8inch 금속 증착장비

요약 AI 요약

최대 8인치 대면적 기판에 금속 박막을 고진공에서 균일하게 열증착하는 장비를 도입하는 사업이다. 3차원 플라즈모닉 나노바이오 기판·바이오칩 제작과 암 진단용 면역분석 칩·유전자 진단 칩의 대면적 양산 공정 구축에 활용하고자 한다.

• 메인 공정 진공 챔버(전면 도어·힌지 포함)와 진공 게이지(Pirani/Cold Cathode/ATM 센서)
• 고진공 펌프(Turbo Molecular Pump 1,100L/s)와 저진공 펌프(Rotary Pump 600L/min), 메인 밸브·앵글 밸브·배기 라인
• 회전 가능한 8인치 기판 척 유닛과 셔터 유닛
• 열증착원(Dual Thermal Source, 텅스텐 보트 2세트, 1.5kW×2)과 전원 공급 장치
• QCM 센서 유닛(5MHz 또는 6MHz 크리스탈 동작) 및 다중 박막두께 모니터(분해능 0.037Å)
• 로드락 챔버 모듈(알루미늄)과 로드락용 저진공 게이지·로터리 펌프, 기판 이송용 컴팩트 로봇암·게이트 밸브, PLC 기반 터치패널 제어

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사업 내용 · 이 공고에 든 일

중심 · 8inch 금속 증착장비 제작·납품·설치·시운전

물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비

8인치 기판에 금속 박막을 열증착하는 진공증착장비(반도체·박막 공정장비)를 제작·공급하는 사업이다.

• 장비 제작 및 부품 일체 공급
• 운반·포장
• 현장 설치 및 조정
• 시운전(감독관 입회, 불합격 시 재시행)
• 장비 작동법·유지보수·프로그래밍 교육훈련
• 설치 후 1년 하자보증 및 무상 수리·유지보수
• A/S 지원체제 운영
• 납품 관련 허가·수속 처리

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 기술평가 점수가 배점한도(100점)의 85% 이상인 자를 기술평가 적격자로 선정한다.

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자입찰

입찰 일정

가격

추정가격

90,000,000원

배정예산

99,000,000원

기초금액

97,000,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)

부가세

9,000,000원

예정가격 방식

복수예가

납품

품명

진공증착기 (2399039801)

수량

1 set

납품

계약 후 60일

인도조건

설치까지 · 현장설치도

제조물품

아니오

세부품명 등록

등록 필요

공고 정보

공고종류

재공고 (재입찰공고)

게시일

09/22(화)

공고번호

R26BK01742185-000

참조번호

제2026-32-01호

공고기관

한국재료연구원

수요기관

한국재료연구원

계약방법

제한경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

복수예가

추정가격

90,000,000원

배정예산

99,000,000원

사전규격번호

R26BD00272231

재공고

재공고

출처

나라장터

첨부파일

• ZIP · 규격서등_8inch 금속 증착장비[2].zip · 공고규격서
• PDF · 재공고서(26-32-01)_8inch 금속 증착장비.pdf · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

문서 발췌

과업·요구

규 격 : 세부사양참조 납품기한 : 계약 후 60일 이내 납품장소 : 경남 창원시 한국재료연구원 내 입찰방법 : 규격․가격분리 동시입찰 (제한총액) 추정금액 : 99,000,000원 (부가세 포함) 하자책임담보기간 : 1년

Ⅱ 입찰 안내

입찰방식 입찰방식은 “국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령” 제18조(2단계 경쟁등의 입찰)에 의한 “규격(기술) · 가격 동시입찰” 입찰참가자격 “국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령〃제12조 규정에 의한 입찰참가 자격을 갖춘 업체 『국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령』 제21조 및 동법 시행령 제76조의 규정에 의거 입찰참가자격 제한을 받지 않는 자 3) 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 국가종합전자조달시스템 (나라장터)에 입찰참가자격등록 마감일시까지 진공증착기(세부품명번호 : 2399039801)를 제조 또는 공급물품으로 입찰참가 등록한 자 입찰시 제출서류 입찰에 참여하고자 하는 자는 본 요청서에서 정하는 모든 사항을 숙지하여 구매자 요구사항을 충분히 수용할 수 있어야 함. 2) 입찰시 입찰자는 한국재료연구원에서 기술평가를 할 수 있도록 다음 서류 및 제안서를 반드시 나라장터를 통하여 전자적으로 제출하여야 한다. 만약 기술 제안서가 임의적이거나 다르게 제출되었다면 해당관련 내용의 평가는 최저점을 부여한다. 정량제안서 - 신용평가등급 확인서 - 장비납품실적증명서(입찰공고일 기준 최근 3년이내) 정성제안서 - 기술제안서 및 기술제안서에 따른 세부 해설 자료 - 세부사양에 명시된 부합성 증빙자료 - 인력현황(첨부: 4대보험가입명부) 기타서류 - 기타 참고자료(기성품의 경우 카탈로그 등) 입찰서 작성 입찰자는 입찰시 규격입찰서와 가격입찰서를 구분하여 입찰서를 작성한다. 기술제안서에는 입찰시 자료제출 내용과 물품구매 규격서에서 규정한 모든 항목의 규격기준에 따라 제안하고자 하는 내용이 명확하고 상세하게 기술된 기술제안서를 작성 및 제출하여야 한다.

배점·평가

과업·요구

1. 적용범위

1. 본 장비는 최대 8인치 대면적 기판에 금속 박막을 고진공에서 균일하게 열증착하는 장비로, 3차원 플라즈모닉 나노바이오 기판·바이오칩 제작의 핵심 공정장비이며, 암 진단용 면역분석 칩 및 유전자 진단 칩의 대면적 양산 공정 구축에 활용하고자 함. 2. 면역진단, 유전자진단, 분자진단 등 바이오센싱 플랫폼에 공통 활용 가능한 범용 금속 증착장비로, 사업 종료 후에도 국가연구개발사업 및 산학협력 연구, 공동활용 서비스에 지속 활용 가능한 핵심 인프라임.

2. 용어의 정의

가. 구 매 자 : 한국재료연구원 원장 또는 그 위임을 받아 계약업무를 담당하는 자 나. 계약상대자 : 계약담당직원과 물품구매계약을 체결한 자연인 또는 법인

3. 구매 품목 및 수량

- 8 inch 금속 증착장비 1 set (주장비)

4. 제품의 구성 및 상세 성능

8inch Thermal Evaporating System 구성 및 사양 - Main Process Vacuum Chamber, Front Door and Hinge - Pirani Gauge / Cold Cathode Gage. ATM Sensor - High Vacuum, TMP Pump 1,100L/s - Low Vacuum Pump, Rotary Pump 600L/m - Main Valve, Angle Valve, Pumping Line - Rotatable 8inch Substrate Chuck Unit & Shutter Unit - Thermal Source Unit & Power Supply - QCM Sensor Unit (Operates with 5MHz or 6MHz Crystals) - Loadlock Chamber Module_Aluminum - Loadlock Low Vacuum Gauge / Low Vacuumm Rotary Pump 600L/m - Loadlock Compact Robot Arm Transfer Module & Gate Valve for Substratem Transfer - Touch Panel Control Based on PLC (Manual Control) - System Frame 및 Utility 구성 8inch Thermal Evaporating System 상세 성능 - 기판 크기: 최대 8인치 웨이퍼 크기로 대면적 플라즈모닉 나노광학 기판 및 바이오칩의 제작과 양산 공정 적용이 가능함. 및 양산 공정 적용 가능 - 공정 챔버 진공도: ≤ 5.0 × 10⁻⁶ Torr의 고진공 환경을 구현하여 불순물 유입을 최소화하고, 고순도 금속 박막 증착 및 우수한 박막 품질 확보가 가능함. - 진공 시스템: Rotary Pump(600 L/min) 및 Turbo Molecular Pump(1,100 L/s) 적용 - 로드락 시스템: 독립형 Load-lock Chamber 적용으로 공정 생산성 향상

- 기판 회전: 5~20 rpm 회전 기능 지원 - 증착원: Dual Thermal Source(Tungsten Boat 2 Set, 1.5 kW × 2) - 빅막두께 제어: Multi-film Thickness Monitor(분해능 0.037 Å) 적용하여 증착 속도와 박막두께를 실시간으로 정밀 제어할 수 있어 균일한 공정 구현이 가능 - 증착 균일도: 8인치 웨이퍼 기준 ±5% 이하 균일도를 확보하여 센서 성능 편차를 최소화하고, 바이오칩의 감도 및 반복 재현성 확보 - 제어 시스템: Robot Arm 자동 이송과 PLC 기반 Touch Panel 제어를 적용하여 작업자의 편의성을 향상시키고 반복 공정의 자동화 및 공정 재현성을 확보

5. 기타 조건

1) 납기 : 계약 후 60일 이내 2) 장비설치 및 조정 : 장비 공급자는 한국재료연구원이 지정하는 시간 및 장소에 장비를 설치하고 정상 작동을 위해 요구되는 모든 조정을 수행하여야 한다. 3) 교육 : 장비와 관련된 교육은 별도로 한국재료연구원과 협의하여 실시하며 다음과 같은 교육은 별도의 협의가 없어도 필수적으로 수행되어야 한다. - 장비 작동법 교육 - 유지보수 교육 - 프로그래밍 교육 4) 하자보증기간 : 설치 후 1년간 무상 수리 및 유지보수를 제공한다. - 하자보증기간 중 정상적인 작동 상태에서 발생하는 모든 결함은 장비 공급자의 책임 하에 무상으로 수리되어야 한다. - 부품의 교체가 필요한 경우에는 그 부품의 정확한 공급가능 시점을 확인하여 한국재료연구원에 통보하고 승인을 받아야 한다.