입찰공고상세[물품] · 마감
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2.45 GHz Multimode MPCVD Vacuum System
유찰 · 한국핵융합에너지연구원 · 반도체·박막 공정장비
- 결과
- 유찰
- 참가
- 0곳 · 개찰 10/02(금)
요약 AI 요약
플라즈마기술연구소의 "All-다이아몬드 CMOS용 MPCVD 장비개발(PI2604-1)" 과제와 관련하여, All-Diamond CMOS 제작을 위한 고품질 단결정 및 박막 다이아몬드 합성 연구에 사용할 2.45 GHz 멀티모드 MPCVD 진공시스템 1식을 설계·제작·설치하는 사업이다.
- STS304 진공챔버(외경 약 Ø335 mm, 내경 약 Ø227 mm, 길이 약 185 mm, ISO100/NW40/NW25 포트, 시료 장입·회수 구조, 상·하부 로봇 실린더 구동, IR 온도센서 5개 최대 500 ℃, 최종진공도 5×10⁻⁷ Torr 이하)
- Quartz bell jar(외경 약 Ø260 mm, 내경 약 Ø218 mm, 길이 약 210 mm, STS304 holder, O-ring sealing 및 gas passage line 포함)
- Substrate module(Mo disk 외경 104 mm·두께 16 mm, Z-motion welded bellows 내경 90 mm·길이 190 mm·stroke 30 mm, servo motor/ball screw/LM guide 구동, STS304 수냉식 Mo disk adapter/holder, H₂ gas 및 thermocouple sensor 연결)
- Frame 및 system controller(80×80 Al profile 또는 Al 상판, 19-inch rack, 산업용 PC/PLC/interface, recipe 운전, HMI, digital flow·temperature indicator, STS304 air-cooling supply tank)
- 안전 interlock(전원·냉각수·압축공기·챔버 위치·과온·비상정지, 수소 공급 시 진공도·냉각수·배기·챔버 체결상태 연계 fail-safe 제어)
- 외부 2.45 GHz microwave generator, waveguide, tuner, 진공펌프, 진공게이지, 밸브, MFC, 배기가스 처리설비와의 기계적·전기적·통신 인터페이스
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사업 내용 · 이 공고에 든 일
중심 · MPCVD 진공시스템 설계·제작·설치·시운전 일체
물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비
2.45 GHz 멀티모드 MPCVD 진공챔버·bell jar·기판모듈·제어부를 제작·조립·시험·설치하는 반도체·박막 공정장비 제작 구매다.
- 상세 설계도면·P&ID·전기도면·I/O list 등 설계승인 문서 제출
- 진공챔버·quartz bell jar·Mo disk 기판모듈·프레임·시스템 컨트롤러 제작·조립
- FAT(공장 인수 시험) 및 SAT(현장 인수 시험)
- 운송·설치·시운전
- 운전·정비·안전 매뉴얼 등 제출문서
- 교육 및 교육확인서
- 검수 후 1년 무상보증(하자보수)
- CST Microwave Studio 전자기장 해석 결과 제출(가점)
평가 · 배점
협상 대상 기준 · 기술심사 합격조건 : 심사위원들의 평가점수 평균이 80점 이상이어야 한다.
| 평가 항목 | 배점 |
|---|---|
| STS304 진공챔버 및 quartz bell jar 구조에 대한 이해와 설계 적정성 | 5점 |
| 시료 장입·회수 구조와 챔버 상·하부 승강구조 설계 | 5점 |
| Mo 기판 홀더, 수냉구조 및 Z-motion 구동부 설계 | 5점 |
| 진공포트, 가스공급, 온도센서 및 유지보수 접근성을 고려한 통합설계 | 5점 |
| 정식 라이선스 CST Microwave Studio 보유 또는 적법한 사용 증빙 | 10점 |
| 실제 제작 예정인 진공챔버, quartz bell jar 및 기판 모듈을 반영한 3차원 해석모델 제출 | 10점 |
| STS304 진공챔버 및 진공용접 구조 제작 능력 | 5점 |
| Quartz bell jar holder, O-ring sealing 및 gas passage line 제작 능력 | 5점 |
| Mo disk, 수냉식 기판 홀더 및 welded bellows 제작·조립 능력 | 5점 |
| 진공배관, 수냉배관, 가스배관 및 장비 프레임의 통합 제작 능력 | 5점 |
| PC/PLC 기반 recipe 운전 및 HMI 제어시스템 구축 능력 | 5점 |
| Power, air, cooling water, chamber position 및 over-temperature interlock 구성 능력 | 5점 |
| 최종진공도 5×10⁻⁷ Torr 이하에 대한 시험·검증계획의 적정성 | 5점 |
| 챔버 승강 및 Z-motion 구동부의 위치제어·안전제어 능력 | 5점 |
| 유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성 | 3점 |
| 주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획 | 2점 |
| 제작·검사·설치 단계별 품질관리체계의 적정성 | 2점 |
| 수소, 고온, 진공, quartz bell jar 및 구동부 안전대책 | 3점 |
| 수행실적 평가 | 5점 |
| 신용평가기관에서 인정한 유효 등급 | 5점 |
| 합계(항목을 더한 값) | 100점 |
참가 자격 · 제한
- 업종제한
- 제한 없음
- 지역제한
- 제한 없음
- 공동수급
- 공동수급불허
- 입찰참가 제한
- 모름
- 실적경쟁 · PQ
- 모름
- 국제입찰
- 국내입찰
- 제출 방법
- 전자입찰
입찰 일정
| 진행 | 일시 | 남은 날 |
|---|---|---|
| 공고 게시 | 09/22(화) | 지남 |
| 입찰서 제출 시작 | 09/23(수) 09:00 | 지남 |
| 입찰참가자격 등록 마감 | 10/01(목) 18:00 | 지남 |
| 입찰서 제출 마감 | 10/02(금) 14:00 | 지남 |
| 개찰 | 10/02(금) 15:00 | 지남 |
가격
- 추정가격
- 109,000,000원
- 배정예산
- 119,900,000원
- 부가세
- 10,900,000원
- 예정가격 방식
- 단일예가
납품
- 품명
- 융복합진공증착기 (9923990305)
- 수량
- 1 Sys
- 인도조건
- 모름
- 제조물품
- 아니오
- 세부품명 등록
- 아니오
공고 정보
- 공고종류
- 등록공고 (일반공고)
- 게시일
- 09/22(화)
- 공고번호
- R26BK01741727-000
- 참조번호
- 제KFE2026-100호
- 공고기관
- 한국핵융합에너지연구원
- 수요기관
- 한국핵융합에너지연구원
- 계약방법
- 제한경쟁
- 낙찰방법
- 규격가격동시입찰
- 계약유형
- 총액계약
- 예정가격 방식
- 단일예가
- 추정가격
- 109,000,000원
- 배정예산
- 119,900,000원
- 사전규격번호
- R26BD00274599
- 재공고
- 아니오
- 출처
- 나라장터
첨부파일
- HWPX · 규격서(공고용).hwpx · 공고규격서
- HWPX · 기술시방서(공고용).hwpx · 공고규격서
- HWPX · 입찰공고문 및 입찰관련서류 일체.hwpx · 공고규격서
- PDF · 입찰공고문 및 입찰관련서류 일체.pdf · 공고규격서
문서 발췌
과업·요구
| 품명 | 2.45 GHz Multimode MPCVD Vacuum System | |
|---|---|---|
| 모델 | 제작품 | |
| 추정금액 (부가세 포함) | 119,900,000 원 | |
| 기본 구성 사양 (세부 규격) | 1. Vacuum Chamber - STS304; 외경~Ø335 mm, 내경~Ø227 mm, 길이~185 mm - ISO100 NW40, NW25급 진공 포트 - 시료 장입·회수 구조 - 상·하부 챔버 로봇 실린더 구동 - bell-jar holder flange - IR 온도센서 5개(최대 500 ℃) - 최종진공도 5×10⁻⁷ Torr 이하 1. Quartz bell jar - Mo disk Ø104×t16 mm - Z-motion welded bellows(내경 Ø90 mm, 길이 190 mm, stroke 30 mm) - servo motor/ball screw/LM guide - STS304 Mo-disk adapter 및 수냉 holder(Ø94×L194 mm) - H₂ gas 및 thermocouple sensor 연계 3. Frame & controller - 80×80 Al profile 또는 Al 상판, 도장, caster 및 leveling foo - 19-inch rack; PC/PLC/interface; recipe 운전 - power/air/water interlock; digital flow & temperature indicator - STS304 air-cooling supply tank | |
| 기타(유의) 사항 | 납기 조건 대금 지급 조건 | - 모든 구성품은 신품이어야 하며, 상호 호환되어 하나의 통합 진공시스템으로 정상 작동해야 한다. - 제작자는 상세 설계도면 및 유틸리티 요구조건을 발주자와 사전 협의한 후 제작에 착수한다. - 수소 사용부의 재질·실링·배관 구성과 전기·가스·냉각수 interlock은 관련 법령 및 설치기관 안전기준을 충족해야 한다. - 최종 진공도는 청정·건조 상태에서 충분한 배기 후 교정된 진공게이지로 확인하고, 시험조건과 도달시간을 성적서에 기록한다. - 계약 범위에 포함되지 않은 마이크로웨이브 전원, 진공펌프, MFC/가스 캐비닛, 배기처리장치의 포함 여부와 인터페이스는 계약 전 확정한다. - 검수 완료 후 최소 1년 무상보증을 권고하며, 정확한 보증기간·대응시간·소모품 제외범위는 계약서에 명시한다. |
| 기타 사항 | CST Microwave Stutio 보유 및 이를 이용한 3차원 전자기장 해석 결과 제공에 대한 평가기준 가산점 적용 |
| 납기 완료 요구일 | 2026년 11월 27일 |
|---|---|
| 납품 장소 | 플라즈마기술연구소 본관동 L306호 |
구매 사유 및 활용 용도
플라즈마기술연구소에서는 "All-다이아몬드 CMOS용 MPCVD 장비개발(PI2604-1)" 과제와 관련하여 2.45 GHz Multimode MPCVD Vacuum System을 제작하고자 합니다. === 기술시방서(공고용).hwpx ===
기술시방서
2.45 GHz Multimode MPCVD Vacuum System
2026. 09. 1. 적 용 본 시방서는 All-Diamond CMOS 제작을 위한 고품질 다이아몬드 합성 연구에 사용되는 2.45 GHz 멀티모드 MPCVD 진공시스템 1식의 설계, 제작, 조립, 시험, 운송, 설치, 시운전, 교육 및 제출문서에 적용한다. 본 계약은 견적서에 제시된 진공챔버, quartz bell jar, substrate module, frame 및 system controller를 기본 범위로 한다. 2. 시스템 기능 요구사항 본 시스템은 All-Diamond CMOS 소자 제작을 위한 고품질 단결정 및 박막 다이아몬드 합성 연구에 활용할 수 있도록 구성되어야 한다. 이를 위해 2.45 GHz 멀티모드 마이크로웨이브 플라즈마 발생 환경에 적합한 진공챔버, quartz bell jar, 기판 지지·승강 모듈, 공정가스 공급부, 냉각부 및 통합 제어부를 포함하여야 한다. Quartz bell jar 내부에는 수소를 포함한 다이아몬드 합성용 공정가스를 안정적으로 공급할 수 있어야 한다. 또한 시료의 장입 및 회수, 기판의 수평 유지와 높이 조절, 기판 홀더 냉각 및 온도 측정이 가능하여야 한다. 진공경계부, O-ring 밀봉부, 수냉배관, 가스배관 및 용접부는 반복적인 진공배기와 고온 플라즈마 운전에서도 충분한 기밀성, 내열성 및 구조적 안정성을 유지하여야 한다. 챔버 상·하부 위치조절장치와 Z축 기판구동장치는 운전자가 설정한 위치로 안전하고 반복적으로 이동할 수 있어야 한다. 이동한계 초과, 챔버 미체결, 냉각수 부족, 압축공기 이상 또는 비상정지 등의 비정상 조건이 발생하면 장비가 자동으로 안전 정지되어야 한다. 시스템은 PC 및 PLC 기반의 통합제어방식을 적용하여 진공배기, 가스 공급, 기판 위치, 냉각수와 압축공기 공급, 온도 및 장비 상태를 실시간으로 감시·제어할 수 있어야 한다. 공정 단계별 설정값, 운전시간 및 제어순서를 저장한 recipe의 작성, 저장, 호출, 수정 및 반복 실행이 가능하여야 한다. HMI 화면에서는 장비의 운전상태, 설정값과 실제 측정값, recipe 진행단계, 경보내용 및 interlock 작동원인을 명확하게 확인할 수 있어야 한다. 주요 공정변수와 경보이력은 공정 재현성 평가 및 장비 이상원인 분석에 활용할 수 있도록 저장·조회가 가능하여야 한다. 기본 안전 interlock은 전원, 냉각수, 압축공기, 챔버 위치, 과온 및 비상정지 조건을 포함하여야 한다. 최종 가스 및 진공계통 설계가 확정되면 진공도, 수소 공급, purge, 배기 및 마이크로웨이브 인가조건을 연계한 interlock을 추가하여야 한다. 특히 수소가 공급되는 경우에는 진공도, 냉각수, 배기 및 챔버 체결상태가 모두 정상일 때만 공정운전이 가능하도록 fail-safe 방식의 제어논리를 적용하여야 한다.
본 시스템은 별도로 설치되거나 기존에 보유한 2.45 GHz microwave generator, waveguide, tuner, 진공펌프, 진공게이지, 밸브, MFC 및 배기가스 처리설비와 연동할 수 있는 기계적·전기적·통신 인터페이스를 제공하여야 한다. 각 장치의 신호형식, 통신방식, 연결위치 및 공급범위는 제작 착수 전에 제출되는 시스템 구성도, P&ID, 전기도면, I/O list 및 utility matrix를 바탕으로 발주자와 협의하여 최종 확정한다. 3. 상세 기술 요구사항 3.1 Vacuum Chamber - 재질: STS304. 진공 노출면은 세정 후 오염과 흠집이 없도록 관리한다. - 기준 치수: O.D. 약 Ø335 mm, I.D. 약 Ø227 mm, L 약 185 mm. - 포트: ISO100, NW40, NW25 등. 정확한 개수·방향·용도는 승인도면에 따른다. - 시료 장입·회수 구조와 bell-jar holder flange를 포함한다. - 상부/하부 챔버 위치는 robotic cylinder로 제어하고, 이동 한계·끼임 방지 및 비정상 위치 interlock을 구성한다. - IR 온도센서 5개를 설치하며 최대 측정온도는 500 ℃이다. 정확도·응답시간·파장대·시야각은 공급자 제안 후 승인한다. - 최종진공도: 5×10⁻⁷ Torr 이하. 측정조건은 제5장 시험방법에 따른다. 3.2 Quartz bell jar - 수량 1 set; 기준 치수 O.D. 약 Ø260 mm, I.D. 약 Ø218 mm, L 약 210 mm. - Holder는 STS304로 제작하고 O-ring sealing 및 gas passage line을 포함한다. - Quartz 재질 등급, 벽두께, 표면결함 허용기준, 사용온도, 열충격 및 체결 토크는 제작 전 제출·승인한다. - 파손 시 비산 또는 작업자 위해를 줄일 수 있는 보호대책과 안전한 교체절차를 제시한다. 3.3 Substrate module - Mo disk: disk type, O.D. 104 mm, t 16 mm. - Z-motion welded bellows: I.D. 90 mm, L 190 mm, 유효 stroke 30 mm. - Servo motor, ball screw 및 LM guide로 구동하며 반복위치 정밀도와 속도는 공급자 제안·발주자 승인사항으로 한다. - Mo disk adapter/holder: STS304, O.D. 약 Ø94 mm, L 약 194 mm, 수냉식. - H₂ gas 공급 및 thermocouple sensor 연결 구조를 포함하되, 수소 역류·누설·과온 위험에 대한 interlock 조건을 최종 P&ID에 반영한다. 3.4 Frame and system controller - 80×80 Al profile 또는 Al 상판 구조, 도장, caster 및 leveling foot 포함.
- 19-inch rack, 산업용 PC, PLC 및 interface를 포함하고 recipe 방식으로 운전한다. - 최소 interlock: power abnormal, cooling-water abnormal, CDA/air abnormal, chamber position abnormal, over-temperature, emergency stop. 가스·진공 구성 확정 시 저진공/고진공 및 H₂ 조건을 추가한다. - Digital flow and temperature indicator는 RS 계열 통신 인터페이스를 제공한다. 정확한 규격(RS-232/422/485)과 protocol은 승인도면에 명시한다. - STS304 air-cooling supply tank를 포함한다. 용량·압력등급·안전장치는 공급자 제안 후 승인한다. - HMI는 운전상태, set value/actual value, alarm, interlock cause 및 recipe step을 확인할 수 있어야 한다. 4. 설계·제작 및 안전
| 구분 | 요구사항 |
|---|---|
| 설계승인 | 제작 전 GA drawing, chamber detail, P&ID, electrical schematic, I/O list, utility matrix, BOM을 제출하여 승인을 받는다. |
| 진공·청정 | 진공 노출 부품은 탈지·세정·건조 후 밀봉한다. 용접부는 진공용으로 제작하고 육안 결함이 없어야 한다. |
| 수소 안전 | 공급 차단, purge, 환기/배기 및 이상상태 대응 논리를 설치기관 안전담당자와 협의한다. 수소 운전은 관련 안전설비가 확인된 후 허용한다. |
| 전기 안전 | 보호접지, 회로보호, emergency stop, 단자표시 및 케이블 라벨을 적용한다. |
| 유지보수 | Bell jar, O-ring, Mo disk 및 센서의 점검·교환이 가능해야 하며 권장 예비품 목록을 제출한다. |
| 변경관리 | 승인 규격의 재질·형상·부품 변경은 동등 이상 근거와 함께 사전 서면승인을 받아야 한다. |
| 단계 | 시험항목 | 방법 및 판정기준 |
|---|---|---|
| 제작 중 | 재질/치수/용접/배관 | 승인도면 대조, 재질성적서 및 치수검사표 확인 |
| FAT | 진공도 | 청정·건조 상태에서 시스템 배기 후 ≤5×10⁻⁷ Torr. 게이지 종류/교정상태/위치, 초기압력, 배기시간, 온도를 기록 |
| 누설 | He leak detector로 진공경계 및 가스·수냉 계통 확인. 정량 합격기준은 계약 전 합의 | |
| 구동/제어 | 챔버 승강, Z-stage 전 stroke, recipe, 표시값, alarm 및 모든 interlock 기능 확인 | |
| SAT | 설치/시운전 | 현장 utility 연결 후 누수·누설·통신·구동·진공 성능 재확인 |
| 인수 | 종합검수 | 계약 규격 충족, 미결사항 조치, 최종 문서 및 교육 완료 |
*FAT (공장 인수 시험, Factory Acceptance Test) **SAT (현장 인수 시험, Site Acceptance Test) 6. 납품 및 제출문서 - 장비 1식 및 정상운전에 필요한 부속품 일체 - 최종 승인도면(GA, 상세도, P&ID, 전기도, I/O list) - BOM 및 제조사/모델/수량 목록, 주요 부품 데이터시트 - FAT/SAT 성적서, 진공·누설·구동·interlock 검사기록 - 운전·정비·안전 매뉴얼(국문 권장), PLC/HMI backup 및 통신 protocol - 소모품·예비품 목록, 품질보증서, 교육자료 및 교육확인서 7. 일정 및 품질보증 납기는 발주 후 8주 이내를 기준으로 하며, 상세설계 승인·제작·FAT·운송·설치·SAT 일정을 착수회의에서 확정한다. 공급자는 검수 불합격 사항을 무상으로 보완하여 재검사를 받아야 한다. 무상보증은 검수일로부터 1년을 권고하나 최종 계약조건을 우선한다. 7. 기술심사 우대사항 및 가점 기준 본 장치는 2.45 GHz 마이크로웨이브 플라즈마 발생을 위한 멀티모드 MPCVD 진공시스템으로서, 진공챔버와 quartz bell jar, 기판 홀더 및 주변 금속구조의 형상에 따라 챔버 내부의 공진모드와 전기장 분포가 달라질 수 있다. 따라서 제작 전에 진공챔버 내부의 마이크로웨이브 전자기장 분포를 해석하고, 그 결과를 설계에 반영할 수 있는 기술능력을 보유한 업체를 우대한다. 제안업체가 정식 라이선스가 확보된 CST Microwave Studio를 이용하여 2.45 GHz 조건에서 진공챔버 내부의 3차원 전자기장 해석을 수행하고, 그 결과를 기술제안서 또는 상세설계 단계에서 제출하는 경우 기술평가 가점을 부여할 수 있다. 해석결과에는 다음 사항이 포함될수록 높은 가점을 반영 한다. - 진공챔버, quartz bell jar, 기판 및 기판 홀더를 반영한 3차원 해석모델 - 해석에 적용한 재질의 유전율, 전기전도도 및 경계조건 - 마이크로웨이브 입력부와 포트의 위치 및 입력조건 - 2.45 GHz에서의 챔버 내부 전기장 크기와 공간분포 - 기판 상부 또는 예상 플라즈마 발생영역의 전기장 분포 CST Microwave Studio를 이용한 해석결과를 제출하는 업체는 프로그램의 정식 라이선스 사용을 확인할 수 있는 자료를 함께 제출하여야 한다. 단순한 해석 화면이나 결과 이미지만 제출하는 경우에는 가점을 인정하지 않으며, 해석모델, 입력조건, 경계조건, mesh 조건 및 주요 결과에 대한 기술적 설명이 포함되어야 한다. === 입찰공고문 및 입찰관련서류 일체.hwpx === 【첨부】 입찰관련 서류 일체 1부 - 첨부1 : 입찰유의서 - 첨부2 : 표준계약서 (참고 사항) - 첨부3 : 청렴계약이행서약서 - 첨부4 : 서약서 - 첨부5 : 기술심사 진행계획서
| 1. 입찰 개요 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| ① | 입찰건명: | 2.45 GHz Multimode MPCVD Vacuum System | ||||
| ② | 공고번호: | 제KFE2026-100호 | ||||
| ③ | 입찰방법: | 전자입찰, 제한(총액), 규격가격동시 | ||||
| - 본 입찰은 전자입찰방식에 의하여 집행하므로, 국가종합전자조달 이용자 등록을 한 자만이 입찰에 참여할 수 있으며, 전자입찰서는 반드시 제출 기간 이내에 국가종합전자조달 홈페이지의 전자조달시스템(나라장터)을 이용하여 제출하여야 함. (우편 입찰 등 불허) - 기술(규격) 적격심사를 통과한 예정가격 이하 최저가 입찰 업체 낙찰(부가가치세 포함 금액으로 입찰에 응하여야 하며, 동가 입찰 시 낙찰자 자동추첨프로그램을 통한 낙찰자 결정) | ||||||
| ④ | 국내/국제입찰 구분: | 국내 | ||||
| ⑤ | 공동계약 및 구성방식: | 불가 | ||||
| ⑥ | 세부품명/수량/단위: | 공고문에 첨부된 규격서, 기술시방서 등 참조 | ||||
| ⑦ | 사업금액(배정예산): | 119,900,000원(부가가치세 포함) | ||||
| ⑧ | 추정가격: | 109,000,000원(부가가치세 불포함) | ||||
| ⑨ | 기초금액(예정가격): | 단일예가(비공개) ※ 위 사업금액(배정예산)과 상이할 수 있음 | ||||
| ⑩ | 납품기한: | 2026.11.27. (최종 검수 완료일 기준) | ||||
| ⑪ | 분할납품: | 불가 | ||||
| ⑫ | 인도조건: | 연구원 지정장소 납품, 설치 | ||||
| ⑬ | 납품장소: | 플라즈마기술연구소(전라북도 군산시 소재) 내 지정장소 | ||||
| ⑭ | 하자담보: | 최종 검수 완료일로부터 1년(하자보증증권(계약금액의 10%) 발급) | ||||
| ▣ 입찰 주요 일정 | ||||||
참가자격
| 2. 입찰 참가 자격 | |||
|---|---|---|---|
| 본 입찰에 참가하기 위해서는 아래 공통, 개별 입찰 참가 자격을 모두 갖추어야 함. | |||
| 공 통 | ① | 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제12조(경쟁입찰의 참가자격) 및 같음 법 시행규칙 제14조(입찰참가자격요건의 증명)의 요건을 충족하고 입찰서 제출 마감일 전일 18:00까지(토요일, 일요일 및 공휴일 처리 불가) 조달청(나라장터) 입찰참가자격 등록을 이행한 자 | |
| ② | 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제27조(부정당업자의 입찰참가자격 제한 등), 같은 법 시행령 제76조(부정당업자의 입찰참가자격 제한)에 따른 부정당업자로 제재를 받지 않은 자 | ||
| ③ | 입찰 마감일 현재 국세 ‧ 지방세 체납 및 법정관리, 화의개시 등 경영상 중대한 사실이 없는 자 | ||
| ④ | 다음 요건에 해당하지 않는 자 (다음) 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제27조의5 및 같은 법 시행령 제12조 제3항에 따라 ‘조세포탈 등을 한 자’로서 유죄판결이 확정된 날부터 2년이 지나지 아니한 자 * [입찰서 제출로 같은 법 시행령 제12조 제3항 각 호에 해당되지 않음을 확약한 것으로 간주하며, 이가 허위로 판명될 경우 계약의 해제ㆍ해지를 당할 수 있고, 부정당업자 입찰참가자격제한 처분을 받을 수 있음] | ||
| 개 별 | ⑤ | 중소기업·소상공인확인서 또는 창업기업확인서(입찰서 제출 마감일시까지 발급된 유효한 확인서)를 소지한 중소기업, 소상공인 ※ 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」에 따라 아래 기준에 따른 중소기업자간 제한경쟁입찰 실시 ※ 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」에 따라 아래 기준에 따른 중소기업자간 제한경쟁입찰 실시 - (추정가격 1억원 미만) 소기업 또는 소상공인 - (추정가격 1억원 이상 2.3억원 미만) 중기업, 소기업 또는 소상공인 ※ 중소기업자간 제한경쟁입찰 관련 세부 사항은 상기 법률에 의함 | |
| 3. 입찰 일정 및 장소 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ① | 입찰방법: | 전자입찰 | |||||
| ② | 규격(기술) ‧ 가격 전자입찰서 제출 시작일시: | 2026.09.23.(수), 09:00 | |||||
| ③ | 규격(기술) ‧ 가격 전자입찰서 제출 마감일시: | 2026.10.02.(금), 14:00 | |||||
| ④ | 개찰일시: | 규격(기술)입찰 평가 완료 후 개찰 ※ 2026.10.02.(금), 15:00(예정) | |||||
| ⑤ | 개찰장소: | 국가종합전자조달시스템(나라장터) | |||||
| ▣ 입찰 시 유의사항 | |||||||
| ◆ 사업금액(배정예산), 입찰금액은 부가가치세, 부대비용 일체를 포함한 가격임 ◇ 입찰자가 면세사업자인 경우에도 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰해야 하며, 입찰 결과 낙찰자가 면세사업자인 경우 계약금액은 낙찰금액에서 부가가치세 상당액을 차감한 금액으로 함. ◆ 낙찰자(계약자)는 계약, 하자 이행과 관련된 보증서(총 계약금액의 10% / 입찰유의서 제5조(입찰보증금)에 명시된 방식과 기관 발급분에 한함) 제출과 인지세 연대 납부(제조, 제작, 공사에 한함) 의무를 가지며, 해당 비용을 고려하여 입찰(투찰)금액을 산정하여야 함. ◇ 본 입찰의 사업금액(배정예산)은 전체 사업기간을 기준으로 산출되었으며, 가격입찰은 반드시 전체 사업기간에 해당하는 금액으로 입찰 ◆ 본 입찰은 단일예정가격이 적용되며, 기준가격 및 예정가격은 공개하지 않음 |
배점·평가
| 심사분야 | 평가항목 | 평가요소 | 배점 |
|---|---|---|---|
| 1. MPCVD 진공 시스템 설계 및 해석 능력 (40점) | MPCVD 진공챔버 및 기판 모듈 설계 (20점) | -STS304 진공챔버 및 quartz bell jar 구조에 대한 이해와 설계 적정성(5점) -시료 장입·회수 구조와 챔버 상·하부 승강구조 설계(5점) -Mo 기판 홀더, 수냉구조 및 Z-motion 구동부 설계(5점) -진공포트, 가스공급, 온도센서 및 유지보수 접근성을 고려한 통합설계(5점) | 20 |
| CST 전자기장 해석 능력 (20점) | -정식 라이선스 CST Microwave Studio 보유 또는 적법한 사용 증빙(10점) -실제 제작 예정인 진공챔버, quartz bell jar 및 기판 모듈을 반영한 3차원 해석모델 제출 (10점) | ||
| 합계 | 40 | ||
| 2. MPCVD 진공 시스템 제작 및 제어 능력 (40점) | MPCVD 진공시스템 제작 능력 (20점) | -STS304 진공챔버 및 진공용접 구조 제작 능력(5점) -Quartz bell jar holder, O-ring sealing 및 gas passage line 제작 능력(5점) -Mo disk, 수냉식 기판 홀더 및 welded bellows 제작·조립 능력(5점) -진공배관, 수냉배관, 가스배관 및 장비 프레임의 통합 제작 능력(5점) | 20 |
| 제어 및 성능검증 능력 (20점) | -PC/PLC 기반 recipe 운전 및 HMI 제어시스템 구축 능력(5점) -Power, air, cooling water, chamber position 및 over-temperature interlock 구성 능력(5점) -최종진공도 5×10-7 Torr 이하에 대한 시험·검증계획의 적정성(5점) -챔버 승강 및 Z-motion 구동부의 위치제어·안전제어 능력(5점) | ||
| 합계 | 40 | ||
| 3. 관리 능력 (10점) | 유지·보수 및 하자 대응 방안 (5점) | -유지보수 조직, 대응절차 및 하자 대응방안의 적정성(3점) -주요 소모품·예비품 공급 및 기술지원 계획(2점) | 5 |
| 품질·보안·안전관리 방안 (5점) | -제작·검사·설치 단계별 품질관리체계의 적정성(2점) -수소, 고온, 진공, quartz bell jar 및 구동부 안전대책(3점) | ||
| 합계 | 10 | ||
| 4. 수행실적(5점) | 수행실적 평가(아래 평가기준 참고) (5점) | 5 | |
| 5. 재무건전성(5점) | 신용평가기관에서 인정한 유효 등급 (5점) | ||
| 총합계 | 100 |
수행실적 평가 기준
(“조달청 협상에 의한 계약 제안서평가 세부기준” 준용)
| 평가등급 | 평점 |
|---|---|
| 100% 이상 | 배점의 100% |
| 70% 이상∼100% 미만 | 배점의 90% |
| 40% 이상∼70% 미만 | 배점의 80% |
| 40% 미만 | 배점의 70% |
* 해당 사업규모 대비 입찰공고일 기준 최근 3년간 사업수행실적(금액 기준)을 합산 적용. 단, 입찰공고일을 기준으로 최근 7년 이내에 사업을 개시한 창업기업에 대해서는 최근 7년간 사업수행실적을 합산 적용 [주] 1. 수행실적은 입찰공고 또는 제안요청서 등 입찰 관계서류에 따로 정한 경우를 제외하고는 계약일자 및 납품기한에 관계없이 이행이 완료된 시점을 기준으로 평가한다. 이 경우 입찰공고일에 이행완료 된 실적도 평가에 포함하나, 입찰공고일 다음날부터 이행완료된 자료는 평가에서 제외한다. 2. 등급구간별 평점은 조달청 협상에 의한 계약 제안서평가 세부기준 제9조제8항제1호에 따라 부여한다. 3. 등급구간 및 구간별 평점은 위 표에 의하며, 필요하다고 인정되는 경우 입찰공고에 달리 정할 수 있다. 4. 실적 인정 범위와 조달청 협상에 의한 계약 제안서평가 세부기준 제9조제8항제3호 나목 및 다목에 따라 실적평가를 제외하는 경우 실적평가 제외기준은 제안요청서에 정하되, 제안요청서에 정하되, 수행실적은 제5호에 따라 제출된 실적을 기준으로 평가한다. 5. 입찰자는 수행실적 평가를 위하여 조달청 협상에 의한 계약 제안서평가 세부기준 별지 제15호서식의 수행실적 총괄표와 다음 각 목에 따른 별지 제16호서식 또는 그에 준한 수행실적증명서 등을 제출하여야 한다. 가. 국가기관, 지방자치단체, 기획재정부장관이 지정한 공공기관 또는 지방공기업법령 적용 기관이 발급한 수행실적증명서
나. 위 가목에서 정한 이외의 기관 또는 민간이 발주한 경우 발주자가 발급한 수행실적증명서, 계약서, 세금계산서(필요시 거래명세표 포함) 등을 첨부하여야 함 다. 위 가목과 나목에도 불구하고 한국소프트웨어산업협회장이 발급하는 소프트웨어사업 수행실적 확인서 라. 국외의 공공기관, 민간기업 등이 발주한 경우 가목 및 나목을 준용하되, 공공기관 이외의 납품실적은 이를 공증하거나 해당국가의 상공회의소 또는 해당국가에 주재하는 대한민국 공관의 확인을 받은 경우에는 세금계산서 등 증명자료 첨부를 생략할 수 있음 마. 이행실적에 대한 입증책임은 입찰자가 부담하며 의무를 다하지 아니하여 실적확인이 어려운 경우에는 실적으로 인정하지 않는다. 6. 공동수급체의 경우 구성원별 실적에 지분율을 곱한 후 그 실적들을 합산한 실적으로 최종 평가하고, 평가 결과 소수점 이하의 숫자가 있는 경우 소수점 다섯째자리에서 반올림 한다. (예) {(A사 실적×A사 지분율)+(B사 실적×B사 지분율)…}에 대한 점수 7. 중소기업협동조합이 입찰에 참여하는 경우 해당계약을 이행할 출자 또는 분담업체의 실적으로 평가하며 6호의 평가방법에 따라 평가한다. 8. 합병, 분할, 사업양수도가 있는 경우 다음 각 호에 따라 실적을 평가한다. 이 경우 입찰자는 합병 전ㆍ분할 전ㆍ사업양도 업체의 실적증빙서류를 제출하여야 한다. 가. 합병 : 소멸 업체의 실적을 존속 또는 신설 업체의 실적에 합산하여 평가
나. 분할 : 분할 전 업체의 실적을 권리ㆍ의무를 승계한 업체의 실적에 포함하여 평가. 다만, 시설, 기술자 등 요건이 필요할 때에는 이를 갖춘 경우에만 실적으로 인정한다. 다. 사업양수도 : 사업양도인의 실적을 사업양수인의 실적으로 포함하여 평가. 다만, 시설, 기술자 등 요건이 필요할 때에는 이를 갖춘 경우에만 실적으로 인정한다.
기업신용평가 등급표
| 회사채에 대한 신용평가등급 | 기업어음에 대한 신용평가등급 | 기업신용평가등급 | 배점 | |
|---|---|---|---|---|
| AAA | - | 회사채에 대한 신용평가등급 AAA에 준하는 등급 | 5.0 | 10.0 |
| AA+,AA0, AA- | A1 | 회사채에 대한 신용평가등급 AA+,AA0, AA-에 준하는 등급 | 4.8 | 9.5 |
| A+ | A2+ | 회사채에 대한 신용평가등급 A+에 준하는 등급 | 4.6 | 9.0 |
| A0 | A20 | 회사채에 대한 신용평가등급 A0에 준하는 등급 | 4.4 | 8.5 |
| A- | A2- | 회사채에 대한 신용평가등급 A-에 준하는 등급 | 4.2 | 8.0 |
| BBB+ | A3+ | 회사채에 대한 신용평가등급 BBB+에 준하는 등급 | 4.0 | 7.5 |
| BBB0 | A30 | 회사채에 대한 신용평가등급 BBB0에 준하는 등급 | 3.8 | 7.0 |
| BBB- | A3- | 회사채에 대한 신용평가등급 BBB-에 준하는 등급 | 3.6 | 6.5 |
| BB+,BB0 | B+ | 회사채에 대한 신용평가등급 BB+,BB0에 준하는 등급 | 3.4 | 6.0 |
| BB- | B0 | 회사채에 대한 신용평가등급 BB-에 준하는 등급 | 3.2 | 5.5 |
| B+,B0,B- | B- | 회사채에 대한 신용평가등급 B+,B0,B-에 준하는 등급 | 3.0 | 5.0 |
| CCC+ 이하 | C 이하 | 회사채에 대한 신용평가등급 CCC+ 에 준하는 등급 이하 | 2.0 | 4.5 |
① 「신용정보의 이용 및 보호에 관한 법률」제4조제4항제1호 또는 제4호의 업무를 영위하는 신용정보업자가 심사기준일 이전에 평가한 유효기간 내에 있는 기업신용평가등급을 기준으로 평가한다. 다만, 『조달청 신용평가등급 조회시스템』또는 『중소기업제품 공공구매정보망』에 따라 신용평가등급 조회가 가능한 경우에는 동 시스템 조회결과에 따라 평가할 수 있다. ② 제1항에 따라 유효기간 내에 있는 기업신용평가등급의 평가서를 제출할 때는 동 평가서의 유효기간이 만료되어 새로이 제출하는 경우를 제외하고는 연1회에 한하여 제출할 수 있다. ③ 제1항의 규정에도 불구하고 회사채 또는 기업어음에 대한 신용평가등급으로 평가를 받고자 하는 자는 해당 업체의 유효기간 내에 있는 회사채 또는 기업어음의 신용평가등급 중에서 가장 최근에 평가한 신용평가등급으로 평가한다. ④ ‘신용평가등급 확인서’를 제출하지 않은 경우에는 최저등급으로 평가하며, 유효기간 만료일이 입찰공고일인 경우에도 유효한 것으로 평가한다. ⑤ 합병한 업체에 대하여는 합병 후 새로운 신용평가등급으로 심사하여야 하며 합병 후의 새로운 신용평가등급이 없는 경우에는 합병대상 업체 중 가장 최근 신용평가등급을 받은 업체의 신용평가등급으로 심사한다. ⑥ 컨소시엄 구성인 경우에는 각각 산출한 경영상태 평가점수에 출자비율 또는 분담비율을 곱한 후 합산하여 평가한다.