입찰공고상세[물품] · 마감
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Remote Plasma Source (RPS 발생기) 구매
(주)케이에스엠컴포넌트 · 반도체·박막 공정장비
- 낙찰업체
- 결과 미등록 · 낙찰 결과가 아직 안 올라왔어요
- 낙찰금액
- -
- 낙찰하한율
- - · 기초금액 4,070만원
- 참가
- 0곳 · 개찰 10/02(금)
요약 AI 요약
극한 환경 반도체 공정에서 내플라즈마성·내식성이 향상된 서셉터를 개발하는 과제의 일환으로, 챔버 내부 불순물을 화학적으로 세정하기 위해 불소(F) 라디칼을 공급하는 원격 고밀도 플라즈마 발생기(RPS 발생기)를 구매·설치하는 사업이다.
- 주장비: Reactor(플라즈마 발생 장치)
- 부속장비: MF Generator(플라즈마 발생용 전력 공급 장치)
- 크기 500mm(D)×300mm(W)×300mm(H) 이하, 무게 30kg 이하
- 정격 선간 전압 208VAC 3상 접지, 190–220VAC 운전 가능
- 주파수 400–460kHz 운용, 최대 출력 8000W 이상
- 장비 구축·설치, 납품·시운전, 장비 사용 및 유지보수 교육
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사업 내용 · 이 공고에 든 일
중심 · RPS 발생기 구매·설치·시운전·교육
물품 › 연구·실험·계측장비 › 반도체·박막 공정장비
반도체 챔버 세정용 원격 플라즈마 발생기(RPS)를 사서 현장에 설치·시운전하고 운용 교육까지 하는 반도체 공정장비 구매다.
- 현장 설치
- 시운전
- 장비 사용 및 유지보수 교육
- Trouble Shooting Manual 제공
- 하자보증 1년
평가 · 배점
협상 대상 기준 · 적격점수는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제 42조에 의거 85점 이상으로 함
| 평가 항목 | 배점 |
|---|---|
| 공고 및 규격서(사양서)와의 적합성 - 요구사양 및 제안사양 비교 | 30점 |
| 장비 사양 및 구성의 적절성 - 카탈로그, 설계 도면, 구성품 내역 등 / 장비 사양 및 특성, 성능 등 | 20점 |
| 성능 검증 및 검수 - 성능 검증 및 품질 보증 관련 / 검수 및 시운전 관련 | 10점 |
| 납품 및 설치 일정 계획 - 주요 기자재 확보 및 사용 계획 / 단계별 추진 일정 계획 / 시운전 계획 | 20점 |
| 품질보증 계획 - 장비, 시스템 등 하자보수 계획 / 사용자 교육 일정 등 | 20점 |
| 합계(항목을 더한 값) | 100점 |
참가 자격 · 제한
- 업종제한
- 제한 없음
- 지역제한
- 제한 없음
- 공동수급
- 공동수급불허
- 입찰참가 제한
- 모름
- 실적경쟁 · PQ
- 모름
- 국제입찰
- 국내입찰
- 제출 방법
- 전자입찰
입찰 일정
| 진행 | 일시 | 남은 날 |
|---|---|---|
| 공고 게시 | 09/22(화) | 지남 |
| 입찰서 제출 시작 | 09/23(수) 10:00 | 지남 |
| 입찰참가자격 등록 마감 | 10/01(목) 18:00 | 지남 |
| 입찰서 제출 마감 | 10/02(금) 10:00 | 지남 |
| 개찰 | 10/02(금) 11:00 | 지남 |
가격
- 추정가격
- 37,000,000원
- 배정예산
- 40,700,000원
- 기초금액
- 40,700,000원 (예비가격 -2% ~ +2%)
- 부가세
- 3,700,000원
- 예정가격 방식
- 복수예가
납품
- 품명
- 표면처리기 (2321119801)
- 수량
- 1 1
- 납품
- 계약 후 90일
- 인도조건
- 설치까지 · 현장설치도
- 제조물품
- 아니오
- 세부품명 등록
- 아니오
공고 정보
- 공고종류
- 등록공고 (일반공고)
- 게시일
- 09/22(화)
- 공고번호
- R26BK01731476-000
- 참조번호
- KSMC-20260921-RPS
- 공고기관
- (주)케이에스엠컴포넌트
- 수요기관
- (주)케이에스엠컴포넌트
- 계약방법
- 일반경쟁
- 낙찰방법
- 규격가격동시입찰
- 계약유형
- 총액계약
- 예정가격 방식
- 복수예가
- 추정가격
- 37,000,000원
- 배정예산
- 40,700,000원
- 사전규격번호
- R26BD00272895
- 재공고
- 아니오
- 출처
- 나라장터
첨부파일
- HWPX · RPS 발생기 입찰공고.hwpx · 공고규격서
- DOCX · [사전규격서] 원격 플라즈마 발생기(RPS 발생기).docx · 공고규격서
- PDF · RPS 발생기 입찰공고.pdf · 공고규격서
문서 발췌
과업·요구
| 회사명 | 케이에스엠컴포넌트 | 인도조건 | □납품장소하차도 ■현장설치도 |
|---|---|---|---|
| 세부품명번호 | 2321119801 | 국산여부 | O |
| 품 명 | (국문): 원격 플라즈마 발생기 | 수 량 | 1 |
| (영문): Remote Plasma Source | 단 위 | ea | |
| I. 장비의 구성 (Configuration of Goods) 1. 주장비 1) Reactor (Plasma 발생 장치) 2. 부속장비 1) MF Generator (전력공급장치 - Plasma발생을 위한 전력 공급 장치) II. 성능 및 규격(Performance and Specification) 1. Szie : 500mm(D) , 300mm(W), 300mm(H) 이하 2. Weight : 30Kg 이하 3. Nominal Line Voltage : 208 VAc , Three Phase With Ground 4. Lin Voltage Ragne : 190-220 VAC를 포함하여 운전 가능 5. Frequency Range : 400 – 460KHz에서 운용가능 6. Maximum Power : 8000W 이상 | |||
| <용도설명> 본 장비는 반도체 장비 Chamber 내부에 Plasma를 이용하여 이온화 시킨 “F” Radical을 공급하여 Chamber 내부의 이물질을 제거하는 장치 | |||
| < 기타 참고사항> ▪ 보증기간(A/S) : 납품일로부터 1년 이상 ▪ 납품기한: 계약 후 3개월 이내 ▪ 성능이나 품질 등이 동등 이상인 경우 납품 가능 여부: 가능 ▪ 유지보수, 교육 및 운영지원 : CS 대응 협의 필요, 수리 가능, 유상 교육 가능 ▪ Trouble shooting 대응 : Trouble Shooting Manual 제공 가능 |
=== RPS 발생기 입찰공고.hwpx ===
입 찰 공 고
Remote Plasma Source
(RPS 발생기) 구매
2026. 09. 22
KSM컴포넌트
▣ Remote Plasma Source 구매
사업목적 가. 당사의 과제는, 극한 환경 반도체 공정에서 내플라즈마성과 내식성이 향상된 서셉터를 개발하는 것이다. 나. 반도체 제조공정에서 공정중 발생되는 불순물들이 챔버 벽면과 서셉터에 증착되고, 증착된 불순물들이 박리되면 파티클로써 웨이퍼 품질에 영향을 주게된다. 다. 본 사업은 연구개발 과정에서, 플라즈마가 인가된 환경에서의 불화가스에 대한 내식성에 대해, 서셉터 제품을 타겟으로 한 테스트 공정을 구축하기 위함이다. 다. Remote Plasma Source는 챔버 내부의 불순물을 화학적으로 세정하기 위해 F(불소) Radicla을 공급하는 원격 고밀도 플라즈마 발생기로, 제품의 내플라즈마 파티클 테스트에서 핵심적인 역할을 수행한다. 2. 사업개요 가. 사 업 명 : Remote Plasma Source 구매 나. 사업기간 : 공고문 참조 다. 사 업 비 : 금 40,700,000원 (VAT. 포함) 3. 사업범위 가. 장비 구축 및 설치 나. 납품 및 시운전 다. 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육 4. 납품조건 가. 사업기간은 제안사의 일정, 예산 상황 등 현장의 여건에 따라 조정될 수 있음
나. 본 사업의 제안사는 현장설치 일정에 맞추어 기자재를 납품하여 장비 가동에 차질이 없도록 하여야 함 다. 현장 설치(납품) 후 시운전 진행과 장비 사용 및 유지보수에 대한 교육 진행 라. 납품 기한은 계약 후 60일 이내 5. 하자보증기간 : 설치일로부터 1년
▣ 업체 선정방법 (입찰 및 낙찰방법)
선정기준 가. 입찰 방식 : 규격·가격동시입찰 나. 제안서 평가 및 기준 - 규격입찰제안서에 대한 평가 결과, 구매규격서에서 정한 필수 규격을 모두 충족한 자에 한하여 가격개찰을 실시하며, 예정가격 이하의 유효한 입찰자 중 최저가격 입찰자를 낙찰자로 결정함. - 적격점수는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제 42조(국고의 부담이 되는 경쟁입찰에서의 낙찰자 결정기준)에 의거 85점 이상으로 함 ※ 입찰보증금은 전자입찰서 제출 시 입찰보증금 지급각서로 갈음함. 2. 입찰참가자격 가. 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격 등록규정에 의하여 RPS발생기 또는 본 구매 장비와 동등한 물품의 제조 또는 공급이 가능한 업체 나. 부정당업체로 입찰참가 자격 제한을 받고 있지 않은 업체 다. 기타 공고서에 정한 바에 따름 ※ 개찰 후 업체는 수요기관의 기기사양에 대한 규격검토확인서를 제출하여야 함. (KSM컴포넌트의 규격 통과 확인 날인 필수이며, 규격검토 결과 부적합 시 입찰참가자격 미달로 처리함.)
| 구분 | 내용 | 비고 |
|---|---|---|
| 업체현황 | 제안사 현황 및 주요실적 | [별지 2호] |
| 기술부문 | - 장비 개요 장비의 성능 및 규격 장비 제작 및 설치 등 운영방안 | 자유서식 |
| 사업관리 | 장비의 납품/설치/시운전 등 일정 관련 성능 검증 및 품질 보증 장비 A/S 계획 사용자 교육 계획 (장비 운영 및 유지보수 등) | |
| 사양비교표 | 요구사양과 제안사양의 비교표 |
배점·평가
| 평가대상 | 장비명 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 평가대상 | 업체명 | |||||
| 평가자 | 소속 | □ 발주부서 □ 수요부서 *해당 부서에 체크(√) | ||||
| 성명/직급 | 서명 | (인) | ||||
| 2. 평가표 | ||||||
| 평가 부문 | 평가 항목 | 배점 | 점수 | |||
| 적정성 | - 공고 및 규격서(사양서)와의 적합성 ∙ 요구사양 및 제안사양 비교 | 30 | ||||
| - 장비 사양 및 구성의 적절성 ∙ 카탈로그, 설계 도면, 구성품 내역 등 ∙ 장비 사양 및 특성, 성능 등 | 20 | |||||
| 사업수행 | - 성능 검증 및 검수 ∙ 성능 검증 및 품질 보증 관련 ∙ 검수 및 시운전 관련 | 10 | ||||
| - 납품 및 설치 일정 계획 ∙ 주요 기자재 확보 및 사용 계획 ∙ 단계별 추진 일정 계획 ∙ 시운전 계획 | 20 | |||||
| 기술지원 | - 품질보증 계획 ∙ 장비, 시스템 등 하자보수 계획 ∙ 사용자 교육 일정 등 | |||||
| 계 | 100 |