건식기반 탠덤 태양전지용 중간층 저손상 증착장비

요약 AI 요약

건식기반 대면적(M10 크기 이상) 실리콘/페로브스카이트 탠덤 태양전지 제작을 위한 핵심 설비로, 실리콘 하부셀과 페로브스카이트 상부셀을 연결하는 TCO 중간층 및 최상부 TCO 전극(ITO, IZO)을 저손상·고품질로 증착하는 장비를 도입한다. 초고진공에서 균일도 오차 5% 미만의 대면적 박막 증착으로 탠덤 고효율 태양전지 최적화 연구를 수행하는 것이 목적이다.

• 최대 Φ300mm 기판 공정 및 경사 스퍼터링 방식의 대면적 공정 지원, 기판 내·간 두께 균일도 ±5% 미만 유지
• 로드락 챔버 도달 진공도 5.0E-2 Torr 이하, 공정 챔버 도달 진공도 2.0E-7 Torr 이하, 기본 진공도 8.0E-8 Torr 미만, 누설률 1.0x10E-8 std cc/sec 미만의 초고진공 환경
• 기판 냉각 페데스탈, 타겟-기판 간 거리 최대 300mm 상하 구동, 회전 구동을 통한 정밀 기판 위치 제어(기판 가열 없음)
• 10인치 회전 마그네트론 스퍼터링 캐소드 2세트(타겟 규격 Φ10인치 x 1/4인치), 2.0kW급 RF 전원 공급 장치 2세트 및 매칭 네트워크
• 크라이오 펌프(헬륨 압축기 포함)와 건식 펌프 기반 배기 시스템, 스로틀 밸브 자동 압력 제어(최대 50mTorr), Ar·O2·N2용 질량 유량 제어기 3개
• PC 기반 전용 시스템 제어 소프트웨어 및 호스트 시스템 실시간 연동을 위한 SECS/GEM 통신 인터페이스

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사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 탠덤 태양전지용 중간층 저손상 증착장비 제조·납품·설치

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

반도체·박막 소자를 만드는 공정장비(스퍼터링 증착장비)를 제조·납품하는 물품 구매로, 대학·연구기관 팹에서 쓰는 반도체·박막 공정장비에 해당한다.

• 단일 기판 로드락 모듈(이송 로봇·건식 펌프·게이트 밸브)
• 공정 챔버(ITO·IZO·NiOx 증착용) 및 10인치 회전 마그네트론 스퍼터링 캐소드 2세트
• 기판 냉각 페데스탈·회전/상하 구동 어셈블리
• 크라이오 펌프(He 압축기 포함)·건식 펌프·스로틀 밸브 자동 압력 제어
• 2.0kW RF 전원 공급 장치 2세트 및 매칭 네트워크
• Ar·O2·N2 MFC 3채널 가스 공급 시스템
• PC 기반 시스템 제어 소프트웨어 및 SECS/GEM 통신 인터페이스
• 예비 부품(챔버 쉴드·O링 키트·피라니 게이지) 및 매뉴얼 2세트
• 제조사 교육 시설 2인 1주일 유지보수 교육
• 장비 설치 및 시운전 지원
• 납품 후 1년 무상 보증(소모품 제외)
• 스퍼터링 타겟 물질 및 2차 유틸리티(전력·냉각수·압축공기) 제공

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자입찰

입찰 일정

가격

추정가격

400,000,000원

배정예산

440,000,000원

기초금액

440,000,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)

부가세

40,000,000원

예정가격 방식

복수예가

납품

품명

진공증착기 (2399039801)

수량

1 대

납품

계약 후 210일

인도조건

모름

제조물품

아니오

세부품명 등록

등록 필요

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

09/30(수)

공고번호

R26BK01750332-000

참조번호

KIER-구입-20266066호

공고기관

한국에너지기술연구원

수요기관

한국에너지기술연구원

계약방법

일반경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

400,000,000원

배정예산

440,000,000원

사전규격번호

R26BD00277213

재공고

아니오

출처

나라장터

첨부파일

• PDF · 1. 입찰공고문(일반경쟁)_건식기반 탠덤 태양전지용 중간층 저손상 증착장비.pdf · 공고규격서
• HWP · 2. 규격서.hwp · 공고규격서
• HWP · 3. 규격입찰서.hwp · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

문서 발췌

과업·요구

1. 개 요 가. 품 명 : 건식기반 탠덤 태양전지용 중간층 저손상 증착장비 나. 도입목적 １）본 장비는 건식기반　대면적(M10 크기 이상) 실리콘/페로브스카이트 탠덤 태양전지 제작 공정에 필수적인 핵심 설비로 도입됨. ２）실리콘 하부셀과 페로브스카이트 상부셀을 물리적·전기적으로 안정적으로 연결하는 TCO 중간층(Recombination layer) 및 최상부 TCO 전극(ITO, IZO)을 저손상，고품질로 증착하는 데 목적이 있음. ３）초고진공 상태에서 균일도 오차 범위 5% 미만의 정밀한 대면적 박막 증착을 수행함으로써, 탠덤 소자 내 원활한 에너지 레벨 정렬(Energy level alignment)을 유도，직렬 저항 최소화　 및　광투과도　최대화를　통한 차세대 탠덤　고효율 태양전지 최적화 연구를 성공적으로 수행하고자 함. 다. 납품위치 한국에너지기술연구원 태양광기업공동활용연구센터　１층　실험실 102호 라. 납품기한 계약일로부터 210일 마. 기타 2. 장비개요 가. 장비특성 1) 대면적 공정 지원: - 최대 Φ300mm 크기의 기판(Substrate) 공정 가능 및 경사 스퍼터링(Oblique Sputtering) 증착 방식. 2) 고품질 박막 증착: - 기판 내 및 기판 간 두께 균일도(Thickness uniformity) <± 5% 유지 (9 Point, 측정　기준). 3) 초고진공 및 높은 기밀성: - 로드락 챔버 도달 진공도: 5.0E-2 Torr 이하, 공정 챔버 도달 진공도(Ultimate Pressure): 2.0E-7 Torr 이하, 기본 진공도(Base Pressure): < 8.0E-8 Torr, 누설률(Leak rate) < 1.0x10E-8 std cc/sec를 유지하여 고순도 공정 환경 제공.

4) 정밀 제어 기구: - 기판 냉각 페데스탈(Substrate cooling pedestal) 및 상하 구동 기구(Target to substrate distance 최대 300mm), 회전 구동(Rotation ass'y)을 통한 정밀한 기판 위치 제어 및 효율적인 냉각 테이블(Cool Table) 구성 (기판 가열 없음). 5) 스마트 통신 연동: - SECS/GEM 통신 지원으로 호스트(HOST) 시스템이 장비의 동작을 실시간으로 제어하고 모니터링 가능. 나. 구성품목 1) 단일 기판 로드락 모듈 (Single Substrate Loadlock Module): －단일 기판 챔버, 이송 로봇, 건식 펌프, 게이트 밸브 등 2) 공정 모듈 (Process Module): －공정 챔버 (ITO, IZO), 10인치 회전 마그네트론 스퍼터링 캐소드 2세트, 크라이오 펌프 (He 압축기 포함), 자동 압력 제어, 기판 냉각 페데스탈 등 3) 시스템 제어 및 전원부 (System Control & Power): 2.0 kW RF 전원 공급 장치 2세트(M/N 포함), 시스템 제어 소프트웨어, PC 및 19인치 모니터, 다중 진공 게이지 제어기 등 기타: 가스 라인 (Ar, O2, N2), 예비 부품 (챔버 쉴드, O-링 키트), 매뉴얼 등 1) 로드락 모듈 (Loadlock Module) － 단일 기판(Single Substrate) 챔버 어셈블리 및 도어 어셈블리 － 자동 기판 이송을 위한 이송 로봇(Transfer robot) 탑재 － 로드락 전용 건식 펌프(Dry pump) 및 진공 배기 라인(Pumping line) 구성 － 게이트 밸브(Gate valve), 고진공 밸브(High vacuum valve) 및 벨로우즈 씰 알루미늄　블록 밸브 장착 － 진공 게이지 및 내부 확인을 위한 뷰 포트(View port) 포함 － 모듈 제어 박스(Module control box) 및 씰/하드웨어 키트 제공

2) 공정 모듈 (Process Module) － 대면적(최대 Φ300mm) 기판 공정이 가능한 공정 챔버 어셈블리 (ITO,IZO，NiOx 증착목적) －기판 냉각 페데스탈 어셈블리(Substrate cooling pedestal ass'y) 및 상판 리프트 어셈블 -　정밀 기판 위치 제어를 위한 회전(Rotation) 및 상하 구동(Up/down) 어셈블리 (타겟-기판 간 거리 최대 300mm 조절 가능) - 파티클 최소화를 위한 저파티클 쉴드(Low particle shield) 및 자성유체 진공 피드스루 장착 3) 스퍼터링 소스 (Sputtering Source) -　10인치 회전 마그네트론 스퍼터링 캐소드(Rotation magnetron sputtering cathode) 2세트 탑재 - 타겟 규격: Φ10인치 x 1/4인치 두께 사이즈 지원 4) 진공 배기 및 압력 제어 시스템 - 고진공 배기용 헬륨 압축기(He compressor) 포함 크라이오 펌프(Cryo pump) 탑재 - 저진공 배기용 건식 펌프(Dry pump) 구성 - 스로틀 밸브를 통한 자동 압력 제어(Auto pressure control) 시스템 탑재 (최대 50mTorr) - 다중 진공 게이지(Multi vacuum gauge) 및 절대 압력 변환기 포함 5) 전원 공급 장치 (Power Supply) - 2.0 kW급 RF 전원 공급 장치(RF power supply) 2세트 탑재 - 자동 임피던스 매칭을 위한 매칭 네트워크(M/N) 포함 - 전력 분배 모듈(Power distribution module) 구성

6) 가스 공급 시스템 - Ar, O2, N2 가스 정밀 제어를 위한 질량 유량 제어기(Mass flow controller) 3개 탑재 - 가스 라인 어셈블리 및 에어, 냉각수, N2 퍼지를 위한 유틸리티 라인 포함 7) 시스템 제어 및 인터페이스 - 메인 프레임 어셈블리 및 전자 장비 랙(Electronics rack) 구성 - PC 및 19인치 모니터, 전용 시스템 제어 소프트웨어 탑재 - 펌프 컨트롤러 및 스로틀 밸브 컨트롤러 통합 구성 - 호스트 시스템과의 실시간 연동을 위한 SECS/GEM 통신 인터페이스 지원 8) 기타 구성 및 서비스 -　예비 부품(Spare parts): 챔버 쉴드, O-ring 키트, 피라니 게이지 제공 -　매뉴얼: 장비 작동, 유지보수, OEM 매뉴얼 2세트 제공 -　교육: 제조사 교육 시설에서 2인 대상 1주일 유지보수 전문 교육 제공 - 장비 설치 및 시운전 지원 - 장비 납품 후 1년 무상 보증(Warranty) 제공 (소모품 제외) 9) 상세요건 본 장비는 M10 크기 이상의 탠덤 태양전지 제작을 위한 TCO(ITO, IZO) 중간층 및 탠덤 TCO 상부 박막 공정 효율을 극대화할 수 있어야 하며, 다음의 조건을 만족해야 한다. 가) 공정 유연성 및 정밀 제어: 최대 Φ300mm 크기의 대면적 기판을 지원해야 하며, 타겟과 기판 사이의 거리를 최대 300mm까지 가변할 수 있는 상하 구동(Up/down) 및 회전(Rotation) 기능을 통해 균일한 박막 증착이 가능해야 한다.

나) 고진공 및 안정적 압력 유지: 크라이오 펌프(He compressor 포함) 및 건식 펌프 기반의 배기 시스템을 구축하여 고순도 진공 환경을 조성해야 하며, 스로틀 밸브를 이용한 자동 압력 제어(최대 50mTorr) 및 3채널 MFC(Ar, O2, N2)를 통해 정밀한 공정 가스 분위기를 유지해야 한다. 다) 시스템 제어 및 자동화: PC 기반의 전용 시스템 제어 소프트웨어를 통해 장비의 전반적인 구동 및 모니터링이 직관적으로 이루어져야 하며, 스마트 통신 연동을 위한 SECS/GEM 통신 인터페이스를 완벽하게 지원해야 한다. 라) 부대 조건: 증착 공정에 필요한 스퍼터링 타겟(Target) 물질과 2차 유틸리티(전력, 냉각수, 압축공기 등)는 장비 도입 시 자체적으로 제공하여 구성에 차질이 없어야 한다 다. 상세규격 3. 계약이행 조건 가. 계약이행 1) 본 장비는 기능수행에 이상이 없도록 납품 및 설치되어야 한다. 2) 계약상대자는 연구원의 지시에 따라 규격서 등을 사전에 충분히 검토 후 성실히 수행하여야 하며 관련 법령을 준수해야 한다. 3) 계약상대자는 설계변경 등 시방서에 기재된 제작 내용의 조정이 필요한 사항에 대해서는 연구원의 승인 및 국가계약법, 계약예규 등 관련 법령에 의거하여 처리한다. 4) 계약상대자는 그 외 경미한 사항의 수정에 대해 연구원이 요청하는 경우 이에 성실히 응하여야 한다.

5) 계약기간 및 계약금액 등 계약사항의 조정 및 기타 명시되지 않은 사항에 대해서는 상호협의 후 발주자의 서면승인을 받아 진행하여야 하며 관련 법령에 따라 처리한다. 나. 납품(검수 및 검사) 1) 계약상대자는 납품기한 내 연구원의 검수절차를 완료하여야 한다. 2) 계약상대자는 검수 완료 후 납품장소에 장비를 납품(설치)하고 검사자(발주자)의 입회하에 제반 성능조건을 테스트하여야 한다. 3) 납품과 관련하여 발생하는 비용은 계약상대자가 부담한다. 4) 연구원은 검수·검사에 있어서 계약상대자의 계약이행내용의 전부 또는 일부가 계약에 위반되거나 부당함을 발견한 때에는 필요한 시정조치를 할 수 있다. 5) 검수/검사 및 시정조치 등에 관련된 비용은 계약상대자가 부담한다. 다. 하자보증 1) 하자이행과 관련된 사항은 국가계약법 및 관련 법규에 따른다. 라. 안전/보안 법령 준수 1) 계약상대자는 「공공기관의 안전관리에 관한 지침」제3조제4항에 의거하여 계약을 체결하여 이행함에 있어 「산업안전보건법」,「시설물의 안전 및 유지관리에 관한 특별법」,「재난 및 안전관리 기본법」 등 안전 관련 법령을 준수하고 안전사고 예방을 위하여 노력하여야 한다. 2) 계약상대자는 연구원의 보안업무규정을 준수하여야 하며, 연구원으로부터 보안과 관련되는 요구사항이 있을 시 이에 따라야 한다.

참가자격

3. 입찰참가자격

아래의 입입찰찰참참가가자자격격을을 모두 갖춘 자 이어야 합니다. ○ 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령 제12조 및 동법 시행규칙 제14조의 규정에 의한 입찰자격 요건을 구비한 자 ○ 법정관리 등이나 국가, 지방자치단체, 정부출연 및 투자기관에 의하여 부정당업체로 제재를 받지 않은 자 ○ 「국국가가종종합합전전자자조조달달시시스스템템 입입찰찰참참가가자자격격등등록록규규정정」에 따라 반드시 전자입찰서 제출 마감일 전일까지 나라장터(G2B)에 2399039801(진공증착기)로 제조 또는 공급물품으로 입찰 참가 자격으로 등록한 자 - 조달청 경경쟁쟁입입찰찰참참가가자자격격 등록은 수시로 가능하며, 입찰참가를 위해서는 전자입찰서 제출 마감일 전일 18:00까지 등록을 하여야 합니다. 등록절차와 나라장터 이용안내는 정부조달 콜센터(☎ 1588-0800, FAX: 042-472-2297)로 문의하시기 바랍니다. 다음 중 어느 하나에 해당하는 자는 입입찰찰참참가가자자격격이이 없습니다. ○ 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제27조의5 및 같은 법 시행령 제12조제3항에 따라 ‘조세포탈 등을 한 자’로서 유죄판결이 확정된 날부터 2년이 지나지 아니한 자 ○ 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」 제8조의2에 해당하는 자 ○ 입입찰찰참참가가자자격격이이 없는 자 또는 입찰조건에 위배한 자의 입찰은 무효로 합니다.