 수 없음.

장비 보유

장비 실사 참여가 입찰 참가 자격 조건이다. 실사에 참여하지 않거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외한다. 실사 일시는 2026. 10. 06.(화)이다.

본 입찰은 본원이 실시하는 식각 장비 실사에 참여한 업체에 한하여 입찰에 참가할 수 있다.

실사에 참여하지 않았거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외한다.

입찰 전 할 일

• 현장설명회 참석 · 참석 필수

  2026년 10월 6일(화) 오전 10시, 삼성전자 화성 장안 창고에서 장비 실사. 실사 참여하지 않으면 입찰 참여 불가.

  다. 입찰에 참여하고자 하는 업체는 아래 일정에 삼성 유휴설비가 보관된 창고에 방문하여 설비의 상태를 확인하여야 합니다.

  5) 장비 실사에 참여하지 않은 업체는 본 입찰에 참여할 수 없음.

• 입찰 전 따로 할 절차 · 서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 사전 참가신청·등록

  입찰 서류는 우편 또는 직접 방문 제출(마감일 전일 18:00 도착) 또는 전자메일(마감 일시까지). 전자입찰이용자 등록 필수.

  가. 제출방법 : 우편 또는 직접 방문 제출

  나. 전자입찰방식에 의하므로 전자입찰이용자 등록을 필한 업체만이 참여가 가능합니다.

• 샘플·시안 선제출 · 벽

  입찰 전 본원이 실시하는 장비 실사에 참여해야 하며, 실사 참여 여부는 현장 참석자 명부로 확인하고 [서식 5. 장비 실사 참여확인서]를 제안서에 첨부해야 함. 실사에 참여하지 않았거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외함. 실사 소요 비용은 제안업체 부담.

  1) 본 입찰은 본원이 실시하는 식각 장비 실사에 참여한 업체에 한하여 입찰에 참가할 수 있다.

  4) 실사에 참여하지 않았거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외한다.

  5) 장비 실사에 참여하지 않은 업체는 본 입찰에 참여할 수 없음.

더 확인할 것

기성품·주문제작

이럴 때 꼭 봅니다 — 주문제작 · 설계부터 우리가

기성품 + 맞춤

AMAT Centura II EMAX 기존 장비를 리퍼비시(오버홀·신규 교체·재사용 구분)하여 상세규격서 사양에 맞추는 일. 설계부터 새로 하는 개발은 아니고, 여러 제조사 제품을 엮는 시스템 통합도 아니다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품·상용품·주문제작품을 엮어 하나의 시스템으로 조립·통합한다고 적지 않았다.

- 상기 사양과 동등 또는 동등 사양 이상으로 구성하여야 함

실적

감점 · 점수에 반영

납품 실적은 정량평가 20점(최근 5년간 리퍼비시 실적, 해당 모델 및 이에 준하는 장비, 동등수준 유사장비=산화막 식각 장비, 실적증명원 제출 시에만 인정). 참가 자격으로 거르는 실적 요구는 없음.

• 크기 · 10~20점 10건 이상 20점 ~ 3건 미만 10점

  10건 이상

  3건 미만

• 조건 · 유사·동등 이상 실적 인정 해당 모델 및 이에 준하는 장비(동등수준 유사장비: 산화막 식각 장비)에 한함, 최근 5년, 실적증명원 제출 시에만 인정, 제안업체가 책임 수행한 실적

  수행 경험(실적)범위 : 제안업체가 책임 수행한 최근 수행 실적.

최근 5년간 리퍼비시 실적(해당 모델 및 이에 준하는 장비에 한함)

동등수준 유사장비: 산화막 식각 장비

실적증명원 제출 시에만 인정(서식 3)

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

상세규격서가 플랫폼을 Etch Centura II로, 챔버를 EMAX 등으로 특정하고, 제안요청서는 기본규격서의 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하도록 하며, 상세규격서 기타사항은 상기 사양과 동등 또는 동등 사양 이상으로 구성하도록 한다. 동등 입증 시점에 대한 별도 규정은 없다.

• 동등 입증 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 동등 이상 제품의 적합 판정 시점을 정한 문장이 없다.

가. 기본규격서의 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 한다.

- 상기 사양과 동등 또는 동등 사양 이상으로 구성하여야 함

합격선

숫자 기준 있음

공정 성능 검수 기준으로 Etch rate ≥3000Å/min, Profile angle >85°, Selectivity ≥3:1, Within Wafer Uniformity <3% 등 수치를 정했고, 검수는 하드웨어 검수와 공정 성능 검수(Performance Test)를 원칙으로 하며 미달 시 반송한다.

• 따를 표준·지침 · 공정 성능 검수 기준(Uniformity (%) = (max-min) / (2 x mean) x 100, Wafer Edge exclusion 5mm) 공정 성능 검수는 위 방안으로 시행 예정이며, Within wafer는 Wafer Edge exclusion 5mm 기준으로 평가한다.

  ※ Uniformity (%) = (max-min) / (2 x mean) x 100

  ※ Within wafer는 다음의 기준으로 평가한다.
  (Wafer Edge exclusion: 5mm)

- 본원에서 제공하는 8인치 Wafer 시료에 대해 아래의 공정 목표 및
성능평가 기준을 동시에 만족해야 함.

- 검수는 하드웨어 검수 및 공정 성능 검수(Performance Test)를
원칙으로 함. 검수 결과 본원 규격 미달 시 반송(Ship-back) 처리 하며, 이에 발생하는 비용은 계약상대자가 부담해야 함.

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

항목별 규격 대비표 · 카탈로그·제조사 사양서

입찰 사양서(Bidding Specification) 양식에 공고규격과 제안규격을 맞대 적는 표가 있고, 제출서류에 Bidding Specification 1부와 제품 카탈로그 1부(카탈로그가 있는 제품인 경우)가 있다.

• 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제출 마감 뒤 보완 허용·막음 여부를 정한 문장이 없다.

2) Bidding Specification(우리 원 양식) 1부

9) 제품 카탈로그 1부(카탈로그가 있는 제품인 경우)

참가 범위

공개 경쟁

전자입찰, 총액입찰, 일반경쟁, 규격가격동시입찰, 예정가격 이하 최저가 낙찰제로 공고. 조건(입찰참가자격 등록, 장비 실사 참여)을 갖추면 누구나 참여 가능.

입찰방법 : 전자입찰, 총액입찰, 일반경쟁, 규격가격동시입찰, 예정가격 이하 최저가 낙찰제

현장 여건

장비 반입·운반에 발생하는 모든 도비 비용은 공급사가 부담. 서브펩 유틸리티 구성(4,098mm x 3,200mm 이내 설치), 정밀 부품 개별 포장·반입 후 조립, Set-up시 안전수칙 미준수·안전도구 미착용으로 발생하는 모든 안전사고는 공급자 측에서 조치와 책임.

부대공사·현장 준비는 공급사 부담(도비 비용 등). 위험작업은 중량물 운반·반입 등.

• 부대공사·현장 준비 · 우리 부담(대가 안) 도비 비용 등 공급사 부담, 대가에 잡혔는지 명시 없음

  - 장비 반입 빛 운반에 발생하는 모든 도비 비용은 공급사가 부담함.

• 위험작업 · 중량물 장비 반입·운반·설치에 따르는 중량물 취급

- 장비 반입 빛 운반에 발생하는 모든 도비 비용은 공급사가 부담함.

- Set-up시 안전수칙 미준수 및 안전도구 미착용 등으로 발생하는 모든 안전사고는 공급자 측에서 조치와 책임을 다함.

시안 승인

1회

설계나 사양 변경이 필요한 경우 본원 담당자와 사전 협의 후 서면 승인을 득해야 함(승인 1회). 수정 횟수·승인 기간 명시 없음.

• 수정 횟수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 수정 횟수 명시 없음
• 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 승인 기간 명시 없음

2) 승인 및 협의 절차
- 설계나 사양 변경이 필요한 경우 본원 담당자와 사전 협의 후 서면 승인을 득해야 하며, 미승인 변경 발생 시 장비 납품 및 수령을
거부할 수 있음.

공장 실사·입회

계약 전 실사 · 제작 중 검사·입회

입찰 전 본원이 실시하는 장비 실사(계약 전 실사)와 장비 출하/납품 전 본원 담당자가 제작사를 방문하여 실제 장비 구성·HW 동작 상태·사양 준수 여부를 확인(제작 중 검사·입회).

1) 본 입찰은 본원이 실시하는 식각 장비 실사에 참여한 업체에 한하여 입찰에 참가할 수 있다.

3) 출하 전 점검
- 장비 출하/납품 전 본원 담당자가 제작사를 방문하여 실제 장비 구성, 하드웨어(HW) 동작 상태 및 사양 준수 여부를 확인해야 함.

교육·기술이전

2회 이상

장비 Set-up 완료 후 무상보증 기간 내 본원(DGIST) 지정 장소에서 사용자 교육을 실시해야 하며, 무상보증 기간 내 사용자의 원활한 장비 운용을 위해 추가 교육을 요청할 경우 계약 대상자는 무상으로 최소 2회 이상의 추가 교육을 지원해야 한다. 장비의 자가 유지보수가 가능하도록 관리자 교육을 포함하여 실시해야 하며, 리퍼비시 공급 업체는 관련 기술 매뉴얼을 반드시 제공해야 한다.

• 무상 · 우리 부담(대가 안) 본 규격서에 명시된 모든 교육은 무상으로 진행해야 한다.

  본 규격서에 명시된 모든 교육은 무상으로 진행해야 함.

무상보증 기간 내 사용자의 원활한 장비 운용을 위해 추가 교육을 요청할 경우, 계약 대상자는 무상으로 최소 2회 이상의 추가 교육을 지원해야 함.

단종 뒤 부품 공급

10년 이상

Vacuum pump는 향후 10년 이상 수리, 유지 관리에 문제가 없는 제품이어야 한다.

Vacuum pump는 향후 10년 이상 수리, 유지 관리에 문제가 없는 제품이어야 함

A/S 조직·인력

감점 · 점수에 반영

기술지원 및 수리인력 보유상태가 정량평가 15점 항목이다. 사후 유지 관리(15점) 항목에서 CS 대응 및 인력 운영, 유지보수를 위한 부품 수급의 용이성(유지보수용 spare part 보유 현황, 수급 용이한 부품 사용)을 평가한다.

• 인원 · 4명 이상 기술 및 수리인력(설계, 제어, 제조, 수리인력) 경력 7년 4명 이상 또는 1년 24명 이상이면 15점이다.

  1) 기술 및 수리인력(설계, 제어, 제조, 수리인력 – 경력 7년 4명 이상 또는 1년 24명 이상)

• 크기 · 7~15점 기술지원 및 수리인력 보유상태 배점은 15점부터 7점까지이다.

  1-1) 기술지원 및 수리인력 보유상태 : 15점

• 대상 · A/S·기술 인력 수 · 예비품 보유 기술지원 및 수리인력 보유상태와 유지보수를 위한 부품 수급의 용이성(유지보수용 spare part 보유 현황)을 평가한다.

  1-1) 기술지원 및 수리인력 보유상태 : 15점

  - 유지보수를 위한 부품 수급의 용이성 (유지보수용 spare part 보유 현황, 수급 용이한 부품 사용)

1-1) 기술지원 및 수리인력 보유상태 : 15점

사후 유지 관리
(15점)

큰 배점 항목

납품 실적 20점, Hardware 상세규격서 충족도 및 적합성 20점, 공정 성능(결과) 충족도 20점.

기술능력평가 100점 중 객관적 평가 40점(기술인력 15, 납품실적 20, 경영상태 5), 주관적 평가 60점.

1-2) 납품 실적 : 20점

Hardware :상세규격서 충족도 및 적합성
(20점)

공정 성능(결과) 충족도
(20점)

무상 추가 제공

감점 · 점수에 반영

사후 유지 관리 15점 중 Warranty 기간 5% 배점. 최소 보증 기간·범위 명시 요구.

• 요구 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표에 최소 보증 기간 명시 요구만 있고 구체 기간 없음.
• 크기 · 7~15점
• 대상 · 유지보수·사후지원 사후 유지 관리 항목.

  사후 유지 관리
  (15점)

사후 유지 관리
(15점)

- Warranty 기간

(ex. 최소 보증 기간 및 범위 명시)

평가 자리 발표

필요할 때만 발표

제안서 및 설명회(필요시)를 통한 심사. 규격 심사 시 발표·의견진술·추가자료 요청 가능.

• 빠지면 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 발표 불참 시 처리 규정 없음.

- 심사방법 : 업체에서 제출한 제안서 및 설명회(필요시)를 통한 심사(평가기준에 의거 종합 평점 산정)

※ 규격 심사는 참가자가 제출한 규격의 적합성 여부에 대해 우리 원 수요부서에서 실시하며, 필요한 경우 제출자의 발표, 의견진술, 기타 추가자료 등을 요청할 수 있습니다.

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

8inch

8인치 웨이퍼 기판 25매 순차 공정, 완전 자동화 공정이 가능해야 한다.

▣ 시스템은 8인치 웨이퍼 기판 25매가 순차적으로 공정 진행이
가능해야 함.

- Wafer Size : 8 inch

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

10/01(목)

공고번호

R26BK01753898-000

참조번호

DGIST 제2026-148호

공고기관

대구경북과학기술원

수요기관

대구경북과학기술원

계약방법

일반경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

단일예가

추정가격

810,000,000원

배정예산

891,000,000원

사전규격번호

R26BD00277035

재공고

아니오

출처

나라장터

문서 분석 전체

이 분야에서 갈리는 것 · 우리가 만드는 공정 방식·기판 크기인가, 주문제작을 150일 안에 끝낼 수 있나, 기술평가 85점을 넘나, 3년 품질보증을 감당하나에서 갈린다.

질문 87개 · 꼭 5 · 좋음 20 · 안 봐도 됨 62

주제 · 참가 자격 9개

업종·면허 조합

모름 · 문서로 확인 안 됨

업종 코드 사이의 관계(모두/하나)를 정한 문장이 없고, 코드 밖 자격으로는 나라장터 입찰참가자격 등록, 시행령 제12조 자격요건, 부당업체 아님, 장비 실사 참여(참석 명부·확인서)가 있다.

• 코드 밖 자격 · 벽 · 못 맞추면 탈락 장비 실사 참여가 참가 자격(실사 미참여·확인서 미제출 시 제안서 접수 거부·평가 제외)이고, 나라장터 입찰참가자격 등록도 필수.

  실사에 참여하지 않았거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외한다.

  장비 실사에 참여하지 않은 업체는 본 입찰에 참여할 수 없음.

국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정에 의하여 반드시 입찰(개찰)일 전일까지 나라장터시스템에 입찰참가자격을 등록한 자

『국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령』제12조 규정에 의한 입찰 참가 자격요건을 갖춘 자

본 입찰은 본원이 실시하는 식각 장비 실사에 참여한 업체에 한하여 입찰에 참가할 수 있다.

지역 조건

없음

본점 지역 제한 외에 사업장·인력 소재·지역 가점 등 지역을 묶는 조건이 문서에 없다. 실사 장소(경기도 화성시)는 지역 제한이 아니다.

• 크기 · - 지역 관련 배점 없음
• 대상 · - 해당 없음

실적

감점 · 점수에 반영

납품 실적은 정량평가 20점(최근 5년간 리퍼비시 실적, 해당 모델 및 이에 준하는 장비, 동등수준 유사장비=산화막 식각 장비, 실적증명원 제출 시에만 인정). 참가 자격으로 거르는 실적 요구는 없음.

• 크기 · 10~20점 10건 이상 20점 ~ 3건 미만 10점

  10건 이상

  3건 미만

• 조건 · 유사·동등 이상 실적 인정 해당 모델 및 이에 준하는 장비(동등수준 유사장비: 산화막 식각 장비)에 한함, 최근 5년, 실적증명원 제출 시에만 인정, 제안업체가 책임 수행한 실적

  수행 경험(실적)범위 : 제안업체가 책임 수행한 최근 수행 실적.

최근 5년간 리퍼비시 실적(해당 모델 및 이에 준하는 장비에 한함)

동등수준 유사장비: 산화막 식각 장비

실적증명원 제출 시에만 인정(서식 3)

업력

없음

업력(설립·개업 후 경과 햇수)을 참가 조건이나 점수로 보는 문장이 없다.

• 요구 업력 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 업력 요구 없음
• 크기 · - 업력 배점 없음

공동수급

막음

공동수급 불허. 상세규격서에도 공동 도급 불허.

• 자격을 나눠 채우기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 공동수급 자체가 불허

라. 공동수급은 불허합니다.

1)) 공동 도급 불허

회사 규모·신분

제한 없음

규모·신분으로 참가 업체를 좁히는 제한이 문서에 없다.

안전보건수준평가

없음

안전보건수준평가 대상이라는 문장이 없다.

하도급

모름 · 문서로 확인 안 됨

하도급 허용·금지를 적은 문장이 없다(공동수급 불허만 있음).

• 하도급 한도 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 하도급 한도 없음

직접 생산

없음

직접생산확인·제조 등록·OEM 금지·한 제조사 제품 조건이 문서에 없다. 리퍼비시 장비 구매로 제조사·모델명은 입찰 사양서에 기재하는 항목일 뿐이다.

• 참가 등록 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제조/공급 등록 구분 없음
• 직생 범위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 직생 공고 아님
• 대상 · - 해당 없음

주제 · 제품 규격·인증 9개

지정 제품·공법

지정 — 동등 이상 허용

상세규격서가 플랫폼을 Etch Centura II로, 챔버를 EMAX 등으로 특정하고, 제안요청서는 기본규격서의 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하도록 하며, 상세규격서 기타사항은 상기 사양과 동등 또는 동등 사양 이상으로 구성하도록 한다. 동등 입증 시점에 대한 별도 규정은 없다.

• 동등 입증 때 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 동등 이상 제품의 적합 판정 시점을 정한 문장이 없다.

가. 기본규격서의 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 한다.

- 상기 사양과 동등 또는 동등 사양 이상으로 구성하여야 함

제조사 확약서

없음

제조사·공식 공급원에게서 받아야 하는 공급 확약서·기술지원 확약서·대리점 지위·정품보증서·수입신고필증 같은 서류 요구가 문서에 없다. 부품 교체 리스트에 제조사/Part No./Serial No./Calibration 성적서 제출이 있으나 이는 제조사 확약 서류가 아니다.

• 대상 · - 해당 서류 없음
• 조건 · 없음

제품 인증

의무 · 계약 뒤 지킬 일

부품 교체 및 오버홀 상세 리스트에 제조사/Part No./Serial No./Calibration 성적서를 제출하도록 하고, 핵심 부품 성능 유지 및 캘리브레이션 방안으로 성능 성적서(Calibration) 제공 계획을 평가한다. 인증·시험성적서 미비 시 참가 제한이나 감점 규정은 없다.

• 크기 · 11~20점 공정 성능(결과) 충족도 항목의 핵심 부품 성능 유지 및 캘리브레이션 방안 배점
• 대상 · Calibration 성적서 부품 교체·오버홀 상세 리스트에 제조사/Part No./Serial No./Calibration 성적서 제출

  **[제조사 / Part No. / Serial No. / Calibration 성적서]를 제출**

• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 성적서 갈음·인정 범위를 정한 문장이 없다.

**[제조사 / Part No. / Serial No. / Calibration 성적서]를 제출**

- 핵심 부품 성능 유지 및 캘리브레이션 방안
(ex. 리퍼비시 대상 장비의 주요 파츠(MFC, RF, 펌프 등) 교체 내역 및 성능 성적서(Calibration)
제공 계획)

원산지(국산)

모름 · 문서로 확인 안 됨

원산지 제한·국산 요구·수입 허용 여부를 정한 문장이 문서에 없다.

합격선

숫자 기준 있음

공정 성능 검수 기준으로 Etch rate ≥3000Å/min, Profile angle >85°, Selectivity ≥3:1, Within Wafer Uniformity <3% 등 수치를 정했고, 검수는 하드웨어 검수와 공정 성능 검수(Performance Test)를 원칙으로 하며 미달 시 반송한다.

• 따를 표준·지침 · 공정 성능 검수 기준(Uniformity (%) = (max-min) / (2 x mean) x 100, Wafer Edge exclusion 5mm) 공정 성능 검수는 위 방안으로 시행 예정이며, Within wafer는 Wafer Edge exclusion 5mm 기준으로 평가한다.

  ※ Uniformity (%) = (max-min) / (2 x mean) x 100

  ※ Within wafer는 다음의 기준으로 평가한다.
  (Wafer Edge exclusion: 5mm)

- 본원에서 제공하는 8인치 Wafer 시료에 대해 아래의 공정 목표 및
성능평가 기준을 동시에 만족해야 함.

- 검수는 하드웨어 검수 및 공정 성능 검수(Performance Test)를
원칙으로 함. 검수 결과 본원 규격 미달 시 반송(Ship-back) 처리 하며, 이에 발생하는 비용은 계약상대자가 부담해야 함.

등록 제품

없음

우수제품·혁신제품·발주처 규격심의·사전등록·특정 기관 인증·플랫폼 등록·가격집 등재 목록에 올라 있어야 한다는 요구가 없다. 납품 실적은 제품(모델) 자체가 아니라 제안업체의 실적이다.

• 대상 · - 해당 목록·지정 없음

신품·제조 시기

없음

신품·최근 생산품·유효기간·단종 예정 모델 금지 조건이 없다. 리퍼비시 장비로 기존 장비를 재생하는 구매다.

• 제조 뒤 경과 상한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨
• 남은 유효기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨

규격·기술 심사

점수와 통과선

제안서 평가는 기술능력평가 100% 비중으로 하고, 적격자는 총점 80점 이상을 만족하는 경우를 말한다. 규격 심사를 통과한 자에 한해 예정가격 이하 최저가 투찰한 자가 낙찰된다.

• 통과선 · 80점 이상 적격자는 총점 80점 이상

  - 총점 80점 이상

• 필수 항목·과락 · 아니다 필수 항목 미달이나 부문별 과락으로 총점과 상관없이 떨어진다는 규정이 없다.

라. 적격자는 아래의 조건을 만족하는 경우를 말한다.
- 총점 80점 이상

가. 규격 심사를 통과한 자에 한해 예정가격 이하로 최저가 투찰한 자가 낙찰되며

입찰 때 넣을 제품이 규격을 맞춘다는 것을 무…

항목별 규격 대비표 · 카탈로그·제조사 사양서

입찰 사양서(Bidding Specification) 양식에 공고규격과 제안규격을 맞대 적는 표가 있고, 제출서류에 Bidding Specification 1부와 제품 카탈로그 1부(카탈로그가 있는 제품인 경우)가 있다.

• 마감 뒤 보완 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 제출 마감 뒤 보완 허용·막음 여부를 정한 문장이 없다.

2) Bidding Specification(우리 원 양식) 1부

9) 제품 카탈로그 1부(카탈로그가 있는 제품인 경우)

주제 · 입찰 절차 9개

참가 범위

공개 경쟁

전자입찰, 총액입찰, 일반경쟁, 규격가격동시입찰, 예정가격 이하 최저가 낙찰제로 공고. 조건(입찰참가자격 등록, 장비 실사 참여)을 갖추면 누구나 참여 가능.

입찰방법 : 전자입찰, 총액입찰, 일반경쟁, 규격가격동시입찰, 예정가격 이하 최저가 낙찰제

여러 과제로 나뉨

나뉘지 않음

단일 입찰(1set 등 단일 품목)로 과제·권역·입찰번호로 나뉘지 않음.

• 여러 개 · 해당 없음 나뉘지 않아 해당 없음

입찰 전 절차

서류·입찰서 직접 제출(방문·우편·팩스·이메일) · 사전 참가신청·등록

입찰 서류는 우편 또는 직접 방문 제출(마감일 전일 18:00 도착) 또는 전자메일(마감 일시까지). 전자입찰이용자 등록 필수.

가. 제출방법 : 우편 또는 직접 방문 제출

나. 전자입찰방식에 의하므로 전자입찰이용자 등록을 필한 업체만이 참여가 가능합니다.

현장설명회

참석 필수

2026년 10월 6일(화) 오전 10시, 삼성전자 화성 장안 창고에서 장비 실사. 실사 참여하지 않으면 입찰 참여 불가.

다. 입찰에 참여하고자 하는 업체는 아래 일정에 삼성 유휴설비가 보관된 창고에 방문하여 설비의 상태를 확인하여야 합니다.

5) 장비 실사에 참여하지 않은 업체는 본 입찰에 참여할 수 없음.

정정·재공고 변경

해당 없음(첫 공고)

재공고·정정 공고가 아님.

낙찰 업체 수

한 업체가 전량

공동수급 불허, 분할 납품 불허. 단일 업체가 전량 납품.

• 최소 응찰 물량 · 해당 없음 나눠 낙찰하지 않아 해당 없음

1)) 공동 도급 불허

2)) 분할 납품 불허

MAS 2단계경쟁

아니다

일반경쟁 전자입찰로 MAS·종합쇼핑몰 2단계경쟁 구조가 아님.

입찰보증금

면제·지급각서로 갈음

입찰보증금은 전자입찰서의 지급각서로 갈음. 계약보증금 계약금액 10%, 하자보증금 계약금액 5%.

• 입찰보증금 비율 · 해당 없음 지급각서로 갈음하여 실제 납부 없음
• 계약·하자 보증 비율 · 계약보증금 10% · 하자보증금 5% 계약보증금 계약금액 10%, 하자보증금 계약금액 5%

  다. 낙찰자는 계약 체결 시 계약금액의 10%, 보증기간을 계약일로부터 계약종료일까지로 하는 계약보증서를 제출하여야 합니다.

  라. 최종 검수 후 계약금액의 5%, 보증기간을 1년으로 하는 하자보증서를 제출하여야 합니다.

라. 입찰 보증금은 전자입찰서의 입찰보증금 지급각서로 갈음하며, 낙찰자가 소정의 기일까지 정당한 사유 없이 계약을 체결하지 않을시 에는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제38조에 의거해 동 보증금을 낙찰자에게 청구합니다.

다. 낙찰자는 계약 체결 시 계약금액의 10%, 보증기간을 계약일로부터 계약종료일까지로 하는 계약보증서를 제출하여야 합니다.

라. 최종 검수 후 계약금액의 5%, 보증기간을 1년으로 하는 하자보증서를 제출하여야 합니다.

문서끼리 다른 곳

아니다

문서 간 어긋난 값 없음.

주제 · 과업 범위 11개

다른 업 섞임

섞이지 않음

리퍼비시(오버홀·부품 교체·설치·검수) 단일 품목이며 다른 면허·공종·품목의 일이 없다. 공동 도급 불허, 분할 납품 불허.

1)) 공동 도급 불허

2)) 분할 납품 불허

하는 일

AMAT Centura II EMAX 산화막 식각 장비(Oxide Etcher) 1set를 리퍼비시(오버홀·부품 교체)하여 8인치 웨이퍼 25매 완전 자동 공정이 가능하도록 납품·설치·시운전하고, 공정 성능 검수(식각속도 ≥3000Å/min, Uniformity <3% 등)를 통과시켜 정상 가동시키는 일.

삼성전자 창고 보관 설비를 직접 운반해 Refurbish 진행.

▣ 본 장비는 플라즈마 기반의 건식 식각 장비로써 산화막 및 질화막을 선택적으로 식각 하는 장비임.

6) 입찰이 완료된 후 계약된 업체는 삼성전자 창고에 보관된 설비를 직접 운반하여 Refurbish 진행하여야 함.

기존 시스템과 이어짐

기존 제조사 제품에 묶임

Platform Type : Etch Centura II, EMAX Chamber 등 Applied Materials(AMAT) Centura II EMAX Oxide Etcher 1set로 제조사·모델이 지정됨. 기존 시스템과의 연동·연속 사업·연동 SW 개발·상대편 비용 부담은 없음.

대상장비 | Applied Materials(AMAT) Centura II EMAX Oxide Etcher 1set (상세규격서 참조)

1) Platform Type : Etch Centura II

설치 공사업 면허

없음

전기·정보통신·수도·소방 등 공사업 면허를 참가자격이나 시공 조건으로 요구하지 않는다. 전기공급 필수 사양(208V 3상 4선식)은 장비 요구 사양일 뿐이다.

• 대상 · - 공사업 면허 대상으로 적힌 공종이 없다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 면허 관련 하도급·공동수급·직접시공 조건이 적혀 있지 않다.

일의 끝

설치·시운전·가동까지

패키징·운반·Fab-in·지정 위치 설치 및 정상 가동을 위한 조립·설치, 1차 검수(하드웨어) 후 즉시 Process Test 실시, 공정 최적화(Recipe 제공·현장 튜닝)까지 우리 몫.

• 시험운영 기간 · 정해지지 않음 장비 설치 완료 후 2주 이내 최종 검수 완료가 원칙이나, 시험운영·안정화 기간은 따로 정해지지 않았다.

  - 장비 설치 완료 후 2주 이내에 최종 검수를 완료함을 원칙으로 함.

4) 운반 및 설치

- 계약상대자는 본원과 협의된 일정에 지정 장소로 장비를 안전하게 패키징, 운반, Fab-in, 지정 위치 설치 및 정상 가동을 위한 모든 구성품을 조립·설치해야 함.

- 최종 검수 (Process Acceptance)

기성품·주문제작

기성품 + 맞춤

AMAT Centura II EMAX 기존 장비를 리퍼비시(오버홀·신규 교체·재사용 구분)하여 상세규격서 사양에 맞추는 일. 설계부터 새로 하는 개발은 아니고, 여러 제조사 제품을 엮는 시스템 통합도 아니다.

• 시스템 통합 · 아니다 여러 제조사 제품·상용품·주문제작품을 엮어 하나의 시스템으로 조립·통합한다고 적지 않았다.

- 상기 사양과 동등 또는 동등 사양 이상으로 구성하여야 함

함께 넘길 물품

해당 없음

본품과 함께 우리 돈으로 넘겨주거나 비치해야 하는 별도 물품(예비품·전용 공구·교재 등)이 품목·수량으로 정해진 항목이 없다.

철거·폐기

없음

기존 장비·시설의 철거·이설·폐기·반납이나 다 쓴 물품·포장재 회수를 우리 몫으로 정한 항목이 없다.

부가 작업

장비 Set-up 완료 후 무상보증 기간 내 사용자·관리자 교육(추가 교육 최소 2회 이상 무상)과 기술 매뉴얼 제공, 장비 설치보고서·공정 결과보고서 제출, 계약 후 1주일 이내 시스템 구성품 리스트·납품 일정·기술지원 및 담당 엔지니어 현황표 제출.

검수 시 장비 사용 매뉴얼 파일 1부·사본 2부, 공정결과 보고서 2부 제출.

- 장비 Set-up 완료 후 무상보증 기간 내 본원(DGIST) 지정 장소에서 사용자 교육을 실시해야 함.

- 무상보증 기간 내 사용자의 원활한 장비 운용을 위해 추가 교육을 요청할 경우, 계약 대상자는 무상으로 최소 2회 이상의 추가 교육을 지원해야 함.

디자인 몫

해당 없음

디자인·편집·원고 작업이 있는 사업이 아니다.

묶인 품목 수

1종

산화막 식각 장비(Oxide Etcher) 1set 단일 품목.

• 제조사 수 · 1곳 Applied Materials(AMAT) Centura II EMAX Oxide Etcher 1set로 제조사가 지정됨.

  대상장비 | Applied Materials(AMAT) Centura II EMAX Oxide Etcher 1set (상세규격서 참조)

품 명 | | 국 문 : | 산화막 식각 장비

주제 · 납품 일정·현장 11개

일의 분량

산화막 식각 장비(Oxide Etcher) 1set

예산금액 891,000,000원(부가가치세 포함). 상세규격서 수량란에 1set로 표기됨.

• 열린 분량 · 정해짐 1set로 확정

  1set

예산금액 : 금891,000,000원(부가가치세 포함)

1set

수행 기간

5개월 이내

계약 체결일로부터 5개월 이내에 장비 납품 및 설치 완료. 장비 설치 완료 후 2주 이내 최종 검수 완료 원칙(협의·불가피한 사정에 따라 연장 가능).

• 옮길 수 없는 끝 날짜 · 없음 연장 가능하다고 적혀 있음

  (단, 본원과의 협의 및 불가피한 사정에 따라 연장될 수 있음)

납품기한 : 계약일로부터 5개월 이내

- 계약 체결일로부터 5개월 이내에 장비 납품 및 설치를 완료해야 함.

- 장비 설치 완료 후 2주 이내에 최종 검수를 완료함을 원칙으로 함.
(단, 본원과의 협의 및 불가피한 사정에 따라 연장될 수 있음)

현장·납품지

1곳

납품장소는 우리 원 지정장소. 장비는 삼성전자 화성 장안 창고(경기도 화성시 장안면 어은리40-1, STLS 1층)에 보관된 설비를 계약업체가 직접 운반하여 리퍼비시 진행.

• 열린 분량 · 정해짐 납품장소는 우리 원 지정장소

  납품장소 : 우리 원 지정장소

• 범위 · 없음(국내 보통 현장) 국내(대구·화성)이며 해외·섬·개별 배송 없음

납품장소 : 우리 원 지정장소

입찰이 완료된 후 계약된 업체는 삼성전자 창고에 보관된 설비를 직접 운반하여 Refurbish 진행하여야 함.

현장 여건

장비 반입·운반에 발생하는 모든 도비 비용은 공급사가 부담. 서브펩 유틸리티 구성(4,098mm x 3,200mm 이내 설치), 정밀 부품 개별 포장·반입 후 조립, Set-up시 안전수칙 미준수·안전도구 미착용으로 발생하는 모든 안전사고는 공급자 측에서 조치와 책임.

부대공사·현장 준비는 공급사 부담(도비 비용 등). 위험작업은 중량물 운반·반입 등.

• 부대공사·현장 준비 · 우리 부담(대가 안) 도비 비용 등 공급사 부담, 대가에 잡혔는지 명시 없음

  - 장비 반입 빛 운반에 발생하는 모든 도비 비용은 공급사가 부담함.

• 위험작업 · 중량물 장비 반입·운반·설치에 따르는 중량물 취급

- 장비 반입 빛 운반에 발생하는 모든 도비 비용은 공급사가 부담함.

- Set-up시 안전수칙 미준수 및 안전도구 미착용 등으로 발생하는 모든 안전사고는 공급자 측에서 조치와 책임을 다함.

작업 시기

해당 없음

일할 수 있는 때를 묶는 제약이 문서에 없음

다른 일정에 묶임

아니다

다른 공사·사업 일정에 묶였다는 문구 없음

나눠 납품

한 번에 전량

납품기한 하나만 적혀 있고 나눠 내라는 말이 없음. 상세규격서에 분할 납품 불허 명시.

• 분할납품 · 막음 상세규격서 입찰 및 납품 형태에 분할 납품 불허

  2)) 분할 납품 불허

2)) 분할 납품 불허

보관 조건

없음

냉장·냉동·차광·마약류·멸균·온습도·생물·무진동 등 보관·운송 조건 요구 없음

• 대상 · - 해당 없음

주문 뒤 납품 시한

정해지지 않음

주문(납품요구) 후 며칠 안에 대라는 시한이 문서에 없음. 납품기한은 계약일로부터 5개월 이내로만 정함.

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 주문 시한 기점이 문서에 없음

포장·표시

운반 및 클린룸 반입 시 파손 우려가 있는 정밀 부품은 개별 포장/내장하거나 반입 후 조립할 수 있도록 조치해야 함. 장비를 안전하게 패키징하여 지정 장소로 운반.

포장 관련 요구만 있고 라벨·표시 요구는 없음

- 운반 및 클린룸 반입 시 파손 우려가 있는 정밀 부품은 개별 포장 /내장하거나 반입 후 조립할 수 있도록 조치해야 함.

- 계약상대자는 본원과 협의된 일정에 지정 장소로 장비를 안전하게 패키징, 운반, Fab-in, 지정 위치 설치 및 정상 가동을 위한 모든 구성품을 조립·설치해야 함.

보안 조치

의무 · 계약 뒤 지킬 일

제안업체는 취급·습득한 정보에 대해 과업수행기간은 물론 그 이후라도 정보유출 등 보안사항을 준수하고 보안사고에 대한 민·형사상 모든 책임을 짐. 일반 보안 문구 수준.

• 크기 · -
• 대상 · - 일반 보안 문구만 있고 출입·반입·망·자료·개인정보 조치 없음

사. 제안업체는 동 사업과 관련하여 취급 또는 습득한 정보에 대하여 과업수행기간은 물론 그 이후라도 정보유출 등에 관한 보안사항을 준수하여야 하며, 보안사고에 대한 민․형사상의 모든 책임을 진다.

주제 · 견본·검사·검수 7개

검수

발주처 검수만

1차 검수(Hardware Acceptance)와 최종 검수(Process Acceptance) 모두 본원(대구경북과학기술원)이 수행하며, 최종 승인 서명일을 검수 완료일로 함. 외부 기관 심의·승인·검사·감리·성과심사는 없음.

- 1차 검수 (Hardware Acceptance)
장비 설치 및 시운전 완료 후 계약상대자는 '장비 설치보고서'를
제출하고 하드웨어(HW) 검수를 완료하여야 함.
- 최종 검수 (Process Acceptance)
1차 검수 완료 후 즉시 Process Test를 실시하여 규정된 공정 성능을
확보하고 '공정 결과 보고서'를 제출하여 최종 승인을 득해야 함.

- 장비의 최종 Set-up 및 검수 완료일은 본원의 최종 승인 서명일을 기준으로 함.

샘플·시안 선제출

벽 · 못 맞추면 탈락

입찰 전 본원이 실시하는 장비 실사에 참여해야 하며, 실사 참여 여부는 현장 참석자 명부로 확인하고 [서식 5. 장비 실사 참여확인서]를 제안서에 첨부해야 함. 실사에 참여하지 않았거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외함. 실사 소요 비용은 제안업체 부담.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표에 실사 관련 배점 없음
• 대상 · 기타 장비 실사 참여(입찰 전 대상 장비 상태 확인)

  4) 입찰에 참여하고자 하는 업체는 대상 장비의 정확한 리퍼비시 범위를 확인하기 위해 입찰공고에 명시된 일시에 장비 보관 장소를 방문하여 장비 상태를 확인하여야 함.

1) 본 입찰은 본원이 실시하는 식각 장비 실사에 참여한 업체에 한하여 입찰에 참가할 수 있다.

4) 실사에 참여하지 않았거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외한다.

5) 장비 실사에 참여하지 않은 업체는 본 입찰에 참여할 수 없음.

시험·검사

우리 부담(대가 안)

검수는 하드웨어 검수 및 공정 성능 검수(Performance Test)를 원칙으로 하며, 검수 결과 본원 규격 미달 시 반송(Ship-back) 처리하고 이에 발생하는 비용은 계약상대자가 부담. 시험 단위·장소는 명시 없음.

• 시험 단위 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험 단위 명시 없음
• 시험 장소 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 시험 장소 명시 없음

- 검수는 하드웨어 검수 및 공정 성능 검수(Performance Test)를
원칙으로 함. 검수 결과 본원 규격 미달 시 반송(Ship-back) 처리 하며, 이에 발생하는 비용은 계약상대자가 부담해야 함.

시안 승인

1회

설계나 사양 변경이 필요한 경우 본원 담당자와 사전 협의 후 서면 승인을 득해야 함(승인 1회). 수정 횟수·승인 기간 명시 없음.

• 수정 횟수 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 수정 횟수 명시 없음
• 승인 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 승인 기간 명시 없음

2) 승인 및 협의 절차
- 설계나 사양 변경이 필요한 경우 본원 담당자와 사전 협의 후 서면 승인을 득해야 하며, 미승인 변경 발생 시 장비 납품 및 수령을
거부할 수 있음.

공장 실사·입회

계약 전 실사 · 제작 중 검사·입회

입찰 전 본원이 실시하는 장비 실사(계약 전 실사)와 장비 출하/납품 전 본원 담당자가 제작사를 방문하여 실제 장비 구성·HW 동작 상태·사양 준수 여부를 확인(제작 중 검사·입회).

1) 본 입찰은 본원이 실시하는 식각 장비 실사에 참여한 업체에 한하여 입찰에 참가할 수 있다.

3) 출하 전 점검
- 장비 출하/납품 전 본원 담당자가 제작사를 방문하여 실제 장비 구성, 하드웨어(HW) 동작 상태 및 사양 준수 여부를 확인해야 함.

이 공고가 군수품 조달인가 — 국방부·각 군이…

아니다

수요기관은 대구경북과학기술원이며, 군수품 특수조건·국방규격·재고번호·국방 표지·군 검사·부대 출입 보안 등 군 전용 절차가 없음.

군수품이면 납품 검사·검수는 누가 하나 — 수…

해당 없음

군수품 조달이 아님

• 품질보증형태 · 해당 없음 군수품 조달이 아님

주제 · 인력·A/S·하자 대응 8개

장비·시설 보유

벽 · 못 맞추면 탈락

장비 실사 참여가 입찰 참가 자격 조건이다. 실사에 참여하지 않거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외한다. 실사 일시는 2026. 10. 06.(화)이다.

• 갖출 때 · 입찰 때(공고일·마감일 기준) 실사 참여 여부는 현장 참석자 명부로 확인하며, 실사에 참여한 업체는 [서식 5. 장비 실사 참여확인서]를 제안서에 첨부하여야 한다.

  실사 참여 여부는 현장 참석자 명부로 확인하며, 실사에 참여한 업체는 [서식 5. 장비 실사 참여확인서]를 제안서에 첨부하여야 한다.

• 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표에 장비·시설 보유에 대한 점수 차는 없다.
• 조건 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 임차(빌린 것) 인정 여부에 대한 내용은 문서에 없다.

본 입찰은 본원이 실시하는 식각 장비 실사에 참여한 업체에 한하여 입찰에 참가할 수 있다.

실사에 참여하지 않았거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외한다.

인력 자격

감점 · 점수에 반영

기술지원 및 수리인력 보유상태가 정량평가 15점 항목이다. 경력 7년 4명 이상 또는 1년 24명 이상이면 15점, 경력 7년 3명 이상 또는 1년 18명 이상이면 13점, 경력 7년 2명 이상 또는 1년 12명 이상이면 11점, 경력 7년 1명 이상 또는 1년 6명 이상이면 7점이다. 해당 분야 경력 증빙자료 제출 시에만 인정되며, 국민건강보험공단 사업장가입자 명부(최근 6개월 이상 계속 가입자 한정)를 첨부해야 한다.

• 크기 · 7~15점 기술지원 및 수리인력 보유상태 배점은 15점부터 7점까지이다.

  1-1) 기술지원 및 수리인력 보유상태 : 15점

• 대상 · 기타 기술 및 수리인력(설계, 제어, 제조, 수리인력)의 보유상태를 평가한다.

  1) 기술 및 수리인력(설계, 제어, 제조, 수리인력 – 경력 7년 4명 이상 또는 1년 24명 이상)

1-1) 기술지원 및 수리인력 보유상태 : 15점

1) 기술 및 수리인력(설계, 제어, 제조, 수리인력 – 경력 7년 4명 이상 또는 1년 24명 이상)

출동 시한

없음

고장·장애·긴급 호출 시 정해진 시간 안에 현장에 가야 한다는 도착 시한에 대한 내용은 문서에 없다. 다만 제작사는 장비의 문제가 발생할 시 사용자가 요청하는 시간내에 최대한 빠르게 대응 가능해야 한다고만 적혀 있다.

• 도착 시한 · - 도착 시한에 대한 구체적인 시간은 문서에 없다.

처리 시한

-

요청·장애·결과 통보를 처리해야 하는 구체적인 시한은 문서에 없다. 다만 제작사는 장비의 문제가 발생할 시 사용자가 요청하는 시간내에 최대한 빠르게 대응 가능해야 한다고 적혀 있다.

• 기점 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 처리 시한의 기점에 대한 내용은 문서에 없다.

교육·기술이전

2회 이상

장비 Set-up 완료 후 무상보증 기간 내 본원(DGIST) 지정 장소에서 사용자 교육을 실시해야 하며, 무상보증 기간 내 사용자의 원활한 장비 운용을 위해 추가 교육을 요청할 경우 계약 대상자는 무상으로 최소 2회 이상의 추가 교육을 지원해야 한다. 장비의 자가 유지보수가 가능하도록 관리자 교육을 포함하여 실시해야 하며, 리퍼비시 공급 업체는 관련 기술 매뉴얼을 반드시 제공해야 한다.

• 무상 · 우리 부담(대가 안) 본 규격서에 명시된 모든 교육은 무상으로 진행해야 한다.

  본 규격서에 명시된 모든 교육은 무상으로 진행해야 함.

무상보증 기간 내 사용자의 원활한 장비 운용을 위해 추가 교육을 요청할 경우, 계약 대상자는 무상으로 최소 2회 이상의 추가 교육을 지원해야 함.

하자보수

1년

장비의 무상보증 기간(Labor & Part)은 최종 검수 완료 승인일로부터 1년으로 한다. 단, Consumable Part 사용자 과실 및 고의로 의한 고장은 제외한다.

• 기점 · 설치·검수 완료일 최종 검수 완료 승인일로부터 기산한다.

  장비의 무상보증 기간(Labor & Part)은 최종 검수 완료 승인일로부터 1년으로 한다.

• 보증 기간 정기점검 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 보증 기간 중 정기점검에 대한 내용은 문서에 없다.
• 소모성·정기정비 부품 · 나눠짐 Consumable Part는 사용자 과실 및 고의로 의한 고장은 제외한다고 적혀 있다.

  단, Consumable Part 사용자 과실 및 고의로 의한 고장은 제외함.

장비의 무상보증 기간(Labor & Part)은 최종 검수 완료 승인일로부터 1년으로 한다. 단, Consumable Part 사용자 과실 및 고의로 의한 고장은 제외함.

단종 뒤 부품 공급

10년 이상

Vacuum pump는 향후 10년 이상 수리, 유지 관리에 문제가 없는 제품이어야 한다.

Vacuum pump는 향후 10년 이상 수리, 유지 관리에 문제가 없는 제품이어야 함

A/S 조직·인력

감점 · 점수에 반영

기술지원 및 수리인력 보유상태가 정량평가 15점 항목이다. 사후 유지 관리(15점) 항목에서 CS 대응 및 인력 운영, 유지보수를 위한 부품 수급의 용이성(유지보수용 spare part 보유 현황, 수급 용이한 부품 사용)을 평가한다.

• 인원 · 4명 이상 기술 및 수리인력(설계, 제어, 제조, 수리인력) 경력 7년 4명 이상 또는 1년 24명 이상이면 15점이다.

  1) 기술 및 수리인력(설계, 제어, 제조, 수리인력 – 경력 7년 4명 이상 또는 1년 24명 이상)

• 크기 · 7~15점 기술지원 및 수리인력 보유상태 배점은 15점부터 7점까지이다.

  1-1) 기술지원 및 수리인력 보유상태 : 15점

• 대상 · A/S·기술 인력 수 · 예비품 보유 기술지원 및 수리인력 보유상태와 유지보수를 위한 부품 수급의 용이성(유지보수용 spare part 보유 현황)을 평가한다.

  1-1) 기술지원 및 수리인력 보유상태 : 15점

  - 유지보수를 위한 부품 수급의 용이성 (유지보수용 spare part 보유 현황, 수급 용이한 부품 사용)

1-1) 기술지원 및 수리인력 보유상태 : 15점

사후 유지 관리
(15점)

주제 · 가격·대금·계약 조건 11개

총액·단가 방식

총액

예산금액 891,000,000원(부가세 포함), 총액입찰·규격가격동시입찰·예정가격 이하 최저가 낙찰제. 정산·단가 조정에 관한 문장은 없다.

• 정산 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 정산 방식에 관한 문장이 없다.
• 단가 조정 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 단가 조정에 관한 문장이 없다.

예산금액 : 금891,000,000원(부가가치세 포함)

입찰방법 : 전자입찰, 총액입찰, 일반경쟁, 규격가격동시입찰, 예정가격 이하 최저가 낙찰제

물량 변동

일부 미정

장비 1set와 상세규격서의 수량·사양은 확정이나, Gas 종류·관련 부품·MFC 용량, Umbilical 길이, 상세규격서에 명시되지 않은 사항은 추후 협의·제안으로 정한다.

Gas 종류 및 관련 부품, MFC 용량은 추후 협의 및 변경 가능함.

Umbilical 길이의 경우 추후 협의 가능

상세규격서에 명시되지 않은 사항은 공급자 측에서 제안하고 상호 협의에 의하여 결정함

발주처 단가 기준

적혀 있지 않음

발주처가 정한 단가·품셈·요율·상한가 기준이 공고에 없다. 예산금액만 제시되어 있다.

계약 상대

공고 낸 기관 직접

공고기관·수요기관 모두 대구경북과학기술원이며, 계약·대금 상대를 달리 적은 문장이 없다.

그대로 넘길 돈

아니다

계약금액 안에서 다른 곳에 넘기거나 정해진 곳에 써야 하는 돈을 적은 문장이 없다.

• 넘길 돈 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 항목이 없다.
• 투찰 때 반영 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 문장이 없다.

견적 근거

방문 열람만

입찰 참여 업체는 삼성 유휴설비가 보관된 창고(삼성전자 화성 장안 창고)를 방문하여 설비 상태를 확인하여야 하며, 실사 참여 업체만 입찰 참가 가능. 단가·내역서 공개 문장은 없다.

• 이윤 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 원가계산서·산출내역이 공개되지 않았다.

입찰에 참여하고자 하는 업체는 아래 일정에 삼성 유휴설비가 보관된 창고에 방문하여 설비의 상태를 확인하여야 합니다.

입찰에 참여하고자 하는 업체는 대상 장비의 정확한 리퍼비시 범위를 확인하기 위해 입찰공고에 명시된 일시에 장비 보관 장소를 방문하여 장비 상태를 확인하여야 함.

대금 받는 때

끝난 뒤 한 번에

1차 검수(Hardware Acceptance) 후 최종 검수(Process Acceptance)를 거쳐 최종 승인. 지급 시기·선금에 관한 문장은 없다.

• 선금 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 선금에 관한 문장이 없다.
• 지급 기한 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 지급 기한에 관한 문장이 없다.

1차 검수 (Hardware Acceptance)

최종 검수 (Process Acceptance)

공채·채권

모름 · 문서로 확인 안 됨

공채·채권 매입에 관한 문장이 없다.

보험 가입

없음

이 일 때문에 우리가 들어야 하는 보험·공제를 요구한 문장이 없다. 계약보증서·하자보증서는 보증서 제출이지 보험이 아니다.

• 보상 한도 · 해당 없음 보험 요구가 없다.
• 보험료 · 해당 없음 보험 요구가 없다.
• 대상 · 해당 없음 보험 요구가 없다.

계약 변동 가능

아니다

예산 확정 전·보조사업자 계약 등으로 계약이 안 되거나 금액·물량·기간이 바뀔 수 있다고 적은 문장이 없다.

• 바뀔 수 있는 것 · 해당 없음 해당 문장이 없다.

부가세 과세

모름 · 문서로 확인 안 됨

이 일·품목의 과세·면세를 적은 문장이 없다. 예산금액에 부가가치세 포함 표기만 있다.

• 투찰가에 부가세 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 투찰가에 부가세를 넣으라는 지시 문장이 없다.

뽑는 방식 · 입찰 방식 7개

회사 속성 우대

없음

평가표에 회사 속성 우대 항목이 없다.

• 우대 대상 · 없음 창업·여성·장애인·사회적기업·소기업·고용실적·인증·산업재해율 관련 우대 없음.
• 가점 크기 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 우대 가점 없음.

신용등급·경영상태

감점 · 점수에 반영

경영상태(신용평가등급) 5점 배점. 미제출 시 최저등급 평점 부여.

• 등급이 없을 때 · 최저 등급 점수 신용평가등급서 미제출시 최저등급 평점 부여.

  ※ 신용평가등급서 미제출시 최저등급 평점 부여

• 크기 · 2~5점
• 대상 · 신용평가등급 회사채·기업어음·기업신용평가등급.

  1-3) 경영상태(신용평가등급에 의한 경영상태 평가) : 5점

1-3) 경영상태(신용평가등급에 의한 경영상태 평가) : 5점

※ 신용평가등급서 미제출시 최저등급 평점 부여

※ 신용평가등급서는 반드시 입찰공고일 전일까지 받은 가장 최근의 신용평가등급이어야 함

보유 인력

감점 · 점수에 반영

기술지원 및 수리인력 보유상태 15점. 경력 7년 4명 이상 또는 1년 24명 이상이 만점.

• 기준 인원 · 4명 이상 경력 7년 4명 이상 또는 1년 24명 이상이 만점(15점).

  1) 기술 및 수리인력(설계, 제어, 제조, 수리인력 – 경력 7년 4명 이상 또는 1년 24명 이상)

• 크기 · 7~15점

1-1) 기술지원 및 수리인력 보유상태 : 15점

1) 기술 및 수리인력(설계, 제어, 제조, 수리인력 – 경력 7년 4명 이상 또는 1년 24명 이상)

※ 국민건강보험공단 사업장가입자 명부 첨부 (최근 6개월 이상 계속 가입자 한정)

소속 직원

없음

투입 인력의 소속·재직기간·고용형태 조건 없음.

• 재직 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 재직 기간 조건 없음.
• 크기 · -
• 대상 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 해당 없음.
• 조건 · 없음 외부 전문가 활용 관련 규정 없음.

큰 배점 항목

납품 실적 20점, Hardware 상세규격서 충족도 및 적합성 20점, 공정 성능(결과) 충족도 20점.

기술능력평가 100점 중 객관적 평가 40점(기술인력 15, 납품실적 20, 경영상태 5), 주관적 평가 60점.

1-2) 납품 실적 : 20점

Hardware :상세규격서 충족도 및 적합성
(20점)

공정 성능(결과) 충족도
(20점)

무상 추가 제공

감점 · 점수에 반영

사후 유지 관리 15점 중 Warranty 기간 5% 배점. 최소 보증 기간·범위 명시 요구.

• 요구 기간 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 평가표에 최소 보증 기간 명시 요구만 있고 구체 기간 없음.
• 크기 · 7~15점
• 대상 · 유지보수·사후지원 사후 유지 관리 항목.

  사후 유지 관리
  (15점)

사후 유지 관리
(15점)

- Warranty 기간

(ex. 최소 보증 기간 및 범위 명시)

평가 자리 발표

필요할 때만 발표

제안서 및 설명회(필요시)를 통한 심사. 규격 심사 시 발표·의견진술·추가자료 요청 가능.

• 빠지면 · 모름 · 문서로 확인 안 됨 발표 불참 시 처리 규정 없음.

- 심사방법 : 업체에서 제출한 제안서 및 설명회(필요시)를 통한 심사(평가기준에 의거 종합 평점 산정)

※ 규격 심사는 참가자가 제출한 규격의 적합성 여부에 대해 우리 원 수요부서에서 실시하며, 필요한 경우 제출자의 발표, 의견진술, 기타 추가자료 등을 요청할 수 있습니다.

카테고리 · 연구·실험·계측장비 5개

지원사업·R&D 재원

아니다

공고·제안요청서·상세규격서 어디에도 정부·지자체 지원사업이나 연구개발 과제·연구비로 구매한다는 문장이 없다. 상세규격서 서명란에 '계정(과제)책임자'가 있을 뿐 사업·과제 이름은 적혀 있지 않다.

품질 인증

없음

참가자격은 나라장터 등록·시행령 제12조 자격·실사 참여이고, 평가는 기술인력·납품실적·경영상태(신용평가등급)·정성평가로 이뤄진다. ISO 등 품질·환경·안전·정보보호 인증이나 업무 절차서를 참가 조건·배점으로 삼는 문장은 없다. SOP는 Hardware 평가의 제안 내용으로 요구될 뿐 인증이 아니다.

• 대상 · - 인증 요구 없음

경비 부담

우리 부담(대가 안)

제안·실사 소요비용, 장비 반입·운반 도비, 검수 미달 시 반송 비용 등 일체의 경비를 공급사(계약상대자)가 부담한다고 적었다. 관급자재·별도 정산 조항은 없다.

• 관급 금액 · 해당 없음 관급 품목 없음
• 관급 설치 · 해당 없음 관급 기기·자재 없음

제안과 관련되어 제출된 자료 일체는 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요비용은 제안업체가 부담한다.

- 장비 반입 빛 운반에 발생하는 모든 도비 비용은 공급사가 부담함.

검수 결과 본원 규격 미달 시 반송(Ship-back) 처리 하며, 이에 발생하는 비용은 계약상대자가 부담해야 함.

공정 장비 종류

식각

플라즈마 기반 건식 식각 장비로 산화막 및 질화막을 선택적으로 식각하는 Oxide Etcher(AMAT Centura II EMAX)다.

▣ 본 장비는 플라즈마 기반의 건식 식각 장비로써 산화막 및 질화막을 선택적으로 식각 하는 장비임.

처리할 기판(웨이퍼) 크기는 몇 인치인가

8inch

8인치 웨이퍼 기판 25매 순차 공정, 완전 자동화 공정이 가능해야 한다.

▣ 시스템은 8인치 웨이퍼 기판 25매가 순차적으로 공정 진행이
가능해야 함.

- Wafer Size : 8 inch

문서 발췌

참가자격

=== 3. 제안요청서.hwp ===

제 안 요 청 서

2026. 09.

대구경북과학기술원

1. 제안 자격 가. 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정에 의하여 반드시 입찰(개찰)일 전일까지 나라장터시스템에 입찰참가자격을 등록한 자 2. 제안 자격 가. 동 사업에 참가하는 업체는 아래 자격을 갖춘 자에 한한다. 1) 『국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령』제12조 규정에 의한 입찰 참가 자격요건을 갖춘 자 2) 부당업체로 입찰참가 자격 제한을 받고 있지 않은 업체 나. 장비 실사참여 1) 본 입찰은 본원이 실시하는 식각 장비 실사에 참여한 업체에 한하여 입찰에 참가할 수 있다. 2) 실사 일시 및 장소는 별도 공지에 따르며, 지정된 일시 외의 개별 실사는 인정하지 않는다. 3) 실사 참여 여부는 현장 참석자 명부로 확인하며, 실사에 참여한 업체는 [서식 5. 장비 실사 참여확인서]를 제안서에 첨부하여야 한다. 4) 실사에 참여하지 않았거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외한다. 3. 제안 조건 가. 기본규격서의 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 한다.

과업·요구

1) 제안서 : 제안서 작성 지침에 의거하여 아래 필수 내용을 포함하여 작성 2) 제출부수 : 원본 1부, 사본 5부 3) 제안서 내용을 수록한 기록매체(CD 또는 USB 등) : 2매 마. 제출방법 1) 제출기한 내에 미제출시는 제안의사가 없는 것으로 처리하고, 제반 자료는 일체 반환하지 않는다. ※ 필수 제출자료 ▪ 최근 3년 재무제표 ▪ 4대보험 가입자명부 ▪ 제안 장비 구성도 및 개략도 ▪ 장비 리퍼비시 기술 특장점 및 성능 개선 자료 ▪ 공정 지원 계획서 및 유사 장비 리퍼비시 실적 자료 ▪ 장비설치계획서 ▪ 부품 교체 및 오버홀 상세 리스트 [제조사 / Part No. / Serial No. / Calibration 성적서]를 제출 [신규 교체품 / 오버홀 재사용품 / 기존 재사용품]으로 명확히 구분 ▪ 리퍼비시 후 연간 운용비용 산출자료 - 소모품, 진공부품류, 펌프유지보수, 각종 게이지류 등 - maker/model/주기/수량/단가 명시 ▪ 리퍼비시 장비 예방정비(PM) 및 유지보수표 (주, 월, 분기, 연간 등으로 구분 작성) ▪ 장비 운영 및 트러블 슈팅 교육 훈련 계획서 6. 제안서 평가

배점·평가

가. 본 평가는 제안장비 규격 등의 기술적합도 평가와 제안자의 추후 A/S 등 유지보수 능력 등을 평가한다. 나. 제안자가 제출한 제안서의 평가는 기술능력평가와 가격평가로 구분하여 종합평가를 실시하되, 평가는 기술능력평가 100%의 비중으로 실시한다. 다. 제안서의 기술부문 평가는 기술제안서 평가항목을 기준으로 하여 [붙임 2]와 같은 평가항목과 비중을 가지고 평가한다. 라. 적격자는 아래의 조건을 만족하는 경우를 말한다. - 총점 80점 이상 마. 제안서의 평가 심사위원 구성 및 방법 - 심사위원 : 5인 내외 - 심사방법 : 업체에서 제출한 제안서 및 설명회(필요시)를 통한 심사(평가기준에 의거 종합 평점 산정) - 제안서는 공정하게 심사하고 제안업체는 결과에 대하여 일체의 이의나 반대를 제기하지 못한다.(서식 4. 서약서를 제안서 제출시 첨부 제출) 바. 기술평가 점수는 평가위원이 평가한 점수 중 최고점수 1개와 최저 점수 1개를 제외 하고, 나머지 평가점수를 산술평균한 점수(소수점 둘째 자리에서 반올림)를 100점 만점으로하여 제안업체의 점수로 한다. 사. 평가항목에 따른 증빙서류를 제출하지 못할 경우 해당항목은 영점처리한다.

과업·요구

배점·평가

※ 붙임 2

○ 제안서 평가항목 및 배점기준표

1. 기술능력평가(100점)

1) 객관적 지표(40점) : 정량평가 1-1) 기술지원 및 수리인력 보유상태 : 15점

※ 해당 분야 경력 증빙자료 제출 시에만 인정(서식 2) ※ 국민건강보험공단 사업장가입자 명부 첨부 (최근 6개월 이상 계속 가입자 한정) 1-2) 납품 실적 : 20점

※ 수행 경험(실적)범위 : 제안업체가 책임 수행한 최근 수행 실적. ※ 동등수준 유사장비: 산화막 식각 장비 ※ 실적증명원 제출 시에만 인정(서식 3) 1-3) 경영상태(신용평가등급에 의한 경영상태 평가) : 5점 신용평가등급

과업·요구

※ 담당자 : DGIST 센서기술지원센터 정재윤 연구원 ☎ 010-3374-0985 전자메일 : jjy0044@dgist.ac.kr 라. 공동수급은 불허합니다. 3. 접수기간 가. 입찰 서류 접수기간 : 2026. 10. 2.(금) 10:00 ~ 2026. 10. 14.(수) 12:00 나. 전자 입찰 참여기간 : 2026. 10. 2.(금) 10:00 ~ 2026. 10. 14.(수) 12:00 다. 개찰일시 : 규격 심사 완료 후 개찰 라. 개찰장소 : 우리 원 계약담당관 PC 4. 입찰 서류 제출 가. 제출방법 : 우편 또는 직접 방문 제출 ※ 서류 제출 및 문의 : DGIST 총무구매팀 진민경 ☎ 053-785-1246 전자메일 : mkchin@dgist.ac.kr (우) 42988 대구광역시 달성군 현풍읍 테크노중앙대로 333, DGIST 대학본부(E1) 701호 ※ 공휴일(토·일요일)은 접수하지 않습니다. ※ 직접 방문하여 제출하는 경우, 사전에 전화로 방문 일정을 협의하여 주시기 바랍니다. 나. 제출기한 ○ 우 편 : 제출 마감일 전일 18:00 까지(우리 원 도착 기준) ○ 전자메일 : 제출 마감 일시까지(우리 원 메일 서버 도착 시간 기준) 다. 제출서류 1) 사업자등록증 사본 1부 2) Bidding Specification(우리 원 양식) 1부