2026년 국립부경대학교 정보융합대학 실험실습기자재(광학현미경 등 9종) 구입(교체)

요약 AI 요약

국립부경대학교 정보융합대학 전자공학전공의 RFIC 연구실에서 반도체·광소자 시료를 광학적으로 관찰하고 분광 측정하기 위한 모듈형 광학 현미경 시스템과 그 부속 장비 9종을 구입하는 사업이다.

• 모듈형 광학 현미경 시스템(현미경 본체, 반사 조명 모듈, 반사 터렛 모듈)
• 고출력 백색 LED 광원 및 광원 연결 어댑터
• X·Y·Z 3축 전동 스테이지와 3축 모터 컨트롤러·조이스틱
• 레이저 여기 광학계(빔스플리터, 비구면 렌즈, 광섬유 어댑터) 및 레이저 빔 정렬·차단부
• 디지털 카메라(컬러 CMOS, 12.3MP)와 광학 영상 카메라(모노크롬 CMOS, 2448x2048)
• 광학 줌 렌즈, 광학 결상 튜브, 광학 확장 튜브, 관측용 위치 조정 스테이지, 선형 빔 형상 변환용 광학렌즈

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사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 모듈형 광학현미경 시스템 9종 구입·설치

물품 › 연구·실험·계측장비 › 기타 연구장비

대학 전자공학전공 실험실습실에서 시료 광학 관찰·분광 측정에 쓰는 모듈형 광학현미경 시스템(현미경 본체·광학 모듈·전동 스테이지·카메라·렌즈·튜브 등 9종)을 사서 지정 연구실에 납품·설치하는 물품 구매다.

• 제품 운반 및 지정 장소(누리관 2216호 RFIC 연구실) 설치
• 정상 사용에 필요한 기본 부속품 제공
• 납품 후 1년 하자담보책임(하자보수보증금)

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자입찰

입찰 일정

가격

추정가격

65,630,909원

배정예산

72,194,000원

기초금액

72,194,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)

낙찰하한율

88%

부가세

6,563,091원

예정가격 방식

복수예가

납품

품명

형광현미경 (4111172201)

수량

1 대

납품

계약 후 90일

인도조건

설치까지 · 현장설치도

제조물품

아니오

세부품명 등록

아니오

구매 품목

광학유리 · 렌즈홀더 · 대물렌즈 · 현미경용사진기 · 형광현미경 · 현미경용미세조작기 · 카메라용렌즈

공고 정보

공고종류

등록공고 (일반공고)

게시일

09/28(월)

공고번호

R26BK01745999-000

참조번호

국립부경대학교 재무과 제21508호

공고기관

부경대학교

수요기관

부경대학교

계약방법

수의계약

낙찰방법

소액수의견적

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

65,630,909원

배정예산

72,194,000원

사전규격번호

-

재공고

아니오

출처

나라장터

첨부파일

• HWP · 소액수의 견적서 공고서_광학현미경 등 9종(정보융합대학).hwp · 공고규격서
• PDF · 소액수의 견적서 공고서_광학현미경 등 9종(정보융합대학).pdf · 공고규격서
• PDF · 물품규격서_광학현미경 등 9종.pdf · 공고규격서
• XLSX · 실험실습기자재 구매 물품 목록(광학현미경 등 9종).xlsx · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

문서 발췌

1. 용도 가. 본 장비는 모듈형 광학 현미경 시스템으로서 시료의 광학적 관찰 및 분광 측정을 위한 광학 플랫 폼을 제공하여야 한다. 나. 다양한 광원 및 광학 필터를 이용한 시료 관찰이 가능하고, 외부 분광 장비 및 검출 장치와 연계 가능한 확장형 광학 구조를 제공하여야 한다. 다. 전동 시료 이송 및 초점 조절 기능을 통해 시료의 정밀 위치 제어 및 반복 측정이 가능하여야 한 다. 2. 장비의 구성 모듈형 현미경 광학 시스템 (1세트) 가. 현미경 본체 및 광학 모듈 1) 반사 조명 모듈 (Epi-Illuminator module) Ÿ 현미경 관찰을 위한 반사 조명(Epi-illumination) 광학계를 구성할 수 있을 것 Ÿ Collimated illumination source의 입력이 가능한 광학 구조를 갖출 것 Ÿ Excitation filter, dichroic mirror 및 emission filter로 구성되는 필터 세트를 장착할 수 있을 것 Ÿ 추가 광원의 입사가 가능한 별도의 측면 광학 포트를 제공할 것 2) 반사 터렛 모듈 (Epi-Turret module) Ÿ 사용자 정의 광학 경로 구성을 위한 독립적인 Epi-Turret 구조를 갖출 것 Ÿ Excitation filter, dichroic mirror 및 emission filter로 구성되는 다중 필터 세트를 장착할 수 있 을 것 Ÿ 외부 광학계 구성을 위한 cage system 연결 구조를 제공할 것

3) 모듈형 현미경 구조 Ÿ Epi-Illuminator Module과 Epi-Turret Module이 동일 광축상에서 수직 적층 가능한 구조일 것 Ÿ 각 광학 모듈의 상·하부에 상호 호환되는 dovetail 인터페이스를 적용하여 추가 광학 모듈의 확장 및 재구성이 가능할 것 Ÿ 적층된 복수의 광학 모듈을 통해 하나의 현미경 광학 경로를 구성할 수 있을 것 나. 조명 광학계 1) 고출력 백색 LED 광원 Ÿ 현미경 시료 관찰을 위한 백색 조명 제공할 것 Ÿ 주광색(Daylight White) LED를 이용한 가시광 영역 조명일 것 Ÿ 광원 내부의 콜리메이팅 광학계를 통해 평행광 형태로 출력 가능할 것 Ÿ 디퓨저를 이용하여 균일한 조명 분포로 구현 가능할 것 Ÿ 현미경 에피 조명 모듈과 결합하여 시료를 조명 가능할 것 2) 광원 연결 어댑터 Ÿ 백색 LED 광원과 현미경 조명 광학계 간 기계적 연결이 가능할 것 Ÿ LED 광원의 나사식 출력부와 현미경 조명 모듈의 Dovetail 입력부를 직접 연결할 수 있을 것 Ÿ 광축을 유지한 상태로 조명 광원과 현미경 본체가 결합 가능할 것 다. 전동 스테이지 1) XY축 전동 스테이지 Ÿ 시료의 X축 및 Y축 정밀 위치 제어가 가능할 것 Ÿ 각 축에 대해 독립적인 전동 이동이 가능할 것 Ÿ 현미경용 수직 전동 스테이지와 결합하여 XYZ 3축 전동 위치 제어가 가능할 것

2) Z축 전동 수직 스테이지 Ÿ 시료의 Z축 정밀 위치 및 높이 조절이 가능할 것 Ÿ XY축 전동 스테이지와 직접 결합하여 3축 전동 위치 제어가 가능할 것 Ÿ 현미경 및 시료 장착을 위한 강성 구조를 갖출 것 3) 시료 홀더 Ÿ 표준 현미경 슬라이드 장착이 가능할 것 Ÿ 직경 30 mm 및 60 mm 페트리디시 장착이 가능할 것 Ÿ 시료의 위치 조정 및 고정을 위한 이동식 클램프 구조를 갖출 것 Ÿ 다양한 시료 홀더의 교체 장착을 위한 직사각형 인서트 홀더를 포함할 것 Ÿ 전동 스테이지와 시료 장착부의 결합을 위한 66 mm 도브테일 방식의 연결 및 고정 구조를 갖출 것 라. 전동 제어부 1) 3축 모터 컨트롤러 Ÿ 현미경의 X, Y 및 Z축 전동 스테이지를 통합 제어하기 위한 3채널 스테퍼 모터 컨트롤러 Ÿ 최대 3개의 전동 스테이지 축을 연결하여 독립적으로 구동할 수 있을 것 Ÿ 연결된 호환 전동 스테이지를 자동으로 인식하고 구동 조건을 설정할 수 있을 것 Ÿ 엔코더 피드백을 이용한 정밀 위치 제어가 가능할 것 Ÿ USB를 통한 PC 기반 제어 및 조이스틱을 이용한 수동 제어가 모두 가능할 것 2) 3축 조이스틱 Ÿ X, Y 및 Z축 전동 스테이지의 수동 위치 조절을 위한 3축 조이스틱 Ÿ 각 축에 독립적인 회전식 엔코더 노브를 제공할 것 Ÿ 각 축의 이동 방향 및 속도를 조절할 수 있을 것 Ÿ 전체 축의 최대 이동 속도를 조절하기 위한 별도의 속도 조절 노브를 제공할 것 Ÿ USB HID 방식으로 모터 컨트롤러와 연동 가능할 것

마. 레이저 여기 광학계 1) 빔스플리터 Ÿ 레이저 조사광 및 수집광의 광경로를 분기하기 위한 플레이트형 빔스플리터 Ÿ 가시광 및 근적외선 영역에서 사용할 수 있는 광대역 코팅이 적용될 것 Ÿ 입사광을 투과광과 반사광으로 약 50:50 비율로 분할할 수 있을 것 Ÿ 현미경 광학 모듈의 필터 터렛에 직접 장착 가능한 크기일 것 2) 레이저 집광 및 콜리메이팅용 비구면 렌즈 Ÿ 광섬유로부터 출력되는 레이저를 자유공간 광으로 집광 또는 콜리메이팅하기 위한 고 NA 비 구면 렌즈 Ÿ 785 nm 레이저를 포함하는 근적외선 영역에서 저반사 특성을 갖는 AR 코팅이 적용될 것 Ÿ 광섬유 출력광의 높은 발산각을 수용할 수 있도록 높은 수치개구수(NA)를 가질 것 Ÿ 나사 체결형 마운트 구조로 광학계에 정렬 및 고정할 수 있을 것 3) 광섬유 연결 어댑터 Ÿ 서로 다른 광섬유 커넥터를 이용한 레이저 입력이 가능하도록 FC/PC 및 SMA 커넥터를 모두 지원할 것 Ÿ 광섬유 출력단을 SM1 기반 광학계 및 30 mm Cage System과 결합할 수 있을 것 Ÿ 외부 나사 방식으로 렌즈 튜브 및 기타 광기계 부품에 체결 가능할 것 Ÿ 광누설을 최소화할 수 있는 구조일 것 바. 레이저 빔 위치 측정 및 정렬부 Ÿ 레이저 광학계의 광축 높이, 부품 배치 위치 및 광학 부품 간 거리 측정을 위한 정렬 도구로 구성 Ÿ 광축 높이 측정자, 거리 측정자 및 정렬용 장착 브래킷으로 구성

Ÿ 추가 광경로용 Dichroic/Beamsplitter 크기 : 32 × 44 mm, 두께 2.0 ± 0.1 mm Ÿ 추가 광학 포트 : SM1 thread 및 30 mm cage system 호환 Ÿ 외부 광학계 연결 인터페이스 : 60 mm cage system 호환 Ÿ 조명 입력 : Collimated illumination source 연결 가능 ○ 조명 광학계 1) 고출력 백색 LED 광원 Ÿ 광원 방식 : High-Power LED Ÿ 광원 색상 : Daylight White Ÿ 상관 색온도(Correlated Color Temperature) : 5,700 K Ÿ LED 발광부 크기(Emitter Size) : Ø4.25 mm Ÿ 평행광 출력 광파워(Collimated Output Power) : 3.5 W 이상 Ÿ Typical Collimated Output Power : 4.6 W Ÿ 정격 시험 전류(Test Current) : 10,000 mA Ÿ 최대 연속 구동 전류(Max Current, CW) : 10,000 mA Ÿ 최대 순방향 전압(Forward Voltage) : 3.5 V Ÿ 전기적 소비전력(Electrical Power) : 35 W Ÿ 최대 조사강도(Maximum Irradiance) : 1.4 mW/mm² 수준 Ÿ 측정거리 : 200 mm Ÿ 출력부 유효 구경(Clear Aperture) : Ø48.3 mm Ÿ 광원 출력부 나사 규격 : SM2 (2.035"-40) Ÿ 콜리메이팅 렌즈 : 2매 이상의 Collimation Optics 포함 Ÿ 균일 조명을 위한 Diffuser 포함 Ÿ 광원 Typical Lifetime : 10,000시간 이상 Ÿ 사용 온도 : 0–40 °C (비응축 조건) Ÿ 보관 온도 : -40–70 °C Ÿ 과열 보호 기능 : 내부 온도 95 °C 도달 시 자동 차단 Ÿ 냉각 방식 : 방열판을 이용한 Passive Cooling Ÿ 광생물학적 안전등급 : IEC 62471:2006 기준 RG3

2) 광원 연결 어댑터 Ÿ 형식 : LED 광원-에피 조명 모듈 연결용 Dovetail Adapter Ÿ 광원 측 연결 규격 : External SM2 Thread (2.035"-40) Ÿ 현미경 측 연결 규격 : Male D3T Dovetail ○ 전동 스테이지 Ÿ 이동 축 : X, Y, Z 3축 Ÿ XY축 이동 범위 : 각 축 25.4 mm 이상

Ÿ 최소 구현 증분 이동량 : 424 nm 이하

Ÿ 제어 방식 : Open/Closed-Loop Microstepping Ÿ Microstepping : 128 Microsteps / Full Step Ÿ 위치 피드백 : Quadrature Encoder(QEP), 5 V

Ÿ 입력 전원 : 24 VDC, 6.67 A Ÿ 연결된 호환 스테이지의 자동 인식 및 설정 기능을 지원할 것 Ÿ PC 기반 GUI를 통한 위치 이동, Jog, Homing, 속도 및 가속도 설정 등의 제어가 가능할 것 Ÿ 조이스틱 제어와 PC 소프트웨어 제어를 동시에 사용할 수 있을 것 2) 조이스틱 Ÿ 제어 축 : 3축 Ÿ 축별 입력 방식 : Rotating Encoder Knob 3개 Ÿ 축별 Enable/Disable 입력 : Push-Button Switch 3개 Ÿ 상태 표시 : 축별 Green LED Ÿ Encoder Bit Resolution : 10 bit Ÿ Encoder Resolution : 0.35° Ÿ 이동 속도 조절 : 별도의 Speed Control Knob 제공 Ÿ 통신 방식 : USB HID Ÿ Computer Connection : USB 2.0 Ÿ 입력 전원 : 5 VDC (USB) Ÿ 소비 전류 : 평균 50 mA, 최대 100 mA ○ 여기 광학계 1) 빔스플리터 Ÿ 기판 재질 : UV Fused Silica

Ÿ 사용 파장 범위 : 350–1100 nm Ÿ Beam Split Ratio : 50:50 Ÿ Split Ratio Tolerance : ±12% Ÿ 반사율 : 약 50% Ÿ 투과율 : 약 50% Ÿ 설계 입사각(AOI) : 45°

Ÿ 광대역 반사 방지 및 빔 분할 코팅이 적용 Ÿ 현미경 필터 터렛의 25 mm × 36 mm, 두께 1 ± 0.1 mm 광학소자 장착 규격과 호환 2) 비구면 렌즈

Ÿ 렌즈 외경 : Ø6.325 mm Ÿ Clear Aperture - 제1면(S1) : Ø3.84 mm - 제2면(S2) : Ø5.00 mm Ÿ Center Thickness : 3.214 mm Ÿ 설계 파장(Design Wavelength) : 830 nm Ÿ AR Coating Range : 600–1050 nm Ÿ 렌즈 재질 : D-ZK3 또는 동등 이상 Ÿ 마운트 포함 전체 외경 : 약 Ø9.2 mm Ÿ 마운트 나사 규격 : M9 × 0.5 3) 비구면 렌즈 어댑터 Ÿ 나사 규격 : External SM05 (0.535"-40) 4) 파이버 어댑터 Ÿ 지원 광섬유 커넥터 : FC/PC 및 SMA 모두 호환 Ÿ FC/PC 커넥터 : 2.0 mm Narrow Key 방식 지원 Ÿ SMA 커넥터 : SMA 계열 광섬유 커넥터 지원 Ÿ 광학계 측 나사 규격 : External SM1 (1.035"-40) Ÿ SM1 Lens Tube 규격 Ÿ 30 mm Cage System의 SM1 나사식 Cage Plate와 호환 ○ 레이저 빔 정렬 Ÿ 광학계 거리 측정 길이 : 1 m Ÿ 광축 높이 측정 범위 : 5" (130 mm), 6" (155 mm) Ÿ 측정 눈금 : mm / inch Ÿ 고정 및 위치 정렬 방식 : Magnetic / Dowel Pin Ÿ 정렬 브래킷 장착 각도 : 90° Ÿ 수평 확인 방식 : Bubble Level ○ 분광기 설치부 Ÿ 크기 : 450 × 600 mm Ÿ 두께 : 12.7 mm Ÿ 재질 : Aluminum Ÿ 탭 규격 : M6 × 1.0 Ÿ 탭 홀 간격 : 25 mm Ÿ 질량 : 9.0 kg Ÿ 최대 하중 : 10.73 kg ○ 레이저 빔 차단부 Ÿ 구성 형식 : Beam Block / Beam Trap Ÿ 적용 레이저 : CW / Pulsed Ÿ 파장 범위 : 200 nm ~ 3 µm

Ÿ 최대 평균 출력 밀도 : 150 W/cm² / 15 W/cm² Ÿ 최대 에너지 밀도 : 30 mJ/cm² / 40 J/cm²

4. 기타 조건 (Remarks) 가. 설치 : 지정 장소 (정보융합대학 누리관 2층 2216호 RFIC 연구실) 나. 납품범위 Ÿ 제품 운반 Ÿ 정상적인 사용에 필요한 기본 부속품 제공 다. 납품 기일 : 계약일로부터 90일 이내 라. 납품되는 제품은 미사용 신품이어야 하며, 본 규격서에 부합하는 제품 또는 동등 이상의 성능을 갖 춘 제품이어야 한다.

물품 규격서(2)

(CommodityDescription)

□ 작성자

1. 용도 가. 광학 현미경 및 자체 구성 광학계에서 결상된 반도체·광소자 시료의 표면, 미세구조 및 패턴 영상을 디지털 데이터로 취득하는 데 사용한다. 나. 광축 정렬과 결상 상태를 실시간으로 확인하여 렌즈, 조명 및 시료 위치 조건을 조정하는 데 활용한 다. 다. 취득 영상을 실험용 컴퓨터로 전송하여 표면 형상 비교, 광학 상태 확인 및 영상 기반 특성평가에 활용한다. 2. 장비의 구성 현미경 및 광학계용 디지털 카메라 (1개) 가. 영상 취득부 1) 컬러 CMOS 디지털 카메라 Ÿ 현미경 및 자체 구성 광학계에서 결상된 영상을 컬러 CMOS 이미지 센서를 이용하여 디지털 영상으로 취득할 수 있을 것 Ÿ 프레임 전체를 동시에 노출하는 전자 셔터 방식을 적용하여 움직임 또는 외부 트리거 기반 취득 시 영상 왜곡을 줄일 수 있을 것 Ÿ 노출시간 및 영상 취득 조건을 제어하고 외부 트리거 신호를 이용하여 광원, 스테이지 또는 계측장비와 영상 취득 타이밍을 동기화할 수 있을 것 Ÿ 취득된 영상 데이터를 고속 디지털 인터페이스를 통해 실험용 컴퓨터로 전송할 수 있을 것 Ÿ 현미경 결상부 및 렌즈 튜브와 결합할 수 있으며 케이지 또는 포스트 기반 광학계에 안정적으로 장착할 수 있을 것 3. 성능 및 규격(Performance and Specification) ○ 이미지 센서 사양 Ÿ 센서 형식 : Color CMOS Ÿ 유효 화소수 : 12.3 MP Ÿ 해상도 : 4096 × 3000 pixels Ÿ 픽셀 크기 : 3.45 × 3.45 µm Ÿ 유효 센서 영역 : 약 14.13 × 10.35 mm Ÿ 광학 포맷 : 1.1 inch, 대각 약 17.5 mm Ÿ 전자 셔터 : Global Shutter Ÿ 컬러 센서 보호부 : IR-Cut Filter 적용 ○ 영상 취득 및 제어 사양 Ÿ 최대 전체 센서 프레임률 : 21.7 fps 이상 Ÿ 디지털 출력 : 최대 12 bit Ÿ Read Noise : 2.5 e⁻ RMS 미만급 Ÿ 노출 제어 : Exposure 및 Bulb Mode 지원 Ÿ 외부 동기 : External Trigger 지원 Ÿ 데이터 인터페이스 : USB 3.0 ○ 광학 및 기계 장착 사양 Ÿ 기본 렌즈 마운트 : C-Mount, 1.000"-32 Ÿ 렌즈튜브 연결 : SM1(1.035"-40) 계열 연결 지원 Ÿ 케이지 장착 : 30 mm Cage System 호환 Ÿ 포스트 장착 : 1/4"-20 체결 지원 Ÿ 냉각 방식 : Passive Cooling Ÿ 외형 크기 : 약 76.7 × 60.3 × 47.6 mm

4. 기타 조건(Remarks) 가. 납품 : 지정 장소(정보융합대학 누리관 2층 2216호 RFIC 연구실) 나. 납품범위 • 제품 운반 • 정상적인 사용에 필요한 기본 부속품 제공 다. 납품 기일 : 계약일로부터 90일 이내 라. 납품되는 제품은 미사용 신품이어야 하며, 본 규격서에 부합하는 제품 또는 동등 이상의 성능을 갖 춘 제품이어야 한다.

물품 규격서(3)

(CommodityDescription)

□ 작성자

1. 용도 가. 본 장비는 반도체 소자 및 웨이퍼 시료를 광학 관측 위치에 정렬하기 위한 3축 위치 조정 스테이지로, X·Y·Z 각 축에 13 mm의 조동 구동과 300 µm의 미동 구동을 제공하여 관측 대상을 광축에 맞출 수 있어야 한다. 나. 본 장비는 반도체 검사·계측 광학계의 시료 이송부로 사용되며, 크로스드 롤러 베어링 구조와 0.5 µm 미동 분해능을 통해 고배율 관측 시 요구되는 미세 위치 재현성을 확보할 수 있어야 한다. 2. 장비의 구성 관측용 위치 조정 스테이지 및 구성품 (1세트) 가. 스테이지 본체 1) 구동 기구 : 크로스드 롤러 베어링 방식 3축(X·Y·Z) 구조 2) 데크 높이 : 62.5 mm, 광축 높이 75 mm 3) 베이스부 : 브레드보드 및 광학 테이블 체결용 홀 및 슬롯 가공 나. 구동부 1) 차동 마이크로미터 3개 사전 장착, 조동 및 미동 2단 조절 방식 2) 장착 배럴 : Ø9.5 mm, 구동부 분리 및 교체 가능 구조 다. 상판 1) 중앙 키홈이 가공된 미터 규격 탑 플레이트 포함 3. 성능 및 규격(Performance and Specification) ○ 구동 성능

Ÿ 미동 이송량 : 50 μm/rev ○ 정밀도 Ÿ 각도 런아웃 : X 방향 ±125 µrad, Y 방향 ±75 µrad, Z 방향 ±150 µrad Ÿ 직진도 : ±10 µm ○ 기구 및 하중 Ÿ 최대 하중 : 4.4 kg (9.7 lbs) Ÿ 데크 높이 : 62.5 mm (2.46") Ÿ 광축 높이 : 75 mm (2.95") Ÿ 구동부 배럴 직경 : Ø9.5 mm (Ø3/8") 4. 기타 조건 (Remarks) 가. 납품 : 지정 장소 (정보융합대학 누리관 2층 2216호 RFIC 연구실) 나. 납품범위 Ÿ 제품 운반 Ÿ 정상적인 사용에 필요한 기본 부속품 제공 다. 납품 기일 : 계약일로부터 90일 이내 라. 납품되는 제품은 미사용 신품이어야 하며, 본 규격서에 부합하는 제품 또는 동등 이상의 성능을 갖 춘 제품이어야 한다.

물품 규격서(4)

(CommodityDescription)

□ 작성자

1. 용도 가. 본 장비는 반도체 소자 및 웨이퍼 표면의 미세 구조를 고해상도로 촬영하기 위한 광학 영상 카메라로, 2448 x 2048 화소의 모노크롬 CMOS 센서와 글로벌 셔터 방식을 적용하여 이송 중인 시료에 대해서 도 형상 왜곡 없이 영상을 취득할 수 있어야 한다. 나. 본 장비는 반도체 검사 및 계측용 광학계에 결합하여 표면 결함 관찰과 이미지 기반 치수 측정에 - 사용되며, 12비트 계조와 2.5 e RMS 미만의 낮은 읽기 잡음을 통해 저조도 조건의 반도체 검사 환 경에서도 안정적인 영상 취득이 가능해야 한다. 2. 장비의 구성 광학 영상 카메라 및 구성품 (1세트) 가. 카메라 본체 1) 센서부 : 2/3" 포맷 모노크롬 CMOS 센서, 글로벌 셔터 방식 2) 광학 인터페이스 : C-마운트 (1.000"-32) 어댑터 장착 3) 보호 광학창 : AR 코팅 윈도우 내장, 사용자 교체 가능 4) 냉각부 : 무팬 수동 냉각 구조 5) 마운팅부 : 상면 및 하면 1/4"-20 탭 홀 각 1개, 30 mm 케이지 호환 4-40 홀 4개 6) 인터페이스부 : USB 3.0 포트, 외부 트리거용 보조 포트 나. 포함 구성품 1) USB 3.0 케이블 3 m (Micro B to A) 2) 광학 조립부 분리용 렌치 3) 렌즈 캡 4) 퀵스타트 가이드 및 매뉴얼 다운로드 안내 카드

다. 소프트웨어 1) 영상 취득 소프트웨어 : Windows 10 64비트 및 Windows 11 지원 2) 개발 인터페이스 : SDK 및 API 제공, C, C++, C#, Python, Visual Basic .NET 지원 3. 성능 및 규격(Performance and Specification) ○ 센서 Ÿ 센서 형식 : Monochrome CMOS Ÿ 셔터 방식 : Global Ÿ 유효 화소 : 2448 x 2048 (H x V) Ÿ 촬상 영역 : 8.4456 mm x 7.0656 mm (H x V) Ÿ 픽셀 크기 : 3.45 µm x 3.45 µm Ÿ 광학 포맷 : 2/3" (11 mm Diagonal) ○ 영상 성능 Ÿ 최대 프레임 속도 : 53.2 fps (Full Sensor) Ÿ ADC 분해능 : 12 Bits - Ÿ 읽기 잡음 : < 2.5 e RMS - Ÿ 암전류 : < 0.25 e /pixel/s Ÿ - full well 용량 : ≥ 10000 e Ÿ 동적 범위 : Up to 71 dB Ÿ 최대 양자 효율 : 72% (525 to 580 nm; Typical) ○ 노출 설정 Ÿ 노출 시간 : 0.021 ms to 7330 ms in ~0.007 ms Increments 4. 기타 조건 (Remarks) 가. 납품 : 지정 장소 (정보융합대학 누리관 2층 2216호 RFIC 연구실) 나. 납품범위 Ÿ 제품 운반 Ÿ 정상적인 사용에 필요한 기본 부속품 제공

다. 납품 기일 : 계약일로부터 90일 이내 라. 납품되는 제품은 미사용 신품이어야 하며, 본 규격서에 부합하는 제품 또는 동등 이상의 성능을 갖 춘 제품이어야 한다.

물품 규격서(5)

(CommodityDescription)

□ 작성자

1. 용도 가. 본 장비는 반도체 소자 및 웨이퍼 표면의 미세 패턴을 관찰하기 위한 광학 줌 렌즈로, 0.58 - 7X 범위 에서 배율을 연속 조절하여 검사 대상의 크기와 관찰 범위에 따라 배율을 변경할 수 있어야 한다. 나. 본 장비는 반도체 검사용 광학계를 구성하는 데 사용되며, 12 mm 미세 초점 조절 기구와 2/3" 센 서 포맷 대응 설계를 통해 영상 카메라와 결합한 반도체 표면 관찰 및 이미지 기반 계측에 활용할 수 있어야 한다. 2. 장비의 구성 광학 줌 렌즈 (1개) 가. 줌 렌즈 본체 1) 배율 조절부 : 0.58 - 7X 연속 가변, 12X 줌 범위 2) 미세 초점 조절부 : 12 mm 초점 이동 거리 3) 결합 나사부 : 1.093"-32 내부 나사, 1.500"-32 외부 나사 4) 배율 및 초점 조절 방식 : 수동 조절식 3. 성능 및 규격(Performance and Specification) ○ 광학 성능 Ÿ 줌 범위 : 12X Ÿ 배율 범위 : 0.58 - 7X Ÿ 작동 거리 : 86 mm Ÿ 대물 개구수 : 0.019 - 0.101 Ÿ 분해 한계 : 18.52 µm - 3.34 µm Ÿ 피사계 심도 : 1.39 mm - 0.05 mm Ÿ 대응 센서 포맷 : 2/3“ ○ 초점 조절 및 결합 규격 Ÿ 미세 초점 이동 거리 : 12 mm Ÿ 내부 나사 : 1.093"-32 Ÿ 외부 나사 : 1.500"-32 Ÿ 조절 방식 : Manual

4. 기타 조건 (Remarks) 가. 납품 : 지정 장소 (정보융합대학 누리관 2층 2216호 RFIC 연구실) 나. 납품범위 Ÿ 제품 운반 Ÿ 정상적인 사용에 필요한 기본 부속품 제공 다. 납품 기일 : 계약일로부터 90일 이내 라. 납품되는 제품은 미사용 신품이어야 하며, 본 규격서에 부합하는 제품 또는 동등 이상의 성능을 갖 춘 제품이어야 한다.

물품 규격서(6)

(CommodityDescription)

□ 작성자

1. 용도 가. 본 장비는 반도체 검사용 광학 관측계에서 대물 광학계가 형성한 상을 카메라 센서면에 결상시키기 위한 광학 결상 튜브로, 초점 거리 200 mm의 튜브 렌즈를 내장하여 1배 배율로 상을 전달할 수 있어 야 한다. 나. 본 장비는 반도체 표면 관찰용 영상 취득부와 관측 광학계를 기계적으로 연결하며, 카메라 센서를 결상면에 정렬하기 위한 미세 초점 조절 기구를 내장하여 조립 공차에 따른 초점 오차를 보정할 수 있어야 한다. 2. 장비의 구성 광학 결상 튜브 (1개) 가. 결상 튜브 본체 1) 튜브 렌즈부 : 초점 거리 200 mm 튜브 렌즈 내장, 1배 배율 2) 카메라 결합부 : 상부 C-마운트 (1.00"-32) 외부 나사 3) 광학계 결합부 : 하부 Male D1N 도브테일 4) 초점 조절부 : 카메라 직전 미세 초점 조절 기구 내장 3. 성능 및 규격(Performance and Specification) ○ 광학 성능 Ÿ 배율 : 1X Ÿ 내장 튜브 렌즈 : 초점 거리 200 mm Ÿ 결상 방식 : 카메라 센서를 결상면에 위치시키는 고정 배율 방식 ○ 결합 규격 Ÿ 카메라 결합 나사 : C-Mount (1.00"-32) Ÿ 광학계 결합부 : Male D1N Dovetail Ÿ 초점 조절 : 미세 초점 조절 기구 내장 4. 기타 조건 (Remarks) 가. 납품 : 지정 장소 (정보융합대학 누리관 2층 2216호 RFIC 연구실)

나. 납품범위 Ÿ 제품 운반 Ÿ 정상적인 사용에 필요한 기본 부속품 제공 다. 납품 기일 : 계약일로부터 90일 이내 라. 납품되는 제품은 미사용 신품이어야 하며, 본 규격서에 부합하는 제품 또는 동등 이상의 성능을 갖 춘 제품이어야 한다.

물품 규격서(7)

(CommodityDescription)

□ 작성자

1. 용도 가. 본 장비는 반도체 검사용 줌 광학계와 영상 카메라 사이에 결합하여 배율을 2배로 확장하는 광학 확 장 튜브로, 관측 배율을 높여 반도체 표면의 미세 패턴을 더 크게 관찰할 수 있어야 한다. 나. 본 장비는 2/3" 센서 포맷 카메라에 대응하도록 설계되어, 반도체 검사용 광학계를 구성할 때 줌 렌 즈와 카메라 사이의 배율 단계를 결정하는 요소로 사용할 수 있어야 한다. 2. 장비의 구성 광학 확장 튜브 (1개) 가. 확장 튜브 본체 1) 배율부 : 2.00배 고정 배율 광학계 2) 대응 규격 : 2/3" 센서 포맷 카메라 대응 설계 3) 결합부 : 줌 광학계 및 카메라 결합용 나사부 3. 성능 및 규격(Performance and Specification) ○ 광학 성능 Ÿ 배율 : 2.00X Ÿ 대응 센서 포맷 : 2/3" Ÿ 적용 시스템 : 6.5X 및 12X 줌 렌즈 공용 Ÿ 결합 조건 : 줌 렌즈 사용 시 결합되어야 하는 구성품 ○ 6.5X 줌 렌즈 결합 시 시스템 배율 및 작동 거리 Ÿ 배율 어태치먼트 미사용 : 1.40 - 9.00, 작동 거리 92 mm

○ 12X 줌 렌즈 결합 시 시스템 배율 및 작동 거리 Ÿ 배율 어태치먼트 미사용 : 1.16 - 14.00, 작동 거리 86 mm

○ 대응 픽셀 크기 Ÿ 6.5X 줌 렌즈 결합, 어태치먼트 미사용 : 10.15 - 21.15 µm Ÿ 12X 줌 렌즈 결합, 어태치먼트 미사용 : 10.74 - 23.38 µm Ÿ 전체 구성 범위 : 9.67 - 23.52 µm 4. 기타 조건 (Remarks) 가. 납품 : 지정 장소 (정보융합대학 누리관 2층 2216호 RFIC 연구실) 나. 납품범위 Ÿ 제품 운반 Ÿ 정상적인 사용에 필요한 기본 부속품 제공 다. 납품 기일 : 계약일로부터 90일 이내 라. 납품되는 제품은 미사용 신품이어야 하며, 본 규격서에 부합하는 제품 또는 동등 이상의 성능을 갖 춘 제품이어야 한다.

물품 규격서(8)

(CommodityDescription)

□ 작성자

1. 용도 가. 반도체 및 광소자 시료의 현미경 관찰과 광학 특성평가를 위한 모듈형 현미경 광학계의 기준 구조 물로 사용한다. 나. 대물렌즈, 조명 모듈, 결상 광학계 및 검출부를 하나의 수직 기준축에 장착하여 안정적인 광축과 작 업공간을 확보하는 데 활용한다. 다. 반사 조명, 레이저 여기, 영상 및 분광 검출 모듈을 추가·재배치할 수 있는 확장형 현미경 플랫폼으 로 사용한다. 2. 장비의 구성 모듈형 현미경 본체 (1개) 가. 현미경 기계 구조부 1) 모듈형 현미경 본체 Ÿ 반도체 및 광소자 시료의 현미경 관찰과 광학 특성평가를 위한 광학 모듈을 수직 방향으로 배치 할 수 있는 고강성 현미경 본체로 구성할 것 Ÿ 전면 수직 레일에 연속형 도브테일 장착면을 제공하여 대물렌즈 장착부, 결상부, 조명부 및 사용 자 정의 광학 모듈의 높이를 조절할 수 있을 것 Ÿ 시료 상부에 반사 조명 및 레이저 여기 광학계를 배치할 수 있는 수평 Epi-illumination arm 구조 를 갖출 것 Ÿ 반사 조명 암의 상부와 하부에 모듈형 광학부 및 cage 계열 광학계를 연결할 수 있는 인터페이스 를 제공할 것 Ÿ 광학 테이블 또는 브레드보드에 견고하게 고정할 수 있는 베이스 구조와 Metric/Imperial 장착홀 을 갖출 것 3. 성능 및 규격(Performance and Specification) ○ 현미경 본체 기계 사양 Ÿ 수직 레일 높이 : 500 mm Ÿ 전체 높이 : 약 515.9 mm Ÿ 수직 장착면 : 95 mm Linear Dovetail Ÿ 반사 조명 암 Throat Depth : 약 196.6 mm (7.74 inch) Ÿ 질량 : 약 16.15 kg ○ 모듈 및 장착 호환 사양 Ÿ 현미경 모듈 장착 : Linear Dovetail 기반 위치 조절 Ÿ 외부 광학계 연계 : 60 mm Cage System 계열 호환 Ÿ 베이스 장착 : M6 및 1/4 inch 계열 Counterbore 제공 Ÿ 구조 형식 : Epi-Illumination Arm 포함 모듈형 현미경 본체

4. 기타 조건(Remarks) 가. 납품 : 지정 장소 (정보융합대학 누리관 2층 2216호 RFIC 연구실) 나. 납품범위 • 제품 운반 • 정상적인 사용에 필요한 기본 부속품 제공 다. 납품 기일 : 계약일로부터 90일 이내 라. 납품되는 제품은 미사용 신품이어야 하며, 본 규격서에 부합하는 제품 또는 동등 이상의 성능을 갖 춘 제품이어야 한다.

물품 규격서(9)

(CommodityDescription)

□ 작성자

1. 용도 가. 레이저 또는 광원 빔을 균일한 선형 조사 패턴으로 변환하여 반도체 및 광소자 시료의 선형 조명 조건을 구성하는 데 사용한다. 나. 광학 특성평가 및 영상·분광 측정계에서 조사 폭과 조사 형상을 제어하는 빔 형상 변환 소자로 활용 한다. 다. 가시광 및 근적외선 광학계에서 광원, 필터 및 검출부와 결합하여 반복 가능한 선형 조사 조건을 구 성하는 데 사용한다. 2. 장비의 구성 선형 빔 형상 변환용 정밀 광학렌즈 (1개) 가. 레이저 빔 형상 변환부 1) 선형 빔 형상 변환용 정밀 렌즈 Ÿ 입사되는 원형 또는 준원형 레이저 빔을 일정한 Fan Angle을 갖는 선형 조사 패턴으로 변환할 수 있을 것 Ÿ 선형 조사영역에서 중심부 광량 집중을 완화하고 상대적으로 균일한 선형 광강도 분포를 형성할 수 있을 것 Ÿ 가시광 및 근적외선 일부 대역에 사용할 수 있는 광학 유리 기판과 광대역 반사방지 코팅이 적용될 것 Ÿ 소형 광학 마운트에 삽입하여 광축 및 빔 방향에 맞춰 정렬·고정할 수 있는 정밀 외형을 가질 것 3. 성능 및 규격(Performance and Specification) ○ 빔 형상 및 광학 사양 Ÿ 광학 형식 : Precision Beam-Shaping Powell Lens Ÿ Fan Angle : 15° Ÿ 기준 입력 빔 직경 : 1.3 mm @ 1/e² Ÿ 코팅 대역 : 500 ~ 850 nm Ÿ 코팅 형식 : Broadband Anti-Reflection Coating ○ 기판 및 외형 사양 Ÿ 기판 재질 : N-BK7 Ÿ 외형 폭 : 8.90 mm, 공차 +0.00 / -0.15 mm Ÿ 외형 높이 : 8.90 mm, 공차 +0.00 / -2.00 mm