입찰공고상세[물품] · 마감
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설계 검증용 마스크 제작 구매
정정 · 유찰 · 대구경북과학기술원 · 반도체·박막 공정장비
- 결과
- 유찰
- 참가
- 20곳 · 개찰 10/02(금)
요약 AI 요약
반도체 소자 제작에 활용할 설계 검증용 마스크를 제작하는 사업이다. 우리원이 제공하는 마스크 디자인 15종을 자체 반도체용 마스크 제작 설비로 제작한다.
- 우리원 제공 마스크 디자인 15종 제작(디자인별 각 1개, 총 15ea)
- Canon I4 3000 장비와 호환성 검증
- CD Tolerance(임계치수 허용오차) 측정으로 오차 허용 범위 이내 제작
- 우리원 제공 디자인을 업체 설비로 변환 후 수요 부서와 사전 검토
- 수요 부서 요청 시 별도 지정 위치에 Text 추가 기술지원
- 기판 재료 5inch, 5 inch / 90 mil, QZ 사용 및 GDS 파일 형식 적용
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사업 내용 · 이 공고에 든 일
중심 · 설계 검증용 마스크 제작·납품
물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비
반도체 소자 제작용 포토마스크 15종을 자체 마스크 제작 설비로 만들어 납품하는 일이 사업의 몸통이다.
- 마스크 디자인(GDS) 변환 및 수요부서 사전 검토
- CD Tolerance 측정 등 오차 검증
- Canon I4 3000 장비 호환성 Test 검증(Key 미보유 시 Test sample 제작)
- 지정 위치 Text 추가 기술지원
- 지정장소 현장 설치·납품
- 검수 후 1년 무상보증(하자보수)
- 디자인 보안관리 및 활용 후 자료 삭제
참가 자격 · 제한
- 업종제한
- 제한 없음
- 지역제한
- 제한 없음
- 공동수급
- 공동수급불허
- 입찰참가 제한
- 모름
- 실적경쟁 · PQ
- 모름
- 국제입찰
- 국내입찰
- 제출 방법
- 전자입찰
입찰 일정
| 진행 | 일시 | 남은 날 |
|---|---|---|
| 공고 게시 | 09/28(월) | 지남 |
| 입찰서 제출 시작 | 09/29(화) 10:00 | 지남 |
| 입찰참가자격 등록 마감 | 10/01(목) 18:00 | 지남 |
| 입찰서 제출 마감 | 10/02(금) 12:00 | 지남 |
| 개찰 | 10/02(금) 13:00 | 지남 |
가격
- 추정가격
- 32,200,000원
- 배정예산
- 35,420,000원
- 기초금액
- 34,700,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)
- 낙찰하한율
- 88%
- 부가세
- 3,220,000원
- 예정가격 방식
- 복수예가
납품
- 품명
- 반도체검사기 (4111370601)
- 수량
- 1 식
- 인도조건
- 설치까지 · 현장설치도
- 제조물품
- 아니오
- 세부품명 등록
- 아니오
공고 정보
- 공고종류
- 변경공고 (정정공고 · 1차)
- 게시일
- 09/28(월)
- 공고번호
- R26BK01747014-001
- 참조번호
- DGIST 제2026-140호
- 공고기관
- 대구경북과학기술원
- 수요기관
- 대구경북과학기술원
- 계약방법
- 수의계약
- 낙찰방법
- 소액수의견적
- 계약유형
- 총액계약
- 예정가격 방식
- 복수예가
- 추정가격
- 32,200,000원
- 배정예산
- 35,420,000원
- 사전규격번호
- -
- 재공고
- 아니오
- 출처
- 나라장터
첨부파일
- HWP · 1. 공고문(DGIST 제2026-140호).hwp · 공고규격서
- PDF · 1. 공고문(DGIST 제2026-140호).pdf · 공고규격서
- HWP · 2. 상세규격서.hwp · 공고규격서
- HWP · 3. BIDDING SPECIFICATION(양식).hwp · 공고규격서
- HWP · 4. 퇴직자(재직자) 영입현황 확인서 및 수의계약 체결 제한 여부 확인서(양식).hwp · 공고규격서
- HWP · 5. 청렴계약 이행각서(양식).hwp · 공고규격서
- HWP · 6. 공익·부패 신고제도 안내.hwp · 공고규격서
문서 발췌
| 요구 번호 : | |||||||
| 품 명 | 국 문 : | 설계 검증용 마스크 제작 | |||||
| 영 문 : | Mask production for design verification | ||||||
| 구 분 | 상 세 명 세 | 수 량 | 비 고 | ||||
| 1. Feature | 1. 본 제작 건은 반도체 소자 제작 용도로 활용되며 입찰 업체는 자체 보유 반도체용 마스크 제작 설비로 제작되어야함. 2. 우리원에서 제공하는 마스크 디자인 종류에 따라 제작되어야함(15종). 3. 제작 시 오차 허용 범위 이내로 제작 되어야함(CD Tolorance 측정). 4. 우리원에서 활용중인 장비의 검증된 Key date 보유 또는 검증 이력 사항이 확인되어야함. 5. 우리원에서 제공한 마스크 디자인을 업체측 설비로 변환 후 변환 결과를 수요 부서와 사전 검토가 필요함. 6. 수요 부서 요청에 따라 별도 지정 위치에 Text 추가하는 기술지원이 필요함. | ||||||
| 2. Specification | |||||||
| ① Main System | <사용 설비 및 제작 정보> 1. 호환성 : CanonI4 3000 장비와 호환성 Test 검증 필수 사항임 2. 디자인 제공 : 최종 확정 디자인은 별도로 제공함 3. 기판 재료: - 5inch, 5 inch / 90 mil, QZ 4. 제작 Resolution 범위 : - 1.25um ~ 2.0um(5X 기준) 5. 활용 최소 Resolution 범위 : - 0.25um ~ 10um 6. 디자인 파일 형식 : - GDS file 7. 제작 수량 : - 디자인별 각 1개씩 총 15ea 제작 8. spot size(동등 이상) - 0.05um 9. Defect - 0.5um 10. CD Tolorance - ±0.05um ~ ±0.1um 11. Pellicle - Not produced | ||||||
| ②Pre-bid confirmation | 1. 입찰전 사전 확인 - 우리원의 요구사항을 반영한 제품을 제조하는 경우, 입찰 업체는 자체 보유한 반도체용 마스크 제조 설비로 직접 제작 납품하여함(위탁 제작 불가) - 필요시 현장 실사를 통한 업무 협의 및 확인을 진행함 - 자료는 제출 기한 내 제출되어야함 - 우리원에서 제공하는 자료에 대한 자료 보안를 준수하여야함 - 우리원에서 제공한 검증용 디자인은 활용 후 자료 를 삭제 처리하여야함 2. 제출 자료 - 반도체 고객사 거래 관련 증빙 자료 제출(입찰 업체명 필수 포함) - 우리원 운영 장비(Canon-I4)용 Key 보유 관련 이메 일 제출 - Key 미보유 업체는 호환성 검증을 위한 Test sample 제작 후 제공하여야함(공고 기한내 준비) | ||||||
| ③ Accessory | |||||||
| -Standard Acc. -Optional Acc. -전원 | |||||||
| ④ 설치조건 | 우리원 지정장소 현장 설치 | ||||||
| ⑤ 납품기한 보증기간 등 | 1. 납품 기한 : - 계약 체결 후 2026년 10월 20일 이내 납품 완료(긴급 납품 요청 시 대응 필수) - Set 발주시 세부 납품 기한을 준수하여함 ※발주 예상 일시는 변경될 수 있음 2. 무상보증 기간은 최종 검수 완료 후 1년 3. 계약 업체는 변환된 디자인을 보관 및 보안 관리해주어야함 (수요 부서 제작 담당자 외 허용 불가) | ||||||
| 2026년 9월 17일 | |||||||
| 작 성 자 | 소 속 : | 나노팹지원팀 | 성 명 : | 전 성 기 | |||
| 계정(과제)책임자 | 차세대센서반도체연구소 | 이 명 재 |
| set | 수량 | 발주 예상 일시 | 납품 기한 |
|---|---|---|---|
| 1 | 15장 | 9월 | 3주 이내 |
=== 1. 공고문(DGIST 제2026-140호).hwp === <공고번호 : DGIST 제2026-140호>
견적 제출 공고
1. 입찰에 부치는 사항 가. 공 고 명 : 설계 검증용 마스크 제작 구매 나. 물품명 및 세부사양 : 붙임 “상세규격서” 참고 다. 예산금액 : 금35,420,000원(부가가치세 포함) 라. 입찰방법 : 전자입찰, 총액입찰, 수의계약, 소액수의(견적입찰), 제한적 최저가 낙찰제 마. 납품기한 : 계약일로부터 ‘26. 10. 20. 이내 바. 사양설명 : 생략(게시된 “상세규격서” 열람으로 갈음) 사. 납품장소 : 우리 원 지정장소 아. 청렴계약 대상입니다. 2. 입찰참가자격 및 방법 가.「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제12조 및 동법 시행규칙 제14조에서 정한 자격을 갖추고 동법 시행령 제76조의 규정에 의한 입찰 참가 자격 제한을 받지 않은 업체로서 조달청 전자입찰 참가자격 등록 및 이용자 등록을 마친 업체이어야 합니다. 나. 전자입찰방식에 의하므로 전자입찰이용자 등록을 필한 업체만이 참여가 가능합니다. 다.「중소기업기본법」 제2조에 따른 중소기업자 또는 「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」 제2조에 따른 소상공인으로서 「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 소기업ㆍ소상공인 확인서를 소지한 업체이어야 합니다. ※ 입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 함
| 공고번호 | : | DGIST 제2026-140호 |
|---|---|---|
| 공 고 명 | : | 설계 검증용 마스크 제작 구매 |
| 발주자 | 발주기관 | DGIST | 발주부서 | 총무구매팀 | 발주날짜 | 2026.9.28. | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 발주내용 설계 검증용 마스크 제작 구매 | [ ] 공사 [ ] 용역 [✔] 물품 [ ] 기타 | |||||||||||||
| 수의계약 사유 - | ||||||||||||||
| 계약상대자 (확인인) | 성명 | 소속 | [ ] 개인 [ ] 법인 [ ] 단체 [ ] 기타 | |||||||||||
| 연락처 | 주소 | |||||||||||||
| 수의계약 체결 제한 확인사항 | ||||||||||||||
| 발주기관의 소속 고위공직자, 배우자, 고위공직자의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가? | [ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음 | |||||||||||||
| ② | 계약 업무을 법령상·사실상 담당하는 임직원, 배우자, 임직원의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가? | |||||||||||||
| 발주기관(산하기관)의 감독기관 소속 고위공직자, 배우자, 고위공직자의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가? | ||||||||||||||
| 발주기관(자회사)의 모회사 소속 고위공직자, 배우자, 고위공직자의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가? | ||||||||||||||
| 상임위원회 위원의 국회의원, 배우자, 국회의원의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가? | ||||||||||||||
| 공공기관을 감사 또는 조사하는 지방의회의 의원, 배우자, 의원의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가? | ||||||||||||||
| 부터 까지 어느 하나에 해당하는 사람이 대표자인 법인 또는 단체에 해당하는가? | ||||||||||||||
| 부터 까지 어느 하나에 해당하는 사람과 특수한 관계의 사업자(임직원, 배우자, 임직원의 직계존속·비속, 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속이 단독으로 또는 합산하여 발행주식 총수의 100분의 30 이상, 출자지분 총수의 100분의 30 이상, 자본금 총액의 100분의 50 이상을 소유하고 있는 법인 또는 단체)에 해당하는가? | ||||||||||||||
| 「공직자의 이해충돌 방지법」제12조에 따른 수의계약 체결 제한에 대하여 위와 같이 확인합니다. 만약 위 사항이 사실과 다른 경우에는 어떠한 처벌이나 불이익도 감수할 것을 서약합니다. 2026년 월 일 | ||||||||||||||
| 계약상대자(확인인) | (서명 또는 인) |