입찰공고상세[물품] · 마감
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(재공고)오산대학교 AI반도체계열 실험실습기자재(광학방출분광계) 구매
재공고 · 유찰 · 오산대학산학협력단 · 반도체·박막 공정장비
- 결과
- 유찰
- 참가
- 0곳 · 개찰 10/01(목)
요약 AI 요약
오산대학교 AI반도체계열 실험실습용으로 광학 방출 분광계(OES) 1식을 구매하는 사업이다. Dry Etch 공정의 Plasma를 OES 방식으로 분석해 식각 종료점(EPD)을 설비에 전달하여 공정을 최적화하는 장비를 도입한다.
- EPD Detection Module: 1024x64 CCD 센서 어레이, QE 90%, TE Cooled, 파장 범위 200~950nm, SNR 1000:1, 16bit A/D, 적분시간 8ms~15분, SMA905 커넥터, USB2.0
- EPD Main Controller: 2U 랙, Intel i5-8500 이상, DDR4 16GB, SSD 500GB + HDD 1TB, Windows11 64bit 이상, 500W 이상, SAS-EPD 4.0 프로그램(버전 2.0 이상)
- 실시간 EPD 검출 알고리즘 소프트웨어: 신호 정규화(Viewport 오염 무관 검출), 미분 알고리즘, 실시간 차트, EPD 검출 오류 알람
- 분석 소프트웨어: Raw Data 모델링·시뮬레이션으로 EPD 파형 탐색, 다량 Raw Data 차트 표시로 공정 추세 분석, 오류 원인 분석 기능
- Sub Parts: 광섬유 케이블(600um, 4m, NA 0.22, 180~1150nm, SMA905), CMA(챔버 장착 어댑터, 사용자 지정 챔버 규격), 24인치 LCD 모니터
- 기술전수교육: 연간 2회 이상, 현장 또는 교육 가능 장소에서 실시
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사업 내용 · 이 공고에 든 일
중심 · 광학방출분광계 구매·설치·기술지원
물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비
Dry Etch 플라즈마의 식각 종료점(EPD)을 OES로 검출하는 반도체 공정 모니터링 장비를 사서 현장에 설치하는 일이 몸통이다.
- EPD Detection Module(CCD·광섬유 커넥터) 공급
- EPD Main Controller(산업용 PC·SAS-EPD S/W) 공급
- Sub Parts(광섬유 케이블·CMA·모니터) 공급
- 현장 설치 및 검수
- 기술전수교육 연 2회
- 하자보수 2년 및 S/W 무상 업그레이드
참가 자격 · 제한
- 업종제한
- 제한 없음
- 지역제한
- 제한 없음
- 공동수급
- 공동수급불허
- 입찰참가 제한
- 모름
- 실적경쟁 · PQ
- 모름
- 국제입찰
- 국내입찰
- 제출 방법
- 전자입찰
입찰 일정
| 진행 | 일시 | 남은 날 |
|---|---|---|
| 공고 게시 | 09/23(수) | 지남 |
| 입찰서 제출 시작 | 09/23(수) 10:00 | 지남 |
| 입찰참가자격 등록 마감 | 09/30(수) 18:00 | 지남 |
| 입찰서 제출 마감 | 10/01(목) 10:00 | 지남 |
| 개찰 | 10/01(목) 11:00 | 지남 |
가격
- 추정가격
- 26,545,455원
- 배정예산
- 29,200,000원
- 기초금액
- 29,200,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)
- 낙찰하한율
- 89.995%
- 부가세
- 2,654,545원
- 예정가격 방식
- 복수예가
납품
- 품명
- 교육훈련장비 (6010999901)
- 수량
- 1 식
- 납품
- 계약 후 30일
- 인도조건
- 설치까지 · 현장설치도
- 제조물품
- 아니오
- 세부품명 등록
- 아니오
공고 정보
- 공고종류
- 재공고 (재입찰공고)
- 게시일
- 09/23(수)
- 공고번호
- R26BK01742892-000
- 참조번호
- 산단-9
- 공고기관
- 오산대학산학협력단
- 수요기관
- 오산대학산학협력단
- 계약방법
- 일반경쟁
- 낙찰방법
- 제한적최저가(낙찰하한율)
- 계약유형
- 총액계약
- 예정가격 방식
- 복수예가
- 추정가격
- 26,545,455원
- 배정예산
- 29,200,000원
- 사전규격번호
- -
- 재공고
- 재공고
- 출처
- 나라장터
첨부파일
- HWP · 1. (재공고)입찰공고문.hwp · 공고규격서
- PDF · 1. (재공고)입찰공고문.pdf · 공고규격서
- HWP · 2. (재공고)입찰규격서.hwp · 공고규격서
- HWP · 3. (재공고)입찰유의서.hwp · 공고규격서
문서 발췌
과업·요구
2026. 9. ■ ■ ■ 물품 규격 및 수량 ■
Ⅰ 기자재 구매품목
| 기자재명 | 규 격 | 수 량 | 비 고 |
|---|---|---|---|
| 광학 방출 분광계 | 특징 및 사양서 참고 | 1식 |
Ⅱ 기자재 특징
품 명 광학 방출 분광계 1. 특 징 가. Dry Etch 공정 시 사용하는 Plasma를 OES 방식으로 분석하여 해당 막질의 제거 여부(식각 종료점)를 연결된 설비에 전달하여 공정을 최적화 함. 나. 실시간 EPD 검출 알고리즘을 탑재한 S/W 제공 1) Signal Normalization : Viewport 오염에 따른 Intensity 변화에 관계없이 EPD 검출 가능 2) 미분 알고리즘 : 눈으로 확인이 어려운 미세한 신호 변화를 극대화하여 정확한 EPD 검출 3) Chart : 선택한 파장의 Intensity 변화에 대한 Data를 실시간 Chart를 통하여 확인 가능 4) 알람 : EPD 검출 오류에 대한 알람 기능 제공 다. 다양한 분석을 위한 분석 S/W 제공 1) Raw Data Modeling, Simulation으로 쉽고 빠르게 원하는 파장의 EPD 파형을 찾을 수 있음 2) 많은 Raw Data를 Chart에 Display하여 공정 Trend 분석 가능 3) EPD 검출 오류 Raw Data에 대한 원인 분석, 해결 방안을 쉽고 빠르게 찾을 수 있음 라. 23년 이상 Dry Etch 양산 대응을 한 제품으로 고객 신뢰도 높음 1) 국내 고객사 : SDC, SEC, SKHynix, LGD, ICD, 원익IPS 등
2) 해외 고객사 : 중국 BOE, CSOT, Visionox, Tianma 등 2. 구 성 가. EPD Detection Module 1) 플라즈마 모니터링 측정 모듈 나. EPD Main Controller 2) SAS-EPDTM 분석 및 Real-time Endpoint S/W를 탑재한 산업용 PC 다. Sub Parts 4) CMA(Chamber Mounting Adaptor), Optic Fiber Cable, Monitor
Ⅲ 기자재 사양서 및 규격
품 명 EPD Detection Module 단 위 식 수 량 1 EPD Detection Module 가. CCD 1) High Speed MCA (Multi-Channel) with 1024x64 CCD sensing element array 2) QE (Quantum Efficiency) 90% 3) Back-thinned for good UV sensitivity 4) TE Cooled 나. Detector Wavelength Range : 200nm ~ 950nm 다. SNR (Signal to Noise Ratio) : 1000:1 라. A/D Resolution : 16bit 마. Integration Time : 8ms ~ 15minutes 바. Optic Fiber Connector : SMA905
사. Interface : USB2.0 480Mbps 품 명 EPD Main Controller 단 위 식 수 량 1 1. EPD Main Controller 가. Form Factor : 2U Standard Rack Size 나. CPU : Intel i5-8500 or Higher 다. RAM : DDR4 16GB 라. Storage : OS - SSD 1EA(500GB) / DATA – HDD 1EA (1TB) 마. OS : Windows11 64bit or Higher 바. Power Supply : 500W 급 or Higher 사. SAS-EPDTM 4.0 Program : Version 2.0 or Higher 품 명 Sub Parts 단 위 식 수 량 1 1. Optic Fiber Cable 가. Core Size : 600um, Single Type 나. Length : 4m 다. NA : 0.22 (Full angle 25.4 degrees) 라. Operating Wavelength : 180nm ~ 1150nm 마. Connector : SMA905 Standard 2. CMA (Chamber Mounting Adaptor) 가. User specified chamber dimension 3. Monitor 가. 24-inch LCD
<특약사항>
1. 부속품 - 광학 방출 분광계 - CCD 카메라 - 광섬유 케이블 2. 기술전수교육
가. 교육시간 : 연간 2회 이상 나. 장소 : 현장 또는 교육이 가능한 장소 다. 일정 및 경비 : 발주처와 협의 후 실시 3. 납품 및 검수 가. 기한일 내에 발주처가 지정하는 장소에 설치하여야 하며, 설치 및 검수에 필요한 제반 경비는 공급자가 부담 나. 납품에서 하자 발견 시 발주처는 시정요구를 할 수 있으며, 업체는 이에 응하여야 함. 4. 하자 보수 가. 검수일로부터 2년으로 하며 제품에 하자가 발생 시 즉시 보수 또는 교체하여야 하며, 소프트웨어는 영구버전으로 제공하여야 함.(소프트웨어 무상 Up-Grade 포함) 나. 시스템에 이상이 발생 시 또는 발주처 측의 긴급요청에 의한 사항은 즉시 가동이 될 수 있도록 조치해야함. 5. 기타
| 인도조건 | 현장설치도 | 공동수급 | 불허 |
|---|---|---|---|
| 하자보증기간 | 2년 | 납품장소 | 학과 지정장소 |
1. 입찰에 부치는 사항 가. 입찰건명: (재공고)오산대학교 AI반도체계열 실험실습기자재(광학방출분광계) 구매 나. 품명 및 수량: 규격서 참조 다. 입찰방법: 일반경쟁입찰 라. 납품기간: 계약일로부터 30일 마. 기초금액: 금29,200,000원(일금이천구백이십만원정) / 부가세포함 바. 입찰참가 및 개찰
참가자격
※ 입찰보증금은 전자 접수로만 가능하며, 미납부 시 사전판정 불합격으로 처리됩니다. 2. 입찰 참가자격 가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조(경쟁입찰의 참가자격) 및 동법 시행규칙 제14조(입찰참가자격요건의 증명) 규정에 의한 경쟁입찰 참가자격을 갖추고, 동법 시행규칙 제15조(입찰참가자격의 등록)에 의거하여 사업자등록과 나라장터(국가종합전자조달시스템) 이용자 등록을 필한 업체 나. 국가, 지방자치단체, 정부투자기관, 오산대학교 및 오산대학교 산학협력단에서 부정당업자로 제재 중인 자 및 법정관리, 면허 취소 등 자격에 관한 영업정지인 자가 아니어야 함 다. 입찰공고일 현재 청산, 합병, 매각 등 정리절차 중이거나 계획 중인 사업자와 부도, 화의, 워크아웃(대상 또는 진행 중인 업체) 또는 회생절차 (신청 중 포함)중인 사업자는 입찰에 참가할 수 없음 라. 제조사 기술지원 확약서 및 A/S 확약서를 제출할 수 있는 업체(제조사의 경우 자체 양식을 제출하고 공급사의 경우 제조사의 공문을 제출) 3. 제출서류(투찰 시 첨부파일 제출) 가. 입찰참가서 1부. (입찰유의서 붙임1) 나. 청렴계약 특수조건 1부. (입찰유의서 붙임2) 다. 청렴계약 이행 각서 1부. (입찰유의서 붙임3) 라. 서약서 1부. (입찰유의서 붙임4) 마. 사업자등록증 1부. (원본대조필) 바. 국세 및 지방세 완납증명서 각 1부. (유효기간 내 발급본에 한함)