(재공고)경사입사 전자빔 증발 증착 시스템(Glancing Angle E-beam Evaporator System)

요약 AI 요약

정밀 기판의 경사각을 제어해 박막의 성장 방향·밀도·공극률을 능동적으로 조절할 수 있는 구조 제어형 전자빔 증발 증착 장비 1세트를 구축하는 사업이다.

• 정밀 기판 경사각 제어(틸트 ±85°, 85°±0.5°)를 통한 박막 성장 방향·밀도·공극률 제어
• 4인치 웨이퍼 기준 막두께 균일도 ±5% 이내, 챔버 최고 진공도 5×10⁻⁷ Torr 이하
• PLC 기반 10인치 터치패널 반자동/수동 제어(자동 펌핑·벤팅, 자동 로딩·언로딩, 시스템 셧다운)
• 6kW 전자빔 파워(6포켓 7cc 크루시블, 270도 편향형) 및 기판 최대 700℃ 가열·회전 유닛
• 로드락 챔버, 터보 분자 펌프·로터리 펌프 등 진공 배기 유닛과 진공 게이지 제어 유닛
• 텔레마크 851 두께 모니터 유닛 및 시스템 프레임·전기 제어 패널(CDA·PCW·N2 유틸리티 포함)

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사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 경사입사 전자빔 증발 증착 시스템 납품

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

반도체·박막 소자를 만드는 증착(전자빔 증발) 공정장비를 제작·납품하는 일이 사업의 몸통이다.

• 장비 설치 및 시운전
• 기술교육
• 1년 보증 A/S 및 유지보수
• 제조사 공급확인서·A/S 기술확약서 등 납품 증빙

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 평가된 종합점수를 합산하여 평균 85점(100점 만점 기준) 미만인 업체는 부적격 처리함

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자입찰

입찰 일정

가격

추정가격

136,000,000원

배정예산

149,600,000원

기초금액

149,600,000원 (예비가격 -2% ~ +0%)

부가세

13,600,000원

예정가격 방식

복수예가

납품

품명

진공증착기 (2399039801)

수량

1 set

인도조건

모름

제조물품

아니오

세부품명 등록

등록 필요

공고 정보

공고종류

재공고 (재입찰공고)

게시일

09/22(화)

공고번호

R26BK01742239-000

참조번호

산단 내 2026-39-1호

공고기관

한국공학대학교 산학협력단

수요기관

한국공학대학교 산학협력단

계약방법

제한경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

136,000,000원

배정예산

149,600,000원

사전규격번호

R26BD00269225

재공고

재공고

출처

나라장터

첨부파일

• ZIP · [한국공학대학교 산학협력단 입찰재공고] 경사입사 전자빔 증발 증착 시스템_산단내2026-39-1호.zip · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

문서 발췌

과업·요구

Ⅰ. 특징, 용도(Feature) - 본 장비는 정밀 기판 경사각 제어 기능을 갖는 이빔 증착장비로, 입사각 조절을 통해 박막 의 성장 방향 및 밀도, 공극률 등을 능동적으로 제어할 수 있는 구조 제어형 증착 시스템임. Ⅱ. 장비의 구성(Configurations of Goods) -7 1. Chamber Ultimate Pressure : Below than 5X10 Torr 2. Film Thickness Uniformity : Below Than ± 5% within 4" Wafer 3. Wafer Size : Piece to Max 4" Wafer 4. System Semiauto Control & Manual Control by PLC Based Touch Control (10" Touch Panel) Auto Pumping and Auto Venting , Auto Loading & Auto Unloading System Shutdown 5. Sample Tilting: angle : 85°±0.5° 6. E-beam Power Capacity : 6 kW 7. Substrate Temperature : Max 700 ℃ 8. Loadrock Chamber Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specification) - 특정 모델명이나 특정 방식(type)은 기재 불가, 주요 성능이나 규격위주로 기재 - 1. Process Chamber Ass'y

1) Main Process Chamber ① Material : SUS 304L ② Dimension : I.D 500(W) x 500(D) x 450(H) ③ Front Door With I.D 3" Viewport & Shutter ④ Door Lock & Hinge Unit ⑤ Substrate Rotator Mount Port ⑥ Turbo Molecular Pump Mount Port ⑦ Vacuum Gauge & Extra Port ⑧ E-Gun & Feed-through Mount Port ⑨ Source & Sample Shutter Mount Port ⑩ All of stainless Steel Electro-Polished 2) Loadlock Chamber ① Material : Al 6061 ② Size : 300(W) * 250(D) * 200(H) ③ Access Top Door & I.D 2" Viewport ④ Main Chamber Gate Valve Mount Port ⑤ 다양한 기능 주입구(펌핑, 배기, 게이지 포트 등) 2. Vacuum Pumping Unit 1) Turbo Molecular Pump & Controller : 1Set ① Pumping Speed : 1100 L/Sec ② Brand : OSAKA Vacuum (Made in Japan) 2) Main Chamber Rotary Pump : 1set ① Pumping Speed : 1000 L/min

② Brand : WSA (Made in Korea) 3) Loadlock Chamber Rotary Pump ① Pumping Speed : 200 L/min ② Brand :WSA (Made in Korea) 4) Pumping Accessories ① Main Valve (Pneumatic) : 1 ea ② Angle Valve (Pneumatic) : 3 ea ③ Flexible Metal Hose : 2 Set ④ Rectangular Gate Valve : 2" * 8" ⑤ Pumping Line & Solenoid Valve for Rotary Vent With "Tee" : 1 ea ⑥ Diaphragm Valve for Main & Loadlock Chamber Vent (Pneumatic) : 2 ea ⑦ Electrical Safety Valve for Rotary Venting : 2 ea ⑧ All Electric Safety Alarm & Interlock 3. Vacuum Gauge Control Unit 1) FullRange Gauge Sensor for ATM to High Vacuum Reading : 1 ea 2 -10 - Range : 7.6x10 ~ 1.0x10 Torr - Mount : NW25 - Brand : 파이퍼 베큠 (Made in Germany) 2) Pirani Gauge Sensor for Low Vacuum Reading : 2 ea - Range : 7.6 * 10+2 ~ 1.0 * 10-3 Torr - Mount : NW16 - Brand : 파이퍼베큠 (Made in Germany)

3) ATM Sensor : 2 ea - Brand : SMC (Made in Japan) 4. Substrate Rotation & Sample Tilting & Heating Unit 1) Substrate Rotation Unit ① Substrate Holder Size : Piece to 4" Wafer ② Rotary Motion Feed-through for Substrate Rotation : 1 ea ③ High Temperature용 Rotation Bearing & Bearing Housing ④ D.C Motor & Motor Controller : 1 Set (Include the R.P.M Sensor : 1~30 R.P.M) ⑤ Motor Support Guide & Motor Housing 2) Sample Tilting Unit ① Tilt angle : ±85° ② Servo Motor & Motor Controller for Sample Tilting : 1 Set ③ Motor Support Guide & Motor Housing 3) Heating Unit ① Heating Element : SiC Coated Graphite (O.D 6" Element) ② Heat up Temp. : Max 700 ℃ ③ Programmable PID Temperature Control & SCR Unit : 1 Set - Heating Control Transformer - Voltage & Current Meter

④ K-Type Thermo Couples for Heater PID Control & Sample Real Temp. Reading : 2 ea 5. E-Beam Power Supply Unit 1) Electron Beam Gun Ass'y : 1 Set - 6 Pocket of 7cc Crucible (270 Degrees Deflection Type) - Brand - Telemark (Made In U.S.A) - Electron Beam Gun Water Cooled 2) Electron Gun Power Supply : 1 Set - Input Power : AC220V, 3∅, 60Hz - Output Power : 6Kw - Brand : SJ Power(Made In Korea) ① X-Y Sweep Control Unit : 1 Set ② Crucible Indexer : 1 Set - 6 Pocket Rotatable Type ③ High Voltage Feed-through Kit : 1 Set ④ Pneumatic Individual Shutter Unit : 1 Sets - CF 1.33" Rotary Motion Feed-through : 1 ea - Rotation Shaft & Plate : 1 Sets - 90 Degrees Rotation Air Cylinder & Solenoid Valve : 1 Sets 6. Thickness Monitor Unit

1) MODEL : 851 Thickness Monitor - Thickness Display : 0.000 to 999.9 KÅ - Rate Display Auto Ranging : 0.00 to 999 Å/sec - Brand : TELEMARK 2) Standard Type Sensor Install Kit : 1 Set - CF2.75" Mount Type 3) Accessories : 1 Set - Oscillator, Vacuum- In Cable, 6MHz Crystal Sensor : 1 Set 7. System Frame & Electric Control Panel 1) Main Frame (Fe Frame , Painting) - Size : 1000(W) x 900(D) x 800(H) 2) 19" Standard Control Rack Mountable - Size : 600(W) x 1100(D) x 1800(H) 3) Compressed Air(CDA) & Water(PCW) Control Unit - Include the Air Regulator - Air Pressure Switch for Safety Interlock - Water Flow-meter for Safety Interlock 4) Utility Specification - Main Power : AC220V, 50A, 3Phase, 60Hz - Compressed Air : 5～6Kgf/㎠ , 1/4" Swagelok Type - Cooling Water : 2～3Kgf/㎠ , 1/2" Swagelok Type - N2 Gas for Chamber Vent : 2～3Kgf/㎠ , 1/4" Swagelok Type Ⅳ. 기타 조건(Remarks)

참가자격

2. 입찰참가자격 가. 입찰등록 마감일 기준 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제27조 및 동법 시행령 제76조에 의한 부정당업자에 해당하지 아니한 자 나. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 시행령 제12조에 해당하고, 동법 시행규칙 제 14조 규정에 의한 입찰참가자격을 갖춘 자 다. 본 계약은 수행 신뢰성 확보를 위해 공동수급 및 하도급은 불허함 라. 입찰참가 신청 시 본교의 선정방식에 이의가 없음을 확약한 업체(서약서 제출) 3. 입찰서 제출 가. 자격조건 - 기업구분 제한: 「중소기업기본법」 제2조에 따른 중소기업자로서 「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 중소기업확인서를 소지한 업체 * 중소기업확인서는 전자입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 함 - 물품 등록: 입찰참가자격등록 마감일까지 조달청 나라장터에 세부품명번호 2399039801 (진공증착기)를 공급 또는 제조 물품으로 등록한 업체가. 본 입찰서 제출은 반드시 조달청 국가종합전자조달(http://www.g2b.go.kr) 홈페이지의 전자입찰시스템을 이용하여 제출 (가격투찰)하여야 하며, 입찰참가서류(제안서포함)는 한국공학대학교 산학협력단 구매담당 자에게 입찰마감일시까지 직접 제출하여야 함(두가지 모두 이행하여야 하며 한 가지라도 이행하지 않을 경우 자격미달 처리됨) 나. 전자입찰서 제출 확인은 전자입찰시스템 웹 송신함에서 가능

배점·평가

나. 제안요청서의 모든 사항에 대하여 적합 여부를 명시하여야 하며, 제안서의 허위기재 시 제안서 평가대상 업체에서 제외한다.

4. 평가방법

가. 평가는 제안서 제출업체에 한하여 항목별로 실시한다. 나. 평가된 종합점수를 합산하여 평균 85점(100점 만점 기준) 미만인 업체는 부적격 업체로 한다. ※ 종합점수 : 최고점수 1개와 최저점수 1개를 제외(최저 또는 최고점수가 2개 이상인 경우에는 이 중 하나만 제외) 한 후, 나머지 점수를 산술평균하여 평균점수를 부여 - 평가항목[별첨 1] 및 배점 기준[별첨 2]~[별첨 3]

5. 평가결과

- 제안서평가 기관(수요기관)의 장은 제안서 평가 종료 후 평가결과를 개별업체통보(평가위원별·항목별 평가점수) 후 전자조달 시스템 등을 통해 3일 이상 공개하며 평가결과 공개 시 평가위원명은 비공개한다. 단, 제안서 평가결과에 개인정보, 영업비밀 및 다른 법령에 따라 공개가 제한되는 정보가 포함되어 있을 경우 평가결과의 일부 또는 전부를 공개하지 아니할 수 있다. 이 경우 전자조달시스템 또는 발주기관의 정보처리장치에 제안서 평가결과를 공개하지 않는다는 취지와 그 사유를 게재하여야 한다.

6. 기타사항

가. 제안서 제출 후 추가자료 제출은 인정하지 않으며 입찰 시 제출한 자료만 검토한다. 나. 제출된 제안서의 내용이 허위로 판명될 경우 해당 입찰자의 제안서는 무효로 한다.

※ 주기 : 기술, 장비납품계획, 사후관리성의 평가는 제안서 제출자료에 의해 평가위원이 절대평가 한다. [별첨 2] 세부 평가기준 및 평정표 【기술평가】 업체명 : 평가위원 : (인)

[별첨 3] 세부 평가기준 및 평정표 【사후관리성】 업체명 : 평가위원 : (인)

【기업신용평가】

[표1] 신용평가등급 (5점) : 신용평가 등급에 의한 경영상태 평가

[별첨 4]

제안서 평가표

(물품명 : 경사입사 전자빔 증발 증착 시스템) □ 제안업체명 :

※ 기술, 장비납품계획, 사후관리성의 평가는 제안서 제출자료에 의해 평가위원이 절대평가 한다. ※ 구체적인 제안내용 없이 공고 규격만의 제안 및 제안내용의 불성실, 임의 작성시 부적격 처리 2026. . . 소 속 : 직책 : 평가위원 : (인) [별첨 5]

규격제안서 평가 결과 집계표

□ 사업명(장비명) : 경사입사 전자빔 증발 증착 시스템