첨단산업 인재양성 디스플레이 부트캠프 트리플 스캔 측정용 3D 현미경 구매입찰

요약 AI 요약

디스플레이 및 반도체 소자의 표면 형상, 단차, 거칠기, 박막 구조를 정밀하게 측정하고 분석하여 교육 실습에 활용하기 위해 3D 현미경을 도입함.

• 레이저 공초점, 광학식 면 스캔, 백색 간섭 무늬 등 2가지 이상의 측정 방식 지원
• 최대 28,800배 배율 및 2048x1536 이상의 촬영 해상도 구현
• 투명체 및 박막 두께 측정 기능 탑재
• XY 오토스테이지(100x100mm 이상) 및 6개 이상의 렌즈 동시 장착
• 관찰 분석 소프트웨어 및 장비 제어용 DLL 제공
• 자동 초점, 네비게이션, 심도 합성 등 전용 계측 모듈 포함

AI에게 이 공고를 물어볼 때 · ChatGPT · Claude에 이 링크를 함께 주면 공고문과 첨부를 정리한 글을 읽고 답합니다. /ai/projects/R26BK01699257 · 베타 기간 무료

평가 · 배점

협상 대상 기준 · 평가점수는 평가 합계가 80점을 기준으로 적합 및 부적합으로 판정한다. (80점 이상 적합)

참가 자격 · 제한

업종제한

제한 없음

지역제한

제한 없음

공동수급

공동수급불허

입찰참가 제한

모름

실적경쟁 · PQ

모름

국제입찰

국내입찰

제출 방법

전자입찰

입찰 일정

가격

추정가격

90,000,000원

배정예산

99,000,000원

부가세

9,000,000원

예정가격 방식

단일예가

납품

품명

레이저현미경 (4111172301)

수량

1 set

납품

계약 후 30일

인도조건

설치 없음(납품만) · 수요기관희망장소입고도

제조물품

아니오

세부품명 등록

등록 필요

공고 정보

공고종류

변경공고 (정정공고 · 1차)

게시일

09/01(화)

공고번호

R26BK01699257-001

참조번호

한양대디스플레이부트캠프 - 11 호

공고기관

한양대학교 에리카산학협력단

수요기관

한양대학교 에리카산학협력단

계약방법

일반경쟁

낙찰방법

규격가격동시입찰

계약유형

총액계약

예정가격 방식

단일예가

추정가격

90,000,000원

배정예산

99,000,000원

사전규격번호

R26BD00259619

재공고

아니오

출처

나라장터

첨부파일

• PDF · 트리플 스캔 측정용 3D 현미경_공고문.pdf · 공고규격서
• PDF · 트리플 스캔 측정용 3D 현미경_구매규격서.pdf · 공고규격서
• PDF · 트리플 스캔 측정용 3D 현미경_제안요청서.pdf · 공고규격서

첨부 내용을 정리한 글 — 자격 · 배점 · 일정 · 발췌 ›

문서 발췌

과업·요구

1.3 적용 범위 본 제안요청서는 본 입찰 건과 관련된 장비의 구매 설치 등에 따른 우리 기관과 계약자 간 구매, 설치조건 등 관련 이행 제반사항에 대하여 규정한다. 1.4 지원 일반 가. 본 제안요청 및 입찰과 관련하여 입찰목적물의 사양은 우리 기관이 제시한 장비의 성능 및 제안사항을 반드시 준수하여야 한다. 나. 본 제안요청 및 입찰공고에 명기되지 않은 사항에 대해서도 낙찰자는 계약 목적물의 구 매 취지에 맞는 최신 기술 및 자재를 사용하여 납품해야 한다. 1.5 입찰 참가자격 가. 입찰 공고서에 따름 2. 공급범위 2.1 납품장소: 경기도 안산시 한양대학로 55, 맞춤의약연구원 2.2 납품기한: 계약 후 30일 이내(설치 및 장비 사용 교육 포함) 2.3 납품수량: 트리플 스캔 측정용 3D 현미경 1 Set 3. 장비규격 장비규격은 첨부된 물품구매규격서를 적용하며, 본 목적물을 위하여 필요하나 규격에 기재되 어 있지 않거나 부수적인 기술 사양에 대해서는 동등이상의 국제규격에 따른다. 4. 입찰자 준수사항 4.1. 입찰시 제출서류(규격, 가격 동시입찰) 입찰에 참여하고자 하는 자는 본 규격에서 정하는 모든 사항을 숙지하여 우리 기관에서 제 안서 기술평가를 할 수 있도록 다음과 같은 내용을 포함한 ‘규격제안서(전자문서로 제출-공고 문 참조)’를 제출하여야 한다. (양식 자유). 만약 미제출되거나 허위기재 또는 기타 평가할 수 없는 사항에 대하여는 평가 제외될 수 있다. 4.2. 제출 구비서류

가. 정성제안서 1부 - 제안평가를 위한 세부 기술자료(부품사양서, 카탈로그, 제안 규격의 세부 해설자료 등을 포함) - 규격서상 요구규격과 제안규격의 비교표 - 납기이행계획 (계약 후 장비 납품 이행 계획서) - 납품계획서 (제작, 검사, 설치, 검교정 방안, 납품실적 등을 포함) - 사후관리계획 (무상수리기간, 유지보수 및 기술지원, 장비 교육 등 A/S 운영 계획 포함) 나. 정량제안서 1부 - 납품실적증명원(동등장비 사양 최근 3년간 실적. 금액 포함) - 기업신용평가등급 확인서 ※ 사용 용도가 `공공기관 입찰용` 또는 `조달청 및 공공기관 제출용` 확인서일 것 - 기타 정량적 참고 자료 다. 일반제출서류 - [서식 1] 제안사의 일반현황 라. 기타 입찰 등록 제출서류는 입찰 공고서에 명시되어 있음 4.3. 제안서 작성 및 평가 가. 제안서 작성 모든 입찰자는 본 제안요청서에서 정한 제출 제안서의 구비서류를 우리 기관이 제시한 물품구매 사양 및 납품 조건에 따라 제안하고자 하는 내용을 명확하고 상세하게 기술하 여 작성 제출하며, 기관 규격의 단순 도용이나 불충분한 내용의 제안서의 경우 평가점수 를 받지 못하오니 유의하여야 한다. 나. 제안서 평가 - 제안서가 본 제안요청서 등의 기재된 내용을 준수하지 않거나, 적합하지 않을 경우 심사 에서 제외한다. - 심사 기준은 본 제안요청서에 포함된 제안서 평가 기준에 의한다. - 평가점수는 평가 합계가 80점을 기준으로 적합 및 부적합으로 판정한다. (80점 이상 적합) - 제안서는 공고 규격보다 이상의 기능일 경우에는 입찰공고 규격으로 인정할 수 있다. - 당 공고의 규격서는 해당 규격의 장비 모식도를 기준으로 참고한 것이므로, 세부 Specifications의 차이는 인정되며, 측정 기준 및 사양은 동등 이상을 확보하여야 한다.

가. 납품은 장비의 입고 후 장비의 전원 설비를 하여 사용자가 즉시 장비를 사용할 수 있는 상태까지의 작업 일체를 포함하며, 납품 장소에서 본 장비의 설치를 통해 진동, 소음과 같은 기계적 문제가 발생하지 않도록 해야 한다. 나. 납품은 공급 범위의 시스템 납품을 만족하여야하며, 공급 장비가 규격서에서 요구하는 성능 및 사양을 충족하고, 각 규격별로 정상 동작하는 것을 인수자가 확인 (제품 Calibration 결과, 육안 확인, 3일 이상 교육/사용 등) 하였을 때 완료하는 것으로 한다. 다. 시스템 및 프로그램의 설치는 입고 즉시 공급자의 책임 하에 실시한다. 라. 규격서에 명시하지 않은 사양 및 부품이라도 표준 사양 및 부품을 제공하고, 필요한 사 항이 누락된 경우 인수자에게 즉시 통보하고 해결방안을 강구하여야 하며, 통보하지 않 은 사양이 추후 확인된 경우 계약자가 모든 책임을 진다. 마. 장비 설치 시 발생한 모든 손상에 대해서는 계약자가 새로운 장비와 동일한 장비상태로 교체하여야 하며, 교정 장비의 경우 재교정 진행 후 납품하여야 한다. 5.6 성능 평가 가. 검사 및 성능시험은 설치시스템의 각 기능을 시험하여 평가한다. 나. 납품 및 설치 완료 후 현장 성능 평가 및 설치 내용이 포함된 설치 완료 보고서를 제공 한다. 5.7 하자 보증 가. 계약자는 정상 작동에 필요한 모든 사항은 우리 기관이 정한 감독관 입회하에 본 제안 요청서 및 규격서에 정한 기간 동안 검수를 시행하여야 하며, 검수 불합격 시는 즉각 결 함 부분을 시정하여 재시행한다.

나. 장비의 보증기간은 인수 후 1년으로 하며 동 기간 안에 설계, 제작, 설치공사 및 재결함 등으로 고장 또는 파손되었을 경우, 계약자는 지정하는 기일 내에 무상으로 신속한 복구 를 하여야 하며, 이때 수리, 개조, 교환된 부품은 교체일로부터 1년간 재보증 하여야 한다. 라. 하자 보증기간 내에 시스템의 펌웨어 및 소프트웨어가 개선된 경우에는 이를 무상으로 제공하고 보증기간 이후에는 실비로 제공한다. 5.8 교육 훈련 가. 본 시스템 운영에 필요한 교육은 시스템 설치가 완료된 후, 무상 실시하여야 하며 교육 진행 프로그램 및 교육일정, 지원내용 등을 규격서에 구체적으로 제시하여야 한다. 나. 시스템 운영에 필요한 교육은 무상보증 기간 내 1회 이상 실시하여야 하고, 교육 내용에 는 장비의 데모 시연 교육이 포함되어야 한다. 다. 계약자는 당 연구원 담당자의 시험 입회 시나 작동 시험 시 본 제품의 운전방법 및 하 자보수 등에 대하여 당 연구원 담당자의 요청이 있을 시 무상으로 추가 교육을 실시하 여야 한다. 5.9 최종 장비 인도 시 제출서류 가. 계약자는 납품 장비의 사용설명서(한글이 없을 경우 영문)를 제출 나. 계약자는 제작사 정품 공급 및 기술지원 확약서 제출 5.10 결제조건 본 시스템은 산업통상자원부 예산으로 구입하는 것으로 납품 기한을 꼭 확인하시어 입찰 참가 하여야 한다. 6. 기타 입찰관련 사항 6.1 가격입찰서는 조달청 전자입찰에 의하여 제출되며 부가세 포함금액을 기입한다. 6.2 다음 각 호의 1에 해당하는 입찰은 무효로 한다. - 입찰참가자격이 없는 자가 한 입찰 - 담합하거나 타인의 입찰참가를 방해 또는 관계직원의 업무집행을 방해한 경우 6.3 수요부서와 관련된 기술평가 및 제안요청서 내용 문의 : 한양대학교 에리카 산학협력단 신지나(jnpooh@hanyang.ac.kr, 031-436-6100)

배점·평가

과업·요구

※ 아래의 기본제원과 동일하거나 동등이상일 것

(The specifications should be equivalent or better than the following specifications) 1. 특징 본 장비는 광학 현미경, SEM, 형상 측정기·표면 거칠기 측정기의 기능, 특징을 모두 갖춘 확대 관찰·형상 측정 장비입니다. - 레이저 스캔을 통한 대상 표면의3D 입체형상 측정. - 비접촉 형상, 거칠기 측정 및 투명박막의 두께 측정. - 전처리 과정 없이 고해상도 컬러 이미지 관찰 2. 성능 및 규격 (1) 다양한 시료에 대한 형상 분석을 위한2가지 이상의 측정방식 채택 가) 핀 홀 공초점 방식 기능을 갖춘 레이저 공초점(고해상도, 고정밀 측정) 나) 레이저 광원 없이 광학식 면 스캔을 통한 입체 형상 측정(대면적, 고속 측정) 다) 백색간섭 무늬를 이용한 미세형상 측정(대면적, 고정밀 측정) (2) 최대 28800배의 배율로 촬영할 수 있을 것 (3) 최소 시야 범위 : 3600㎛ 이상 (저배율 렌즈 기준) (4) 최대 촬영 해상도 : 2048x1536 이상 (5) 프레임 레이트(레이저 측정속도) : 면측정 125Hz 이상, 선측정 7900Hz 이상. (6) 리니어스케일 모듈 : 0.1nm 이하 (7) 투명체 측정, 막두께 측정 기능 탑재 (8) XY오토스테이지 : 100 x 100mm 이상 (9) 측정용 광원(파장) : 404 nm 레이저, 백색 LED광원 (10) 측정용 렌즈 : 6개 이상 동시 장착 가능 (11) 측정 DATA : 이미지 및 로우 데이터, 오피스 호환, 여러 파일의 일괄분석, CSV전송기능 가능할 것 (12) 해석소프트웨어 : 홈페이지 라이센서 제공 및 CD 제공, 교내 복수 설치 가능. (13) 금속 시편의 거칠기가 난해할 경우 분석의 방향성을 제시할 수 있는 기능이 포함될 것 (14) 설계값 이나 공차를 입력하여OK/NG 판정할 수 있는 기능이 있을 것 (15) DLL을 통한 장비제어가 가능할 것(기술 지원 및 매뉴얼 첨부) (16) 87.1°의 가파른 경사면을 정확하게 검출 가능할 것 * 요구 규격

① Z 측정부(레이저 공초점) - 높이 표시 분해능: 0.1nm - 높이 반복 정도: 10x: 100nm, 20X: 40nm, 50x: 12nm - 높이 정확도: 0.2+L/100um 이하 ② Z 측정부(포커스 바리에이션) - 높이 표시 분해능: 0.01nm - 높이 반복 정도: 5x: 500nm, 10x: 100nm, 20X: 50nm, 50x: 20nm - 높이 정확도: 0.2+L/100um 이하 ③ Z 측정부(백색 간섭) - 높이 표시 분해능: 0.01nm - Surface Topography Repeatability : 0.08nm - RePeatability of RMS : 0.008nm 3. 표준 및 부속품 1. 현미경 ................................................................................................. 1 Set 1) 본체..................................................................................................... 1 EA 2) 측정부................................................................................................. 1 EA 3) 대물렌즈(5X, 10X, 20X, 50X, 150X)..................................... 5 EA

4) X, Y 전동 스테이지(X, Y Auto Stage) ........................... 1 EA 5) 컨트롤러(Controller Set)............................................................ 1 EA 2. 소프트웨어........................................................................................ 1 SET 1) 관찰 분석 소프트웨어................................................................... 1 SET 3. 설치 및 관리 메뉴얼...................................................................... 1 SET 4. 용도 및 AS기간 등 본 장비의 용도는 웨이퍼 표면의 관찰과3D 측정이며, 이를 용이하게 하는 모듈들이 포함되어야 합니다. - 오토 포커스 모듈: 관찰 시 자동으로 초점을 맞추는 모듈 - 네비게이션 기능 모듈: 전동XY 스테이지를 사용하여 샘플의 광역 화상을 작성하는 모듈 - HDR/더블 스캔 기능 모듈: 밝기를 바꾸면서 여러 번 데이터를 취득하여 다이내믹 레인지가 확장 된 화상 을 취득하는 모듈 - 계측 모듈: 치수를 계측하는 모듈 - 스케일 표시 모듈: 관찰 화면에 스케일을 표시하는 모듈 - RPD 기능 모듈: 빠르고 정확하게 측정 결과를 검출하는 알고리즘 - 심도 합성 기능 모듈: 피사계 심도가 깊은 화상을 취득하는 모듈 - 자동 상하한 설정 모듈: 대상 물체의 상한과 하한을 자동으로 인식하여 측정 레인지를 설정하는 모듈 - 간단 측정 기능 모듈: 각종 측정 조건을 자동으로 설정하여 간단히 측정할 수 있는 모듈 * AS 기간 (1) 하자보증: 검수검사 완료일로부터1년 (2) 납품기한: 계약체결일로부터2주 이내에 납품되어야 한다.

참가자격

니다. ○ 「전자조달의 이용 및 촉진에 관한 법률」 제11조제4항 및 같은 법 시행령 제5조제6항, 「조달청 협상 에 의한 계약 제안서 평가 세부기준」 제6조의2 및 제7조를 준용하여 처리합니다. ○ 입찰자는 수요기관에서 요구할 경우 제안서 내용이 수록된 CD/USB 또는 인쇄물형태의 제안서를 추가 제출하여야 합니다.

4. 입찰참가자격

아래의 입찰참가자격을 모두 갖춘 자이어야 합니다. - 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정에 따라 반드시 전자입찰서 제출 마감일 전일까지 나라장터(G2B 시스템)에 아래의 사항을 입찰참가자격으로 등록한 자 - 입찰참가자격등록 마감일시까지 디스플레이 소자 계측기 (세부품명번호 10자리 4111172301 (트리플 스캔 측정용 3D 현미경)을 제조물품으로 입찰참가 등록한 자

※ 입찰참가자격등록

○ (등록장소) 조달청 조달등록팀 또는 각 지방조달청 경영지원과(팀) ○ (입찰참가자격 등록) 조달청 경쟁입찰참가자격 등록은 수시로 가능하며, 입찰참가를 위해서는 전자입찰서 제출마감일 전일 18:00까지 등록을 하여야 합니다. 등록절차와 나라장터 이용안내는 정부조달콜센터(☎ 1588-0800로 문의하시기 바랍니다. ○ (안전입찰) 입찰참가자는 전자입찰 시 「국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서」 제7조 제1항 제 1-2호에 따라 나라장터 안전입찰서비스를 사용(이용자 선택사항)하여 입찰에 참가할 수 있으며, 이 경우 미리 해당 소프트웨어를 설치하여야 합니다. (자세한 사항은 안전 입찰서비스 유의사항 안내 참고) ○ (지문인식) 이 입찰은 「지문인식신원확인입찰」이 적용되므로 개인인증서를 보유한 대표자 또는 입 찰대리인은 「국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서」 제7조제1항제5호에 따라 미리 지문정보 를 등록하여야 전자입찰서 제출이 가능합니다. 다만, 지문인식신원확인 입찰이 어려운 자는 「국가 종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서」 제7조제1항제7호 및 제8호의 절차에 따라 예외적으로 개 인인증서에 의한 전자입찰서 제출이 가능합니다. ○ 다음에 해당하는 자는 입찰참가자격이 없음 -「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제27조의5 및 같은 법 시행령 제12조제3항에 따라 ‘조세포탈 등을 한 자’로서 유죄판결이 확정된 날부터 2년이 지나지 아니한 자 *입찰자는 같은 법 시행령 제12조제3항 각 호에 해당하지 아니한다는 서약서를 입찰시 제출하여야 합니다. 만일 서약내용이 허위로 판명될 경우 계약의 해제ㆍ해지를 당할 수 있고, 부정당업자 입찰참가자격제한처분을 받을 수 있습니다. (서약서 제출은 전자입찰 시 정해진 서식에 따라 송신한 입찰서로 서약서 제출을 대신합니다.)