[26기자재확충-일반-48] 공과대학 플라즈마 발생기

요약 AI 요약

충남대학교 공과대학 신소재공학과의 계면공학 및 재료분석 실험실에 설치할 6인치 진공 플라즈마 증착 장비(플라즈마 발생기) 1대를 구매하는 사업이다. 반도체·디스플레이 공정에 적용 가능한 식각, 박막 증착, 표면 세정, 표면 활성화 기능을 수행하는 장비를 공급·설치한다.

• 반응기(Chamber): 알루미늄 재질, 표면처리로 내부식성 강화, 최대 6인치 기판 지원
• 플라즈마 발생 장치: RCP 또는 CCP 방식, 저에너지 이온 공급장치, 이온 손상 최소화를 위한 파워 제어 기능, 플라즈마 발생 시간 초단위 정밀 제어
• Gas connect: NH3, Ar, N2, O2 공급
• RF System Assembly: RF Generator·Matcher 13.56MHz 최대 1kW, Pulse 가능, Auto Matching
• 제어부: 터치스크린 LCD 모니터, 산업용 PC 기반 컨트롤러(CPU Intel i3 이상, RAM 8GB 이상, SSD 1TB 이상, SSD 미러링 백업 기능)
• MFC & Valve: 1,000 sccm, 디지털 신호, 응답 1초 이하, 유량 정확도 ±1% 이내, 반복정밀도 ±0.2% 이내, KITZ(JP) 밸브 180℃ 이하 / 진공도: 공정 챔버 Base Pressure 20mTorr 이하(상온), 2시간 펌핑 후 50mTorr 이하, 공정온도에서 2mTorr/min 이하 / System interlock 기능 필수

AI에게 이 공고를 물어볼 때 · ChatGPT · Claude에 이 링크를 함께 주면 공고문과 첨부를 정리한 글을 읽고 답합니다. /ai/projects/R26BK01743272 · 베타 기간 무료

사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 플라즈마 발생기 구매·설치

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

반도체·디스플레이 공정용 식각·PEALD·세정이 가능한 6인치 진공 플라즈마 증착 장비를 사서 실험실에 설치하는 일이 사업의 전부다.

• 공정 설치 완료(현장설치도)
• 시운전
• 납품 후 1년 하자보수
• 물품규격검토확인서 제출

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

대전광역시

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자입찰

입찰 일정

가격

추정가격

24,400,000원

배정예산

26,840,000원

기초금액

26,840,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)

낙찰하한율

86.245%

부가세

2,440,000원

예정가격 방식

복수예가

납품

품명

진공증착기 (2399039801)

수량

1 대

납품

계약 후 90일

인도조건

설치까지 · 현장설치도

제조물품

아니오

세부품명 등록

등록 필요

공고 정보

공고종류

재공고 (재입찰공고)

게시일

09/23(수)

공고번호

R26BK01743272-000

참조번호

제2026-92호

공고기관

충남대학교

수요기관

충남대학교

계약방법

제한경쟁

낙찰방법

적격심사제

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

24,400,000원

배정예산

26,840,000원

사전규격번호

R26BD00256015

재공고

재공고

출처

나라장터

첨부파일

• HWP · [재공고-2026-92] 26기자재확충-일반-48 공과대학 플라즈마 발생기.hwp · 공고규격서
• PDF · [재공고-2026-92] 26기자재확충-일반-48 공과대학 플라즈마 발생기.pdf · 공고규격서
• XLS · 1. (일반-48) 2026년도 실험실습기자재확충 품목명세서.xls · 공고규격서
• HWP · 2. (내자)물품구매규격서_플라즈마 발생기.hwp · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

문서 발췌

과업·요구

A. 용도 1. 반도체·디스플레이 공정 적용 가능 - 식각(Etching) 기능 : 플라즈마 이온을 이용해 미세 패턴을 정밀하게 깎는 공정 - 박막 증착(PEALD) 기능 : 플라즈마로 반응성을 높여 낮은 온도에서 막을 형성 - 표면 세정(Descum, Ashing)기능 : 유기 오염물, 포토레지스트 잔여물 제거 - 표면 활성화 : 웨이퍼 표면의 결합 반응성 향상 B. 구성(부속품 포함) 1. 반응기(Chamber) 2. 플라즈마 발생 장치(Plasma Source) -RCP (Remote Coupled Plasma) 또는 CCP(Capacitively Coupled Plasma) 저에너지 이온 공급장치 이온 손상 최소화를 위한 파워 제어 기능, 플라즈마 발생 시간 초단위 정밀 제어 3. Gas connect (NH3, Ar, N2, O2) C. 규격 1. 반응기(Chamber) 재질 Al (표면처리, 내부식성 강화 必) 2. 기판 크기 최대 6인치 3. RF System Assembly RF Generator, Matcher 13.56 MHz 최대 ~1Kw까지 구성 Pulse 가능 여부 : Yes Matching Network : Auto Matching 4. 제어 PC 사양 Monitor : Touch Screen LCD CPU : Industrial PC based Controller, CPU ≥ Intel i3이상 RAM : 8GB 이상 Storage : SSD 1TB 이상 SSD 백업을 위한 Mirroring 기능을 포함할 것

5. MFC (Mass Flow Controller) & Valve Specification : 1,000 sccm Signal Type - Digital MFC Response - ≤ 1 sec MFC Flow Accuracy - ≤± 1% of Set point. MFC Flow Repeatability - ≤± 0.2% of Full scale Valve ; KITZ (JP) ~≤180℃ 6. 진공도 (Vacuum Performance) Base Pressure Process Chamber : ≤ 20 mTorr @ R.T (≤ 50 mTorr, at the end of 2hrs pumping) Process Chamber : ≤ 2 mTorr/min @ Process Temperature 7. System interlock 기능 필수 D. 기타 공정 설치 완료 필수 ※ 위 규격과 동등 이상의 사양제품 납품 가능함 === [재공고-2026-92] 26기자재확충-일반-48 공과대학 플라즈마 발생기.hwp === 우편번호: 34134 주소: 대전광역시 유성구 대학로 99(궁동 220, 충남대학교) 홈페이지: http://www.cnu.ac.kr

물품 구매 입찰 재공고

(국내입찰/적격심사) ㆍ입찰공고번호: 충남대학교 공고 제2026-92호 ㆍ공고명: 2026년도 실험실습기자재확충 일반-48 공과대학 플라즈마 발생기 ㆍ전자입찰서제출 개시일시: 2026/09/28 10:00 ㆍ전자입찰서제출 마감일시: 2026/09/30 10:00 ㆍ개 찰 일 시: 2026/09/30 11:00 이후 ㆍ수 요 기 관: 충남대학교 이 입찰 설명서는 충남대학교에서 집행하는 입찰에서 입찰자와 낙찰자가 숙지하고 준수하여야 할 사항을 기재한 것으로써 모든 입찰 희망자는 이를 열람하여야 합니다. 이 입찰과 관련하여 추가로 문의할 사항이 있으시면 아래 담당자에게 연락하시기 바랍니다. ○ 입찰 참가 자격 등록, 나라장터 시스템: 정부조달 콜센터(☎ 1588-0800) ○ 입찰공고, 개찰, 계약방법 등: 충남대학교 재무과 (☎ 042-821-5134) ○ 물품규격 등 문의: 별첨 품목명세서의 신청학과로 문의

1. 입찰개요 -------------------------------------------------------------------------------------------------------- ○ 입찰건명: 2026년도 실험실습기자재확충 일반-48 공과대학 플라즈마 발생기 ○ 수요기관: 충남대학교 ○ 계약방법: 제한경쟁 ○ 세부품명: 품목명세서 및 규격서 참고 ○ 수량․단위: 품목명세서 및 규격서 참고 ○ 분할납품: 불가 ○ 입찰방법: 제한(총액) ○ 납품기한: 계약 후 90일 이내 ○ 인도조건: 현장설치도 ○ 기초금액: 26,840,000원(부가세포함) ○ 하자담보책임기간: 규격서 참고 ○ 기타사항: 공동계약불가 * 기타 세부사항(상세수량 및 규격 등)은 수요기관 요청문서에 의하며 전자입찰공고서에 첨부된 내역서, 규격서 등을 반드시 확인하시기 바라며, 규격 부분에 대해서는 수요기관에 정확히 문의 후 투찰하도록 하시기 바랍니다 2. 입찰(개찰) 일시 및 장소 -------------------------------------------------------------------------------------------------------- ○ 입찰방식: 전자입찰(국내입찰) ○ 전자입찰서제출 개시일시: 2026. 9. 28.(월) 10:00 ○ 전자입찰서제출 마감일시: 2026. 9. 30.(수) 10:00 ○ 입찰(개찰)일시: 2026. 9. 30.(수) 11:00 이후 ○ 개찰장소: 국가종합전자조달시스템(나라장터) ○ 동 입찰이 유찰될 경우 재입찰이 가능하니 국가종합전자조달시스템(http://www.g2b.go.kr)에서 개찰결과를 확인 후 공고된 일정에 따라 재입찰하시기 바랍니다. ○ 기초금액 및 입찰금액은 부가가치세를 포함한 가격이오니 입찰서 제출 시 유의하시기 바랍니다. 입찰결과 낙찰자가 면세사업자인 경우 낙찰금액에서 부가가치세 상당액을 차감한 금액을 계약금액으로 합니다. ○ 동일가격 입찰 낙찰자 결정 시 전자조달시스템을 통해 자동으로 추첨하는 방식을 적용합니다. 3. 입찰참가자격 -------------------------------------------------------------------------------------------------------- ◐ 다음 각 호의 자격을 모두 갖춘 자이어야 합니다.

참가자격

① 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제12조 및 같은법 시행규칙 제14조의 규정에 의한 요건을 갖추고 주된 영업소 소재지는 입찰공고일 전일부터 계약체결일까지 계속 대전광역시에 둔 자 ② 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 국가종합전자 조달시스템(나라장터)에 입찰참가자격등록 마감일시까지 아래의 모든 물품에 대해 세부품명번호 10자리를 입찰참가 등록한 자

과업·요구

참가자격

※ 물품목록 및 규격의 적합여부(동등이상 규격 등)는 해당학과에 반드시 확인하여 납품가능여부를 고려한 후 입찰서를 제출하시기 바랍니다. ③ 「중소기업기본법」제2조제2항에 따른 소기업 및 「소상공인기본법」제2조에 따른 소상공인으로서 「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 ‘소기업․소상공인 확인서’를 소지한 자 상기 ‘소기업․소상공인 확인서’는 전자입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 하며, 중소기업 공공구매 종합정보망(http://www.smpp.go.kr) 또는 중소기업현황정보시스템(http://sminfo.mss.go.kr)에서 확인이 안 될 경우 입찰참가자격이 없습니다. ○ 다만 소기업․소상공인 확인서를 전자입찰서 제출 마감일 전일까지 신청한 업체는 입찰 참가가 가능하나 다음의 어느 하나에 해당하는 경우에는 참가자격이 없습니다. - 적격심사 서류제출 마감일까지 소기업․소상공인확인서가 발급 되지 않은 경우 - 발급된 소기업․소상공인확인서가 입찰참가자격의 기업구분과 다른 경우 - 발급된 소기업․소상공인확인서의 유효기간 시작일이 전자입찰서 제출마감일 이후인 경우 - 전자입찰서 제출 마감일 이후 소기업․소상공인확인서를 신청한 경우 ◐ 아래에 해당하는 경우에는 위 입찰참가자격을 모두 갖춘 경우에도 동 입찰에 참여할 수 없습니다. ○「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제27조의5 및 같은 법 시행령 제12조 제3항에 따라 ‘조세포탈 등을 한 자’로서 유죄판결이 확정된 날부터 2년이 지나지 아니한 자 - 입찰자는 같은 법 시행령 제12조 제3항 각 호에 해당하지 아니한다는 서약서를 입찰시 제출하여야 합니다. 만일 서약내용이 허위로 판명될 경우 계약의 해제ㆍ해지를 당할 수 있고, 부정당업자 입찰참가자격제한처분을 받을 수 있습니다. (서약서 제출은 전자입찰 시 정해진 서식에 따라 송신한 입찰서로 갈음) 4. 제출서류 -------------------------------------------------------------------------------------------------------- ◐ 입찰참가자격 관련 사항은 ‘국가종합전자조달시스템’ 및 ‘중소기업제품 공공구매 종합정보망’에서 직접 확인하므로 별도 제출할 필요가 없습니다. * 다만, 동 시스템에서 확인되지 않거나 별도(추가 포함) 제출을 안내하였음에도 제출하지 않은 경우 입찰무효(입찰참가자격이 없음) 처리 합니다. ◐ 적격심사대상자 제출서류(개찰 후 순위에 따라 개별 통보) - 제출방법: 국가종합전자조달(G2B)시스템 또는 서면제출 - 제출서류: 적격심사 신청서 및 관련서류

과업·요구